JPH10325924A - 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡システム - Google Patents
顕微鏡用照明装置及び顕微鏡システムInfo
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- JPH10325924A JPH10325924A JP9135569A JP13556997A JPH10325924A JP H10325924 A JPH10325924 A JP H10325924A JP 9135569 A JP9135569 A JP 9135569A JP 13556997 A JP13556997 A JP 13556997A JP H10325924 A JPH10325924 A JP H10325924A
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- microscopes
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Abstract
源、或いは対物レンズを通して加工するための加工用光
源とする場合でも、安価な顕微鏡用照明装置を得る。 【解決手段】 顕微鏡用照明装置は、顕微鏡の照明光
用、或いは対物レンズを通して被検物を加工するための
レーザ光を射出する1台のレーザ光源と、1台のレーザ
光源からのレーザ光を複数の顕微鏡に同時に供給する光
ファイバ部材とを有する。
Description
源にレーザなどの高価な光源を使用する顕微鏡に関し、
特に半導体検査用のラインなど複数の顕微鏡を使用する
場合に有効な顕微鏡用照明装置及び顕微鏡システムに関
するものである。
ステンランプやハロゲンランプ、或いは蛍光観察用など
に使用する水銀ランプやキセノンランプなどが一般的に
知られているが、コンフォーカル観察を行うとき等、よ
り点光源で高輝度な照明光が必要なことからレーザ光源
が使用されている。
源として使用されるほか、顕微鏡に搭載し半導体デバイ
スのリペアやポイントマーキング、LCDやカラーフィ
ルタなどの欠陥修正などにも使用される。図7(a)及
び図7(b)は従来のレーザを光源とする顕微鏡を示し
た図である。
フォーカル観察を行うためのレーザコンフォーカルヘッ
ド52が構成されている外観図である。通常の明視野観
察や暗視野観察などはハロゲンランプハウスからの照明
光を使用しているが、レーザコンフォーカル観察を行う
場合には鏡筒54の上部に構成されたレーザコンフォー
カルヘッド52に内蔵されたレーザ光源を使用して観察
を行う。
ォーカルヘッド52と同様に鏡筒54の上部に構成され
ることが一般的で、この場合も通常の観察時にはハロゲ
ンランプハウス53からの照明光で観察しながらリペア
する部位を発見し、レーザリペア装置によって特定部位
にレーザを照射してICなどのリペアを行う。しかしな
がら、一般にレーザ光源はサイズが大きくて重いので、
図7(a)のように顕微鏡の上に構成すると強度や耐振
性能の面で非常に不利であった。
源を構成したときの不利さを考慮したタイプで、レーザ
光源が外置きにされた顕微鏡の実施形態を示した外観図
で、レーザ光源61を顕微鏡60の横に置いた例であ
る。ところが図7(b)のような構成の場合、占有面積
が非常に大きくなってしまう問題点があった。
置では、顕微鏡1台に対して光源も1台使用していた。
光源にハロゲンランプなどの安価なものを使用している
場合には問題なかったが、レーザ光源のように非常に高
価な光源の場合、顕微鏡全体の価格がレーザ光源の価格
に応じて高価になってしまっていた。
うのは、近年デザインルールの微細化が進んでいるた
め、レーザコンフォーカル顕微鏡などの高分解能な顕微
鏡が必要になっている。また同時に半導体検査用ライン
には多数の顕微鏡を設置する必要があるので、顕微鏡が
高価だと多数の顕微鏡をコスト上の問題で設置できない
という問題を抱えていた。
鑑みてなされたもので、レーザのような高価な光源を顕
微鏡の照明用光源、或いは対物レンズを通して加工する
ための加工用光源とする場合でも、安価な顕微鏡用照明
装置及び顕微鏡システムを得ることを目的とする。
請求項1記載の本発明は、顕微鏡の照明光用、或いは対
物レンズを通して被検物を加工するためのレーザ光を射
出する1台のレーザ光源と、1台のレーザ光源からのレ
ーザ光を複数の顕微鏡に同時に供給する光ファイバ部材
とを有することを特徴としたものである。
で複数の顕微鏡を使用可能になるため、非常にローコス
トで多数の顕微鏡を設置することが可能になる。請求項
2記載の本発明は、レーザ光源は、レーザ光を出力する
1つの出力ポートを有し、光ファイバ部材は、1つの出
力ポートからのレーザ光を複数の顕微鏡に分割して供給
する多分岐光ファイバであることを特徴とするものであ
る。
源の1つの出力ポートに対して多数の顕微鏡にファイバ
を接続でき、簡単にかつ安価に複数台の顕微鏡を有する
顕微鏡システムを構成することができる。請求項3記載
の本発明は、レーザ光源は、レーザ光を出力する複数の
出力ポートを有し、光ファイバ部材は、複数の出力ポー
トからのレーザ光を複数の顕微鏡に供給する複数の光フ
ァイバからなることを特徴としたものである。
簡単に、1台の光源に対して接続する顕微鏡の数を多く
することができる。請求項4記載の本発明は、光ファイ
バ部材は、複数の光ファイバを互いに接続するコネクタ
を有しており、コネクタは、一つの入力に対して一つ又
は複数の出力のものであり、自由に光ファイバの着脱が
可能であることを特徴とするものである。
微鏡の数に合わせてシステム構成を簡単に変更すること
ができる。請求項5記載の本発明は、光ファイバは、シ
ングルモードの光ファイバであることを特徴とするもの
である。シングルモードの光ファイバを用いることによ
り、レーザ光を回折限界まで収束することができるの
で、レーザ光が供給される顕微鏡としてコンフォーカル
顕微鏡を用いることができる。
用、或いは対物レンズを通して被検物を加工するための
レーザ光を射出する1台のレーザ光源と、1台のレーザ
光源からのレーザ光を反射する反射部材、及びレーザ光
を覆いレーザ光の光路に沿った方向に伸縮可能な筒状部
材を有し、複数の顕微鏡にレーザ光を同時に供給する光
伝達部材とを有することを特徴としたものである。
ずに簡単な構成で安価に、1台のレーザ光源から複数台
の顕微鏡に対してレーザ光を供給できる顕微鏡システム
が得られる。請求項7記載の本発明は、顕微鏡の照明光
用、或いは対物レンズを通して被検物を加工するための
レーザ光を射出する1台のレーザ光源と、レーザ光源か
らのレーザ光を使用して被検物を観察或いは加工するた
めの複数の顕微鏡と、1台のレーザ光源からの出力光を
複数の顕微鏡に同時に供給する光ファイバ部材とを有す
ることを特徴としたものである。
て説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示してお
り、レーザ光源と複数の顕微鏡の位置関係を示した図で
ある。図1において、顕微鏡1はレーザを照明用光源と
する例えばレーザコンフォーカル観察をするためのコン
フォーカル顕微鏡である。また、顕微鏡2及び顕微鏡3
も同様にレーザを照明用光源とするコンフォーカル顕微
鏡であり、観察するのに必要なレーザの出力は顕微鏡1
と同等のものである。もちろん必要とするレーザ出力が
異なる顕微鏡を接続することも可能だが、その場合必要
とする出力がもっとも大きい顕微鏡に合わせてレーザ光
源を選定し、レーザの分岐点や顕微鏡本体内部などにフ
ィルタなどの減光用部品を設置するなどの工夫が必要に
なる。
顕微鏡2、顕微鏡3で必要とするレーザの出力を満足す
る出力を備えているものである。レーザ光源4からの出
力レーザ光は多分岐ファイバ5を通して外部に取り出さ
れる。多分岐光ファイバ5は、分岐部10にて分割され
ている。レーザ光はこの分岐部で光量が等分になるよう
に分割され、分岐された光ファイバ7、8、9を通じて
顕微鏡1、顕微鏡2、顕微鏡3へそれぞれ伝達される。
各光ファイバ(7、8、9)によってレーザ光が供給さ
れた顕微鏡(1、2、3)は、それぞれ独立した顕微鏡
として使用が可能である。
するシャッタが構成されており、顕微鏡を使用しない時
にはシャッタがレーザ光を遮断して、必要のない時にレ
ーザ光が伝達されないようになっている。また、光ファ
イバ5、7、8、9は、マルチモードファイバ、シング
ルモードファイバのいずれであっても良い。ただし、顕
微鏡としてコンフォーカル顕微鏡を用いる場合は、回折
限界までレーザ光を収束することができるシングルモー
ドファイバの方が望ましい。
り、第1の実施形態と同様に顕微鏡11、顕微鏡12、
顕微鏡13はレーザ光を照明用光源とする例えばレーザ
コンフォーカル観察をするための顕微鏡であり、それぞ
れの顕微鏡で観察するのに必要なレーザの出力は3台と
もに同等のものである。レーザ光源14にはレーザを取
り出すためのポートがそのレーザ光源の出力で使用可能
な顕微鏡の台数分、この場合は3個のポート15、1
6、17が設けられている。ポート15、16、17か
らのレーザ光はそれぞれファイバ18、19、20で顕
微鏡11、12、13へと伝達され、それぞれの顕微鏡
では独立した観察が可能である。また顕微鏡内部にシャ
ッタを設けて、顕微鏡を使用しないときはレーザ光を遮
断できるような機構にしておくのは第1の実施形態と同
様である。また、ポート15、16、17からのレーザ
光の光量を等しくすれば、3台の顕微鏡11、12、1
3に供給されるレーザ光の光量を等しくすることができ
る。
しており、複数の顕微鏡を半導体検査用のラインに設置
した状態を示した半導体検査用のラインを上から見た配
置図である。レーザ光源31には2つのレーザ取り出し
用のポートがあり、それぞれ一つのポートからはレーザ
を光源とするような、例えばレーザコンフォーカル顕微
鏡で必要な出力2台分のレーザ光が取り出し可能であ
る。
多分岐光ファイバ37が取り付けられており、分岐部3
0で2つの光ファイバに分割され、顕微鏡32及び顕微
鏡33へレーザ光を伝達するように構成されている。ま
たレーザ光源31のもう一つのポート38にはファイバ
39が取り付けられており、顕微鏡34へレーザ光を伝
達するように構成されている。
ザ光の光量が等しいと、顕微鏡34に供給されるレーザ
光は、他の2台の顕微鏡に供給されるレーザ光の出力の
2倍になる。他の2台の顕微鏡32、33に供給される
レーザ光の出力を適正なものとすれば、顕微鏡34には
必要なレーザ出力の2倍の光量が伝達される。従って、
顕微鏡34内に図示しないNDフィルタのような減光部
材を光路に配置すれば良い。
35を追加した状態を示した図である。図3で顕微鏡3
4に取り付けていたファイバ39を外し、中継コネクタ
40に接続する。中継コネクタ40でファイバ39から
のレーザ光を2分割し、顕微鏡34、35へそれぞれフ
ァイバ41、42を経てレーザ光が伝達される。この時
当然ながら顕微鏡34に伝達されるレーザ光を減光して
いたフィルタなどの減光部材は外しておく。
るコネクタを使用すれば、レーザ光源31からかなり離
れた位置にも顕微鏡を設置することが可能になる。ここ
で、上述の第1実施形態において、分岐部10として図
5に示すような構成の光分割部材50を用いても良い。
光分割部材50は、1つの入力ポート57に対して3つ
の出力ポート58、59、60を有する。入力ポートか
らのレーザ光は、レンズ51によって平行光束となり、
ハーフミラー52、53、全反射ミラー54を介して3
つの光束に分割される。それぞれの光束はレンズ55、
56、57によって各出力ポート58、59、60に集
光される。ハーフミラー52、53は、3つの分割され
る光束の光量がほぼ等しくなるように、透過率及び反射
率が設定されている。各ポート57、58、59、60
に光ファイバを接続することにより、図1に示す顕微鏡
システムを構成することができる。
ー)の数を変更することにより、出力ポートの数を変更
することができる。また、図2に示す第2実施形態の光
源14の出力ポート部分や、図4に示す第3実施形態の
分岐部30、コネクタ40も、同様の構成にすることが
できる。次に、本発明の第4実施形態について説明す
る。図6は第4実施形態の顕微鏡システムを示す図であ
る。
に対応して2つのレーザ光出力ポート73、74を有し
ている。出力ポート73から出力されるレーザ光L1
は、ミラー77によって反射され、顕微鏡71に供給さ
れる。レーザ光L1の光路は、筒状部材75によって覆
われている。ミラー77もこの筒状部材75によって覆
われている。出力ポート74から出力されるレーザ光L
2は、ミラー78によって反射され、顕微鏡72に供給
される。レーザ光L2の光路は、筒状部材76によって
覆われている。ミラー78もこの筒状部材76によって
覆われている。これらの筒状部材75、76は、レーザ
光L1、L2の光路に沿った方向に伸縮自在となってお
り、顕微鏡71、72とレーザ光源70とは、その伸縮
できる範囲内で自由に配置することができる。筒状部材
75、76は、例えば内筒と外筒とからなり、互いに長
手方向に摺動可能となっているような構成のものでも良
いし、全体が伸縮可能な蛇腹状の構成のものでも良い。
光ファイバを使わずに簡単な構成で安価に、1台のレー
ザ光源から複数台の顕微鏡に対してレーザ光を供給でき
る顕微鏡システムが得られる。
のように複数の顕微鏡を設置する場合、従来のようにレ
ーザ光源を顕微鏡の上に構成して顕微鏡の強度や耐振性
能を損なうことなしに、クリーンルームなどにおける顕
微鏡の占有面積を減らすことが可能になる。
から、多数の顕微鏡を設置しようとした場合コストの点
で困難であるが、本発明によれば1台のレーザ光源で複
数の顕微鏡を使用可能になるため、非常にローコストで
多数の顕微鏡を設置することが可能になる。また、レー
ザ光源のメンテナンスも非常に面倒なことの一つである
が、本発明によれば複数の顕微鏡について一台のレーザ
光源のメンテナンスをするだけでよいので、ダウンタイ
ムも短くなりIC等の生産コストを低くできると共に、
レーザ光源自体の維持費もかなり低く押さえることが可
能になる。
求項4に記載のようにコネクタ等を使用してファイバを
長くすれば、顕微鏡だけをクリーンルーム内に残し、レ
ーザ光源をクリーンルームの外に設置することで、クリ
ーンルーム内における顕微鏡の占有面積をさらに減らす
ことが可能になるとともに、レーザ光源のメンテナンス
もクリーンルームの外でできるというメリットも生まれ
る。
示す図である。
示す図である。
示す図である。
を追加したときを示す図である。
示す図である。
を使用した顕微鏡の構成を示す図である。
1、72・・・コンフォーカル顕微鏡 4、14、31、70・・・レーザ光源 5、37・・・多分岐光ファイバ 18、19、20・・・光ファイバ 75、76・・・筒状部材 77、78・・・ミラー
Claims (7)
- 【請求項1】 顕微鏡の照明光用、或いは対物レンズを
通して被検物を加工するためのレーザ光を射出する1台
のレーザ光源と、前記1台のレーザ光源からのレーザ光
を複数の顕微鏡に同時に供給する光ファイバ部材とを有
することを特徴とした顕微鏡用照明装置。 - 【請求項2】 前記レーザ光源は、前記レーザ光を出力
する1つの出力ポートを有し、前記光ファイバ部材は、
前記1つの出力ポートからのレーザ光を前記複数の顕微
鏡に分割して供給する多分岐光ファイバであることを特
徴とする請求項1記載の顕微鏡用照明装置。 - 【請求項3】 前記レーザ光源は、前記レーザ光を出力
する複数の出力ポートを有し、前記光ファイバ部材は、
前記複数の出力ポートからのレーザ光を前記複数の顕微
鏡に供給する複数の光ファイバからなることを特徴とし
た請求項1記載の顕微鏡用照明装置。 - 【請求項4】 前記光ファイバ部材は、複数の光ファイ
バを互いに接続するコネクタを有しており、前記コネク
タは、一つの入力に対して一つ又は複数の出力のもので
あり、前記複数の光ファイバの着脱が可能であることを
特徴とする顕微鏡用照明装置。 - 【請求項5】 前記光ファイバは、シングルモードの光
ファイバであることを特徴とする請求項1〜4のいずれ
かに記載の顕微鏡用照明装置。 - 【請求項6】 顕微鏡の照明光用、或いは対物レンズを
通して被検物を加工するためのレーザ光を射出する1台
のレーザ光源と、前記1台のレーザ光源からのレーザ光
を反射する反射部材、及び前記レーザ光の光路を覆い該
光路に沿った方向に伸縮可能な筒状部材を有し、複数の
顕微鏡に前記レーザ光を同時に供給する光伝達部材とを
有することを特徴とした顕微鏡用照明装置。 - 【請求項7】 顕微鏡の照明光用、或いは対物レンズを
通して被検物を加工するためのレーザ光を射出する1台
のレーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を使用
して被検物を観察或いは加工するための複数の顕微鏡
と、前記1台のレーザ光源からの出力光を複数の顕微鏡
に同時に供給する光ファイバ部材とを有することを特徴
とした顕微鏡システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9135569A JPH10325924A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9135569A JPH10325924A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10325924A true JPH10325924A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15154887
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9135569A Pending JPH10325924A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10325924A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004295122A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Olympus Corp | 照明切換装置及びその方法 |
JP2005301065A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Olympus Corp | 観察装置 |
EP3006979A1 (en) | 2014-10-09 | 2016-04-13 | Olympus Corporation | Microscope system |
JP2016080715A (ja) * | 2014-10-09 | 2016-05-16 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
-
1997
- 1997-05-26 JP JP9135569A patent/JPH10325924A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004295122A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Olympus Corp | 照明切換装置及びその方法 |
JP4563699B2 (ja) * | 2003-03-13 | 2010-10-13 | オリンパス株式会社 | 照明切換装置 |
JP2005301065A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Olympus Corp | 観察装置 |
EP3006979A1 (en) | 2014-10-09 | 2016-04-13 | Olympus Corporation | Microscope system |
JP2016080715A (ja) * | 2014-10-09 | 2016-05-16 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
US9817222B2 (en) | 2014-10-09 | 2017-11-14 | Olympus Corporation | Microscope system including a laser source, a plurality of laser microscopes, and an optical path switching unit to switch a supply destination of a laser from the laser source |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061219 |