JPH1056259A - 電子部品実装方法 - Google Patents

電子部品実装方法

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JPH1056259A
JPH1056259A JP8209951A JP20995196A JPH1056259A JP H1056259 A JPH1056259 A JP H1056259A JP 8209951 A JP8209951 A JP 8209951A JP 20995196 A JP20995196 A JP 20995196A JP H1056259 A JPH1056259 A JP H1056259A
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substrate
electronic device
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秀喜 永福
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 良好な作業効率でバンプ付き電子部品を基板
に固着できる電子部品実装方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 基板1の電極2,3にプリコート25を
形成する第1工程と、バンプ付き電子部品と基板との間
に接着剤18を介在させた状態で移載装置によってバン
プ付き電子部品4を基板に押しつけて電極にバンプ付き
電子部品のバンプ6,7を食い込ませる第2工程と、基
板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘッド23によってバ
ンプ付き電子部品を基板に加熱しながら押しつける第3
工程とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装方法
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、バンプを用いて電子部品を基板に
固着する工法が、広く用いられるようになってきてい
る。
【0003】このように、バンプ付き電子部品を基板に
固着するためには、第1に、バンプ付き電子部品を基板
の電極上に搭載するプロセスと、第2に、搭載されたバ
ンプ付き電子部品を基板に加熱しながら押しつけるプロ
セスとが、必須となる。
【0004】さて一般には、複数のプロセスがあるとき
は、各プロセス毎に作業ステージを設け、各作業ステー
ジで同時並行して、それぞれのプロセスを行うことが、
作業効率上望ましい。ところが、このように各プロセス
毎に作業ステージを設けると、当然、各作業ステージ間
において、ワークを搬送することになる。
【0005】さて、図3は、従来の電子部品実装方法の
工程説明図である。図3(a)に示すように、基板1の
上面には、電極2、電極3が形成されている。また、バ
ンプ付き電子部品4の下面には、半田からなるバンプ
6、バンプ7が形成されている。
【0006】そして、バンプ付き電子部品4の上部を移
載ヘッド5で吸着して、矢印N1で示すように、バンプ
付き電子部品4を基板1に搭載する。その結果、図3
(b)の実線で示すように、バンプ6、バンプ7は、そ
れぞれ電極2、電極3上に位置することになる。
【0007】この後、基板1は熱圧着装置側へ搬送され
るのであるが、この搬送中に、図3(b)の破線で示す
ように、バンプ付き電子部品4が位置ずれしてしまうこ
とが多い。なぜなら、バンプ6、バンプ7の形状は、は
略球状であって、きわめて滑りやすいからである。
【0008】そして、位置ずれしたバンプ付き電子部品
4を載せた基板1を、熱圧着装置12の熱圧着ヘッド8
で加熱しながら基板1に押しつけようとしても、図3
(b)に示すように、その結果は不首尾となる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の電
子部品実装方法によって、バンプ付き電子部品4を基板
1に固着する際には、上述したように、各プロセス毎に
作業ステージを設けると、ミスが発生しやすい。このた
め、現状では、各プロセス毎に作業ステージを設けるの
ではなく、図3(a)に示すように、バンプ付き電子部
品4を基板1に搭載する際に、同時に加熱と押しつけを
行うようになっていた。
【0010】しかし、このようにすると、作業効率が悪
くなるという問題点がある。そこで本発明は、良好な作
業効率でバンプ付き電子部品を基板に固着できる電子部
品実装方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品実装方
法は、基板の電極にプリコートを形成する第1工程と、
バンプ付き電子部品と基板との間に接着剤を介在させた
状態で移載装置によってバンプ付き電子部品を基板に押
しつけて電極にバンプ付き電子部品のバンプを食い込ま
せる第2工程と、基板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘ
ッドによってバンプ付き電子部品を基板に加熱しながら
押しつける第3工程とを含む。
【0012】
【発明の実施の形態】請求項1に記載の電子部品実装方
法は、基板の電極にプリコートを形成する第1工程と、
バンプ付き電子部品と基板との間に接着剤を介在させた
状態で移載装置によってバンプ付き電子部品を基板に押
しつけて電極にバンプ付き電子部品のバンプを食い込ま
せる第2工程と、基板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘ
ッドによってバンプ付き電子部品を基板に加熱しながら
押しつける第3工程とを含む。
【0013】したがって、第2工程において、バンプ付
き電子部品4は基板1に固定される。即ち、バンプ付き
電子部品4が基板1に対して、XY方向に位置ずれしよ
うとすると、バンプ6がプリコート25に食い込んでい
るため、この位置ずれが防止される。また、バンプ付き
電子部品4が基板1に対してZ方向(上下方向)に位置
ずれしようとすると、基板1とバンプ付き電子部品4の
間にある接着剤18がそれを妨げて、この方向の位置ず
れが防止される。また万が一Z方向にずれたとしてもバ
ンプ6のくい込みによって生じたプリコート25の凹部
にバンプ6が復帰してずれないのでプリコート25から
バンプ6がずれ落ちるおそれがない。
【0014】このため、各ステージ間の搬送を行って
も、位置ずれを生じない。このため、第2工程と第3工
程とを専用のステージで行うことができ、それだけ工程
を分割して作業効率を向上することができる。
【0015】以下、本発明の実施の形態について、図面
を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施の形
態における電子部品実装装置の斜視図である。
【0016】図1に示すように、この電子部品実装装置
は、基板1の搬送方向N2に沿って、順に設けられた塗
布装置10、移載装置11、熱圧着装置12とからな
る。そして、それぞれの装置は、この方向N2に、基板
1を搬送すると共に位置決めする搬送コンベア13、搬
送コンベア14、搬送コンベア15を備えている。
【0017】また、塗布装置10においては、シリンジ
16に溜められた接着剤18がノズル17から吐出さ
れ、基板1に塗布される。なお、図2(a)に示すよう
に、既に基板1の電極2、電極3には、半田からなるプ
リコート25が施されている。
【0018】次に、移載装置11の前部にあるトレイ1
9には、バンプ付き電子部品4がマトリックス状に収納
されている。そして、移動装置22によって移動する移
載ヘッド21が、トレイ19から必要なバンプ付き電子
部品4をピックアップし、基板1にバンプ付き電子部品
4を移載すると共に、押しつけるようになっている。
【0019】さらに、熱圧着装置12では、駆動部24
に駆動されて約220℃程度に加熱された駆動部24が
バンプ付き電子部品4を基板1に加熱しながら、押しつ
けるものである。
【0020】このように、この電子部品実装装置は、接
着剤を塗布する作業ステージと、移載及び加圧を行う作
業ステージと、加圧と加熱を行う作業ステージとに分か
れており、各作業ステージ間では基板1が搬送されるよ
うになっている。
【0021】次に、図2を参照しながら、本発明の一実
施の形態における電子部品実装方法の各プロセスを説明
する。まず、塗布装置10にて基板1に接着剤18を塗
布して、基板1を移載装置11へ搬送する。なお、本形
態では、接着剤18として、エポキシ系の熱硬化性樹脂
を用いた。
【0022】そして、図2(a)〜(b)に示すよう
に、移載装置11において、バンプ付き電子部品4を移
載ヘッド21によって基板1へ搭載すると共に押しつけ
る。これによって、図2(b)に示すように、プリコー
ト25が塑性変形を起こして、バンプ6、バンプ7が、
プリコート25に食い込む。このため、この後、バンプ
付き電子部品4が基板1に対してXY方向に位置ずれし
ようとしても、バンプ6、バンプ7が食い込んでいるた
め、この位置ずれは許されない。また万が一Z方向へず
れたとしてもバンプ6はプリコート25上に形成された
凹部へ復帰しやすくなっている。
【0023】ここで、バンプは金から構成し、プリコー
トは半田から構成するのが、バンプがプリコートに食い
込みやすいので、好適である。その他の組み合わせも考
えられるが、バンプとプリコートのうち、いずれか一方
は半田とする。
【0024】また、バンプ付き電子部品4と基板1との
間に、接着剤18が介在しているから、バンプ付き電子
部品4が基板1に対してZ方向に位置ずれしようとして
も、接着剤18の粘着力によって、この位置ずれも許さ
れない。
【0025】結局、バンプ付き電子部品4は基板1に仮
付けされているのであって、この後、基板1を移動装置
22に搬送しても、バンプ付き電子部品4は基板1に対
して位置ずれせず、全く問題ない。
【0026】そして、図2(c)に示すように、熱圧着
装置12の熱圧着ヘッド23によって、バンプ付き電子
部品4を基板1に加熱しながら押しつけて、その後、熱
圧着ヘッド23をバンプ付き電子部品4から外す。
【0027】その結果、プリコート25の半田は、融点
に達した後冷却されるので、溶融した後固化する。これ
で、バンプ6、バンプ7は電極2、電極3に固着され
る。また、接着剤18は硬化して、バンプ付き電子部品
4が基板1に固着される。
【0028】ここで、本形態では、半田の溶融固化と接
着剤の硬化との両方が満たされるようにしたが、いずれ
か一方のみが満たされるように加熱してもよい。
【0029】また、移載装置11と熱圧着装置12の間
にバンプ付き電子部品4の検査を行う検査装置を配置し
てもよい。この検査装置は、バンプ付き電子部品4を上
方から加圧してバンプ6,7を基板1のプリコート25
へ押し付ける機構と、検査用のプローブを基板1の検査
用電極(図示せず)に当接させる機構と、このプローブ
を介してバンプ付き電子部品4の動作試験を行う検査ユ
ニットにより構成されている。そして不良を見つけたら
このバンプ付き電子部品4を載せた基板1を排除してリ
ペア工程へ移す。このリペア工程では、接着剤18は未
硬化であるので容易にバンプ付き電子部品4を基板より
除去でき、基板1を再利用することができる。
【0030】
【発明の効果】本発明の電子部品実装方法は、基板の電
極にプリコートを形成する第1工程と、移載装置によっ
てバンプ付き電子部品を基板に押しつけて電極にバンプ
付き電子部品のバンプを食い込ませると共に、バンプ付
き電子部品と基板との間に接着剤を介在させる第2工程
と、基板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘッドによって
バンプ付き電子部品を基板に加熱しながら押しつける第
3工程とを含む。ここで、バンプ付き電子部品を基板に
搭載した後、基板を搬送しても、バンプ付き電子部品は
位置ずれせず、搬送を避ける必要がない。このため、各
プロセス毎に作業ステージを設けることができ、各ステ
ージで作業を同時並行して行い、作業効率を向上するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態における電子部品実装装
置の斜視図
【図2】(a)本発明の一実施の形態における電子部品
実装方法の工程説明図 (b)本発明の一実施の形態における電子部品実装方法
の工程説明図 (c)本発明の一実施の形態における電子部品実装方法
の工程説明図
【図3】(a)従来の電子部品実装方法の工程説明図 (b)従来の電子部品実装方法の工程説明図 (c)従来の電子部品実装方法の工程説明図
【符号の説明】
1 基板 2,3 電極 4 バンプ付き電子部品 6,7 バンプ 11 移載装置 12 熱圧着装置 18 接着剤 23 熱圧着ヘッド 25 プリコート

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板の電極にプリコートを形成する第1工
    程と、バンプ付き電子部品と基板との間に接着剤を介在
    させた状態で移載装置によってバンプ付き電子部品を基
    板に押しつけて前記電極にバンプ付き電子部品のバンプ
    を食い込ませる第2工程と、基板を熱圧着装置に搬送
    し、熱圧着ヘッドによってバンプ付き電子部品を基板に
    加熱しながら押しつける第3工程とを含むことを特徴と
    する電子部品実装方法。
  2. 【請求項2】塗布装置によって基板に接着剤を塗布し、
    基板を移載装置に搬送することを特徴とする請求項1記
    載の電子部品実装方法。
  3. 【請求項3】前記プリコートと前記バンプのうち、一方
    は金から構成され、他方は半田から構成されていること
    を特徴とする請求項1記載の電子部品実装方法。
  4. 【請求項4】前記第3工程において、プリコートを溶融
    させた後固化させると共に、接着剤を硬化させることを
    特徴とする請求項1記載の電子部品実装方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6897552B2 (en) 2001-12-12 2005-05-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device wherein chips are stacked to have a fine pitch structure
US7341642B2 (en) 2001-02-26 2008-03-11 Sony Corporation Manufacturing method for electric device

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100290993B1 (ko) * 1995-06-13 2001-08-07 이사오 우치가사키 반도체장치,반도체탑재용배선기판및반도체장치의제조방법
US5808874A (en) * 1996-05-02 1998-09-15 Tessera, Inc. Microelectronic connections with liquid conductive elements
EP1445995B1 (en) * 1996-12-27 2007-02-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of mounting an electronic component on a circuit board and system for carrying out the method
JP2000106482A (ja) * 1998-07-29 2000-04-11 Sony Chem Corp フレキシブル基板製造方法
US6230400B1 (en) 1999-09-17 2001-05-15 George Tzanavaras Method for forming interconnects
US6449837B1 (en) * 1999-10-29 2002-09-17 Tca, Inc. Method for attaching electronic devices to metallized glass printed circuit
WO2002093637A2 (en) * 2001-05-17 2002-11-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. Product comprising a substrate and a chip attached to the substrate
US7562428B2 (en) * 2002-09-24 2009-07-21 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Manufacturing an ink jet head
US7135780B2 (en) 2003-02-12 2006-11-14 Micron Technology, Inc. Semiconductor substrate for build-up packages
US7338842B2 (en) * 2005-07-22 2008-03-04 National Starch And Chemical Investment Holding Corporation Process for exposing solder bumps on an underfill coated semiconductor
JP4654865B2 (ja) * 2005-09-30 2011-03-23 パナソニック株式会社 電子部品実装方法
US9252130B2 (en) 2013-03-29 2016-02-02 Stats Chippac, Ltd. Methods of manufacturing flip chip semiconductor packages using double-sided thermal compression bonding
JP6358535B2 (ja) * 2013-04-26 2018-07-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 配線板間接続構造、および配線板間接続方法
US9524958B2 (en) 2013-06-27 2016-12-20 STATS ChipPAC Pte. Ltd. Semiconductor device and method of individual die bonding followed by simultaneous multiple die thermal compression bonding
US9627229B2 (en) * 2013-06-27 2017-04-18 STATS ChipPAC Pte. Ltd. Semiconductor device and method of forming trench and disposing semiconductor die over substrate to control outward flow of underfill material
JP6459326B2 (ja) * 2014-09-10 2019-01-30 富士ゼロックス株式会社 保持具、搭載装置、搭載方法、基板装置の製造方法
US10285317B2 (en) * 2015-06-15 2019-05-07 Fuji Corporation Component mounter

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4831724A (en) * 1987-08-04 1989-05-23 Western Digital Corporation Apparatus and method for aligning surface mountable electronic components on printed circuit board pads
US5037780A (en) * 1989-02-02 1991-08-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for attaching semiconductors to a transparent substrate using a light-curable resin
US5115545A (en) * 1989-03-28 1992-05-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus for connecting semiconductor devices to wiring boards
AU645283B2 (en) * 1990-01-23 1994-01-13 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Substrate for packaging a semiconductor device
US5205032A (en) * 1990-09-28 1993-04-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Electronic parts mounting apparatus
JPH04348540A (ja) * 1991-05-27 1992-12-03 Sony Corp フリップチップボンダー
JP2662131B2 (ja) * 1991-12-26 1997-10-08 松下電器産業株式会社 ボンディング装置
US5739053A (en) * 1992-10-27 1998-04-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Process for bonding a semiconductor to a circuit substrate including a solder bump transferring step
US5385632A (en) * 1993-06-25 1995-01-31 At&T Laboratories Method for manufacturing integrated semiconductor devices
US5813115A (en) * 1994-08-03 1998-09-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of mounting a semiconductor chip on a wiring substrate
JP2916086B2 (ja) * 1994-10-28 1999-07-05 株式会社日立製作所 電子部品の実装方法
JP3185588B2 (ja) * 1995-02-23 2001-07-11 松下電器産業株式会社 電子部品の実装方法
DE19511898C2 (de) * 1995-03-31 1999-09-23 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Verbindung von Kontaktflächen eines elektronischen Bauelements und eines Substrats
US5816478A (en) * 1995-06-05 1998-10-06 Motorola, Inc. Fluxless flip-chip bond and a method for making
JP3285294B2 (ja) * 1995-08-08 2002-05-27 太陽誘電株式会社 回路モジュールの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7341642B2 (en) 2001-02-26 2008-03-11 Sony Corporation Manufacturing method for electric device
US6897552B2 (en) 2001-12-12 2005-05-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device wherein chips are stacked to have a fine pitch structure

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