JPH10323675A - シリコン廃液から切削粉を分離する方法 - Google Patents
シリコン廃液から切削粉を分離する方法Info
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- JPH10323675A JPH10323675A JP13481197A JP13481197A JPH10323675A JP H10323675 A JPH10323675 A JP H10323675A JP 13481197 A JP13481197 A JP 13481197A JP 13481197 A JP13481197 A JP 13481197A JP H10323675 A JPH10323675 A JP H10323675A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属シリコンの切削粉を含有する切削廃水か
ら該切削粉を効率的に除去すること。 【解決手段】 金属シリコンの切削粉を含有する切削廃
水に、塩化アルミニウムおよび／または塩化鉄を凝集剤
として添加しそしてｐＨを１０以上に調整して、金属シ
リコン凝集物を浮遊せしめることによって、金属シリコ
ンの切削粉を分離する方法。
ら該切削粉を効率的に除去すること。 【解決手段】 金属シリコンの切削粉を含有する切削廃
水に、塩化アルミニウムおよび／または塩化鉄を凝集剤
として添加しそしてｐＨを１０以上に調整して、金属シ
リコン凝集物を浮遊せしめることによって、金属シリコ
ンの切削粉を分離する方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属シリコンの切
削粉の分離方法に関する。さらに詳しくは、シリコンの
切削粉を含有する切削廃水を、簡便にしかも安価に処理
して分離する方法に関する。
削粉の分離方法に関する。さらに詳しくは、シリコンの
切削粉を含有する切削廃水を、簡便にしかも安価に処理
して分離する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高純度多結晶シリコンの製造において最
も一般的な方法は、高純度のシリコンの芯線を電流加熱
し、該芯線上でトリクロロシランを水素と反応させ、ロ
ッド状の多結晶シリコンを析出する方法であり、広く一
般に行われている。該シリコン芯線には、析出で得られ
た多結晶シリコンロッドを、芯線に適した細い棒状に切
り出して使用されることがある。
も一般的な方法は、高純度のシリコンの芯線を電流加熱
し、該芯線上でトリクロロシランを水素と反応させ、ロ
ッド状の多結晶シリコンを析出する方法であり、広く一
般に行われている。該シリコン芯線には、析出で得られ
た多結晶シリコンロッドを、芯線に適した細い棒状に切
り出して使用されることがある。
【０００３】シリコンロッドを切削する際、一般には、
シリコンの切削微粉を含むスラリー状の切削廃水が発生
する。切削廃水はシリコン微粉や研磨剤等により濁って
いるため、この廃液を一般排水として廃棄することはで
きず、凝集沈降分離等の操作により、廃水中から懸濁粒
子（以後単にｓｓ成分と記す）を分離しなくてはならな
い。ところが、切削廃水中のシリコンは、水中では水素
ガスを発生する性質を持つため、せっかく沈降させた凝
集物（フロック）が発生した水素ガスを伴って再浮上す
るという問題があり、一般的な凝集沈降分離技術は使用
できなかった。
シリコンの切削微粉を含むスラリー状の切削廃水が発生
する。切削廃水はシリコン微粉や研磨剤等により濁って
いるため、この廃液を一般排水として廃棄することはで
きず、凝集沈降分離等の操作により、廃水中から懸濁粒
子（以後単にｓｓ成分と記す）を分離しなくてはならな
い。ところが、切削廃水中のシリコンは、水中では水素
ガスを発生する性質を持つため、せっかく沈降させた凝
集物（フロック）が発生した水素ガスを伴って再浮上す
るという問題があり、一般的な凝集沈降分離技術は使用
できなかった。
【０００４】この問題を解決する手段として、これまで
種々の試みがなされてきた。例えば特開昭６３−４９２
９１号公報では、アルカリ性の研磨廃水に無機凝集剤を
添加し、次いで高分子凝集剤および浮上補助剤を添加
し、そして加圧水により浮上分離する方法が提案されて
いる。また、この方法の改良として、特開平６−１３４
４６９号公報には、まず貯槽で水素を発生させ、その後
ｐＨを７〜９に調整し、凝集剤を添加することにより、
水素を発生させずに凝集沈降分離する方法が提案されて
いる。
種々の試みがなされてきた。例えば特開昭６３−４９２
９１号公報では、アルカリ性の研磨廃水に無機凝集剤を
添加し、次いで高分子凝集剤および浮上補助剤を添加
し、そして加圧水により浮上分離する方法が提案されて
いる。また、この方法の改良として、特開平６−１３４
４６９号公報には、まず貯槽で水素を発生させ、その後
ｐＨを７〜９に調整し、凝集剤を添加することにより、
水素を発生させずに凝集沈降分離する方法が提案されて
いる。
【０００５】しかし、これらの方法では、金属シリコン
凝集物の凝集力が弱く、ろ過システムに供給する過程で
ポンプを通過する際、一部の弱いフロックがこわれてし
まうという問題があった。また、処理水の水質は環境規
制どおり、２０ｍｇ／Ｌ以下という放流基準は満足する
ものの、さらなる環境規制の要求に耐えうるものではな
かった。
凝集物の凝集力が弱く、ろ過システムに供給する過程で
ポンプを通過する際、一部の弱いフロックがこわれてし
まうという問題があった。また、処理水の水質は環境規
制どおり、２０ｍｇ／Ｌ以下という放流基準は満足する
ものの、さらなる環境規制の要求に耐えうるものではな
かった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記問
題点を解決するための研究を行った結果、処理水の水質
低下や、凝集物が壊れることの原因は、凝集剤の不均一
な混合に原因があることを究明した。また、均一に混合
するためには、凝集粒子の内部にいかに効率良く凝集剤
を行き渡らせるか、および、混合工程において水素が発
生することにより粒子が浮上して撹拌されなくなるとい
う問題をいかに解決するかという２つの技術課題が存在
することも明らかになった。
題点を解決するための研究を行った結果、処理水の水質
低下や、凝集物が壊れることの原因は、凝集剤の不均一
な混合に原因があることを究明した。また、均一に混合
するためには、凝集粒子の内部にいかに効率良く凝集剤
を行き渡らせるか、および、混合工程において水素が発
生することにより粒子が浮上して撹拌されなくなるとい
う問題をいかに解決するかという２つの技術課題が存在
することも明らかになった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らはさ
らなる研究の結果、シリコン切削廃水の酸性を維持した
ままであれば、凝集剤が均一に行き渡ること、また、こ
れまでシリコン微粉は、水溶液中では必ず水素を発生す
ると考えられてきたが、意外にも、酸性下では殆ど水素
を発生しないことが明らかになった。これらの知見を利
用し、凝集剤を内部に均一に混合した金属シリコン凝集
物を形成する技術を開発し、シリコン切削廃水中の凝集
固体を効率良く分離する方法を完成し、本発明に到達し
た。
らなる研究の結果、シリコン切削廃水の酸性を維持した
ままであれば、凝集剤が均一に行き渡ること、また、こ
れまでシリコン微粉は、水溶液中では必ず水素を発生す
ると考えられてきたが、意外にも、酸性下では殆ど水素
を発生しないことが明らかになった。これらの知見を利
用し、凝集剤を内部に均一に混合した金属シリコン凝集
物を形成する技術を開発し、シリコン切削廃水中の凝集
固体を効率良く分離する方法を完成し、本発明に到達し
た。
【０００８】すなわち本発明は、金属シリコンの切削粉
を含有する切削廃水に、塩化アルミニウムおよび／また
は塩化鉄を凝集剤として添加しそしてｐＨを１０以上に
調整して、金属シリコン凝集物を浮遊せしめることを特
徴とする、金属シリコンの切削粉の分離方法である。
を含有する切削廃水に、塩化アルミニウムおよび／また
は塩化鉄を凝集剤として添加しそしてｐＨを１０以上に
調整して、金属シリコン凝集物を浮遊せしめることを特
徴とする、金属シリコンの切削粉の分離方法である。
【０００９】本発明の特徴の１つは、シリコンの切削廃
水中のシリコン切削微粉を凝集させるに際し、理想的な
金属シリコン凝集物を形成するため、凝集が起こらない
程度にｐＨの低い状態で無機凝集剤を添加、混合するこ
とにある。凝集剤を添加した後のｐＨが７.０付近ある
いはそれ以上の場合は、溶液の不均一な混合や水素ガス
の発生を招くため、好ましくない。水素ガスを発生させ
ないためには、凝集剤を添加した後、ｐＨを調整する前
のｐＨが、７.０未満、さらには５.０未満、さらには
４.０未満であることが好ましい。酸性が強くなるほど
水素ガスの発生は抑制され、その結果、シリコン微粒子
であっても、通常の水素を発生しない物質のように、無
機凝集剤と均一に混合される。これは、おそらくシリコ
ン粒子の表面に強固な酸化膜が形成され、その膜の厚さ
はｐＨに依存するためと考えられる。 シリコンの切削
廃水が中性あるいは酸性であれば、無機凝集剤を添加し
た時点でｐＨは７.０以下になるため何等問題は無い。
しかし、切削廃水に研磨剤等が混入してアルカリ性とな
っている場合は、無機凝集剤を添加する前に、非凝集性
の適当な酸を添加し、あらかじめ凝集剤を添加した後の
ｐＨが７.０未満になるよう、ｐＨをコントロールして
おくことが肝要である。
水中のシリコン切削微粉を凝集させるに際し、理想的な
金属シリコン凝集物を形成するため、凝集が起こらない
程度にｐＨの低い状態で無機凝集剤を添加、混合するこ
とにある。凝集剤を添加した後のｐＨが７.０付近ある
いはそれ以上の場合は、溶液の不均一な混合や水素ガス
の発生を招くため、好ましくない。水素ガスを発生させ
ないためには、凝集剤を添加した後、ｐＨを調整する前
のｐＨが、７.０未満、さらには５.０未満、さらには
４.０未満であることが好ましい。酸性が強くなるほど
水素ガスの発生は抑制され、その結果、シリコン微粒子
であっても、通常の水素を発生しない物質のように、無
機凝集剤と均一に混合される。これは、おそらくシリコ
ン粒子の表面に強固な酸化膜が形成され、その膜の厚さ
はｐＨに依存するためと考えられる。 シリコンの切削
廃水が中性あるいは酸性であれば、無機凝集剤を添加し
た時点でｐＨは７.０以下になるため何等問題は無い。
しかし、切削廃水に研磨剤等が混入してアルカリ性とな
っている場合は、無機凝集剤を添加する前に、非凝集性
の適当な酸を添加し、あらかじめ凝集剤を添加した後の
ｐＨが７.０未満になるよう、ｐＨをコントロールして
おくことが肝要である。
【００１０】本発明に適した無機凝集剤としては、例え
ば塩化アルミニウム、および塩化鉄が好適に使用され
る。これらはそれぞれ単独でも使用できるが、混合して
使用することもできる。塩化アルミニウムおよび塩化鉄
には、ポリ塩化アルミニウム、ポリ鉄が含まれても構わ
ない。これらの無機凝集剤としては、市販されているも
のをそのまま何ら制限なく使用できる。とりわけ、多結
晶シリコンの製造工程において他の工程からの廃棄物を
使用することにより、プロセス全体から発生する廃棄物
の量を減少させることができる。例えばトリクロロシラ
ンの製造工程において、金属珪素と塩化水素とを反応さ
せてトリクロロシランを製造する反応器や、金属珪素と
四塩化珪素とを反応させてトリクロロシランを製造する
反応器からは、副生物として、反応残の粉末が回収され
る。これらの粉末中には、シリコンの他、塩化アルミニ
ウムや塩化鉄が高濃度で存在するので、これらの粉末を
前述の、切削廃水に混合することで、プロセス内への不
必要な無機化合物の追加をなくし、結果的に廃棄物の量
を抑えることができる。当然のごとく、該粉末は、シリ
コンの切削廃水と混合する場合だけではなく、粉末単体
でも、すなわち切削廃水の代わりに水と混合した場合で
も、粉末自身の凝集に対し同様の効果が得られる。
ば塩化アルミニウム、および塩化鉄が好適に使用され
る。これらはそれぞれ単独でも使用できるが、混合して
使用することもできる。塩化アルミニウムおよび塩化鉄
には、ポリ塩化アルミニウム、ポリ鉄が含まれても構わ
ない。これらの無機凝集剤としては、市販されているも
のをそのまま何ら制限なく使用できる。とりわけ、多結
晶シリコンの製造工程において他の工程からの廃棄物を
使用することにより、プロセス全体から発生する廃棄物
の量を減少させることができる。例えばトリクロロシラ
ンの製造工程において、金属珪素と塩化水素とを反応さ
せてトリクロロシランを製造する反応器や、金属珪素と
四塩化珪素とを反応させてトリクロロシランを製造する
反応器からは、副生物として、反応残の粉末が回収され
る。これらの粉末中には、シリコンの他、塩化アルミニ
ウムや塩化鉄が高濃度で存在するので、これらの粉末を
前述の、切削廃水に混合することで、プロセス内への不
必要な無機化合物の追加をなくし、結果的に廃棄物の量
を抑えることができる。当然のごとく、該粉末は、シリ
コンの切削廃水と混合する場合だけではなく、粉末単体
でも、すなわち切削廃水の代わりに水と混合した場合で
も、粉末自身の凝集に対し同様の効果が得られる。
【００１１】無機凝集剤を添加した酸性の溶液を、良く
撹拌することにより、それぞれのシリコン粒子の回り
に、均一に凝集剤を分散させることができる。凝集を開
始させる前であるため、強く撹拌することも、何ら問題
はない。この操作により、最終的に形成される金属シリ
コン凝集物の強度を高めることが可能となる。
撹拌することにより、それぞれのシリコン粒子の回り
に、均一に凝集剤を分散させることができる。凝集を開
始させる前であるため、強く撹拌することも、何ら問題
はない。この操作により、最終的に形成される金属シリ
コン凝集物の強度を高めることが可能となる。
【００１２】無機凝集剤が添加され且つ、良く撹拌され
た酸性の切削廃水スラリーに、アルカリ性化合物を添加
することにより、金属シリコン凝集物の浮遊物を形成す
ることができる。アルカリ性化合物の種類は、特に限定
されないが、混合速度が大きいことから、水酸化ナトリ
ウム水溶液が特に好適に使用できる。アルカリ性化合物
を添加した後の溶液のｐＨは、１０以上、さらには１１
以上であることが好ましい。溶液のｐＨが９.０以下の
場合、しっかりした凝集物が形成されないため、溶液の
移送工程において、凝集物が破壊されることが多い。ま
た、処理水側には、ｓｓ成分が若干残り、液の色は黄褐
色となる。一方、溶液のｐＨが１０以上の場合、しっか
りした金属シリコン凝集物が形成されるため、溶液の移
送工程においても、凝集物が破壊することは殆どない。
また、凝集物が強固であるため、処理水側にはｓｓ成分
は殆どなくまた液の色も無色透明である。上記の方法に
おいて、凝集の補助的手段として、一般に使用される高
分子凝集剤等を用いることもできる。
た酸性の切削廃水スラリーに、アルカリ性化合物を添加
することにより、金属シリコン凝集物の浮遊物を形成す
ることができる。アルカリ性化合物の種類は、特に限定
されないが、混合速度が大きいことから、水酸化ナトリ
ウム水溶液が特に好適に使用できる。アルカリ性化合物
を添加した後の溶液のｐＨは、１０以上、さらには１１
以上であることが好ましい。溶液のｐＨが９.０以下の
場合、しっかりした凝集物が形成されないため、溶液の
移送工程において、凝集物が破壊されることが多い。ま
た、処理水側には、ｓｓ成分が若干残り、液の色は黄褐
色となる。一方、溶液のｐＨが１０以上の場合、しっか
りした金属シリコン凝集物が形成されるため、溶液の移
送工程においても、凝集物が破壊することは殆どない。
また、凝集物が強固であるため、処理水側にはｓｓ成分
は殆どなくまた液の色も無色透明である。上記の方法に
おいて、凝集の補助的手段として、一般に使用される高
分子凝集剤等を用いることもできる。
【００１３】本発明で得られる金属シリコン凝集物は強
固であるため、凝集物の回収も容易に行うことができ
る。その手段は特に限定されないが、例えばそのまま濾
過することもできる。濾過の手段は特に限定されない
が、限外濾過法を使用すれば、排出される処理水は、非
常に清澄になる。本発明で形成される凝集物は、例え限
外濾過工程に供給しても、殆ど崩れない程度に強固であ
る。本発明に適した限外濾過膜は、その分画分子量が１
０００以上、さらには１０,０００以上、さらには１０
０,０００以上のものが好適に採用される。
固であるため、凝集物の回収も容易に行うことができ
る。その手段は特に限定されないが、例えばそのまま濾
過することもできる。濾過の手段は特に限定されない
が、限外濾過法を使用すれば、排出される処理水は、非
常に清澄になる。本発明で形成される凝集物は、例え限
外濾過工程に供給しても、殆ど崩れない程度に強固であ
る。本発明に適した限外濾過膜は、その分画分子量が１
０００以上、さらには１０,０００以上、さらには１０
０,０００以上のものが好適に採用される。
【００１４】また、濾過以外の方法として、浮上分離法
も好適に使用できる。金属シリコン凝集物を含有する液
のｐＨが１０以上の場合、シリコン微粉の周囲に、いく
ら強固な酸化膜が形成されていても、短時間の後に、該
膜は殆ど全て分解し、水素が発生し始める。水素の泡を
包含した金属シリコン凝集物は浮上を始めるが、凝集物
が強固なものであるため、かなりまとまって浮上する。
例えばその大きさは、５ｍｍから５０ｍｍにもなる。こ
の性質を利用し、金属シリコン凝集物を浮上分離法によ
り回収することもできる。浮上の手段に水素ガスの泡を
用いる他、補助的手段として加圧水、あるいは浮上助剤
を用いることもできる。上述の方法でｓｓを分離した後
の処理水を、一般排水として排出する場合には、塩酸等
で中和するだけで、何ら問題なく行える。
も好適に使用できる。金属シリコン凝集物を含有する液
のｐＨが１０以上の場合、シリコン微粉の周囲に、いく
ら強固な酸化膜が形成されていても、短時間の後に、該
膜は殆ど全て分解し、水素が発生し始める。水素の泡を
包含した金属シリコン凝集物は浮上を始めるが、凝集物
が強固なものであるため、かなりまとまって浮上する。
例えばその大きさは、５ｍｍから５０ｍｍにもなる。こ
の性質を利用し、金属シリコン凝集物を浮上分離法によ
り回収することもできる。浮上の手段に水素ガスの泡を
用いる他、補助的手段として加圧水、あるいは浮上助剤
を用いることもできる。上述の方法でｓｓを分離した後
の処理水を、一般排水として排出する場合には、塩酸等
で中和するだけで、何ら問題なく行える。
【００１５】
【実施例】多結晶シリコンロッドを切削した際に得られ
た廃液を、それぞれ２００ｋｇ毎採取し、種々の条件で
廃液中のｓｓの回収を行った。切削廃水中のｓｓ濃度は
０.１％であった。
た廃液を、それぞれ２００ｋｇ毎採取し、種々の条件で
廃液中のｓｓの回収を行った。切削廃水中のｓｓ濃度は
０.１％であった。
【００１６】実施例１ トリクロロシランの製造工程において、シリコンと四塩
化珪素との反応を行う流動床反応器から排出された平均
粒径２μｍの粒子５００ｇを、５リットルの水に分散し
た後、切削廃水２００リットルと混合し、高分子凝集剤
０.１ｇを添加し、強く撹拌した。この時の溶液のｐＨ
は４.０であった。次いで１０％水酸化ナトリウム水溶
液を添加し、ｐＨが１１.０になるよう調整し、撹拌を
停止した後放置した。凝集物を浮上させた後、下部に溜
まった処理水を採取し、分析した。この処理水の分析値
を表１に示す。
化珪素との反応を行う流動床反応器から排出された平均
粒径２μｍの粒子５００ｇを、５リットルの水に分散し
た後、切削廃水２００リットルと混合し、高分子凝集剤
０.１ｇを添加し、強く撹拌した。この時の溶液のｐＨ
は４.０であった。次いで１０％水酸化ナトリウム水溶
液を添加し、ｐＨが１１.０になるよう調整し、撹拌を
停止した後放置した。凝集物を浮上させた後、下部に溜
まった処理水を採取し、分析した。この処理水の分析値
を表１に示す。
【００１７】実施例２ 市販のポリ塩化アルミニウム水溶液１６ｍｌを切削廃水
２００リットルと混合し、高分子凝集剤０.１ｇを添加
し、強く撹拌した。この時の溶液のｐＨは４.０であっ
た。次いでｐＨが１１.０になるよう、１０％水酸化ナ
トリウム水溶液を添加し、撹拌を停止した後放置した。
凝集物は、浮遊した後浮上と沈降を繰り返した。凝集物
の浮遊する液を分画分子量１００,０００の限外濾過膜
を使用して分離した後、処理水を採取し、分析した。こ
の時の、処理水の分析値を表１に示す。
２００リットルと混合し、高分子凝集剤０.１ｇを添加
し、強く撹拌した。この時の溶液のｐＨは４.０であっ
た。次いでｐＨが１１.０になるよう、１０％水酸化ナ
トリウム水溶液を添加し、撹拌を停止した後放置した。
凝集物は、浮遊した後浮上と沈降を繰り返した。凝集物
の浮遊する液を分画分子量１００,０００の限外濾過膜
を使用して分離した後、処理水を採取し、分析した。こ
の時の、処理水の分析値を表１に示す。
【００１８】比較例１ 切削廃水２００リットルに水酸化ナトリウムを添加し、
ｐＨ１１.５に調整した。次いで、市販のポリ塩化アル
ミニウム水溶液１６ｍｌを添加し、さらに高分子凝集剤
０.１ｇを添加し、撹拌した後放置した。この時のｐＨ
は７.０であった。この時、凝集物は、ほぼ全量沈降分
離された。この時得られた上澄みの処理水の分析値を表
１に示す。
ｐＨ１１.５に調整した。次いで、市販のポリ塩化アル
ミニウム水溶液１６ｍｌを添加し、さらに高分子凝集剤
０.１ｇを添加し、撹拌した後放置した。この時のｐＨ
は７.０であった。この時、凝集物は、ほぼ全量沈降分
離された。この時得られた上澄みの処理水の分析値を表
１に示す。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【発明の効果】本発明方法によれば、金属シリコンの切
削粉を含有する切削廃水から該切削粉を比較的破壊され
にくい凝集物として効率的に除去することができる。凝
集物除去後の廃水は単にｐＨを整えるだけで、一般廃水
として廃棄できる。
削粉を含有する切削廃水から該切削粉を比較的破壊され
にくい凝集物として効率的に除去することができる。凝
集物除去後の廃水は単にｐＨを整えるだけで、一般廃水
として廃棄できる。
Claims (5)
- 【請求項１】 金属シリコンの切削粉を含有する切削廃
水に、塩化アルミニウムおよび／または塩化鉄を凝集剤
として添加しそしてｐＨを１０以上に調整して、金属シ
リコン凝集物を浮遊せしめることを特徴とする、金属シ
リコンの切削粉の分離方法。 - 【請求項２】 切削廃水に凝集剤を添加した後、ｐＨを
調整する前の液性が酸性である、請求項１に記載の分離
方法。 - 【請求項３】 金属珪素と四塩化珪素、または金属珪素
と塩化水素とを反応させてトリクロロシランを製造する
反応の副生物として回収した、シリコン、塩化アルミニ
ウムおよび塩化鉄を含む粉末を凝集剤として使用する、
請求項１に記載の分離方法。 - 【請求項４】 浮遊した金属シリコン凝集物を、さらに
浮上分離法により回収する請求項１に記載の分離方法。 - 【請求項５】 浮遊した金属シリコン凝集物を、さらに
限外濾過法により回収する請求項１に記載の分離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13481197A JP4000205B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | シリコン廃液から切削粉を分離する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13481197A JP4000205B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | シリコン廃液から切削粉を分離する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10323675A true JPH10323675A (ja) | 1998-12-08 |
| JP4000205B2 JP4000205B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=15137064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13481197A Expired - Fee Related JP4000205B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | シリコン廃液から切削粉を分離する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4000205B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005152879A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 流体の凝集処理装置およびそれを用いた凝集処理方法 |
| WO2007023872A1 (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-01 | Tokuyama Corporation | シリコン粉含有排水の処理方法 |
| WO2009081245A1 (en) | 2007-12-19 | 2009-07-02 | Applied Materials Switzerland Sa | Method for recovering silicon from sawing waste |
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