JPH1031173A - ポリゴンモータスキャナユニット及び画像形成装置 - Google Patents
ポリゴンモータスキャナユニット及び画像形成装置Info
- Publication number
- JPH1031173A JPH1031173A JP8204202A JP20420296A JPH1031173A JP H1031173 A JPH1031173 A JP H1031173A JP 8204202 A JP8204202 A JP 8204202A JP 20420296 A JP20420296 A JP 20420296A JP H1031173 A JPH1031173 A JP H1031173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- fixed shaft
- scanner unit
- thrust bearing
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】スラスト受け部材の回転接触による磨耗を未然
に検知し、安定したポリゴンスキャナユニットを提供す
る。 【解決手段】界磁用マグネットを有し、且つ光を反射す
る反射面を複数設けた多面鏡1を有する回転体と、該回
転体の回転中心となる固定軸と、界磁用マグネットに対
向して複数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを有
する固定体とを備え、前記回転体の回転中心にスラスト
軸受部を設け、前記回転体は該スラスト軸受部を前記固
定軸の先端部に接触しながら回転するポリゴンモータス
キャナユニットであって、固定軸の先端部或いは前記ス
ラスト軸受部は樹脂により形成され、この固定軸の先端
部或いは前記スラスト軸受部の樹脂の磨耗を検知する検
知手段151を有する。
に検知し、安定したポリゴンスキャナユニットを提供す
る。 【解決手段】界磁用マグネットを有し、且つ光を反射す
る反射面を複数設けた多面鏡1を有する回転体と、該回
転体の回転中心となる固定軸と、界磁用マグネットに対
向して複数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを有
する固定体とを備え、前記回転体の回転中心にスラスト
軸受部を設け、前記回転体は該スラスト軸受部を前記固
定軸の先端部に接触しながら回転するポリゴンモータス
キャナユニットであって、固定軸の先端部或いは前記ス
ラスト軸受部は樹脂により形成され、この固定軸の先端
部或いは前記スラスト軸受部の樹脂の磨耗を検知する検
知手段151を有する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は画像形成装置に用い
られているポリゴンモータスキャナに関するものであ
り、詳しくは滑り軸受からなるスラスト軸受を有するポ
リゴンモータに関する。
られているポリゴンモータスキャナに関するものであ
り、詳しくは滑り軸受からなるスラスト軸受を有するポ
リゴンモータに関する。
【0002】
【従来の技術】小型ローターは一般に転がり軸受で支え
られているが、10000rpm以上の回転速度になる
と、振動、騒音及び軸受部の潤滑油の寿命が問題にな
る。このため10000rpm以上の高速、高精度軸受
としては気体軸受が使用されることが多い。
られているが、10000rpm以上の回転速度になる
と、振動、騒音及び軸受部の潤滑油の寿命が問題にな
る。このため10000rpm以上の高速、高精度軸受
としては気体軸受が使用されることが多い。
【0003】従来のローターの回転によって自らの自重
を支持する圧力を発生する動圧気体軸受としては、真円
軸受、ティレルティングパッド軸受が使用されている。
を支持する圧力を発生する動圧気体軸受としては、真円
軸受、ティレルティングパッド軸受が使用されている。
【0004】このうち、真円軸受は加工が容易で有り、
垂直ローターを支持する場合には自重により偏心力が作
用しているため、軸受間隔が狭ければ15000rpm
程度まで安定に支持できるので、過去に放送用のVTR
のローター支持に用いられたことがあるが、垂直ロータ
ーを支持する場合、低速から不安定ホワールが発生する
ため使用できなかった。
垂直ローターを支持する場合には自重により偏心力が作
用しているため、軸受間隔が狭ければ15000rpm
程度まで安定に支持できるので、過去に放送用のVTR
のローター支持に用いられたことがあるが、垂直ロータ
ーを支持する場合、低速から不安定ホワールが発生する
ため使用できなかった。
【0005】また、ティレルティングパッド軸受は軸受
面を3又は4個の部分円弧のパッドに分轄し、そのパッ
ドを柔らかく支えることによってローターの高速安定性
を増したもので、液体ヘリウム用ターボ膨張機の軸受な
どに用いられている。しかしティレルティングパッド軸
受は軸受精度が低く加工も複雑になる欠点があるため、
精密回転が必要で、且つ低廉性が要求されている画像形
成装置の垂直ローターとして使用される場合の気体軸受
には向いていない。
面を3又は4個の部分円弧のパッドに分轄し、そのパッ
ドを柔らかく支えることによってローターの高速安定性
を増したもので、液体ヘリウム用ターボ膨張機の軸受な
どに用いられている。しかしティレルティングパッド軸
受は軸受精度が低く加工も複雑になる欠点があるため、
精密回転が必要で、且つ低廉性が要求されている画像形
成装置の垂直ローターとして使用される場合の気体軸受
には向いていない。
【0006】ところで、上述した軸受の不具合を解消す
る軸受として、溝付き軸受がある。この軸受は、軸受面
に回転によって外部から気体をかき込むための螺旋状溝
が形成されたものであり、この螺旋状溝によって軸受に
偏心が無くても半径方向の軸受反力を生じさせ、同心位
置で半径方向の軸受強さを持たせたもので、これにより
垂直ローターであっても数万回転(rpm)の高速まで
支持することができる。この溝形成にあたってはエッチ
ング、転造、レーザ加工などの方法が用いられている。
る軸受として、溝付き軸受がある。この軸受は、軸受面
に回転によって外部から気体をかき込むための螺旋状溝
が形成されたものであり、この螺旋状溝によって軸受に
偏心が無くても半径方向の軸受反力を生じさせ、同心位
置で半径方向の軸受強さを持たせたもので、これにより
垂直ローターであっても数万回転(rpm)の高速まで
支持することができる。この溝形成にあたってはエッチ
ング、転造、レーザ加工などの方法が用いられている。
【0007】また、気体軸受として用いられたことはな
いが、比較的高速まで安定な液体潤滑軸受としてターボ
機械では多円弧軸受も利用されている。多円弧軸受は真
円軸受を2又は3個に分轄し、各円弧を最初の真円状態
より接近させて固定したものである。これにより軸と軸
受は等価的に大きな偏心を与えられた状態になるのでホ
ワール安定性を高めることができる。しかし軸受を分轄
するので、μm以下の高精度加工は容易ではなく、また
気体圧力発生領域も少なくなるので数μmの微笑軸受間
隔が必要な気体軸受には利用されたことがなかった。
いが、比較的高速まで安定な液体潤滑軸受としてターボ
機械では多円弧軸受も利用されている。多円弧軸受は真
円軸受を2又は3個に分轄し、各円弧を最初の真円状態
より接近させて固定したものである。これにより軸と軸
受は等価的に大きな偏心を与えられた状態になるのでホ
ワール安定性を高めることができる。しかし軸受を分轄
するので、μm以下の高精度加工は容易ではなく、また
気体圧力発生領域も少なくなるので数μmの微笑軸受間
隔が必要な気体軸受には利用されたことがなかった。
【0008】このような理由から、垂直ローターとして
使用されていることが多いレーザスキャナ用気体軸受に
は、動圧気体軸受として溝付き軸受が多用されている。
使用されていることが多いレーザスキャナ用気体軸受に
は、動圧気体軸受として溝付き軸受が多用されている。
【0009】しかしながら、このような従来の溝付き軸
受にあっては、エッチングや転造、レーザ加工などによ
って溝が形成されるので、軸受の加工に必要な工数が増
大してしまい、製造コストが増大するなどの問題があっ
た。また、溝付き軸受は回転時の安定性が良好な反面、
真円軸受に比べてローターの不釣り合いに対して動剛性
が低くなってしまうという問題もあった。
受にあっては、エッチングや転造、レーザ加工などによ
って溝が形成されるので、軸受の加工に必要な工数が増
大してしまい、製造コストが増大するなどの問題があっ
た。また、溝付き軸受は回転時の安定性が良好な反面、
真円軸受に比べてローターの不釣り合いに対して動剛性
が低くなってしまうという問題もあった。
【0010】そこで、これを実現するために、図1に示
すよう低コストな非接触式軸受として真円動圧軸受を提
案している。まずこの真円動圧軸受について図1に基づ
いて構成を説明する。図1はポリゴンスキャナモータの
全体構造を示す縦断面図である。
すよう低コストな非接触式軸受として真円動圧軸受を提
案している。まずこの真円動圧軸受について図1に基づ
いて構成を説明する。図1はポリゴンスキャナモータの
全体構造を示す縦断面図である。
【0011】図中、1はその周面を鏡面とされたアルミ
合金などからなる多角形の多面鏡(ポリゴンミラー)で
あって、この多面鏡1は円筒状の回転軸2のフランジ部
2aの上面に取り付けられ、回転軸2と一体になって回
転する構成になっている。
合金などからなる多角形の多面鏡(ポリゴンミラー)で
あって、この多面鏡1は円筒状の回転軸2のフランジ部
2aの上面に取り付けられ、回転軸2と一体になって回
転する構成になっている。
【0012】さらに、この回転軸2のフランジ部2aの
下面には、ローターヨーク3、ローターマグネット4が
取り付けられ、また、回転軸2の円筒内周面には、円筒
状のスリーブ5が嵌合固着されている。そして、このス
リーブ5を嵌合固着した回転軸2は、固定軸6に回転自
在に遊嵌され、全体として回転体(ローター)9を構成
している。
下面には、ローターヨーク3、ローターマグネット4が
取り付けられ、また、回転軸2の円筒内周面には、円筒
状のスリーブ5が嵌合固着されている。そして、このス
リーブ5を嵌合固着した回転軸2は、固定軸6に回転自
在に遊嵌され、全体として回転体(ローター)9を構成
している。
【0013】前記スリーブ5の内周面5aと固定軸6の
外周面6aとの間には、数μm〜十数μmという微少な
間隔が与えられており、この間隔によってスリーブ5と
固定軸6は回転軸の半径方向の荷重を支えるための非接
触式のラジアル軸受たる動圧軸受を構成している。
外周面6aとの間には、数μm〜十数μmという微少な
間隔が与えられており、この間隔によってスリーブ5と
固定軸6は回転軸の半径方向の荷重を支えるための非接
触式のラジアル軸受たる動圧軸受を構成している。
【0014】前記固定軸6の上端面は、回転中心Oを頂
点とする球面8とされている。そして、この球面8と対
向して配置された回転軸2のスラストカバー7の下面に
は、該球面8と転接触状態で接する平板状のスラスト受
け部材7aが固設されており、このスラスト受け部材7
aと球面8によって、回転軸の軸心方向の荷重を支える
ための点接触式アキシャル軸受たるスラスト軸受を構成
している。
点とする球面8とされている。そして、この球面8と対
向して配置された回転軸2のスラストカバー7の下面に
は、該球面8と転接触状態で接する平板状のスラスト受
け部材7aが固設されており、このスラスト受け部材7
aと球面8によって、回転軸の軸心方向の荷重を支える
ための点接触式アキシャル軸受たるスラスト軸受を構成
している。
【0015】尚、前述したスリーブ5とスラスト受け部
材7aは、耐磨耗性及び潤滑性に優れた部材、例えばポ
リイミド樹脂などの樹脂材料で構成されている。また固
定軸6は、例えば炭素鋼やステンレス鋼等の金属材料で
構成されている。
材7aは、耐磨耗性及び潤滑性に優れた部材、例えばポ
リイミド樹脂などの樹脂材料で構成されている。また固
定軸6は、例えば炭素鋼やステンレス鋼等の金属材料で
構成されている。
【0016】前記回転軸2の上面には環状溝2bが形成
されていると共に、ローターヨーク3の外周縁は上方に
折り曲げられて環状縁部3aとされている。これら環状
溝2bと環状縁部3aは、バランス調整用の重りを取り
付けるためのものであり、図示するように、所定の位置
に重り2c、3bを取り付けることにより、回転体9の
アンバランスを修正するものである。
されていると共に、ローターヨーク3の外周縁は上方に
折り曲げられて環状縁部3aとされている。これら環状
溝2bと環状縁部3aは、バランス調整用の重りを取り
付けるためのものであり、図示するように、所定の位置
に重り2c、3bを取り付けることにより、回転体9の
アンバランスを修正するものである。
【0017】前記固定軸は、ベースカラー11によっ
て、ベース部材12に鉛直上向きに取り付けられてい
る。ベース部材12の上面にはプリント基板13が配置
されており、この基板上に、巻線コイル14、ホール素
子15、制御用IC16、コネクタ17が実装されてい
る。
て、ベース部材12に鉛直上向きに取り付けられてい
る。ベース部材12の上面にはプリント基板13が配置
されており、この基板上に、巻線コイル14、ホール素
子15、制御用IC16、コネクタ17が実装されてい
る。
【0018】巻線コイル14は、回転体9に取り付けら
れているローターマグネット4と僅かの間隙をおいてプ
リント基板13上に固設されており、ホール素子15で
検出される回転体9の回転位相に基づいて制御用IC1
6によって巻線コイル14の励磁電流を切換制御するこ
とにより、回転体9をモータとして回転させるものであ
る。
れているローターマグネット4と僅かの間隙をおいてプ
リント基板13上に固設されており、ホール素子15で
検出される回転体9の回転位相に基づいて制御用IC1
6によって巻線コイル14の励磁電流を切換制御するこ
とにより、回転体9をモータとして回転させるものであ
る。
【0019】上記のようにして回転体9が回転すると、
スリーブ5の内周面5aと固定軸6の外周面6aの間に
形成された間隙の空気圧が高まり、回転体9は固定軸6
の外周面と非接触状態で回転するようになる。このた
め、軸受周面の回転摩擦が極めて小さくなり、高い回転
数まで騒音なしに滑らかに回転させることが可能とな
る。
スリーブ5の内周面5aと固定軸6の外周面6aの間に
形成された間隙の空気圧が高まり、回転体9は固定軸6
の外周面と非接触状態で回転するようになる。このた
め、軸受周面の回転摩擦が極めて小さくなり、高い回転
数まで騒音なしに滑らかに回転させることが可能とな
る。
【0020】尚、前記固定軸6の外周面には、スリーブ
5の内周面5aと固定軸6の外周面6aの間に形成され
た間隙の空気圧を効率よく高めるための圧力ポンプ用の
溝は何ら形成さえておらず、その断面は完全な真円であ
る。このように、圧力ポンピング用の溝を切られていな
い真円の軸をもいちいた動圧軸受を真円動圧軸受と呼
ぶ。更に、動圧発生用の流体として図示例のように空気
を利用したものを真円動圧空気軸受と呼ぶ。
5の内周面5aと固定軸6の外周面6aの間に形成され
た間隙の空気圧を効率よく高めるための圧力ポンプ用の
溝は何ら形成さえておらず、その断面は完全な真円であ
る。このように、圧力ポンピング用の溝を切られていな
い真円の軸をもいちいた動圧軸受を真円動圧軸受と呼
ぶ。更に、動圧発生用の流体として図示例のように空気
を利用したものを真円動圧空気軸受と呼ぶ。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】上述した真円動圧軸受
は、スラスト軸受が固定軸6とスラスト受け部材7aと
の接触により形成しているため、回転軸2の回転に伴
い、このスラスト受け部材7aの磨耗が発生するという
問題がある。
は、スラスト軸受が固定軸6とスラスト受け部材7aと
の接触により形成しているため、回転軸2の回転に伴
い、このスラスト受け部材7aの磨耗が発生するという
問題がある。
【0022】回転軸2を固定軸6に接触させながら回転
させると、スラスト受け部材7aは回転接触により磨耗
する。この磨耗が進行すると、固定軸6の先端部の球形
状にスラスト受け部材の接触面が磨耗するため、回転軸
6との接触による摩擦力が増大し、回転軸2の回転駆動
に対して負荷の増大を招いてしまう。
させると、スラスト受け部材7aは回転接触により磨耗
する。この磨耗が進行すると、固定軸6の先端部の球形
状にスラスト受け部材の接触面が磨耗するため、回転軸
6との接触による摩擦力が増大し、回転軸2の回転駆動
に対して負荷の増大を招いてしまう。
【0023】また、スラスト受け部材の底面24が磨耗
に伴い、回転軸2に取り付けられたポリゴンミラー1の
垂直方向の位置が下方に移動する。ポリゴンミラー1
は、その鏡面でレーザ光を反射しているが、鏡面の有効
な領域が下方に移動することでレーザ光の反射ができな
くなってしまったり、磨耗による固定軸6とスラスト受
け部材7aとの接触面積の増大により不安定な回転にな
り正確に反射ができなくなる可能性がある。
に伴い、回転軸2に取り付けられたポリゴンミラー1の
垂直方向の位置が下方に移動する。ポリゴンミラー1
は、その鏡面でレーザ光を反射しているが、鏡面の有効
な領域が下方に移動することでレーザ光の反射ができな
くなってしまったり、磨耗による固定軸6とスラスト受
け部材7aとの接触面積の増大により不安定な回転にな
り正確に反射ができなくなる可能性がある。
【0024】磨耗を抑制するために、このスラスト受け
部材7aの材質に金属粉などを混入するという方法も有
るが、この金属粉が固定軸6と接触するため、この固定
軸6の先端形状が変形し、安定した回転を維持できなく
なる可能性が生じてしまう。
部材7aの材質に金属粉などを混入するという方法も有
るが、この金属粉が固定軸6と接触するため、この固定
軸6の先端形状が変形し、安定した回転を維持できなく
なる可能性が生じてしまう。
【0025】そこで、本発明はこのスラスト受け部材の
磨耗を検知し、常に安定したポリゴンスキャナユニット
を提供することを第1の目的とする。更に、ポリゴンス
キャナにおける磨耗した部品の交換が容易に行える画像
形成装置を提供することを第2の目的とする。
磨耗を検知し、常に安定したポリゴンスキャナユニット
を提供することを第1の目的とする。更に、ポリゴンス
キャナにおける磨耗した部品の交換が容易に行える画像
形成装置を提供することを第2の目的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は次のような手段を採用した。すなわち、請求
項1の発明では、界磁用マグネットを有し、且つ光を反
射する反射面を複数設けた多面鏡を有する回転体と、該
回転体の回転中心となる固定軸と、界磁用マグネットに
対向して複数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを
有する固定体とを備え、前記回転体の回転中心にスラス
ト軸受部を設け、前記回転体は該スラスト軸受部を前記
固定軸の先端部に接触しながら回転するポリゴンモータ
スキャナユニットであって、固定軸の先端部或いは前記
スラスト軸受部は樹脂により形成され、この固定軸の先
端部或いは前記スラスト軸受部の樹脂の磨耗を検知する
検知手段を有することを特徴とするものである。
に本発明は次のような手段を採用した。すなわち、請求
項1の発明では、界磁用マグネットを有し、且つ光を反
射する反射面を複数設けた多面鏡を有する回転体と、該
回転体の回転中心となる固定軸と、界磁用マグネットに
対向して複数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを
有する固定体とを備え、前記回転体の回転中心にスラス
ト軸受部を設け、前記回転体は該スラスト軸受部を前記
固定軸の先端部に接触しながら回転するポリゴンモータ
スキャナユニットであって、固定軸の先端部或いは前記
スラスト軸受部は樹脂により形成され、この固定軸の先
端部或いは前記スラスト軸受部の樹脂の磨耗を検知する
検知手段を有することを特徴とするものである。
【0027】請求項2の発明では、界磁用マグネットを
有し、且つ光を反射する反射面を複数設けた多面鏡を有
する回転体と、該回転体の回転中心となる固定軸と、界
磁用マグネットに対向して複数の駆動コイルが固定され
たコイル基板とを有する固定体とを備え、前記回転体の
回転中心にスラスト軸受部を設け、前記回転体は該スラ
スト軸受部を前記固定軸の先端部に接触しながら回転
し、更に、前記多面鏡により反射した光の主走査方向側
の同期検知を行う同期検知手段を有するポリゴンモータ
スキャナユニットであって、固定軸の先端部或いは前記
スラスト軸受部は樹脂により形成され、回転多面鏡によ
る光の反射をしてから所定時間この同期検知手段が光を
未検知であると前記固定軸の先端部或いは前記スラスト
軸受部の樹脂が磨耗していることを検知することを特徴
とするものである。
有し、且つ光を反射する反射面を複数設けた多面鏡を有
する回転体と、該回転体の回転中心となる固定軸と、界
磁用マグネットに対向して複数の駆動コイルが固定され
たコイル基板とを有する固定体とを備え、前記回転体の
回転中心にスラスト軸受部を設け、前記回転体は該スラ
スト軸受部を前記固定軸の先端部に接触しながら回転
し、更に、前記多面鏡により反射した光の主走査方向側
の同期検知を行う同期検知手段を有するポリゴンモータ
スキャナユニットであって、固定軸の先端部或いは前記
スラスト軸受部は樹脂により形成され、回転多面鏡によ
る光の反射をしてから所定時間この同期検知手段が光を
未検知であると前記固定軸の先端部或いは前記スラスト
軸受部の樹脂が磨耗していることを検知することを特徴
とするものである。
【0028】請求項3の発明では、前記請求項1或いは
2の発明において、磨耗を検知すると、多面鏡の回転を
停止する停止手段を有することを特徴とするものであ
る。
2の発明において、磨耗を検知すると、多面鏡の回転を
停止する停止手段を有することを特徴とするものであ
る。
【0029】請求項4の発明では、前記請求項2の発明
において、前記スラスト軸受部が樹脂で、前記固定軸の
先端部は金属であって、前記多面鏡の回転停止後、前記
回転体の交換を表示することを特徴とするものである。
において、前記スラスト軸受部が樹脂で、前記固定軸の
先端部は金属であって、前記多面鏡の回転停止後、前記
回転体の交換を表示することを特徴とするものである。
【0030】請求項5の発明では、前記請求項2の発明
において、前記多面鏡の光を反射する反射面は、光反射
を抑制する非反射領域、その家宝に光を反射する反射領
域とを固定軸方向に沿って設けていることを特徴とする
ものである。
において、前記多面鏡の光を反射する反射面は、光反射
を抑制する非反射領域、その家宝に光を反射する反射領
域とを固定軸方向に沿って設けていることを特徴とする
ものである。
【0031】請求項6の発明では、前記請求項5の発明
において、前記非反射領域は前記反射領域に対して所定
の傾斜をしていることを特徴とするものである。
において、前記非反射領域は前記反射領域に対して所定
の傾斜をしていることを特徴とするものである。
【0032】請求項7の発明では、前記請求項5の発明
において、前記非反射領域は前記反射領域より表面粗さ
が大きいことを特徴とするものである。
において、前記非反射領域は前記反射領域より表面粗さ
が大きいことを特徴とするものである。
【0033】請求項8の発明では、前記請求項5の発明
において、前記非反射領域は光の反射を抑制する抑制部
材で覆われていることを特徴とするものである。
において、前記非反射領域は光の反射を抑制する抑制部
材で覆われていることを特徴とするものである。
【0034】請求項9の発明では、界磁用マグネットを
有し、且つ光を反射する反射面を複数設けた多面鏡を有
する回転体と、該回転体の回転中心にあるスラスト軸受
部と接触する固定軸と、界磁用マグネットに対向して複
数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを有する固定
体とを収納したポリゴンモータスキャナユニットと、コ
ンタクトガラス上に載置された原稿を読み取る読取手段
とを有する画像形成装置であって、前記スラスト軸受部
は樹脂で、前記固定軸の先端部は金属により形成され、
前記読取手段を構成する筐体の一部により前記ポリゴン
モータスキャナユニットを密閉し、且つ前記多面鏡とと
対応する位置に開口部を設け、更に該開口部を覆うカバ
ー手段を有するすることを特徴とするものである。
有し、且つ光を反射する反射面を複数設けた多面鏡を有
する回転体と、該回転体の回転中心にあるスラスト軸受
部と接触する固定軸と、界磁用マグネットに対向して複
数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを有する固定
体とを収納したポリゴンモータスキャナユニットと、コ
ンタクトガラス上に載置された原稿を読み取る読取手段
とを有する画像形成装置であって、前記スラスト軸受部
は樹脂で、前記固定軸の先端部は金属により形成され、
前記読取手段を構成する筐体の一部により前記ポリゴン
モータスキャナユニットを密閉し、且つ前記多面鏡とと
対応する位置に開口部を設け、更に該開口部を覆うカバ
ー手段を有するすることを特徴とするものである。
【0035】
【作用】請求項1乃至8の発明では、ポリゴンスキャナ
に用いられているスラスト受け部材の磨耗が進行した場
合に起こり得る、ポリゴンスキャナとしての光反射の使
用限界を容易に検知することが可能となり、固定軸6と
の接触による摩擦力が増大による固定軸2の回転負荷の
増大、レーザ光の反射ができなくなったり、固定軸6と
スラスト受け部材7aとの接触面積の増大により不安定
な回転になり正確に反射ができなくなるということを未
然に防止することができる。
に用いられているスラスト受け部材の磨耗が進行した場
合に起こり得る、ポリゴンスキャナとしての光反射の使
用限界を容易に検知することが可能となり、固定軸6と
の接触による摩擦力が増大による固定軸2の回転負荷の
増大、レーザ光の反射ができなくなったり、固定軸6と
スラスト受け部材7aとの接触面積の増大により不安定
な回転になり正確に反射ができなくなるということを未
然に防止することができる。
【0036】請求項9の発明では、画像形成装置の上方
に位置している読取装置からポリゴンスキャナにアクセ
スが可能なため、ポリゴンスキャナで磨耗した部品を容
易に交換が可能となる。
に位置している読取装置からポリゴンスキャナにアクセ
スが可能なため、ポリゴンスキャナで磨耗した部品を容
易に交換が可能となる。
【0037】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
図1と同一の符号のものは、前述記載のものと同じであ
り、ここでは異なる部分について説明する。
図1と同一の符号のものは、前述記載のものと同じであ
り、ここでは異なる部分について説明する。
【0038】まず図2により本発明の画像形成装置につ
いて説明する。この図2の画像形成装置はデジタル複写
機である。図2に示しデジタル複写機において、コンタ
クトガラス21上に載置された原稿から画像情報を読み
取る画像読取装置22と、作像装置23及びレーザ走査
装置24を備えたレーザ記録装置25で構成されてい
る。
いて説明する。この図2の画像形成装置はデジタル複写
機である。図2に示しデジタル複写機において、コンタ
クトガラス21上に載置された原稿から画像情報を読み
取る画像読取装置22と、作像装置23及びレーザ走査
装置24を備えたレーザ記録装置25で構成されてい
る。
【0039】図において、コンタクトガラス21上に載
置された原稿画像はスキャナー26による光学的走査を
経て画像読取装置22で読み取られ、画像処理ボード2
7内の画像処理部で多階調画像データに変換され、さら
に二値画像データに変換され、図示しない画像メモリー
に格納される。次いで、画像データが読み出され、レー
ザ記録装置25に出力される。
置された原稿画像はスキャナー26による光学的走査を
経て画像読取装置22で読み取られ、画像処理ボード2
7内の画像処理部で多階調画像データに変換され、さら
に二値画像データに変換され、図示しない画像メモリー
に格納される。次いで、画像データが読み出され、レー
ザ記録装置25に出力される。
【0040】レーザ記録装置25では、二値画像データ
の画像記録信号がレーザ走査装置24のレーザ駆動部
(図示せず)に入力され、画像記録信号に従って変調制
御されるレーザドライバーが半導体レーザを点滅或いは
強弱発光駆動する。こうして半導体レーザは光変調され
たレーザ光を射出する。
の画像記録信号がレーザ走査装置24のレーザ駆動部
(図示せず)に入力され、画像記録信号に従って変調制
御されるレーザドライバーが半導体レーザを点滅或いは
強弱発光駆動する。こうして半導体レーザは光変調され
たレーザ光を射出する。
【0041】レーザ光は、後述するコリメータレンズ、
シリンドリカルレンズを通り、偏光器を入射し、偏光器
により定速回転され、fθレンズ、ミラー及び防塵ガラ
スを経て、感光体ドラム28上に導かれ、感光体ドラム
28上を感光体ドラム28の回転軸に平行に走査する。
シリンドリカルレンズを通り、偏光器を入射し、偏光器
により定速回転され、fθレンズ、ミラー及び防塵ガラ
スを経て、感光体ドラム28上に導かれ、感光体ドラム
28上を感光体ドラム28の回転軸に平行に走査する。
【0042】感光体ドラム28の周りにある帯電チャー
ジャにより一様に帯電された感光体ドラム28は、レー
ザ光の露光により記録画像の潜像が形成され、形成され
た潜像は現像装置により現像されて顕像となる。給紙部
より29より取り出された転写紙は、感光体ドラム28
に形成された顕像とタイミングを合わせて転写部に送ら
れる。そして転写チャージャにより転写紙上に顕像は転
写される。その後、転写紙は定着部ににより顕像の定着
処理を施され、排紙される。
ジャにより一様に帯電された感光体ドラム28は、レー
ザ光の露光により記録画像の潜像が形成され、形成され
た潜像は現像装置により現像されて顕像となる。給紙部
より29より取り出された転写紙は、感光体ドラム28
に形成された顕像とタイミングを合わせて転写部に送ら
れる。そして転写チャージャにより転写紙上に顕像は転
写される。その後、転写紙は定着部ににより顕像の定着
処理を施され、排紙される。
【0043】次に図3を用いてレーザ走査装置24につ
いて説明する。画像読取装置から入力した画像記録信号
に従って変調制御されて、点滅或いは強弱発光する半導
体レーザ121と、半導体レーザ121から射出された
レーザビームを感光体ドラム28へ導くためのコリメー
タレンズ123、シリンドリカルレンズ124、多面鏡
(ポリゴンミラー)1、fθレンズ125、ミラー12
6及び防塵ガラス127と、感光体ドラム28の書き出
し位置を決定するための同期検知手段である光センサー
128と、レーザビームの一部を光センサー128へ投
射するためのミラー129と、上記各部を格納するため
の筐体130とから構成されている。尚、多面鏡1は図
示しないポリゴンモータによって定速回転する。この多
面鏡1及びポリゴンモータによってレーザ走査装置24
が構成されている。
いて説明する。画像読取装置から入力した画像記録信号
に従って変調制御されて、点滅或いは強弱発光する半導
体レーザ121と、半導体レーザ121から射出された
レーザビームを感光体ドラム28へ導くためのコリメー
タレンズ123、シリンドリカルレンズ124、多面鏡
(ポリゴンミラー)1、fθレンズ125、ミラー12
6及び防塵ガラス127と、感光体ドラム28の書き出
し位置を決定するための同期検知手段である光センサー
128と、レーザビームの一部を光センサー128へ投
射するためのミラー129と、上記各部を格納するため
の筐体130とから構成されている。尚、多面鏡1は図
示しないポリゴンモータによって定速回転する。この多
面鏡1及びポリゴンモータによってレーザ走査装置24
が構成されている。
【0044】図3(a)、(b)で示すようにレーザ走
査装置24は、筐体130に多面鏡1、fθレンズ12
6等の各構成要素が格納され、レーザ走査装置24内は
防塵ガラス127とカバー131によって密閉されてい
る。
査装置24は、筐体130に多面鏡1、fθレンズ12
6等の各構成要素が格納され、レーザ走査装置24内は
防塵ガラス127とカバー131によって密閉されてい
る。
【0045】図3で示すように、画像読取装置の筐体1
41には、破線で示す位置に開口部が設けられており、
更にこれら開口部を覆うためのカバー142が取り付け
られている。尚、カバー142を取り外すことにより、
画像読取装置の開口部からレーザ走査装置24内を取り
外すことにより、交換、清掃が可能となる。
41には、破線で示す位置に開口部が設けられており、
更にこれら開口部を覆うためのカバー142が取り付け
られている。尚、カバー142を取り外すことにより、
画像読取装置の開口部からレーザ走査装置24内を取り
外すことにより、交換、清掃が可能となる。
【0046】この光センサー128による検知の有無を
検知制御手段151により判定し、半導体レーザ121
の射出から所定時間内に検知されれば、正常に多面鏡に
よる反射がされたことになるが、所定時間経過しても検
知制御手段151での検知がされないと、多面鏡のスラ
スト受け部材7aが磨耗していることになる。そこで、
駆動制御手段152により偏光器143の回転を停止
し、更に、表示制御手段153により、回転停止及び回
転軸2(若しくはスラスト受け部材7a)の交換を図4
の表示器161に表示する。この表示は、偏光器の回転
が停止してから行うことで、回転中にカバー142を取
り外すことを防止している。
検知制御手段151により判定し、半導体レーザ121
の射出から所定時間内に検知されれば、正常に多面鏡に
よる反射がされたことになるが、所定時間経過しても検
知制御手段151での検知がされないと、多面鏡のスラ
スト受け部材7aが磨耗していることになる。そこで、
駆動制御手段152により偏光器143の回転を停止
し、更に、表示制御手段153により、回転停止及び回
転軸2(若しくはスラスト受け部材7a)の交換を図4
の表示器161に表示する。この表示は、偏光器の回転
が停止してから行うことで、回転中にカバー142を取
り外すことを防止している。
【0047】そして、レーザ走査装置24の駆動が停止
してから、コンタクトガラス21、カバー142を取り
外し、レーザ走査装置24の上部にあたる回転軸2を固
定軸6より取り外す。尚、このときレーザ走査装置24
そのものを取り外してから、回転軸2を固定軸6より取
り外してもよい。
してから、コンタクトガラス21、カバー142を取り
外し、レーザ走査装置24の上部にあたる回転軸2を固
定軸6より取り外す。尚、このときレーザ走査装置24
そのものを取り外してから、回転軸2を固定軸6より取
り外してもよい。
【0048】取り出した回転軸2は、磨耗しているスラ
スト受け部材7aを交換するために、スラストカバー7
を回転軸2より取り外し、新しいスラストカバーと交換
・取り付けして、もとの画像形成装置内に配置する。
スト受け部材7aを交換するために、スラストカバー7
を回転軸2より取り外し、新しいスラストカバーと交換
・取り付けして、もとの画像形成装置内に配置する。
【0049】このとき、回転軸2そのものを交換しても
よい。特に、ラジアル軸受となっているスリーブ5は、
固定軸6と初期回転時には接触するため、この接触磨耗
が起きている可能性がある。この接触磨耗が進行する
と、スリーブ5と固定軸6との間隙で発生する動圧効果
が安定しなくなる。そこでこの現象による回転軸2の安
定回転が得られなくなった場合は回転軸2ごと交換した
方がよい。
よい。特に、ラジアル軸受となっているスリーブ5は、
固定軸6と初期回転時には接触するため、この接触磨耗
が起きている可能性がある。この接触磨耗が進行する
と、スリーブ5と固定軸6との間隙で発生する動圧効果
が安定しなくなる。そこでこの現象による回転軸2の安
定回転が得られなくなった場合は回転軸2ごと交換した
方がよい。
【0050】尚、スラスト受け部材7aの磨耗検知は、
感光体ドラム28の書き出し位置を決定するための同期
検知手段である光センサー128を用いたが、多面鏡1
から感光体ドラム28までのレーザ光の光路中で分光等
を行い、専用の磨耗検知手段を設けても構わない。
感光体ドラム28の書き出し位置を決定するための同期
検知手段である光センサー128を用いたが、多面鏡1
から感光体ドラム28までのレーザ光の光路中で分光等
を行い、専用の磨耗検知手段を設けても構わない。
【0051】次に、よりスラスト受け部材7aの磨耗検
知を行い易い構造について説明する。上述したユニット
は、単にスラスト受け部材の磨耗による回転体9の下方
への移動により、多面鏡の反射鏡に光が当たらなくなっ
たケース等を想定しているが、この状態での検知は、か
なりの磨耗が進行していることになるため、他の部材へ
の影響も予想される。
知を行い易い構造について説明する。上述したユニット
は、単にスラスト受け部材の磨耗による回転体9の下方
への移動により、多面鏡の反射鏡に光が当たらなくなっ
たケース等を想定しているが、この状態での検知は、か
なりの磨耗が進行していることになるため、他の部材へ
の影響も予想される。
【0052】そこで、図5(a)〜(c)にあるよう
に、予め多面鏡200の反射面201に、非反射領域2
02と反射領域203とを設けることで、より効果的な
交換時期を検知することが可能となる。この非反射領域
202は、反射領域203の上方に位置し、且つスラス
ト受け部材7aの磨耗による使用限界で下方に移動した
ときに半導体レーザのレーザ光が照射される領域とす
る。
に、予め多面鏡200の反射面201に、非反射領域2
02と反射領域203とを設けることで、より効果的な
交換時期を検知することが可能となる。この非反射領域
202は、反射領域203の上方に位置し、且つスラス
ト受け部材7aの磨耗による使用限界で下方に移動した
ときに半導体レーザのレーザ光が照射される領域とす
る。
【0053】図5(a)は、この非反射領域202が反
射領域203より傾斜している角度を有した領域を、切
削加工等により作成する。すると、この非反射領域20
2はレーザ光が照射されると、反射領域203での反射
角度と異なるため、光センサー128への照射が行われ
なくなる。
射領域203より傾斜している角度を有した領域を、切
削加工等により作成する。すると、この非反射領域20
2はレーザ光が照射されると、反射領域203での反射
角度と異なるため、光センサー128への照射が行われ
なくなる。
【0054】図5(b)は、非反射領域が202が、鏡
面加工した反射領域203より表面粗さを粗くする。こ
の作成は、反射面を予めこの粗さに加工した後に、非反
射領域202をマスキングして反射領域203を鏡面加
工したり、逆に反射面を予め挙梅面加工し、その後に反
射領域203をマスキングして非反射領域202を粗さ
加工を行う。このようにした非反射領域202はレーザ
光が照射されると、乱反射を起こし、それによって光セ
ンサー128への照射が行われなくなる。
面加工した反射領域203より表面粗さを粗くする。こ
の作成は、反射面を予めこの粗さに加工した後に、非反
射領域202をマスキングして反射領域203を鏡面加
工したり、逆に反射面を予め挙梅面加工し、その後に反
射領域203をマスキングして非反射領域202を粗さ
加工を行う。このようにした非反射領域202はレーザ
光が照射されると、乱反射を起こし、それによって光セ
ンサー128への照射が行われなくなる。
【0055】図5(c)は、非反射領域が202が、光
反射をしにくい(しない)塗料などの抑制部材で覆うと
いうものである。本例ではこの抑制部材に黒色の塗料
を、非反射領域202のみに塗布するように反射領域2
03をマスキングして塗布した。これによって、非反射
領域202は、光を反射しなくなり光センサー128へ
の照射が行われなくなる。尚、図5(a)〜(c)を組
み合わせて使用しても構わない。
反射をしにくい(しない)塗料などの抑制部材で覆うと
いうものである。本例ではこの抑制部材に黒色の塗料
を、非反射領域202のみに塗布するように反射領域2
03をマスキングして塗布した。これによって、非反射
領域202は、光を反射しなくなり光センサー128へ
の照射が行われなくなる。尚、図5(a)〜(c)を組
み合わせて使用しても構わない。
【0056】
【効果】本発明の第1の発明によれば、ポリゴンスキャ
ナのスラスト軸受の磨耗による使用限界を即座に検知す
ることができ、画像形成装置による画像形成の不具合を
未然に抑制することが可能となり、第2の発明により、
ポリゴンスキャナにおける磨耗した部品の交換が容易に
行うことが可能となる。
ナのスラスト軸受の磨耗による使用限界を即座に検知す
ることができ、画像形成装置による画像形成の不具合を
未然に抑制することが可能となり、第2の発明により、
ポリゴンスキャナにおける磨耗した部品の交換が容易に
行うことが可能となる。
【図1】 従来の問題点を解決するために提案している
ポリゴンスキャナの全体構造を示す縦断面図である。
ポリゴンスキャナの全体構造を示す縦断面図である。
【図2】 本発明に関するレーザ走査装置を備えた画像
形成装置の一実施例を示す概略断面図である。
形成装置の一実施例を示す概略断面図である。
【図3】 (a)本発明に関するレーザ走査装置の一実
施例を示す概略斜視図である。 (b)本発明に関するレーザ装置を画像形成装置に配置
したときの一実施例を示す概略斜視図である。
施例を示す概略斜視図である。 (b)本発明に関するレーザ装置を画像形成装置に配置
したときの一実施例を示す概略斜視図である。
【図4】 本発明に関する表示器の一実施例を示す概略
図である。
図である。
【図5】 (a)本発明に関する多面鏡構造の第1の実
施例を示す概略斜視図である。 (b)本発明に関する多面鏡構造の第2の実施例を示す
概略斜視図である。 (c)本発明に関する多面鏡構造の第3の実施例を示す
概略斜視図である。
施例を示す概略斜視図である。 (b)本発明に関する多面鏡構造の第2の実施例を示す
概略斜視図である。 (c)本発明に関する多面鏡構造の第3の実施例を示す
概略斜視図である。
21 コンタクトガラス、22 画像読取装置、23
作像装置 24 レーザ走査装置、25 レーザ記録装置、26
スキャナー 27 画像処理ボード、28 感光体ドラム、29 給
紙部 121 半導体レーザ、123 コリメータレンズ、1
24 シリンドリカルレンズ、125 fθレンズ 126 ミラー、127 防塵ガラス、128 光セン
サー、129 ミラー 130 筐体(レーザ走査装置における) 141 画像読取装置の筐体、142 カバー、143
偏光器 151 検知制御手段、152 駆動制御手段、153
表示制御手段 161 表示器 201 反射面、202 非反射領域、203 反射領
域
作像装置 24 レーザ走査装置、25 レーザ記録装置、26
スキャナー 27 画像処理ボード、28 感光体ドラム、29 給
紙部 121 半導体レーザ、123 コリメータレンズ、1
24 シリンドリカルレンズ、125 fθレンズ 126 ミラー、127 防塵ガラス、128 光セン
サー、129 ミラー 130 筐体(レーザ走査装置における) 141 画像読取装置の筐体、142 カバー、143
偏光器 151 検知制御手段、152 駆動制御手段、153
表示制御手段 161 表示器 201 反射面、202 非反射領域、203 反射領
域
Claims (9)
- 【請求項1】界磁用マグネットを有し、且つ光を反射す
る反射面を複数設けた多面鏡を有する回転体と、該回転
体の回転中心となる固定軸と、界磁用マグネットに対向
して複数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを有す
る固定体とを備え、 前記回転体の回転中心にスラスト軸受部を設け、前記回
転体は該スラスト軸受部を前記固定軸の先端部に接触し
ながら回転するポリゴンモータスキャナユニットであっ
て、 固定軸の先端部或いは前記スラスト軸受部は樹脂により
形成され、 この固定軸の先端部或いは前記スラスト軸受部の樹脂の
磨耗を検知する検知手段を有することを特徴とするポリ
ゴンモータスキャナユニット。 - 【請求項2】界磁用マグネットを有し、且つ光を反射す
る反射面を複数設けた多面鏡を有する回転体と、該回転
体の回転中心となる固定軸と、界磁用マグネットに対向
して複数の駆動コイルが固定されたコイル基板とを有す
る固定体とを備え、 前記回転体の回転中心にスラスト軸受部を設け、前記回
転体は該スラスト軸受部を前記固定軸の先端部に接触し
ながら回転し、 更に、前記多面鏡により反射した光の主走査方向側の同
期検知を行う同期検知手段を有するポリゴンモータスキ
ャナユニットであって、 固定軸の先端部或いは前記スラスト軸受部は樹脂により
形成され、 回転多面鏡による光の反射をしてから所定時間この同期
検知手段が光を未検知であると前記固定軸の先端部或い
は前記スラスト軸受部の樹脂が磨耗していることを検知
することを特徴とするポリゴンモータスキャナユニッ
ト。 - 【請求項3】磨耗を検知すると、多面鏡の回転を停止す
る停止手段を有することを特徴とする特許請求の範囲第
1項或いは第2項記載のポリゴンモータスキャナユニッ
ト。 - 【請求項4】前記スラスト軸受部が樹脂で、前記固定軸
の先端部は金属であって、 前記多面鏡の回転停止後、前記回転体の交換を表示する
ことを特徴とする特許請求の範囲第3項記載のポリゴン
モータスキャナユニット。 - 【請求項5】前記多面鏡の光を反射する反射面は、光反
射を抑制する非反射領域、その下方に光を反射する反射
領域とを固定軸方向に沿って設けていることを特徴とす
る特許請求の範囲第2項記載のポリゴンモータスキャナ
ユニット。 - 【請求項6】前記非反射領域は前記反射領域に対して所
定の傾斜をしていることを特徴とする特許請求の範囲第
5項記載のポリゴンモータスキャナユニット。 - 【請求項7】前記非反射領域は前記反射領域より表面粗
さが大きいことを特徴とする特許請求の範囲第5項記載
のポリゴンモータスキャナユニット。 - 【請求項8】前記非反射領域は光の反射を抑制する抑制
部材で覆われていることを特徴とする特許請求の範囲第
5項記載のポリゴンモータスキャナユニット。 - 【請求項9】界磁用マグネットを有し、且つ光を反射す
る反射面を複数設けた多面鏡を有する回転体と、該回転
体の回転中心にあるスラスト軸受部と接触する固定軸
と、界磁用マグネットに対向して複数の駆動コイルが固
定されたコイル基板とを有する固定体とを収納したポリ
ゴンモータスキャナユニットと、 コンタクトガラス上に載置された原稿を読み取る読取手
段とを有する画像形成装置であって、 前記スラスト軸受部は樹脂で、前記固定軸の先端部は金
属により形成され、 前記読取手段を構成する筐体の一部により前記ポリゴン
モータスキャナユニットを密閉し、且つ前記多面鏡とと
対応する位置に開口部を設け、 更に該開口部を覆うカバー手段を有するすることを特徴
とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8204202A JPH1031173A (ja) | 1996-07-16 | 1996-07-16 | ポリゴンモータスキャナユニット及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8204202A JPH1031173A (ja) | 1996-07-16 | 1996-07-16 | ポリゴンモータスキャナユニット及び画像形成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1031173A true JPH1031173A (ja) | 1998-02-03 |
Family
ID=16486531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8204202A Pending JPH1031173A (ja) | 1996-07-16 | 1996-07-16 | ポリゴンモータスキャナユニット及び画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1031173A (ja) |
-
1996
- 1996-07-16 JP JP8204202A patent/JPH1031173A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0588490A1 (en) | Electric motor for a printer and a disk drive with a magnetic bearing device | |
US5466070A (en) | Dynamic fluid bearing rotating apparatus | |
JPH1031179A (ja) | 画像形成装置 | |
JPH1031173A (ja) | ポリゴンモータスキャナユニット及び画像形成装置 | |
JPH1031178A (ja) | 光書き込みユニット | |
US6704038B2 (en) | Light deflecting apparatus | |
US6715921B2 (en) | Shaft bearing structure of spindle motor | |
JPS619138A (ja) | 高速回転駆動装置 | |
JPH1031177A (ja) | 光書き込みユニット | |
JPH09126229A (ja) | 動圧軸受、光偏向装置および記録装置 | |
JP2000121986A (ja) | 動圧軸受装置およびこれを用いた偏向走査装置 | |
JP2003295099A (ja) | 偏向走査装置 | |
JP2002106549A (ja) | 動圧軸受装置、回転装置および偏向走査装置 | |
JP2000154822A (ja) | 動圧軸受装置および偏向走査装置 | |
JP2000056252A (ja) | 動圧軸受装置およびこれを用いた光偏向走査装置 | |
JP2006221001A (ja) | 偏向走査装置 | |
JPH1031187A (ja) | ポリゴンスキャナ及びその製造方法 | |
JPH1031188A (ja) | ポリゴンスキャナ | |
JPH07253116A (ja) | 磁気的に重量を軽減される回転体を備えた偏光器 | |
JP2001117042A (ja) | 光偏向走査装置 | |
JP2000231071A (ja) | 光偏向装置 | |
JP2000147416A (ja) | 光偏向走査装置 | |
JPH0637981A (ja) | スキャナモータ | |
JPH11183490A (ja) | 光偏向装置 | |
JP2002106548A (ja) | 動圧軸受装置、回転駆動装置および偏向走査装置 |