JPH10338514A - 燐酸製造プロセスからSiF4を製造する方法 - Google Patents

燐酸製造プロセスからSiF4を製造する方法

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JPH10338514A
JPH10338514A JP34308097A JP34308097A JPH10338514A JP H10338514 A JPH10338514 A JP H10338514A JP 34308097 A JP34308097 A JP 34308097A JP 34308097 A JP34308097 A JP 34308097A JP H10338514 A JPH10338514 A JP H10338514A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 燐酸製造プロセスから高純度のSiF
を連続的に、しかも安価に製造する方法を提供する。 【解決手段】 燐鉱石と硫酸液を接触させ、燐酸を製
造する方法に於いて、該燐鉱石と該硫酸液を接触する際
に酸化ケイ素を添加し、石膏と粗燐酸をろ過工程で分離
し得られた粗燐酸を濃縮し、発生する珪フッ化水素酸に
アルカリ化合物を添加し珪フッ化物とし、該珪フッ化物
を濃硫酸で分解しSiFを発生させた後、余剰の硫酸
及び副生物を燐鉱石と硫酸液を接触させる反応槽に戻
し、SiFを連続的に製造する方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、SiFの製造方
法に関するもので、更に詳しくは燐酸製造プロセスから
SiFを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】SiFは、含フッ素アモルファスシリ
コン膜の原料として、あるいは光ファイバー用配線の原
料として使用されている。この製造方法も数多く知られ
ており、代表的なものとしては、濃硫酸存在下でHFと
SiOを反応させる方法(特公昭59−34130号
公報)、または珪フッ化水素酸水溶液を濃硫酸中で分解
する方法、あるいはNaSiFやBaSiF等の
金属珪弗化物を熱分解する方法がある。しかし、このS
iFのみを単独で製造すると、コストが高くなり、副
生物の処理など、経済性や処理対策の問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、燐酸
製造プロセスから高純度のSiFを安価に製造する方
法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
を重ねた結果、燐鉱石より燐酸を製造する工程で、該プ
ロセスから排出される珪フッ化水素酸を利用し、SiF
ガスを連続的に製造することでコストの低減並びに高
純度化を図ることを見い出した。
【0005】即ち、本発明は 燐鉱石と硫酸液を接触さ
せ、燐酸を製造する方法に於いて、該燐鉱石と該硫酸液
を接触する際に酸化ケイ素を添加し、石膏と粗燐酸をろ
過工程で分離し得られた粗燐酸を濃縮し、発生する珪フ
ッ化水素酸にアルカリ化合物を添加し珪フッ化物とし、
該珪フッ化物を濃硫酸で分解しSiFを発生させた
後、余剰の硫酸及び副生物を燐鉱石と硫酸液を接触させ
る反応槽に戻すことを特徴とする燐酸製造プロセスから
SiFを製造する方法に関する。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明SiFの製造は、燐酸製造プロセスが燐鉱石を
原料とし、燐酸と石膏を生産する能力を有するプロセス
に於いて、有用に利用できる。燐鉱石の主成分を化学式
で示すとCa10(POで表され、一般的
に、この燐鉱石と硫酸液を反応槽で撹拌することによっ
て、下式(1)に示すように二水石膏と燐酸液が得られ
る。
【0007】 Ca10(PO+10HSO+20HO →10CaSO・2HO+6HPO+2HF・・・(1) 本発明は、上記、主反応(1)式で生成するHFを酸化
ケイ素を加えることによって、下式(2)に示すように
珪フッ化水素酸とすることにある。
【0008】尚、燐鉱石中にも幾分酸化ケイ素が含まれ
ているので、これを加味し添加する必要がある。
【0009】 6HF+SiO→HSiF+2HO ・・・ (2) 酸化ケイ素の使用量は、燐鉱石中の主成分(Ca
10(PO)1モルに対して0.34モル以
下、好ましくは0.32〜0.33の範囲となるように
加えるのが好適である。酸化ケイ素の量が0.34モル
を超えると、副生する石膏と燐酸分の分離が悪化するの
で好ましくない。
【0010】次に、これを遠心分離器によって、珪フッ
化水素酸を含む粗燐酸と石膏とに分離される。この粗燐
酸液を、エバポレーターを用い減圧下で加熱することに
よって、粗燐酸が濃縮され、また一方、水を含む珪フッ
化水素酸の蒸気が発生する。本発明はこの水を含む珪フ
ッ化水素酸をアルカリ化合物と反応させ、珪フッ化物を
生成する。
【0011】アルカリ化合物には、アルカリ属、アルカ
リ土類金属から選ばれる化合物で、特に酸化物及び水酸
化物、炭酸塩が好適に使用される。中でも、Na、Ca
の酸化物及び水酸化物、炭酸塩は工業的に安価であるの
で好ましく、更に好ましくはCaの酸化物及び水酸化
物、炭酸塩が用いられる。
【0012】本発明において、珪フッ化物は珪フッ化カ
ルシウムとすることが好ましい理由は、以下の通りであ
る。ろ過後のケーキまたは乾燥した珪フッ化物を、濃硫
酸に接触させ下記(3)式に示す分解反応によってSi
を製造する。そして、ここで副生する固形成分は、
初期工程にもどし、初期工程の燐鉱石と硫酸液を接触さ
せて副生する石膏と共に排出される。副生する固形成分
の量は、SiFガスの製造量によって変動があり、そ
の量が少量であれば石膏の品質には何ら差し支えはない
ものの、副生する固形成分の量が多くなると、石膏の品
質の安定に弊害をきたす恐れがある。
【0013】そこで、カルシウム塩としてCa(OH)
を用いた場合に於いて、図1の工程図に示すように珪
フッ化カルシウムとなし、これを下記(4)式に示す硫
酸分解によって、SiFの発生と共に副生する固形成
分が石膏となるので、品質を損なうことなく効率よく回
収できるのである。
【0014】 MSiF+HSO→SiF+MSO+2HF ・・・(3) CaSiF+HSO→SiF+CaSO+2HF・・・(4) M=アルカリ属、アルカリ土類金属 n=1〜2
【0015】次に、珪フッ化物を、濃硫酸に接触させる
反応容器について説明する。反応容器の形状は、特に限
定するものではないが、図2に示す流通式の槽型反応器
や、図3に示すパドルミキサー式の反応器等が使用でき
る。また接液部、接ガス部はフッ素樹脂でコーティング
あるいはライニングすることが望ましい。本発明で使用
する濃硫酸とは、濃度が85重量%以上のものをいい、
好ましくは95重量%以上の濃硫酸を使用する。この硫
酸の濃度が85重量%未満では、シロキサン(SiF
−O−FSi)が生成しSiFガスの純度が低下す
る結果となるで好ましくない。
【0016】また、反応器のガス出口には、コンデンサ
ーを設置し10℃以下の冷媒を通液することにより、発
生ガス中のフッ化水素及び水分を抑えることができ、高
純度なSiFを得ることができる。本発明の最も意図
する特徴は、SiFガスを発生させた後、余剰の硫酸
及び副生されるフッ化物、硫酸化合物を燐酸プロセスの
初期工程である燐鉱石と硫酸液を接触させる反応槽に戻
すことにある。
【0017】この方法は、産業廃棄物をプロセスの系外
に排出せず、殆どを石膏製品として使用することができ
る。また、余剰の硫酸を再利用することでSiFの製
造コストを削減することも可能となった。
【0018】さらに、活性アルミナ等の吸着剤を用い、
これに通気することにより、極微量の水分やフッ化水素
等の不純物を除去することにより、さらに高純度のSi
を得ることができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明を実施例をもって説明する。
尚、%は特記しない限り重量パーセントを表す。 実施例1 南アフリカ産燐鉱石を主成分であるCa10(PO4)
ベースで500t/Dayを主原料とし、これに
硫酸を98%換算で496t/Day、水520t/D
ay、酸化ケイ素を9.9t/Dayを反応槽で混合
し、石膏及び珪フッ化水素酸を含む40%粗燐酸液を得
た。該粗燐酸液を濃縮工程に導き、エバポレーターにて
缶液温度80℃、圧力100torrの条件で燐酸濃度
を75%まで濃縮した。ここで発生した蒸気は、おおよ
そ水分が300t/Day、珪フッ化水素酸24t/D
ayであった。この蒸気を凝縮させた後、この一部を水
を使用しスラリー化した30%消石灰スラリーを反応槽
で混合し、得られた珪フッ化カルシウムをろ過し、更に
200℃で乾燥し、これを中間原料とした。
【0020】次に図2に示す流通式の反応槽1(容積1
00L)を用い、珪フッ化カルシウム2t/Dayをス
クリューフィーダー3により添加した。同時に濃硫酸フ
ィード管4より98%硫酸を10t/Dayで供給し、
撹拌機6で混合した。また、コンデンサー7に5℃の冷
却水を循環し、同伴する微量の水分やフッ化水素を除去
した後、ガス出口管9よりSiFガスを製造した。余
剰の硫酸と副生した石膏は抜液管10より排出し、燐鉱
石と硫酸液を接触させる初期工程に戻した。
【0021】実施例2 30%消石灰スラリーの替わりに30%NaOHを用い
珪フッ化ナトリウムを中間原料とした以外は、実施例1
と同様に行い、SiFガスを製造した。尚、余剰の硫
酸と副生したNaSOは抜液管10より排出し、燐
鉱石と硫酸液を接触させる初期工程に戻し副生する石膏
と共に排出した。
【0022】実施例3 実施例1と同様な方法で得た珪フッ化カルシウムを図3
に示すパドルミキサー式の反応器を用い、駆動モーター
でパドルを回転させながら、珪フッ化カルシウム2t/
Dayをスクリューフィーダー2により添加した。同時
に濃硫酸フィードノズル5より98%硫酸を2t/Da
yで供給した。発生するSiFガスはコンデンサー7
で、同伴する微量の水分やフッ化水素を除去した後、ガ
ス出口管9よりSiFガスを製造した。液固相は排出
口11より排出され燐鉱石と硫酸液を接触させる初期工
程に戻した。
【0023】
【発明の効果】本発明は燐酸製造プロセスから珪フッ化
水素酸を副生させ、これにアルカリ化合物を加え珪フッ
化物とし、更に濃硫酸を接触させてSiFを製造し、
ここで副生する固形成分は、燐鉱石と硫酸の反応で副生
する石膏と共に、石膏ボードやセメント添加剤として使
用し、また過剰の硫酸は、前工程の燐鉱石と硫酸の反応
用としてリサイクルし、SiFを製造する方法であ
る。また、本発明は燐鉱石中のフッ素の利用法の一つと
して、連続プロセスを実用化し、コストの低減を図るも
のである。
【0024】
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明工程図の一例
【図2】 流通式槽型反応器
【図3】 パドルミキサー式の反応器
【符号の説明】
1 流通式槽型反応器本体 2 パドルミキサー式の反応器本体 3 スクリューフィーダー 4 濃硫酸フィード管 5 濃硫酸フィードノズル 6 撹拌機 7 コンデンサー 8 冷媒循環用配管 9 ガス出口管 10 抜液管 11 排出口

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 燐鉱石と硫酸液を接触させ、燐酸を製
    造する方法に於いて、該燐鉱石と該硫酸液を接触する際
    に酸化ケイ素を添加し、石膏と粗燐酸をろ過工程で分離
    し得られた粗燐酸を濃縮し、発生する珪フッ化水素酸に
    アルカリ化合物を添加し珪フッ化物とし、該珪フッ化物
    を濃硫酸で分解しSiFを発生させた後、余剰の硫酸
    及び副生物を燐鉱石と硫酸液を接触させる反応槽に戻す
    ことを特徴とする燐酸製造プロセスからSiFを製造
    する方法。
  2. 【請求項2】 アルカリ化合物にカルシウム塩を用い
    珪フッ化カルシウムとした後、濃硫酸で分解しSiF
    を発生させた後、副生する石膏を燐鉱石と硫酸液を接触
    させる反応槽に戻す請求項1記載の方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102897769A (zh) * 2012-08-24 2013-01-30 山东瑞福锂业有限公司 一种四氟化硅的生产工艺
KR101306328B1 (ko) * 2010-07-22 2013-09-09 울산대학교 산학협력단 인산제조공정에서의 규불산 회수 방법 및 그 장치
CN105002521A (zh) * 2015-08-07 2015-10-28 长沙矿冶研究院有限责任公司 一种利用含氟矿物脱除电解锰体系中杂质镁的方法

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