JPH10307005A - Length measuring apparatus - Google Patents
Length measuring apparatusInfo
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- JPH10307005A JPH10307005A JP9117808A JP11780897A JPH10307005A JP H10307005 A JPH10307005 A JP H10307005A JP 9117808 A JP9117808 A JP 9117808A JP 11780897 A JP11780897 A JP 11780897A JP H10307005 A JPH10307005 A JP H10307005A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハに所定の
パターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の原板
や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や座標
の位置などを測定するのに用いられる測長装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an original plate for producing a printed wiring board, an original plate for producing a glass mask for printing a predetermined pattern on a liquid crystal display device or a semiconductor wafer, a printed material requiring high precision, and the like. The present invention relates to a length measuring device used for measuring dimensions, coordinate positions, and the like of a figure.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、プリント配線基板に所定のパター
ンを作成するプリント配線基板作成用の原板などは、別
体のパターン検査装置と測長装置を用いて、例えば、次
のようにして検査されている。2. Description of the Related Art Conventionally, an original plate for forming a printed wiring board for forming a predetermined pattern on a printed wiring board is inspected using a separate pattern inspection apparatus and a length measuring apparatus, for example, as follows. ing.
【0003】まず、被測定物となる原板を『パターン検
査装置』の測定台にセットし、CCDカメラなどの画像
取り込み部と測定台とを移動部により相対移動させ、取
り込んだ画像に基づきパターン検査ユニットにより原板
に形成されたパターンにピンホール、ブリッジ、切れ、
欠け、キズ、汚れ、ホコリなどの欠陥が生じていないか
を検査する。そして、上記のような欠陥がある場合に
は、その座標を記憶するとともにマーカーによりその箇
所にマーキングを施す。修正可能な欠陥であれば修正を
施して再びパターン検査を行い、修正不可能な欠陥であ
ればその原板を廃棄する。First, an original plate to be measured is set on a measuring table of a "pattern inspection apparatus", and an image capturing unit such as a CCD camera and a measuring table are relatively moved by a moving unit, and a pattern inspection is performed based on the captured image. Pinholes, bridges, cuts, and patterns formed on the original plate by the unit
Inspect for defects such as chips, scratches, dirt, and dust. If there is a defect as described above, the coordinates are stored and a marker is used to mark the location. If the defect can be corrected, the pattern is corrected and the pattern inspection is performed again. If the defect cannot be corrected, the original plate is discarded.
【0004】次いで、上記のパターン検査により良品と
なった原板のみを『測長装置』の測定台にセットし、C
CDカメラなどの画像取り込み部と測定台とを移動部に
より相対移動させ、取り込んだ画像に基づいて原板に形
成されたパターンの寸法やパターンの座標などを測長ユ
ニットにより計測し、設計値の許容誤差内に収まってい
るか否か等を検査する。[0004] Then, only the original plate which has become a non-defective product by the above pattern inspection is set on a measuring table of a "length measuring device", and C
The image capturing unit such as a CD camera and the measuring table are relatively moved by the moving unit, and based on the captured image, the dimensions and pattern coordinates of the pattern formed on the original plate are measured by the length measuring unit, and the design value is allowed. It checks whether it is within the error.
【0005】そして、良品となった原板だけを用いて基
板に所定のパターンを形成し、プリント配線基板を作成
するようになっている。[0005] Then, a predetermined pattern is formed on a substrate by using only a non-defective original plate to produce a printed wiring board.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、パターン検査と測長のためにそれぞれ別体の『パタ
ーン検査装置』と『測長装置』を用いる必要があるの
で、装置2台分の設置スペースが必要となるとともに、
検査を行うには装置2台分の購入費用が必要となって初
期投資が大きくなる。However, in the case of such a conventional example, there are the following problems. That is, since it is necessary to use separate “pattern inspection devices” and “length measurement devices” for pattern inspection and length measurement, respectively, an installation space for two devices is required,
Inspection requires the purchase cost of two devices, and the initial investment is large.
【0007】また、装置に原板をセットする作業を2回
行う必要があるので、一連の検査を完了するまでの作業
が煩雑となるとともに検査時間が長くなるという問題点
がある。Further, since the work of setting the original plate in the apparatus needs to be performed twice, there is a problem that the work until the series of inspections is completed becomes complicated and the inspection time becomes long.
【0008】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、パターン検査と測長の機能を備えるこ
とにより、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、
検査の手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる測長
装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and by providing the functions of pattern inspection and length measurement, installation space and initial investment can be reduced.
It is an object of the present invention to provide a length measuring device that can simplify inspection work and shorten inspection time.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の測長装置は、被測定物を載置する
測定台と、前記測定台に載置された被測定物を照明する
照明手段と、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込
み手段と、前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と
前記画像取り込み手段とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、
前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づい
て前記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニット
と、前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を
検査した結果および前記測長ユニットによって前記被測
定物を測長した結果を出力する出力手段と、を備えてい
ることを特徴とするものである。The present invention has the following configuration in order to achieve the above object. That is, the length measuring device according to claim 1 captures an image of the measurement object, a measurement table on which the measurement object is mounted, illumination means for illuminating the measurement object mounted on the measurement table. Image capturing means, moving means for relatively moving the object to be measured and the image capturing means in a plane parallel to the measuring table,
A relative position of the object to be measured by the moving unit, and a pattern inspection unit that inspects a pattern of the object to be measured based on an image captured through the image capturing unit; Move,
A length measuring unit that measures dimensions and coordinates of the object to be measured based on an image captured through the image capturing unit; a result of inspecting the object to be measured by the pattern inspection unit; And output means for outputting a result of measuring the length of the measurement object.
【0010】また、請求項2に記載の測長装置は、請求
項1に記載の測長装置において、前記照明手段を、パタ
ーン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
と、前記被測定物に光を導く光ファイバーと、前記間欠
発光手段または前記定常発光手段のいずれか一方の光を
前記光ファイバーに選択的に導く光選択手段とから構成
したことを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, in the length measuring apparatus according to the first aspect, the illuminating means includes an intermittent light emitting means for pattern inspection, a constant light emitting means for length measuring, An optical fiber for guiding light to the object to be measured, and a light selecting means for selectively guiding one of the intermittent light emitting means and the steady light emitting means to the optical fiber.
【0011】また、請求項3に記載の測長装置は、請求
項1または請求項2に記載の測長装置において、前記画
像取り込み手段を前記測定台の上方に配設し、前記照明
手段を前記測定台の下方に配設したことを特徴とするも
のである。According to a third aspect of the present invention, in the length measuring device according to the first or second aspect, the image capturing means is disposed above the measuring table, and the illuminating means is provided. It is characterized by being arranged below the measuring table.
【0012】また、請求項4に記載の測長装置は、請求
項1ないし請求項3に記載の測長装置において、前記パ
ターン検査ユニットによる検査結果に基づいて、前記被
測定物上の欠陥箇所にマーキングを行うマーキング機構
をさらに備えていることを特徴とするものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the length measuring apparatus according to any one of the first to third aspects, based on an inspection result by the pattern inspection unit, a defective portion on the workpiece is measured. The apparatus further comprises a marking mechanism for performing marking.
【0013】[0013]
【作用】請求項1に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。被測定物を測定台に載置して被測定物を照明手段に
より照明し、移動手段により画像取り込み手段と被測定
物とを相対移動させて被測定物の画像を取り込む。取り
込んだ画像に基づきパターン検査ユニットによりパター
ンを検査して、その結果を出力手段に出力する。また、
被測定物を測定台に載置したまま相対移動により画像取
り込み手段と被測定物とを相対移動させて、被測定物の
画像を取り込み、測長ユニットにより被測定物の寸法や
座標を測定して出力手段に結果を出力する。このように
測定台、照明手段、画像取り込み手段、移動手段、出力
手段をパターン検査ユニットと測長ユニットで共用して
いるので、装置を小型化できてコストを低減できる。ま
た、測定台への被測定物のセットが一度で済むので、被
測定物の段取り替えが不要となる。The operation of the first aspect of the invention is as follows. The object to be measured is placed on the measuring table, the object to be measured is illuminated by the illuminating means, and the image capturing means and the object to be measured are relatively moved by the moving means to capture the image of the object to be measured. The pattern is inspected by the pattern inspection unit based on the captured image, and the result is output to the output means. Also,
The image capturing means and the object to be measured are relatively moved by relative movement while the object to be measured is mounted on the measuring table, the image of the object to be measured is captured, and the dimensions and coordinates of the object to be measured are measured by the length measuring unit. And outputs the result to the output means. As described above, since the measuring table, the illuminating means, the image capturing means, the moving means, and the output means are shared by the pattern inspection unit and the length measuring unit, the size of the apparatus can be reduced and the cost can be reduced. In addition, the setting of the object to be measured on the measuring table only needs to be performed once, so that there is no need to change the setup of the object to be measured.
【0014】また、請求項2に記載の発明によれば、パ
ターン検査用の間欠発光手段と、測長用の定常発光手段
とを光選択手段により選択的に光ファイバーに導くよう
に照明手段を構成しているので、パターン検査処理時と
測長処理時に適切な照明を選択できる。According to the second aspect of the present invention, the illuminating means is configured so that the intermittent light emitting means for pattern inspection and the steady light emitting means for length measurement are selectively guided to the optical fiber by the light selecting means. Therefore, an appropriate illumination can be selected during the pattern inspection processing and the length measurement processing.
【0015】また、請求項3に記載の発明によれば、画
像取り込み手段を測定台の上方に、照明手段を測定台の
下方に備えているので、プリント配線基板作成用のフィ
ルム原板などの光透過性の被測定物を適切に検査するこ
とができる。According to the third aspect of the present invention, since the image capturing means is provided above the measuring table and the illuminating means is provided below the measuring table, light such as a film original for producing a printed circuit board is provided. The transparent object to be measured can be appropriately inspected.
【0016】また、請求項4に記載の発明によれば、マ
ーキング機構により欠陥箇所にマーキングを施すので、
検査後の被測定物を見るだけで欠陥の有無や規模を容易
に知ることができる。According to the fourth aspect of the present invention, the defect is marked by the marking mechanism.
The presence or absence and size of a defect can be easily known only by looking at the test object after inspection.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図1は実施例に係る測長装置の概略
構成を示す外観斜視図であり、図2は移動手段の概略構
成を示す斜視図であり、図3は画像取り込み手段の概略
構成を示す斜視図である。また、図4は、装置のブロッ
ク図を示す。なお、以下の説明においては、プリント配
線基板作成用の原板や印刷物等を被測定物と称する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an external perspective view showing a schematic configuration of a length measuring device according to an embodiment, FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of a moving unit, and FIG. 3 is a perspective view showing a schematic configuration of an image capturing unit. is there. FIG. 4 shows a block diagram of the apparatus. In the following description, an original plate or a printed material for producing a printed wiring board is referred to as an object to be measured.
【0018】ガラスなどの光透過性材料で平板状に形成
され、被測定物Wを載置する測定台1は、装置を操作す
るための各種スイッチを含む操作パネル3を前面に備え
た装置筐体5の上面に水平姿勢で配設されている。測定
台1の上方には、画像取り込み手段7がX方向駆動架台
9を介して取り付けられており、図2に示すように画像
取り込み手段駆動ループ10によりX方向に移動される
ようになっている。また、X方向駆動架台9は、装置筐
体5の上面に内蔵されたY方向駆動部11により画像取
り込み手段7ごとY方向に移動されるようになってお
り、測定台1に平行なX−Y平面内で画像取り込み手段
7を移動するようになっている。なお、上記の画像取り
込み手段駆動ループ10とY方向駆動部11とが本発明
の移動手段に相当する。A measuring table 1 made of a light-transmitting material such as glass and having a plate-like shape on which an object to be measured W is placed has an operation panel 3 including various switches for operating the apparatus. It is arranged on the upper surface of the body 5 in a horizontal posture. Above the measuring table 1, an image capturing means 7 is mounted via an X-direction driving base 9, and is moved in the X direction by an image capturing means driving loop 10 as shown in FIG. . The X-direction drive base 9 is moved in the Y-direction together with the image capturing means 7 by a Y-direction drive unit 11 built in the upper surface of the apparatus housing 5. The image capturing means 7 is moved within the Y plane. Note that the above-described image capturing unit driving loop 10 and Y-direction driving unit 11 correspond to the moving unit of the present invention.
【0019】測定台1の下方には、上記画像取り込み手
段7に対向する位置に反射鏡13aを有する投光部13
が配設されている。この投光部13には、図4に示すよ
うに光ファイバー15を介して2分岐型ライトガイド1
7が接続されており、2分岐型ライトガイド17には、
測長用に定常発光するハロゲンランプ19と、パターン
検査用に間欠発光するXeランプ(キセノンランプ)2
1とが接続されている。このXeランプ21の間欠発光
動作は、Xeランプコントローラ23によって制御され
るようになっている。なお、投光部13が本発明の照明
手段に相当し、ハロゲンランプ19が定常発光手段に相
当し、Xeランプ21とXeランプコントローラ23が
間欠発光手段に相当する。Below the measuring table 1, a light projecting unit 13 having a reflecting mirror 13a at a position facing the image capturing means 7 is provided.
Are arranged. As shown in FIG. 4, the light projecting section 13 has a two-branch light guide 1 via an optical fiber 15.
7 is connected to the two-branch light guide 17,
Halogen lamp 19 that emits steady light for length measurement, and Xe lamp (xenon lamp) 2 that emits light intermittently for pattern inspection
1 are connected. The intermittent light emission operation of the Xe lamp 21 is controlled by the Xe lamp controller 23. Note that the light projecting unit 13 corresponds to the illuminating means of the present invention, the halogen lamp 19 corresponds to the steady light emitting means, and the Xe lamp 21 and the Xe lamp controller 23 correspond to the intermittent light emitting means.
【0020】投光部13は、図2に示すように、測定台
1の周囲を囲むようにしてループを形成する投光部駆動
ループ25の下側一部位に連動連結されており、この投
光部駆動ループ25の上側一部位は係合金具26により
画像取り込み手段駆動ループ10の下側に連動連結され
ている。したがって、画像取り込み手段7が矢印A方向
に移動すれば、係合金具26により画像取り込み手段駆
動ループ10の下側に係合している投光部駆動ループ2
5の上部はその反対方向に移動し、その結果、投光部1
3は矢印Aと同方向に同じ距離だけ移動することにな
り、常に画像取り込み手段7と投光部13とが測定台1
を挟んで対向した状態で移動することになる。As shown in FIG. 2, the light projecting unit 13 is operatively connected to a lower part of a light projecting unit driving loop 25 which forms a loop so as to surround the measuring table 1. An upper part of the drive loop 25 is operatively connected to a lower side of the image capturing means drive loop 10 by an engagement fitting 26. Therefore, when the image capturing means 7 moves in the direction of arrow A, the light projecting section driving loop 2 engaged with the lower side of the image capturing means driving loop 10 by the engagement fitting 26.
5 moves in the opposite direction.
3 moves by the same distance in the same direction as the arrow A, and the image capturing means 7 and the light projecting unit 13 are always
Will move in a state of facing each other.
【0021】画像取り込み手段7は、図3に示すよう
に、対物レンズを含む鏡筒部27の上部にCCDカメラ
29を備えるとともに、その下部にリング状の反射照明
部31を備えている。なお、この反射照明部31は、光
ファイバー31a(図1)を介して図示しない光源に接
続されている。さらに、反射照明部31の外周部の2箇
所には、マーカーMを鉛直方向に沿って進退自在に収納
したマーキング機構33が配設されている。マーキング
機構33は、マーカーコントローラ35によって制御さ
れるようになっており、そこからの制御信号によって図
3中に二点鎖線で示すように一方のマーカーMの下端部
を被測定物Wに接触させ、欠陥箇所にマーキングを施す
ようになっている。As shown in FIG. 3, the image capturing means 7 has a CCD camera 29 at an upper portion of a lens barrel 27 including an objective lens, and has a ring-shaped reflection illuminator 31 at a lower portion thereof. The reflection illuminator 31 is connected to a light source (not shown) via an optical fiber 31a (FIG. 1). Further, at two positions on the outer peripheral portion of the reflection illumination section 31, there are provided marking mechanisms 33 in which the markers M are stored so as to be able to advance and retreat in the vertical direction. The marking mechanism 33 is controlled by a marker controller 35, and the lower end of one of the markers M is brought into contact with the workpiece W as indicated by a two-dot chain line in FIG. In addition, marking is applied to a defective portion.
【0022】CCDカメラ29からの画像信号は、分配
器37に出力されて2つに分離され、一方は測長ユニッ
トU1 の画像取り込み部39に出力され、他方はパター
ン検査ユニットU2の画像検査部41に出力される。測
長ユニットU1を構成している制御部43は、後述する
各部を制御するとともに、パターン検査ユニットU2
(Xeランプコントローラ23、マーカーコントローラ
35、画像検査部41)も制御するものである。An image signal from the CCD camera 29 is output to a distributor 37 and separated into two signals. One is output to an image capturing unit 39 of the length measuring unit U1, and the other is an image inspecting unit of the pattern inspection unit U2. It is output to 41. The control unit 43 constituting the length measuring unit U1 controls each unit described later, and also controls the pattern inspection unit U2.
(Xe lamp controller 23, marker controller 35, image inspection unit 41) are also controlled.
【0023】測長ユニットU1は、上述した操作パネル
3と画像取り込み部39の他に、上述した投光部駆動ル
ープ25を駆動して画像取り込み手段駆動ループ10を
介して画像取り込み手段7をX方向に移動させるX軸サ
ーボモータ45a及びY方向駆動部11を駆動してX方
向駆動架台9をY方向に移動させるY軸サーボモータ4
5bを、制御部43の制御信号に基づき制御するサーボ
モータコントローラ47と、これらX軸/Y軸サーボモ
ータ45a,45bの回転量に応じた移動距離を検出す
るエンコーダ49と、このエンコーダ49が検出した移
動距離に基づいて画像取り込み手段7が取り込む視野内
の特定位置の座標を読み取る座標読み取り部51と、画
像取り込み手段7の視野内の画像を出力するとともに、
パターン検査処理および測長処理の結果などを出力する
CRT53とを含むものである。The length measuring unit U1 drives the above-mentioned light projecting unit drive loop 25 in addition to the above-mentioned operation panel 3 and image take-in unit 39, and drives the image take-in unit 7 through the image take-up unit drive loop 10 to X. X-axis servo motor 45a for moving in the X-direction and Y-axis servo motor 4 for driving the Y-direction drive unit 11 to move the X-direction drive base 9 in the Y direction.
5b is controlled based on a control signal from the controller 43, an encoder 49 for detecting a moving distance corresponding to the rotation amount of the X-axis / Y-axis servomotors 45a and 45b, and an encoder 49 for detecting A coordinate reading unit 51 that reads the coordinates of a specific position in the visual field captured by the image capturing unit 7 based on the moving distance, and outputs an image within the visual field of the image capturing unit 7;
And a CRT 53 that outputs the results of the pattern inspection process and the length measurement process.
【0024】なお、上述したハロゲンランプ19による
測長用の定常発光と、Xeランプ21とXeランプコン
トローラ23による間欠発光とは、オペレータが操作パ
ネル3から指示した検査処理内容に応じて制御部43に
よって選択される。つまり、測長処理が指示された場合
には、ハロゲンランプ19を制御して定常発光により被
測定物Wを照明し、パターン検査処理が指示された場合
には、画像検査部41を介してXeランプコントローラ
23を制御して間欠発光により被測定物Wを照明するよ
うになっている。したがって、制御部43により2分岐
型ライトガイド17に入射される光が選択されるので、
制御部43が本発明の光選択手段に相当する。The constant light emission for length measurement by the halogen lamp 19 and the intermittent light emission by the Xe lamp 21 and the Xe lamp controller 23 are controlled by the control unit 43 in accordance with the inspection processing contents instructed by the operator from the operation panel 3. Selected by. In other words, when the length measurement process is instructed, the halogen lamp 19 is controlled to illuminate the object to be measured W by steady light emission, and when the pattern inspection process is instructed, the Xe is transmitted through the image inspection unit 41. By controlling the lamp controller 23, the device under test W is illuminated by intermittent light emission. Therefore, the light incident on the two-branch light guide 17 is selected by the control unit 43,
The control unit 43 corresponds to the light selection unit of the present invention.
【0025】なお、制御部43は、検査内容が測長処理
である場合に限り、オペレータによる操作パネル3から
の指示に基づいて、ハロゲンランプ19と投光部13に
よる下方からの照明のみと、反射照明部31による上方
からの照明のみと、これらを組み合わせた上下方向から
の照明とを切り換えることができるようになっている。The control unit 43 controls only the illumination from below by the halogen lamp 19 and the light projecting unit 13 based on the instruction from the operation panel 3 by the operator only when the inspection content is the length measurement process. It is possible to switch between illumination only from above by the reflective illumination unit 31 and illumination from above and below by combining them.
【0026】次に、図5のフローチャートを参照しつつ
上述した構成の装置によるパターン検査処理と測長処理
による一連の処理について説明する。なお、以下の説明
においては、先にパターン検査処理を行い、次いで測長
処理を行う場合を例に採って説明するが、検査処理の順
序に関してはその逆であってもよい。また、以下の説明
では、プログラムに従って自動的に測定を行うようにし
ているが、プログラムを使用せず、オペレータが逐次に
測定箇所を指示する手動方式であってもこの装置で検査
測定が可能であることは言うまでもない。Next, a series of processing by pattern inspection processing and length measurement processing by the above-described apparatus will be described with reference to the flowchart of FIG. In the following description, a case where the pattern inspection process is performed first and then the length measurement process is performed will be described as an example, but the order of the inspection process may be reversed. In the following description, measurement is automatically performed according to a program. However, even if a manual method in which an operator sequentially designates measurement points without using a program is used, inspection and measurement can be performed with this apparatus. Needless to say, there is.
【0027】ステップS1(被測定物のセット) 被測定物Wを測定台1の上面にセットする。例えば、測
定台1の特定箇所に描かれている基準線に沿って被測定
物Wを載置する。Step S1 (setting of the object to be measured) The object to be measured W is set on the upper surface of the measuring table 1. For example, the device under test W is placed along a reference line drawn at a specific location on the measuring table 1.
【0028】ステップS2(パターン検査方法の指示) 次いで、オペレータは操作パネル3を介して、被測定物
Wのパターン検査処理に応じて予め作成・記憶されてい
るプログラムを選択したり、必要であれば取り込む画像
の種類(ネガ/ポジ)やその白/黒の閾値などのパラメ
ータを指示する。または、操作パネル3を介して画像取
り込み手段7を適宜の位置に移動させつつパターン検査
用処理プログラムを新規作成/一部変更したり、検査開
始位置を指定するなどの検査方法を指示する。Step S2 (Instruction of Pattern Inspection Method) Next, the operator selects a program created and stored in advance through the operation panel 3 in accordance with the pattern inspection processing of the workpiece W, or if necessary. For example, the user designates parameters such as the type of image to be captured (negative / positive) and its white / black threshold value. Alternatively, the user instructs an inspection method such as newly creating / partially changing the pattern inspection processing program or designating the inspection start position while moving the image capturing means 7 to an appropriate position via the operation panel 3.
【0029】ステップS3(パターン検査処理) オペレータが操作パネル3を介してパターン検査処理の
開始を指示すると、制御部43は上記のステップS2で
指示したプログラムを含むパターン検査方法に基づい
て、パターン検査ユニットU2に処理の開始を指示す
る。制御部43は、上述したサーボモータコントローラ
47を介してX軸/Y軸サーボモータ45a,45bを
制御し、座標読み取り部51からの座標を読み取りつ
つ、画像取り込み手段7をプログラムに応じた位置に自
動的に移動させる。画像取り込み手段7は、投光部13
から照射されるXeランプ21の間欠照射光により照明
された被測定物Wのパターン画像を取り込み、画像信号
を画像検査部41に出力する。画像検査部41は、プロ
グラムに応じた画像処理をパターンの画像信号に対して
施し、その画像に基づいてパターンの良否を自動的に判
断する。なお、パターン検査の結果、不良であると判断
された特定箇所の座標は、画像検査部41に内蔵されて
いる図示しないメモリに記憶されるとともに、マーカー
機構33によってその位置にマーキングが行われる。Step S3 (Pattern Inspection Processing) When the operator instructs the start of the pattern inspection processing via the operation panel 3, the control unit 43 performs the pattern inspection based on the pattern inspection method including the program instructed in step S2. The unit U2 is instructed to start processing. The control unit 43 controls the X-axis / Y-axis servo motors 45a and 45b via the servo motor controller 47 described above, and reads the coordinates from the coordinate reading unit 51 while moving the image capturing unit 7 to a position corresponding to the program. Move automatically. The image capturing means 7 includes a light emitting unit 13
It captures the pattern image of the device under test W illuminated by the intermittent irradiation light of the Xe lamp 21 radiated from the Xe lamp 21, and outputs an image signal to the image inspection unit 41. The image inspection unit 41 performs image processing according to the program on the image signal of the pattern, and automatically determines the quality of the pattern based on the image. As a result of the pattern inspection, the coordinates of the specific portion determined to be defective are stored in a memory (not shown) built in the image inspection unit 41, and the marker mechanism 33 marks the position.
【0030】ステップS4(結果表示) パターン検査処理が終了すると、その結果は画像検査部
41から制御部43に出力され、制御部43から所定の
フォーマットでCRT53に出力される。オペレータ
は、この結果表示を見て、あるいは被測定物Wに施され
たマーキングを見て、続けて測長処理を行うか否かを判
断する。ここでは、被測定物Wのパターンに欠陥がな
く、続けて測長処理を行うものとして説明する。Step S4 (Result Display) When the pattern inspection process is completed, the result is output from the image inspection unit 41 to the control unit 43, and is output from the control unit 43 to the CRT 53 in a predetermined format. The operator looks at the result display, or looks at the marking on the DUT W, and determines whether or not to perform the length measurement process. Here, the description will be made on the assumption that there is no defect in the pattern of the object to be measured W and the length measurement processing is continuously performed.
【0031】ステップS5(測長方法の指示) 次いで、オペレータは被測定物Wを測定台1から取り外
すことなくそのまま操作パネル3を介して、被測定物W
の測長処理に応じて予め作成・記憶されているプログラ
ムを選択したり、必要であれば下方のみ/上方のみ/上
下の照明方式を指示し、また、操作パネル3を介して画
像取り込み手段7を適宜の位置に移動させつつ新たに測
長箇所を指示したり、検査開始位置を指定するなどの検
査方法を指示する。なお、この時点では、Xeランプ2
1への供給電力は遮断されており、代わりにハロゲンラ
ンプ19に電力が供給されている。Step S5 (Instruction of Length Measurement Method) Next, the operator does not remove the object W from the
A program created and stored in advance is selected in accordance with the length measurement processing, and if necessary, a lower-only / upper-only / upper / lower illumination method is designated. Is moved to an appropriate position, a new measurement position is specified, and an inspection method such as specifying an inspection start position is specified. At this point, the Xe lamp 2
The power supply to 1 is shut off, and power is supplied to the halogen lamp 19 instead.
【0032】ステップS6(測長処理) 指示された測長方法にしたがって、制御部43が画像取
り込み手段7を移動させつつ投光部13または/および
反射照射部31により照明されている被測定物Wの特定
箇所に形成されているパターンの寸法や座標を自動的に
測定する。Step S6 (Length measurement processing) In accordance with the length measurement method instructed, the control unit 43 moves the image capturing means 7 and illuminates the object to be measured illuminated by the light projecting unit 13 and / or the reflection irradiating unit 31. The dimensions and coordinates of the pattern formed at a specific portion of W are automatically measured.
【0033】ステップS7(結果表示) 測定結果は、制御部43から所定のフォーマットで成形
されてCRT53に出力される。オペレータは、この結
果表示を見て被測定物Wが不良か否かを判断する。な
お、プログラムによっては、予め設定されている正常値
と比較して、良/不良だけをCRT53に出力すること
も可能である。Step S7 (Result Display) The measurement result is formed into a predetermined format by the control unit 43 and output to the CRT 53. The operator determines whether or not the measured object W is defective by looking at the result display. Note that, depending on the program, it is possible to output only good / bad data to the CRT 53 by comparing with a preset normal value.
【0034】上述したように測長装置にパターン検査ユ
ニットを内蔵したことにより、測定台1、画像取り込み
手段7、X軸/Y軸サーボモータ45a,45bなどを
含む移動手段、CRT53を測長ユニットU1とパター
ン検査ユニットU2で共用できるので、装置を小型化で
きるとともにコストを低減できる。したがって、装置の
設置スペースを小さくできるとともに装置の購入費用を
大幅に低減することができる。As described above, by incorporating the pattern inspection unit in the length measuring apparatus, the measuring table 1, the image taking means 7, the moving means including the X-axis / Y-axis servo motors 45a and 45b, and the CRT 53 are combined with the length measuring unit. Since U1 and the pattern inspection unit U2 can be shared, the size of the apparatus can be reduced and the cost can be reduced. Therefore, the installation space for the device can be reduced, and the purchase cost of the device can be significantly reduced.
【0035】また、パターン検査と測長とを同じ装置で
行うことができるので、測定台1への被測定物Wのセッ
トが一度で済み、被測定物Wの段取り替えが不要とな
る。したがって、検査の手間が簡単化でき、検査時間を
短縮化することができる。さらに、段取り替えに起因し
て被測定物Wの位置が微妙にずれるような不都合も防止
できるので、検査精度の向上が期待できる。Further, since the pattern inspection and the length measurement can be performed by the same apparatus, the workpiece W can be set on the measuring table 1 only once, and the setup of the workpiece W is not required. Therefore, the labor of the inspection can be simplified, and the inspection time can be shortened. Furthermore, since the inconvenience that the position of the workpiece W is slightly shifted due to the setup change can be prevented, improvement in inspection accuracy can be expected.
【0036】なお、上記の説明では、パターン検査の後
に測長を行うようにしたが、ある箇所のパターン検査を
行った後にその箇所の測長を行い、他の箇所に移動した
後に同様にパターン検査/測長を行うように、パターン
検査と測長とを並行して同時に実行することも可能であ
る。このように並行して二つの処理を行うようにする
と、さらなる検査時間の短縮化が期待できる。In the above description, the length measurement is performed after the pattern inspection. However, after the pattern inspection of a certain location is performed, the length measurement of the location is performed, and after moving to another location, the pattern is similarly measured. It is also possible to execute the pattern inspection and the length measurement simultaneously in parallel, as in the case of performing the inspection / length measurement. If the two processes are performed in parallel in this way, it is expected that the inspection time will be further reduced.
【0037】また、上述したように画像取り込み手段7
を移動させることなく、被測定物Wを載置した測定台1
を移動させるように構成してもよい。また、測定台1
は、水平である必要はなく、傾斜させてもまた垂直に立
てて配置してもよい。Further, as described above, the image capturing means 7
Measuring table 1 on which workpiece W is placed without moving
May be moved. Measurement table 1
Does not need to be horizontal, and may be inclined or arranged upright.
【0038】また、投光部13により画像取り込み手段
7に対向した位置のみを照明するように構成したが、測
定台1の全面を照明するようにしてもよい。この場合に
は、上述した投光部駆動ループ25が不要となるので、
駆動系を簡略化することができる。Although the light projecting section 13 illuminates only the position facing the image capturing means 7, the entire surface of the measuring table 1 may be illuminated. In this case, since the above-described light projecting unit driving loop 25 becomes unnecessary,
The drive system can be simplified.
【0039】また、上記の構成では、マーキング機構3
3により、パターン検査処理の結果に基づいて被測定物
の欠陥箇所にマーキングを施すようにしたが、欠陥箇所
の座標を記憶するだけでマーキングが不要である場合に
は、マーキング機構33を設ける必要はない。In the above configuration, the marking mechanism 3
According to 3, the marking is performed on the defect location of the object to be measured based on the result of the pattern inspection processing. However, when the marking of the defect location is only required and the marking is unnecessary, the marking mechanism 33 needs to be provided. There is no.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の発明によれば、測定台、照明手段、画像取り
込み手段、移動手段、出力手段をパターン検査ユニット
と測長ユニットで共用しているので、装置を小型化でき
てコストを低減できる。したがって、装置の設置スペー
スを小さくできるとともに装置の購入費用を低減でき
る。As is apparent from the above description, according to the first aspect of the present invention, the measuring table, the illuminating means, the image capturing means, the moving means and the output means are shared by the pattern inspection unit and the length measuring unit. Therefore, the size of the apparatus can be reduced and the cost can be reduced. Therefore, the installation space of the device can be reduced, and the purchase cost of the device can be reduced.
【0041】また、測定台への被測定物のセットが一度
で済み、被測定物の段取り替えが不要となる。したがっ
て、検査の手間が簡単化でき、検査時間を短縮化するこ
とができる。さらに、段取り替えに起因して被測定物の
位置が微妙にずれるような不都合も防止できるので、検
査精度を向上させることができる。Further, only one setting of the object to be measured on the measuring table is required, and it is not necessary to change the setup of the object to be measured. Therefore, the labor of the inspection can be simplified, and the inspection time can be shortened. Further, it is possible to prevent the inconvenience that the position of the object to be measured is slightly shifted due to the setup change, so that the inspection accuracy can be improved.
【0042】また、パターン検査と測長とを並行して同
時に実行することも可能なため、さらなる検査時間の短
縮化も期待できる。Further, since the pattern inspection and the length measurement can be performed simultaneously in parallel, it is expected that the inspection time can be further reduced.
【0043】請求項2に記載の発明によれば、パターン
検査処理時と測長処理時に適切な照明を選択できるの
で、それぞれの処理を好適に行うことができる。According to the second aspect of the present invention, an appropriate illumination can be selected at the time of the pattern inspection processing and the length measurement processing, so that each processing can be suitably performed.
【0044】また、請求項3に記載の発明によれば、被
測定物の下方から照明してその上方から画像を取り込む
ので、特にプリント配線基板作成用のフィルム原板など
の光透過性の被測定物を適切に検査することができる。According to the third aspect of the present invention, since an object to be measured is illuminated from below and an image is taken in from above, an optically transmissible object to be measured, such as a film base plate for producing a printed circuit board, is used. Objects can be inspected appropriately.
【0045】また、請求項4に記載の発明によれば、マ
ーキングを施すことによって検査後の被測定物を見るだ
けで欠陥の有無や規模を容易に知ることができる。According to the fourth aspect of the present invention, the presence or absence and the size of a defect can be easily known only by looking at the object to be measured after the marking is performed.
【図1】実施例に係る測長装置の概略構成を示す外観斜
視図である。FIG. 1 is an external perspective view illustrating a schematic configuration of a length measuring device according to an embodiment.
【図2】移動手段の概略構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of a moving unit.
【図3】画像取り込み手段の概略構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of an image capturing unit.
【図4】装置のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of the device.
【図5】実施例装置の動作の一例を示すフローチャート
である。FIG. 5 is a flowchart illustrating an example of an operation of the embodiment device.
W … 被測定物 1 … 測定台 7 … 画像取り込み手段 9 … X方向駆動架台 10 … 画像取り込み手段駆動ループ(移動手段) 11 … Y方向駆動部(移動手段) 13 … 投光部(照明手段) 19 … ハロゲンランプ(定常発光手段) 21 … Xeランプ(間欠発光手段) 23 … Xeランプコントローラ(間欠発光手段) 33 … マーキング機構 43 … 制御部(光選択手段) U1 … 測長ユニット U2 … パターン検査ユニット W: object to be measured 1: measuring table 7: image capturing means 9: X-direction driving gantry 10: image capturing means driving loop (moving means) 11: Y-direction driving section (moving means) 13: light emitting section (illuminating means) 19 ... Halogen lamp (steady light emitting means) 21 ... Xe lamp (intermittent light emitting means) 23 ... Xe lamp controller (intermittent light emitting means) 33 ... marking mechanism 43 ... control unit (light selecting means) U1 ... length measuring unit U2 ... pattern inspection unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 浩 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者 鈴木 克明 京都府京都市伏見区羽束師古川町322 大 日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Hiroshi Yamashita, Inventor Hiroshi Yamashita 322, Fushimi-ku, Kyoto, Kyoto Prefecture Nippon Screen Manufacturing Co., Ltd. 322 Dai Nippon Screen Manufacturing Co., Ltd.
Claims (4)
と、 前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手段と、 前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と前記画像取
り込み手段とを相対移動させる移動手段と、 前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニット
と、 前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記
画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前
記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニットと、 前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を検査
した結果および前記測長ユニットによって前記被測定物
を測長した結果を出力する出力手段と、 を備えていることを特徴とする測長装置。A measuring table on which the object to be measured is mounted; an illumination unit for illuminating the object to be measured mounted on the measuring table; an image capturing unit for capturing an image of the object to be measured; Moving means for relatively moving the object to be measured and the image capturing means in a plane parallel to and moving the object to be measured relative to the moving means, based on an image captured via the image capturing means. A pattern inspection unit for inspecting a pattern of the object to be measured, and a relative movement of the object to be measured by the moving unit, and measuring a size and coordinates of the object to be measured based on an image captured through the image capturing unit. An output unit for outputting a result of inspecting the object to be measured by the pattern inspection unit and a result of measuring the object to be measured by the length measuring unit. A length measuring device comprising: a step;
記照明手段を、パターン検査用の間欠発光手段と、測長
用の定常発光手段と、前記被測定物に光を導く光ファイ
バーと、前記間欠発光手段または前記定常発光手段のい
ずれか一方の光を前記光ファイバーに選択的に導く光選
択手段とから構成したことを特徴とする測長装置。2. The length measuring device according to claim 1, wherein the illuminating means includes an intermittent light emitting means for pattern inspection, a steady light emitting means for length measurement, and an optical fiber for guiding light to the object to be measured. A length measuring device comprising: a light selecting means for selectively guiding one of the intermittent light emitting means and the steady light emitting means to the optical fiber.
置において、前記画像取り込み手段を前記測定台の上方
に配設し、前記照明手段を前記測定台の下方に配設した
ことを特徴とする測長装置。3. The length measuring device according to claim 1, wherein said image capturing means is arranged above said measuring table, and said illuminating means is arranged below said measuring table. Characteristic length measuring device.
置において、前記パターン検査ユニットによる検査結果
に基づいて、前記被測定物上の欠陥箇所にマーキングを
行うマーキング機構をさらに備えていることを特徴とす
る測長装置。4. The length measuring device according to claim 1, further comprising a marking mechanism for marking a defect location on the measured object based on an inspection result by the pattern inspection unit. A length measuring device characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9117808A JPH10307005A (en) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | Length measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9117808A JPH10307005A (en) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | Length measuring apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10307005A true JPH10307005A (en) | 1998-11-17 |
Family
ID=14720789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9117808A Abandoned JPH10307005A (en) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | Length measuring apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10307005A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100360896C (en) * | 2003-07-21 | 2008-01-09 | 立融仪器贸易有限公司 | Workpiece measuring method and device |
JP2009074931A (en) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sokkia Topcon Co Ltd | Two-dimensional coordinate measuring machine |
Citations (3)
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JPS63286752A (en) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Toshiba Mach Co Ltd | Defect inspecting or dimension measuring method for pattern |
JPH0587544A (en) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Toshiba Corp | Inspecting apparatus for defect |
JPH06294750A (en) * | 1991-08-22 | 1994-10-21 | Kla Instr Corp | Optical substrate inspecting device |
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1997
- 1997-05-08 JP JP9117808A patent/JPH10307005A/en not_active Abandoned
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
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A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20041018 |