JPH1036128A - 光学素子用成形型 - Google Patents
光学素子用成形型Info
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- JPH1036128A JPH1036128A JP8192027A JP19202796A JPH1036128A JP H1036128 A JPH1036128 A JP H1036128A JP 8192027 A JP8192027 A JP 8192027A JP 19202796 A JP19202796 A JP 19202796A JP H1036128 A JPH1036128 A JP H1036128A
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- mold
- intermediate layer
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/10—Die base materials
- C03B2215/12—Ceramics or cermets, e.g. cemented WC, Al2O3 or TiC
-
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/14—Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
- C03B2215/16—Metals or alloys, e.g. Ni-P, Ni-B, amorphous metals
- C03B2215/17—Metals or alloys, e.g. Ni-P, Ni-B, amorphous metals comprising one or more of the noble meals, i.e. Ag, Au, platinum group metals
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- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/30—Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material
- C03B2215/34—Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material of ceramic or cermet material, e.g. diamond-like carbon
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】離型性に優れ、しかも、表面粗れが抑止される
光学素子用成形型を提供する。 【解決手段】タングステンカーバイド（ＷＣ）を主体と
した型母材１と、型母材１上に設けられた中間層２と、
中間層２上に設けられた表面層３とを備える。中間層２
は、型母材１と表面層３との間に生じる拡散を防止する
拡散防止層である。表面層３は、貴金属合金で形成され
ている。
光学素子用成形型を提供する。 【解決手段】タングステンカーバイド（ＷＣ）を主体と
した型母材１と、型母材１上に設けられた中間層２と、
中間層２上に設けられた表面層３とを備える。中間層２
は、型母材１と表面層３との間に生じる拡散を防止する
拡散防止層である。表面層３は、貴金属合金で形成され
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子の成形型
に関し、特に、後工程に光学素子の研削・研磨を必要と
しない高精度のプレス成形に用いられる光学素子用成形
型に関する。
に関し、特に、後工程に光学素子の研削・研磨を必要と
しない高精度のプレス成形に用いられる光学素子用成形
型に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光学機器の分野では、機器構成の
簡略化、軽量化などを達成し得る非球面レンズの需要が
増加する傾向にある。非球面レンズの素材には、例えば
ガラスが用いられるが、一般的なガラスレンズは、従
来、研磨法によって製造されていた。しかし、非球面レ
ンズについては、複雑な形状を有しており、研磨法によ
る量産化は困難である。そこで最近では、研磨法に代わ
る製造方法として、後工程に光学素子の研削・研磨を必
要としない高精度のプレス成形の研究が盛んに行われて
いる。
簡略化、軽量化などを達成し得る非球面レンズの需要が
増加する傾向にある。非球面レンズの素材には、例えば
ガラスが用いられるが、一般的なガラスレンズは、従
来、研磨法によって製造されていた。しかし、非球面レ
ンズについては、複雑な形状を有しており、研磨法によ
る量産化は困難である。そこで最近では、研磨法に代わ
る製造方法として、後工程に光学素子の研削・研磨を必
要としない高精度のプレス成形の研究が盛んに行われて
いる。
【０００３】このプレス成形では、ガラス及び成形型が
数百度まで加熱されるのが普通である。したがって、使
用する成形型には、加工性の他に高温強度、耐熱衝撃
性、化学的安定性などが要求される。これらを満足する
ため、現在では、タングステンカーバイドや各種サ−メ
ットを母材とし、その上にガラスとの化学的反応の少な
い貴金属薄膜を形成した成形型が一般的に使用されてい
る。
数百度まで加熱されるのが普通である。したがって、使
用する成形型には、加工性の他に高温強度、耐熱衝撃
性、化学的安定性などが要求される。これらを満足する
ため、現在では、タングステンカーバイドや各種サ−メ
ットを母材とし、その上にガラスとの化学的反応の少な
い貴金属薄膜を形成した成形型が一般的に使用されてい
る。
【０００４】また、例えば、特公昭６２−２８０９１号
公報には、超硬合金を母材としてその母材上に貴金属層
を被覆し、この貴金属層が、Ｉｒ、Ｏｓ、Ｐｄ、Ｒｈ、
Ｒｕからなる群より選ばれた少なくとも一つの元素とＰ
ｔ（６０〜９９重量％）との貴金属合金である成形型が
開示されている。また、特公昭６２−２８０９３号公報
には、金属とセラミックスからなる複合材料を母材とし
てその母材上に窒化物、炭化物、酸化物および金属の中
から選ばれた一種以上の中間層を介して貴金属層を被覆
し、この貴金属層が、Ｉｒ、Ｏｓ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕか
らなる群より選ばれた少なくとも一つの元素とＰｔ（６
０〜９９重量％）との貴金属合金である成形型が開示さ
れている。
公報には、超硬合金を母材としてその母材上に貴金属層
を被覆し、この貴金属層が、Ｉｒ、Ｏｓ、Ｐｄ、Ｒｈ、
Ｒｕからなる群より選ばれた少なくとも一つの元素とＰ
ｔ（６０〜９９重量％）との貴金属合金である成形型が
開示されている。また、特公昭６２−２８０９３号公報
には、金属とセラミックスからなる複合材料を母材とし
てその母材上に窒化物、炭化物、酸化物および金属の中
から選ばれた一種以上の中間層を介して貴金属層を被覆
し、この貴金属層が、Ｉｒ、Ｏｓ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕか
らなる群より選ばれた少なくとも一つの元素とＰｔ（６
０〜９９重量％）との貴金属合金である成形型が開示さ
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
公昭６２−２８０９１号公報記載の成形型は、高温強
度、耐熱衝撃性などの点で優れているものの、加熱・成
形を重ねることで成形面が著しく劣化する。更に、型と
ガラスとが化学的に反応することで成形面上にガラスが
付着し、型として使用できなくなる。
公昭６２−２８０９１号公報記載の成形型は、高温強
度、耐熱衝撃性などの点で優れているものの、加熱・成
形を重ねることで成形面が著しく劣化する。更に、型と
ガラスとが化学的に反応することで成形面上にガラスが
付着し、型として使用できなくなる。
【０００６】また、上記特公昭６２−２８０９３号公報
記載の成形型は、成形面の劣化を抑止する点では有効で
あるが、離型性に問題があり、加熱・成形を繰り返すと
次第に型とガラスとが化学的に反応し、前述と同様、成
形面上にガラスが付着する。
記載の成形型は、成形面の劣化を抑止する点では有効で
あるが、離型性に問題があり、加熱・成形を繰り返すと
次第に型とガラスとが化学的に反応し、前述と同様、成
形面上にガラスが付着する。
【０００７】このような問題点に鑑み、本発明の目的
は、離型性に優れ、成形面の劣化が抑止される光学素子
用成形型を提供することにある。
は、離型性に優れ、成形面の劣化が抑止される光学素子
用成形型を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めの本発明の一態様によれば、タングステンカーバイド
（ＷＣ）を主体とした型母材と、前記型母材上に設けら
れた中間層と、前記中間層上に設けられた表面層とを備
えた光学素子用成形型において、前記中間層は、前記型
母材と前記表面層との間に生じる拡散を防止する拡散防
止層であり、前記表面層は、貴金属合金で形成されてい
ることを特徴とする光学素子用成形型が提供される。
めの本発明の一態様によれば、タングステンカーバイド
（ＷＣ）を主体とした型母材と、前記型母材上に設けら
れた中間層と、前記中間層上に設けられた表面層とを備
えた光学素子用成形型において、前記中間層は、前記型
母材と前記表面層との間に生じる拡散を防止する拡散防
止層であり、前記表面層は、貴金属合金で形成されてい
ることを特徴とする光学素子用成形型が提供される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光学素子用成
形型の一実施形態について図面を用いて説明する。図１
は、本実施形態の成形型の断面図である。この成形型
は、成形時には２つ用意され、これらは、成形素材を挾
むように重ね合わされて用いられる。ここでは、成形素
材としてガラスを用いることとする。
形型の一実施形態について図面を用いて説明する。図１
は、本実施形態の成形型の断面図である。この成形型
は、成形時には２つ用意され、これらは、成形素材を挾
むように重ね合わされて用いられる。ここでは、成形素
材としてガラスを用いることとする。
【００１０】そして、本実施形態の成形型は、同図に示
すように、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主体とし
た型母材１と、型母材１上に設けられた中間層２と、中
間層２上に設けられた表面層３とを有して構成されてい
る。タングステンカーバイド（ＷＣ）は、加工性、高温
強度、耐熱衝撃性に優れ、型母材として用いるには最適
な素材である。表面層３は、いわゆる離型膜として機能
するもので、具体的には、６０重量％以上の白金（Ｐ
ｔ）と、ロージウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、金
（Ａｕ）、タングステン（Ｗ）、及び、カーボン（Ｃ）
のうちの少なくとも一つの元素と、を含んだ貴金属合金
で形成されている。この貴金属合金は、成形素材である
ガラスとの化学的反応が少なく、成形時に発生する型と
ガラスとの融着を抑止する。また、本願の発明者らは、
貴金属合金系薄膜を型母材に直接形成した場合には、こ
れらの間に拡散が生じて膜質が変化してしまい、これ
が、成形面の劣化やガラスの付着などの現象を引き起こ
すことを確認した。そこで、本実施形態では、拡散防止
層として機能する中間層２を型母材１と表面層３との間
に設けている。
すように、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主体とし
た型母材１と、型母材１上に設けられた中間層２と、中
間層２上に設けられた表面層３とを有して構成されてい
る。タングステンカーバイド（ＷＣ）は、加工性、高温
強度、耐熱衝撃性に優れ、型母材として用いるには最適
な素材である。表面層３は、いわゆる離型膜として機能
するもので、具体的には、６０重量％以上の白金（Ｐ
ｔ）と、ロージウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、金
（Ａｕ）、タングステン（Ｗ）、及び、カーボン（Ｃ）
のうちの少なくとも一つの元素と、を含んだ貴金属合金
で形成されている。この貴金属合金は、成形素材である
ガラスとの化学的反応が少なく、成形時に発生する型と
ガラスとの融着を抑止する。また、本願の発明者らは、
貴金属合金系薄膜を型母材に直接形成した場合には、こ
れらの間に拡散が生じて膜質が変化してしまい、これ
が、成形面の劣化やガラスの付着などの現象を引き起こ
すことを確認した。そこで、本実施形態では、拡散防止
層として機能する中間層２を型母材１と表面層３との間
に設けている。
【００１１】以上のように本実施形態の成形型では、離
型性に優れた貴金属合金を最表面に設けると共に、この
表面層と型母材との間に拡散防止層として機能する中間
層を設け、６００℃以上の高温における高精度なプレス
成形を長期に渡って行うことができるようにしている。
型性に優れた貴金属合金を最表面に設けると共に、この
表面層と型母材との間に拡散防止層として機能する中間
層を設け、６００℃以上の高温における高精度なプレス
成形を長期に渡って行うことができるようにしている。
【００１２】つぎに、図１の光学素子用成形型の具体的
な実施例について説明する。
な実施例について説明する。
【００１３】
（実施例１）本実施例では、図１の光学素子用成形型を
以下の手法で製造した。
以下の手法で製造した。
【００１４】先ず、外径２０ｍｍ、厚さ１５ｍｍ、凹面
曲率半径１００ｍｍのタングステンカーバイドを型母材
１として用意し、型母材１の凹面を研削・研磨して、そ
の表面粗さをＲＭＳ値（root-mean-square value：２乗
平均平方根値）で６．０〜８．０Å程度にした。その
後、この面には、中間層２として、ＳｉＯ2薄膜をスパ
ッタ法により約７００Å形成した。このＳｉＯ2薄膜の
上には、表面層３として、Ｐｔ−Ｉｒ薄膜を約７００Å
形成した。
曲率半径１００ｍｍのタングステンカーバイドを型母材
１として用意し、型母材１の凹面を研削・研磨して、そ
の表面粗さをＲＭＳ値（root-mean-square value：２乗
平均平方根値）で６．０〜８．０Å程度にした。その
後、この面には、中間層２として、ＳｉＯ2薄膜をスパ
ッタ法により約７００Å形成した。このＳｉＯ2薄膜の
上には、表面層３として、Ｐｔ−Ｉｒ薄膜を約７００Å
形成した。
【００１５】なお、同一形状のタングステンカーバイド
母材の凹面を研削・研磨して、この上にＰｔ−Ｉｒ薄膜
を約７００Å形成した成形型も比較例として作製した。
母材の凹面を研削・研磨して、この上にＰｔ−Ｉｒ薄膜
を約７００Å形成した成形型も比較例として作製した。
【００１６】その後、本実施例の成形型及び比較例とし
て作製した成形型の成形試験を行った。具体的には、こ
れらの成形型を真空中で７００℃まで加熱し、それぞれ
の成形型で各種の光学ガラスを加圧成形した。各成形型
の成形前後の表面粗さについては、光学式表面粗さ計お
よび走査型プロ−ブ顕微鏡で観察した。観察結果は、図
２に示されている。図２では、比較例として作製した成
形型を試料０1とし、本実施例の成形型を試料１として
いる。
て作製した成形型の成形試験を行った。具体的には、こ
れらの成形型を真空中で７００℃まで加熱し、それぞれ
の成形型で各種の光学ガラスを加圧成形した。各成形型
の成形前後の表面粗さについては、光学式表面粗さ計お
よび走査型プロ−ブ顕微鏡で観察した。観察結果は、図
２に示されている。図２では、比較例として作製した成
形型を試料０1とし、本実施例の成形型を試料１として
いる。
【００１７】このように試料０1、１の成形前の表面粗
さは、ほとんど変らないものであったが、成形後の試料
０1については、ＲＭＳ値１２．０Å程度の粗さが生じ
た。一方、試料１については、成形後も、ＲＭＳ値７．
４Å程度で、表面状態に特に変化は見られなかった。ま
た、試料０1では部分的にガラスとの反応が見られた
が、試料１ではガラスとの反応が皆無であった。
さは、ほとんど変らないものであったが、成形後の試料
０1については、ＲＭＳ値１２．０Å程度の粗さが生じ
た。一方、試料１については、成形後も、ＲＭＳ値７．
４Å程度で、表面状態に特に変化は見られなかった。ま
た、試料０1では部分的にガラスとの反応が見られた
が、試料１ではガラスとの反応が皆無であった。
【００１８】（実施例２）本実施例では、中間層２とし
て、ＡｌＮ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の
試験方法については、実施例１と同様である。
て、ＡｌＮ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の
試験方法については、実施例１と同様である。
【００１９】本実施例の成形型（試料２）の表面粗さ
は、成形後もＲＭＳ値６．３Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
は、成形後もＲＭＳ値６．３Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
【００２０】（実施例３）本実施例では、中間層２とし
て、ＢＮ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成した。
型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の試験
方法については、実施例１と同様である。
て、ＢＮ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成した。
型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の試験
方法については、実施例１と同様である。
【００２１】本実施例の成形型（試料３）の表面粗さ
は、成形後もＲＭＳ値７．６Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
は、成形後もＲＭＳ値７．６Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
【００２２】（実施例４）本実施例では、中間層２とし
て、ＴｉＡｌＮ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成
した。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型
の試験方法については、実施例１と同様である。
て、ＴｉＡｌＮ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成
した。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型
の試験方法については、実施例１と同様である。
【００２３】本実施例の成形型（試料４）の表面粗さ
は、成形後もＲＭＳ値７．１Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
は、成形後もＲＭＳ値７．１Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
【００２４】（実施例５）本実施例では、中間層２とし
て、ＳｉＣ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。このＳｉＣ薄膜の上には、表面層３として、Ｐｔ−
Ｒｈ−Ａｕ薄膜を約７００Å形成した。型母材１につい
ては、実施例１と同様である。
て、ＳｉＣ薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。このＳｉＣ薄膜の上には、表面層３として、Ｐｔ−
Ｒｈ−Ａｕ薄膜を約７００Å形成した。型母材１につい
ては、実施例１と同様である。
【００２５】なお、同一形状のタングステンカーバイド
母材の凹面を研削・研磨し、この上にＰｔ−Ｒｈ−Ａｕ
薄膜を約７００Å形成した成形型も比較例として作製し
た。
母材の凹面を研削・研磨し、この上にＰｔ−Ｒｈ−Ａｕ
薄膜を約７００Å形成した成形型も比較例として作製し
た。
【００２６】その後、本実施例の成形型及び比較例とし
て作製した成形型について、実施例１と同様な成形試験
を行った。結果は、比較例として作製した成形型を試料
０2とし、本実施例の成形型を試料５として、図２に示
されている。
て作製した成形型について、実施例１と同様な成形試験
を行った。結果は、比較例として作製した成形型を試料
０2とし、本実施例の成形型を試料５として、図２に示
されている。
【００２７】このように試料０2、５の成形前の表面粗
さは、ほとんど変らないものであったが、成形後の試料
０2については、ＲＭＳ値１３．１Å程度の粗さが生じ
た。一方、試料５については、成形後も、ＲＭＳ値７．
８Å程度で、表面状態に特に変化は見られなかった。ま
た、試料０2では部分的にガラスとの反応が見られた
が、試料５ではガラスとの反応が皆無であった。
さは、ほとんど変らないものであったが、成形後の試料
０2については、ＲＭＳ値１３．１Å程度の粗さが生じ
た。一方、試料５については、成形後も、ＲＭＳ値７．
８Å程度で、表面状態に特に変化は見られなかった。ま
た、試料０2では部分的にガラスとの反応が見られた
が、試料５ではガラスとの反応が皆無であった。
【００２８】（実施例６）本実施例では、中間層２とし
て、Ａｌ2Ｏ3薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の
試験方法については、実施例５と同様である。
て、Ａｌ2Ｏ3薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の
試験方法については、実施例５と同様である。
【００２９】本実施例の成形型（試料６）の表面粗さ
は、成形後もＲＭＳ値７．１Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
は、成形後もＲＭＳ値７．１Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
【００３０】（実施例７）本実施例では、中間層２とし
て、ＺｒＯ2薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の
試験方法については、実施例５と同様である。
て、ＺｒＯ2薄膜をスパッタ法により約７００Å形成し
た。型母材１及び表面層３の構成や、作製した成形型の
試験方法については、実施例５と同様である。
【００３１】本実施例の成形型（試料７）の表面粗さ
は、成形後もＲＭＳ値７．５Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
は、成形後もＲＭＳ値７．５Å程度で、表面状態に特に
変化は見られなかった。また、ガラスとの反応も皆無で
あった。
【００３２】以上、実施例１から実施例７まで説明した
が、各実施例の成形型は何れも成形後の表面粗さがＲＭ
Ｓ値で６．０〜８．０Åに収まっており、成形前のＲＭ
Ｓ値と比較して、ほとんど変化が見られなかった。ま
た、各成形型は、ガラスとの反応も皆無であった。
が、各実施例の成形型は何れも成形後の表面粗さがＲＭ
Ｓ値で６．０〜８．０Åに収まっており、成形前のＲＭ
Ｓ値と比較して、ほとんど変化が見られなかった。ま
た、各成形型は、ガラスとの反応も皆無であった。
【００３３】
【発明の効果】本発明に係る光学素子用成形型によれ
ば、成形素材であるガラスとの離型性に優れた貴金属合
金が最表面に形成され、さらに、貴金属合金と型母材と
の間に生じる拡散を抑止する中間層が形成されているの
で、成形時においてガラスとの化学的な反応が抑えら
れ、表面粗れのない成形面による高精度なプレス成形を
長期間に渡って行うことができるようになる。
ば、成形素材であるガラスとの離型性に優れた貴金属合
金が最表面に形成され、さらに、貴金属合金と型母材と
の間に生じる拡散を抑止する中間層が形成されているの
で、成形時においてガラスとの化学的な反応が抑えら
れ、表面粗れのない成形面による高精度なプレス成形を
長期間に渡って行うことができるようになる。
【図１】図１は、本発明に係る成形型の一実施形態の縦
断面図である。
断面図である。
【図２】図２は、本発明に係る成形型の各実施例におけ
る成形試験結果を示した図表である。
る成形試験結果を示した図表である。
１・・・母材、 ２・・・中間層、 ３・・・表面層
Claims (10)
- 【請求項１】タングステンカーバイド（ＷＣ）を主体と
した型母材と、 前記型母材上に設けられた中間層と、 前記中間層上に設けられた表面層とを備えた光学素子用
成形型において、 前記中間層は、前記型母材と前記表面層との間に生じる
拡散を防止する拡散防止層であり、 前記表面層は、貴金属合金で形成されていることを特徴
とする光学素子用成形型。 - 【請求項２】請求項１において、 前記表面層は、 ６０重量％以上の白金（Ｐｔ）と、 ロージウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａ
ｕ）、タングステン（Ｗ）、及び、カーボン（Ｃ）のう
ちの少なくとも一つの元素と、を含んだ貴金属合金で形
成されていることを特徴とする光学素子用成形型。 - 【請求項３】請求項２において、 前記貴金属合金は、白金（Ｐｔ）、ロージウム（Ｒ
ｈ）、及び、金（Ａｕ）の３元合金であることを特徴と
する光学素子用成形型。 - 【請求項４】請求項１、２または３において、 前記中間層は、珪素（Ｓｉ）の酸化物であることを特徴
とする光学素子用成形型。 - 【請求項５】請求項１、２または３において、 前記中間層は、珪素（Ｓｉ）の炭化物であることを特徴
とする光学素子用成形型。 - 【請求項６】請求項１、２または３において、 前記中間層は、アルミニウム（Ａｌ）の酸化物であるこ
とを特徴とする光学素子成形型。 - 【請求項７】請求項１、２または３において、 前記中間層は、アルミニウム（Ａｌ）の窒化物であるこ
とを特徴とする光学素子用成形型。 - 【請求項８】請求項１、２または３において、 前記中間層は、ジルコニウム（Ｚｒ）の酸化物であるこ
とを特徴とする光学素子用成形型。 - 【請求項９】請求項１、２または３において、 前記中間層は、ほう素（Ｂ）の窒化物であることを特徴
とする光学素子用成形型。 - 【請求項１０】前記中間層は、サイアロン（ＴｉＡｌ
Ｎ）であることを特徴とする光学素子用成形型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8192027A JPH1036128A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 光学素子用成形型 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8192027A JPH1036128A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 光学素子用成形型 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1036128A true JPH1036128A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16284386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8192027A Pending JPH1036128A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 光学素子用成形型 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1036128A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008189513A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Tungaloy Corp | 光学素子成形用金型 |
| DE102011102891B4 (de) | 2010-06-04 | 2019-10-02 | GM Global Technology Operations LLC (n. d. Ges. d. Staates Delaware) | Fahrzeuginternes Antennensystem |
| DE102010061995B4 (de) * | 2010-11-25 | 2021-06-17 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Antennenvorrichtung und Fahrzeug mit einer Antennenvorrichtung |
| CN113526961A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-10-22 | 南通三责精密陶瓷有限公司 | 一种玻璃模造用碳化硅模具的制造方法及碳化硅模具 |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP8192027A patent/JPH1036128A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008189513A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Tungaloy Corp | 光学素子成形用金型 |
| DE102011102891B4 (de) | 2010-06-04 | 2019-10-02 | GM Global Technology Operations LLC (n. d. Ges. d. Staates Delaware) | Fahrzeuginternes Antennensystem |
| DE102010061995B4 (de) * | 2010-11-25 | 2021-06-17 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Antennenvorrichtung und Fahrzeug mit einer Antennenvorrichtung |
| CN113526961A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-10-22 | 南通三责精密陶瓷有限公司 | 一种玻璃模造用碳化硅模具的制造方法及碳化硅模具 |
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