JPH1056259A - 電子部品実装方法 - Google Patents
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Abstract
に固着できる電子部品実装方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 基板1の電極2,3にプリコート25を
形成する第1工程と、バンプ付き電子部品と基板との間
に接着剤18を介在させた状態で移載装置によってバン
プ付き電子部品4を基板に押しつけて電極にバンプ付き
電子部品のバンプ6,7を食い込ませる第2工程と、基
板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘッド23によってバ
ンプ付き電子部品を基板に加熱しながら押しつける第3
工程とを含む。
Description
に関するものである。
固着する工法が、広く用いられるようになってきてい
る。
固着するためには、第1に、バンプ付き電子部品を基板
の電極上に搭載するプロセスと、第2に、搭載されたバ
ンプ付き電子部品を基板に加熱しながら押しつけるプロ
セスとが、必須となる。
は、各プロセス毎に作業ステージを設け、各作業ステー
ジで同時並行して、それぞれのプロセスを行うことが、
作業効率上望ましい。ところが、このように各プロセス
毎に作業ステージを設けると、当然、各作業ステージ間
において、ワークを搬送することになる。
工程説明図である。図3(a)に示すように、基板1の
上面には、電極2、電極3が形成されている。また、バ
ンプ付き電子部品4の下面には、半田からなるバンプ
6、バンプ7が形成されている。
載ヘッド5で吸着して、矢印N1で示すように、バンプ
付き電子部品4を基板1に搭載する。その結果、図3
(b)の実線で示すように、バンプ6、バンプ7は、そ
れぞれ電極2、電極3上に位置することになる。
るのであるが、この搬送中に、図3(b)の破線で示す
ように、バンプ付き電子部品4が位置ずれしてしまうこ
とが多い。なぜなら、バンプ6、バンプ7の形状は、は
略球状であって、きわめて滑りやすいからである。
4を載せた基板1を、熱圧着装置12の熱圧着ヘッド8
で加熱しながら基板1に押しつけようとしても、図3
(b)に示すように、その結果は不首尾となる。
子部品実装方法によって、バンプ付き電子部品4を基板
1に固着する際には、上述したように、各プロセス毎に
作業ステージを設けると、ミスが発生しやすい。このた
め、現状では、各プロセス毎に作業ステージを設けるの
ではなく、図3(a)に示すように、バンプ付き電子部
品4を基板1に搭載する際に、同時に加熱と押しつけを
行うようになっていた。
くなるという問題点がある。そこで本発明は、良好な作
業効率でバンプ付き電子部品を基板に固着できる電子部
品実装方法を提供することを目的とする。
法は、基板の電極にプリコートを形成する第1工程と、
バンプ付き電子部品と基板との間に接着剤を介在させた
状態で移載装置によってバンプ付き電子部品を基板に押
しつけて電極にバンプ付き電子部品のバンプを食い込ま
せる第2工程と、基板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘ
ッドによってバンプ付き電子部品を基板に加熱しながら
押しつける第3工程とを含む。
法は、基板の電極にプリコートを形成する第1工程と、
バンプ付き電子部品と基板との間に接着剤を介在させた
状態で移載装置によってバンプ付き電子部品を基板に押
しつけて電極にバンプ付き電子部品のバンプを食い込ま
せる第2工程と、基板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘ
ッドによってバンプ付き電子部品を基板に加熱しながら
押しつける第3工程とを含む。
き電子部品4は基板1に固定される。即ち、バンプ付き
電子部品4が基板1に対して、XY方向に位置ずれしよ
うとすると、バンプ6がプリコート25に食い込んでい
るため、この位置ずれが防止される。また、バンプ付き
電子部品4が基板1に対してZ方向(上下方向)に位置
ずれしようとすると、基板1とバンプ付き電子部品4の
間にある接着剤18がそれを妨げて、この方向の位置ず
れが防止される。また万が一Z方向にずれたとしてもバ
ンプ6のくい込みによって生じたプリコート25の凹部
にバンプ6が復帰してずれないのでプリコート25から
バンプ6がずれ落ちるおそれがない。
も、位置ずれを生じない。このため、第2工程と第3工
程とを専用のステージで行うことができ、それだけ工程
を分割して作業効率を向上することができる。
を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施の形
態における電子部品実装装置の斜視図である。
は、基板1の搬送方向N2に沿って、順に設けられた塗
布装置10、移載装置11、熱圧着装置12とからな
る。そして、それぞれの装置は、この方向N2に、基板
1を搬送すると共に位置決めする搬送コンベア13、搬
送コンベア14、搬送コンベア15を備えている。
16に溜められた接着剤18がノズル17から吐出さ
れ、基板1に塗布される。なお、図2(a)に示すよう
に、既に基板1の電極2、電極3には、半田からなるプ
リコート25が施されている。
9には、バンプ付き電子部品4がマトリックス状に収納
されている。そして、移動装置22によって移動する移
載ヘッド21が、トレイ19から必要なバンプ付き電子
部品4をピックアップし、基板1にバンプ付き電子部品
4を移載すると共に、押しつけるようになっている。
に駆動されて約220℃程度に加熱された駆動部24が
バンプ付き電子部品4を基板1に加熱しながら、押しつ
けるものである。
着剤を塗布する作業ステージと、移載及び加圧を行う作
業ステージと、加圧と加熱を行う作業ステージとに分か
れており、各作業ステージ間では基板1が搬送されるよ
うになっている。
施の形態における電子部品実装方法の各プロセスを説明
する。まず、塗布装置10にて基板1に接着剤18を塗
布して、基板1を移載装置11へ搬送する。なお、本形
態では、接着剤18として、エポキシ系の熱硬化性樹脂
を用いた。
に、移載装置11において、バンプ付き電子部品4を移
載ヘッド21によって基板1へ搭載すると共に押しつけ
る。これによって、図2(b)に示すように、プリコー
ト25が塑性変形を起こして、バンプ6、バンプ7が、
プリコート25に食い込む。このため、この後、バンプ
付き電子部品4が基板1に対してXY方向に位置ずれし
ようとしても、バンプ6、バンプ7が食い込んでいるた
め、この位置ずれは許されない。また万が一Z方向へず
れたとしてもバンプ6はプリコート25上に形成された
凹部へ復帰しやすくなっている。
トは半田から構成するのが、バンプがプリコートに食い
込みやすいので、好適である。その他の組み合わせも考
えられるが、バンプとプリコートのうち、いずれか一方
は半田とする。
間に、接着剤18が介在しているから、バンプ付き電子
部品4が基板1に対してZ方向に位置ずれしようとして
も、接着剤18の粘着力によって、この位置ずれも許さ
れない。
付けされているのであって、この後、基板1を移動装置
22に搬送しても、バンプ付き電子部品4は基板1に対
して位置ずれせず、全く問題ない。
装置12の熱圧着ヘッド23によって、バンプ付き電子
部品4を基板1に加熱しながら押しつけて、その後、熱
圧着ヘッド23をバンプ付き電子部品4から外す。
に達した後冷却されるので、溶融した後固化する。これ
で、バンプ6、バンプ7は電極2、電極3に固着され
る。また、接着剤18は硬化して、バンプ付き電子部品
4が基板1に固着される。
着剤の硬化との両方が満たされるようにしたが、いずれ
か一方のみが満たされるように加熱してもよい。
にバンプ付き電子部品4の検査を行う検査装置を配置し
てもよい。この検査装置は、バンプ付き電子部品4を上
方から加圧してバンプ6,7を基板1のプリコート25
へ押し付ける機構と、検査用のプローブを基板1の検査
用電極(図示せず)に当接させる機構と、このプローブ
を介してバンプ付き電子部品4の動作試験を行う検査ユ
ニットにより構成されている。そして不良を見つけたら
このバンプ付き電子部品4を載せた基板1を排除してリ
ペア工程へ移す。このリペア工程では、接着剤18は未
硬化であるので容易にバンプ付き電子部品4を基板より
除去でき、基板1を再利用することができる。
極にプリコートを形成する第1工程と、移載装置によっ
てバンプ付き電子部品を基板に押しつけて電極にバンプ
付き電子部品のバンプを食い込ませると共に、バンプ付
き電子部品と基板との間に接着剤を介在させる第2工程
と、基板を熱圧着装置に搬送し、熱圧着ヘッドによって
バンプ付き電子部品を基板に加熱しながら押しつける第
3工程とを含む。ここで、バンプ付き電子部品を基板に
搭載した後、基板を搬送しても、バンプ付き電子部品は
位置ずれせず、搬送を避ける必要がない。このため、各
プロセス毎に作業ステージを設けることができ、各ステ
ージで作業を同時並行して行い、作業効率を向上するこ
とができる。
置の斜視図
実装方法の工程説明図 (b)本発明の一実施の形態における電子部品実装方法
の工程説明図 (c)本発明の一実施の形態における電子部品実装方法
の工程説明図
Claims (4)
- 【請求項1】基板の電極にプリコートを形成する第1工
程と、バンプ付き電子部品と基板との間に接着剤を介在
させた状態で移載装置によってバンプ付き電子部品を基
板に押しつけて前記電極にバンプ付き電子部品のバンプ
を食い込ませる第2工程と、基板を熱圧着装置に搬送
し、熱圧着ヘッドによってバンプ付き電子部品を基板に
加熱しながら押しつける第3工程とを含むことを特徴と
する電子部品実装方法。 - 【請求項2】塗布装置によって基板に接着剤を塗布し、
基板を移載装置に搬送することを特徴とする請求項1記
載の電子部品実装方法。 - 【請求項3】前記プリコートと前記バンプのうち、一方
は金から構成され、他方は半田から構成されていること
を特徴とする請求項1記載の電子部品実装方法。 - 【請求項4】前記第3工程において、プリコートを溶融
させた後固化させると共に、接着剤を硬化させることを
特徴とする請求項1記載の電子部品実装方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6897552B2 (en) | 2001-12-12 | 2005-05-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device wherein chips are stacked to have a fine pitch structure |
US7341642B2 (en) | 2001-02-26 | 2008-03-11 | Sony Corporation | Manufacturing method for electric device |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100290993B1 (ko) * | 1995-06-13 | 2001-08-07 | 이사오 우치가사키 | 반도체장치,반도체탑재용배선기판및반도체장치의제조방법 |
US5808874A (en) * | 1996-05-02 | 1998-09-15 | Tessera, Inc. | Microelectronic connections with liquid conductive elements |
EP1445995B1 (en) * | 1996-12-27 | 2007-02-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of mounting an electronic component on a circuit board and system for carrying out the method |
JP2000106482A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Sony Chem Corp | フレキシブル基板製造方法 |
US6230400B1 (en) | 1999-09-17 | 2001-05-15 | George Tzanavaras | Method for forming interconnects |
US6449837B1 (en) * | 1999-10-29 | 2002-09-17 | Tca, Inc. | Method for attaching electronic devices to metallized glass printed circuit |
WO2002093637A2 (en) * | 2001-05-17 | 2002-11-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Product comprising a substrate and a chip attached to the substrate |
US7562428B2 (en) * | 2002-09-24 | 2009-07-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Manufacturing an ink jet head |
US7135780B2 (en) | 2003-02-12 | 2006-11-14 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor substrate for build-up packages |
US7338842B2 (en) * | 2005-07-22 | 2008-03-04 | National Starch And Chemical Investment Holding Corporation | Process for exposing solder bumps on an underfill coated semiconductor |
JP4654865B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-03-23 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装方法 |
US9252130B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-02-02 | Stats Chippac, Ltd. | Methods of manufacturing flip chip semiconductor packages using double-sided thermal compression bonding |
JP6358535B2 (ja) * | 2013-04-26 | 2018-07-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 配線板間接続構造、および配線板間接続方法 |
US9524958B2 (en) | 2013-06-27 | 2016-12-20 | STATS ChipPAC Pte. Ltd. | Semiconductor device and method of individual die bonding followed by simultaneous multiple die thermal compression bonding |
US9627229B2 (en) * | 2013-06-27 | 2017-04-18 | STATS ChipPAC Pte. Ltd. | Semiconductor device and method of forming trench and disposing semiconductor die over substrate to control outward flow of underfill material |
JP6459326B2 (ja) * | 2014-09-10 | 2019-01-30 | 富士ゼロックス株式会社 | 保持具、搭載装置、搭載方法、基板装置の製造方法 |
US10285317B2 (en) * | 2015-06-15 | 2019-05-07 | Fuji Corporation | Component mounter |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4831724A (en) * | 1987-08-04 | 1989-05-23 | Western Digital Corporation | Apparatus and method for aligning surface mountable electronic components on printed circuit board pads |
US5037780A (en) * | 1989-02-02 | 1991-08-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for attaching semiconductors to a transparent substrate using a light-curable resin |
US5115545A (en) * | 1989-03-28 | 1992-05-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for connecting semiconductor devices to wiring boards |
AU645283B2 (en) * | 1990-01-23 | 1994-01-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Substrate for packaging a semiconductor device |
US5205032A (en) * | 1990-09-28 | 1993-04-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic parts mounting apparatus |
JPH04348540A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-03 | Sony Corp | フリップチップボンダー |
JP2662131B2 (ja) * | 1991-12-26 | 1997-10-08 | 松下電器産業株式会社 | ボンディング装置 |
US5739053A (en) * | 1992-10-27 | 1998-04-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Process for bonding a semiconductor to a circuit substrate including a solder bump transferring step |
US5385632A (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-31 | At&T Laboratories | Method for manufacturing integrated semiconductor devices |
US5813115A (en) * | 1994-08-03 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of mounting a semiconductor chip on a wiring substrate |
JP2916086B2 (ja) * | 1994-10-28 | 1999-07-05 | 株式会社日立製作所 | 電子部品の実装方法 |
JP3185588B2 (ja) * | 1995-02-23 | 2001-07-11 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の実装方法 |
DE19511898C2 (de) * | 1995-03-31 | 1999-09-23 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Verbindung von Kontaktflächen eines elektronischen Bauelements und eines Substrats |
US5816478A (en) * | 1995-06-05 | 1998-10-06 | Motorola, Inc. | Fluxless flip-chip bond and a method for making |
JP3285294B2 (ja) * | 1995-08-08 | 2002-05-27 | 太陽誘電株式会社 | 回路モジュールの製造方法 |
-
1996
- 1996-08-08 JP JP8209951A patent/JP2830852B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-08-06 US US08/907,001 patent/US6000127A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7341642B2 (en) | 2001-02-26 | 2008-03-11 | Sony Corporation | Manufacturing method for electric device |
US6897552B2 (en) | 2001-12-12 | 2005-05-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device wherein chips are stacked to have a fine pitch structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2830852B2 (ja) | 1998-12-02 |
US6000127A (en) | 1999-12-14 |
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