JPH1071464A - リフロー装置 - Google Patents

リフロー装置

Info

Publication number
JPH1071464A
JPH1071464A JP22717196A JP22717196A JPH1071464A JP H1071464 A JPH1071464 A JP H1071464A JP 22717196 A JP22717196 A JP 22717196A JP 22717196 A JP22717196 A JP 22717196A JP H1071464 A JPH1071464 A JP H1071464A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reflow
furnace
main body
substrate
sirocco fan
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22717196A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinsaku Kuranari
慎作 鞍成
Fumihiro Yamashita
文弘 山下
Toshiya Uchida
俊也 内田
Hironobu Yamamura
博信 山村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OOTORI SEISAKUSHO KK
TAMURA FA SYST KK
Tamura Corp
Original Assignee
OOTORI SEISAKUSHO KK
TAMURA FA SYST KK
Tamura Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by OOTORI SEISAKUSHO KK, TAMURA FA SYST KK, Tamura Corp filed Critical OOTORI SEISAKUSHO KK
Priority to JP22717196A priority Critical patent/JPH1071464A/ja
Publication of JPH1071464A publication Critical patent/JPH1071464A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Furnace Details (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の炉本体内の底部に送風機を配置し、炉
本体の上部を扉体として開閉する場合の種々の問題点を
解決し、また炉本体内の換気を熱風循環系のファンによ
り行えるリフロー装置を提供する。 【解決手段】 炉本体32の背面側に熱風循環用のシロッ
コファン51を設け、前面側に加熱室61を配置し、下部に
ヒータユニット64を配置して、熱風循環系を設ける。加
熱室61を経て基板Pの搬送コンベヤ38を設ける。炉本体
32の前面側に扉体41を開閉自在に設ける。シロッコファ
ン51の回転軸74の周囲に吸気孔75を設け、シロッコファ
ン51の吐出側に排気孔76を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、はんだ付け用のリ
フロー装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のリフロー装置は、図3に示される
ように、炉本体1内の底部に配置された送風機2と、前
後部に配置された熱風案内板3と、上部に配置されたヒ
ータ4とにより炉本体1内の熱風循環系が構成され、炉
本体1内の中央部に熱風循環系を貫通するワークとして
の基板Pの搬送コンベヤ5が配置されている。また、炉
本体1の上部は扉体1aとしてヒンジ6により開閉自在に
設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のリフ
ロー装置は、炉本体1内の底部に送風機2が配置されて
いるため、基板Pの下側に送風機2の回転部分が位置
し、コンベヤ5からの基板Pの脱落に対応しにくいとと
もに、送風機2の取外しが困難であることから、送風機
2のメンテナンスが困難である。さらに、炉本体1内の
底部に位置する送風機2には、この送風機2を駆動する
モータ7を取付スペース上の問題から直結することがで
きず、ベルト伝動手段8などが必要となる。
【0004】また、炉本体1内の底部に送風機2が配置
された熱風循環系の構造では、炉本体1の上部を扉体1a
として開閉せざるを得ず、このため、炉本体1内の底部
に手が届き難く、搬送コンベヤ5から脱落した基板Pの
取出が困難である、掃除し難い、メンテナンス作業が困
難であるなどの問題が生じている。加えて、炉本体1の
上部の扉体1aを一度開けると、開口された面積が大き
く、かつ熱の上昇特性から、炉本体1内の熱が放散しや
すく、リフロー炉の再運転までの温度復帰に時間がかか
る問題もある。
【0005】さらに、従来のリフロー装置は、炉本体1
内の換気を行う手段がなく、炉本体1内で基板Pに塗布
されているフラックスから発生したガスが、基板Pや炉
本体1内の設備を汚染するおそれがある。特に、そのガ
スが炉本体1内の温度センサ(図示せず)に付着した場
合は、温度制御の安定性を害するおそれがある。
【0006】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、従来の炉本体内の底部に送風機が配置され、炉本
体の上部を扉体として開閉する場合の種々の問題点を解
決し、また炉本体内の換気を熱風循環系のファンにより
行えるリフロー装置を提供することを目的とするもので
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載された発
明は、炉本体の内部に熱風循環系が設けられ、この熱風
循環系を経てワークの搬送コンベヤが設けられたリフロ
ー装置において、炉本体の背面側に熱風循環用のシロッ
コファンが配置されたリフロー装置である。
【0008】そして、炉本体の背面側にシロッコファン
が配置されているため、コンベヤから脱落したワークが
シロッコファンに影響を与え難い。さらに、炉本体の背
面側に位置するシロッコファンには、駆動用のモータを
直結することができ、ベルト伝動手段などが不要とな
る。
【0009】請求項2に記載された発明は、請求項1記
載のリフロー装置におけるシロッコファンが、炉本体に
対し脱着可能に取付けられたものである。
【0010】そして、炉本体の背面側ではシロッコファ
ンの脱着が容易であり、そのメンテナンスも容易であ
る。
【0011】請求項3に記載された発明は、請求項1記
載のリフロー装置において、炉本体の前面側に扉体が開
閉自在に設けられたものである。
【0012】そして、炉本体の前面側の扉体を開くこと
により、炉の底部に手が届き易く、コンベヤから脱落し
たワークの取出が容易であり、炉本体内の掃除やメンテ
ナンス作業が容易である。さらに、高温雰囲気の溜まり
やすい炉本体内の上部は閉じられたままであり、前面側
の扉体が設けられた開口の面積は部分的で小さいから、
この前面側の扉体が開いても、炉本体内の放熱が抑えら
れ、炉の再運転で温度復帰しやすい。
【0013】請求項4に記載された発明は、請求項3記
載のリフロー装置において、扉体にワークを目視可能の
観測窓が設けられたものである。
【0014】そして、扉体の観測窓を通して、ワークの
リフロー工程を目視観測し、リフロー不良をチェックで
きる。
【0015】請求項5に記載された発明は、請求項1記
載のリフロー装置において、シロッコファンの吸込側と
対応する炉本体に吸気孔が設けられ、シロッコファンの
吐出側と対応する炉本体に排気孔が設けられたものであ
る。
【0016】そして、熱風循環用のシロッコファンによ
る自己吸気および排気作用により、特別な吸排気用ファ
ンがなくても、炉本体に設けられた吸気孔および排気孔
を通じて炉本体内の雰囲気の一部を換気し、ワークに塗
布されているフラックスから発生したガスを炉本体内か
ら排気除去し、このガスによるワークへの影響を軽減さ
せるとともに、炉本体内の温度センサなどに対するフラ
ックスヒュームなどの付着を防止し、長期にわたって温
度制御の安定性などを維持する。
【0017】請求項6に記載された発明は、請求項5記
載のリフロー装置において、シロッコファンの回転軸の
周囲に吸気孔が設けられたものである。
【0018】そして、吸気孔を通る吸気によりシロッコ
ファンの回転軸を冷却でき、炉本体内の高温が回転軸を
経て外部のモータなどへ影響することを軽減できる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
1および図2を参照しながら説明する。
【0020】図2は、リフロー装置の全体を示し、レベ
ル調整ネジ11とキャスタ12とにより装置本体13が高さ調
整可能および移動調整可能に設けられている。装置本体
13の一端部および他端部にはワーク搬入部14およびワー
ク搬出部15がそれぞれ設けられている。
【0021】前記ワーク搬入部14には、外側に操作パネ
ル21が、内側にワーク搬入用の開口部分における排気を
行うための排気フード22および排気ファン23が、上面上
に運転状況を示すシグナルタワー24がそれぞれ設けられ
ている。ワーク搬出部15にもワーク搬出用の開口部分に
おける排気を行うための排気フード25および排気ファン
26と、リフロー後のワークを冷却するための冷却ファン
27とがそれぞれ設けられている。
【0022】装置本体13の上部カバー31の内部に炉本体
32が設けられ、この炉本体32の内部に、第1プリヒート
空間33、第2プリヒート空間34、第3プリヒート空間35
およびリフロー空間36が順次形成され、これらの各空間
33〜36の前後にはワーク挿通口37が開口されている。
【0023】これらのワーク挿通口37を通してワーク搬
入部14からワーク搬出部15にわたってワークを搬送する
ための搬送コンベヤ38が設けられている。この搬送コン
ベヤ38は、平行に配設された一対のガイドフレームに沿
って一対の無端チェンを同期させて等速で回行させ、一
対の無端チェンから突出する搬送爪によりワーク(部品
実装基板)を保持して搬送するものである。
【0024】前記各空間33〜36における炉本体32の前面
開口40には、扉体41がそれぞれ蝶番などのヒンジ42によ
り開閉自在に設けられ、ヒンジ42と反対側に設けられた
ワンタッチハンドル43により、扉体41は簡単に開閉され
る。さらに、リフロー空間36における扉体41には、耐熱
ガラスを通して外部からワークのリフロー状況を目視可
能の観測窓44が設けられている。
【0025】図1に示されるように、装置本体13の上部
カバー31にも天板部中央から前面板にわたって扉板45が
形成され、この扉板45は上部カバー31に取付けられた蝶
番などのヒンジ46により開閉自在に設けられている。
【0026】この扉板45は、図2に示されるように第1
プリヒート空間33および第2プリヒート空間34と対応す
るものと、第3プリヒート空間35およびリフロー空間36
と対応するものとの二つが分割して設けられている。こ
れらの各扉板45の下部には、手を掛ける凹部47が設けら
れている。
【0027】図1に戻って、炉本体32の背面側に熱風循
環用のシロッコファン51が配置されている。このシロッ
コファン51の羽根52はケーシング53により囲まれ、この
ケーシング53の前面側に吸込口54が開口され、上部に吹
出口55が開口され、この吹出口55の前側に隔壁部56を介
して孔開き板などにより熱風吹下し口57が設けられてい
る。吹出口55から熱風吹下し口57にわたって炉本体32の
上部内に風圧の均等化を図るための調圧室58が設けられ
ている。
【0028】熱風吹下し口57の下側に加熱室61が形成さ
れ、この加熱室61の下部に孔開き板または金網などの落
下物受体62によりヒータ室63が区画形成され、このヒー
タ室63の一側部にヒータユニット64が設置されている。
このヒータユニット64の上側には、隔壁部65により加熱
室61と区画形成された熱風上昇通路66が設けられ、シロ
ッコファン51の吸込口54に連通されている。
【0029】前記シロッコファン51は、炉本体32に対し
ボルト(図示せず)などにより炉本体32と同様の断熱部
材で形成された脱着可能部71が取付けられ、この脱着可
能部71にスペーサ72を介し送風モータ73の本体がボルト
(図示せず)などにより取付けられ、この送風モータ73
の回転軸74に羽根52が取付けられたものである。
【0030】このシロッコファン51の羽根52はその回転
中心部分に負圧が生ずるから、この羽根52の回転中心部
分と対応する回転軸74の周囲に吸気孔75を設ける。すな
わち、脱着可能部71の中央部に回転軸74よりも大径の穴
を形成することにより吸気孔75を設ける。
【0031】一方、前記シロッコファン51の吹出口55と
対応する炉本体32の上部に排気孔76を設け、この排気孔
76を排気ホース77により外部のフィルタリング装置(図
示せず)に連通する。
【0032】また、炉本体32の背面側にて排気孔76より
も下側から熱風吹下し口57の上側に向って熱電対などの
温度センサ78を挿入し、この温度センサ78により熱風温
度を検出してヒータユニット64を目標値に制御するよう
にしている。
【0033】このようにして、炉本体32の内部にシロッ
コファン51、加熱室61、ヒータユニット64などの熱風循
環系が設けられ、この熱風循環系の加熱室61を経てワー
クとしてのプリント配線基板(以下、単に基板Pとい
う)の搬送コンベヤ38が設けられている。この基板Pの
搬送コンベヤ38は、シロッコファン51の前面側に隔壁部
65を介して配置されている。
【0034】なお、図2ではシロッコファン51が一つし
か示されていないが、四つの空間33〜36の全てにシロッ
コファン51が設けられていることは言うまでもない。ま
た、前記温度センサ78も四つの空間33〜36の全てに設け
られていて、各空間33〜36毎に独立の温度制御がなされ
る。
【0035】次に、この実施形態の作用を説明する。
【0036】ワーク搬入部14より搬送コンベヤ38により
炉本体32内に搬入した基板Pおよび基板搭載部品を、第
1プリヒート空間33、第2プリヒート空間34および第3
プリヒート空間35にて徐々に温度上昇させ、リフロー空
間36にてリフロー温度の雰囲気により基板・部品間のソ
ルダペーストを溶融し、最後に冷却ファン27により基板
Pなどに冷風を吹付けて冷却し、ワーク搬出部15より取
出す。
【0037】リフロー時は、扉体41の観測窓44を通し
て、基板Pのリフロー工程を目視観測し、所謂マンハッ
タン現象などのリフロー不良をチェックする。
【0038】また、シロッコファン51は本来は熱風循環
用であるが、このシロッコファン51による自己吸気およ
び排気作用により、特別な吸排気用ファンがなくても、
炉本体32に設けられた吸気孔75および排気孔76を通じて
炉本体32内の雰囲気の一部を換気し、基板Pに塗布され
ているフラックスから発生したフラックスヒュームなど
のガスを炉本体32内から排気除去し、このガスによる基
板Pへの影響を軽減させるとともに、炉本体32内の設備
への付着を防止し、例えば温度センサ78などに対するフ
ラックスヒュームなどの付着を防止し、長期にわたって
温度制御の安定性などを維持することもできる。すなわ
ち、メンテナンスサイクルの延長を図ることができる。
【0039】この自己吸気および排気作用において、吸
気孔75を通る吸気によりシロッコファン51の回転軸74を
冷却できるから、炉本体32内の高温が回転軸74を経て外
部のモータ73などへ影響するおそれを軽減できる。
【0040】プリヒートまたはリフロー中にコンベヤ38
から基板Pが脱落すると、その基板Pは落下物受体62に
より係止され、ヒータユニット64の上側に落下しない。
また、シロッコファン51の前面側に隔壁部65を介して基
板Pの搬送コンベヤ38が配置されているため、搬送コン
ベヤ38から脱落した基板Pや基板搭載部品がシロッコフ
ァン51の羽根52に当たるなどの問題が生じない。
【0041】すなわち、シロッコファン51を炉本体32の
背面側に配置した片シロッコファン方式の採用により、
炉本体32の前面側にメンテナンス用の扉体41を開閉自在
に配置することが可能となり、この扉体41を開くことに
より、炉本体32内の底部、すなわち落下物受体62まで手
が届き易く、コンベヤ38から脱落した基板Pや基板搭載
部品の取出が容易であり、炉本体32内の掃除やメンテナ
ンス作業も容易に行える利点がある。
【0042】また、高温雰囲気の溜まりやすい炉本体32
内の上部は閉じられたままであり、前面側の扉体41が設
けられた前面開口40の面積は部分的で小さいから、この
前面側の扉体41が開いても、炉本体32内の放熱が抑えら
れ、リフロー炉を再運転する際の温度復帰に従来ほど時
間がかからない。
【0043】さらに、炉本体32の背面側に位置するシロ
ッコファン51には、駆動用の送風モータ73を直結するこ
とができ、ベルト伝動手段などが不要となる。モータ直
結構造は、無端ベルトやベルト切れセンサなどを不要に
するとともに、シロッコファン駆動部の小スペース化お
よび低コスト化などを図ることができる。
【0044】最後に、シロッコファン51のメンテナンス
時は、シロッコファン51と対応する上部カバー31の背面
側対応部分31a を開口すれば、脱着可能部71とともにシ
ロッコファン51を外部へ容易に取出すことができ、シロ
ッコファン51の点検、修理などを容易に行える利点もあ
る。
【0045】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、炉本体の
背面側にシロッコファンが配置されているため、コンベ
ヤから脱落したワークなどがシロッコファンの回転部分
に巻込まれるなどのおそれがなく、また、炉本体の背面
側に位置するシロッコファンには、駆動用のモータを直
結することができ、ベルト伝動手段などが不要となる。
さらに、背面側のシロッコファンにモータを直結して
も、リフロー装置の全高は変わらない。
【0046】請求項2記載の発明によれば、炉本体の背
面側ではシロッコファンの脱着が容易であり、そのメン
テナンスも容易に行なえる。
【0047】請求項3記載の発明によれば、炉本体の前
面側に扉体を設けたから、この前面側の扉体を開くこと
により、炉の底部に手が届き易く、コンベヤから脱落し
たワークの取出が容易であり、炉本体内の掃除やメンテ
ナンス作業を容易に行なえる。さらに、高温雰囲気の溜
まりやすい炉本体内の上部は閉じられたままであり、前
面側の扉体が設けられた開口の面積は部分的で小さいか
ら、この前面側の扉体が開いても、炉本体内の放熱が抑
えられ、炉の上部を開く場合よりも比較的短時間で炉本
体内を温度復帰させることができる。
【0048】請求項4記載の発明によれば、扉体の観測
窓を通して、ワークのリフロー工程を目視観測し、ワー
クのリフローはんだ付け状況をチェックできる。
【0049】請求項5記載の発明によれば、熱風循環用
のシロッコファンによる自己吸気および排気作用によ
り、特別な吸排気用ファンがなくても、炉本体に設けら
れた吸気孔および排気孔を通じて炉本体内の雰囲気の一
部を換気し、ワークに塗布されているフラックスから発
生したガスを炉本体内から排気除去し、このガスによる
ワークへの影響を軽減できるとともに、炉本体内の温度
センサなどに対するフラックスヒュームなどの付着を防
止でき、長期にわたって温度制御の安定性などを維持で
きる。要するに、ワークや炉本体内でのフラックス汚染
を減少させることができ、メンテナンスサイクルを延長
できる。
【0050】請求項6記載の発明によれば、吸気孔を通
る吸気によりシロッコファンの回転軸を冷却でき、炉本
体内の高温が回転軸を経て外部のモータなどへ影響する
ことを軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリフロー装置の一実施形態を示す断面
図である。
【図2】同上リフロー装置の正面図である。
【図3】従来のリフロー装置を示す断面図である。
【符号の説明】
P ワークとしての基板 32 炉本体 38 搬送コンベヤ 41 扉体 44 観測窓 51 シロッコファン 74 回転軸 75 吸気孔 76 排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鞍成 慎作 埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式 会社タムラエフエーシステム内 (72)発明者 山下 文弘 埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式 会社タムラエフエーシステム内 (72)発明者 内田 俊也 埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式 会社タムラエフエーシステム内 (72)発明者 山村 博信 京都府京都市南区吉祥院新田弐ノ▲段▼町 19番地1 株式会社鵬製作所内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炉本体の内部に熱風循環系が設けられ、
    この熱風循環系を経てワークの搬送コンベヤが設けられ
    たリフロー装置において、 炉本体の背面側に熱風循環用のシロッコファンが配置さ
    れたことを特徴とするリフロー装置。
  2. 【請求項2】 シロッコファンは、炉本体に対し脱着可
    能に取付けられたことを特徴とする請求項1記載のリフ
    ロー装置。
  3. 【請求項3】 炉本体の前面側に扉体が開閉自在に設け
    られたことを特徴とする請求項1記載のリフロー装置。
  4. 【請求項4】 扉体にワークを目視可能の観測窓が設け
    られたことを特徴とする請求項3記載のリフロー装置。
  5. 【請求項5】 シロッコファンの吸込側と対応する炉本
    体に吸気孔が設けられ、シロッコファンの吐出側と対応
    する炉本体に排気孔が設けられたことを特徴とする請求
    項1記載のリフロー装置。
  6. 【請求項6】 シロッコファンの回転軸の周囲に吸気孔
    が設けられたことを特徴とする請求項5記載のリフロー
    装置。
JP22717196A 1996-08-28 1996-08-28 リフロー装置 Pending JPH1071464A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22717196A JPH1071464A (ja) 1996-08-28 1996-08-28 リフロー装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22717196A JPH1071464A (ja) 1996-08-28 1996-08-28 リフロー装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1071464A true JPH1071464A (ja) 1998-03-17

Family

ID=16856604

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22717196A Pending JPH1071464A (ja) 1996-08-28 1996-08-28 リフロー装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1071464A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006300435A (ja) * 2005-04-22 2006-11-02 Chugai Ro Co Ltd 循環式焼成炉
JP2008185246A (ja) * 2007-01-29 2008-08-14 Central Glass Co Ltd 加熱炉内の循環ファンケーシング構造
WO2008120526A1 (ja) * 2007-03-29 2008-10-09 Tamura Corporation リフロー装置
JP2016166681A (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 ヤマト科学株式会社 クリーン排気システム
KR20200006468A (ko) * 2018-07-10 2020-01-20 문병훈 리플로우 오븐을 이용한 고온 워페이지 측정장치
KR20200006469A (ko) * 2018-07-10 2020-01-20 문병훈 히터블록을 구비한 리플로우 오븐을 이용한 고온 워페이지 측정장치
KR20200015990A (ko) * 2018-08-06 2020-02-14 문병훈 다중셀 리플로우 오븐을 이용한 워페이지 측정장치
KR102194332B1 (ko) * 2020-06-05 2020-12-23 (주)워프비전 반도체소자의 릴 투 릴 리플로우 장치

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006300435A (ja) * 2005-04-22 2006-11-02 Chugai Ro Co Ltd 循環式焼成炉
JP2008185246A (ja) * 2007-01-29 2008-08-14 Central Glass Co Ltd 加熱炉内の循環ファンケーシング構造
WO2008120526A1 (ja) * 2007-03-29 2008-10-09 Tamura Corporation リフロー装置
JP2008246515A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Tamura Seisakusho Co Ltd リフロー装置
JP2016166681A (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 ヤマト科学株式会社 クリーン排気システム
KR20200006468A (ko) * 2018-07-10 2020-01-20 문병훈 리플로우 오븐을 이용한 고온 워페이지 측정장치
KR20200006469A (ko) * 2018-07-10 2020-01-20 문병훈 히터블록을 구비한 리플로우 오븐을 이용한 고온 워페이지 측정장치
KR20200015990A (ko) * 2018-08-06 2020-02-14 문병훈 다중셀 리플로우 오븐을 이용한 워페이지 측정장치
KR102194332B1 (ko) * 2020-06-05 2020-12-23 (주)워프비전 반도체소자의 릴 투 릴 리플로우 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0547047B1 (en) Soldering apparatus of a reflow type
US20080014542A1 (en) Reflow furnace
JPH1071464A (ja) リフロー装置
JP2003324272A (ja) リフロー炉
JPH10141868A (ja) 昇華物対策付き熱処理装置
JP2003181682A (ja) はんだ付け用冷却装置
JP3454621B2 (ja) 不活性ガス雰囲気炉
JP2011143435A (ja) リフロー装置
JPH10284832A (ja) リフロー半田付け装置
JP2009099762A (ja) リフロー装置、フラックス回収装置およびフラックスの回収方法
JP3409970B2 (ja) 粉末冶金用焼結炉
JP2715267B2 (ja) 熱風吹き出しヒーター
JP2740168B2 (ja) 硬化炉
KR200396256Y1 (ko) 리플로우 납땜장치
JPH04200861A (ja) リフロー装置
JPH0446667A (ja) リフロー装置
JP2003179341A (ja) リフロー用冷却装置およびリフロー装置
JP2518548Y2 (ja) ハンダ装置の排気装置
JP3070271B2 (ja) リフロー装置
JP2005144558A (ja) リフロー炉
JP3045132B2 (ja) リフロー装置
JP3191415B2 (ja) チッソリフロー装置
JP2555876Y2 (ja) エアリフロー装置
JP3920586B2 (ja) 連続焼成炉用リフター装置
JP6028607B2 (ja) フラックスヒューム回収装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20060307

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060315

A02 Decision of refusal

Effective date: 20060705

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02