JPH1055242A - 超音波タッチパネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低消費電力駆動で支持の仕方が簡単で使用し
やすく、高感度で接触したことを感知すること。 【解決手段】 すだれ状電極Ｔから電気信号を入力する
と、圧電磁器板１の各すだれ状電極が設けられた方の板
面の表面近傍に弾性表面波が励振されて、非圧電板２に
伝搬される。非圧電板２に伝搬された弾性表面波は電気
信号に変換されてすだれ状電極Ｒから出力される。非圧
電板２上を接触すると、出力電気信号が消滅または減衰
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】本発明はすだれ状電極を備え
た圧電板に非圧電板が固着されることにより、その非圧
電板に人指または物体が接触したことを検出する超音波
タッチパネルに関する。

【従来の技術】従来のタッチパネルには抵抗膜を用いる
方法と超音波を用いる方法が主に挙げられる。抵抗膜を
用いる方法は透明導電性フィルム（抵抗膜）に接触する
ことによりその透明導電性フィルムの抵抗値が変化する
ことを利用したものであり、低消費電力であるものの応
答時間、感度、耐久性等の点で問題を有している。ま
た、パネルの大面積化が難しいという欠点を有する。超
音波を用いる方法は予め弾性表面波を励振させておいた
非圧電板に接触することによりその弾性表面波が減衰す
るということを利用したものである。非圧電板に弾性表
面波を励振する従来の方法としては、バルク波振動子を
用いたくさび形トランスデューサにより間接的に励振す
る方法、圧電薄膜トランスデューサにより直接的に励振
する方法等が挙げられる。くさび形トランスデューサは
超音波による非破壊検査等に用いられているが、くさび
角の工作精度の問題等から比較的低い周波数領域におい
てのみ用いられる。圧電薄膜トランスデューサはＺｎＯ
等の圧電薄膜を基板に蒸着しすだれ状電極により弾性表
面波を励振する方法で、すだれ状電極の構成により種々
の伝送特性を示すことから高周波デバイスとして用いら
れるが、ＵＨＦ，ＶＨＦ帯に限られるとともに加工性や
量産性に問題がある。このようにして、従来のタッチパ
ネルでは応答時間、感度、耐久性、工作精度、加工性、
量産性および使用しやすさ等の点で問題があり、使用周
波数領域も制限されている。そこで、これらの問題点を
解決する超音波タッチパネルが本願発明者により特願平
４−２１８３３６等で出願された。この超音波タッチパ
ネルは、圧電薄板とすだれ状電極とから成る超音波デバ
イスを非圧電板の一方の板面に少なくとも２つ設けて成
り、低消費電力で効率良く弾性表面波を非圧電板の板面
に励振することができる。従って、非圧電板の一方の板
面における弾性表面波の伝搬路に人指または物体が接触
すれば弾性表面波が減衰または消滅することから人指ま
たは物体による接触が感知される。しかし、この超音波
タッチパネルは、弾性表面波を非圧電板の表面近傍に励
振する際に、弾性表面波が非圧電板の内部に漏洩される
割合が大きく、従って、消費電力に問題があるばかりで
なく非圧電板の支持の仕方および不要信号の抑圧に工夫
を要した。また、非圧電板の表面近傍に励振している弾
性表面波を電気信号に変換する際の効率が悪かった。

【発明が解決しようとする課題】従来のタッチパネルで
は応答時間、感度、耐久性、工作精度、加工性、量産性
および使用しやすさ等の点で問題があるばかりでなく、
消費電力、支持の仕方および不要信号の発生等にも問題
があった。本発明の目的は、加工性、耐久性および量産
性に優れ、低消費電力駆動で応答時間が短く、使用しや
すさに優れた超音波タッチパネルを提供することにあ
る。

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
タッチパネルは、少なくとも１組のすだれ状電極Ｔと該
すだれ状電極Ｔに対応するすだれ状電極Ｒを備えた圧電
板に非圧電板を設けて成る超音波タッチパネルであっ
て、前記各すだれ状電極は前記圧電板の一方の板面に設
けられ、前記非圧電板の下端面は前記圧電板の前記一方
の板面に前記各すだれ状電極を介して固着されていて、
前記すだれ状電極Ｔは前記すだれ状電極Ｔの電極周期長
ｐにほぼ対応する周波数の電気信号を入力されることに
より、前記圧電板の前記一方の板面の表面近傍に前記電
極周期長ｐとほぼ等しい波長を有する弾性表面波を励振
し、該弾性表面波を前記非圧電板の上端面に伝搬させ、
前記非圧電板に伝搬される前記弾性表面波は０次モード
および１次以上の高次モードの波で、前記０次モードの
弾性表面波の位相速度は、電気的に短絡状態にある前記
圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しく、
前記１次以上の高次モードの弾性表面波の位相速度は、
電気的に開放状態にある前記圧電板単体に伝搬するレイ
リー波の速度とほぼ等しく前記すだれ状電極Ｒは、前記
非圧電板に伝搬した弾性表面波を前記圧電板の前記一方
の板面の表面近傍に伝搬させ、前記圧電板の前記一方の
板面の表面近傍に伝搬した弾性表面波を前記すだれ状電
極Ｒの電極周期長ｐにほぼ対応する周波数の電気信号に
変換して出力し、前記圧電板の前記一方の板面の表面近
傍に伝搬した前記弾性表面波は０次モードおよび１次以
上の高次モードの波で、その波長は前記電極周期長ｐと
ほぼ等しく、前記０次モードの弾性表面波の位相速度
は、電気的に短絡状態にある前記圧電板単体に伝搬する
レイリー波の速度とほぼ等しく、前記１次以上の高次モ
ードの弾性表面波の位相速度は、電気的に開放状態にあ
る前記圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等
しく、前記圧電板の厚さは前記電極周期長ｐのほぼ３倍
以上であり、前記非圧電板の厚さｄは前記電極周期長ｐ
よりも小さく、前記非圧電板単体に伝搬する弾性表面波
の位相速度は、前記圧電板単体に伝搬する弾性表面波の
位相速度よりも小さく、前記非圧電板の上端面に人指ま
たは物体が接触したことを、前記すだれ状電極Ｒで出力
される前記電気信号の大きさから検出する。請求項２に
記載の超音波タッチパネルは、前記圧電板のもう一方の
板面が支持基板で支持されている。請求項３に記載の超
音波タッチパネルは、前記圧電板が圧電セラミックで成
り、前記圧電セラミックの分極軸の方向は前記圧電セラ
ミックの厚さ方向と平行である。

【発明の実施の形態】本発明の超音波タッチパネルの構
造は、少なくとも１組のすだれ状電極Ｔとそのすだれ状
電極Ｔに対応するすだれ状電極Ｒを備えた圧電板に非圧
電板を設けて成るものである。このとき、各すだれ状電
極は圧電板の一方の板面に設けられ、非圧電板の下端面
は圧電板の各すだれ状電極が設けられた方の板面に固着
されていている。すだれ状電極Ｔの電極周期長ｐにほぼ
対応する周波数の電気信号をこのすだれ状電極Ｔに入力
する構造を採用することにより、圧電板のすだれ状電極
が設けられた方の板面の表面近傍にすだれ状電極Ｔの電
極周期長ｐとほぼ等しい波長を有する弾性表面波を励振
させ、その弾性表面波を非圧電板の上端面に伝搬させる
ことができる。このとき非圧電板に伝搬されるのは０次
モードおよび１次以上の高次モードの弾性表面波であ
る。０次モードの弾性表面波の位相速度が、電気的に短
絡状態にある圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度と
ほぼ等しくなるような構造および１次以上の高次モード
の弾性表面波の位相速度が、電気的に開放状態にある圧
電板単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しくなる
ような構造を採用することにより、すだれ状電極Ｔから
加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に変換される
度合を大きくすることができるだけでなく、圧電板と非
圧電板との界面での音響インピーダンスの不整合等によ
って生じる反射等を除去することができる。また、圧電
板の厚さをすだれ状電極Ｔの電極周期長ｐのほぼ３倍以
上とし、非圧電板の厚さｄを電極周期長ｐよりも小さく
するとともに、非圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位
相速度が圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速度よ
りも小さい物質を非圧電板として採用することにより、
圧電板のすだれ状電極が設けられた方の板面の表面近傍
に励振させた弾性表面波を、圧電板の内部には漏洩させ
ることなく、非圧電板に効率よく伝搬させることができ
る。従って、低消費電力駆動が可能となるばかりでな
く、圧電板の支持が容易になる。このとき、圧電板の各
すだれ状電極が設けられた方の板面の表面近傍を除く部
分の支持が可能となる。すだれ状電極ＴおよびＲを弾性
表面波の送受波の指向軸が共通になるように互いに１対
１に対を成すような構造を採用することにより、非圧電
板の上端面に伝搬されている弾性表面波をすだれ状電極
Ｒから電気信号として出力させることができる。このと
き、非圧電板に伝搬されている弾性表面波はいったん圧
電板のすだれ状電極が設けられた方の板面の表面近傍に
伝搬された後、すだれ状電極Ｒの電極周期長ｐにほぼ対
応する周波数の電気信号としてすだれ状電極Ｒから出力
される。この圧電板に伝搬した弾性表面波は０次モード
および１次以上の高次モードの波である。この弾性表面
波の波長が電極周期長ｐとほぼ等しくなるように電極周
期長ｐを設定し、０次モードの弾性表面波の位相速度
が、電気的に短絡状態にある圧電板単体に伝搬するレイ
リー波の速度とほぼ等しくなるような構造および１次以
上の高次モードの弾性表面波の位相速度が、電気的に開
放状態にある圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度と
ほぼ等しくなるような構造を採用することにより、圧電
板に伝搬した弾性表面波をすだれ状電極Ｒから効率よく
電気信号として出力することができる。また、圧電板と
非圧電板との界面での音響インピーダンスの不整合等に
よって生じる反射等を除去することができる。さらに、
圧電板の厚さをすだれ状電極Ｒの電極周期長ｐのほぼ３
倍以上とし、非圧電板の厚さｄを電極周期長ｐよりも小
さくし、非圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速度
が圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速度よりも小
さい物質を非圧電板として採用することにより、非圧電
板に伝搬されている弾性表面波を、圧電板の内部に漏洩
させることなく、すだれ状電極Ｒから効率よく電気信号
として出力することができる。従って、低消費電力駆動
が可能となるばかりでなく、圧電板の支持が容易にな
る。このとき、圧電板の各すだれ状電極が設けられた方
の板面の表面近傍を除く部分の支持が可能となる。本発
明の超音波タッチパネルでは、圧電板として圧電セラミ
ックを採用し、その圧電セラミックの分極軸の方向と厚
さ方向とを平行にする構造を採用することにより、圧電
板のすだれ状電極の設けられた方の板面の表面近傍に効
率よく弾性表面波を励振し非圧電板の上端面に伝搬させ
ることを可能にしている。また、非圧電板の上端面に伝
搬している弾性表面波を圧電板のすだれ状電極の設けら
れた方の板面の表面近傍に効率よく伝搬させ、すだれ状
電極Ｒから電気信号として出力させることを可能にして
いる。

【実施例】図１は本発明の超音波タッチパネルの一実施
例を示す断面図である。本実施例はすだれ状電極Ｔ、
Ｒ、圧電磁器板１、非圧電板２および支持基板３から成
る。各すだれ状電極はアルミニウム薄膜で成る。圧電磁
器板１は厚さ１．５ｍｍのＴＤＫ製１０１Ａ材（製品
名）で成る。非圧電板２はガラス、フッ素樹脂やアクリ
ル樹脂等の高分子化合物で成り、その厚さは０．１５ｍ
ｍである。圧電磁器板１上には各すだれ状電極が設けら
れ、さらにその上に非圧電板２が設けられている。非圧
電板２がガラス等で成る場合には厚さ約２０μｍのエポ
キシ系樹脂によって圧電磁器板１上に固着され、非圧電
板２がフッ素樹脂やアクリル樹脂等で成る場合には非圧
電板２は圧電磁器板１上に直接塗布されている。圧電磁
器板１の下方は支持基板３に固着され支持されている。
図２は図１の超音波タッチパネルの部分斜視図であり、
図１の超音波タッチパネルの入力側部分を示すものであ
る。図２では、すだれ状電極Ｒ、非圧電板２および支持
基板３は省いて描かれている。各すだれ状電極は１０対
の電極指を有する正規型のものである。各すだれ状電極
の電極周期長ｐは４６０μｍである。すだれ状電極Ｔか
ら電気信号を入力すると、その電気信号の周波数のうち
すだれ状電極Ｔの示す中心周波数とその近傍の周波数の
電気信号のみが弾性表面波に変換されて、圧電磁器板１
の各すだれ状電極が設けられた方の板面の表面近傍を伝
搬し、さらにその弾性表面波は非圧電板２に伝搬され
る。非圧電板２に伝搬された弾性表面波のうちすだれ状
電極Ｒの示す中心周波数とその近傍の周波数の弾性表面
波のみが電気信号に変換されてすだれ状電極Ｒから出力
される。図３は圧電磁器板１の異なる２つの電気的境界
条件下での位相速度差から算出した電気機械結合係数ｋ
²と、弾性表面波の波数ｋと非圧電板２の厚さｄとの積
（ｋｄ）との関係を示す特性図である。但し、図３で
は、非圧電板２がガラス板で成り、そのガラス板単体を
伝搬する弾性表面波の横波の速度が２２９７ｍ／ｓで縦
波の速度が４１５６ｍ／ｓである場合の特性図が示され
る。この横波速度２２９７ｍ／ｓおよび縦波速度４１５
６ｍ／ｓという値は、圧電磁器板１単体の場合の横波速
度２３４０ｍ／ｓおよび縦波速度４３９０ｍ／ｓそれぞ
れのほぼ０．９倍である。図３では、すだれ状電極Ｔに
加えられる電気的エネルギーは特に０次モードの弾性表
面波に最も効率よく変換され、高次モードになるにつれ
て変換されにくくなる傾向があることが分かる。すだれ
状電極Ｔに加えられる電気的エネルギーが０次モードの
弾性表面波に最も変換されやすいのはｋｄ値が約１．６
のときで、このときｋ²は最大値の約１５．５％を示
す。ここでのｋ²値は、弾性表面波用の圧電基板として
実用域にあるＬｉＮｂＯ₃単結晶が５％程度の値である
ことと比較しても評価に値することが明らかである。図
４は圧電磁器板１の表面近傍を伝搬する弾性表面波の位
相速度を示す特性図であり、ｋｄ値に対する各モードの
位相速度を示す図である。但し、図４では、非圧電板２
が図３と同様な材質のガラス板で成る場合で、圧電磁器
板１の表面が電気的に開放状態という境界条件下での特
性図が示される。１次以上の高次モードではカットオフ
周波数が存在する。○印は、すだれ状電極Ｔに加えられ
る電気的エネルギーが各モードの弾性表面波に最も効率
よく変換されるｋｄ値（図３から算出した値で、ｋ²が
最大値を示すｋｄ値）を示す。０次モードの○印におけ
る位相速度（約２１７０ｍ／ｓ）は、圧電磁器板１単体
の表面が電気的に短絡状態にあるときの圧電磁器板１単
体のレイリー波速度（２１５０ｍ／ｓ）とほぼ等しい。
１次以上の高次モードの○印における位相速度はほぼ一
定（約２３７０ｍ／ｓ）で、圧電磁器板１単体の表面が
電気的に開放状態にあるときの圧電磁器板１単体のレイ
リー波速度（２３４０ｍ／ｓ）とほぼ等しい。図５は圧
電磁器板１の異なる２つの電気的境界条件下での位相速
度差から算出したｋ²値と、ｋｄ値との関係を示す特性
図である。但し、図５では、非圧電板２がガラス板で成
り、そのガラス板単体を伝搬する弾性表面波の横波の速
度が１９８９ｍ／ｓで縦波の速度が３５９８ｍ／ｓであ
る場合の特性図が示される。この横波速度１９８９ｍ／
ｓおよび縦波速度３５９８ｍ／ｓという値は、圧電磁器
板１単体の場合の横波速度２３４０ｍ／ｓおよび縦波速
度４３９０ｍ／ｓそれぞれのほぼ０．８倍である。図５
では、すだれ状電極Ｔに加えられる電気的エネルギーは
特に０次モードの弾性表面波に最も効率よく変換され、
高次モードになるにつれて変換されにくくなる傾向があ
ることが分かる。すだれ状電極Ｔに加えられる電気的エ
ネルギーが０次モードの弾性表面波に最も変換されやす
いのはｋｄ値が約１．６のときで、このときｋ²は最大
値の約１８．５％を示す。図６は圧電磁器板１の表面近
傍を伝搬する弾性表面波の位相速度を示す特性図であ
り、ｋｄ値に対する各モードの位相速度を示す図であ
る。但し、図６では、非圧電板２が図５と同様な材質の
ガラス板で成る場合で、圧電磁器板１の表面が電気的に
開放状態という境界条件下での特性図が示される。１次
以上の高次モードではカットオフ周波数が存在する。○
印は、すだれ状電極Ｔに加えられる電気的エネルギーが
各モードの弾性表面波に最も効率よく変換されるｋｄ値
（図５から算出した値で、ｋ²が最大値を示すｋｄ値）
を示す。０次モードの○印における位相速度（約２０９
５ｍ／ｓ）は、図４で示される０次モードの○印におけ
る位相速度（約２１７０ｍ／ｓ）よりも小さいが、圧電
磁器板１単体の表面が電気的に短絡状態にあるときの圧
電磁器板１単体のレイリー波速度（２１５０ｍ／ｓ）と
ほぼ等しい。１次以上の高次モードの○印における位相
速度はほぼ一定（約２３００ｍ／ｓ）で、図４で示され
る１次以上の高次モードの○印における位相速度（約２
３７０ｍ／ｓ）よりも小さいが、圧電磁器板１単体の表
面が電気的に開放状態にあるときの圧電磁器板１単体の
レイリー波速度（２３４０ｍ／ｓ）とほぼ等しい。図３
〜６より、非圧電板２に伝搬される弾性表面波は０次モ
ードおよび１次以上の高次モードの波であり、すだれ状
電極Ｔに加えられる電気的エネルギーが０次モードの弾
性表面波に最も変換されやすい位相速度は、電気的に短
絡状態にある圧電磁器板１単体に伝搬するレイリー波の
速度とほぼ等しい。また、すだれ状電極Ｔに加えられる
電気的エネルギーが１次以上の高次モードの弾性表面波
に最も変換されやすい位相速度は、電気的に開放状態に
ある圧電磁器板１単体に伝搬するレイリー波の速度とほ
ぼ等しい。さらに、非圧電板２単体を伝搬する弾性表面
波の横波および縦波の速度が小さいほど、圧電磁器板１
から非圧電板２に伝搬される弾性表面波の各モードの位
相速度が小さくなる。同様にして、すだれ状電極Ｒにお
いて弾性表面波が電気信号に変換される場合には、特に
０次モードの弾性表面波が効率よく電気信号に変換さ
れ、高次モードになるにつれて変換されにくくなる傾向
があることが分かる。０次モードの弾性表面波が効率よ
く電気信号に変換されるのは、その０次モードの弾性表
面波の位相速度が、電気的に短絡状態にある圧電磁器板
１単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しい場合で
あり、１次以上の高次モードの弾性表面波が効率よく電
気信号に変換されるのは、その１次以上の高次モードの
弾性表面波の位相速度が、電気的に開放状態にある圧電
磁器板１単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しい
場合である。また、非圧電板２単体を伝搬する弾性表面
波の横波および縦波の速度が小さいほど、非圧電板２か
ら圧電磁器板１に伝搬される弾性表面波の各モードの位
相速度が小さくなる。

【発明の効果】本発明の超音波タッチパネルでは、圧電
板のすだれ状電極が設けられた方の板面の表面近傍に０
次モードおよび１次以上の高次モードの弾性表面波を励
振させ、その弾性表面波を非圧電板の上端面に伝搬させ
ることができる。このとき、０次モードの弾性表面波の
位相速度が、電気的に短絡状態にある圧電板単体に伝搬
するレイリー波の速度とほぼ等しくなるような構造およ
び１次以上の高次モードの弾性表面波の位相速度が、電
気的に開放状態にある圧電板単体に伝搬するレイリー波
の速度とほぼ等しくなるような構造を採用することによ
り、すだれ状電極Ｔから加えられる電気的エネルギーが
弾性表面波に変換される度合を大きくすることができる
だけでなく、圧電板と非圧電板との界面での音響インピ
ーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。本発明の超音波タッチパネルでは、非圧電
板上端面に伝搬されている０次モードおよび１次以上の
高次モードの弾性表面波を圧電板のすだれ状電極が設け
られた方の板面の表面近傍に伝搬させた後、すだれ状電
極Ｒから電気信号として出力させることができる。この
とき、０次モードの弾性表面波の位相速度が、電気的に
短絡状態にある圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度
とほぼ等しくなるような構造および１次以上の高次モー
ドの弾性表面波の位相速度が、電気的に開放状態にある
圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しくな
るような構造を採用することにより、圧電板に伝搬した
弾性表面波をすだれ状電極Ｒから効率よく電気信号とし
て出力することができる。また、圧電板と非圧電板との
界面での音響インピーダンスの不整合等によって生じる
反射等を除去することができる。圧電板の厚さをすだれ
状電極の電極周期長ｐのほぼ３倍以上とし、非圧電板の
厚さｄを電極周期長ｐよりも小さくする構造を採用する
とともに、非圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速
度が圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速度よりも
小さい物質を非圧電板として採用することにより、すだ
れ状電極Ｔから加えられる電気的エネルギーが０次モー
ドおよび１次以上の高次モードの弾性表面波に変換され
る度合を増大させることができる。このとき、圧電板の
内部には弾性表面波を漏洩させることなく、非圧電板の
上端面に効率よく伝搬させることができる。また、非圧
電板の上端面に伝搬されている０次モードおよび１次以
上の高次モードの弾性表面波を圧電板の内部に漏洩させ
ることなく、すだれ状電極Ｒから効率よく電気信号とし
て出力することができる。従って、低消費電力駆動が可
能となるばかりでなく、圧電板の支持が容易になる。圧
電板を支持する場合には、弾性表面波が伝搬している表
面近傍を除く部分であればどこでも支持が可能である。
圧電板として圧電セラミックを採用することにより、圧
電板のすだれ状電極の設けられた方の板面の表面近傍に
効率よく弾性表面波を励振し非圧電板の上端面に伝搬さ
せることを可能にしている。また、非圧電板に伝搬して
いる弾性表面波を圧電板のすだれ状電極の設けられた方
の板面の表面近傍に効率よく伝搬させ、すだれ状電極Ｒ
から電気信号として出力させることを可能にしている。
圧電板として圧電セラミックを採用する場合、その圧電
セラミックの分極軸の方向と厚さ方向とを平行にする構
造が採用される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波タッチパネルの一実施例を示す
断面図。

【図２】図１の超音波タッチパネルの部分斜視図。

【図３】圧電磁器板１の異なる２つの電気的境界条件下
での位相速度差から算出したｋ²値と、ｋｄ値との関係
を示す特性図。

【図４】圧電磁器板１の表面近傍を伝搬する弾性表面波
の位相速度を示す特性図。

【図５】圧電磁器板１の異なる２つの電気的境界条件下
での位相速度差から算出したｋ ²値と、ｋｄ値との関係
を示す特性図。

【図６】圧電磁器板１の表面近傍を伝搬する弾性表面波
の位相速度を示す特性図。

【符号の説明】

１ 圧電磁器板 ２ 非圧電板 ３ 支持基板 Ｔ，Ｒ すだれ状電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１組のすだれ状電極Ｔと該す
   だれ状電極Ｔに対応するすだれ状電極Ｒを備えた圧電板
   に非圧電板を設けて成る超音波タッチパネルであって、 前記各すだれ状電極は前記圧電板の一方の板面に設けら
   れ、 前記非圧電板の下端面は前記圧電板の前記一方の板面に
   前記各すだれ状電極を介して固着されていて、 前記すだれ状電極Ｔは前記すだれ状電極Ｔの電極周期長
   ｐにほぼ対応する周波数の電気信号を入力されることに
   より、前記圧電板の前記一方の板面の表面近傍に前記電
   極周期長ｐとほぼ等しい波長を有する弾性表面波を励振
   し、該弾性表面波を前記非圧電板の上端面に伝搬させ、 前記非圧電板に伝搬される前記弾性表面波は０次モード
   および１次以上の高次モードの波で、前記０次モードの
   弾性表面波の位相速度は、電気的に短絡状態にある前記
   圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しく、
   前記１次以上の高次モードの弾性表面波の位相速度は、
   電気的に開放状態にある前記圧電板単体に伝搬するレイ
   リー波の速度とほぼ等しく前記すだれ状電極Ｒは、前記
   非圧電板に伝搬した弾性表面波を前記圧電板の前記一方
   の板面の表面近傍に伝搬させ、前記圧電板の前記一方の
   板面の表面近傍に伝搬した弾性表面波を前記すだれ状電
   極Ｒの電極周期長ｐにほぼ対応する周波数の電気信号に
   変換して出力し、 前記圧電板の前記一方の板面の表面近傍に伝搬した前記
   弾性表面波は０次モードおよび１次以上の高次モードの
   波で、その波長は前記電極周期長ｐとほぼ等しく、前記
   ０次モードの弾性表面波の位相速度は、電気的に短絡状
   態にある前記圧電板単体に伝搬するレイリー波の速度と
   ほぼ等しく、前記１次以上の高次モードの弾性表面波の
   位相速度は、電気的に開放状態にある前記圧電板単体に
   伝搬するレイリー波の速度とほぼ等しく、 前記圧電板の厚さは前記電極周期長ｐのほぼ３倍以上で
   あり、 前記非圧電板の厚さｄは前記電極周期長ｐよりも小さ
   く、 前記非圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速度は、
   前記圧電板単体に伝搬する弾性表面波の位相速度よりも
   小さく、 前記非圧電板の上端面に人指または物体が接触したこと
   を、前記すだれ状電極Ｒで出力される前記電気信号の大
   きさから検出する超音波タッチパネル。
2. 【請求項２】 前記圧電板のもう一方の板面が支持基板
   で支持されている請求項１に記載の超音波タッチパネ
   ル。
3. 【請求項３】 前記圧電板が圧電セラミックで成り、前
   記圧電セラミックの分極軸の方向は前記圧電セラミック
   の厚さ方向と平行である請求項１または２に記載の超音
   波タッチパネル。