JP2009099762A - リフロー装置、フラックス回収装置およびフラックスの回収方法 - Google Patents
リフロー装置、フラックス回収装置およびフラックスの回収方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】チャンバ51は、触媒管42を通過した雰囲気ガスが最初に流入する空間である。内部チャンバ52は、チャンバ51内に設けられ、チャンバ51の空間を仕切って形成される空間である。U字状配管53は、チャンバ同士を連通する。軸流ファン54は、冷却用のファンであり、ラジエータ部39を冷却する。回収ボックス55は、U字状配管53の下方に配置されており、冷却によって凝縮したフラックス成分などを回収する。
【選択図】図5
Description
第1の発明は、
1または複数のゾーンのリフロー炉内から炉外に取り出された雰囲気ガスが、フラックス回収ユニットを通過してリフロー炉内に再度戻されるリフロー装置において、
フラックス回収ユニットは、雰囲気ガスを冷却してフラックス成分を凝縮回収するラジエータ部を有し、
ラジエータ部は、チャンバと、
チャンバに連通する第1の配管と、
チャンバ内の空間を仕切って形成され、第1の配管を介してチャンバに連通する第1の内部チャンバと、
第1の内部チャンバに連通する第2の配管と、
チャンバ内に設けられ、チャンバの空間を仕切って形成され、第2の配管を介して第1の内部チャンバに連通する第2の内部チャンバと、
を備え、
雰囲気ガスが、チャンバ、第1の配管および第2の配管のそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が下降し、
第1の内部チャンバおよび第2の内部チャンバのそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が上昇すること
を特徴とするリフロー装置である。
1または複数のゾーンのリフロー炉内から炉外に取り出された雰囲気ガスが通過時に、雰囲気ガスを冷却してフラックス成分を凝縮回収するラジエータ部を有し、
ラジエータ部は、チャンバと、
チャンバに連通する第1の配管と、
チャンバ内の空間を仕切って形成され、第1の配管を介してチャンバに連通する第1の内部チャンバと、
第1の内部チャンバに連通する第2の配管と、
チャンバ内に設けられ、チャンバの空間を仕切って形成され、第2の配管を介して第1の内部チャンバに連通する第2の内部チャンバと、
を備え、
雰囲気ガスが、チャンバ、第1の配管および第2の配管のそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が下降し、
第1の内部チャンバおよび第2の内部チャンバのそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が上昇すること
を特徴とするフラックス回収装置である。
1または複数のゾーンのリフロー炉内から炉外に取り出された雰囲気ガスが流通するガス流通経路において、雰囲気ガス温度の上昇および下降のサイクルを少なくとも2回以上行いながら、雰囲気ガスを冷却し、雰囲気ガス中のフラックス成分を凝縮回収する工程を有することを特徴とするフラックス回収方法である。
図8中の矢印Lは、雰囲気ガスの流れを示すものである。また、説明の便宜上、図8では4つのU字状の配管53の図示を省略している。
配管50〜チャンバ51(T1〜T2)・・・温度下降
配管53a(T2〜T3)・・・温度下降
内部チャンバ52a(T3〜T4)・・・温度上昇
配管53b(T4〜T5)・・・温度下降
内部チャンバ52b内(T5〜T6)・・・温度上昇
配管61(T6〜T7)・・・温度下降
12・・・搬出口
14・・・強制冷却ユニット
15・・・上部加熱装置
16・・・主加熱源
17・・・副加熱源
18・・・軸流ブロワ
19・・・蓄熱部材
20・・・熱風循環ダクト
21・・・開口部
31・・・搬送コンベヤ
32a〜32d・・・配管
35・・・下部加熱装置
38・・・ガス分解部
39・・・ラジエータ部
40・・・配管
41・・・フラックス回収ユニット
42・・・触媒管
43・・・加熱部
50・・・配管
51・・・チャンバ
52、52a、52b・・・内部チャンバ
53、53a、53b・・・U字状配管
54・・・軸流ファン
55・・・回収ボックス
61・・・配管
62・・・ヒータ部
74、84・・・下側内部チャンバ
75、85・・・下側チャンバ
Z1〜Z9・・・ゾーン
Claims (11)
- 1または複数のゾーンのリフロー炉内から炉外に取り出された雰囲気ガスが、フラックス回収ユニットを通過して上記リフロー炉内に再度戻されるリフロー装置において、
上記フラックス回収ユニットは、上記雰囲気ガスを冷却してフラックス成分を凝縮回収するラジエータ部を有し、
上記ラジエータ部は、チャンバと、
該チャンバに連通する第1の配管と、
上記チャンバ内の空間を仕切って形成され、上記第1の配管を介して上記チャンバに連通する第1の内部チャンバと、
該第1の内部チャンバに連通する第2の配管と、
上記チャンバ内に設けられ、上記チャンバの空間を仕切って形成され、上記第2の配管を介して上記第1の内部チャンバに連通する第2の内部チャンバと、
を備え、
上記雰囲気ガスが、上記チャンバ、上記第1の配管および上記第2の配管のそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が下降し、
上記第1の内部チャンバおよび上記第2の内部チャンバのそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が上昇すること
を特徴とするリフロー装置。 - 上記ラジエータ部から取り出された上記雰囲気ガスを、上記リフロー炉内に戻す前に加熱する加熱手段をさらに備えること
を特徴とする請求項1記載のリフロー装置。 - 上記雰囲気ガスが、上記ラジエータ部を通過する前に、上記雰囲気ガスを加熱する加熱手段をさらに備えること
を特徴とする請求項1記載のリフロー装置。 - 上記第1の配管および上記第2の配管は、U字状配管であること
を特徴とする請求項1記載のリフロー装置。 - 上記フラックス回収ユニットは、上記雰囲気ガスが通過し、上記雰囲気ガス中のフラックス成分を分解する触媒管を有するガス分解部をさらに備えること
を特徴とする請求項1記載のリフロー装置。 - 上記ガス分解部は、上記雰囲気ガスが上記触媒管を通過する前に、上記雰囲気ガスを加熱する加熱手段をさらに備えること
を特徴とする請求項5記載のリフロー装置。 - 内部チャンバと、2つの内部チャンバを連通する配管と、からなる構造が繰り返されることを特徴とする請求項1記載のリフロー装置。
- 1または複数のゾーンのリフロー炉内から炉外に取り出された雰囲気ガスが通過時に、上記雰囲気ガスを冷却してフラックス成分を凝縮回収するラジエータ部を有し、
上記ラジエータ部は、チャンバと、
該チャンバに連通する第1の配管と、
上記チャンバ内の空間を仕切って形成され、上記第1の配管を介して上記チャンバに連通する第1の内部チャンバと、
該第1の内部チャンバに連通する第2の配管と、
上記チャンバ内に設けられ、上記チャンバの空間を仕切って形成され、上記第2の配管を介して上記第1の内部チャンバに連通する第2の内部チャンバと、
を備え、
上記雰囲気ガスが、上記チャンバ、上記第1の配管および上記第2の配管のそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が下降し、
上記第1の内部チャンバおよび上記第2の内部チャンバのそれぞれを通過する時に、雰囲気ガス温度が上昇すること
を特徴とするフラックス回収装置。 - 上記フラックス回収ユニットは、上記雰囲気ガスが通過し、上記雰囲気ガス中のフラックス成分を分解する触媒管を有するガス分解部をさらに備えること
を特徴とする請求項8記載のフラックス回収装置。 - 上記ガス分解部は、上記雰囲気ガスが上記触媒管を通過する前に、上記雰囲気ガスを加熱する加熱手段をさらに備えること
を特徴とする請求項9記載のフラックス回収装置。 - 1または複数のゾーンのリフロー炉内から炉外に取り出された雰囲気ガスが流通するガス流通経路において、雰囲気ガス温度の上昇および下降のサイクルを少なくとも2回以上行いながら、上記雰囲気ガスを冷却し、上記雰囲気ガス中のフラックス成分を凝縮回収する工程を有すること
を特徴とするフラックス回収方法。
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- 2007-10-17 JP JP2007269788A patent/JP4902487B2/ja active Active
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