JPH1038098A - 小型ダイヤフラム自動弁 - Google Patents
小型ダイヤフラム自動弁Info
- Publication number
- JPH1038098A JPH1038098A JP19080296A JP19080296A JPH1038098A JP H1038098 A JPH1038098 A JP H1038098A JP 19080296 A JP19080296 A JP 19080296A JP 19080296 A JP19080296 A JP 19080296A JP H1038098 A JPH1038098 A JP H1038098A
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- Japan
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- diaphragm
- piston
- cam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型にして強力に作動するダイヤフラム自動
弁を提供する。 【構成】 流路１４ａと１４ｂが形成されたボディ１４
とシリンダ９とを接続ナット１７により接続する。シリ
ンダ９に、押ばね２により上方に付勢されたピストン１
５を配設し、ピストン１５内に２個のローラ４を回転自
在に設ける。接続ナット１７にカムシャフト８を固定
し、このカムシャフト８に２個のカム１を回転自在にし
かも外方に常時拡がるように軸支する。カム１の下端に
押え板７を配設し、その下方にダイヤフラム押ピン１６
を介してダイヤフラム６を配備する。シリンダ９にエア
が注入されていない際にはピストン１５は押ばね２によ
りシリンダ９の上部に付勢され、（ａ）に示すようにダ
イヤフラム６は平板状にされて流路１４ａ、１４ｂを遮
断する。シリンダ９にエアが注入されて充填されると、
ピストン１５が押ばね２に抗して降下すると共に、ロー
ラ４とカム１の作用によりダイヤフラム６が元形に復帰
して流路１４ａ、１４ｂを導通させる。
弁を提供する。 【構成】 流路１４ａと１４ｂが形成されたボディ１４
とシリンダ９とを接続ナット１７により接続する。シリ
ンダ９に、押ばね２により上方に付勢されたピストン１
５を配設し、ピストン１５内に２個のローラ４を回転自
在に設ける。接続ナット１７にカムシャフト８を固定
し、このカムシャフト８に２個のカム１を回転自在にし
かも外方に常時拡がるように軸支する。カム１の下端に
押え板７を配設し、その下方にダイヤフラム押ピン１６
を介してダイヤフラム６を配備する。シリンダ９にエア
が注入されていない際にはピストン１５は押ばね２によ
りシリンダ９の上部に付勢され、（ａ）に示すようにダ
イヤフラム６は平板状にされて流路１４ａ、１４ｂを遮
断する。シリンダ９にエアが注入されて充填されると、
ピストン１５が押ばね２に抗して降下すると共に、ロー
ラ４とカム１の作用によりダイヤフラム６が元形に復帰
して流路１４ａ、１４ｂを導通させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バルブ（弁）構造に関
し、特に、流体の通過及び遮断を制御するダイヤフラム
を使用した小型ダイヤフラム自動弁に関する。
し、特に、流体の通過及び遮断を制御するダイヤフラム
を使用した小型ダイヤフラム自動弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のダイヤフラム自動弁は、
手動で作動する形式のもの、あるいはエア等による自動
で作動する形式のもの等各種実用に供されていた。
手動で作動する形式のもの、あるいはエア等による自動
で作動する形式のもの等各種実用に供されていた。
【０００３】一般に、この種のダイヤフラム自動弁は、
半導体装置等を製造する為に設計されたクリーンルーム
内で、特殊ガスの導通、遮断を行う目的で多数の弁が使
用されるが、比較的狭いクリーンルーム内で多数個のも
のを使用する関係から、小型でしかも強力に作動するダ
イヤフラム自動弁の開発が要望されていた。
半導体装置等を製造する為に設計されたクリーンルーム
内で、特殊ガスの導通、遮断を行う目的で多数の弁が使
用されるが、比較的狭いクリーンルーム内で多数個のも
のを使用する関係から、小型でしかも強力に作動するダ
イヤフラム自動弁の開発が要望されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】叙上のように、従来に
おいては、クリーンルーム内で使用される小型で強力に
作動するダイヤフラム自動弁の開発が要望されていた。
おいては、クリーンルーム内で使用される小型で強力に
作動するダイヤフラム自動弁の開発が要望されていた。
【０００５】本発明は、従来の上記実情に鑑み、上記要
望に対処する為になされたものであり、従って本発明の
目的は、小型でしかも強力に作動する新規なダイヤフラ
ム自動バルブを提供することにある。
望に対処する為になされたものであり、従って本発明の
目的は、小型でしかも強力に作動する新規なダイヤフラ
ム自動バルブを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る小型ダイヤフラム自動弁は、流体を流
入させる第１の流路と流体を流出させる第２の流路とを
有するボディと、該ボディと接続ナットにより接続され
たシリンダと、前記接続ナットに固定されたカムシャフ
トに回動自在に軸支され常時互いに外方に拡がろうとす
る力を与えられた２対のカムと、前記シリンダ内に移動
自在に配設され押ばねにより常時一方向に力を受けてい
るピストンと、該ピストン内に設けられ該ピストンの上
下動に応じて前記２対のカムの開き具合を制御するカム
に対応して回転自在に軸支された２個のローラと、前記
２対のカムの先端に接触して配設された板状の押え板
と、該押え板の移動によって変形し前記第１及び第２の
流路を閉塞または導通させるダイヤフラムと、該ダイヤ
フラムと前記押え板の間に介在するダイヤフラム押ピン
とを備えて構成される。
に、本発明に係る小型ダイヤフラム自動弁は、流体を流
入させる第１の流路と流体を流出させる第２の流路とを
有するボディと、該ボディと接続ナットにより接続され
たシリンダと、前記接続ナットに固定されたカムシャフ
トに回動自在に軸支され常時互いに外方に拡がろうとす
る力を与えられた２対のカムと、前記シリンダ内に移動
自在に配設され押ばねにより常時一方向に力を受けてい
るピストンと、該ピストン内に設けられ該ピストンの上
下動に応じて前記２対のカムの開き具合を制御するカム
に対応して回転自在に軸支された２個のローラと、前記
２対のカムの先端に接触して配設された板状の押え板
と、該押え板の移動によって変形し前記第１及び第２の
流路を閉塞または導通させるダイヤフラムと、該ダイヤ
フラムと前記押え板の間に介在するダイヤフラム押ピン
とを備えて構成される。
【０００７】
【実施例】次に本発明をその好ましい一実施例について
図面を参照しながら具体的に説明する。
図面を参照しながら具体的に説明する。
【０００８】図１（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の
内部構造を示す断面図であり、そのうち（ａ）はシリン
ダにエアが注入されていないで流路が閉塞（遮断）され
ている状態を示し、（ｂ）はシリンダにエアが充填され
て流路が開放（導通）されている状態を示している。
内部構造を示す断面図であり、そのうち（ａ）はシリン
ダにエアが注入されていないで流路が閉塞（遮断）され
ている状態を示し、（ｂ）はシリンダにエアが充填され
て流路が開放（導通）されている状態を示している。
【０００９】図１（ａ）、（ｂ）を参照するに、参照符
号１は本発明の要部の一つであるカムを示し、このカム
１は、２対（２個のカムが対になって合計４個）設けら
れ、本体（シリンダ９）とボディの接続ナット１７に固
定されたカムシャフト８に回動自在に軸支されている。
これら２対のカム１は、表裏を逆にすれば互いに同一の
形状、構造を有し、表裏を互いに逆にしてカムシャフト
８に対して対称に配設されている。
号１は本発明の要部の一つであるカムを示し、このカム
１は、２対（２個のカムが対になって合計４個）設けら
れ、本体（シリンダ９）とボディの接続ナット１７に固
定されたカムシャフト８に回動自在に軸支されている。
これら２対のカム１は、表裏を逆にすれば互いに同一の
形状、構造を有し、表裏を互いに逆にしてカムシャフト
８に対して対称に配設されている。
【００１０】２対のカム１は、カムシャフト８を中心に
して互いに外方に拡がろうとする力が付勢されている。
これらのカム１はまた、後述されるローラ４と接する側
面が曲面に形成され、他の側面は平面に形成されてい
る。カム１は更に、カムシャフト８に軸支される側の端
面（下端面）の一部が平面１ａに形成され、他の端面
（上端面）の一部も平面１ｂに形成されている。
して互いに外方に拡がろうとする力が付勢されている。
これらのカム１はまた、後述されるローラ４と接する側
面が曲面に形成され、他の側面は平面に形成されてい
る。カム１は更に、カムシャフト８に軸支される側の端
面（下端面）の一部が平面１ａに形成され、他の端面
（上端面）の一部も平面１ｂに形成されている。
【００１１】ピストンリング１０を有するピストン１５
はシリンダ９内にその長手方向（上下方向）に移動可能
に配設されており、このピストン１５内には２個のロー
ラピン３が配設されている。これら２個のローラピン３
にはそれぞれ前記２対のカムの曲面と接触して回転する
ローラ４が２個回転自在に軸支されている。
はシリンダ９内にその長手方向（上下方向）に移動可能
に配設されており、このピストン１５内には２個のロー
ラピン３が配設されている。これら２個のローラピン３
にはそれぞれ前記２対のカムの曲面と接触して回転する
ローラ４が２個回転自在に軸支されている。
【００１２】シリンダ９を含む本体は接続ナット１７に
よってボディ１４に接続されている。ボディ１４には流
体が流入する流路１４ａ及び流体が流出する流路１４ｂ
が形成されている。
よってボディ１４に接続されている。ボディ１４には流
体が流入する流路１４ａ及び流体が流出する流路１４ｂ
が形成されている。
【００１３】ピストン１５の上部と接続ナット１７との
間におけるピストン１５の周面に沿って押ばね２が配設
されている。この押ばね２は継手１１を介してシリンダ
９内にエアが注入されていない時にはピストン１５を常
に上方向に押圧するように機能する。
間におけるピストン１５の周面に沿って押ばね２が配設
されている。この押ばね２は継手１１を介してシリンダ
９内にエアが注入されていない時にはピストン１５を常
に上方向に押圧するように機能する。
【００１４】ボディ１４の上方部における流路１４ａと
流路１４ｂとの接続部には、断面が半球状に形成された
ダイヤフラム６が配設されており、このダイヤフラム６
は周辺がダイヤフラム押え１３に押えられて中央部が上
下動（変形）可能に固定されている。ダイヤフラム６の
下方の流路１４ａの端面周辺にはパッキン５が配設され
ている。また、ダイヤフラム６の中央上方部にはダイヤ
フラム押ピン１６が配設され、その上に、上部が前記カ
ム１の下端部と接触する押え板７が設けられている。
流路１４ｂとの接続部には、断面が半球状に形成された
ダイヤフラム６が配設されており、このダイヤフラム６
は周辺がダイヤフラム押え１３に押えられて中央部が上
下動（変形）可能に固定されている。ダイヤフラム６の
下方の流路１４ａの端面周辺にはパッキン５が配設され
ている。また、ダイヤフラム６の中央上方部にはダイヤ
フラム押ピン１６が配設され、その上に、上部が前記カ
ム１の下端部と接触する押え板７が設けられている。
【００１５】ダイヤフラム６はばね性を有しているの
で、ダイヤフラム押ピン１６と押え板７を常時図１の上
方に押圧している。また押え板７は、ダイヤフラム６及
びダイヤフラム押ピン１６によって常時上方へ押し付け
られているために、２対のカム１、１はローラ４、４の
押圧力が加えられなければ、常に左右に開こうとする力
が加えられている。
で、ダイヤフラム押ピン１６と押え板７を常時図１の上
方に押圧している。また押え板７は、ダイヤフラム６及
びダイヤフラム押ピン１６によって常時上方へ押し付け
られているために、２対のカム１、１はローラ４、４の
押圧力が加えられなければ、常に左右に開こうとする力
が加えられている。
【００１６】図２は本発明によるピストンとカムの組合
せ状態を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は側面断面
図である。
せ状態を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は側面断面
図である。
【００１７】図２において、カム１は４枚重ねにより形
成されている。即ち更に詳しく説明すれば、カム１は、
外側に配設された１対のカム要素１ａ、１ｂと、内側に
配設された１対のカム要素１ｃ、１ｄの２対のカム要素
によって形成されている。カム１が１対のカム要素１
ａ、１ｂと他の１対のカム要素１ｃ、１ｄにより構成さ
れている理由は、カム１の押え板７に加えられる力を平
均的に３〜４箇所に分散させて、カムと押え板の寿命を
長くするためである。ここで、カム要素１ｃ、１ｄを連
結して１個のカム要素としてもよい（一枚の板で形成す
ることもできる）。
成されている。即ち更に詳しく説明すれば、カム１は、
外側に配設された１対のカム要素１ａ、１ｂと、内側に
配設された１対のカム要素１ｃ、１ｄの２対のカム要素
によって形成されている。カム１が１対のカム要素１
ａ、１ｂと他の１対のカム要素１ｃ、１ｄにより構成さ
れている理由は、カム１の押え板７に加えられる力を平
均的に３〜４箇所に分散させて、カムと押え板の寿命を
長くするためである。ここで、カム要素１ｃ、１ｄを連
結して１個のカム要素としてもよい（一枚の板で形成す
ることもできる）。
【００１８】次に本発明の動作について図３、図４を参
照して説明する。
照して説明する。
【００１９】図３（ａ）〜（ｄ）、図４（ａ）〜（ｄ）
は本発明の動作を説明するための図であり、そのうち、
図３（ａ）〜（ｄ）は弁が閉塞状態から開放状態に動作
する場合のシーケンスを、図４（ａ）〜（ｄ）は弁が開
放状態から閉塞状態に動作する場合のシーケンスをそれ
ぞれ示している。
は本発明の動作を説明するための図であり、そのうち、
図３（ａ）〜（ｄ）は弁が閉塞状態から開放状態に動作
する場合のシーケンスを、図４（ａ）〜（ｄ）は弁が開
放状態から閉塞状態に動作する場合のシーケンスをそれ
ぞれ示している。
【００２０】先づ、図３の場合について説明するに、図
３（ａ）の場合には、シリンダ９にエアは注入されては
おらず、従ってピストン１５は押ばね２のばね力によっ
て最上位に押し上げられている。更に２個のカム１は、
対応する２個のローラ４によって最も閉じた状態に付勢
され、その下端部がカムシャフト８の位置から計測して
最も長い状態にされている。その結果、押え板７はカム
１により最大の力を加えられ、従って、その下に配置さ
れているダイヤフラム押ピン１６はダイヤフラム６を最
大の力で押圧し、ダイヤフラム６は平板となってパッキ
ン５と接触状態にあり、流路１４ａ、１４ｂはこのダイ
ヤフラム６によって閉塞または遮断されている。
３（ａ）の場合には、シリンダ９にエアは注入されては
おらず、従ってピストン１５は押ばね２のばね力によっ
て最上位に押し上げられている。更に２個のカム１は、
対応する２個のローラ４によって最も閉じた状態に付勢
され、その下端部がカムシャフト８の位置から計測して
最も長い状態にされている。その結果、押え板７はカム
１により最大の力を加えられ、従って、その下に配置さ
れているダイヤフラム押ピン１６はダイヤフラム６を最
大の力で押圧し、ダイヤフラム６は平板となってパッキ
ン５と接触状態にあり、流路１４ａ、１４ｂはこのダイ
ヤフラム６によって閉塞または遮断されている。
【００２１】次に図３（ｂ）においてチューブ１２から
シリンダ９にエアが注入され、ピストン１５がそのエア
圧によって降下し始める。ピストン１５の降下に従って
ローラ４が回転を開始し、その周面がカム１の曲面を転
動することによって、２対のカム１は互いに開き始め
る。それによって、カム１の先端（下端）は、カムシャ
フト８の位置から下端までの距離が小さくなる方向に作
動させられて、押え板７が徐々に上方に移動（上昇）す
るように動作する。図３（ｃ）においても図３（ｂ）と
同様の動作をする。
シリンダ９にエアが注入され、ピストン１５がそのエア
圧によって降下し始める。ピストン１５の降下に従って
ローラ４が回転を開始し、その周面がカム１の曲面を転
動することによって、２対のカム１は互いに開き始め
る。それによって、カム１の先端（下端）は、カムシャ
フト８の位置から下端までの距離が小さくなる方向に作
動させられて、押え板７が徐々に上方に移動（上昇）す
るように動作する。図３（ｃ）においても図３（ｂ）と
同様の動作をする。
【００２２】図３（ｂ）、（ｃ）の動作を経て図３
（ｄ）の状態になるとシリンダ９内にエアが充填され
て、２対のカム１は完全に開き切った状態になる。この
際にはダイヤフラム６の上方への押圧力によって２対の
カム１の下端の平板１ａが押え板７の上面と全面で接触
させられ、押え板７は最上位値に配置される。ダイヤフ
ラム６は自己の復元力によって断面が球状の状態に復元
され、パッキン５から離隔される結果、流路の遮断は除
去されて流路１４ａ、１４ｂは導通される。
（ｄ）の状態になるとシリンダ９内にエアが充填され
て、２対のカム１は完全に開き切った状態になる。この
際にはダイヤフラム６の上方への押圧力によって２対の
カム１の下端の平板１ａが押え板７の上面と全面で接触
させられ、押え板７は最上位値に配置される。ダイヤフ
ラム６は自己の復元力によって断面が球状の状態に復元
され、パッキン５から離隔される結果、流路の遮断は除
去されて流路１４ａ、１４ｂは導通される。
【００２３】図４（ａ）〜（ｄ）は図３（ａ）〜（ｄ）
と逆に動作する工程である。即ち、図４（ａ）はシリン
ダ９内にエアが充填されて流路が導通している状態であ
る。この状態から図４（ｂ）においてシリンダ９からエ
アを抜き始める。その際には押ばね２によってピストン
１５が上昇し始めると共に、２対のカム１は互いに内方
に閉じ始める。その結果、カム１の下端部からカムシャ
フト８に至る距離も徐々に大きくなって押え板７はカム
１の下端部に押圧されて降下していく。
と逆に動作する工程である。即ち、図４（ａ）はシリン
ダ９内にエアが充填されて流路が導通している状態であ
る。この状態から図４（ｂ）においてシリンダ９からエ
アを抜き始める。その際には押ばね２によってピストン
１５が上昇し始めると共に、２対のカム１は互いに内方
に閉じ始める。その結果、カム１の下端部からカムシャ
フト８に至る距離も徐々に大きくなって押え板７はカム
１の下端部に押圧されて降下していく。
【００２４】図４（ｂ）、（ｃ）を経て、エアがシリン
ダから完全に排気された時に図４（ｄ）に示す状態にな
る。この際にはピストン１５は完全に上昇させられて、
カム１のカムシャフト８の位置からカムの下端までの距
離が最大となって、カム１に押圧された押え板７も最下
端位置となり、従って、ダイヤフラム６は平板となって
パッキン５と接触させられ、その結果流路１４ａと流路
１４ｂは閉塞（遮断）される。
ダから完全に排気された時に図４（ｄ）に示す状態にな
る。この際にはピストン１５は完全に上昇させられて、
カム１のカムシャフト８の位置からカムの下端までの距
離が最大となって、カム１に押圧された押え板７も最下
端位置となり、従って、ダイヤフラム６は平板となって
パッキン５と接触させられ、その結果流路１４ａと流路
１４ｂは閉塞（遮断）される。
【００２５】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成され作用するも
のであり、従って本発明によれば、極めて小型にして強
力に動作するダイヤフラム自動弁を容易に構成すること
が可能となり、特にクリーンルームにおいて使用する際
に多数の装置をコンパクトに形成できる効果が得られ
る。
のであり、従って本発明によれば、極めて小型にして強
力に動作するダイヤフラム自動弁を容易に構成すること
が可能となり、特にクリーンルームにおいて使用する際
に多数の装置をコンパクトに形成できる効果が得られ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図であり、（ａ）
は弁が開放されて流路が導通している状態を示す断面
図、（ｂ）は弁が遮断されて流路が閉塞している状態を
示す断面図である。
は弁が開放されて流路が導通している状態を示す断面
図、（ｂ）は弁が遮断されて流路が閉塞している状態を
示す断面図である。
【図２】本発明において使用されるピストンとカムの組
み合わせ状態を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は側
面断面図である。
み合わせ状態を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は側
面断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は本発明の動作を示す断面図で
あり、弁が閉塞状態から開放状態になるまでのシーケン
ス図である。
あり、弁が閉塞状態から開放状態になるまでのシーケン
ス図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は本発明の動作を示す断面図で
あり、弁が開放状態から閉塞状態になるまでのシーケン
ス図である。
あり、弁が開放状態から閉塞状態になるまでのシーケン
ス図である。
１…カム ２…押ばね ３…ローラピン ４…ローラ ５…パッキン ６…ダイヤフラム ７…押え板 ８…カムシャフト ９…シリンダ １０…ピストンリング １１…エア継手 １２…チューブ １３…ダイヤフラム押え １４…ボディ １４ａ、１４ｂ…流路 １５…ピストン １６…ダイヤフラム押ピン １７…本体とボディの接続ナット
Claims (2)
- 【請求項１】 流体を流入させる第１の流路と流体を流
出させる第２の流路とを有するボディと、該ボディと接
続ナットにより接続されたシリンダと、前記接続ナット
に固定されたカムシャフトに回動自在に軸支され常時互
いに外方に拡がろうとする力を与えられた２対のカム
と、前記シリンダ内に移動自在に配設され押ばねにより
常時一方向に力を受けているピストンと、該ピストン内
に設けられ該ピストンの上下動に応じて前記２対のカム
の外方に拡がろうとする開き具合を制御するように前記
２対のカムに対応して回転自在に軸支された２個のロー
ラと、前記２対のカムの下端と接触して形成された板状
の押え板と、該押え板の移動によって変形し前記第１及
び第２の流路を閉塞または導通させるダイヤフラムとを
具備することを特徴とした小型ダイヤフラム自動弁。 - 【請求項２】 前記２対のカムの長手方向外側の前記ロ
ーラが転動する面は曲面に形成され、更に前記２対のカ
ムの前記下端の一部が平面状に形成され弁の導通時には
前記平面状部と前記押え板とが面接触して前記カムの下
端部と前記カムシャフト間の距離が最短となることを更
に特徴とする請求項１に記載の小型ダイヤフラム自動
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19080296A JP3843493B2 (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 小型ダイヤフラム自動弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19080296A JP3843493B2 (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 小型ダイヤフラム自動弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038098A true JPH1038098A (ja) | 1998-02-13 |
| JP3843493B2 JP3843493B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=16263993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19080296A Expired - Fee Related JP3843493B2 (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 小型ダイヤフラム自動弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3843493B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054761A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Ckd Corp | 流体制御バルブ |
| JP2004183786A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 制御器 |
| KR100837225B1 (ko) | 2007-08-03 | 2008-06-11 | 주식회사 태광 | 고압용 공압 다이아후레임 밸브 |
| JP2022039321A (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-10 | 株式会社東京ダイス | 減圧弁装置 |
-
1996
- 1996-07-19 JP JP19080296A patent/JP3843493B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054761A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Ckd Corp | 流体制御バルブ |
| JP4551542B2 (ja) * | 2000-08-10 | 2010-09-29 | シーケーディ株式会社 | 流体制御バルブ |
| JP2004183786A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 制御器 |
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