JPH1044350A - グリーンシート用離型フィルム - Google Patents
グリーンシート用離型フィルムInfo
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- JPH1044350A JPH1044350A JP8200755A JP20075596A JPH1044350A JP H1044350 A JPH1044350 A JP H1044350A JP 8200755 A JP8200755 A JP 8200755A JP 20075596 A JP20075596 A JP 20075596A JP H1044350 A JPH1044350 A JP H1044350A
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- JP
- Japan
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- film
- polyester
- green sheet
- thickness
- release film
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- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スルーホール穴打ち抜き時にバリ等の発生が
なく、打ち抜き性が改良されグリーンシートを提供す
る。 【解決手段】 二軸配向されたポリエステルフィルムの
少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けた塗布
フィルムであって、フィルム縦および横方向の引張破断
強度の和が２５０〜４５０ＭＰａであり、フィルムの全
光線透過率（ＴＬ）が６０％以下であることを特徴とす
るグリーンシート用離型フィルム。
なく、打ち抜き性が改良されグリーンシートを提供す
る。 【解決手段】 二軸配向されたポリエステルフィルムの
少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けた塗布
フィルムであって、フィルム縦および横方向の引張破断
強度の和が２５０〜４５０ＭＰａであり、フィルムの全
光線透過率（ＴＬ）が６０％以下であることを特徴とす
るグリーンシート用離型フィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、グリーンシート用
離型フィルムに関する。さらに詳しくは、グリーンシー
トの多層積層法により、セラミック基板を作成する際の
スルーホール穴打ち抜き時にバリ等の発生がなく、打ち
抜き性が改良され、スルーホールの検査が容易なグリー
ンシート用離型フィルムに関する。
離型フィルムに関する。さらに詳しくは、グリーンシー
トの多層積層法により、セラミック基板を作成する際の
スルーホール穴打ち抜き時にバリ等の発生がなく、打ち
抜き性が改良され、スルーホールの検査が容易なグリー
ンシート用離型フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路の高密度化として、ファインパ
ターン化、多層化が要求されるようになってきた。多層
化にはスルーホールが必要で、より高密度化させるため
には更なるファインパターン化とともにスルーホールの
狭小化が要求されている。現在、グリーンシート多層積
層法では、ベースフィルムとしてポリエステルフィルム
を用いる場合、特開平５−２６１８６８号公報に記載さ
れているポリフェニレンサルファイトフィルム（以下、
ＰＰＳフィルムと略す）と比べ、スルーホール穴明け時
にバリが発生しやすく、良好なスルーホールが得にく
く、ここに導電性塗料を埋め込んで積層間の導通回路と
すると、特に狭いスルーホールではバリのために、導電
性塗料がスルーホールにうまく入らないため、不良率が
高く問題であった。また、発生したバリによって、グリ
ーンシートが破損しスルーホールの穴の大きさが変化し
てしまう問題があった。
ターン化、多層化が要求されるようになってきた。多層
化にはスルーホールが必要で、より高密度化させるため
には更なるファインパターン化とともにスルーホールの
狭小化が要求されている。現在、グリーンシート多層積
層法では、ベースフィルムとしてポリエステルフィルム
を用いる場合、特開平５−２６１８６８号公報に記載さ
れているポリフェニレンサルファイトフィルム（以下、
ＰＰＳフィルムと略す）と比べ、スルーホール穴明け時
にバリが発生しやすく、良好なスルーホールが得にく
く、ここに導電性塗料を埋め込んで積層間の導通回路と
すると、特に狭いスルーホールではバリのために、導電
性塗料がスルーホールにうまく入らないため、不良率が
高く問題であった。また、発生したバリによって、グリ
ーンシートが破損しスルーホールの穴の大きさが変化し
てしまう問題があった。
【０００３】一方、ＰＰＳフィルムの場合には、スルー
ホール穴打ち抜き性は良好であるが、フィルムにウネリ
やタルミが発生しやすいため、グリーンシート作成上問
題となる場合があった。スルーホールの検査では、離型
フィルムの透明性が高い場合には、透過光でバリが確認
しずらいという問題もあった。
ホール穴打ち抜き性は良好であるが、フィルムにウネリ
やタルミが発生しやすいため、グリーンシート作成上問
題となる場合があった。スルーホールの検査では、離型
フィルムの透明性が高い場合には、透過光でバリが確認
しずらいという問題もあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、スルーホー
ル穴打ち抜き時にバリ等の発生がなく、打ち抜き性が改
良されグリーンシートを提供することを解決課題とする
ものである。
ル穴打ち抜き時にバリ等の発生がなく、打ち抜き性が改
良されグリーンシートを提供することを解決課題とする
ものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記実情に
鑑み鋭意検討した結果、ある特性を制御することによ
り、上記課題が容易に解決できることを知見し、本発明
を完成するに至った。すなわち、本発明の要旨は、二軸
配向されたポリエステルフィルムの少なくとも片面に硬
化シリコーン樹脂塗膜を設けた塗布フィルムであって、
フィルム縦および横方向の引張破断強度の和が２５０〜
４５０ＭＰａであり、フィルムの全光線透過率（ＴＬ）
が６０％以下であることを特徴とするグリーンシート用
離型フィルムに存する。
鑑み鋭意検討した結果、ある特性を制御することによ
り、上記課題が容易に解決できることを知見し、本発明
を完成するに至った。すなわち、本発明の要旨は、二軸
配向されたポリエステルフィルムの少なくとも片面に硬
化シリコーン樹脂塗膜を設けた塗布フィルムであって、
フィルム縦および横方向の引張破断強度の和が２５０〜
４５０ＭＰａであり、フィルムの全光線透過率（ＴＬ）
が６０％以下であることを特徴とするグリーンシート用
離型フィルムに存する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明をさらに詳細に説明
する。本発明にいう二軸配向されたポリエステルフィル
ムとは、押出口金から溶融押し出される、いわゆる押出
法により押し出されたフィルムであって、後に縦方向お
よび横方向の二軸方向に配向させたフィルムである。
する。本発明にいう二軸配向されたポリエステルフィル
ムとは、押出口金から溶融押し出される、いわゆる押出
法により押し出されたフィルムであって、後に縦方向お
よび横方向の二軸方向に配向させたフィルムである。
【０００７】本発明においてポリエステルとは、芳香族
ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得ら
れるものを指す。芳香族ジカルボン酸としては、テレフ
タル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などが挙げら
れ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、
ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタ
ノ−ル等が挙げられる。代表的なポリエステルとして
は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチ
レン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥ
Ｎ）等が例示される。
ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得ら
れるものを指す。芳香族ジカルボン酸としては、テレフ
タル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などが挙げら
れ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、
ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタ
ノ−ル等が挙げられる。代表的なポリエステルとして
は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチ
レン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥ
Ｎ）等が例示される。
【０００８】ポリエステルは、第三成分を含有した共重
合体であってもよい。共重合ポリエステルのジカルボン
酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル
酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セ
バシン酸、および、オキシカルボン酸（例えば、Ｐ−オ
キシ安息香酸など）の一種または二種以上が挙げられ、
グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオー
ル、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチ
ルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
合体であってもよい。共重合ポリエステルのジカルボン
酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル
酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セ
バシン酸、および、オキシカルボン酸（例えば、Ｐ−オ
キシ安息香酸など）の一種または二種以上が挙げられ、
グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオー
ル、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチ
ルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
【０００９】本発明において、二軸配向ポリエステルフ
ィルムに含有される粒子の平均粒径は、特に限定される
ものではないが、通常、０．０５μｍ〜１μｍ、好まし
くは０．０５μｍ〜０．７μｍ、さらに好ましくは０．
０５μｍ〜０．５μｍである。この値が０．０５μｍ未
満の場合には、粒子が凝集しやすく、粗大物となり、製
膜後のフィルム表面状態が悪化する傾向があるため、そ
の後の工程でグリーンシートを作成する時に、グリーン
シートの表面状態も悪化し、良好なグリーンシートが得
られない場合がある。また、この値が１μｍを超える場
合には、フィルムの表面粗度が高くなり、集積回路の高
密度化として、良好な表面状態のグリーンシートが得ら
れない場合がある。
ィルムに含有される粒子の平均粒径は、特に限定される
ものではないが、通常、０．０５μｍ〜１μｍ、好まし
くは０．０５μｍ〜０．７μｍ、さらに好ましくは０．
０５μｍ〜０．５μｍである。この値が０．０５μｍ未
満の場合には、粒子が凝集しやすく、粗大物となり、製
膜後のフィルム表面状態が悪化する傾向があるため、そ
の後の工程でグリーンシートを作成する時に、グリーン
シートの表面状態も悪化し、良好なグリーンシートが得
られない場合がある。また、この値が１μｍを超える場
合には、フィルムの表面粗度が高くなり、集積回路の高
密度化として、良好な表面状態のグリーンシートが得ら
れない場合がある。
【００１０】本発明において、二軸配向ポリエステルフ
ィルムに含有される粒子の含有量は通常、２〜２５重量
％、好ましくは５重量％〜２０重量％である。この値が
２重量％未満では、薄いグリーンシート用離型フィルム
の場合、光線透過率が高くなり、スルーホールの検査が
困難となる場合がある。また、この値が２５重量％を超
える場合には、フィルム製膜時に破断が多発する傾向が
ある。
ィルムに含有される粒子の含有量は通常、２〜２５重量
％、好ましくは５重量％〜２０重量％である。この値が
２重量％未満では、薄いグリーンシート用離型フィルム
の場合、光線透過率が高くなり、スルーホールの検査が
困難となる場合がある。また、この値が２５重量％を超
える場合には、フィルム製膜時に破断が多発する傾向が
ある。
【００１１】本発明でポリエステルフィルムに含有され
る粒子は、例えば、二酸化チタン、炭酸カルシウム、酸
化アルミニウム、二酸化ケイ素、カオリン、タルク、ゼ
オライト、フッ化リチウム、硫酸バリウム、カーボンブ
ラック、特公昭５９−５２１６号公報に記載されている
様な、耐熱性高分子微粉体等が挙げられる。これらの粒
子は、単独あるいは２成分以上を同時に使用してもよ
い。特に粒子の分散性、取扱性等の点から二酸化チタン
粒子が好ましい。
る粒子は、例えば、二酸化チタン、炭酸カルシウム、酸
化アルミニウム、二酸化ケイ素、カオリン、タルク、ゼ
オライト、フッ化リチウム、硫酸バリウム、カーボンブ
ラック、特公昭５９−５２１６号公報に記載されている
様な、耐熱性高分子微粉体等が挙げられる。これらの粒
子は、単独あるいは２成分以上を同時に使用してもよ
い。特に粒子の分散性、取扱性等の点から二酸化チタン
粒子が好ましい。
【００１２】本発明でポリエステルに粒子を配合する方
法としては、特に限定されるものではなく、公知の方法
を採用し得る。例えば、ポリエステルを製造する任意の
段階において添加することができるが、好ましくはエス
テル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後重縮合
反応開始前の段階でエチレングリコール等に分散させた
スラリーとして添加し重縮合反応を進めてもよい。また
ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまた
は水などに分散させた粒子のスラリ−とポリエステル原
料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、
乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方
法などによって行われる。
法としては、特に限定されるものではなく、公知の方法
を採用し得る。例えば、ポリエステルを製造する任意の
段階において添加することができるが、好ましくはエス
テル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後重縮合
反応開始前の段階でエチレングリコール等に分散させた
スラリーとして添加し重縮合反応を進めてもよい。また
ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまた
は水などに分散させた粒子のスラリ−とポリエステル原
料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、
乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方
法などによって行われる。
【００１３】本発明において、二軸配向されたポリエス
テルフィルムのフィルム縦方向および横方向の引張破断
強度の和は２５０〜４５０ＭＰａ、好ましくは３００〜
４００ＭＰａの範囲である。この値が、２５０ＭＰａ未
満では、フィルムが脆くなりスルーホール穴打ち抜き時
にフィルムが割れやすくなるので好ましくない。また、
この値が４５０ＭＰａを超える場合には、スルーホール
穴打ち抜き時にバリが発生しやすくなるので好ましくな
い。
テルフィルムのフィルム縦方向および横方向の引張破断
強度の和は２５０〜４５０ＭＰａ、好ましくは３００〜
４００ＭＰａの範囲である。この値が、２５０ＭＰａ未
満では、フィルムが脆くなりスルーホール穴打ち抜き時
にフィルムが割れやすくなるので好ましくない。また、
この値が４５０ＭＰａを超える場合には、スルーホール
穴打ち抜き時にバリが発生しやすくなるので好ましくな
い。
【００１４】本発明においては、グリーンシート用離型
フィルムの全光線透過率（ＴＬ）は６０％以下、好まし
くは４５％以下、さらに好ましくは３０％以下である。
この値が６０％を超える場合には、スルーホールが正常
に打ち抜かれたか否かの確認検査が困難となり好ましく
ない。本発明のポリエステルフィルムは、フィルムとし
て製膜できる厚さであればよいが、好ましくは、７５μ
ｍ〜３００μｍ、さらに好ましくは、１００μｍ〜２５
０μｍである。フィルムの厚みが薄い場合には、打ち抜
き性が悪くなる場合があり、フィルムの厚みが厚すぎる
場合には、フィルムの生産性、取扱性等で問題となる場
合がある。
フィルムの全光線透過率（ＴＬ）は６０％以下、好まし
くは４５％以下、さらに好ましくは３０％以下である。
この値が６０％を超える場合には、スルーホールが正常
に打ち抜かれたか否かの確認検査が困難となり好ましく
ない。本発明のポリエステルフィルムは、フィルムとし
て製膜できる厚さであればよいが、好ましくは、７５μ
ｍ〜３００μｍ、さらに好ましくは、１００μｍ〜２５
０μｍである。フィルムの厚みが薄い場合には、打ち抜
き性が悪くなる場合があり、フィルムの厚みが厚すぎる
場合には、フィルムの生産性、取扱性等で問題となる場
合がある。
【００１５】次に本発明の中の二軸延伸ポリエステルフ
ィルムの製造方法について具体的に説明するが、本発明
のフィルムは以下の製造例に何ら限定されるものではな
い。まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、押出
機を用い、ポリエステルを口金から溶融押出し、冷却ロ
ールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好まし
い。この場合、シートの平面性を向上させるため、シー
トと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静
電印加密着法および／または液体塗布密着法が好ましく
採用される。
ィルムの製造方法について具体的に説明するが、本発明
のフィルムは以下の製造例に何ら限定されるものではな
い。まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、押出
機を用い、ポリエステルを口金から溶融押出し、冷却ロ
ールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好まし
い。この場合、シートの平面性を向上させるため、シー
トと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静
電印加密着法および／または液体塗布密着法が好ましく
採用される。
【００１６】次いで、得られた未延伸フィルムは二軸方
向に延伸して二軸配向される。すなわち、まず、前記の
未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延
伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０
℃、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は、通
常２．５〜７倍、好ましくは３．０〜６倍である。次い
で、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸を行う。延
伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１
５℃であり、延伸倍率は、通常３．０〜７倍、好ましく
は３．５〜６倍である。そして、引き続き、１７０〜２
５０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処
理を行い、二軸配向フィルムを得る。該延伸工程中にフ
ィルム表面を処理する、いわゆるインラインコーティン
グを施すことができる。それは以下に限定するものでは
ないが、特に１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前
に、帯電防止性、滑り性、接着性等の改良、２次加工性
改良等の目的で、水溶性、水系エマルジョン、水系スラ
リー等のコーティング処理を施すことができる。
向に延伸して二軸配向される。すなわち、まず、前記の
未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延
伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０
℃、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は、通
常２．５〜７倍、好ましくは３．０〜６倍である。次い
で、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸を行う。延
伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１
５℃であり、延伸倍率は、通常３．０〜７倍、好ましく
は３．５〜６倍である。そして、引き続き、１７０〜２
５０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処
理を行い、二軸配向フィルムを得る。該延伸工程中にフ
ィルム表面を処理する、いわゆるインラインコーティン
グを施すことができる。それは以下に限定するものでは
ないが、特に１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前
に、帯電防止性、滑り性、接着性等の改良、２次加工性
改良等の目的で、水溶性、水系エマルジョン、水系スラ
リー等のコーティング処理を施すことができる。
【００１７】上記の延伸においては、一方向の延伸を２
段階以上で行う方法を用いることもできる。その場合、
最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となる様
に行うのが好ましい。また、前記の未延伸シートを面積
倍率が１０〜４０倍になる様に同時二軸延伸を行うこと
も可能である。さらに、必要に応じて熱処理を行う前ま
たは後に再度縦および／または横方向に延伸してもよ
い。
段階以上で行う方法を用いることもできる。その場合、
最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となる様
に行うのが好ましい。また、前記の未延伸シートを面積
倍率が１０〜４０倍になる様に同時二軸延伸を行うこと
も可能である。さらに、必要に応じて熱処理を行う前ま
たは後に再度縦および／または横方向に延伸してもよ
い。
【００１８】次に本発明中の硬化型シリコーン樹脂塗料
の塗布方法について具体的に説明するが、以下の塗布方
法に何ら限定されるものではない。すなわち、本発明に
おいて、二軸配向されたポリエステルフィルムのうち少
なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設ける。硬化
シリコーン樹脂塗膜はフィルムに離型特性を付与する層
であり、硬化性シリコーン樹脂を含有する塗液をコーテ
ィングし乾燥、硬化させることで形成させる。
の塗布方法について具体的に説明するが、以下の塗布方
法に何ら限定されるものではない。すなわち、本発明に
おいて、二軸配向されたポリエステルフィルムのうち少
なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設ける。硬化
シリコーン樹脂塗膜はフィルムに離型特性を付与する層
であり、硬化性シリコーン樹脂を含有する塗液をコーテ
ィングし乾燥、硬化させることで形成させる。
【００１９】硬化型シリコーン樹脂としては、特に限定
されるものではないが、例えば縮合反応型、付加反応
型、紫外線硬化型、電子線硬化型などいずれのものでも
用いることができる。本発明においては、硬化型シリコ
ーン樹脂塗料をコーティングする方法としては、リバー
スロールコート法、グラビアロールコート法、エアーナ
イフコート法等公知の方法によりコーティングすること
ができる。
されるものではないが、例えば縮合反応型、付加反応
型、紫外線硬化型、電子線硬化型などいずれのものでも
用いることができる。本発明においては、硬化型シリコ
ーン樹脂塗料をコーティングする方法としては、リバー
スロールコート法、グラビアロールコート法、エアーナ
イフコート法等公知の方法によりコーティングすること
ができる。
【００２０】塗布された硬化型シリコーン樹脂塗料は、
例えば熱により硬化させて硬化皮膜を形成することがで
きる。その場合、５０〜１５０℃、好ましくは８０〜１
３０℃の範囲の温度で２分以内、好ましくは１分以内の
時間で加熱処理することにより、硬化皮膜を形成するこ
とが好ましい。硬化型シリコーン樹脂の塗布厚みとして
は１〜２５ｇ／ｍ2 、さらには２〜２０ｇ／ｍ2 の範囲
が好ましく、硬化後のシリコーン樹脂塗膜の厚みは０．
０５〜１μｍ、さらには０．１〜０．５μｍの範囲が好
ましい。硬化後の塗布厚みが０．０５μｍ未満の場合に
は、離型性能が低下する傾向がある。また、硬化後の塗
布厚みが１μｍを超える場合には、塗膜の硬化が不十分
となる傾向があり、離型性能が経時的に変化することが
ある。
例えば熱により硬化させて硬化皮膜を形成することがで
きる。その場合、５０〜１５０℃、好ましくは８０〜１
３０℃の範囲の温度で２分以内、好ましくは１分以内の
時間で加熱処理することにより、硬化皮膜を形成するこ
とが好ましい。硬化型シリコーン樹脂の塗布厚みとして
は１〜２５ｇ／ｍ2 、さらには２〜２０ｇ／ｍ2 の範囲
が好ましく、硬化後のシリコーン樹脂塗膜の厚みは０．
０５〜１μｍ、さらには０．１〜０．５μｍの範囲が好
ましい。硬化後の塗布厚みが０．０５μｍ未満の場合に
は、離型性能が低下する傾向がある。また、硬化後の塗
布厚みが１μｍを超える場合には、塗膜の硬化が不十分
となる傾向があり、離型性能が経時的に変化することが
ある。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。なお、実施例および比
較例中「部」とあるのは「重量部」を示す。また、本発
明で用いた測定法は次のとおりである。
明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。なお、実施例および比
較例中「部」とあるのは「重量部」を示す。また、本発
明で用いた測定法は次のとおりである。
【００２２】（１）引張破断強度 （株）インテスコ製引張試験機インテスコモデル２００
１型を用いて、温度２３℃、湿度５０％ＲＨに調節され
た室内において、チャック間距離５０ｍｍ、幅１５ｍｍ
の試料フィルムを２００ｍｍ／分の速度で引張り、応力
−ひずみ曲線より破断点の応力を求め、試料フィルムの
断面積で除して引張破断強度とした。 （２）全光線透過率（ＴＬ） ＪＩＳ−Ｋ７１０５に準じ、日本電色工業社製積分球式
濁度計ＮＤＨ−３００Ａにより、全光線透過率（ＴＬ）
を測定した。
１型を用いて、温度２３℃、湿度５０％ＲＨに調節され
た室内において、チャック間距離５０ｍｍ、幅１５ｍｍ
の試料フィルムを２００ｍｍ／分の速度で引張り、応力
−ひずみ曲線より破断点の応力を求め、試料フィルムの
断面積で除して引張破断強度とした。 （２）全光線透過率（ＴＬ） ＪＩＳ−Ｋ７１０５に準じ、日本電色工業社製積分球式
濁度計ＮＤＨ−３００Ａにより、全光線透過率（ＴＬ）
を測定した。
【００２３】（３）スルーホール穴打ち抜き性 （株）ライオン事務器製 ２ＨＯＬＥ ＰＵＮＣＨ Ｎ
ｏ．３５を使用し、試料フィルムを打ち抜き、打ち抜か
れた部分を（株）キーエンス製デジタルマイクロスコー
プ ＶＨ−６２００にて、２００倍で観察し、下記のラ
ンクに従って評価した。 ○：バリがほとんど観察されない △：バリが若干観察されるが、実用上問題のないレベル ×：バリが多く観察される（実用上問題のあるレベル）
ｏ．３５を使用し、試料フィルムを打ち抜き、打ち抜か
れた部分を（株）キーエンス製デジタルマイクロスコー
プ ＶＨ−６２００にて、２００倍で観察し、下記のラ
ンクに従って評価した。 ○：バリがほとんど観察されない △：バリが若干観察されるが、実用上問題のないレベル ×：バリが多く観察される（実用上問題のあるレベル）
【００２４】（４）スルーホール確認検査 前記の方法によりスルーホールを開けた試料フィルムを
オーバーヘッドプロジェクターにて透写し、スルーホー
ルの確認検査を目視で行い、以下のランクに従って評価
した。 ○：スルーホールの確認が容易 △：スルーホールの確認がある程度容易（実用上問題の
ないレベル） ×：スルーホールの確認が困難
オーバーヘッドプロジェクターにて透写し、スルーホー
ルの確認検査を目視で行い、以下のランクに従って評価
した。 ○：スルーホールの確認が容易 △：スルーホールの確認がある程度容易（実用上問題の
ないレベル） ×：スルーホールの確認が困難
【００２５】（５）剥離力試験 離型フィルムの硬化シリコーン樹脂塗布面に日東電工社
製Ｎｏ．５０２両面粘着テープを貼り、ゴムローラーを
用いて４５０ｇ／ｃｍの線圧で圧着し、５０ｍｍ幅に切
り出し、剥離力測定用試料とした。圧着してから１時間
放置後、インストロン型引張試験機を用いて、１８０度
方向に引張速度３００ｍｍ／分で剥し、その応力の平均
値をその試料の剥離力とした。この試験を１０回繰り返
し行い、１０回の相加平均をもって剥離力とした。な
お、この試験を行った雰囲気は、２３℃、５０％ＲＨの
標準状態とした。
製Ｎｏ．５０２両面粘着テープを貼り、ゴムローラーを
用いて４５０ｇ／ｃｍの線圧で圧着し、５０ｍｍ幅に切
り出し、剥離力測定用試料とした。圧着してから１時間
放置後、インストロン型引張試験機を用いて、１８０度
方向に引張速度３００ｍｍ／分で剥し、その応力の平均
値をその試料の剥離力とした。この試験を１０回繰り返
し行い、１０回の相加平均をもって剥離力とした。な
お、この試験を行った雰囲気は、２３℃、５０％ＲＨの
標準状態とした。
【００２６】〈ポリエステルの製造〉 製造例１（ポリエステルＡ） ジメチルテレフタレート１００部、エチレングリコール
６０部および酢酸マグネシウム・４水塩０．０９部を反
応器にとり、加熱昇温するとともにメタノールを留去
し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要
して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終
了した。次いで、平均粒径（ｄ50）１．５４μｍのシリ
カ粒子を０．１部含有するエチレングリコールスラリー
を反応系に添加し、さらにエチルアシッドフォスフェー
ト０．０４部、酸化ゲルマニウム０．０１部を添加した
後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇと
し、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍｍＨｇ
とした。４時間後、系内を常圧に戻し、ポリエステルＡ
を得た。ポリエステルＡのシリカ粒子の含有量は０．１
重量％であった。
６０部および酢酸マグネシウム・４水塩０．０９部を反
応器にとり、加熱昇温するとともにメタノールを留去
し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要
して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終
了した。次いで、平均粒径（ｄ50）１．５４μｍのシリ
カ粒子を０．１部含有するエチレングリコールスラリー
を反応系に添加し、さらにエチルアシッドフォスフェー
ト０．０４部、酸化ゲルマニウム０．０１部を添加した
後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇと
し、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍｍＨｇ
とした。４時間後、系内を常圧に戻し、ポリエステルＡ
を得た。ポリエステルＡのシリカ粒子の含有量は０．１
重量％であった。
【００２７】製造例２（ポリエステルＢ） 製造例１において、平均粒径（ｄ50）１．５４μｍのシ
リカ粒子を０．１部含有するエチレングリコールスラリ
ーを反応系に添加しなかった以外は、製造例１と同様に
して、ポリエステルＢを得た。 製造例３（ポリエステルＣ） 製造例２において製造したポリエステルＢを７０部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子３０部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を用いて押出し、ポリエステ
ルＣを得た。ポリエステルＣの酸化チタン粒子の含有量
は３０重量％であった。
リカ粒子を０．１部含有するエチレングリコールスラリ
ーを反応系に添加しなかった以外は、製造例１と同様に
して、ポリエステルＢを得た。 製造例３（ポリエステルＣ） 製造例２において製造したポリエステルＢを７０部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子３０部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を用いて押出し、ポリエステ
ルＣを得た。ポリエステルＣの酸化チタン粒子の含有量
は３０重量％であった。
【００２８】製造例４（ポリエステルＤ） 製造例２において製造したポリエステルＢを８５部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子１５部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を用いて押出し、ポリエステ
ルＥを得た。ポリエステルＤの酸化チタン粒子の含有量
は１５重量％であった。
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子１５部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を用いて押出し、ポリエステ
ルＥを得た。ポリエステルＤの酸化チタン粒子の含有量
は１５重量％であった。
【００２９】実施例１ ポリエステルＤを１８０℃で４時間不活性ガス雰囲気中
で乾燥し、溶融押出機により２９０℃で溶融押出し、静
電印加密着法を用いて表面温度を４０℃に設定した冷却
ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。得られた
シートを８５℃で３．５倍縦方向に延伸した。次いで、
フィルムをテンターに導き１００℃で３．７倍横方向に
延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、厚さが３８μ
ｍのフィルムを得た。次いで、ポリエステルフィルムの
片面に硬化性シリコーン樹脂（信越化学工業（株）社製
ＫＳ７２３Ａ）１００部、硬化剤（信越化学工業
（株）社製 ＫＳ７２３Ｂ）５部、触媒（信越化学工業
（株）社製 ＰＳ−３）３部、メチルエチルケトン／ト
ルエン混合溶媒２０００部からなる塗布液をマイヤーバ
ーにて塗布し、１３０℃で１５秒熱処理を行い、硬化後
の塗布厚みが０．１μｍとなるよう硬化シリコーン樹脂
皮膜を形成し離型フィルムを得た。
で乾燥し、溶融押出機により２９０℃で溶融押出し、静
電印加密着法を用いて表面温度を４０℃に設定した冷却
ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。得られた
シートを８５℃で３．５倍縦方向に延伸した。次いで、
フィルムをテンターに導き１００℃で３．７倍横方向に
延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、厚さが３８μ
ｍのフィルムを得た。次いで、ポリエステルフィルムの
片面に硬化性シリコーン樹脂（信越化学工業（株）社製
ＫＳ７２３Ａ）１００部、硬化剤（信越化学工業
（株）社製 ＫＳ７２３Ｂ）５部、触媒（信越化学工業
（株）社製 ＰＳ−３）３部、メチルエチルケトン／ト
ルエン混合溶媒２０００部からなる塗布液をマイヤーバ
ーにて塗布し、１３０℃で１５秒熱処理を行い、硬化後
の塗布厚みが０．１μｍとなるよう硬化シリコーン樹脂
皮膜を形成し離型フィルムを得た。
【００３０】実施例２ 実施例１と同様の方法により、厚さ５０μｍの離型フィ
ルムを得た。 実施例３ 実施例１と同様の方法により、厚さ７５μｍの離型フィ
ルムを得た。 実施例４ 実施例１と同様の方法により、厚さ１００μｍの離型フ
ィルムを得た。
ルムを得た。 実施例３ 実施例１と同様の方法により、厚さ７５μｍの離型フィ
ルムを得た。 実施例４ 実施例１と同様の方法により、厚さ１００μｍの離型フ
ィルムを得た。
【００３１】実施例５ 実施例１と同様の方法により、厚さ１２５μｍの離型フ
ィルムを得た。 実施例６ 実施例１と同様の方法により、厚さ１８８μｍの離型フ
ィルムを得た。 比較例１ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＡを用いて
厚さ３８μｍの離型フィルムを得た。
ィルムを得た。 実施例６ 実施例１と同様の方法により、厚さ１８８μｍの離型フ
ィルムを得た。 比較例１ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＡを用いて
厚さ３８μｍの離型フィルムを得た。
【００３２】比較例２ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＡを用いて
厚さ１８８μｍの離型フィルムを得た。 比較例３ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＣを用いて
厚さ７５μｍのフィルムを得るべく、製膜を行ったとこ
ろ、テンター内で破断が頻発し、所望のフィルムを得る
ことができなかった。 以上、得られた結果をまとめて、下記表１に示す。
厚さ１８８μｍの離型フィルムを得た。 比較例３ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＣを用いて
厚さ７５μｍのフィルムを得るべく、製膜を行ったとこ
ろ、テンター内で破断が頻発し、所望のフィルムを得る
ことができなかった。 以上、得られた結果をまとめて、下記表１に示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、グリーン
シート用ポリエステル離型フィルムに使用された際、ス
ルーホール穴打ち抜き時にバリ等の発生がなく、打ち抜
き性が改良され、グリーンシートの多層積層法により、
セラミック基板を作成する分野に適用することができ、
その工業的価値は高い。
シート用ポリエステル離型フィルムに使用された際、ス
ルーホール穴打ち抜き時にバリ等の発生がなく、打ち抜
き性が改良され、グリーンシートの多層積層法により、
セラミック基板を作成する分野に適用することができ、
その工業的価値は高い。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２９Ｃ 55/12 Ｂ２９Ｃ 55/12 Ｂ２９Ｌ 7:00 Ｃ０８Ｌ 67:02
Claims (2)
- 【請求項１】 二軸配向されたポリエステルフィルムの
少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けた塗布
フィルムであって、フィルム縦および横方向の引張破断
強度の和が２５０〜４５０ＭＰａであり、フィルムの全
光線透過率（ＴＬ）が６０％以下であることを特徴とす
るグリーンシート用離型フィルム。 - 【請求項２】 塗布フィルムの厚みが７５〜３００μｍ
であることを特徴とする請求項１記載のグリーンシート
用離型フィルム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200755A JPH1044350A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | グリーンシート用離型フィルム |
| KR1019970001673A KR100203825B1 (ko) | 1996-01-17 | 1997-01-17 | 복합화 이형 필름 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200755A JPH1044350A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | グリーンシート用離型フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1044350A true JPH1044350A (ja) | 1998-02-17 |
Family
ID=16429646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8200755A Pending JPH1044350A (ja) | 1996-01-17 | 1996-07-30 | グリーンシート用離型フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1044350A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004060660A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Nec Corporation | シート材及び配線板 |
| JP2011051313A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | 離型フィルム |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP8200755A patent/JPH1044350A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004060660A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Nec Corporation | シート材及び配線板 |
| US7294393B2 (en) | 2002-12-27 | 2007-11-13 | Nec Corporation | Sheet material and wiring board |
| JP2011051313A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | 離型フィルム |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040803 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040907 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060306 |