JPH10309671A - 研磨材料と、当該研磨材料を使用した研磨具及び当該研磨材料による鋭利部材の製造方法 - Google Patents
研磨材料と、当該研磨材料を使用した研磨具及び当該研磨材料による鋭利部材の製造方法Info
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Abstract
生成する研磨材料を提供する。 【解決手段】 研磨材料13は、エチレン共重合体をベ
ースとするオレフィン系熱可塑性樹脂組織に、ウェイト
比で50〜80%の範囲で研磨粒子を有している。この
研磨材料13は、革砥やホーニング材料として使用され
基質構造物25,27,28の上に合体されたり、射出
成形により形成されたり、あるいは型内に設置された剛
体ホイールとかディスクに注入あるいは成形された剛体
に射出成形する。この研磨材料13は、結晶材料、セラ
ミック、シリコン及び半導体ウェハーの各表面を研磨し
たり仕上げたりするために使用される。
Description
久性のあるナイフエッジを生成する研磨材料と、当該研
磨材料を使用した研磨具及び当該研磨材料による鋭利部
材の製造方法に関する。
6号に記載されている技術の変形に関するものである。
米国特許第5、404、679号と同時に出願日199
7年7月8日の米国特許出願番号第08/889、76
8号、出願日1995年6月6日の米国特許出願番号第
08/466,451号、及び現在は米国特許第5、3
90、431号であるが、その出願日1995年2月2
1日の米国特許出願番号第08/391,250号、出
願日1993年4月10日の米国特許出願番号第08/
055,856号についても参照されている。これらの
特許及び出願の詳細のすべてが本明細書への参照として
組入れられている。
‘726特許と称する)は、新規なホーニング材料を組
入れて高度に鋭利で、さらに耐久性のあるナイフエッジ
を生成する特有なブレード刃研ぎ器について記載してい
る。この特許は、ホーニング材料の最適な物理的特性を
得る重要性を記載したものである。ホーニング材料は、
十分な柔軟性を有していなければならず、さらに、使用
中物理的に歪みを受けても、その物理的な原形を回復し
なければならない。ホーニングデイスクが剛性がありす
ぎると、ナイフエッジを損傷する。砥粒寸法は、十分研
磨性を有するように選択されなければならないが、ナイ
フ端面を傷つけるほど研磨性を有するものであってはな
らない。
することは、高度に鋭利でかつ耐久性のあるナイフエッ
ジを再生的に生成することはうまく行かないことが立証
された。ホーニングをうまく行うには、研磨剤を組入れ
る材料が適当な物理的特性、柔軟性、弾性、剛性及び熱
的特性及びホーニング特性の経時変化の少ないものから
経時変化のないものまでを含めた十分なしかし高すぎな
い研磨率を有していることが必要である。
行かないことが立証された。発明者によって試験された
布地及び繊維状ホイールは、不均一であり、かつそれら
の有効性を保持するため、研磨剤でしばしば再被覆しな
ければならないことが立証された。布地及び繊維状ホイ
ールは、予測できないかつ終始一貫していないものであ
る。それらの材料は、刃研ぎ加工の研磨破片を「積み上
げる」(load-up)ので、皮革又は多孔性ポリエチレン材
料(Corfam(商標) などの)のホイールは実用的でな
い。
特許の中で、歪みを受けてもそれらの原形を回復しかつ
特性が均一な価値の高い形状に形成できる材料について
報告した。ナイフの刃研ぎに重要な角度制御は、ナイフ
エッジに接触する研磨剤及びホーニング材料の正確な形
状に依存している。満足な材料は、その材料の物理的特
性の狭い範囲にあることが示された。
その材料が余りに早急に「積み上がり」するか、又は適
切に除去するには強靱すぎると、実用的でなくなること
が立証された。エポキシのような多様性材料は、不満足
となることが立証された。これは、過剰な脆性、過剰な
「積み上がり」及びそれらの表面が過剰に研削(glazin
g)されるためである。また、これら材料は、経時的な特
性変化や、加熱時に軟化したり、十分に柔軟にならない
などの傾向がある。しかしながら、‘726特許に開示
されているように、発明者は、ジオール及びトリオール
のポリエチレンオキサイドアブダクトから派生された脂
肪族ポリエーテル第1アミン及びジファンクションアミ
ン又はトリファンクションアミンであるポリオキシプロ
ピレンアミンで主に構成された最適なエポキシ組成を見
出した。この材料は、良好なホーニング材料を構成する
のに必要な柔軟性、耐久性及び回復特性を有している。
エポキシ材料は、研磨剤添加時に必要な研磨性を維持し
ながら成形するのに必要とされる順応性を有しており、
強靱さ、耐久性及び適切なゴム状特性を有し長期の使用
にわたってその形状を維持する。
で、長時間の、冗長でかつ高価な注入成形法により形成
材料を最終形状に形成しなければならないが、注入成形
法は100°C(212°F)で1時間から2時間のプ
ロセスで最終特性を設定し、さらに、数年間その特性を
安定に維持するため100〜110°C(212〜23
0°F)で4時間の硬化を加える必要がある。
のに、通常の方法は、実用的でないことが立証された。
しかしながら、2.22cm(7/8”)直径の滑らか
な鋼球を備えている改良されたウイルソンロックウエル
試験器は、ナイフ刃研ぎとしての使用に対して、この材
料の本質的な特性と関連する非常に再現性のある深さ
(measurement)を与えることが見出だされた。
8”)直径の鋼球を備えている標準ウイルソンロックウ
エル試験機を使用し、この球で、約5cm×約5cm
(2”×2”)及び9.53mm(3/8”)厚の材料
のサンプルを加圧するが、まず、標準の小重量の10K
gで、その後60Kgの大重量で行なう。まず、小重量
の球をサンプル上に押し付けて球の最初の停止高さをゼ
ロポイントとして表示する。その後、大重量を球に負荷
して、球がゼロポイント以下に沈み込む距離(高さの変
化)をD1として記録する。小重量を残して大重量を取
除くと、残りの沈み込み量が減少する。元のゼロポイン
ト以下の残りのへこみ量をD2として記録する。この手
順によれば、本発明の最適エポキシ材料サンプルは、小
重量を負荷した場合に、ロックウエル硬度試験器で30
秒以下で229目盛(約0.46mm(0.018
3”))加圧された。これがD1である。大重量を取除
いた時の残留凹みD2は140目盛であった。回復率R
は、R=(D1−D2)/D1=0.39又は39%で
ある。すべての重量を取除くと、この材料は、30分以
内にサンプルの元の厚さの98%以上に戻った。独特な
エポキシ材料のより低濃度の研磨剤を添加した組成で
は、この試験後、より急速に元の厚さへ回復する。上記
に定義された回復率R及びディスクのサンプルの原形状
への続いて起こる回復は、これらのディスクの最適性能
のため決定的に重要な特性である。エポキシ研磨剤添加
ディスクの満足な組成の代表的なサンプルが、以下に示
すように試験された。
8”)に相当する。
の値は、比較的狭い範囲の特性を表しており、この特性
は5ミクロンの砥粒を使用すると満足な性能を与える。
最適な組成は、5ミクロンの砥粒を使用して65〜75
%の狭い範囲である。これは、組成の重要性及びその結
果生ずる物理的特性を実証するものである。
た満足な鮮映度と切削特性をもたらした。
〜20ミクロンの範囲内の粒径の研磨粒子を重量で40
〜80%加えることにより構成されたホーニングディス
クで得られた。これらの範囲内では、研磨剤添加の範囲
の上方部分のより小径粒子の使用が好ましい。
許に記載されているような良好なホーニングに必要とさ
れる特徴的な特性を提供する一方で、エポキシ材料は、
遅い注入成形法によってのみ記載のように生成された。
に、射出成形法などの他の手段で加工できる他の重合体
の成形法を探求し、さらに、良好なホーニングに不可欠
である前記に示した物理的特性の特徴的な均衡を提供す
るものである。
強靱性に対しては知られていないポリオレフィン系で見
出された。
の標準小重量及び60kgの大重量で約2.22cm
(7/8”)直径の鋼球を使用するウイルソンロックウ
エル試験器で50〜155目盛が測定された残留凹みに
対して30〜60%の範囲の回復率を有する。
刃面を有する精細なエッジ又はのこ歯形ブレードに対す
るホーニング構造を提供する。ホーニング構造は、2つ
の隣接する柔軟性の切頭円錐形状研磨剤添加ディスクの
1つの回転軸に対して垂直の関係にある垂直線に関して
所定の角度で設定されたモータ駆動及び2つの並置ナイ
フガイドエッジを含んでいる。ディスクは、モータ駆動
で駆動されて、ブレードが表面を有するコンタクトの中
に移動する時、切削エッジを横切り又は離れて研磨剤被
覆ディスクの表面を移動する。コンタクトのポイント
は、ナイフエッジガイドの位置によって設定されかつ制
御される。1つのガイドは、研削剤被覆表面のそれぞれ
を有するコンタクトのポイントの前方であり、かつ他の
ガイドは、研削剤被覆表面のそれぞれを有するコンタク
トのポイントの向かい側である。両エッジガイドは、位
置決めされて切削エッジに係合する。柔軟性研磨剤添加
切頭円錐ディスクは、研磨粒子を重量で50〜80%の
範囲でエチレン共重合体を基本とするオレフィン系熱可
塑性樹脂中に含んでいる。
とする真性熱可塑性樹脂中に混入された1〜25ミクロ
ンの範囲内の粒径の研磨粒子を重量で50〜80%を含
む革砥材料で被覆された硬質構造体からなる革砥パッド
を含んでいる。
な研磨剤を高密度に添加することができ、さらに驚くべ
きことには、射出成形されて別の新規なホーニング及び
革砥材料を生成できる材料の特有なグループである。こ
の同種の材料が、刃研ぎ装置及び金属性、結晶質、セラ
ミック及び半導体材料の磨きでの使用を含む広範な応用
範囲を有することが示された。
エチレン ビニル アセテート、ポリ塩化ビニル、コポ
リエステル エラストマー及びウレタンを含む射出成形
可能な材料の広い範囲でかつそれらの多様性が調査され
たが、硬すぎる、弾性がありすぎる、除去できない、又
は使用中に簡単に研削されるということが見出された。
意外にも、50〜80%を添加した場合、十分な弾性が
保持された一定のポリオレフィン エラストマーは、十
分に除去できてホーニング材料のように良好に機能す
る。このクラスの1つの重合体としては、Engage
(商標)、−エチレン アルファー オレフィン重合体
−DuPondーDow エラストマーが利用できる。
このようなエチレン共重合体を基本とし、前述したよう
な添加の範囲で研磨剤添加されたオレフィン系熱可塑性
樹脂は、非常に効果的でありかつ上記したようなウイル
ソンロックウエル試験機により判定されたような特性が
示され、これは、上記に開示された注入成形可能エポキ
シ材料で生成された材料の本質的に複製であるであるこ
とが立証された。
機能するが、最適に研磨剤を添加したオレフィン系材料
は、次の組成及びウイルソンロックウエル試験機により
判定されたような特性を有していた。
た)は、負荷を取除いた後、30分以内に、その元の厚
さの98%以上に戻った。この材料は、標準射出成形機
で良好に成形されかつ親出願で述べたホーニングディス
ク構成で良好に作動を行う。
つ研磨性があること、及び平坦なプレートに成形した場
合、意外にも手動革砥材料としても良好に使用できるこ
とが見出された。ある材料を手動革砥パッドとして良好
に機能させるためには、材料は、ナイフエッジに部分的
にしっくり順応するように十分に柔軟性を有していなけ
ればならならないが、材料が、パッド表面全体にわたっ
て引っ張られる際に、エッジを「綺麗にぬぐう」(wipe-
out)ほど硬いものであってはならない。手動革砥操作で
は、革砥角度の制御は、通常、ほとんど行われないか又
は不十分な制御しかできず、革砥パッド表面が、エッジ
の幾何学的な形状に少なくとも部分的にしっくり順応す
るのに十分柔軟性を有しかつ柔軟であるならば、革砥パ
ッドに対するブレードエッジの角度の整合は、ある程度
達成されるだけである。ただし、パッドは、十分研磨性
があり、ブレードエッジに沿って連続するどのような微
小なバリも除去しかつエッジ刃面に対し残りの研削を行
う。意外にも、この射出成形可能なオレフィン系材料
は、革砥パッド構造の範囲で試験したように良好に作動
を行う。
あり、かつ通常の射出成形装置で形成可能なので、研磨
剤を高濃度に添加しても、この材料は、極めて平坦なプ
レートに容易に成形可能である。この柔軟性材料の強固
な支持装置として作用する金属プレート及び剛性のある
形状のものの周囲又は上に材料をインサート成形するこ
とも可能である。この手段により、概して順応性のある
形状つまり表面の平坦さを確立でき、かつ材料が表面全
体にわたって革砥される(stropped)につれて、材料が十
分な柔軟性を有し繊細なナイフエッジに幾分局所的にし
っくり順応させながら、維持できる。この順応性を図1
に図示する。
料は、結晶表面、セラミックスおよび半導体材料の研磨
に好ましいことを示した。この材料は、容易に平らなパ
ッドに射出成型や、輪状体およびディスク形にすること
ができ、また、ホーニング用又は革砥用の輪状体と軸方
向に駆動される回転ディスクとしての剛性心金上に注入
成型することができる。
料13は、エッジに沿って削り面11を有するナイフ4
を超鋭利なエッジにするために用され、位置14に示し
たようにエッジが研磨剤添加材料13を変形させている
ことが示されている。ナイフは、通常、刃面が部分的に
新材料の面に当たるように、その刃面の角V(図1)よ
り少し大きい角度で保持される。ホーニング作業と革砥
作業とにおいては、ナイフのエッジが材料13の面を横
切って又は沿って動かされるとき、軽く押圧する必要が
あるだけである。
に使う場合、本新材料は、図2に示すような円錐状ディ
スク15又は同様の幾何学的形状にプラスチック又は金
属で作ったハブ状基質構造29の上に注入成型される。
ディスクは、ハブ状構造上に成型するかあるいは予め成
型した上で、別途接着又はクランプ手段により装着す
る。ばね6は、円錐状ディスク15を軸9に押しつける
力を生じる。ナイフの端部刃面は、円錐状ディスク15
に中心線Bの上の線分Aに沿う点であってディスクの上
右の四分円内にある点で接触するのが好ましい。図3に
円錐の角度Cを示す。ディスク15は図3に示すように
`726特許に記述されたように用いられる。
合、本新材料13は、通常は平坦だが、特殊用途では、
色々な任意の形を取り得る剛性金属板又はプラスチック
板25上に、固定されるか又はモールドされる。もし板
25が平坦であれば、一般的にホーニング材料13の面
構成もまた、ほとんどの革砥用途に好ましいように、平
坦にできる。望むなら、支持板の下面26もまた同一組
成の第2研磨材料で表面処理をするか、又は革砥前の粗
研ぎができるよう、革砥材料の有用なグループになり得
る研磨“砥石”として働く大粒子又はダイヤモンドのよ
うな、一層研磨性の高い研磨材で被覆することもでき
る。
似の品のための研磨パッド又は研磨ディスクに上首尾で
成型された。半導体と結晶質材料に用いるには、研磨さ
れる材料の性質に応じて、アルミナ、ダイヤモンド、稀
土類酸化物のような各種の研磨剤を使用できる。図5に
は、本新材料が、ディスク状に射出成型でき、次いで、
剛性ディスク27に接着された場合の1つの構成が示さ
れている。また、材料13は、注入成型処理によっても
剛性ディスクに接着できる。望みの場合、本材料は、こ
れらの手段により可撓性の支持ディスクおよび構造物に
接着できる。図6には、研磨輪28の周縁上に成型又は
接着された本材料13を示す。
は、高度に鋭利で、耐久性のあるナイフエッジを生成す
ることができ、射出成形されて別の新規なホーニング及
び革砥材料を生成でき、刃研ぎ装置及び金属性、結晶
質、セラミック及び半導体材料の磨きなど広範に使用で
きる。
よる成形ディスクを示す立面断面図である。
る。
イール)の斜視図である。
Claims (15)
- 【請求項1】 小重量10Kgと大重量60Kgで、直
径略2.22cm(7/8”)の鋼球を使用するロック
ウェル試験機により測定した50目盛から155目盛の
残留陥没が、30〜60%の範囲の回復率Rを有するこ
とを特徴とするナイフのエッジと、鋭いエッジ又は鋸状
のツールと、金属、結晶、セラミック及び半導体の各表
面とを研磨するためのホーニング、革砥および磨き用の
研磨剤を添加した研磨材料。 - 【請求項2】 切頭円錐形の柔軟な2枚の研磨剤添加回
転ディスクを回転させるためのモータ駆動と、それぞれ
が前記切頭円錐形の柔軟な2枚の研磨剤添加ディスクの
1つの回転軸に直交する垂直線に対し所定の対頂角をな
す並列の(juxtipositioned) 2つのナイフ案内面とを有
し、前記ディスクは前記ブレードを動かして前記面に接
触させたとき、前記研磨剤被覆ディスクの面をカットエ
ッジを横切って離れるよう動かすために、その軸上で前
記モータ駆動により駆動され、前記接触点はナイフエッ
ジ案内の位置により確定し制御され、前記ナイフエッジ
案内は前記研磨材被覆面のそれぞれとの前記接触点の1
つの前側に1つの案内を有し、他の案内が前記研磨剤面
のそれぞれとの前記接触点の後側にあり、前記ナイフエ
ッジ案内がカットエッジにより押し付け(imprint)られ
る頑丈で非研磨性の材料で作られ、前記エッジ案内は前
記カットエッジと噛み合う位置に置かれ、前記柔軟な切
頭円錐、研磨剤を接着した切頭円錐型のディスクと、エ
チレン共重合体をベースとするオレフィン系熱可塑性樹
脂組織中にウェイト比で50〜80%の範囲の研磨粒子
を有することを特徴とする長いカットエッジとそのカッ
トエッジに隣接する面とを有する鋭いエッジ又は鋸歯の
ためのホーニング構造。 - 【請求項3】 前記ディスクが、前記オレフィン系熱可
塑性樹脂組織中に埋め込まれた1〜25ミクロンの範囲
の研磨粒子をウェイト比で50〜80%含むことを特徴
とする請求項2の革砥あるいはホーニング材料。 - 【請求項4】 エチレン共重合体をベースとするオレフ
ィン系熱可塑性樹脂組織中に埋め込まれた1〜25ミク
ロンの範囲の大きさの研磨粒子をウェイト比で50〜8
0%含む革砥材料で被覆された剛性基質を有することを
特徴とする革砥パッドを備えた革砥パッド。 - 【請求項5】 ウェイト比で50〜80%の研磨粒子を
添加したエチレン共重合体をベースとするオレフィン系
熱可塑性樹脂組織を含むことを特徴とする結晶質材料、
セラミックス、シリコンおよび半導体ウェハーの磨きと
仕上げ用の研磨材料。 - 【請求項6】 前記研磨剤を添加したエチレン共重合体
をベースとするオレフィン系熱可塑性樹脂組織が射出成
型工程により形成され形状を整えられることを特徴とす
る請求項5の研磨材料。 - 【請求項7】 前記研磨剤を添加したエチレン共重合体
をベースとするオレフィン系熱可塑性樹脂組織が固形挿
入物上に射出成型されることを特徴とする請求項5の研
磨材料。 - 【請求項8】 前記研磨剤を添加したエチレン共重合体
をベースとする前記オレフィン系熱可塑性樹脂組織が金
型内に挿入された剛性輪状体又はディスク上に成型され
ることを特徴とする請求項7の研磨材料。 - 【請求項9】 鋭利部材の製造方法において、基質構造
体に研磨材料を添加又は接着し、その研磨材料がエチレ
ン共重合体をベースとするオレフィン系熱可塑性樹脂組
織にウェイト比で50〜80%の研磨粒子を含むことを
特徴とする鋭利部材の製造方法。 - 【請求項10】 前記研磨粒子が1〜25ミクロンの範
囲内にあることを特徴とする請求項9の鋭利部材の製造
方法。 - 【請求項11】 支持体が剛性基質であり、研磨材料が
革砥パッドを作るよう停止材料(stopping material) で
あることを特徴とする請求項9の鋭利部材の製造方法。 - 【請求項12】 前記研磨材料が、結晶質材料、セラミ
ックス、シリコン及び半導体ウェハーを含むグループか
ら選択した材料の磨きおよび仕上げのため用いられるこ
とを特徴とする請求項9の鋭利部材の製造方法。 - 【請求項13】 前記研磨材料が射出成型処理により形
成されて形状を整えられることを特徴とする請求項9の
鋭利部材の製造方法。 - 【請求項14】 前記研磨材料が剛性挿入物上に射出成
型されることを特徴とする請求項9の鋭利部材の製造方
法。 - 【請求項15】 前記研磨材料が金型内に挿入された剛
性輪状体又はディスク上に成型されることを特徴とする
請求項9の鋭利部材の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US4076697P | 1997-03-14 | 1997-03-14 | |
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