JPH1071572A

JPH1071572A - 研磨テープ及びその製造方法

Info

Publication number: JPH1071572A
Application number: JP24397896A
Authority: JP
Inventors: Kojiro Okawa; 晃次郎大川; Kazuhito Fujii; 和仁藤井
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1996-08-28
Filing date: 1996-08-28
Publication date: 1998-03-17

Abstract

(57)【要約】【課題】精密部品用研磨テープにおいて、研削のとき
に研削傷がなく、耐久性がある最終仕上げに適した研磨
テープを提供する。【解決手段】基材フィルム５の一方の側にプライマー層
６、及び表面中心線平均粗さＲａが０．００５〜２．０
μｍ、全光線透過率が５０〜９０％であり、かつヘイズ
値が５〜７０％である研磨層７である研磨テープ４の研
磨層６を、研磨材粒子の平均粒形が１０〜７００ｎｍの
複合酸化物とバインダーとから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光コネクタフェル
ール、半導体ウエハ、セラミックス、液晶表示用カラー
フィルター、プラズマディスプレイ、光学ガラス、光学
レンズ、磁気ディスクあるいは光ディスク基板、磁気ヘ
ッド、光学読み取りヘッドなどの精密部品の表面や端面
などに対する最終仕上げを行うために使用する研磨テー
プ、その製造方法及び研磨テープ用塗工液の調整に属す
る。

【０００２】

【従来の技術】光ファイバーや半導体ウエハは、最終の
鏡面仕上げを行う研磨工程の精度により、その品質が左
右され、メカニカルポリッシングとよばれる研磨液と研
磨布とを併用して最終仕上げ研磨が行われている。そし
て、上記の研磨液を用いる方法は、研磨工程が煩雑とな
り、これにかわる方法として研磨テープを使用する方法
が考えられている。この研磨テープは、主にプラスチッ
クから形成される研磨テープ用の基材フィルムに対して
研磨材粒子をバインダー（研磨材粒子を基材フィルムに
固着させるもので、合成・天然樹脂、可塑剤、滑剤、帯
電防止剤などから構成される。）を塗工工程に適した溶
剤に溶解したワニスに分散させた塗工液を塗工・乾燥し
て研磨層を形成するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】研磨テープの研磨材粒
子としては、シリカやアルミナが用いられている。しか
しながら、シリカは固さがアルミナより劣り、研削効率
の点からは満足できるものではない。一方、アルミナ
は、微細な羽毛状粒子の集合体として得られるため、研
削のとき微細な研削傷を発生するなどの問題点がある。

【０００４】本発明は、上記の欠点や問題点を考慮し、
研削傷を発生すことがなく、研削効率がよい光コネクタ
フェルールの端面や、半導体ウエハ表面などの精密部品
の鏡面仕上げを精度よく行うことができる研磨テープと
その製造方法の提供を課題とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明の精密部品研磨用のテープは、基材フィルム
の一方の側にプライマー層、及び表面中心線平均粗さＲ
ａが０．００５〜２．０μｍ、全光線透過率が５０〜９
０％であり、かつヘイズ値が５〜７０％である研磨層を
もつ研磨テープであって、該研磨層が、平均粒形が１０
〜７００ｎｍの複合酸化物粒子とバインダーとから構成
される研磨テープである。そして、前記複合酸化物粒子
が、アルミナ・シリカの複合酸化物粒子の研磨テープで
ある。また、前記アルミナ・シリカの複合酸化物粒子
が、ムライト相を主成分とする球状粒子の研磨テープで
ある。そして、前記バインダーが、有機及び／又は無機
の複合樹脂、又はオルガノポリシロキサンなどのシロキ
サン結合をもつシリコーン系樹脂の研磨テープである。
また、前記基材フィルムが厚さ５０〜１００μｍのポリ
エステルフィルムであることを特徴とする請求項１乃至
４に記載の研磨テープ。そして、前記基材フィルムに設
けるプライマー層は、未延伸又は一軸延伸のいずれかの
フィルムにプライマー層塗工液を塗工・乾燥後、更に延
伸、熱処理加工を施し、基材フィルムと該プライマー層
との接着を強固に形成した二軸延伸フィルムである研磨
テープである。また、研磨層をの塗工液が、溶剤に湿潤
・分散した平均粒子径が１０〜７００ｎｍの研磨材粒子
と、塗工用溶剤に溶解したバインダーとからなり、かつ
該研磨材粒子とバインダーとの重量比が、２０：８０〜
９０：１０で構成される塗工液を基材フィルムに塗工す
る研磨テープである。

【０００６】前記の研磨層が、上記塗工液を、２〜１０
μｍのフィルターで濾過した後、３０〜４０℃、同温度
に於ける相対湿度が３０〜８０％の雰囲気下の塗工部
で、塗工・乾燥・固化・硬化する研磨テープの製造方法
である。また、上記の研磨層は、グラビアリバースコー
トで塗工して設ける研磨テープの製造方法である。前記
研磨層が、塗工液を塗工・乾燥・固化後、更に１００℃
１０分を上回る熱処理で硬化反応を完結する研磨テープ
の製造方法である。

【０００７】本発明でいうアルミナ・シリカの複合酸化
物粒子が、ムライト相を主成分とする球状粒子とは、一
種の結晶化ガラス構造のムライト相をもち、そして、そ
の化学組成は、３Ａｌ₂Ｏ₃・２ＳｉＯ₂を示されるア
ルミニウムとケイ素との複合酸化物である。緻密組織
で、耐熱性（最高使用温度は約１５００℃）、電気絶縁
性、機械的強度に優れたセラミック材料である。そし
て、鉄、チタンの酸化物を含むと屈折率が増加する傾向
がある。金属粉などを酸化気流中で燃焼合成することに
より、複合酸化物として作成したもののうち、粒子径１
０〜７００ｎｍの球状に近い形状のものを研磨テープに
使用するものである。

【０００８】また、ムライト相を主成分とする球状粒子
は、略ぼ球状の構造をもつ『アルミナ・シリカの複合酸
化物』からなる粒子を使用することができる。球状粒子
は、球形状あるいは偏平な楕円形状に近い形状のように
表面が滑らかで曲面で囲まれていればよい。特に粒子の
表面に突起や角がないいわゆるカッティングエッジがな
い球状が好ましい。また、ムライト相のアルミナ・シリ
カの複合酸化物粒子は、研磨材粒子として用いて、非晶
質のシリカ、羽毛状粒子のアルミナとは異なり球形状の
緻密な組成をもち、そのモース硬度は、シリカの６より
硬くアルミナの１１に近傍の値であり、かつ、その耐熱
温度は、シリカの１０００℃、アルミナの１１００℃よ
り高い１５００℃を示すものである。

【０００９】

【発明の実施形態】本発明の研磨テープ４は、図１に示
すように、基材フィルム５の一方の側にプライマー層、
及び表面中心線平均粗さＲａが０．００５〜２．０μ
ｍ、全光線透過率が５０〜９０％であり、かつヘイズ値
が５〜７０％である鏡面に近い研磨層７をもつ研磨テー
プ４である。そして、該研磨層７が、平均粒形が１０〜
７００ｎｍの複合酸化物粒子とバインダーとから構成さ
れるものである。

【００１０】本発明の研磨テープの基材フィルムは、研
磨作業に供して充分に耐える強度と、研磨材の塗工・乾
燥に耐える強度・耐熱性、保護フィルムと積層したあと
で寸法変化が少ないフィルムから適宜に選択できる。例
えば、高密度ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリ
オレフィン系樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポ
リ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン・
ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニトリル、ポ
リアミド、アクリル酸エステル又はメタクリ酸エステル
を主成分とするアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレートなどのポリエステル、ポリアセタール、ジ又は
トリ・セルロースアセテートの繊維素誘導体や、ポリカ
ーボネートなどよりなる延伸あるいは未延伸のフィルム
である。

【００１１】基材フィルムに、粉塵の付着を防止するた
めに帯電防止剤を加えることが好ましい。帯電防止剤
は、通常の非イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性
剤、陽イオン性界面活性剤などやポリアミド誘導体やア
クリル酸誘導体などを適宜選択して加えることができ
る。

【００１２】特に研磨層の塗工適性適性、後加工適性及
び研磨機における取扱いに優れたポリエチレンテレフタ
レート、ナイロン６の二軸延伸フィルムやポリイミドフ
ィルムの厚さが１２〜１００μｍのものが選ばれる。そ
して、プライマー層又は研磨層を塗工する側には、コロ
ナ放電処理、オゾンガス処理などの易接着処理を施すこ
とが好ましい。好ましい基材フィルムは、種類が多く、
変成し易いポリエステルであり、特に耐熱性、剛性があ
るポリエチレンテレフタレートの二軸延伸フィルムと他
のポリエステルをプライマー層として設けたの５０〜１
００μｍのフィルムである。

【００１３】本発明のプライマー層は、基材フィルムの
種類によっても異なるが、塩化ビニル・酢酸ビニル系共
重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール系樹
脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリアクリル酸アル
キルやポリメタアクリル酸アルキルなどのアクリル系樹
脂、エチレン系共重合体、ゴム系誘導体、ポリエステル
系樹脂、ポリアミド系樹脂、フェノール系樹脂、エポキ
シ系樹脂、アミノプラスト、ポリウレタン系樹脂、シリ
コーン系樹脂、セルロース誘導体などを主成分とするワ
ニスを、未延伸フィルム又は一軸延伸フィルムに塗工し
たのち、更に二軸延伸加工処理を施したりして基材フィ
ルムとプライマー層との間の接着強度を強固にしたり、
あるいは、単に延伸フィルムに塗工したりして形成す
る。

【００１４】研磨層と基材フィルムとの接着を強固に安
定するために、設けるプライマー層は、上記バインダー
と同種の材料から作成されるワニスの他に、プライマー
層としては、若干粘着性があっても、研磨層でブロッキ
ングを防止できる。したがって、基材フィルムと親和性
があり、接着力の強いガラス転移点の低い材料から選択
することもできる。そして、これらのワニスの種類によ
ってはイソシアネートなどの硬化剤を添加することによ
り接着を強固にできる。

【００１５】プライマー層は、未延伸フィルム又は一軸
延伸フィルムに塗工したのち延伸加工をすることによ
り、プライマー層がフィルムと熱溶着され、基材フィル
ムとプライマー層との接着を強固にすることができる。
また、プライマー層は、塗工ばかりでなく、共押出しフ
ィルムの延伸加工によっても形成できる。例えば、ポリ
エチレンテレフタレートと線状ポリエステル（例えば二
次転移点Ｔｇが、４０〜１３０℃のポリエステル）又は
ポリプロピレンとエチレン・酢酸ビニル共重合体にみら
れるように基材フィルムとなる樹脂よりは異なる（低
い）結晶化温度をもつ、プライマー層となる樹脂とを共
押出し製膜したのち延伸することにより厚み精度がよ
く、研磨層との接着が安定した基材フィルムを形成する
こともできる。

【００１６】研磨材粒子は、非晶質のシリカ、羽毛状粒
子のアルミナとは異なり、略ぼ球状の構造をもつ『アル
ミナ・シリカの複合酸化物』粒子からなるムライト相を
主成分とするものである。精密部品用の研磨材に適する
研磨テープに使用することから、１０〜７００ｎｍの球
状の一次粒子であるものが好ましい。一般に、研磨材の
粒子径が小さい程、塗工液に配合できる含有量が高く、
粒子径が大きい程含有量を低くする必要がある。そし
て、１０ｎｍより小さいときは、研削効果をあげること
ができず、７００ｎｍより大きいときは被研磨材料に擦
り傷を与えることがある。したがって、１０〜７００ｎ
ｍの略ぼ球状の複合酸化物粒子が好ましく使用できる。

【００１７】そして、平均粒形が１０〜７００ｎｍの超
微粒子を、粘性があるワニスと均一に分散するために
は、例えば、アルミナ・シリカ複合酸化物粒子をイソプ
ロピルアルコールなどとの溶剤に湿潤したり、非イオン
性界面活性剤や陰イオン性界面活性剤を添加したりした
物とを混合して塗工液を調整して、１０〜７００ｎｍの
粒子を塗工液中に凝集することなく作成することができ
る。好ましくは、溶剤に湿潤・充分に分散した研磨材粒
子を更に溶剤を少量づつ加えながら充分に分散して均一
に攪拌し、溶剤に溶解したバインダーを少量づつ加えな
がら充分に攪拌し、分散状態のよい塗工液を調整する。
調整した、塗工液は、２〜１０μｍのフィルターで濾過
を行い、沈殿などのため二次凝集した研磨材粒子を除去
したのち塗工に供することが好ましい。

【００１８】研磨層の有機無機複合ポリマーを硬化する
ために、亜鉛、マンガン、ジルコニウム、ランタン、す
ずなどの有機金属化合物を添加して塗工液を作成するこ
ともできる。

【００１９】本発明のバインダーは、有機及び無機の複
合樹脂、又はその構造中にシロキサン結合〔シロキサン
結合：（−Ｓｉ−Ｏ−）n 〕をもつプレポリマー、オリ
ゴマー、又はポリマーなどを使用することができる。そ
して、ポリシロキサンやそれらの誘導体や変成物、ある
いはそれらのブレンド物などとして使用する。

【００２０】具体的には、ポリシロキサンを構成するモ
ノマー、プレポリマー若しくはオリゴマー又はポリマー
と、例えば、アクリル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポ
リ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリビニ
ルアルコール系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ゴ
ム状ポリマー、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹
脂、フェノール系樹脂、アミノプラスト、エポキシ系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、セルロース誘導体などのモノ
マー、プレポリマー若しくはオリゴマー又はポリマーと
を、混合あるいは反応し、そのブレンド物、あるいは反
応生成物を使用できる。そして、硬化剤の添加量は、有
機無機複合ポリマーに対して、０．０００１〜３５重量
％（固形分比）である。

【００２１】特に、本発明においては、ポリエチレン系
樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、
アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系
樹脂などのプレポリマー若しくはオリゴマーあるいはポ
リマーを主鎖とし、その側鎖にポリシロキサンのプレポ
リマー若しくはオリゴマーあるいはポリマーを例えばグ
ラフト重合によって反応させ、主鎖部分を有機性化合物
で構成し、側鎖部分をシロキサン結合からなる無機性化
合物で構成した有機無機複合ポリマーあるいは、そのプ
レポリマー若しくはオリゴマーなどを使用することが好
ましい。上記の有機無機複合ポリマーを研磨層のバイン
ダーに使用することによって、研磨材粒子が塗工液ある
いは研磨層中で部分的に凝集することがなく、均一に塗
工でき精密部品用の微細な研磨に適した研磨テープを構
成できるものである。

【００２２】塗工液のアルミナ・シリカ複合酸化物粒子
とバインダー（有機無機複合ポリマー）との重量比率
は、２０：８０〜９０：１０であることが望ましい。粒
子の比率が９０重量％を超えると、粒子が脱落し易く、
２０重量％に満たないときは、研削効果が発揮できな
い。

【００２３】上記のように溶剤に湿潤した１０〜７００
ｎｍのアルミナ・シリカ複合酸化物粒子とバインダー
（有機無機複合ポリマー）との重量比率は、２０：８０
〜９０：１０で構成された塗工液を用いて研磨テープを
作成する。すなわち、図１に示すように、基材フィルム
５として例えば厚さが１０〜２００μｍ好ましくは５０
〜１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの
一方の側に所望に応じて、エポキシ樹脂、アクリル樹脂
又はポリエステルなどを主成分とする、基材フィルムの
プライマー層６を設ける。

【００２４】次いで、凹版のドクター作用で塗工量を均
一に安定して規制できる、グラビア版を用いるグラビア
リバース法で０．５〜１０ｇ／ｍ²（本明細書において
は、塗工量は、固形分ｇ／ｍ²で記載する。）、好まし
くは３〜５ｇ／ｍ²研磨層を設けて塗工・乾燥・固化す
る。また、シロキサン結合を含む本発明のバインダー
は、温度と湿度とで硬化反応がすすむものである。した
がって、塗工をするときの雰囲気は可能な限り高温度
で、高湿度であることが好ましい。しかしながら、高温
度、高湿度が極端になったときは、塗工液が、グラビア
版面で硬化したり、塗工された研磨層の硬化反応が不均
一になったり、塗工前の塗工液が縮合反応をしてゲル状
ものを発生したりする問題がある。したがって、３０〜
４０℃、同温度の相対湿度が３０〜８０％が好ましい条
件である。更に、反応を完結する目的で、１００℃１０
分に相当する熱処理を８０〜１２０℃で施すことにより
硬化反応を均一に完結させ、耐久性をもつ研磨層を構成
できる。

【００２５】このようにして作成された研磨テープの研
磨層の表面中心線平均粗さＲａは、０．００５〜２．０
μｍの範囲にある精密部品用研磨層として適したものを
構成できる。そして、プライマー層を設けたことによる
クッション効果で被研磨材に研削傷を生じることがな
く、研削効率を向上させた耐久性をもつ精密部品用研磨
テープを構成できる。

【００２６】上記の研磨テープは、図２に示すように回
転する金属板よりなる支持体９に弾性エラストマー８を
介して、本発明の研磨テープを４を載置する。研磨作業
は、研磨テープ４の上で、光ファイバー２の被覆部３を
除いた光コネクタフェルールの端面を約３０〜６０秒の
間研磨する。アルミナ・シリカ複合酸化物粒子を使用し
た本発明の研磨テープは、被研磨面に研削傷を生ずるこ
とがなく効率よく研磨することができる。

【００２７】以下、実施例について本発明を更に詳細に
説明する。

【実施例】

（実施例１〜３）表１に示す組成でセラミックコート材
である（有機無機複合ポリマーシリコーンワニス）と、
イソプロピルアルコールに湿潤した平均粒子径５００〜
７００ｎｍのムライト相アルミナ・シリカ複合酸化物粒
子とを主成分とした実施例１、２及び３の研磨層用塗工
液を作成した。次いで、製膜工程で図１に示す厚さ７５
μｍのプライマー層６を製膜時の延伸加工時に設けた易
接着性ポリエチレンテレフタレートフィルムを基材フィ
ルム５として、そのプライマー層６に、上記の各塗工液
を濾過精度５μｍの濾過を施して、３５℃、相対湿度４
０％の雰囲気下で斜線凹版のグラビアリバースコートで
９ｇ／ｍ²塗工して、乾燥・固化し、更に１００℃で１
０分間の熱処理を行い実施例１〜３の研磨テープ４を形
成した。

【００２８】（実施例４〜６）基材フィルム５として厚
さ７５μｍのポリエステル（易接着性ポリエチレンテレ
フタレートフィルム）のコロナ放電処理を施した易接着
処理面の側にエポキシ系プライマー層をグラビアリバー
スコートで１ｇ／ｍ²塗工してプライマー層６を形成し
た。次いで、上記実施例１〜３の研磨層用塗工液をプラ
イマー層６に、実施例１と同様にして濾過した塗工液
を、３５℃、相対湿度４０％の雰囲気下で斜線凹版のグ
ラビアリバースコートで９ｇ／ｍ²塗工して、乾燥・固
化し、更に１００℃１０分間の熱処理を行い実施例４〜
６の研磨テープ４を形成した。

【００２９】（実施例７〜９）表１に示す組成でセラミ
ックコート材有機無機複合ポリマーシリコーンワニス
と、イソプロピルアルコールに湿潤した平均粒子径７０
〜１２０ｎｍのムライト相アルミナ・シリカ複合酸化物
粒子とを主成分とした実施例７、８及び９の研磨層用塗
工液を作成した。次いで、実施例１と同様の基材フィル
ム５のプライマー層６に、上記の各塗工液を、実施例１
と同様にして濾過して、３５℃、相対湿度４０％の雰囲
気下で斜線凹版のグラビアリバースコートで６ｇ／ｍ²
塗工して、乾燥・固化し、更に１００℃１０分間の熱処
理を行い、実施例７〜９の研磨テープ４を形成した。

【００３０】（実施例１０）表１に示す組成で有機無機
複合ポリマーシリコーンワニスと、イソプロピルアルコ
ールに湿潤した平均粒子径７０〜１２０ｎｍのムライト
相アルミナ・シリカ複合酸化物粒子とを主成分として実
施例１０の研磨層用塗工液を作成した。次いで、実施例
１と同様に、図１に示すプライマー層を設けた基材フィ
ルム５のプライマー層６に、上記の塗工液を、実施例１
と同様にして濾過して、３５℃、相対湿度４０％の雰囲
気下で斜線凹版のグラビアリバースコートで６ｇ／ｍ²
塗工して、乾燥・固化し、更に１００℃１０分間の熱処
理を行い、実施例１０の研磨テープ４を形成した。

【００３１】（実施例１１）表１に示す組成で水分散系
ポリエステルワニスと、イソプロピルアルコールに湿潤
した平均粒子径７０〜１２０ｎｍのムライト相アルミナ
・シリカ複合酸化物粒子とを主成分とし、アンモニア水
を添加してｐＨ７に調整して実施例１１の研磨層用塗工
液を作成した。次いで、図１に示す基材フィルム５とし
て、厚さ７５μｍのポリエステルフィルムの面に実施例
４で使用したプライマーを塗工してプライマー層６を設
け、上記塗工液を３本リバースロールコートで３０ｇ／
ｍ²塗工・乾燥・固化し、更に１００℃１０分間の熱処
理を行い、実施例１１の研磨テープ４を形成した。

【００３２】

【比較例】

（比較例１）表１に示す組成でセラミックコート材（有
機無機複合ポリマーシリコーンワニス）と平均粒子径７
０〜１２０ｎｍのオルガノシリカゾルとを主成分とし、
比較例１及び２の研磨層用塗工液を作成した。次いで、
実施例１に使用したフィルム基材フィルム５のプライマ
ー層６に、上記の各塗工液を、斜線凹版のグラビアリバ
ースコートで６ｇ／ｍ²塗工して、乾燥・固化しして比
較例１の研磨テープ４を形成した。

【００３３】（比較例２）表１に示す組成で、水分散系
ポリエステル系ワニスと、平均粒子径７０〜１２０ｎｍ
のオルガノシリカゾルとを主成分とし、比較例２の研磨
層用塗工液を作成した。次いで、実施例１に使用したフ
ィルム基材フィルム５のプライマー層６に、上記の各塗
工液を、斜線凹版のグラビアリバースコートで６ｇ／ｍ
²塗工して、乾燥・固化して比較例２の研磨テープ４を
形成した。（以下余白）

【００３４】

【表１】実施例及び比較例の研磨テープの構成但し、略語・符号は、下記のものを意味する。添加剤は微量のため配合比には含めていない。

【００３５】・Ｆ１：未延伸ポリエステルフィルム・Ｆ２：二軸延伸ポリエステルフィルム・Ｆ３：低熱収縮二軸延伸ポリエステルフィルム・Ａ１：ムライト相アルミナ・シリカ複合酸化物粒子、
平均粒子径５０〜７００ｎｍ・Ａ２：ムライト相アルミナ・シリカ複合酸化物粒子、
平均粒子径７０〜１２０ｎｍ・Ｓ３：オルガノシリカゾル平均粒子径７０〜１２０ｎ
ｍ・Ｓ１：セラミックコート材・Ｋ２：シリコーンワニス、・Ｂ４：水分散系ポリエステルワニス・硬：硬化剤・分：分散剤・ＥＰ：エポキシ系プライマー（以下余白）

【００３６】

【表２】実施例及び比較例の評価結果但し、研磨結果： ◎：非常に良好 ○：良好 △：実用性にやや問題があるが使用中

【００３７】実施例及び比較例の各試料について、図２
に示す光ファイバー２の光コネクタフェルール端面１１
の最終仕上げを行った結果、実施例１〜１１の試料は、
研磨傷、研磨斑が全くない仕上がり精度、耐久性とも良
好で効率よく作業することができ、信号の減衰特性が良
好な光コネクタフェルールを仕上げられた。これに対し
て比較例のものは、実施例のものと同様に光コネクタフ
ェルール端面１１の最終仕上げを行った結果、研磨傷や
研磨斑は発生しなかったが、研削効率及び研磨テープの
耐久性は実施例のものと比較して、約８０％のものであ
った。

【００３８】また、実施例及び比較例の各試料につい
て、半導体ウエハ、金属、セラミックス、液晶表示用カ
ラーフィルター、プラズディスプレイ、光学ガラス、光
学レンズ、磁気ディスクあるいは光ディスク基板、磁気
ヘッド、光学読取ヘッドなどの精密部品に対して、光コ
ネクタフェルールと同様の仕上げ研磨を行った。この結
果、光コネクタフェルールと同様に、研磨傷や研磨斑が
なく、信号の減衰特性が良好な仕上げを効率よく行うこ
とができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】研磨テープ積層体の断面構成を示す概略図であ
る。

【図２】研磨フィルムをパッドに装着した状態を示す断
面概略図である。

【符号の説明】

１光コネクタフェルール２光ファイバー３被覆部４研磨テープ５研磨テープ用基材フィルム６プライマー層７研磨層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材フィルムの一方の側にプライマー
層、及び表面中心線平均粗さＲａが０．００５乃至２．
０μｍ、全光線透過率が５０乃至９０％であり、かつヘ
イズ値が５乃至７０％である研磨層をもつ研磨テープで
あって、該研磨層が、平均粒形が１０乃至７００ｎｍの
複合酸化物粒子とバインダーとから構成されることを特
徴とする研磨テープ。
【請求項２】前記複合酸化物粒子が、アルミナ・シリ
カの複合酸化物粒子であることを特徴とする請求項１記
載の研磨テープ。
【請求項３】前記アルミナ・シリカの複合酸化物粒子
が、ムライト相を主成分とする球状粒子であることを特
徴とする請求項１乃至２に記載の研磨テープ。
【請求項４】前記バインダーが、有機及び／又は無機
の複合樹脂、又はオルガノポリシロキサンなどのシロキ
サン結合をもつシリコーン系樹脂であることを特徴とす
る請求項１乃至３に記載の研磨テープ。
【請求項５】前記基材フィルムが厚さ５０乃至１００
μｍのポリエステルフィルムであることを特徴とする請
求項１乃至４に記載の研磨テープ。
【請求項６】前記基材フィルムに設けるプライマー層
は、未延伸又は一軸延伸のいずれかのフィルムにプライ
マー層塗工液を塗工・乾燥後、更に延伸、熱処理加工を
施し、基材フィルムと該プライマー層との接着を強固に
形成した二軸延伸フィルムであることを特徴とする請求
項１乃至５のいずれかに記載の研磨テープ。
【請求項７】請求項１乃至６に記載の研磨層を形成す
る塗工液が、溶剤に湿潤・分散した平均粒子径が１０乃
至７００ｎｍの研磨材粒子と、塗工用溶剤に溶解したバ
インダーとからなり、かつ該研磨材粒子とバインダーと
の重量比が、２０：８０乃至９０：１０で構成される上
記塗工液を基材フィルムに塗工することを特徴とする研
磨テープ。
【請求項８】請求項１乃至６に記載の研磨層が、請求
項７記載の塗工液を、２乃至１０μｍのフィルターで濾
過した後、３０乃至４０℃、同温度に於ける相対湿度が
３０乃至８０％の雰囲気下の塗工部で、塗工・乾燥・固
化・硬化することを特徴とする研磨テープの製造方法。
【請求項９】請求項１乃至７に記載の研磨層は、グラ
ビアリバースコートで塗工することを特徴とする請求項
８に記載の研磨テープの製造方法。
【請求項１０】請求項１乃至７に記載の研磨層が、塗
工液を塗工・乾燥・固化後、更に１００℃１０分を上回
る熱処理で硬化反応を完結することを特徴とする請求項
８又は９に記載の研磨テープの製造方法。