JPH10308998A - マイクロホン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オーディオ信号のセンシング領域を拡大する
ことができるマイクロホン装置を提供することを目的と
するものである。 【解決手段】 このマイクロホン装置は、レーザ光源か
ら発せされたレーザ光から戻り光の生じない２つの光路
４、５を形成し、２つの光路４、５からのレーザ光の干
渉縞の検出を行う干渉計を構成したマイクロホン装置に
おいて、２つの光路のうちの一方の光路、または両方の
光路に振動板８からの反射路を設けたことにより、振動
板８の配置を自由に選ぶことができ、ダイナミックレン
ジおよび周波数特性を、従来のダイナミック方式やコン
デンサ方式、等のアナログ方式に対して、無限に近く拡
大するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばオーディオ
信号の検出に適用して好適なマイクロホン装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、オーディオ信号の記録または再生
処理領域においては、ＣＤ（コンパクトディスク）、Ｍ
Ｄ（ミニディスク）、ＤＡＴ（ディジタルオーディオテ
ープレコーダー）、デジタルＭＴＲ（マルチトラックレ
コーダー）、ＤＶＤ（ディジタルビデオディスク）等の
各種メディアのディジタル化がすでに完了し、次は、こ
のメディアに記録する際、または再生する際にオーディ
オ信号を増幅するアンプのディジタル化が行われようと
している。

【０００３】ところが、音声等をオーディオ信号に変換
する音の入り口であるマイクロホンに関しては、いまだ
にアナログ方式しか用いられていないのが現状である。
オーディオ信号を記録するメディアのダイナミックレン
ジとｆ（周波数）特性等の記録容量が拡大したにも関わ
らず、音を検出するセンシング技術が遅れているといわ
ざるを得ない状況である。そこで、オーディオ信号を直
接ディジタル信号に変換してセンシングするディジタル
マイクロホンの開発が望まれている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のアナログマイク
ロホンは、第１にダイナミックレンジが大きくとれず、
ＣＤ等の容量の１００ｄＢに達することは難しいという
不都合があった。第２に出力信号はアナログ信号であ
り、これを信号ラインで長く引き回すため、Ｓ／Ｎの劣
化、周波数特性の劣化が大きくなるという不都合があっ
た。第３に振動板は非接触センシングとはいえないた
め、インピーダンス、Ｓ／Ｎ、周波数特性の平坦な特性
からのずれが生じる特有のクセを生じやすいという不都
合があった。第４にダイナミック型、コンデンサ型を問
わず、低域限界が早いため、振動板の大きさはあまり大
きくすることはできないという不都合があった。第５に
設計上振動板と信号ラインは短く作るため音源のそばま
でラインを引き回す必要があるので、ノイズに弱く、マ
イクセッティングに制限が生じるという不都合があっ
た。

【０００５】本発明はこのような点を考慮し、オーディ
オ信号のセンシング領域を拡大することができるマイク
ロホン装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明のマイクロホン
装置は、レーザ光源から発せられたレーザ光から戻り光
の生じない２つの光路を形成し、上記２つの光路からの
レーザ光の干渉縞の検出を行う干渉計を構成したマイク
ロホン装置において、上記２つの光路のうちの一方の光
路、または両方の光路に振動板からの反射路を設けたも
のである。

【０００７】このようなマイクロホン装置によれば以下
の作用をする。レーザ光源から発光されたレーザ光は、
光学系により透過光による光路１と反射光による光路２
とに分けられる。反射光の光路２のレーザ光は、振動板
に入射される。入射されたレーザ光は振動板において反
射されて反射光は光路１のレーザ光と干渉し、この２つ
の光路１及び光路２の干渉光は、それぞれ光検出され
る。光検出されたレーザ光は電気信号に変換され、２つ
の光路からのレーザ光の干渉縞を検出したディジタル信
号として出力される。

【０００８】ここで、振動板の配置を２つの光路のうち
の一方の光路、または両方の光路に自由に選ぶことがで
き、検出感度の向上により、ダイナミックレンジおよび
周波数特性を、アナログ方式に対して、拡大することが
できる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施の形態について説明する。図１に本実施の形態
のレーザ・ディジタルマイクロホンの基本的構成を示
す。図１において、このレーザ・ディジタルマイクロホ
ンは、レーザ光を発光する半導体レーザ１と、半導体レ
ーザ１から発光されたレーザ光を平行光に集光するコリ
メータレンズ２と、コリメータレンズ２からの平行光を
透過光による光路（１）４および反射光による光路
（２）５の２つの光路に分けるビームスプリッター３
と、を有する。

【００１０】また、このレーザ・ディジタルマイクロホ
ンは、ビームスプリッター３で分けられた光路（２）５
のレーザ光を反射するミラー６と、ミラー６で反射され
た光路（２）５のレーザ光を反射するプリズム７と、プ
リズム７で反射した反射光を入射光として反射光をプリ
ズム７に戻す振動板８と、プリズム７で反射された振動
板８の戻り光を反射するミラー９と、を有する。

【００１１】また、このレーザ・ディジタルマイクロホ
ンは、ビームスプリッター３で分けられた光路１のレー
ザ光をさらに透過による一方の光路及び反射による他方
の光路に分けると共に、ミラー９で反射した光路２のレ
ーザ光をさらに透過による一方の光路及び反射による他
方の光路に分けることにより干渉縞を発生させるビーム
スプリッター１０と、を有する。

【００１２】また、このレーザ・ディジタルマイクロホ
ンは、ビームスプリッター１０で分けられた光路１の透
過による一方の光路のレーザ光及び光路２の反射による
他方のレーザ光の干渉縞を検出して電気信号に変換する
光検出器１１と、ビームスプリッター１０で分けられた
光路１の反射による他方の光路のレーザ光及び光路２の
透過による一方のレーザ光の干渉縞を検出して電気信号
に変換する光検出器１２と、光検出器１１と光検出器１
２との電気信号を後述する所定のカウントタイミングで
それぞれカウントしてディジタル信号を出力するディジ
タルカウント器１３とを有する。

【００１３】このようなレーザ・ディジタルマイクロホ
ンにおいて、半導体レーザ１は、コヒーレンスが高く干
渉性の良いレーザ光を発生する構成を有する。ここで
は、通常のＣＤ等の光ディスクやレーザープリンタに使
用されているものでよい。また、半導体レーザ以外のガ
ス、固体等のレーザを用いても良い。

【００１４】上述のレーザ・ディジタルマイクロホンに
おいて、レーザ光源の半導体レーザ１から発せされたレ
ーザ光から戻り光の生じない光路１及び光路２の２つの
光路を形成し、光検出器１１及び光検出器１２とでこの
２つの光路からのレーザ光の干渉縞の検出を行う干渉計
を構成している。この干渉計は、戻り光の生じない、マ
ッハ・ツェンダー型のものを用いている。

【００１５】このように構成されたこのレーザ・ディジ
タルマイクロホンの動作を以下に説明する。半導体レー
ザ１から発光されたレーザ光は、コリメータレンズ２で
平行光に変換され、その後ビームスプリッター３で透過
光による光路１と反射光による光路２とに分けられる。
このとき、光路１及び光路２のレーザ光の強度比は、光
検出器１１及び光検出器１２とでこの２つの光路からの
レーザ光の干渉縞の検出を行う際の干渉縞の明瞭度を考
慮すると、１対１の方が好ましい。反射光の光路２のレ
ーザ光は、ミラー６で反射され、プリズム７で反射され
て振動板８に入射される。

【００１６】入射されたレーザ光は振動板８において反
射されて反射光は再度プリズム７で反射された後に、ミ
ラー９で反射されて、ビームスプリッター１０において
光路１のレーザ光と干渉し、この２つの光路１及び光路
２の干渉光は、光検出器１１及び光検出器１２で検出さ
れる。このとき、ピンホールの大きさの調整等で干渉縞
の位相を調整し、９０度ずらせるようにする。光検出器
１１及び光検出器１２で検出されたレーザ光は電気信号
に変換され、ディジタルカウント器１３に供給されて、
ディジタル信号として出力される。

【００１７】図２に、振動板での戻り光をレーザ光に戻
さないための光路を詳細に示す。図２に示すように、振
動板８の変位を検知するために、光の反射特性を用いて
いる。このために、図２Ａ，Ｂに示すように、振動板８
には、薄くて軽い光反射膜２０が設けられている。図２
Ａにおいて示す構成は、振動板８表面の反射膜２０上に
プリズム２１を設け、入射光２２と反射光２３とが異な
る光路となるように振り分けて、反射光２３が入射光２
２に戻らないようにする。図２Ｂにおいて示す構成は、
振動板８表面に対して所定の入射角により入射光２４が
斜めに入射するようにして反射光２５が入射角に対応す
る反射角で斜めに反射するように構成する。図２Ｂに示
す構成において、振動板８が振動により表面の反射膜２
０の位置が実線で示すａから点線で示すｂに変化したと
き、反射光２５の光軸は実線で示すａから点線で示すｂ
に変化するため、振動が大きいと光軸ずれが発生するこ
とを考慮する必要がある。

【００１８】図３に、ディジタルカウント器１３におけ
るリサージュによるディジタルカウント法を示す。光検
出器１１及び光検出器１２からの電気信号をそれぞれ、
Ｘ信号、Ｙ信号とみなして、例えば、オシロスコープの
Ｘｉｎ，Ｙｉｎ入力端子にＸ信号、Ｙ信号を入力した場
合の動作を説明する。ここで、干渉縞の強度の中央値を
ＣＸ，ＣＹとして、次の数１式の演算を行う。

【００１９】

【数１】ｘ＝Ｘ−ＣＸ，ｙ＝Ｙ−ＣＹ

【００２０】数１式の演算により、ｘ、ｙの動きは、円
周上を運動するリサージュ図形が得られる。図３におい
て、検知ポイント３０は、この円周上の１点であり、振
動板の変位に従って、円周上をくるくる回ることになる
ので、この回転数をカウントすれば、振動板の変位をデ
ィジタルで検知したことになる。例えば、Ｘ軸とＹ軸を
横切る度にカウントをする。具体的には、ｘ，ｙの値が
正から負に変わったところを検知すればよい。また、こ
れは干渉縞が９０度（１／４波長）変動する度にカウン
トすることを意味する。

【００２１】図４に、ディジタルカウント器１３におけ
るディジタルカウントの精度を上げる方法を示す。図４
Ａに示す構成は、カウントを検知する検知軸の数をＸ、
Ｙの２軸からＸ，Ｅ，Ｆ，Ｙ，Ｇ，Ｈの６軸に増やすよ
うにして、検知ポイント４０の検知を行うものである。
図４Ｂに示す構成は、検知軸の細かい分割はせずに、半
導体レーザ１に電流変調をかけることにより、発振波長
を変調するようにして、検知ポイント４１をリサージュ
上で振動させることにより検知を行うものである。

【００２２】このように、図４Ｂに示すように、半導体
レーザ１に電流変調をかけると、干渉縞の検知ポイント
４１は、１点から円周上をある振幅で変調のスピードに
より振動する円弧になる。ある時間間隔で、カウントを
した場合に、例えば、Ｙ軸を横切った回数が２０回、Ｘ
軸を横切った回数が１０回だった場合は、その時間内で
の検知ポイントはＸ軸から６０度のところにあるとみな
すことができる。このように、半導体レーザを用いるこ
とにより、直接レーザ光に変調をかけることが可能なた
め、検知精度を向上させることができる。

【００２３】また、さらに、上述した半導体レーザ１に
電流変調をかけることにより、光検出器１１及び光検出
器１２からの検出信号に相関のないノイズや、レーザ光
源の光強度の変化をほとんど排除することができる。こ
の場合、検出信号に相関のない独立的なノイズは、リサ
ージュ図形の幅を太くするだけであり、また、レーザ光
源の光強度の変化は（変調の場合も含めて）、リサージ
ュ図形の半径を変化させるだけである。これに対して、
上述したディジタルカウントは、あくまで、角度情報を
用いて行うため、角度情報には何ら影響がないからであ
る。

【００２４】図５に、振動板８に微小振動を与える方法
を示す。質量のある振動板８は摩擦の全くない場合以外
は静止状態から動き始めるよりも、動きのある状態か
ら、変化する方が容易である。そこで、微小音波を検出
する場合も微小バイアス振動を常に加えている方が、検
出が容易になる。図５Ａに示す構成は、振動板８の周囲
に動電型（ダイナミック型）スピーカの構成と同様にム
ービングコイル５０を設けて、振動板８に微小振動を与
えるものである。この場合、光検出という非接触検出を
用いているため微小振動子としてのムービングコイル５
０を小さく構成して用いるように構成する必要がある。
図５Ｂに示す構成は、予め軽い振動板８に微小な振動子
５１を設けて、微小な振動を外部から与えるようにした
ものである。図５Ａに示した構成は低音域用に、図５Ｂ
に示した構成は高音域用にするようにして、検出周波数
域によって使い分けるようにしても良い。

【００２５】以下、図６〜図１０に本実施の形態のレー
ザ・ディジタルマイクロホンの変形例の構成を示す。な
お、図６〜図１０において、図１に示したものに対応す
るものには同一の符号を付してその詳細な説明を省略す
る。なお、図１に示した構成及び動作と異なる点のみを
説明し、その他の構成及び動作の説明は省略する。

【００２６】図６において示すレーザ・ディジタルマイ
クロホンは、光路１のレーザ光を反射させるプリズム６
１と、プリズム６１で反射した反射光を入射光として反
射光をプリズム６１に戻す高音用振動板６２と、光路２
のレーザ光を反射させるプリズム７と、プリズム７で反
射した反射光を入射光として反射光をプリズム７に戻す
低音用振動板６０と、を有する。ここで、低音用振動板
６０は、図５Ａに示したように、振動板８の周囲にムー
ビングコイル５０を設けて、振動板８に微小振動を与え
るものである。高音用振動板６２は、図５Ｂに示したよ
うに、予め軽い振動板８に微小な振動子５１を設けて、
微小な振動を外部から与えるようにしたものである。

【００２７】このようにして、図６において、図５Ａに
示した振動板の構成を低音域用に、図５Ｂに示した振動
板の構成を高音域用に用いて、高音用と低音用の振動板
をそれぞれ独立させて２ウエイで構成するようにして、
それぞれの領域で各振動板の検出しやすい変動を検知す
る。このようにすることにより、マイクロホンの周波数
特性を拡大することができる。また、上述したように、
高音用と低音用の振動板とで２ウエイに構成する場合に
限らず、各光路中に任意の音域の複数の振動板を挿入配
置することによっても、マイクロホンの周波数特性を拡
大することができる。

【００２８】図７において示すレーザ・ディジタルマイ
クロホンは、光路１のレーザ光を反射させるプリズム７
１と、プリズム７１で反射した反射光を入射光として反
射光をプリズム７１に戻す振動板７２と、光路２のレー
ザ光を反射させて、反射光を入射光として振動板７２に
入射させて反射光を戻すプリズム７０とを有する。ここ
で、振動板７２は、光路１及び光路２とで共通に用いる
ように構成している。このようにすることにより、１つ
の振動板７２で２つの光路において同時に表面及び裏面
側から検出することができ、振動板の検出感度を倍増さ
せることができる。また、上述した構成に更に加えて、
振動板７２に対して多重反射をさせることにより、さら
に振動板の検出感度を向上させることができる。

【００２９】図８において示すレーザ・ディジタルマイ
クロホンは、光路２のプリズム７１で反射した反射光を
入射光として反射光をプリズム７に戻す遠方に配置され
た振動板８０を有する。ここで、振動板８０は、干渉計
の光路２から遠方に離した構成にする。このようにする
ことにより、光検出のメリットとしての非接触を生かし
て振動板を遠方に配置することができる。この場合、振
動板は、楽器のそばに配置したり、楽器自体に配置して
楽器を検知することも可能となる。ただし、この場合、
光源の半導体レーザのコヒーレンス長は振動板までの距
離以上あることが必要となる。例えば、単一モードで波
長安定化された，ＤＦＢレーザ等が好ましい。

【００３０】図９において示すレーザ・ディジタルマイ
クロホンは、図１に示した光学系を簡素化したものであ
り、コリメータレンズ２からの平行光を透過光による光
路（１）９１および反射光による光路（２）９２の２つ
の光路に分けると共に、反射した反射光を振動板８の入
射光として振動板８の反射光を戻して、この振動板８の
反射光をさらに透過光による光路および反射光による光
路の２つの光路に分けるＢＳ（ビームスプリッター）プ
リズム９０を有する。ここで、ＢＳプリズム９０での光
路（１）９１の透過光及び光路（２）９２の反射光の干
渉縞を光検出器１１で検出し、ＢＳプリズム９０での光
路（１）９１の反射光及び光路（２）９２の透過光の干
渉縞を光検出器１２で検出するように構成した。この場
合、図１におけるビームスプリッタ３、ミラー６、プリ
ズム７、ミラー９、ビームスプリッタ１０、を一部省略
して、ＢＳプリズム９０にまとめるように構成した。

【００３１】図１０において示すレーザ・ディジタルマ
イクロホンは、図９に示した検知系を簡素化したもので
あり、コリメータレンズ２からの平行光を透過光による
光路（１）９１および反射光による光路（２）９２の２
つの光路に分けると共に、反射した反射光を振動板８の
入射光として振動板８の反射光を戻して、この振動板８
の反射光をＢＳプリズム９０でさらに透過光による光路
および反射光による光路の２つの光路に分けて、ＢＳプ
リズム９０での光路（１）９１の透過光及び光路（２）
９２の反射光の干渉縞を光検出器１１のみで検出するよ
うに構成した。この場合、図１におけるビームスプリッ
タ３、ミラー６、プリズム７、ミラー９、ビームスプリ
ッタ１０、を一部省略して、ＢＳプリズム９０にまとめ
ると共に、さらに、光検出器１１，１２を１個に省略し
てディジタルカウントをＸ軸のみにして、多少精度を落
としても簡易に検出するように構成した。

【００３２】上述のようにすることにより、光による非
接触センシングを行うことができ、振動板の大きさ、軽
さを自由に選ぶことができ、ダイナミックレンジおよび
周波数特性を、従来のダイナミック方式やコンデンサ方
式、等のアナログ方式に対して、無限に近く拡大するこ
とができる。さらに、周波数特性に合わせたマルチ振動
板を構成することにより、その周波数特性領域を非可聴
領域にまで拡大することができる。

【００３３】また、干渉縞のカウントにより、直接ディ
ジタル信号を取り出すことができるため、Ｓ／Ｎが優
れ、極小ノイズ化を実現することができ、微小振動を取
り出すことができるようになる。これにより、マイクロ
ホンからの長いラインの引き回しをしてもノイズ等の影
響をなくすことができる。

【００３４】また、光による検出を行うため、振動板は
離れた場所に設置することができる。例えば遠くに離れ
た楽器の音も、その共鳴板から直接拾うことができる。
また、微小振動を付加するバイアス振動板を設けること
により、さらに検出感度を向上させることができる。

【００３５】このように、本実施の形態のマイクロホン
によりれば、振動検出をディジタル化して、ダイナミッ
クレンジおよび周波数特性を拡げることができるマイク
ロホンを得ることができる。

【００３６】

【発明の効果】この発明のマイクロホン装置は、レーザ
光源から発せられたレーザ光から戻り光の生じない２つ
の光路を形成し、上記２つの光路からのレーザ光の干渉
縞の検出を行う干渉計を構成したマイクロホン装置にお
いて、上記２つの光路のうちの一方の光路、または両方
の光路に振動板からの反射路を設けたことにより、振動
板の配置を自由に選ぶことができ、ダイナミックレンジ
および周波数特性を、従来のダイナミック方式やコンデ
ンサ方式、等のアナログ方式に対して、無限に近く拡大
することができるという効果を奏する。

【００３７】また、この発明のマイクロホン装置は、上
述において、上記干渉縞の検出を２つの光検出器を用い
て行い、上記２つの光検出器の電気信号の位相差がほぼ
９０度になるように設定したので、干渉縞が９０度（１
／４波長）変動する度にカウントすることができ、検出
を容易にすることができるという効果を奏する。

【００３８】また、この発明のマイクロホン装置は、上
述において、上記２つの光検出器の電気信号をそれぞれ
Ｘ、Ｙ信号とし、上記Ｘ、Ｙ信号の相関ある信号のみを
検出し、これらの相関ある信号に対し、干渉縞強度の中
央値をＣＸ、ＣＹとして、ｘ＝Ｘ−ＣＸ、ｙ＝Ｙ−ＣＹ
の演算を行い、これらのｘ、ｙの値が正から負に変わっ
たところでカウントを行う干渉計を有するようにしたの
で、ｘ、ｙの動きを、円周上を運動するリサージュ図形
で検出することができ、検知ポイントは、振動板の変位
に従って、円周上をくるくる回るので、この回転数をカ
ウントすれば、振動板の変位をディジタルで検知するこ
とができるという効果を奏する。

【００３９】また、この発明のマイクロホン装置は、上
述において、上記振動板への入射光路と上記振動板から
の反射光路とをずらすことによりレーザ光への戻り光を
なくすようにした干渉計を有するので、振動板の振動に
よりレーザ光の入射光と反射光との干渉が生じることが
無く、ノイズのない検出を行うことができるという効果
を奏する。

【００４０】また、この発明のマイクロホン装置は、上
述において、上記レーザ光源は半導体レーザであり、上
記半導体レーザの駆動電流を振動板による反射光の検知
の限界周波数より充分に高い周波数で変調をかけるよう
にしたので、直接レーザ光に変調をかけることが可能な
ため、検知精度を向上させることができるという効果を
奏する。

【００４１】また、この発明のマイクロホン装置は、上
述において、上記振動板に微小な低周波強制振動を付与
するようにしたので、微小バイアス振動を常に加えるこ
とにより、振動検出を容易にすることができるという効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態のレーザディジタルマ
イクの基本構成を示す図である。

【図２】この発明の一実施の形態の戻り光を戻さないた
めの振動板（光反射板）での光路を示す図であり、図２
Ａは振動板表面にプリズムを設け、図２Ｂは振動板に対
して入射光に角度を持たせたものである。

【図３】この発明の一実施の形態のリサージュによるデ
ィジタルカウント法を示す図である。

【図４】この発明の一実施の形態のビット精度を上げる
方法を示す図であり、図４Ａは検知軸を増やす方法、図
４Ｂはレーザに変調をかけて検知ポイントをリサージュ
上で振動させてカウント平均で演算する方法である。

【図５】この発明の一実施の形態の振動板に微小バイア
ス振動を与える方法を示す図であり、図５Ａはムービン
グコイルを用いる方法、図５Ｂは微小振動子を用いる方
法である。

【図６】この発明の一実施の形態の他のレーザディジタ
ルマイクの構成を示す図である。

【図７】この発明の一実施の形態の他のレーザディジタ
ルマイクの構成を示す図である。

【図８】この発明の一実施の形態の他のレーザディジタ
ルマイクの構成を示す図である。

【図９】この発明の一実施の形態の他のレーザディジタ
ルマイクの構成を示す図である。

【図１０】この発明の一実施の形態の他のレーザディジ
タルマイクの構成を示す図である。

【符号の説明】

１…半導体レーザ、２…コリメータレンズ、３…ビーム
スプリッタ、４…光路１、５…光路２、６…ミラー、７
…プリズム、８…振動板、９…ミラー、１０…ビームス
プリッタ、１１…光検出器、１２…光検出器、１３…デ
ィジタルカウント器、２０…反射膜、２１…プリズム、
２２…入射光、２３…反射光、２４…入射光、２５…反
射光、３０…検知ポイント、４０…検知ポイント、４１
…検知ポイント、５０…ムービングコイル、５１…振動
子、６０…低音用振動板、６１…プリズム、６２…高音
用振動板、７０…プリズム、７１…プリズム、７２…振
動板、８０…振動板、９０…ＢＳプリズム、９１…光路
１、９２…光路２

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源から発せられたレーザ光から
   戻り光の生じない２つの光路を形成し、上記２つの光路
   からのレーザ光の干渉縞の検出を行う干渉計を構成した
   マイクロホン装置において、 上記２つの光路のうちの一方の光路、または両方の光路
   に振動板からの反射路を設けたことを特徴とするマイク
   ロホン装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のマイクロホン装置におい
   て、 上記干渉縞の検出を２つの光検出器を用いて行い、上記
   ２つの光検出器の電気信号の位相差がほぼ９０度になる
   ように設定したことを特徴とするマイクロホン装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載のマイクロホン装置におい
   て、 上記２つの光検出器の電気信号をそれぞれＸ、Ｙ信号と
   し、上記Ｘ、Ｙ信号の相関ある信号のみを検出し、これ
   らの相関ある信号に対し、干渉縞強度の中央値をＣＸ、
   ＣＹとして、ｘ＝Ｘ−ＣＸ、ｙ＝Ｙ−ＣＹの演算を行
   い、これらのｘ、ｙの値が正から負に変わったところで
   カウントを行う干渉計を有するようにしたことを特徴と
   するマイクロホン装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載のマイクロホン装置におい
   て、 上記振動板への入射光路と上記振動板からの反射光路と
   をずらすことによりレーザ光への戻り光をなくすように
   した干渉計を有することを特徴とするマイクロホン装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１記載のマイクロホン装置におい
   て、 上記レーザ光源は半導体レーザであり、上記半導体レー
   ザの駆動電流を振動板による反射光の検知の限界周波数
   より充分に高い周波数で変調をかけるようにしたことを
   特徴とするマイクロホン装置。
6. 【請求項６】 請求項１記載のマイクロホン装置におい
   て、 上記振動板に微小な低周波強制振動を付与するようにし
   たことを特徴とするマイクロホン装置。