JPH10300514A - 磁気スケールおよびその書き込み方法 - Google Patents
磁気スケールおよびその書き込み方法Info
- Publication number
- JPH10300514A JPH10300514A JP10902597A JP10902597A JPH10300514A JP H10300514 A JPH10300514 A JP H10300514A JP 10902597 A JP10902597 A JP 10902597A JP 10902597 A JP10902597 A JP 10902597A JP H10300514 A JPH10300514 A JP H10300514A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- magnetic scale
- layer
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気信号精度が確保でき、生産性の良好な
磁気スケールを提供する。 【解決手段】 粘着層を２層以上に構成し、複数の磁
気スケールをハーフカット状態にして一括に磁気信号を
書き込む。
磁気スケールを提供する。 【解決手段】 粘着層を２層以上に構成し、複数の磁
気スケールをハーフカット状態にして一括に磁気信号を
書き込む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気センサと組み
合わせて位置あるいは速度検出に使用される磁気スケー
ルの構成に係わり、特に平面ばかりでなく曲面に容易に
適用でき、簡単な構成で高精度の磁気信号が得られる磁
気スケールに関するものである。
合わせて位置あるいは速度検出に使用される磁気スケー
ルの構成に係わり、特に平面ばかりでなく曲面に容易に
適用でき、簡単な構成で高精度の磁気信号が得られる磁
気スケールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、回転ばかりでなく直線的動きに対
する位置検出とその制御のニーズが高まってきている。
それらの例を挙げれば、リニアモータの位置あるいは速
度制御、レーザプリンタの印字ヘッドの位置制御など多
数ある。このような動作を行う機器にはリニアセンサが
組み込まれ、制御系を形成している。リニアセンサは大
別すると光学式と磁気式があり、現状では光学式センサ
が主流である。光学式リニアセンサは原理的に光の反射
または透過量の大小を判別して位置検出信号を出力する
ものであるため、信号以外の光がノイズとして検出部に
入り込まないように遮蔽したり、信号用の特別な光路を
確保する必要がある。構成上、反射板、スリット、遮蔽
部品などを必要とするため、光学式リニアセンサは複雑
になる欠点がある。また、最近増加してきた曲面などの
任意の形状に対応することが非常に困難である。一方、
磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果型センサ素子（以
下ＭＲ素子と省略）は光学式の諸問題を解決できること
が注目され、その開発が活発化している。
する位置検出とその制御のニーズが高まってきている。
それらの例を挙げれば、リニアモータの位置あるいは速
度制御、レーザプリンタの印字ヘッドの位置制御など多
数ある。このような動作を行う機器にはリニアセンサが
組み込まれ、制御系を形成している。リニアセンサは大
別すると光学式と磁気式があり、現状では光学式センサ
が主流である。光学式リニアセンサは原理的に光の反射
または透過量の大小を判別して位置検出信号を出力する
ものであるため、信号以外の光がノイズとして検出部に
入り込まないように遮蔽したり、信号用の特別な光路を
確保する必要がある。構成上、反射板、スリット、遮蔽
部品などを必要とするため、光学式リニアセンサは複雑
になる欠点がある。また、最近増加してきた曲面などの
任意の形状に対応することが非常に困難である。一方、
磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果型センサ素子（以
下ＭＲ素子と省略）は光学式の諸問題を解決できること
が注目され、その開発が活発化している。
【０００３】図５に磁気式リニアセンサの概略構成を示
す。図ではＭＲ素子と磁気スケールを真横から見た状態
を示しているが、画面が複雑になることを避けるために
ＭＲ素子と磁気スケール以外を省略した。ＭＲ素子２０
は磁気スケール１０に一定の間隙Ｌｇを保つようにして
対向配置される。このため、センサと磁気スケールの相
対的な移動量を検出することになるため、図５ではＭＲ
素子２０が左または右方向に平行に移動する場合を表示
してある。一般的に、磁気スケール１０は細長い板状の
ものが使用され、その材質は記録する磁気信号を保持で
きるように硬磁性材である。磁気信号を書き込まれた磁
気スケールの表面には所要ピッチの磁気信号磁界Ｈｓが
図に示すように生じている。この磁気信号磁界ＨｓをＭ
Ｒセンサが検知することになる。図６はＭＲ素子の基板
上におけるパターン図を示す。図に示すようにＭＲ素子
２０は、ガラスなどの非磁性材による基板２６に形成さ
れた感磁パターン２２と電極２４、２５からなるもので
ある。感磁パターン２２はパーマロイ等の軟磁性薄膜を
成膜して形成され、磁気信号磁界Ｈｓが感磁パターン２
２にほぼ垂直に入射すると、感磁パターン２２の電気抵
抗は磁気抵抗効果により２％程度減少することが知られ
ている。この物理現象を利用して、感磁パターン２２に
一定電流を流すことによって磁気信号磁界Ｈｓの強さに
応じた電圧信号を得ることができる。磁気信号磁界Ｈｓ
はＮ極からＳ極までのピッチλにおいて、λ／２の位置
で最大になり逆にλ＝０の位置即ちＮまたはＳ極に一致
したときに最小になる。従って、磁気スケール１０上で
は磁気信号磁界Ｈｓはλを周期としたほぼ正弦波状に変
化することになるため、ＭＲ素子出力も同様にλの周期
で変わることになる。このＭＲ素子出力に適当な波形処
理を施せば、位置に応じた電気信号が得られる。
す。図ではＭＲ素子と磁気スケールを真横から見た状態
を示しているが、画面が複雑になることを避けるために
ＭＲ素子と磁気スケール以外を省略した。ＭＲ素子２０
は磁気スケール１０に一定の間隙Ｌｇを保つようにして
対向配置される。このため、センサと磁気スケールの相
対的な移動量を検出することになるため、図５ではＭＲ
素子２０が左または右方向に平行に移動する場合を表示
してある。一般的に、磁気スケール１０は細長い板状の
ものが使用され、その材質は記録する磁気信号を保持で
きるように硬磁性材である。磁気信号を書き込まれた磁
気スケールの表面には所要ピッチの磁気信号磁界Ｈｓが
図に示すように生じている。この磁気信号磁界ＨｓをＭ
Ｒセンサが検知することになる。図６はＭＲ素子の基板
上におけるパターン図を示す。図に示すようにＭＲ素子
２０は、ガラスなどの非磁性材による基板２６に形成さ
れた感磁パターン２２と電極２４、２５からなるもので
ある。感磁パターン２２はパーマロイ等の軟磁性薄膜を
成膜して形成され、磁気信号磁界Ｈｓが感磁パターン２
２にほぼ垂直に入射すると、感磁パターン２２の電気抵
抗は磁気抵抗効果により２％程度減少することが知られ
ている。この物理現象を利用して、感磁パターン２２に
一定電流を流すことによって磁気信号磁界Ｈｓの強さに
応じた電圧信号を得ることができる。磁気信号磁界Ｈｓ
はＮ極からＳ極までのピッチλにおいて、λ／２の位置
で最大になり逆にλ＝０の位置即ちＮまたはＳ極に一致
したときに最小になる。従って、磁気スケール１０上で
は磁気信号磁界Ｈｓはλを周期としたほぼ正弦波状に変
化することになるため、ＭＲ素子出力も同様にλの周期
で変わることになる。このＭＲ素子出力に適当な波形処
理を施せば、位置に応じた電気信号が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、図
５に示す磁気スケール１０は以下に述べるような課題を
有していた。即ち、生産性が悪く、また充分な精度を得
ることが困難であったことである。これは磁気スケール
の材料および構成に大いに関係することである。例え
ば、フェライト磁石を板状に成形加工したものを磁気ス
ケールに用いると、保磁力が高く外部磁場による減磁の
恐れがないなど性能面では適しているが、材質的には焼
結材であるため、割れやかけが発生しやすく薄く仕上げ
るには限界があった。要するに作業性が悪く軽薄短小化
に適していない。また、鉄−クロム磁石などの圧延可能
な金属系磁石を適用することが考えられる。しかし、フ
ェライト磁石の場合の問題は解決できるが、切断加工が
容易でなく、更に切断部付近の磁気特性が切断応力で劣
化してしまい、量産性に問題を有していた。
５に示す磁気スケール１０は以下に述べるような課題を
有していた。即ち、生産性が悪く、また充分な精度を得
ることが困難であったことである。これは磁気スケール
の材料および構成に大いに関係することである。例え
ば、フェライト磁石を板状に成形加工したものを磁気ス
ケールに用いると、保磁力が高く外部磁場による減磁の
恐れがないなど性能面では適しているが、材質的には焼
結材であるため、割れやかけが発生しやすく薄く仕上げ
るには限界があった。要するに作業性が悪く軽薄短小化
に適していない。また、鉄−クロム磁石などの圧延可能
な金属系磁石を適用することが考えられる。しかし、フ
ェライト磁石の場合の問題は解決できるが、切断加工が
容易でなく、更に切断部付近の磁気特性が切断応力で劣
化してしまい、量産性に問題を有していた。
【０００５】このため、特開昭６３−２１４６１６号公
報に開示されているように保磁力の点では劣るが、薄さ
および切断の容易さから磁気テープなどに使用される可
尭性の磁気記録媒体を適用することが考えられる。この
テープ状磁気スケールの構成を図７に示す。フィルム１
３上に磁性体１１を配置し、下部に接着剤層１５とシー
ト１７を付加した構成である。このような磁気スケール
を固定する際は、最下層のシート１７を剥がしてから検
出対象物の表面に接着剤層１５を介して固定することで
行われる。しかしながら、これら磁気記録媒体は着磁お
よび組立性に課題を残していた。即ち、シート状である
が故に表面の凹凸による着磁ピッチの精度を得ることが
難しいと共に量産性に欠けることであった。この従来技
術による磁気スケールでは高い着磁精度を容易に得るこ
とが解決できず、そのため適用範囲が限定されてしま
い、磁気スケールの光学式に比べ格段に優れた性能を十
分に引き出すことができていなかった。また、製造上の
作業性がよくないため高価な製品となっていたものであ
る。
報に開示されているように保磁力の点では劣るが、薄さ
および切断の容易さから磁気テープなどに使用される可
尭性の磁気記録媒体を適用することが考えられる。この
テープ状磁気スケールの構成を図７に示す。フィルム１
３上に磁性体１１を配置し、下部に接着剤層１５とシー
ト１７を付加した構成である。このような磁気スケール
を固定する際は、最下層のシート１７を剥がしてから検
出対象物の表面に接着剤層１５を介して固定することで
行われる。しかしながら、これら磁気記録媒体は着磁お
よび組立性に課題を残していた。即ち、シート状である
が故に表面の凹凸による着磁ピッチの精度を得ることが
難しいと共に量産性に欠けることであった。この従来技
術による磁気スケールでは高い着磁精度を容易に得るこ
とが解決できず、そのため適用範囲が限定されてしま
い、磁気スケールの光学式に比べ格段に優れた性能を十
分に引き出すことができていなかった。また、製造上の
作業性がよくないため高価な製品となっていたものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】以上従来の磁気スケール
の問題点を詳細に検討した結果、磁気スケールの粘着層
に問題があることを見出して、本発明を想到するに至っ
たものである。本発明の要点を説明すると、非磁性基材
を介して磁性層と粘着層を配する磁気スケール用の媒体
において、従来から使用されていた１層の粘着層を２層
またはそれ以上の多層化構成にすることにより解決でき
たものである。単純に粘着層を多層化して構成を複雑化
したのではなく、上層側にある磁性層の凹凸に対して下
層側への機械的な伝達を粘着層を多層にすることによっ
て絶縁するという技術思想に基づくものである。
の問題点を詳細に検討した結果、磁気スケールの粘着層
に問題があることを見出して、本発明を想到するに至っ
たものである。本発明の要点を説明すると、非磁性基材
を介して磁性層と粘着層を配する磁気スケール用の媒体
において、従来から使用されていた１層の粘着層を２層
またはそれ以上の多層化構成にすることにより解決でき
たものである。単純に粘着層を多層化して構成を複雑化
したのではなく、上層側にある磁性層の凹凸に対して下
層側への機械的な伝達を粘着層を多層にすることによっ
て絶縁するという技術思想に基づくものである。
【０００７】更に、生産性を向上するために、複数個の
磁気スケールをハーフカット状態で磁気信号を書き込
み、その後にそれぞれに切り離して検出対象物に貼付可
能の状態にした。個々に磁気スケールの磁気信号を書き
込む必要がない上に、一括に書き込むことが可能である
ため精度のばらつきを特定し選別することも容易に実行
できる。磁気信号の書き込み時に着磁ヘッドの摺動をス
ムーズにするため、複数個の磁気スケールをハーフカッ
トする工程で、ダミー部を設けることにした。磁気スケ
ールの端部の適当な箇所に切欠き等の識別手段を付与す
ることにより、記録信号の位置あるいは基準位置、また
磁気スケールの固定方向等を目で容易に確認できる。
磁気スケールをハーフカット状態で磁気信号を書き込
み、その後にそれぞれに切り離して検出対象物に貼付可
能の状態にした。個々に磁気スケールの磁気信号を書き
込む必要がない上に、一括に書き込むことが可能である
ため精度のばらつきを特定し選別することも容易に実行
できる。磁気信号の書き込み時に着磁ヘッドの摺動をス
ムーズにするため、複数個の磁気スケールをハーフカッ
トする工程で、ダミー部を設けることにした。磁気スケ
ールの端部の適当な箇所に切欠き等の識別手段を付与す
ることにより、記録信号の位置あるいは基準位置、また
磁気スケールの固定方向等を目で容易に確認できる。
【０００８】
【本発明の実施形態】本発明を実施例により詳細に説明
することにする。図１は本発明による磁気スケールの断
面を示す。磁気スケール３０は、下からベース層３３、
粘着層３８−ｂ、フィルム３９、粘着層３８−ａ、非磁
性基材３６、磁性層３４および保護膜３２の順で構成さ
れる。保護膜３２およびベース層３３の厚さはそれぞれ
数μｍと１００μｍ程度である。従来技術と大きく異な
る点は粘着層３８がフィルム３９により分割されている
ことである。磁気スケール３０はベース層３３を剥がし
て検出対象物に貼付固定し、ＭＲ素子を対向させて使用
するものである。本実施例では粘着層３８−ａおよび３
８−ｂは約３０μｍで、これより薄いフィルム３９を使
用している。また、粘着層３８−ａおよび３８−ｂは同
じ層の厚さである必要はなく、むしろ固定機能を発揮す
る側の粘着層３８−ｂをより厚くした方が安定な接着性
能が得られる。非磁性基材３６はポリエチレンテレフタ
レートを用いた。ＢａＯ・６Ｆｅ２Ｏ３による磁性層３
４を容易に形成できるように選択したもので、用途によ
っては金属の箔を使用してもよい。
することにする。図１は本発明による磁気スケールの断
面を示す。磁気スケール３０は、下からベース層３３、
粘着層３８−ｂ、フィルム３９、粘着層３８−ａ、非磁
性基材３６、磁性層３４および保護膜３２の順で構成さ
れる。保護膜３２およびベース層３３の厚さはそれぞれ
数μｍと１００μｍ程度である。従来技術と大きく異な
る点は粘着層３８がフィルム３９により分割されている
ことである。磁気スケール３０はベース層３３を剥がし
て検出対象物に貼付固定し、ＭＲ素子を対向させて使用
するものである。本実施例では粘着層３８−ａおよび３
８−ｂは約３０μｍで、これより薄いフィルム３９を使
用している。また、粘着層３８−ａおよび３８−ｂは同
じ層の厚さである必要はなく、むしろ固定機能を発揮す
る側の粘着層３８−ｂをより厚くした方が安定な接着性
能が得られる。非磁性基材３６はポリエチレンテレフタ
レートを用いた。ＢａＯ・６Ｆｅ２Ｏ３による磁性層３
４を容易に形成できるように選択したもので、用途によ
っては金属の箔を使用してもよい。
【０００９】図２に複数の磁気スケールを一括して同時
に磁気信号を書き込む方法を示す。所定の大きさ以上の
磁気スケール用シート５０を使用して、複数個の磁気ス
ケール３０を製造するものである。ベース層に達するが
切断しない程度の深さを持つハーフカット線３５によっ
て、磁気スケール３０を複数個とることができる。それ
ぞれの磁気スケール３０は磁気信号を書き込んで検査し
た後に、ハーフカット線３５から分離できる。更に、切
欠き３７と端部領域５２を設ける。切欠き３７は磁気ス
ケールの左右あるいは上下を識別するもので、原点信
号、２トラック以上の磁気信号などを備えた磁気スケー
ルを製造する際に有用になる。端部領域５２は後述する
磁気信号の書き込みのところで説明する。
に磁気信号を書き込む方法を示す。所定の大きさ以上の
磁気スケール用シート５０を使用して、複数個の磁気ス
ケール３０を製造するものである。ベース層に達するが
切断しない程度の深さを持つハーフカット線３５によっ
て、磁気スケール３０を複数個とることができる。それ
ぞれの磁気スケール３０は磁気信号を書き込んで検査し
た後に、ハーフカット線３５から分離できる。更に、切
欠き３７と端部領域５２を設ける。切欠き３７は磁気ス
ケールの左右あるいは上下を識別するもので、原点信
号、２トラック以上の磁気信号などを備えた磁気スケー
ルを製造する際に有用になる。端部領域５２は後述する
磁気信号の書き込みのところで説明する。
【００１０】図３は磁気信号を書き込むための概念的な
方法を示したものである。着磁固定台４１に磁気スケー
ル用シート５０を載置固定し、磁気コア４２と着磁コイ
ル４４からなる着磁ヘッド４０を磁気スケール用シート
５０上を接触移動させながら、所定の位置に磁気信号を
書き込むものである。磁気信号は基準信号発生回路４８
からの指令で動作する着磁信号回路４６からの着磁電流
によって書き込まれる。さて、着磁ヘッド４０は磁気ス
ケール用シート５０上を接触移動するため、段差あるい
は凹凸に遭遇するとその瞬間磁気スケール用シート５０
から離間してしまう。その結果、磁気信号の着磁ピッチ
精度が低下する。離間しない場合でも着磁ヘッドとの一
様な接触移動が維持できないと、着磁ピッチ精度を確保
することは困難になる。しかし、本発明にあるように端
部領域５２を設けることによりこのような不具合を解消
できる。この端部領域５２が前述したダミー部に相当す
るものである。図４は磁気信号のピッチ誤差を示す。同
図（ａ）は従来の磁気スケールの場合、（ｂ）は本発明
によるものであり、これらを比較すれば明らかなように
本発明による磁気スケールは著しい特性の改善が認めら
れる。ピッチ誤差は±７．３％に対し±２．８％であ
り、その改善効果は明白である。
方法を示したものである。着磁固定台４１に磁気スケー
ル用シート５０を載置固定し、磁気コア４２と着磁コイ
ル４４からなる着磁ヘッド４０を磁気スケール用シート
５０上を接触移動させながら、所定の位置に磁気信号を
書き込むものである。磁気信号は基準信号発生回路４８
からの指令で動作する着磁信号回路４６からの着磁電流
によって書き込まれる。さて、着磁ヘッド４０は磁気ス
ケール用シート５０上を接触移動するため、段差あるい
は凹凸に遭遇するとその瞬間磁気スケール用シート５０
から離間してしまう。その結果、磁気信号の着磁ピッチ
精度が低下する。離間しない場合でも着磁ヘッドとの一
様な接触移動が維持できないと、着磁ピッチ精度を確保
することは困難になる。しかし、本発明にあるように端
部領域５２を設けることによりこのような不具合を解消
できる。この端部領域５２が前述したダミー部に相当す
るものである。図４は磁気信号のピッチ誤差を示す。同
図（ａ）は従来の磁気スケールの場合、（ｂ）は本発明
によるものであり、これらを比較すれば明らかなように
本発明による磁気スケールは著しい特性の改善が認めら
れる。ピッチ誤差は±７．３％に対し±２．８％であ
り、その改善効果は明白である。
【００１１】
【発明の効果】以上、発明の詳細な説明より容易に理解
されるように、本発明によって従来の課題である磁気ス
ケールの精度を向上でき、生産性の良好な製造方法を提
供できるものである。
されるように、本発明によって従来の課題である磁気ス
ケールの精度を向上でき、生産性の良好な製造方法を提
供できるものである。
【図１】本発明による磁気スケールの断面図
【図２】本発明による磁気スケールの形成方法
【図３】磁気信号書き込み装置
【図４】磁気シートのピッチ誤差
【図５】ＭＲ素子と磁気スケールの位置関係
【図６】ＭＲ素子の正面図
【図７】従来の磁気スケールの断面図
１０ 磁気スケール、１１ 磁性体、１３ フィルム、
１５ 接着剤層、１７シート、２０ ＭＲ素子、２２
感磁パターン、２４、２５ 電極、２６ 基板、３０
磁気スケール、 ３２ 保護膜、３３ ベース層、３４
磁性層、３５ ハーフカット線、３６非磁性基材、３
７ 切欠き、３８粘着層、４０ 着磁ヘッド、４２ 磁
気コア、４４ 着磁コイル、４６ 着磁信号回路、４８
基準信号発生回路、５０ 磁気スケール用シート、５
２ 端部領域
１５ 接着剤層、１７シート、２０ ＭＲ素子、２２
感磁パターン、２４、２５ 電極、２６ 基板、３０
磁気スケール、 ３２ 保護膜、３３ ベース層、３４
磁性層、３５ ハーフカット線、３６非磁性基材、３
７ 切欠き、３８粘着層、４０ 着磁ヘッド、４２ 磁
気コア、４４ 着磁コイル、４６ 着磁信号回路、４８
基準信号発生回路、５０ 磁気スケール用シート、５
２ 端部領域
Claims (7)
- 【請求項１】 非磁性基材を介して磁性層と粘着層、ベ
ース層が配され、所要のピッチで磁気信号が前記磁性層
に書き込まれると共に前記粘着層によって固定される磁
気スケールにおいて、前記粘着層は少なくとも２層以上
で構成されることを特徴とする磁気スケール。 - 【請求項２】 請求項１において、前記粘着層はフィル
ムによってそれぞれ分離されていることを特徴とする磁
気スケール。 - 【請求項３】 請求項１または２において、前記磁気ス
ケールの着磁ピッチは端部において実質的に１着磁ピッ
チ分程度の乱れしかないことを特徴とする磁気スケー
ル。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、前記
磁気スケールには左右または上下の識別ができる手段を
備えていることを特徴とする磁気スケール。 - 【請求項５】 請求項１〜３のいずれかにおいて、前記
磁気スケールには位置決め手段を備えていることを特徴
とする磁気スケール。 - 【請求項６】 非磁性基材を介して磁性層と粘着層が配
され、所要のピッチで磁気信号が書き込まれると共に前
記粘着層によって固定される磁気スケールの書き込み方
法において、前記粘着層が少なくとも２層以上である複
数の磁気スケールを、同時に一体的に着磁することを特
徴とする磁気スケールの書き込み方法。 - 【請求項７】 請求項６において、端部領域を有して複
数の磁気スケールを同時に一体的に着磁することを特徴
とする磁気スケールの着磁方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10902597A JPH10300514A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 磁気スケールおよびその書き込み方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10902597A JPH10300514A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 磁気スケールおよびその書き込み方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300514A true JPH10300514A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14499702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10902597A Pending JPH10300514A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 磁気スケールおよびその書き込み方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10300514A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001242187A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Ntn Corp | 磁気エンコーダ、車輪用軸受および磁気エンコーダの製造方法 |
| JP2006114097A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Tdk Corp | 磁気媒体及びその製造方法 |
| WO2022163300A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 部品保持ユニット、保持部材、及び部品保持ユニットを用いる製造方法 |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP10902597A patent/JPH10300514A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001242187A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Ntn Corp | 磁気エンコーダ、車輪用軸受および磁気エンコーダの製造方法 |
| JP2006114097A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Tdk Corp | 磁気媒体及びその製造方法 |
| WO2022163300A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 部品保持ユニット、保持部材、及び部品保持ユニットを用いる製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050527 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050610 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060317 |