JPH10325809A - ウェブの欠陥検査装置及びウェブの欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度かつ確実な欠陥検出が可能なウェブの
欠陥検出装置を提供する。 【解決手段】 帯状のウェブ１１中に存在する欠陥の検
査を行うウェブの欠陥検査装置Ａであって、ウェブ１１
をその長さ方向に走行させる走行手段１５と、ウェブ１
１の幅方向に配設され、ウェブ１１中に存在する欠陥の
粗い検査を行うラインセンサー１７と、ラインセンサー
１７よりもウェブ１１の走行方向の下流側に設けられ、
ラインセンサー１７により粗く検査された欠陥の精密検
査を行うエリアセンサー２１と、これをウェブ１１に沿
って移動可能に支持するエリアセンサー駆動部３１と、
ラインセンサー１７の検出結果とウェブ１１の走行速度
とに基づいてエリアセンサー２１がウェブ１１の欠陥位
置に移動するようエリアセンサー駆動部３１を駆動させ
る制御部４１とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、紙・フィルム等の
走行するウェブの欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のウェブの欠陥検査装置は、図５及
び図６に示す装置Ａのように、帯状のウェブ１をその長
さ方向に走行させる走行手段３と、ウェブ１の幅方向に
配設され、ウェブ１中に存在する欠陥の有無及び位置の
検出を行う光学センサー部５とを備えているものが一般
的である。

【０００３】この光学センサー部５上には、ラインセン
サーと呼ばれる発光ダイオード等の発光素子とフォトダ
イオード等の受光素子とが対になった光学センサー（図
示せず）が直線状に多数配置されており、発光素子から
の発光をウェブ１上において反射させ、この反射光を受
光素子で受光して反射光の光量等から判断してウェブ１
中の欠陥の有無を検出していた。ウェブ１が光学センサ
ー部５の下を通過する時点において上記測定を行うこと
により、走行手段３により漸次走行するウェブ１内の欠
陥をウェブ１の全面にわたって検査することが可能とな
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、今日の
ウェブの材質や用途の多様化等により、欠陥のサイズや
濃度等のウェブ中における欠陥のより詳細な情報の要求
が高まってきた。このようなウェブ中における欠陥のよ
り高精度な検出の要求が高まるに従って、上記のような
従来の欠陥検査装置及びそれを用いた欠陥検査方法には
次のような問題点が生じてきた。

【０００５】すなわち、ラインセンサーのみで詳細な情
報を得ようとすると１列に並べる光学センサーの数を増
やしたり、エリアセンサーと呼ばれる複数列のラインセ
ンサーや縦横方向に多数の画素を持つＣＣＤをウェブの
幅全体にわたって用意する必要が生じてきた。

【０００６】しかしながら、このような高密度光学セン
サーは非常に高価な上に、個々の光学センサー数の増加
により欠陥の有無の判定処理を含む検査に手間がかか
り、検査に要する時間が非常に長くなるという問題点が
あった。

【０００７】上記のような問題点に鑑みて、本発明のウ
ェブの欠陥検査装置においては、少ない光学センサー
で、要求されている欠陥の詳細な情報の検出が可能なウ
ェブの欠陥検出装置の提供を目的とする。また、本発明
の欠陥検出方法においては、ウェブ中の欠陥の検出が容
易かつ確実に可能となるような欠陥検出方法を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
するために、本発明のウェブの欠陥検出装置及びウェブ
の欠陥検査方法においては、次のような手段を講じた。
すなわち、請求項１に記載されたウェブの欠陥検査装置
においては、ウェブをその長さ方向に走行させる走行手
段と、前記ウェブの幅方向に複数の欠陥検出センサーを
配設したラインセンサーと、該ラインセンサーよりも該
ウェブの走行方向の下流側に設けられ、前記ラインセン
サーにより粗く検査された欠陥のうち前記ウェブの幅方
向及び長さ方向に限定されたエリア内の欠陥を検査する
エリアセンサーと、該エリアセンサーを前記ウェブに沿
って移動可能に支持するエリアセンサー駆動部と、前記
ラインセンサーの欠陥検出結果と前記ウェブの走行速度
とに基づいて前記エリアセンサーが前記ウェブの欠陥位
置に移動するよう前記エリアセンサー駆動部を駆動させ
る制御部とを備えてなることを特徴とする。

【０００９】このウェブの欠陥検査装置においては、そ
の長さ方向に走行しているウェブ中の欠陥の検査を行
う。まず、ラインセンサーによりウェブ中に存在する欠
陥の粗い検査を行う。次いで、前記ラインセンサーによ
り検出された欠陥の精密検査を、該ラインセンサーより
もウェブの走行方向の下流側において、前記ウェブに沿
って移動自在に支持するエリアセンサー駆動部を備えた
エリアセンサーにより精密に検査する。この際、制御部
がラインセンサーの検出結果と前記ウェブの走行速度と
に基づいて、前記エリアセンサー駆動部を駆動させる。
そして前記エリアセンサーは、粗く検査された欠陥の精
密検査を行える位置まで移動する。

【００１０】このウェブの欠陥検査装置においては、前
記エリアセンサーにより、ラインセンサーで粗く検査さ
れたウェブ中の欠陥を精密に検査することができる。
すなわちエリアセンサーは、限定された範囲のみを検
査すればよいため、画像処理能力を一定とした場合に、
分解能の高いセンサーを用いても画像処理速度が低下せ
ずに解像度の高い画像が得られ、より精密な欠陥検査が
可能となる。従って、粗く検査された欠陥に関して、そ
のサイズ・単位面積当たりの個数（密度）・濃淡等を詳
細に、かつ、迅速に検査することができる。

【００１１】請求項２に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
装置において、前記エリアセンサーの検査結果に基づい
て、ウェブの欠陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別
を行う欠陥判別部を備えてなり、該欠陥判別部は、前記
エリアセンサーにより前記限定されたエリア内において
検出された欠陥の個数を数えて、その総数に基づいて基
準内欠陥と基準外欠陥との判別を行う第１の欠陥判別回
路を具備していることを特徴とする。このウェブの欠陥
検査装置においては、前記第１の欠陥判別回路により欠
陥密度を基準として基準内欠陥と基準外欠陥とを判別
し、欠陥品を識別する。

【００１２】請求項３に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
装置において、前記エリアセンサーの検査結果に基づい
て、ウェブの欠陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別
を行う欠陥判別部を備えてなり、前記欠陥判別部は、前
記エリアセンサーにより前記限定されたエリア内におい
て検出された欠陥のサイズを測定し、そのサイズに基づ
いて基準内欠陥と基準外欠陥との判別を行う第２の欠陥
判別回路を具備していることを特徴とする。このウェブ
の欠陥検査装置においては、前記第２の欠陥判別回路に
より、欠陥のサイズの大小を基準として基準内欠陥と基
準外欠陥とを判別し、欠陥品を識別する。

【００１３】請求項４に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
装置において、前記エリアセンサーの検査結果に基づい
て、ウェブの欠陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別
を行う欠陥判別部を備えてなり、前記欠陥判別部は、前
記エリア検査センサーにより前記限定されたエリア内に
おいて検出された欠陥の濃度を測定し、その濃度に基づ
いて基準内欠陥と基準外欠陥との判別を行う第３の欠陥
判別回路を具備していることを特徴とする。このウェブ
の欠陥検査装置においては、前記第３の欠陥判別回路に
より、欠陥の濃淡を基準として基準内欠陥と基準外欠陥
とを判別し、欠陥品を識別することができる。

【００１４】請求項５に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
装置において、前記エリアセンサーの検査結果に基づい
て、ウェブの欠陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別
を行う欠陥判別部を備えてなり、該欠陥判別部は、予め
記憶されている基準ウェブの画像を出力する基準ウェブ
画像出力回路と、前記基準ウェブの画像と前記エリアセ
ンサーの出力画像とを比較して、基準内欠陥と基準外欠
陥とを判別する第４の欠陥判別回路を備えていることを
特徴とする。

【００１５】このウェブの欠陥検査装置においては、前
記第４の欠陥判別回路を具備する欠陥判別部が備えられ
ているため、欠陥の検査結果に基づいてウェブの欠陥が
許容範囲内にある基準内欠陥であるか、許容範囲外の基
準外欠陥であるかの判別が可能となる。ここで、予め記
憶されている基準ウェブの画像とエリアセンサーでの撮
影画像とを比較する前記第４の欠陥判別回路としては、
予め測定前に記憶しておいた画像とエリアセンサーで測
定した画像とを比較する欠陥判別回路を設けることも可
能であるし、前記エリアセンサーにより撮像された欠陥
と該撮像された欠陥の後方においてウェブを撮像した画
像とを比較して前記２つの画像をマッチングし、欠陥の
有無・すなわち良品と不良品の判別を行う欠陥判別回路
を設けることも可能である。後者のような欠陥判別回路
を設ければ、検査時における環境の影響をキャンセルす
ることができ、より正確な判定が可能となる。

【００１６】請求項６に記載されたウェブの欠陥検査方
法は、ウェブの長さ方向に走行させつつ、前記ウェブの
幅方向に複数の欠陥検出センサーを配設したライン状の
ラインセンサーにより、第１の位置にて該ウェブの幅方
向に一括して欠陥の粗い検査を行い、該第１の位置より
も前記ウェブの走行方向の下流側の第２の位置で、前記
ラインセンサーにより得られた欠陥の位置及びウェブの
走行速度のデータに基づいて、前記ラインセンサーによ
り粗く検査された欠陥のうち前記ウェブの幅方向及び長
さ方向に限定されたエリア内の欠陥を検査するエリアセ
ンサーを該欠陥の位置に到らせて該欠陥の精密検査をな
すことを特徴とする。このウェブの欠陥検査方法におい
ては、欠陥の粗い検査と精密検査とを円滑に行うことが
できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１の実施の
形態として示したウェブの欠陥検査装置の側面図であ
り、図２は平面図である。

【００１８】このウェブの欠陥検査装置Ａは、概略、帯
状のウェブ１１をその長さ方向に走行させる走行手段１
５と、ウェブ１１の幅方向に配設され、ウェブ１１中に
存在する欠陥の有無及び位置の粗い検査を行うラインセ
ンサー１７と、このラインセンサー１７よりもウェブ１
１の走行方向の下流側に設けられ、ラインセンサー１７
により粗く検査された欠陥のより精密な検査を行うエリ
アセンサー２１と、このエリアセンサー２１をウェブ１
１上において移動可能に支持するエリアセンサー駆動部
３１と、ラインセンサー１７の検出結果とウェブ１１の
走行速度に基づいて、エリアセンサー２１がウェブの欠
陥位置に移動するようエリアセンサー駆動部３１を駆動
させる制御部４１とを備えている。

【００１９】前記ウェブ１１は、長い帯状に形成された
樹脂製のフィルムである。前記走行手段は、概略、図１
に示すように右側に設けられたウェブ送り出しロール１
５ａと、左側に設けられたウェブ巻き取りロール１５ｂ
と、ウェブ送り出しロール１５ａ及びウェブ巻き取りロ
ール１５ｂ間において、ウェブ１を水平に支持する２つ
のウェブ支持ロール１６ａ・１６ｂとから構成されてい
る。

【００２０】前記ラインセンサー１７は、ウェブ１１の
幅方向に複数の検出センサーを配設した、ライン状のセ
ンサーにより構成されている。このラインセンサー用の
検出センサーとしては、例えば、発光ダイオードやレー
ザーダイオード等の発光素子と、フォトダイオード等の
受光素子との対により構成される光学センサーをライン
状に直列に配置した光学ラインセンサーやＣＣＤ素子を
同様に配置したリニアアレーＣＣＤセンサー等が用いら
れる。これらのラインセンサー１７は、ウェブ１１の全
幅（例えば１ｍ）に亙って設けられている。

【００２１】一方、前記エリアセンサー２１は、ウェブ
１１のうち幅方向及び長さ方向に限られたエリア内の欠
陥を検査する。このエリアセンサー２１用の検出センサ
ーとしては、例えば電荷結合素子（ＣＣＤ）を面内に多
数・高密度に配列した、ＣＣＤエリアセンサー２１が用
いられる。尚、上記限られたエリア内とは、例えば１ｃ
ｍ四方程度の領域である。

【００２２】前記エリアセンサー駆動部３１は、ライン
センサー１７により粗く検査されたウェブの欠陥の有無
及び位置に関する粗い測定結果に基づき、粗く検査され
た欠陥を検査できる位置まで、ウェブ１１上においてＣ
ＣＤエリアセンサー２１を移動させることができるよう
に、例えばＸ−Ｙマトリックス駆動機構（図示せず）の
ような機構を備えている。

【００２３】当該装置Ａには、前記ラインセンサー１７
により粗く検査されたウェブ１１の欠陥の粗い検査結果
とウェブ１１の走行速度とに基づき、粗く検査された欠
陥を検査できる位置に前記エリアセンサー２１が移動す
るように前記エリアセンサー駆動部３１を駆動する制御
部４１が備えられている。

【００２４】さらに、当該ウェブの欠陥検査装置Ａに
は、エリアセンサー２１の検査結果に基づいて、ウェブ
１１の欠陥が許容範囲内にある基準内欠陥であるか、許
容範囲外である基準外欠陥であるかを判別する欠陥判別
部５１が備えられている。

【００２５】この欠陥判別部５１は、前記エリアセンサ
ー２１により、限定されたエリア内において検出された
欠陥の個数を数えて、その総数がある許容範囲を越えた
場合に基準外欠陥であると判定する第１の欠陥判別回路
６１と、前記エリアセンサー２１により前記限定された
エリア内において検出された欠陥のサイズを測定し、そ
のサイズがある許容範囲を越えた場合に基準外欠陥であ
ると判定する第２の欠陥判別回路７１と、前記エリアセ
ンサー２１により前記限定されたエリア内において検出
された欠陥の濃度を測定し、その濃度がある許容範囲を
越えた場合に基準外欠陥であると判定する第３の欠陥判
別回路８１とが備えられている。

【００２６】次に、前記ウェブの欠陥検査装置Ａの使用
方法について図３のブロック図を参照して説明する。ま
ず、走行手段１５により、帯状のウェブ１１をその長さ
方向に走行させる。図１に示すように、左側に設けられ
たウェブ巻き取りロール１５ｂによりウェブ１が巻き取
られるのに伴って、右側に設けられたウェブ送り出しロ
ール１５ａからウェブ１１が送り出される。この際、ウ
ェブ送り出しロール１５ａ及びウェブ巻き取りロール１
５ｂ間において、２つのウェブ支持ロール１６ａ・１６
ｂによりウェブ１１が水平に支持されている。ウェブ１
１の典型的な走行速度は、約１５０〜２００ｍ／分であ
る。このようにして走行するウェブ１１は、ラインセン
サー１７の下を順次通過するが、この通過に伴って、順
次、ラインセンサー１７がウェブ１１中の欠陥の有無及
びウェブの幅方向の大まかな位置を検出する。

【００２７】前記ラインセンサー１７により欠陥が粗く
検査されると、制御部４１は、粗く検査されたウェブ１
１の欠陥の測定結果とウェブ１１の走行速度とに基づ
き、粗く検査された欠陥を検査可能な位置に前記エリア
センサー２１が移動するようにエリアセンサー駆動部３
１を駆動させる。そして、エリアセンサー２１が、駆動
部３１に備えられたＸ−Ｙマトリックス機構（図示せ
ず）により、ウェブ１１上を粗く検査された欠陥の位置
まで移動し、欠陥の精密検査を行う。この場合の欠陥の
精密検査とは、例えば、欠陥のサイズ（大きさ）・個数
（密度）・濃度（濃淡）・形状等を判断できるような検
査のことである。

【００２８】このような欠陥の精密検査の結果に基づい
て、欠陥判別部５１が、当該欠陥が許容範囲内の基準内
欠陥であるのか、許容範囲外の基準外欠陥であるのかを
判定する。この欠陥判別部５１内においては、第１の欠
陥判別回路６１が、限定されたエリア内において検出さ
れた欠陥の個数を数え、その総数がある許容範囲を越え
た場合に基準外欠陥有りと判定する。第２の欠陥判別回
路７１は、前記限定されたエリア内において検出された
欠陥のサイズを測定し、そのサイズがある許容範囲を越
えた場合に基準外欠陥有りと判定する。

【００２９】第３の欠陥判別回路８１は、前記限定され
たエリア内において検出された欠陥の濃度を測定し、そ
の濃度がある許容範囲を越えた場合に基準外欠陥有りと
判定する。欠陥の個数・サイズ・濃度の許容範囲は予め
設定されており、精密検査の結果、前記第１から第３ま
での欠陥判別回路（６１、７１、８１）により前記設定
値を越える欠陥の個数・サイズ・濃度等が測定される
と、基準外欠陥有りと判定するわけである。

【００３０】実際には、上記第１から第３までの欠陥判
別回路（６１、７１、８１）のうちいずれか１つでも欠
陥有りと判定した場合には、最終的に欠陥有りと判定さ
れることになる。そして欠陥品と判定された場合には、
欠陥表示部９１に設けられた警報等により使用者に知ら
せる。

【００３１】尚、欠陥判別回路としては、第１から第３
までのいずれか欠陥判別回路のうち１つの回路又は２つ
の回路のみを備えていてもよい。また、第２の欠陥判別
回路７１と第３の欠陥判別回路５１との協同作用によ
り、薄くても大きい欠陥や小さくても濃い欠陥を検知し
た際にも基準外欠陥有りと判定させるようにしておくな
ど、第１から第３までの欠陥判別回路（６１、７１、８
１）が相互に関連していてもよいし、これらの欠陥の特
性（個数・サイズ・濃度）に対して重み付け等がされて
いてもよい。さらに基準外欠陥有りと判定された場合
に、ウェブ１１中の欠陥検出箇所に自動的にマーキング
する機構を付加しておいても良い。

【００３２】次に、本発明の第２の実施の形態として示
すウェブの欠陥検査装置を用いたウェブの欠陥検査装置
について説明する。このウェブの欠陥検査装置が、前記
第１の実施の形態として示したウェブの欠陥検査装置と
異なる点は、欠陥判別部５１内に、予め記憶されている
基準ウェブの画像を出力する基準ウェブ画像出力回路
（図示せず）と第４の欠陥判別回路１０１とを備えてい
る点である。

【００３３】この第４の欠陥判別回路１０１は、基準ウ
ェブの画像と前記エリアセンサーの出力画像とを比較し
て、基準内欠陥と基準外欠陥とを判別する。従って、こ
のウェブの欠陥検査装置においては、基準ウェブの画像
と検査対象のウェブの画像とを比較して基準内欠陥と基
準外欠陥の判別を行うことができる。

【００３４】すなわち、前記第１から第３までの欠陥判
別回路は、欠陥の個数・サイズ・濃度等の欠陥の属性を
具体的に測定して、その測定値と予め設定されている許
容値とを比較して基準外欠陥の有無を判定するのに対し
て、本実施の形態における第４の欠陥判別回路１０１
は、エリアセンサー２１により実際に得られた画像と良
品の基準ウェブの画像とを比較して画像上での相違点の
有無によりウェブ中の基準外欠陥の有無を判定するので
ある。この欠陥検査装置によれば、２つの画像の比較だ
けで欠陥の有無を判定できる。

【００３５】次に、上記本発明の第２の実施の形態とし
て示したウェブの欠陥検査装置の変形例について図４を
参照して説明する。この欠陥検査装置が、前記本発明の
第２の実施の形態において説明したウェブの欠陥検査装
置と異なる点は、本実施の形態の変形例においては、欠
陥判別部５１には、第４の欠陥判別回路として、エリア
センサー２１により撮像された欠陥と当該撮像された欠
陥の後方においてウェブを撮像した画像とを比較して、
基準内欠陥と基準外欠陥とを判別する欠陥判別回路１１
１が備えられている点である。実際には、この変形例に
おける第４の欠陥判別回路１１１は、例えば、エリアセ
ンサー２１の撮像画像と、それよりも１ピッチ後の撮像
画像とを比較（マッチング）することにより基準内欠陥
か基準外欠陥かを判定する。

【００３６】ここで、図４（ａ）は、エリアセンサー２
１の撮像画像の一例である。この画像中のＬＭＮは、ウ
ェブ１１に予め印刷等されている文字であり、従って、
図４（ｂ）に示す１ピッチ後にもＬＭＮは存在する。一
方、図４（ａ）の２つのＬＭＮの文字間に存在する点
（ドット）１２１は、図４（ｂ）に示す１ピッチ後の画
像にはなく、これにより、この点（ドット）１２１が欠
陥であることが判明する。

【００３７】このような欠陥判別部を備えた欠陥検査装
置を用いれば、リアルタイムに得られた２つの画像をマ
ッチングして欠陥の有無・すなわち良品と不良品の判別
を行うので、検査時における測定環境の影響、例えばウ
ェブ１１の走行速度の変化や測定時の温度変化等による
ウェブの状態の違いをキャンセルすることができ、より
正確な欠陥の有無の判定が可能となる。

【００３８】尚、上記第１から第３までの本発明の実施
の形態においては、検査対象であるウェブとして樹脂フ
ィルムを例に説明したが、検査対象であるウェブは、紙
・アルミ箔等の金属箔を対象としたものでも良いし、例
えば樹脂フィルムと金属箔を張り合わせた複合フィルム
等でもよい。また、ラインセンサーやエリアセンサーに
よるセンシングにおいては、偏光フィルターを使用し
て、欠陥の検出を容易にすることも可能である。

【００３９】さらに、ラインセンサーとして光学センサ
ーを使用した場合に、発光素子からの光がウェブにより
反射し、その反射光を受光素子で受ける方式の他に、発
光素子と受光素子とをウェブを挟んで対向する位置に設
置しておき、発光素子から発光された光のうち、ウェブ
の透過光を受光素子によりセンシングする構造をとるこ
とも可能である。

【００４０】もちろん、高密度の光センサーであれば、
エリアセンサーとして光センサーを用いることも可能で
ある。さらに、ラインセンサやエリアセンサーは、ウェ
ブの大きさや検査精度、画像処理・情報処理系の能力等
に対応するように、それぞれ２個以上設置されていても
良い。

【００４１】

【発明の効果】本発明のウェブの欠陥検査装置及びそれ
を用いた欠陥検査方法によれば、ウェブ中の欠陥検査に
おいて、ラインセンサーにより必要とされたエリアのみ
に対して精密検査することにより、エリアセンサーを構
成する個々のセンサーの総数及び密度等をそれほど多く
しなくても高精度な検査が可能となり欠陥の有無を判定
するための情報処理系・画像処理系の負担が軽減する。
これにより迅速な欠陥検査が可能となるとともに、必要
箇所には、より精密な検査が可能となり、欠陥の見落と
し等の可能性が激減するという効果を奏する。さらにラ
インセンサーについても精密な検査性能が要求されない
ので、より安価に構成できるという効果を発揮する。

【００４２】請求項１記載のウェブの欠陥検査装置にお
いては、まず、ラインセンサーによりウェブ中に存在す
る欠陥の粗測定を行い、次いで、前記ラインセンサーに
より欠陥が検出された位置のみをエリアセンサーにより
精密に検査するので、高精度、迅速、かつ、確実な欠陥
検査が可能となる。ここで、前記ラインセンサーにより
走行するウェブ中の欠陥を順次、むらなく粗く検査する
ことができる。この際、ラインセンサーは欠陥の粗い検
査のみを行うので、これを構成する個々のセンサーの総
数及び密度をそれほど高くする必要がなく、ラインセン
サーを安価に構成できる上に、欠陥検出に要する時間
（画像処理や情報処理に要する時間を含む）が短くて済
み、迅速な粗い検査が可能となる。

【００４３】また、限定された範囲のみを検査すればよ
いエリアセンサーにより画像・情報処理能力を一定とし
た場合に、エリアセンサーとして分解能の高いセンサー
を用いても検査速度が低下しない。従って、解像度の高
い画像が得られ、より精密な欠陥検査が可能となる。す
なわち、粗く検査された欠陥に関して、そのサイズ・単
位面積当たりの個数（密度）・濃淡等を高精度に、か
つ、迅速に検査することができる。

【００４４】請求項２に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、欠陥判別部により検査周の欠陥が基準内
欠陥であるか基準外欠陥であるかを判別することができ
るため、ウェブのうち基準外欠陥を有するウェブを欠陥
品として識別することが容易となる。そしてこの欠陥判
別部が第１の欠陥判別回路を具備しており、第１の欠陥
判別回路により、欠陥密度の高低を基準として基準外欠
陥の有無を判別することができる。

【００４５】請求項３に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、第２の欠陥判別回路により、欠陥のサイ
ズの大小を基準として基準外欠陥の有無を判別すること
ができる。請求項４に記載されたウェブの欠陥検査装置
においては、第３の欠陥判別回路により、欠陥の濃淡を
基準として基準外欠陥の有無を判別することができる。

【００４６】請求項５に記載されたウェブの欠陥検査装
置においては、予め記憶されている基準ウェブの画像と
検査されたウェブの画像とを比較して基準外欠陥の有無
を判定するので、その判別の精度が高くなる。また、基
準ウェブの画像としてその後方の欠陥のない画像とを比
較する場合には、欠陥有りとされたウェブの画像とその
後方の画像との２つの実画像をマッチングして基準外欠
陥の有無・すなわち良品ウェブと不良品ウェブの判別を
行うので、検査時における環境の影響をキャンセルする
ことができ、より正確な判定が可能となる。

【００４７】請求項６に記載されたウェブの欠陥検査方
法においては、ウェブの欠陥検査を円滑かつ確実の行う
ことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態として示したウェ
ブの欠陥検査装置の側面図である。

【図２】 図１の正面図である。

【図３】 本発明の第１の実施の形態として示したウェ
ブの欠陥検査装置を用いた欠陥検査方法を説明するため
のブロック図である。

【図４】 本発明の第２の実施の形態の変形例として示
したウェブの欠陥検査方法において得られた画像であ
り、（ａ）欠陥有りとされたエリアを撮像した画像であ
り、（ｂ）は、その１ピッチ後の画像である。

【図５】 従来のウェブの欠陥検査装置の側面図であ
る。

【図６】 図５の正面図である。

【符号の説明】

Ａ…ウェブの欠陥検査装置 １１…ウェブ １５…走行手段 １７…ラインセンサー ２１…エリアセンサー ３１…エリアセンサー駆動部 ４１…制御部 ５１…欠陥判定部 ６１…第１の欠陥判別回路 ７１…第２の欠陥判別回路 ８１…第３の欠陥判別回路 ９１…欠陥表示部 １０１、１１１…第４の欠陥判別回路

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状のウェブ中に存在する欠陥の検査を
   行うウェブの欠陥検査装置であって、 ウェブをその長さ方向に走行させる走行手段と、 前記ウェブの幅方向に複数の欠陥検出センサーを配設し
   たライン状のラインセンサーと、 該ラインセンサーよりも該ウェブの走行方向の下流側に
   設けられ、前記ラインセンサーにより粗く検査された欠
   陥のうち前記ウェブの幅方向及び長さ方向に限定された
   エリア内の欠陥を検査するエリアセンサーと、 該エリアセンサーを前記ウェブに沿って移動可能に支持
   するエリアセンサー駆動部と、 前記ラインセンサーの欠陥検出結果と前記ウェブの走行
   速度とに基づいて前記エリアセンサーが前記ウェブの欠
   陥位置に移動するよう前記エリアセンサー駆動部を駆動
   させる制御部とを備えてなることを特徴とするウェブの
   欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
   装置において、 前記エリアセンサーの検査結果に基づいて、ウェブの欠
   陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別を行う欠陥判別
   部を備えてなり、 該欠陥判別部は、 前記エリアセンサーにより前記限定されたエリア内にお
   いて検出された欠陥の個数を数えて、その総数に基づい
   て基準内欠陥と基準外欠陥との判別を行う第１の欠陥判
   別回路を具備していることを特徴とするウェブの欠陥検
   査装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
   装置において、 前記エリアセンサーの検査結果に基づいて、ウェブの欠
   陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別を行う欠陥判別
   部を備えてなり、 該欠陥判別部は、 前記エリアセンサーにより前記限定されたエリア内にお
   いて検出された欠陥のサイズを測定し、そのサイズに基
   づいて基準内欠陥と基準外欠陥との判別を行う第２の欠
   陥判別回路を具備していることを特徴とするウェブの欠
   陥検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
   装置において、 前記エリアセンサーの検査結果に基づいて、ウェブの欠
   陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別を行う欠陥判別
   部を備えてなり、 該欠陥判別部は、 前記エリアセンサーにより前記限定されたエリア内にお
   いて検出された欠陥の濃度を測定し、その濃度に基づい
   て基準内欠陥と基準外欠陥との判別を行う第３の欠陥判
   別回路を具備していることを特徴とするウェブの欠陥検
   査装置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載されたウェブの欠陥検査
   装置において、 前記エリアセンサーの検査結果に基づいて、ウェブの欠
   陥のうち基準内欠陥、基準外欠陥の判別を行う欠陥判別
   部を備えてなり、 該欠陥判別部は、 予め記憶されている基準ウェブの画像を出力する基準ウ
   ェブ画像出力回路と、 前記基準ウェブの画像と前記エリアセンサーの出力画像
   とを比較して、基準内欠陥と基準外欠陥とを判別する第
   ４の欠陥判別回路を具備していることを特徴とするウェ
   ブの欠陥検査装置。
6. 【請求項６】 帯状のウェブ中に存在する欠陥を検査す
   るウェブの欠陥検査方法であって、 ウェブの長さ方向に走行させつつ、前記ウェブの幅方向
   に複数の欠陥検出センサーを配設したライン状のライン
   センサーにより第１の位置にて該ウェブの幅方向に一括
   して欠陥の粗い検査を行い、 該第１の位置よりも前記ウェブの走行方向の下流側の第
   ２の位置で、前記ラインセンサーにより得られた欠陥の
   位置及びウェブの走行速度のデータに基づいて、前記ラ
   インセンサーにより粗く検査された欠陥のうち前記ウェ
   ブの幅方向および長さ方向に限定されたエリア内の欠陥
   を検査するエリアセンサーを該欠陥の位置に到らせて該
   欠陥の精密検査をなすことを特徴とするウェブの欠陥検
   査方法。