JPH1051136A - プリント配線基板の製造方法 - Google Patents
プリント配線基板の製造方法Info
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- JPH1051136A JPH1051136A JP9135520A JP13552097A JPH1051136A JP H1051136 A JPH1051136 A JP H1051136A JP 9135520 A JP9135520 A JP 9135520A JP 13552097 A JP13552097 A JP 13552097A JP H1051136 A JPH1051136 A JP H1051136A
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Abstract
造のプリント配線基板を歩留まり良く製造する方法を提
供する。 【解決手段】 導電バンプ22および基板21を構成す
る熱硬化性樹脂として、ガラス転移温度が250℃以
上、バーコル硬度が200℃で45以上の樹脂を用い
る。また、合成樹脂シート24を構成する熱硬化性樹脂
として、130℃における溶融粘度が500Pa・s以
上3000Pa・s以下であって130℃20分後の溶
融粘度の上昇率が5倍以下の樹脂を用いる。
Description
導電配線部で接続する構造を有するプリント配線基板を
歩留まりよく製造する方法に関する。
もない、配線層間を貫通型の導電配線部で接続するプリ
ント配線基板が広く用いられようになってきた。この種
のプリント配線基板の製造方法については、特開平5−
90177号公報、特開平5−131726号公報、特
開平5−226106号公報、特開平6−35647号
公報等に開示されている。
合成樹脂シートの材質としてポリカーボネート樹脂、ポ
リスルホン樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、4フッ化ポ
リエチレン樹脂、6弗化ポリプロピレン樹脂、ポリエー
テルエーテルケトン樹脂等のシート類が例示され、ま
た、硬化前状態に保持される熱硬化性樹脂シートとして
は、エポキシ樹脂、ビスポリマレイミドトリアジン樹
脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹
脂、メラミン樹脂あるいはブタジエンゴム、ブチルゴ
ム、天然ゴム、ネオプレンゴム、シリコーンゴム等の生
ゴムのシート類が例示されている。
脂、ビスポリマレイミドトリアジン樹脂、ポリイミド樹
脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹脂
等が例示されている。
えば銀、金、銅、半田粉等の導電性粉末、これらの合金
粉末と例えばポリカーボネート樹脂、ポリスルホン樹
脂、ポリエステル樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹
脂、ポリイミド樹脂等のバインダー成分と混合して調整
された導電性組成物あるいは導電性金属が例示されてい
る。
板の製造方法において、製品の信頼性に最も大きく影響
するのは合成樹脂シートをバンプに貫通させる工程であ
る。
ような問題があった。
続不良が生じることである。導電性バンプの合成樹脂シ
ートへの貫通は200℃前後の高温で行われる。このた
め、貫通工程において、バンプが軟化して合成樹脂シー
トを貫通不良を起こすことがあった。特に、ガラスクロ
スを含む合成樹脂シート等、高硬度のシートを用いた場
合、この傾向が顕著になる。また合成樹脂シートを構成
する樹脂の溶融粘度が高すぎる場合や、加温による溶融
粘度の上昇率が大きい場合にも貫通不良の原因となる。
発生することである。これは、合成樹脂シートを構成す
る樹脂の溶融粘度が低すぎることが原因となる。
基板に深く食い込み、場合によっては基板を貫通してし
まうことである。これは、対向基板を構成する熱硬化性
樹脂の耐熱性、硬度の不足が原因となる。
明のプリント配線基板の製造方法は、少なくとも一方の
面の所定位置に導電バンプが設けられた第一の基板と、
少なくとも一方の面に配線パターンが設けられた第二の
基板とを、前記導電バンプが設けられた面および前記配
線パターンが設けられた面を内側にして対向させ、前記
第一の基板と前記第二の基板との間に合成樹脂シートを
配置して積層体を構成し、該積層体を積層プレスするこ
とにより合成樹脂シートの厚さ方向に前記バンプを貫通
させて導電配線部を形成するプリント配線基板の製造方
法において、前記導電バンプを構成する熱硬化性樹脂
が、ガラス転移温度が250℃以上であってバーコル硬
度が200℃で45以上であることを特徴とする。
は、少なくとも一方の面の所定位置に導電バンプが設け
られた第一の基板と、少なくとも一方の面に配線パター
ンが設けられた第二の基板とを、前記導電バンプが設け
られた面および前記配線パターンが設けられた面を内側
にして対向させ、前記第一の基板と前記第二の基板との
間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成し、該積層
体を積層プレスすることにより合成樹脂シートの厚さ方
向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形成するプリ
ント配線基板の製造方法において、前記合成樹脂シート
を構成する熱硬化性樹脂が、130℃における溶融粘度
が500Pa・s以上3000Pa・s以下であって1
30℃20分後の溶融粘度の上昇率が5倍以下であるこ
とを特徴とする。
は、少なくとも一方の面の所定位置に導電バンプが設け
られた第一の基板と、少なくとも一方の面に配線パター
ンが設けられた第二の基板とを、前記導電バンプが設け
られた面および前記配線パターンが設けられた面を内側
にして対向させ、前記第一の基板と前記第二の基板との
間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成し、該積層
体を積層プレスすることにより合成樹脂シートの厚さ方
向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形成するプリ
ント配線基板の製造方法において、前記第二の基板を構
成する熱硬化性樹脂が、ガラス転移温度が250℃以上
であってバーコル硬度が200℃で45以上であること
を特徴とする。
は、少なくとも一方の面の所定位置に導電バンプが設け
られた第一の基板と、少なくとも一方の面に配線パター
ンが設けられた第二の基板とを、前記導電バンプが設け
られた面および前記配線パターンが設けられた面を内側
にして対向させ、前記第一の基板と前記第二の基板との
間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成し、該積層
体を積層プレスすることにより合成樹脂シートの厚さ方
向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形成するプリ
ント配線基板の製造方法において、前記導電バンプを構
成する熱硬化性樹脂および前記第二の基板を構成する熱
硬化性樹脂が、ガラス転移温度が250℃以上であって
バーコル硬度が200℃で45以上であり、前記合成樹
脂シートを構成する熱硬化性樹脂が、130℃における
溶融粘度が500Pa・s以上3000Pa・s以下で
あって130℃20分後の溶融粘度の上昇率が5倍以下
であることを特徴とする。
は、前記熱硬化性樹脂が一般式(1)で示されるポリマ
レイミド樹脂
族基、環式脂肪族基、単環式芳香族基、縮合多環式芳香
族基、あるいは芳香族基が直接または架橋員により相互
に連結された縮合多環式芳香族基であるl価の基、X
a,Xbは水素原子、ハロゲン原子および炭素数1〜4
の炭化水素基から選ばれた同一または異なる一価の原子
または基、lは2以上10以下の整数を表す)を、
(a)分子中に少なくとも二つ以上のエポキシ基を有す
るエポキシ樹脂、(b)分子中に少なくとも二つ以上の
OH基を有し、少なくとも二つのナフタレン骨格を有す
るフェノール樹脂、により変性されたポリマレイミド樹
脂であることを特徴とする。
は、前記ポリマレイミド樹脂が、分子中に一つのアルコ
ール性もしくはフェノール性OH基と、一つ以上のエポ
キシ基とを有する分子量50以上300以下の化合物に
より変成されたポリマレイミド樹脂であることを特徴と
する。
方法の一例を図1を用いて説明する。まず、所定位置に
導電バンプ2が設けられた第一の基板1と、一方の面に
配線パターン(不図示)が設けられた第二の基板4と
を、導電バンプ2が設けられた面および配線パターンが
設けられた面を内側にして対向させ、この間に合成樹脂
シート3を配置する。このような配置とした積層体を積
層プレスすることにより、合成樹脂シート3の厚さ方向
にバンプ2を貫通させて導電配線部を形成する。
化性樹脂を含んでなる。導電性粉末は、例えば銀、金、
銅、またはこれらの合金等が使用される。熱硬化性樹脂
は、ガラス転移温度が250℃以上で、かつ200℃に
おけるバーコル硬度が45以上であることが好ましく、
ガラス転移温度が280℃以上で、かつ200℃におけ
るバーコル硬度が50以上であることがさらに好まし
い。ガラス転移温度が250℃未満または200℃にお
けるバーコル硬度が45以下であると、貫通工程におい
て導電性バンプが徐々に軟化し、貫通不能となることが
ある。また、ガラス転移温度の上限は、特に制限がない
が、300℃以下で十分である。積層体の積層プレス温
度は通常230℃が最大だからである。また、200℃
におけるバーコル硬度の上限は、特に制限がないが、6
0以下で十分である。これ以上の硬度であっても信頼性
に大きな差は生じないからである。
はDSC(ディフェレンシャル スキャニング カロリ
メーター)を用いて測定したものをいう。またバーコル
硬度は、バーコル硬度計(コールマン社製GYZJ93
4−1)で測定したものをいう。
法で形成することができ、高さは好ましくは50〜40
0μm、さらに好ましくは100〜300μmである。
50μm未満では、合成樹脂シートの厚さが薄くなりす
ぎてしまい、プレス後の層間絶縁がとれなくなるという
問題が発生する。また、400μmを越えると、ガラス
転移温度、硬度が高い樹脂を使用した場合でも、バンプ
が合成樹脂シートを貫通する際にバンプの倒壊が発生し
やすくなる。
とが好ましい。このようにすることにより、バンプが合
成樹脂シートを貫通しやすくなるからである。
持基板としては、例えば金属箔、剥離性の良好な合成樹
脂シート類、導電性シート等があげられ、その支持基板
は1枚のシートであってもよいし、パターン化されたも
のでもよい。合成樹脂シートとする場合は、シートを構
成する樹脂のガラス転移温度が250℃以上であってバ
ーコル硬度が200℃で45以上であることが望まし
い。また、導電バンプは基板の一方の面だけでなく両面
にそれぞれ設けてもよい。
に配置されこれらを接着する役割を果たす。この合成樹
脂シートに導電バンプが貫通し、導電配線部を形成され
る。本発明における合成樹脂シートを構成する樹脂の溶
融粘度は、130℃で500Pa・s以上3000Pa
・s以下であって、130℃20分後の溶融粘度の上昇
率が5倍以下である。ここで、溶融粘度とは溶融粘度計
(レオメーター)において測定されるものである。測定
条件は10ラジアン/secである。溶融粘度が130℃
で500Pa・s未満であると溶融粘度が低すぎるため
に樹脂の流動が激しくなり、バンプの位置ずれ、倒壊が
発生する。また初期の段階で3000Pa・sを越える
とバンプが樹脂の中に埋まりきれず接続不良を起こす。
また、溶融粘度が130℃20分放置後で初期に比べ5
倍以上変化すると、プレス機の温度分布等により溶融粘
度が部分的に高くなりすぎ、導電バンプの貫通不良が発
生することがある。
る各種樹脂の130℃における溶融粘度挙動を示す。エ
ポキシ樹脂およびビスポリマレイミドトリアジン系樹脂
は、130℃での溶融粘度が非常に低く、バンプの位置
ずれ、倒壊を起こしやすい。また20分後の溶融粘度の
上昇率も高く、貫通不良が生じやすい。また、ポリイミ
ド樹脂は初期の溶融粘度は許容範囲であるが20分後の
粘度上昇が著しい。一方、本発明に用いられる樹脂は1
30℃での溶融粘度が1500Pa・s、20分後の溶
融粘度は2000Pa・sで初期の粘度、溶融粘度の上
昇率ともに良好である。
一方の面に配線パターンが設けられ、合成樹脂シートを
貫通した導電バンプと電気的に接続する。第二の基板
は、図1のように一方の面において導電バンプと電気的
に接続する形態であってもよいし、図2のように基板両
面において導電バンプと電気的に接続する形態であって
もよい。
ラス転移温度が250℃以上で、かつ200℃における
バーコル硬度が45以上であることが好ましく、ガラス
転移温度が280℃以上で、かつ200℃におけるバー
コル硬度が55以上であることがさらに好ましい。ガラ
ス転移温度が250℃未満または200℃におけるバー
コル硬度が45未満であると、貫通工程において導電性
バンプが基板を貫通することがある。このような現象は
熱硬化性樹脂基板の厚さが薄いときに特に起こりやす
い。例えば100μm以下の厚さの時は顕著である。ガ
ラス転移温度の上限は、特に制限がないが、300℃以
下で十分である。積層体の積層プレス温度は通常230
℃が最大だからである。また、200℃におけるバーコ
ル硬度の上限は、特に制限がないが、60以下で十分で
ある。この程度の硬度であれば、導電性バンプが基板を
貫通することはないからである。
(1)で示されるポリマレイミド樹脂
族基、環式脂肪族基、単環式芳香族基、縮合多環式芳香
族基、あるいは芳香族基が直接または架橋員により相互
に連結された縮合多環式芳香族基であるl価の基、X
a,Xbは水素原子、ハロゲン原子および炭素数1〜4
の炭化水素基から選ばれた同一または異なる一価の原子
または基、lは2以上10以下の整数を表す)を、
(a)分子中に少なくとも二つ以上のエポキシ基を有す
るエポキシ樹脂、(b)分子中に少なくとも二つ以上の
OH基を有し、少なくとも二つのナフタレン骨格を有す
るフェノール樹脂、により変性されたポリマレイミド樹
脂を好ましく用いることができる。
は、1分子中に2個以上のポリマレイミド基を有する。
このようなポリマレイミド樹脂としては、例えば、N,N'
- エチレンビスポリマレイミド、N,N'- ヘキサメチレ
ンビスポリマレイミド、N,N'-(1,3-フェニレン) ビス
ポリマレイミド、N,N'-[1,3-(2- メチルフェニレン)]
ビスポリマレイミド、N,N'-(1,4-フェニレン) ビスポ
リマレイミド、ビス(4-ポリマレイミドフェニル) メタ
ン、ビス(3- メチル-4- ポリマレイミドフェニル)
メタン、ビス(4- ポリマレイミドフェニル) エーテ
ル、ビス(4- ポリマレイミドフェニル) スルホン、ビ
ス(4- ポリマレイミドフェニル) スルフィド、ビス(4
- ポリマレイミドフェニル) ケトン、ビス(4- ポリ
マレイミドシクロヘキシル) メタン、1,4-ビス(4- ポ
リマレイミドフェニル) シクロヘキサン、1,4-ビス(
ポリマレイミドメチル) シクロヘキサン、1,4-ビス(
ポリマレイミドメチル) ベンゼン、1,3-ビス(4- ポリ
マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3- ポリマ
レイミドフェノキシ) ベンゼン、ビス[4-(3-ポリマレ
イミドフェノキシ) フェニル] メタン、ビス[4-(4-ポ
リマレイミドフェノキシ) フェニル] メタン、1,1-ビ
ス[4-(3-ポリマレイミドフェノキシ) フェニル] エタ
ン、1,1-ビス[4-(4-ポリマレイミドフェノキシ) フェ
ニル] エタン、1,2-ビス[4-(3-ポリマレイミドフェノ
キシ) フェニル] エタン、1,2-ビス[4-(4-ポリマレイ
ミドフェノキシ) フェニル] エタン、2,2-ビス[4-(3-
ポリマレイミドフェノキシ) フェニル] プロパン、2,
2-ビス[4(4- ポリマレイミドフェノキシ) フェニル]
プロパン、2,2-ビス[4-(3-ポリマレイミドフェノキ
シ) フェニル] ブタン、2,2-ビス[4-(4-ポリマレイミ
ドフェノキシ) フェニル] ブタン、2,2-ビス[4-(3-ポ
リマレイミドフェノキシ) フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘ
キサフルオロプロパン、2,2-ビス[4-(4-ポリマレイミド
フェノキシ) フェニル]-1,1,1,3,3,3ヘキサフルオロプ
ロパン、4,4'- ビス(3- ポリマレイミドフェノキシ)
ビフェニル、4,4'- ビス(4- ポリマレイミドフェノ
キシ) ビフェニル、ビス[4-(3-ポリマレイミドフェノ
キシ) フェニル] ケトン、ビス[4-(4-ポリマレイミド
フェノキシ) フェニル] ケトン、ビス[4-(3-ポリマレ
イミドフェノキシ) フェニル] スルフィド、ビス[4-
(4-ポリマレイミドフェノキシ) フェニル] スルフィ
ド、ビス[4-(3-ポリマレイミドフェノキシ) フェニル]
スルホキシド、ビス[4-(4- ポリマレイミドフェノキ
シ) フェニル] スルホキシド、ビス[4-(3-ポリマレイ
ミドフェノキシ) フェニル] スルホン、ビス[4-(4-ポ
リマレイミドフェノキシ) フェニル] スルホン、ビス
[4-(3-ポリマレイミドフェノキシ) フェニル] エーテ
ル、ビス[4-(4-ポリマレイミドフェノキシ) フェニル]
エーテル、1,4-ビス[4-(4-ポリマレイミドフェノキ
シ)-α α-ジメチルベンジル] ベンゼン、1,3-ビス[4
-(4-ポリマレイミドフェノキシ)-α, α- ジメチルベ
ンジル] ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-ポリマレイミドフ
ェノキシ)-α, α- ジメチルベンジル] ベンゼン、
1,3-ビス[4-(3-ポリマレイミドフェノキシ)-α, α-
ジメチルベンジル] ベンゼン、1,4-ビス[4-(4-ポリマ
レイミドフェノキシ)-3,5-ジメチル- α, α- ジメ
チルベンジル] ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-ポリマレイ
ミドフェノキシ)-3,5-ジメチル- α, α-ジメチルベ
ンジル] ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-ポリマレイミドフ
ェノキシ)-3,5-ジメチル- α, α- ジメチルベンジ
ル] ベンゼン、1,3-ビス[4-(3-ポリマレイミドフェノ
キシ)-3,5-ジメチル- α, α- ジメチルベンジル]
ベンゼン、一般式(2)
表されるポリマレイミド樹脂、及び一般式(3)
表されるポリマレイミド樹脂等が挙げられる。また、こ
れらのポリマレイミド樹脂は、単独で用いても2種類以
上を混合して用いてもよい。
は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有する。
また、好ましくは少なくとも一つのナフタレン骨格を有
する。具体的には、ナフトール、ジヒドロキシナフタレ
ン等のナフトール類とナフトール類またはフェノール、
クレゾール、レゾルシノール等のフェノール類とホルム
アルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、ヒ
ドロキシベンズアルデヒド、グルオキザール、アルカン
ジアール等のアルデヒド類との反応生成物であるノボラ
ック樹脂から誘導されるノボラック型エポキシ樹脂、お
よび上記ナフトール類、フェノール類とアラルキルアル
コール誘導電との反応生成物であるアラルキル樹脂から
誘導されるアラルキル型エポキシ樹脂や、1分子中に2
個以上の活性水素およびナフタレン骨格を有する化合物
から誘導されるエポキシ樹脂、例えば、ジヒドロキシナ
フタレン、ジアミノナフタレン等とエピクロルヒドリン
または2−メチルエピクロルヒドリンを反応させて得ら
れるエポキシ樹脂等が挙げられ、これらのエポキシ樹脂
の1種類または2種類以上が使用される。
バーコル硬度を得るという観点からポリマレイミド樹脂
100重量部に対し、10〜500重量部好ましくは1
0〜200重量部が好ましい。10重量部未満である
と、耐熱性向上の効果が小さく、ワニスの安定製造も困
難となる。500重量部を越えるとイミド成分が少なく
なり耐熱性、バーコル硬度が低くなる。
二つ以上のOH基を有し、少なくとも二つのナフタレン
骨格を有するフェノール樹脂を用いることができる。例
えば、ナフトールザイロック、ナフタレン含有フェノー
ル樹脂である。
分のエポキシ樹脂100重量部に対して、1〜500重
量部の範囲、好ましくは10〜200重量部の範囲であ
る。1重量部未満とすると、耐熱性、バーコル硬度が低
下する。また500重量部を越える添加量としてもそれ
以上の効果は現れず、ワニスの安定製造も困難となる。
は、分子中に一つのアルコール性もしくはフェノール性
OH基と、一つ以上のエポキシ基とを有する分子量50
以上300以下の化合物により変成されたポリマレイミ
ド樹脂であることが好ましい。
ポリマレイミド樹脂をメチルエチルケトン等の汎用溶剤
に溶解させることが困難となり作業上問題となる。ま
た、分子量50未満では、揮発性が高すぎて効果が得ら
れない。
グリセリンジグリシジルエーテル、エチレングリコール
モノグリシジルエーテル、レゾルシノールモノグリシジ
ルエーテル、ナフトレゾルシノールモノグリシジルエー
テル等があげられる。
ル硬度を得るという観点から、ポリマレイミド樹脂10
0重量部に対し、5〜100重量部、好ましくは、15
〜50重量部を用いるのが好ましい。5重量部未満であ
るとバーコル硬度が不足する。100重量部を越える
と、吸水率が高くなり好ましくない。
ミド樹脂を主成分とするものであって、必要に応じて、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール
型エポキシ樹脂等のナフタレン骨格を含まないエポキシ
樹脂、および/または、フェノールノボラック樹脂、フ
ェノールアラルキル樹脂等のナフタレン骨格を含まない
フェノール樹脂、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノ
ジフェニルスルホン、ジシアンジアミド等に代表される
アミン類、無水フタル酸、無水ピロメリット酸等の酸無
水物を併用することもできる。
化するにあたっては、硬化促進剤を含有させることが望
ましく、かかる硬化促進剤としては、2−メチルイミダ
ゾール、2−メチル−4−エチルイミダゾール、2−ヘ
プタデシルイミダゾール等のイミダゾール類;トリエタ
ノールアミン、トリエチレンジアミン、N−メチルモル
ホリン等のアミン類;トリブチルホスフィン、トリフェ
ニルホスフィン、トリトリルホスフィン等の有機ホスフ
ィン類;テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボ
レート、トリエチルアンモニウムテトラフェニルボレー
ト等のテトラフェニルボロン塩類;1,8−ジアザ−ビ
シクロ(5,4,0)ウンデセン−7およびその誘導電
が挙げられる。これらの硬化促進剤は、単独で用いても
2種類以上を併用してもよく、また、必要に応じて、有
機過酸化物やアゾ化合物を併用することもできる。これ
らの硬化促進剤の含有量は、熱硬化性樹脂100重量部
に対して、好ましくは0.01〜10重量部の範囲で用
いられる。
明する。各実施例、比較例で用いた樹脂の物性および導
通テストの結果は、表1にまとめて示した。
る。
に示す。アルファー−ナフト−ルザイロック30部、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂50部(商品名:エピコ
ート1001(油化シェル社製))、グリシドール20
部、メチルエチルケトン50部、ジメチルホルムアミド
50部をフラスコ中で溶解し熱硬化性樹脂ワニスを得
た。このようにして得られたワニスを104g/cm2
を100μmのガラスクロスに含浸し、140℃5分
間乾燥し合成樹脂シートを作成する。この両側に銅箔を
配置し200℃90分40kg/cm2の圧力でプレス
した。以上で得られたものを熱硬化性樹脂基板とする。
この熱硬化性樹脂のTgは275℃、200℃における
バーコル硬度は55である。
1に所定位置に0.3mmのドリルを用いて穴明けを行
った。この基板をコア材として両側に合成樹脂シート2
4を配置する。この合成樹脂シートはアルファー−ナフ
ト−ルザイロック30部、ビスフェノールA型エポキシ
樹脂50部、グリシドール20部、メチルエチルケトン
50部、ジメチルホルムアミド50部をフラスコ中で溶
解し熱硬化性樹脂ワニスを得た。
/cm2 を100μmのガラスクロスに含浸し、14
0℃5分間乾燥し合成樹脂シート24とする。この熱硬
化性樹脂の130℃における溶融粘度は、初期1000
Pa・s、20分後1500Pa・sである。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、アルファー−ナ
フトールザイロック30部、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂50部、グリシドール20部、メチルエチルケト
ン50部、ジメチルホルムアミド50部をフラスコ中で
溶解しこの樹脂50部に対して銀を50部添加して3本
ロールにより混練し、導電性ペーストを得た(Tg27
5℃、200℃におけるバ−コル硬度55)。本導電性
ペーストを板厚250μmのステンレス板の所定位置に
0.4mm径の穴を開けたメタルマスクを用意する。そ
して前記銅箔の1面に前記メタルマスクを位置決めし導
電ペーストを印刷しこの印刷された導電ペーストを乾燥
後同一位置に再度印刷する方法を3回繰り返す。高さ2
00μmのバンプ22を形成する。図2にこうして形設
された導電バンプ22の形状を側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下であった。
る。
アルファー−ナフト−ルザイロック30部、エポキシ樹
脂50部、グリシドール20部、メチルエチルケトン5
0部、ジメチルホルムアミド50部をフラスコ中で溶解
し熱硬化性樹脂ワニスを得た。このようにして得られた
ワニスを104g/cm2 を100μmのガラスクロ
スに含浸し、140℃5分間乾燥し合成樹脂シートを作
成する。この両側に銅箔を配置し200℃90分40k
g/cm2 の圧力でプレスした。以上で得られたもの
を熱硬化性樹脂基板21とする(Tg275℃、200
℃におけるバーコル硬度55)。
1に所定位置に0.3mmのドリルを用いて穴明けを行
った。この基板をコア材として両側に合成樹脂シート2
4を配置する。この合成樹脂シートはエポキシ樹脂をガ
ラスクロスに含浸したプリプレグ(松下電工製、商品名
R1776T)を用いた(130℃における溶融粘度1
00、20分後1000Pa・s)。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、導電バンプの導
電ペーストは、エポキシ樹脂系の銀系の導電ペースト
(商品名:熱硬化性導電ペースト DW−250H−5
東洋紡績社製)を用いた(Tg150℃、200℃に
おけるバ−コル硬度10)。
ンレス板の所定位置に0.4mm径の穴を開けたメタル
マスクを用意する。そして前記銅箔の1面に前記メタル
マスクを位置決めし導電ペーストを印刷しこの印刷され
た導電ペーストを乾燥後同一位置に再度印刷する方法を
3回繰り返す。高さ200μmのバンプ22を形成す
る。図2にこうして形設された導電バンプ22の形状を
側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下が90%、0.1Ω以下が1
0%であった。
る。
ポキシ樹脂基板(商品名:R1776T 松下電工社
製)を用いた(ガラス転移温度150℃、200℃にお
けるバーコル硬度10)。
1を所定位置に0.3mmのドリルを用いて穴明けを行
った。この基板をコア材として両側に合成樹脂シート2
4を配置する。この合成樹脂シートはアルファー−ナフ
ト−ルザイロック30部、エポキシ樹脂50部、グリシ
ドール20部、メチルエチルケトン50部、ジメチルホ
ルムアミド50部をフラスコ中で溶解し熱硬化性樹脂ワ
ニスを得た。
/cm2 を100μmのガラスクロスに含浸し、14
0℃5分間乾燥し合成樹脂シート24とする(130℃
における溶融粘度1000、20分後1500Pa・
s)。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、導電バンプの導
電ペーストはエポキシ樹脂系の銀系の導電ペースト(商
品名:熱硬化性導電ペースト DW−250H−5 東
洋紡績社製)を用いた(ガラス転移温度150℃、20
0℃におけるバーコル硬度10)。
ンレス板の所定位置に0.4mm径の穴を開けたメタル
マスクを用意する。そして前記銅箔の1面に前記メタル
マスクを位置決めし導電ペーストを印刷し、この印刷さ
れた導電ペーストを乾燥後同一位置に再度印刷する方法
を3回繰り返す。高さ200μmのバンプ22を形成す
る。図2にこうして形設された導電バンプ22の形状を
側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下が90%、0.1Ω以下が1
0%であった。
る。
エポキシ樹脂基板(松下電工社製商品名:R1776
T)を用いた(ガラス転移温度150℃、200℃にお
けるバーコル硬度10)。
1に所定位置に0.3mmのドリルを用いて穴明けを行
った。この基板をコア材として両側に合成樹脂シート2
4を配置する。この合成樹脂シートはエポキシ樹脂をガ
ラスクロスに含浸したプリプレグ(松下電工社製 商品
名:R1776T)を用いた(130℃における溶融粘
度100、20分後1000Pa・s)。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、アルファー−ナ
フト−ルザイロック30部、エポキシ樹脂50部、グリ
シドール20部、メチルエチルケトン50部、ジメチル
ホルムアミド50部をフラスコ中で溶解しこの樹脂50
部(Tg275℃、200℃におけるバーコル硬度5
5)に対し銀を50部添加して3本ロールにより混練
し、導電性ペーストを得た。本導電性ペーストを板厚2
50μmのステンレス板の所定位置に0.4mm径の穴
を開けたメタルマスクを用意する。そして前記銅箔の1
面に前記メタルマスクを位置決めし導電ペーストを印刷
しこの印刷された導電ペーストを乾燥後同一位置に再度
印刷する方法を3回繰り返す。高さ200μmのバンプ
22を形成する。図2にこうして形設された導電バンプ
22の形状を側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下が90%、0.1Ω以下が1
0%であった。
る。
ポキシ樹脂基板(松下電工社製 商品名R1776T)
を用いた(ガラス転移温度150℃、200℃における
バーコル硬度10)。
1に所定位置に0.3mmのドリルを用いて穴明けを行
った。この基板をコア材として両側に合成樹脂シート2
4を配置する。この合成樹脂シートは、エポキシ樹脂を
ガラスクロスに含浸したプリプレグ(松下電工社製 商
品名R1776T)を用いた(130℃における溶融粘
度100、20分後1000Pa・s)。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、導電バンプの導
電ペースとはエポキシ樹脂系の銀系の導電ペースト(商
品名:熱硬化性導電ペースト DW−250H−5 東
洋紡績社製)を用いた(ガラス転移温度150℃、20
0℃におけるバーコル硬度10)。
ンレス板の所定位置に0.4mm径の穴を開けたメタル
マスクを用意する。そして前記銅箔の1面に前記メタル
マスクを位置決めし導電ペーストを印刷し、この印刷さ
れた導電ペーストを乾燥後同一位置に再度印刷する方法
を3回繰り返す。高さ200μmのバンプ22を形成す
る。図2にこうして形設された導電バンプ22の形状を
側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下が90%、0.1Ω以下が5
%、残り5%が断線であった。
る。
ビシポリマレイミドトリアジン樹脂基板(三菱ガス化学
製 商品名:BT−HL−832)を用いた(Tg20
0℃、200℃におけるバーコル硬度40)。
0.3mmのドリルを用いて穴明けを行った。この基板
をコア材として両側に合成樹脂シート24を配置する。
この合成樹脂シートはガラスクロス含浸ビシポリマレイ
ミドトリアジン樹脂プリプレグ(三菱ガス化学製 商品
名:BT−HL−830)を用いた(130℃における
溶融粘度100、20分後600Pa・s)。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、導電バンプの導
電ペーストはエポキシ樹脂系の銀系の導電ペースト(商
品名:熱硬化性導電ペースト DW−250H−5 東
洋紡績社製)を用いた(ガラス転移温度150℃、20
0℃におけるバーコル硬度10)。
ンレス板の所定位置に0.4mm径の穴を開けたメタル
マスクを用意する。そして前記銅箔の1面に前記メタル
マスクを位置決めし導電ペーストを印刷し、この印刷さ
れた導電ペーストを乾燥後同一位置に再度印刷する方法
を3回繰り返す。高さ200μmのバンプ22を形成す
る。図2にこうして形設された導電バンプ22の形状を
側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下が70%、0.1Ω以下が2
0%、残り10%が断線であった。
る。熱硬化型樹脂基板21はガラスクロス含浸ポリエス
テル樹脂基板を用いた(Tg140℃、200℃におけ
るバーコル硬度10)。
0.3mmのドリルを用いて穴明けを行った。この基板
をコア材として両側に合成樹脂シート24を配置する。
この合成樹脂シートはエポキシ樹脂をガラスクロスに含
浸したプリプレグ(松下電工社製 商品名:R1776
T)を用いた(130℃における溶融粘度100、20
分後1000Pa・s)。
樹脂シート24を配置し、その後その両側に導電バンプ
を形成した銅箔を形成する。導電バンプ22の形成方法
を以下に説明する。まず厚さ18μmの銅箔(古河電工
社製)を支持基板シートとする。また、導電バンプの導
電ペーストはポリエステル系の銀系の導電ペーストを用
いた(ガラス転移温度140℃、200℃におけるバー
コル硬度10)。
ンレス板の所定位置に0.4mm径の穴を開けたメタル
マスクを用意する。そして前記銅箔の1面に前記メタル
マスクを位置決めし導電ペーストを印刷し、この印刷さ
れた導電ペーストを乾燥後同一位置に再度印刷する方法
を3回繰り返す。高さ200μmのバンプ22を形成す
る。図2にこうして形設された導電バンプ22の形状を
側面的に示した。
ート24、銅箔23を図2のように配置し、200℃9
0分、圧力40kg/cm2 でプレスした。
2についてテスターで各導電部を表裏から導通テストし
たが、全て0.01Ω以下が70%、0.1Ω以下が2
0%、残り10%が断線であった。
止し、貫通型の導電配線部を製造する際の歩留まりが向
上するとともに信頼性が向上する。
例を示す図である。
例を示す図である。
30℃における溶融粘度挙動を示す図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 少なくとも一方の面の所定位置に導電バ
ンプが設けられた第一の基板と、少なくとも一方の面に
配線パターンが設けられた第二の基板とを、前記導電バ
ンプが設けられた面および前記配線パターンが設けられ
た面を内側にして対向させ、前記第一の基板と前記第二
の基板との間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成
し、該積層体を積層プレスすることにより合成樹脂シー
トの厚さ方向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形
成するプリント配線基板の製造方法において、前記導電
バンプを構成する熱硬化性樹脂が、ガラス転移温度が2
50℃以上であってバーコル硬度が200℃で45以上
であることを特徴とするプリント配線基板の製造方法。 - 【請求項2】 少なくとも一方の面の所定位置に導電バ
ンプが設けられた第一の基板と、少なくとも一方の面に
配線パターンが設けられた第二の基板とを、前記導電バ
ンプが設けられた面および前記配線パターンが設けられ
た面を内側にして対向させ、前記第一の基板と前記第二
の基板との間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成
し、該積層体を積層プレスすることにより合成樹脂シー
トの厚さ方向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形
成するプリント配線基板の製造方法において、前記合成
樹脂シートを構成する熱硬化性樹脂が、130℃におけ
る溶融粘度が500Pa・s以上3000Pa・s以下
であって130℃20分後の溶融粘度の上昇率が5倍以
下であることを特徴とするプリント配線基板の製造方
法。 - 【請求項3】 少なくとも一方の面の所定位置に導電バ
ンプが設けられた第一の基板と、少なくとも一方の面に
配線パターンが設けられた第二の基板とを、前記導電バ
ンプが設けられた面および前記配線パターンが設けられ
た面を内側にして対向させ、前記第一の基板と前記第二
の基板との間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成
し、該積層体を積層プレスすることにより合成樹脂シー
トの厚さ方向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形
成するプリント配線基板の製造方法において、前記第二
の基板を構成する熱硬化性樹脂が、ガラス転移温度が2
50℃以上であってバーコル硬度が200℃で45以上
であることを特徴とするプリント配線基板の製造方法。 - 【請求項4】 少なくとも一方の面の所定位置に導電バ
ンプが設けられた第一の基板と、少なくとも一方の面に
配線パターンが設けられた第二の基板とを、前記導電バ
ンプが設けられた面および前記配線パターンが設けられ
た面を内側にして対向させ、前記第一の基板と前記第二
の基板との間に合成樹脂シートを配置して積層体を構成
し、該積層体を積層プレスすることにより合成樹脂シー
トの厚さ方向に前記バンプを貫通させて導電配線部を形
成するプリント配線基板の製造方法において、前記導電
バンプを構成する熱硬化性樹脂および前記第二の基板を
構成する熱硬化性樹脂が、ガラス転移温度が250℃以
上であってバーコル硬度が200℃で45以上であり、
前記合成樹脂シートを構成する熱硬化性樹脂が、130
℃における溶融粘度が500Pa・s以上3000Pa
・s以下であって130℃20分後の溶融粘度の上昇率
が5倍以下であることを特徴とするプリント配線基板の
製造方法。 - 【請求項5】 前記熱硬化性樹脂が一般式(1)で示さ
れるポリマレイミド樹脂 【化1】 (式中、R1 は炭素数が2〜27で、脂肪族基、環式脂
肪族基、単環式芳香族基、縮合多環式芳香族基、あるい
は芳香族基が直接または架橋員により相互に連結された
縮合多環式芳香族基であるl価の基、Xa,Xbは水素
原子、ハロゲン原子および炭素数1〜4の炭化水素基か
ら選ばれた同一または異なる一価の原子または基、lは
2以上10以下の整数を表す)を、(a)分子中に少な
くとも二つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
(b)分子中に少なくとも二つ以上のOH基を有し、少
なくとも二つのナフタレン骨格を有するフェノール樹
脂、により変性されたポリマレイミド樹脂であることを
特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載のプリント配
線基板の製造方法。 - 【請求項6】 前記ポリマレイミド樹脂が、分子中に一
つのアルコール性もしくはフェノール性OH基と、一つ
以上のエポキシ基とを有する分子量50以上300以下
の化合物により変成されたポリマレイミド樹脂であるこ
とを特徴とする請求項5に記載のプリント配線基板の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9135520A JPH1051136A (ja) | 1996-05-28 | 1997-05-26 | プリント配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13398496 | 1996-05-28 | ||
JP13551496 | 1996-05-29 | ||
JP8-133984 | 1996-05-29 | ||
JP13551396 | 1996-05-29 | ||
JP8-135514 | 1996-05-29 | ||
JP8-135513 | 1996-05-29 | ||
JP9135520A JPH1051136A (ja) | 1996-05-28 | 1997-05-26 | プリント配線基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1051136A true JPH1051136A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=27471793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9135520A Pending JPH1051136A (ja) | 1996-05-28 | 1997-05-26 | プリント配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1051136A (ja) |
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