JPH10312065A - 液晶カラーフィルタ基板現像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化した液晶カラーフィルタ基板の現像装
置を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ基板１を搬送ローラ２の
回転により現像槽３に移動させ、現像槽３内でスプレー
ノズル４から現像液を噴射させ、突き上げピン５により
カラーフィルタ基板１の中心部を押し上げて現像液が澱
むのをなくし、回転ドレイン６を回転して現像槽３を排
水タンク８に接続し、スプレーノズル４および裏面洗浄
ノズル９から純水を噴射してカラーフィルタ基板１と現
像槽３を水洗し、搬送ローラ２を逆に回転してカラーフ
ィルタ基板１が水切り用エアーナイフ１０を通過して元
の位置に戻す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は液晶カラーフィル
タ基板現像装置に関し、特に、液晶カラーフィルタ基板
の製造工程で、露光後に現像を行なうような現像装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶カラーフィルタ基板には、Ｒ，Ｇ，
Ｂの画素を作る工程で、マスク露光がある場合には、露
光後に余分な着色層を除去するために現像が行なわれ
る。ここで使用する現像装置としては、現像，洗浄，水
切りなどの工程を１工程ずつライン上に配置した現像装
置を使用している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のような現像装置
は、現像の１工程ごとに連続して槽が配置されるために
装置のライン長が長くなってしまう傾向があった。特
に、現像時に数種類の現像液を使用する場合には、さら
にライン長が長くなり、現像装置の設置面積が増大する
という問題点があった。

【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、小
型化を図った液晶カラーフィルタ基板現像装置を提供す
ることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
液晶カラーフィルタ基板を現像するための現像装置にお
いて、液晶カラーフィルタ基板を搬送するための搬送部
と、搬送されてきた液晶カラーフィルタ基板の現像と洗
浄とを共通して行なう現像槽と、現像槽の上方から液晶
カラーフィルタ基板に対して現像液と純水とを切替えて
噴射するためのスプレーノズルと、液晶カラーフィルタ
基板の下方から純水を噴射して裏面を洗浄するための洗
浄ノズルと、液晶カラーフィルタ基板に付着した水分を
吹き飛ばす空気吹付け部と、複数の現像液と純水を切替
えてスプレーノズルに供給するための切替機構とを備え
て構成される。

【０００６】請求項２に係る発明では、請求項１の現像
槽は１槽のみ設けられ、１槽の現像槽で複数液による現
像と水洗を行なう。

【０００７】請求項３に係る発明では、液晶カラーフィ
ルタ基板を固定した状態で複数液による現像と水洗を行
なう。

【０００８】請求項４に係る発明では、移動または回転
可能にドレインを設け、このドレインによって複数の現
像液を循環させる。

【０００９】請求項５に係る発明では、現像槽内におい
て液晶カラーフィルタ基板の中央部を突き上げて液の流
れを作る。

【００１０】請求項６に係る発明では、スプレーノズル
は１本の充角錐ノズルからなる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の一実施形態の現
像装置のレイアウトを示す図である。図１において、現
像するカラーフィルタ基板１は装置の搬送ローラ２の上
に手動またはローダにて置かれる。カラーフィルタ基板
１は搬送ローラ２の回転により現像槽３の方に移動す
る。現像槽３の上部にはスプレーノズル４が設けられて
いて、ここから現像液と純水が切替えられてカラーフィ
ルタ基板１の表面に噴射される。現像槽３内の搬送ロー
ラ２の間には突き上げピン５が設けられていて、この突
き上げピン５によってカラーフィルタ基板１の中心部が
少し押し上げられ、現像液と純水が澱むことなく、カラ
ーフィルタ基板１の中心から外側への流れが作られる。

【００１２】現像液は現像槽３から回転ドレイン６を経
由して現像液タンク７に戻されて循環する。現像液の噴
射が終了すると、回転ドレイン６を回転して現像槽３を
排水タンク８に接続し、スプレーノズル４およびカラー
フィルタ基板１の裏側に設けられている裏面洗浄ノズル
９から純水が噴射されて、カラーフィルタ基板１および
現像槽３が水洗される。水洗完了後、搬送ローラ２が回
転し、カラーフィルタ基板１が水切り用エアーナイフ１
０を通過して再びカラーフィルタ基板１を置いた位置に
戻る。現像液が数種類ある場合は、現像と水洗を繰返せ
ばよい。この時、現像液ごとに現像液タンクを用意して
回転ドレイン６を介して現像液が循環するようにすれば
よい。

【００１３】図２はこの発明の一実施形態の現像装置を
ラインに組込んだ場合のレイアウト配置図である。前述
の図１に示した実施形態では、カラーフィルタ基板１の
投入口と現像終了後の出口を同じ側に設けたが、この実
施形態では、カラーフィルタ基板１の投入口と現像終了
後の出口とを別にしたものである。このために、水切り
用エアーナイフ１０はカラーフィルタ基板１の投入口と
は反対側に設けられる。このように構成することによっ
て、現像終了後のカラーフィルタ基板を他の装置に連続
して流せるようになる。

【００１４】図３はこの発明の一実施形態における現像
液と純水の経路を示す図である。図３に示した実施形態
では、３種類の現像液Ａ，Ｂ，Ｃを使用する場合を示し
ている。現像液Ａは現像液タンク７ａ，現像液Ｂは現像
液タンク７ｂ，現像液Ｃは現像液タンク７ｃに入ってい
る。現像時間は現像液の温度に左右されるため、各現像
液タンク７ａ，７ｂ，７ｃに入っている現像液はヒータ
１１ａ，１１ｂ，１１ｃと温度調節器１２ａ，１２ｂ，
１２ｃによって温度管理されている。

【００１５】現像液Ａをスプレーノズル４から噴射させ
る場合、まず回転ドレイン６を現像液タンク７ａに合わ
せ、弁１３ａを開いてポンプ１４ａを駆動する。現像液
Ａは逆止め弁１５ａ，フィルタ１６ａ，弁１３ａ，絞り
弁１７ａ，逆止め弁１８ａを通ってスプレーノズル４か
ら噴射される。現像液Ａは現像槽３から回転ドレイン６
を経由して現像液タンク７ａに戻されて再循環する。現
像液Ａによる現像が終了した場合、ポンプ１４ａを停止
後、弁１３ａを閉じて現像液Ａの噴射を停止する。

【００１６】噴射停止後、スプレーノズル４内の残り液
をクリーンエアーで吐き出す。弁１３ｄを開いている
間、クリーンエアーは、フィルタ１６ｄ，レギュレータ
１９ｄ，弁１３ｄ，絞り弁１７ｄ，逆止め弁１８ｄを通
って逆止め弁１８とスプレーノズル４間に流れ、残った
現像液Ａがスプレーノズル４から吹き飛ばされる。

【００１７】次に、回転ドレイン６を排水タンク８に合
わせてから弁１３ｅを開く。すると、純水がフィルタ１
６ｅ，レギュレータ１９ｅ，弁１３ｅ，絞り弁１７ｅ，
逆止め弁１８ｅを通ってスプレーノズル４から噴射され
る。これでカラーフィルタ基板１と現像槽３に付着した
現像液Ａを純水で洗浄する。

【００１８】また、これと同時に弁１３ｆを開く。する
と、純水はフィルタ１６ｅ，レギュレータ１９ｆ，弁１
３ｆ，絞り弁１７ｆを通って裏面洗浄ノズル９から吹き
出し、カラーフィルタ基板１の裏面も洗浄される。洗浄
水は回転ドレイン６から排水タンク８を介して排水とし
て処理される。純水をスプレーノズル４から噴射するこ
とにより、逆止め弁１８とスプレーノズル４間に付着し
た現像液Ａも除去される。弁１３ｅおよび弁１３ｆを閉
じて純水を止め、弁１３ｄを開いてクリーンエアーを逆
止め弁１８とスプレーノズル４間に導き、この中の水分
を吹き飛ばす。この操作で他の現像液を噴射できる状態
になる。

【００１９】この後、同様に現像液Ｂ，純水，現像液
Ｃ，純水を噴射して現像が完了する。現像が終了する
と、搬送ローラ２が逆転してカラーフィルタ基板１は水
切り用エアーナイフ１０を介して水分を除去し、元の場
所に戻る。

【００２０】上述のごとく、この発明の一実施形態の現
像装置を使用すれば、現像液が混合することなく、最小
の設置場所で現像することが可能となる。また、現像液
を循環して使用するため、洗浄，蒸発などによって減少
した分の現像液を補充するだけでよく、従来のものと比
べて現像液の使用量もあまり変わらない。

【００２１】なお、大型カラーフィルタ基板に現像液を
噴射する場合、通常は複数のスプレーノズル（充円錐ノ
ズル等）が使用される。

【００２２】図４はスプレーノズルとして複数本の充円
錐ノズルを用いた場合のスプレーパターンを示す図であ
る。１つの充円錐ノズルのスプレーパターンは円形で流
量分布は均等であるが、図４（ａ）のようにカラーフィ
ルタ１の上面から複数本の充円錐ノズルで噴射すると、
それぞれのスプレーが重なった部分の流量は多くなる。
また、図４（ｂ）に示すように隙間が発生した場合には
現像液が直接当たらない部分が生じる。これらの場合に
は現像むらになりやすいという問題がある。

【００２３】図５はスプレーノズルとして１本の充角錐
ノズルを用いた場合のスプレーパターンを示す図であ
る。図５のように１本の充角錐ノズルを用いて大量の現
像液を噴射すると、スプレーパターンが正方形で均等な
流量分布となるため、カラーフィルタ１の上面は均等に
スプレーされる。その結果、現像むらが生じるのを防止
できる。

【００２４】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、１つ
の現像槽でカラーフィルタ基板の現像と洗浄とを行なう
ようにしたので、現像装置の小型化が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態のレイアウト配置図であ
る。

【図２】この発明の一実施形態をラインに組込む場合の
レイアウト配置図である。

【図３】現像液と純水の経路を示す図である。

【図４】スプレーノズルとして複数本の充円錐ノズルを
用いた場合のスプレーパターンを示す。

【図５】スプレーノズルとして１本の充角錐ノズルを用
いた場合のスプレーパターンを示す図である。

【符号の説明】

１ カラーフィルタ基板 ２ 搬送ローラ ３ 現像槽 ４ スプレーノズル ５ 突き上げピン ６ 回転ドレイン ７，７ａ，７ｂ，７ｃ 現像液タンク ８ 排水タンク ９ 裏面洗浄ノズル １０ 水切り用エアーナイフ １１ａ〜１１ｃ ヒータ １２ａ〜１２ｃ 温度調節器 １３ａ〜１３ｇ 弁 １４ａ〜１４ｃ ポンプ １５ａ〜１５ｃ 逆止め弁 １６ａ〜１６ｅ フィルタ １７ａ〜１７ｇ 絞り弁 １８ａ〜１８ｃ 逆止め弁 １９ｄ〜１９ｆ レギュレータ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶カラーフィルタ基板を現像するため
   の現像装置において、 前記液晶カラーフィルタ基板を搬送するための搬送部
   と、 前記搬送部によって搬送されてきた前記液晶カラーフィ
   ルタ基板の現像と洗浄とを共通に行なう現像槽と、 前記現像槽の上方から前記液晶カラーフィルタ基板に対
   して現像液と純水とを切替えて噴射するためのスプレー
   ノズルと、 前記現像槽での液晶カラーフィルタ基板の下方から純水
   を噴射して該液晶カラーフィルタ基板の裏面を洗浄する
   ための洗浄ノズルと、 前記液晶カラーフィルタ基板に付着した水分を吹き飛ば
   す空気吹付け部と、 複数の現像液と純水とを切替えて前記スプレーノズルに
   供給するための切替機構とを備えたことを特徴とする、
   液晶カラーフィルタ基板現像装置。
2. 【請求項２】 前記現像槽は、１槽のみ設けられ、該１
   槽の現像槽で複数液による現像と水洗を行なうことを特
   徴とする、請求項１の液晶カラーフィルタ基板現像装
   置。
3. 【請求項３】 さらに、前記液晶カラーフィルタ基板を
   固定した状態で前記複数液による現像と水洗を行なうこ
   とを特徴とする、請求項２の液晶カラーフィルタ基板現
   像装置。
4. 【請求項４】 さらに、移動または回転可能に設けら
   れ、前記複数の現像液を循環させるためのドレインを含
   む、請求項１〜３のいずれかの液晶カラーフィルタ基板
   現像装置。
5. 【請求項５】 前記現像槽内において前記液晶カラーフ
   ィルタ基板の中央部を突き上げて液の流れを作るための
   突き上げ部材を含む、請求項１〜４のいずれかの液晶カ
   ラーフィルタ基板現像装置。
6. 【請求項６】 前記スプレーノズルは、１本の充角錐ノ
   ズルからなることを特徴とする、請求項１の液晶カラー
   フィルタ基板現像装置。