JPH1058333A

JPH1058333A - 研磨シート

Info

Publication number: JPH1058333A
Application number: JP8224621A
Authority: JP
Inventors: Kazuhito Fujii; 和仁藤井; Kojiro Okawa; 晃次郎大川
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1996-08-08
Filing date: 1996-08-08
Publication date: 1998-03-03
Anticipated expiration: 2016-08-08
Also published as: JP3853437B2

Abstract

(57)【要約】【課題】光コネクタフェルールなどの鏡面光沢の精密
仕上げ研磨に使用する研磨シートにおいて、研磨層と裏
面との識別を容易にできる形状の研磨シート及びその製
造方法の提供を課題とする。【解決手段】基材フィルムの一方の側に設けてある研磨
層を判別するために、周辺部又は中央部の非研磨部３
０、又は３０Ｂに判別できる非対称の識別部３を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光コネクターフェ
ルールの端面、シリコーンウエハ表面、ガラスレンズ、
金型の精密仕上げ研磨などに使用される研磨シートに係
わり、該シートの表裏すなわち研磨層の側を識別して、
逆面（基材フィルムの側、以下裏面と記載する。）によ
る研磨を防止した研磨シートに属する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】光コネクターフェルー
ル端面用などの超精密研磨に使用される研磨シートは、
被研磨体を鏡面状に仕上げるものであり、研磨層中の研
磨材の平均粒子径が１０μｍ以下と微細なものが使用さ
れることから、研磨層表面の中心線粗さ（Ｒａ）は１０
μｍ以下と著しく平滑であるものが多い。一方研磨シー
ト用基材フィルムはポリエステル系のものが広く用いら
れており、その物性は透明性を有し、表面が平滑である
ことから、研磨シートの研磨層面と研磨層が形成されて
いない裏面との識別が困難であるという問題があった。
研磨層が透明性あるいは半透明性を有し、研磨シート自
体の全光線透過率が、９０％以上、ヘーズが６０％以下
の場合、上記の表裏の識別は更に困難であった。

【０００３】研磨シートは、ユーザーがその裏面を図２
に示す研磨装置９のゴムパッド７に貼付し、固定治具６
に装着した被研磨体１０を、研磨層４と接触させ、そし
て、回転治具８を自転あるいは公転して被研磨体１０を
鏡面状に仕上げるものである。しかしながら、研磨シー
ト１、研磨層４は、平滑にかつ透明なものであるため、
研磨層と裏面とが間違ってゴムパッドに貼付されるとい
う問題があった。本発明は、研磨層と裏面との判別を容
易に判定できる研磨シートの提供を課題とするものであ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を達成するた
めに本発明の研磨シートは、基材フィルムの一方の側に
設けた研磨層面を判別するために、研磨層側の周辺部又
は中央部に存在する非研磨部に研磨層であることを判別
できる非対称の識別部をもつ研磨シートである。

【０００５】また、上記の識別部が、研磨フィルムの抜
き又は断裁加工により形成された研磨シートである。

【０００６】

【従来の技術】精密機械部品、磁気ヘッドや磁気ディス
クなどの仕上げ研磨、金型の精密仕上げ研磨は、ミクロ
ン又は、サブミクロン単位の精密な表面精度をもつこと
要求されている。このような精密仕上げ研磨は、基材フ
ィルムに高硬度の無機質微粒子を含む研磨層を設け、か
つ表面粗さが極めて小さい研磨シートが使用されてい
た。

【０００７】特に、光コネクターフェルール、シリコー
ンウエハ表面、ガラスレンズなどの精密仕上げを行うと
きは、図２に示すように研磨装置９の回転治具８に設置
したゴムパッド７に研磨テープを所望の大きさ、形状に
断裁又は抜いて制作した研磨シート１を貼付・固定して
研磨作業が行われていることが知られている。研磨シー
トは、裏面の少なくとも一部に粘着剤あるいは接着材を
設けず、ゴムパッド表面の微粘着性を利用して固定する
方法が知られている。

【０００８】研磨工程が仕上げ段階に近くなるほど、ゴ
ムパッドに貼付する研磨シートの研磨材粒子は平均粒子
径の小さいものが使用される。したがって、該シートの
研磨層表面が平滑になるため研磨層と裏面との識別が難
しくなり、裏面で研磨するという誤使用の問題があっ
た。この問題を解決するために、研磨層に表裏の指示を
するシールを添付した研磨シートが、流通している。

【０００９】シールを添付した研磨シートは、シールを
添付する工程の時間と費用必要とするものである。ま
た、研磨工程が研磨液や潤滑油を用いた湿式研磨の場
合、添付したシールの剥離・脱落して研磨面に混入した
り、シールの粘着剤を混入したりするという問題があっ
た。

【００１０】

【発明の実施形態】本発明の研磨シートは、図２に示す
ように、基材フィルム５の一方の側に研磨層４を設けた
研磨シート１が、研磨装置９に貼付され、固定治具６に
装着された被研磨体１０が、図１に示す研磨シート１の
研磨部２で自転あるいは公転の回転で研磨され、研磨シ
ート周辺及び中心部に被研磨体１０と接触しない中心非
研磨部３０Ａ及び周辺非研磨部３０Ｂをもつことに着目
してしたものである。

【００１１】本発明の研磨シートは、図２に示す基材フ
ィルム５の一方の側に設けた研磨層４を判別するため
に、図１に示すように周辺部又は中央部に研磨層面を判
別するための識別部３をもつ研磨シートである。

【００１２】上記の識別部３が、抜き又は断裁加工によ
り形成された研磨シートである。

【００１３】本発明の研磨シートの基材フィルムは、研
磨作業に供して充分に耐える強度と、研磨剤の塗工・乾
燥に耐える強度・耐熱性をもつフィルムから適宜に選択
できる。例えば、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン
などのポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化
ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、
エチレン・ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニ
トリル、ポリアミド、アクリル酸エステル又はメタクリ
酸エステルを主成分とするアクリル樹脂、ポリエチレン
テレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエ
チレンナフタレートなどのポリエステル、ポリアセター
ル、ジ又はトリ・アセチル・セルロースの繊維素誘導体
や、ポリカーボネートなどよりなる延伸あるいは未延伸
のフィルムである。特に研磨層の塗工適性、研磨シート
の後加工適性及び研磨機における取扱いに優れたポリエ
チレンテレフタレート、ナイロン６の二軸延伸フィルム
やポリイミドフィルムの厚さが１２〜１００μｍのもの
が好ましい。

【００１４】基材フィルムは、取り扱い時に発生する静
電気による粉塵の吸着を防止するために帯電防止剤を加
えることが好ましい。帯電防止剤は、通常の非イオン性
界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活
性剤などやポリアミド誘導体やアクリル酸誘導体などを
適宜選択して加えることができる。

【００１５】研磨材に用いる微粒子は、例えば、シリ
カ、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化
ホウ素、酸化ジルコニウム、酸化クロム、ダイヤモン
ド、エメリーなどの粒径が０．０１〜１００μｍのもの
が使用される。また、本発明が記載する精密仕上げ研磨
における研磨剤の微粒子の径は、０．００１〜１０μｍ
のものが広く使用されている。

【００１６】研磨層のバインダーは、飽和ポリエステ
ル、ポリウレタン、塩化ビニル・酢酸ビニル系共重合
体、ビニールブチラール、アクリル樹脂、ポリアルキル
シロキサン、硝化綿、塩化ゴム、環化ゴムなどと各種可
塑剤とよりなるものばかりでなく、ポリエステルポリオ
ール・ポリイソシアネート、ポリエーテルポリオール・
ポリイソシアネート、アルキッド樹脂などのように反応
型のものも使用される。

【００１７】研磨層の塗工は、上記の微粒子とバインダ
ーの溶解性、脱溶媒性及び塗工方法（塗工部における流
動性、乾燥性など）を配慮した溶剤に溶解して作成した
ベヒクルに通常の方法で分散した研磨層用塗工液で行
う。塗工方法は、塗工面の形状、塗工量と塗工精度によ
って選択され、通常のロールコート、グラビアコート
や、バーコートなどのダイレクト又はリバースコートで
行う。また、研磨層の表面に特別の形状を形成するとき
にはグラビア版によるコートが有利な方法である。そし
て、その塗布量は固形分で１〜３０ｇ／ｍ²である。ま
た、研磨層と基材フィルムとの接着を強固に安定するた
めに、基材フィルムにプライマー層を設けることが好ま
しい。プライマー層は、上記バインダーと同種の材料か
ら作成されるワニスの他に、プライマー層としては、若
干粘着性があっても、研磨層でブロッキングを防止でき
る。したがって、基材フィルムと親和性があり、接着力
の強いガラス転移点の低い材料から選択することもでき
る。

【００１８】本発明の研磨シートに設ける識別部は、基
材フィルムに研磨層を塗工した研磨フィルム１０を、図
３〜図８に示すように、図１に示す非研磨部３０Ａ、３
０Ｂの少なくとも１カ所に、所望の形状をもつ研磨シー
ト１を形成するとき、その工程に対応する、抜きあるい
は断裁により同時に構成したり、形状によっては別工程
で作成したりすることができる。もちろん、研磨装置、
被研磨材の形状に応じて研磨作業所で加工することもで
きる。

【００１９】図３に示す非研磨部の中央部に設ける識別
部３１は研磨シート抜き部２１の抜き工程で切除部１３
を同時に抜いて加工することができる。中央部に設ける
識別部３１は、天地左右を判別するため非対称であるこ
とが必要であり容易に確認できる文字、イラストなどか
ら選択できる。但し、識別部の形状によってはゴムパッ
ドに設ける接着剤が表面に析出することがあるから注意
を必要とする。

【００２０】図４に示す研磨シートの周辺部に耳状に設
ける識別部３２は研磨シート抜き部２１を抜く工程で同
時に行うことができる。２カ所に設ける識別部３２は、
非対称の位置に構成することが必要である。耳状の識別
部３２は、研磨作業を終了後、ゴムパッドから剥離する
とき摘みとして好適の効果を奏するものである。

【００２１】図５に示す研磨シートの周辺部に抜き欠い
た周辺部に設ける抜き凹状の識別部３３は研磨シート抜
き部２１を抜く工程で同時、又は研磨シートの所望形状
に作成した後に、マーク形状で断裁又は抜き加工で構成
することができる。２カ所に設ける識別部３３は、非対
称の位置に構成することが必要である。識別部の形状に
よってはゴムパッドに設ける接着剤が表面に析出するこ
とがあるから注意を必要とする。

【００２２】図６に示す非研磨部の中央部に設ける舌片
状の識別部３４は研磨シート抜き部２１の抜き工程で同
時に行うことができる。中央部に設ける舌片状の識別部
３４は、抜き立ちがあるため必ずしも非対称である必要
はない。抜いた状態で移送するものは、非対称にして研
磨層が容易に確認できる文字、イラストなどから選択す
るほうが好ましい。研磨シートの中央部に設ける識別部
の舌片は、ゴムパッドに塗布する接着剤が表面に析出す
ることを防止できる効果を奏する。

【００２３】図７に示す研磨シートの周辺部に耳状に設
ける抜き立て型の識別部３５は研磨シート抜き部２１の
抜き工程と同時に行うことができる。周辺部に設ける舌
片状識別部３５は、抜き立て型があるため必ずしも非対
称である必要はない。抜いた状態で移送するものは、非
対称にして研磨層が容易に確認できる文字、イラストな
どから選択するほうが好ましい。抜き立て型の識別部の
耳片３５は、研磨作業を終了後、ゴムパッドから剥離す
るとき摘みとして好適の効果を奏することができる。

【００２４】図８に示す、二辺の長さが異なる矩形状に
形成される研磨シートの識別部は、、その長さの相違に
よって左右を識別し、更にその上下はコーナーの切除部
１３を形成する二辺に断裁による識別部を設けることで
判別できる。例えば単に１コーナーを切り落とした図８
（Ａ）に示すコーナー断裁識別部３６、図８（Ｂ）に示
す切込みを入れたコーナー切込状識別部３７、図８
（Ｃ）に示す断裁で耳を形成したコーナー耳状識別部３
８あるいはコーナーの近くに穴を形成したコーナー穴状
識別部３９を設けて構成できる。

【００２５】四辺の長さが等しい、正方形又は図示はし
ないが菱形状の研磨シートに本発明の識別部を設けるに
は、円形状の研磨シートと同様に、図３〜図７に示すそ
の中心部に図３と同様に非対称の中央部抜き識別部３
１、周辺部耳状識別部３２、周辺部抜き凹状識別部３
３、中央部舌片状識別部３４、又は周辺部舌片状識別部
３５を形成することができる。正方形状の研磨シート
は、研磨フィルムから、抜き型を必要としない単なる断
裁で作成できるが、図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すコーナー
部に単なる断裁あるいは、パンチングによる識別部３
６、３７、３８及び３９の形状では、左右の位置を特定
することが困難である。このようなときには、図９に示
すように一コーナーと隣接する２ケ所の辺にちがう形で
コーナー部異形状識別部４０を設けることができる。

【００２６】

【実施例】基材フィルム５として、厚さが７５μｍの易
接着処理ポリエステルフィルムの処理面に下記組成の研
磨層塗工液を５ｇ／ｍ²塗工し研磨層４を設けた研磨フ
ィルム１０を作成した。（研磨層用塗工液）・オルガノシリカゾル平均粒子径０．０７μｍ７０重量部アルコール溶媒、固形分３０％・ポリアルキルシロキサン樹脂溶液３０重量部アルコール溶媒、固形分３０％上記研磨フィルムの研磨層４の表面は、中心線平均粗さ
（Ｒａ）が０．０５μｍと平滑であり、研磨フィルムは
全光線透過率が９０％、ヘーズが５０％の透明なもので
あり、研磨層と裏面との判別が困難なものであった。

【００２７】上記研磨フィルム１０を、図１に示す非研
磨部３０Ａに図４に示す周辺耳状抜き識別部３２の形状
をもつ識別部３を設けた研磨シート１を構成した。該研
磨シート１は、表裏の光沢が極めて類似しているにもか
かわらず、識別部３により裏面を容易に判別でき、図２
に示す研磨装置９のゴムパッド７に設けるとができた。
また、使用後は、識別部３を摘んでゴムパッド７から剥
離することができた。

【００２８】

【発明の効果】研磨シートの周辺部又は中央部に目視又
は感触で識別できる非対称の識別部を抜き又は断裁加工
で構成することにより研磨層と裏面とを識別できる効果
を奏する。したがって、超精密研磨に使用される研磨層
の粒子が１０μｍ以下でその表面粗さ（Ｒａ）も１０μ
ｍ以下の平滑で、かつ、全光線透過率は９０％以上、ヘ
ーズが６０％以下と透明性を有し裏面との判別が困難な
研磨シートにおいても、その研磨層面と裏面との識別が
容易にすることができた。また、研磨シートの周辺部に
設けた耳状の識別部は、研磨を終了後のシートをゴムパ
ッドから剥離するときに摘みの効果を奏するものであっ
た。そして、識別部は、シールを貼着するなどの別のも
のを使用せず、所望形状の研磨シートを作成するとき同
一の工程で加工できる生産性がよいものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】研磨シートに識別部を設ける位置を示す概略の
平面図である。

【図２】研磨シートを設ける研磨装置の断面概略図であ
る。

【図３】中央部に識別部を設けた研磨シートの概略の平
面図である。

【図４】周辺部に耳状識別部を設けた研磨シートの概略
の平面図である。

【図５】周辺部に他形状の識別部を設けた研磨シートの
概略の平面図である。

【図６】中央部に舌片状の識別部を設けた研磨シートの
概略の平面図である。

【図７】周辺部に耳状の識別部を設けた研磨シートの概
略の平面図である。

【図８】矩形状の研磨シートに設ける識別部を説明する
概略の平面図である。（Ａ）コーナー断裁識別部の一例である。（Ｂ）コーナー切込み識別部の一例である。（Ｃ）コーナー耳状識別部の一例である。（Ｄ）コーナー穴状識別部の一例である。

【図９】正方形状の研磨シートに識別部を設けた概略の
平面図である。

【符号の説明】

１研磨シート２研磨部３識別部４研磨層５基材フィルム６固定治具７ゴムパッド８回転治具９研磨装置 10 被研磨体 13 切除部 21 研磨シート抜き部 30A 中央非研磨部 30B 周辺非研磨部 31 中央部抜き識別部 32 周辺部耳状識別部 33 周辺部抜き凹状識別部 34 中央部舌片状識別部 35 周辺部舌片状識別部 36 コーナー断裁識別部 37 コーナー切込み識別部 38 コーナー耳状識別部 39 コーナー穴状識別部 40 コーナー異形状識別部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材フィルムの一方の側に設けた研磨層
面を判別するために、研磨層側の周辺部又は中央部に存
在する非研磨部に研磨層であることを判別できる非対称
の識別部をもつことを特徴とする研磨シート。
【請求項２】請求項１記載の識別部が、抜き又は断裁
加工により形成されたものであることを特徴とする研磨
シート。