JPH10287861A - Adhesive for electroless plating and printed wiring board - Google Patents

Adhesive for electroless plating and printed wiring board

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JPH10287861A
JPH10287861A JP9773797A JP9773797A JPH10287861A JP H10287861 A JPH10287861 A JP H10287861A JP 9773797 A JP9773797 A JP 9773797A JP 9773797 A JP9773797 A JP 9773797A JP H10287861 A JPH10287861 A JP H10287861A
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adhesive
silicone oil
electroless plating
heat
resistant resin
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Yasuji Hiramatsu
靖二 平松
Kenichi Shimada
憲一 島田
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Ibiden Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the subject adhesive, capable of manifesting excellent leveling and defoaming properties and adhesion without deteriorating the light transmission properties and useful as a printed wiring board, etc., by including a silicone oil in a heat-resistant resin matrix. SOLUTION: This adhesive for electroless plating is obtained by dispersing (B) heat-resistant resin particles, soluble in (Z1 ) an acid or (Z2 ) an oxidizing agent and treated by curing in (A) an uncured heat-resistant resin matrix which becomes sparingly soluble in the acid Z1 or oxidizing agent Z2 by curing treatment. A silicone oil such as a compound represented by the formula [(n) is 1-5; (m) is 1-14; (x) is 1-80; (y) is 1-74] in an amount of, e.g. 0.1-50 wt.% based on the total amount of the adhesive is contained in the component A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、無電解めっき用接
着剤およびプリント配線板に関し、とくに、透光性に優
れ、しかも気泡やうねりの存在しない無電解めっき用接
着剤層を形成するのに有効な接着剤についての提案であ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adhesive for electroless plating and a printed wiring board, and more particularly to a method for forming an adhesive layer for electroless plating which is excellent in light transmittance and free from bubbles and undulations. It is a proposal for an effective adhesive.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器は、電子工業の進歩に伴
い小型化あるいは高速化が進んでいる。このため、プリ
ント基板やLSIを実装する配線板に対してもファイン
パターンによる高密度化および高い信頼性が求められて
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic equipment has been reduced in size or increased in speed with the progress of the electronic industry. For this reason, printed circuit boards and wiring boards on which LSIs are mounted are also required to have higher densities and higher reliability using fine patterns.

【0003】この種の要求に対応するプリント配線板を
製造する従来方法の1つとして、アディティブ法があ
る。このアディティブ法は、無電解めっき用接着剤を基
板表面に塗布して接着剤層を形成し、この無電解めっき
用接着剤層の表面を粗化した後、無電解めっきを施して
導体を形成する方法である。
[0003] One of the conventional methods for manufacturing a printed wiring board that meets this kind of demand is an additive method. In the additive method, an adhesive for electroless plating is applied to the surface of a substrate to form an adhesive layer, and after the surface of the adhesive layer for electroless plating is roughened, a conductor is formed by electroless plating. How to

【0004】この方法は、導体回路を無電解めっきによ
って形成するので、エッチングによりパターン形成を行
うエッチドフォイル方法(サブトラクティブ法)より
も、高密度でパターン精度の高い配線を容易かつ低コス
トで作製し得るという利点がある。しかも、この方法
は、導体回路を粗化された接着剤層に強固に付着させる
ことにより、両者間に優れた接合性が確保されるので、
導体回路が接着剤層から剥離しにくいという特徴があ
る。
In this method, since a conductor circuit is formed by electroless plating, a high-density wiring with high pattern accuracy can be formed easily and at low cost, compared with an etched foil method (subtractive method) in which a pattern is formed by etching. There is an advantage that it can be manufactured. Moreover, in this method, since the conductor circuit is firmly adhered to the roughened adhesive layer, excellent bonding between the two is ensured.
There is a feature that the conductor circuit is difficult to peel off from the adhesive layer.

【0005】このようなアディティブ法に基づく従来の
プリント配線板としては、無電解めっき用接着剤に関す
る次のような提案がある。例えば、特開昭61−276875
号、特開平2−188992号、USP 5055321号などには、
耐熱性樹脂微粉末を感光性樹脂マトリックス中に分散し
てなる感光性の無電解めっき用接着剤を用いたプリント
配線板が提案されている。
As a conventional printed wiring board based on such an additive method, there is the following proposal regarding an adhesive for electroless plating. For example, JP-A-61-276875
No., JP-A-2-188992, USP 5055321, etc.
A printed wiring board using a photosensitive electroless plating adhesive formed by dispersing a heat-resistant resin fine powder in a photosensitive resin matrix has been proposed.

【0006】また一方で、無電解めっき用接着剤を用い
たプリント配線板の場合は、多層化してもパターン精度
の高い配線を得るために、接着剤の良好なレベリング性
と消泡性が必要である。というのは、接着剤層の表面が
平滑でなくなるとICチップ等の搭載が難しく、また、
接着剤層中に気泡が存在するとその気泡に水が溜まって
クラックの発生原因となったりするからである。
On the other hand, in the case of a printed wiring board using an adhesive for electroless plating, good leveling properties and defoaming properties of the adhesive are necessary in order to obtain wiring with high pattern accuracy even if it is multilayered. It is. That is, if the surface of the adhesive layer is not smooth, it is difficult to mount an IC chip or the like, and
This is because if air bubbles are present in the adhesive layer, water will accumulate in the air bubbles and cause cracks.

【0007】この点については、消泡剤やレベリング剤
を添加した接着剤が考えられる。しかしながら、消泡剤
やレベリング剤を添加した接着剤層は、透光性が低下
し、露光やレーザ照射によっても良好な孔を形成するこ
とができないという欠点があった。
In this regard, an adhesive to which an antifoaming agent or a leveling agent has been added is considered. However, the adhesive layer to which an antifoaming agent or a leveling agent has been added has a disadvantage that light transmittance is reduced and good holes cannot be formed by exposure or laser irradiation.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、接着
剤層の透光性を低下させることのない、レベリング性お
よび消泡性に優れる無電解めっき用接着剤を提供するこ
とを主たる目的とする。また、本発明の他の目的は、透
光性に優れ、しかも気泡やうねりの存在しない無電解め
っき用接着剤層を有するプリント配線板を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an adhesive for electroless plating which is excellent in leveling property and defoaming property without lowering the light transmittance of the adhesive layer. I do. Another object of the present invention is to provide a printed wiring board having an adhesive layer for electroless plating which is excellent in light transmittance and free of bubbles and undulations.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】発明者らは、上記目的の
実現に向け鋭意研究を行った。その結果、以下に述べる
知見を得た。 .樹脂を溶解した有機溶剤にシリコーンオイルを溶解
させても失透しない。 .強度を改善するために樹脂マトリックス中に熱可塑
性樹脂を添加し、これらの相溶性を向上させるために有
機溶媒としてNMP(N−メチルピロリドン)を採用し
た複合樹脂系の無電解めっき用接着剤の場合も、特定構
造のシリコーンオイルを用いれば失透しない。 .シリコーンオイルには、樹脂の強度を改善する効果
がある。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies for realizing the above object. As a result, the following findings were obtained. . No devitrification occurs even when silicone oil is dissolved in an organic solvent in which a resin is dissolved. . A thermoplastic resin is added to a resin matrix to improve the strength, and an NMP (N-methylpyrrolidone) is used as an organic solvent to improve the compatibility of the composite resin based adhesive for electroless plating. In this case, the devitrification does not occur if a silicone oil having a specific structure is used. . Silicone oil has the effect of improving the strength of the resin.

【0010】こうした知見の下に開発した本発明の無電
解めっき用接着剤は、以下に示す構成を有することに特
徴がある。 (1) 本発明の無電解めっき用接着剤は、酸あるいは酸化
剤に可溶性の硬化処理された耐熱性樹脂粒子が、硬化処
理によって酸あるいは酸化剤に難溶性となる未硬化の耐
熱性樹脂マトリックス中に分散した無電解めっき用接着
剤において、前記耐熱性樹脂マトリックス中に、シリコ
ーンオイルを含むことを特徴とする。
The adhesive for electroless plating of the present invention developed on the basis of these findings is characterized by having the following constitution. (1) The adhesive for electroless plating of the present invention is an uncured heat-resistant resin matrix in which cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent are hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. The adhesive for electroless plating dispersed therein is characterized in that the heat-resistant resin matrix contains silicone oil.

【0011】なお、上記(1) に記載の無電解めっき用接
着剤において、シリコーンオイルは、その末端基が、エ
ポキシ基、ポリオキシアルキレン基、アミノ含有基、カ
ルボキシ含有基、脂肪酸含有基およびアルコール含有基
の中から選ばれるいずれか少なくとも1種の官能基で変
成されたものであることが望ましい。また、このシリコ
ーンオイルは、ポリエチレンオキシド構造またはポリプ
ロピレンオキシド構造を有するポリエーテル変成シリコ
ーンオイルであることが望ましい。さらに、このシリコ
ーンオイルは、下記(化1)に示す構造式を有すること
が望ましい。 (化1)
In the adhesive for electroless plating according to the above (1), the terminal group of the silicone oil is an epoxy group, a polyoxyalkylene group, an amino-containing group, a carboxy-containing group, a fatty acid-containing group, or an alcohol. It is desirable that the compound be modified with at least one kind of functional group selected from the contained groups. This silicone oil is preferably a polyether modified silicone oil having a polyethylene oxide structure or a polypropylene oxide structure. Further, the silicone oil preferably has the following structural formula (Chemical Formula 1). (Formula 1)

【0012】また本発明のプリント配線板は、以下に示
す構成を有することに特徴がある。 (2) 本発明のプリント配線板は、基板上に、表面が粗化
された硬化処理済の無電解めっき用接着剤層を有し、そ
の接着剤層表面の粗化面上に導体回路が形成されてなる
プリント配線板において、前記接着剤層は、硬化処理に
よって酸あるいは酸化剤に難溶性となる未硬化の耐熱性
樹脂マトリックス中に酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化
処理された耐熱性樹脂粒子を分散させてなる接着剤から
なり、その耐熱性樹脂マトリックス中に、シリコーンオ
イルを含むことを特徴とする。
Further, the printed wiring board of the present invention is characterized by having the following configuration. (2) The printed wiring board of the present invention has, on a substrate, a surface-roughened cured electroless plating adhesive layer, and a conductor circuit on the roughened surface of the adhesive layer surface. In the printed wiring board formed, the adhesive layer is a cured heat-resistant resin soluble in an acid or an oxidizing agent in an uncured heat-resistant resin matrix which becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. The heat-resistant resin matrix is composed of an adhesive in which particles are dispersed, and contains silicone oil.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の無電解めっき用接着剤
は、硬化処理によって酸あるいは酸化剤に難溶性となる
未硬化の耐熱性樹脂のマトリックス中にシリコーンオイ
ルを含む点に特徴がある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The adhesive for electroless plating of the present invention is characterized in that a silicone oil is contained in a matrix of an uncured heat-resistant resin which becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by a curing treatment.

【0014】このシリコーンオイルは、シロキサン結合
(−Si−O)n −の線状分子であり、常温で流動性を
示す。そのため、有機溶剤を含む未硬化の耐熱性樹脂マ
トリックス中にシリコーンオイルを添加すると、そのシ
リコーンオイルは、マトリックス中に微細に分散して含
有される。その結果、かかるシリコーンオイルを含む無
電解めっき用接着剤を用いて形成した接着剤層は、その
マトリックス中にシリコーンオイルが存在しても見かけ
上失透せず、レーザによる孔明けや露光、現像処理によ
る孔明けを良好に行うことができ、バイアホールを確実
に形成することができる。
This silicone oil is a linear molecule having a siloxane bond (—Si—O) n — and exhibits fluidity at room temperature. Therefore, when silicone oil is added to an uncured heat-resistant resin matrix containing an organic solvent, the silicone oil is finely dispersed and contained in the matrix. As a result, the adhesive layer formed using the adhesive for electroless plating containing such a silicone oil does not seem to be devitrified even if the silicone oil is present in the matrix, and is used for laser drilling, exposure, and development. Drilling by processing can be performed favorably, and via holes can be reliably formed.

【0015】このシリコーンオイルを含む耐熱性樹脂と
して、例えば、熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂の樹脂複合
体を用い、その溶媒として、N−メチルピロリドン(N
MP)を用いる場合、かかる複合樹脂系においては、シ
リコーンオイルの相溶性が低下し、該シリコーンオイル
の分散粒子が大きくなって失透しやすくなる。この点で
は、エチレンオキシド構造やプロピレンオキシド構造を
有するシリコーンオイルは、前記複合樹脂系においても
失透を防止する作用があり好適である。この理由は、明
らかではなく、エチレンオキシドやプロピレンオキシド
が複合系の樹脂やNMPとの親和性に優れるからではな
いかと推定している。
As the heat-resistant resin containing the silicone oil, for example, a resin composite of a thermosetting resin and a thermoplastic resin is used, and N-methylpyrrolidone (N
When MP) is used, in such a composite resin system, the compatibility of the silicone oil is reduced, and the dispersed particles of the silicone oil become large, which tends to cause devitrification. In this regard, silicone oil having an ethylene oxide structure or a propylene oxide structure is preferable because it has an action of preventing devitrification even in the above-mentioned composite resin system. The reason for this is not clear, and it is presumed that ethylene oxide or propylene oxide is excellent in affinity with a composite resin or NMP.

【0016】このようなシリコーンオイルとしては、下
記(化1)に示す構造式のものが最適である。 (化1) ここで、nは1〜5、mは1〜14、xは1〜80、yは1
〜74程度であることが望ましい。最適値は、n=1、m
=7、x=40、y=37である。
As such a silicone oil, those having the following structural formula (formula 1) are most suitable. (Formula 1) Here, n is 1 to 5, m is 1 to 14, x is 1 to 80, and y is 1
It is desirably about 74. The optimal value is n = 1, m
= 7, x = 40, y = 37.

【0017】また、このシリコーンオイルは、その微細
粒が気泡膜中に入りこみ、ここを起点としてクラックが
発生して層間絶縁剤中の気泡を消す作用がある。さら
に、このシリコーンオイルは、層間絶縁剤の耐熱性樹脂
マトリックス中に島状に細かく分散しているので、耐熱
性樹脂マトリックスの破壊強度(靱性)を改善する効果
もある。
In addition, the silicone oil has an effect that fine particles enter the bubble film, and cracks are generated from the fine particles to eliminate bubbles in the interlayer insulating agent. Furthermore, since the silicone oil is finely dispersed in the form of islands in the heat-resistant resin matrix of the interlayer insulating agent, it also has the effect of improving the breaking strength (toughness) of the heat-resistant resin matrix.

【0018】特に、樹脂の強度を改善できるシリコーン
オイルとしては、その末端基が、エポキシ基、ポリオキ
シアルキレン基、アミノ含有基、カルボキシ含有基、脂
肪酸含有基およびアルコール含有基の中から選ばれるい
ずれか少なくとも1種の官能基で変成されたものである
ことが望ましい。例えば、エポキシ基変成シリコーンオ
イルとしては、信越化学製 KF101 、KF102 、KF
105 などがある。ポリオキシアルキレン基変成シリコー
ンオイルとしては、信越化学製のKF351 、KF353 な
どがある。アミノ含有基変成シリコーンオイルとして
は、信越化学製のKF393 、KF861 などがある。カル
ボキシ含有基変成シリコーンオイルとしては、信越化学
製 X−22−3701Eなどがある。脂肪酸含有基変成シリ
コーンオイルとしては、信越化学製 KF910 などがあ
る。アルコール含有基変成シリコーンオイルとしては、
信越化学製 KF851などがある。
In particular, as the silicone oil capable of improving the strength of the resin, any of the terminal groups selected from epoxy groups, polyoxyalkylene groups, amino-containing groups, carboxy-containing groups, fatty acid-containing groups and alcohol-containing groups is preferred. Or at least one functional group. For example, epoxy-modified silicone oils include KF101, KF102, and KF101 manufactured by Shin-Etsu Chemical.
105 and others. Examples of the polyoxyalkylene group-modified silicone oil include KF351 and KF353 manufactured by Shin-Etsu Chemical. Examples of the amino-containing modified silicone oil include KF393 and KF861 manufactured by Shin-Etsu Chemical. Examples of the carboxy-containing modified silicone oil include X-22-3701E manufactured by Shin-Etsu Chemical. Examples of the fatty acid-containing modified silicone oil include KF910 manufactured by Shin-Etsu Chemical. As alcohol-containing modified silicone oil,
Shin-Etsu Chemical's KF851.

【0019】一例として、エポキシ変成シリコーンオイ
ルの構造式を下記(化2)に示す。
As an example, the structural formula of the epoxy-modified silicone oil is shown in the following (Formula 2).

【化2】 Embedded image

【0020】以上説明したように、接着剤中に含まれる
シリコーンオイルは、消泡剤としての機能と樹脂強度を
改善する添加剤としての機能を併せ持つが、特に、その
含有量が0.1 〜5重量%である場合には、主に消泡剤と
して作用し、5重量%を超え50重量%以下の場合には、
主に樹脂強度を改善する添加剤として作用する。
As described above, the silicone oil contained in the adhesive has both a function as an antifoaming agent and a function as an additive for improving the resin strength, and in particular, has a content of 0.1 to 5% by weight. %, Acts mainly as an antifoaming agent, and when more than 5% by weight and 50% by weight or less,
It mainly acts as an additive to improve resin strength.

【0021】本発明の無電解めっき用接着剤において、
その接着剤を構成する酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化
処理された耐熱性樹脂粒子としては、平均粒径10μm
以下の耐熱性樹脂粉末、平均粒径2μm以下の耐熱性
樹脂粉末を凝集させた凝集粒子、平均粒径2〜10μm
の耐熱性粉末樹脂粉末と平均粒径2μm以下の耐熱性樹
脂粉末との混合物、平均粒径2μm〜10μmの耐熱性
樹脂粉末の表面に平均粒径2μm以下の耐熱性樹脂粉末
または無機粉末のいずれか少なくとも1種を付着させて
なる疑似粒子、のなかから選ばれることが望ましい。こ
れらは、より複雑なアンカーを形成できるからである。
In the adhesive for electroless plating of the present invention,
The cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent constituting the adhesive have an average particle diameter of 10 μm.
The following heat-resistant resin powder, aggregated particles obtained by aggregating heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm or less, average particle size of 2 to 10 μm
A mixture of a heat-resistant resin powder and a heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm or less, and a heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm or less or an inorganic powder on the surface of the heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm to 10 μm. It is desirable to select from at least one kind of pseudo particles having attached thereto. This is because they can form more complex anchors.

【0022】この耐熱性樹脂粒子としては、エポキシ樹
脂やアミノ樹脂(メラミン樹脂、グナアミン樹脂、尿素
樹脂)、ポリエステル樹脂などが好適に用いられる。特
に、ビスフェノールA型エポキシ樹脂をアミン系硬化剤
で硬化させてなるものが望ましい。これらの樹脂粒子
は、酸や酸化剤に分解あるいは溶解しやすく、明確なア
ンカーを形成しやすいからである。
As the heat-resistant resin particles, epoxy resin, amino resin (melamine resin, guanamine resin, urea resin), polyester resin and the like are preferably used. In particular, a resin obtained by curing a bisphenol A type epoxy resin with an amine curing agent is desirable. This is because these resin particles are easily decomposed or dissolved in an acid or an oxidizing agent and easily form a clear anchor.

【0023】本発明の無電解めっき用接着剤において、
硬化処理によって酸あるいは酸化剤に難溶性となる未硬
化の耐熱性樹脂マトリックスとしては、熱硬化性樹脂、
感光化した熱硬化性樹脂、感光化した熱硬化性樹脂と熱
可塑性樹脂の複合体を使用することができる。感光化す
るのは、露光、現像処理により、バイアホールを容易に
形成できるからである。また、熱可塑性樹脂と複合化す
るのは、樹脂の靱性を向上させることにより、導体回路
のピール強度が向上し、ヒートサイクルによるバイアホ
ール部分のクラック発生を防止できるからである。具体
的には、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂
をアクリル酸やメタクリル酸などと反応させたエポキシ
アクリレート、あるいはエポキシアクリレートとポリエ
ーテルスルホンとの複合体がよい。
In the adhesive for electroless plating of the present invention,
As an uncured heat-resistant resin matrix which becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by a curing treatment, a thermosetting resin,
A photosensitive thermosetting resin, or a composite of a photosensitive thermosetting resin and a thermoplastic resin can be used. The photosensitization is performed because a via hole can be easily formed by exposure and development. Further, the composite with the thermoplastic resin is because, by improving the toughness of the resin, the peel strength of the conductor circuit is improved, and the occurrence of cracks in the via holes due to the heat cycle can be prevented. Specifically, a polyimide resin, an epoxy resin, an epoxy acrylate obtained by reacting an epoxy resin with acrylic acid, methacrylic acid, or the like, or a composite of epoxy acrylate and polyether sulfone is preferable.

【0024】なお、上記樹脂マトリックスとして使用さ
れるエポキシ樹脂は、クレゾールノボラック型エポキシ
樹脂やフェノールノボラック型エポキシ樹脂などを、イ
ミダゾール硬化剤や酸無水物で硬化させたもの、あるい
は脂環式エポキシ樹脂が好ましい。これらの硬化樹脂は
酸や酸化剤に難溶性であり、また耐塩基性に優れるから
である。無電解めっき液は強塩基性であり、耐塩基性は
無電解めっき用接着剤の必須特性である。
The epoxy resin used as the resin matrix is obtained by curing a cresol novolak type epoxy resin or a phenol novolak type epoxy resin with an imidazole curing agent or an acid anhydride, or an alicyclic epoxy resin. preferable. This is because these cured resins are hardly soluble in acids and oxidizing agents, and are excellent in base resistance. The electroless plating solution is strongly basic, and basic resistance is an essential property of the adhesive for electroless plating.

【0025】脂環式エポキシ樹脂としては、アラルダイ
ト CY179 (チバガイギー社製)、EPICLON HP−7200
(大日本インキ株式会社製)がよい。これらのうちEPIC
LONHP−7200の構造式を(化3)に示す。
As the alicyclic epoxy resin, Araldite CY179 (manufactured by Ciba-Geigy), EPICLON HP-7200
(Manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) is preferred. EPIC of these
The structural formula of LONHP-7200 is shown in (Formula 3).

【化3】 Embedded image

【0026】この脂環式エポキシ樹脂は、シリコーンオ
イルと混合する場合、その混合比率は重量比で(脂環式
エポキシ樹脂/シリコーンオイル)=9/1〜8/2と
することが望ましい。この理由は、シリコーンオイルが
多すぎると脂環式エポキシ樹脂との混合が困難であり、
一方、シリコーンオイルが少ないと強度を向上させるこ
とが困難になるからである。
When this alicyclic epoxy resin is mixed with silicone oil, the mixing ratio is desirably (alicyclic epoxy resin / silicone oil) = 9/1 to 8/2 by weight. The reason for this is that if there is too much silicone oil, it is difficult to mix with the alicyclic epoxy resin,
On the other hand, if the amount of the silicone oil is small, it is difficult to improve the strength.

【0027】以上説明したような本発明にかかる無電解
めっき用接着剤は、未硬化のまま基板に塗布してもよ
く、ガラスクロスに含浸して乾燥させてBステージと
し、プリプレグを形成したり、あるいはポリエチレンテ
レフタレートやポリプロピレンなどのベースフィルムに
塗布して乾燥させてBステージとし、フィルム状に成形
しておいてもよい。さらに、基板形状に成形しておくこ
とも可能である。
The adhesive for electroless plating according to the present invention as described above may be applied to a substrate in an uncured state, or may be impregnated into a glass cloth and dried to form a B stage to form a prepreg. Alternatively, it may be applied to a base film such as polyethylene terephthalate or polypropylene and dried to form a B-stage, which may be formed into a film. Furthermore, it is also possible to shape it into a substrate shape.

【0028】また、上記無電解めっき用接着剤には、色
素や顔料等を添加してもよい。さらに、上記無電解めっ
き用接着剤に使用される樹脂は、ハロゲン化して難燃化
しておいてもよい。
The adhesive for electroless plating may contain a dye or a pigment. Further, the resin used for the adhesive for electroless plating may be halogenated to make it flame-retardant.

【0029】次に、本発明の無電解めっき用接着剤を用
いてプリント配線板を製造する一方法について説明す
る。この説明に係る方法はいわゆるフルアディティブ法
と呼ばれるものであるが、本発明では、いわゆるセミア
ディテイブ法と呼ばれる方法を採用することもできる。
Next, one method of manufacturing a printed wiring board using the adhesive for electroless plating of the present invention will be described. The method according to this description is what is called a so-called full additive method. However, in the present invention, a method called a so-called semi-additive method can also be adopted.

【0030】(1) まず、コア基板の表面に内層銅パター
ンを形成した配線基板を作製する。このコア基板への銅
パターンの形成は、銅張積層板をエッチングして行う
か、あるいは、ガラスエポキシ基板やポリイミド基板、
セラミック基板、金属基板などの基板に無電解めっき用
接着剤層を形成し、この接着剤層表面を粗化して粗化面
とし、ここに無電解めっきを施して行う方法がある。さ
らに必要に応じて、上記配線基板に無電解めっき用接着
剤層を形成し、この層にバイアホール用開口を設け、そ
の層表面を粗化し、ここに無電解めっきを施して銅パタ
ーンとバイアホールを形成する工程を繰り返して多層化
した配線基板とすることができる。なお、コア基板に
は、スルーホールを形成し、このスルーホールを介して
表面と裏面の配線層を電気的に接続することができる。
(1) First, a wiring board having an inner copper pattern formed on the surface of a core board is manufactured. The copper pattern is formed on the core substrate by etching a copper-clad laminate, or a glass epoxy substrate, a polyimide substrate,
There is a method in which an adhesive layer for electroless plating is formed on a substrate such as a ceramic substrate or a metal substrate, the surface of the adhesive layer is roughened to a roughened surface, and electroless plating is performed thereon. Further, if necessary, an adhesive layer for electroless plating is formed on the wiring substrate, an opening for a via hole is formed in this layer, the surface of the layer is roughened, and electroless plating is performed thereon to form a copper pattern and a via. By repeating the step of forming holes, a multilayer wiring board can be obtained. Note that a through hole is formed in the core substrate, and the wiring layer on the front surface and the wiring layer on the back surface can be electrically connected through the through hole.

【0031】(2) 次に、前記(1) で作製した配線基板の
上に、本発明にかかる無電解めっき用接着剤層を形成す
る。 (3) この無電解めっき用接着剤層を乾燥した後、必要に
応じてバイアホール形成用の開口を設ける。このとき、
感光性樹脂の場合は、露光、現像してから熱硬化するこ
とにより、また、熱硬化性樹脂の場合は、熱硬化したの
ちレーザー加工することにより、前記接着剤層にバイア
ホール形成用の開口部を設ける。
(2) Next, the adhesive layer for electroless plating according to the present invention is formed on the wiring board prepared in the above (1). (3) After drying the adhesive layer for electroless plating, an opening for forming a via hole is provided as necessary. At this time,
In the case of a photosensitive resin, by exposing and developing and then thermosetting, and in the case of a thermosetting resin, by thermosetting and then laser processing, an opening for forming a via hole is formed in the adhesive layer. Section is provided.

【0032】(4) 次に、硬化した前記接着剤層の表面に
存在する耐熱性樹脂粒子を、酸あるいは酸化剤によって
溶解除去し、接着剤層表面を粗化処理する。ここで、上
記酸としては、リン酸、塩酸、硫酸、あるいは蟻酸や酢
酸などの有機酸があるが、特に有機酸を用いることが望
ましい。粗化処理した場合に、バイアホールから露出す
る金属導体層を腐食させにくいからである。上記酸化剤
としては、クロム酸、過マンガン酸塩(過マンガン酸カ
リウムなど)を用いることが望ましい。
(4) Next, the heat-resistant resin particles present on the surface of the cured adhesive layer are dissolved and removed with an acid or an oxidizing agent to roughen the surface of the adhesive layer. Here, examples of the acid include phosphoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, and organic acids such as formic acid and acetic acid, and it is particularly preferable to use an organic acid. This is because when the roughening treatment is performed, the metal conductor layer exposed from the via hole is hardly corroded. As the oxidizing agent, it is desirable to use chromic acid or permanganate (such as potassium permanganate).

【0033】(5) 次に、接着剤層表面を粗化した配線基
板に触媒核を付与する。触媒核の付与には、貴金属イオ
ンや貴金属コロイドなどを用いることが望ましく、一般
的には、塩化パラジウムやパラジウムコロイドを使用す
る。なお、触媒核を固定するために加熱処理を行うこと
が望ましい。このような触媒核としてはパラジウムがよ
い。
(5) Next, a catalyst nucleus is applied to the wiring board whose surface of the adhesive layer is roughened. It is desirable to use a noble metal ion or a noble metal colloid for providing the catalyst nucleus, and generally, palladium chloride or a palladium colloid is used. Note that it is desirable to perform a heat treatment to fix the catalyst core. Palladium is preferred as such a catalyst core.

【0034】(6) 次に、触媒核を付与した配線基板にめ
っきレジストを形成する。めっきレジスト組成物として
は、市販品を使用できるが、特にはクレゾールノボラッ
ク、フェノールノボラック型エポキシ樹脂のアクリレー
トとイミダゾール硬化剤からなるものがよい。
(6) Next, a plating resist is formed on the wiring substrate to which the catalyst nucleus has been applied. As the plating resist composition, a commercially available product can be used. In particular, a composition comprising cresol novolak, phenol novolak type epoxy resin acrylate, and an imidazole curing agent is preferable.

【0035】(7) そして、めっきレジスト非形成部に無
電解めっきを施し、導体回路、ならびにバイアホールを
形成してプリント配線板を製造する。
(7) Then, electroless plating is applied to the portion where the plating resist is not formed to form a conductor circuit and a via hole, thereby manufacturing a printed wiring board.

【0036】このようにして製造される本発明にかかる
プリント配線板は、「基板上に、表面が粗化された硬化
処理済の無電解めっき用接着剤層を有し、その接着剤層
表面の粗化面上に導体回路が形成されてなるプリント配
線板において、前記接着剤層は、硬化処理によって酸あ
るいは酸化剤に難溶性となる未硬化の耐熱性樹脂マトリ
ックス中に酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化処理された
耐熱性樹脂粒子を分散させてなる接着剤からなり、その
耐熱性樹脂マトリックス中に、シリコーンオイルを含む
ことを特徴とするプリント配線板」である。
The printed wiring board according to the present invention manufactured as described above has a “hardened, electroless plating adhesive layer having a roughened surface on a substrate, and the surface of the adhesive layer is In a printed wiring board in which a conductor circuit is formed on a roughened surface, the adhesive layer is formed by an acid or an oxidizing agent in an uncured heat-resistant resin matrix which becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by a curing treatment. A printed wiring board comprising an adhesive obtained by dispersing soluble cured heat-resistant resin particles, wherein the heat-resistant resin matrix contains silicone oil.

【0037】このプリント配線板は、接着剤層表面に存
在する耐熱性樹脂粒子の溶解除去処理によって形成され
た粗化層を有し、この粗化層は、たこつぼ状のアンカー
を有する。従って、このプリント配線板は、そのアンカ
ーに導体の無電解めっき膜が充填されるので、導体の密
着強度に優れるのである。
This printed wiring board has a roughened layer formed by dissolving and removing the heat-resistant resin particles present on the surface of the adhesive layer, and the roughened layer has a takotsubo-shaped anchor. Therefore, the printed wiring board has excellent adhesion strength of the conductor because the anchor is filled with the electroless plating film of the conductor.

【0038】また、このプリント配線板は、接着剤層を
構成する耐熱性樹脂マトリックス中にシリコーンオイル
を含む。このシリコーンオイルは、マトリックス中に微
細に分散しているので、接着剤層を見かけ上失透させる
ことがない。それ故に、本発明にかかるプリント配線板
は、レーザによる孔明けや露光、現像処理による孔明け
を良好に行うことができ、バイアホールを確実に形成す
ることができる。このシリコーンオイルは、その微細粒
が気泡膜中に入りこみ、ここを起点としてクラックが発
生して層間絶縁剤中の気泡を消す作用がある。それ故
に、本発明にかかるプリント配線板は、接着剤層中に空
隙が発生せず、高温、多湿条件下でも水がたまらないた
めクラックが発生しにくい。このシリコーンオイルは、
接着剤層の耐熱性樹脂マトリックス中に島状に細かく分
散しているので、耐熱性樹脂マトリックスの破壊強度
(靱性)を改善する効果がある。それ故に、本発明にか
かるプリント配線板は、ヒートサイクルによってめっき
レジストと導体回路との境界を起点として層間の接着剤
層に発生するクラックを抑制することができる。
Further, this printed wiring board contains silicone oil in the heat-resistant resin matrix constituting the adhesive layer. Since the silicone oil is finely dispersed in the matrix, the adhesive layer does not apparently devitrify. Therefore, the printed wiring board according to the present invention can favorably perform perforation by laser, perforation by exposure and development processing, and can surely form via holes. This silicone oil has the effect of causing fine particles to enter the bubble film, and starting from this as a starting point, cracks are generated to eliminate bubbles in the interlayer insulating agent. Therefore, in the printed wiring board according to the present invention, no void is generated in the adhesive layer, and water does not collect even under high temperature and high humidity conditions, so that cracks are not easily generated. This silicone oil is
Since it is finely dispersed in the form of islands in the heat-resistant resin matrix of the adhesive layer, there is an effect of improving the breaking strength (toughness) of the heat-resistant resin matrix. Therefore, the printed wiring board according to the present invention can suppress cracks generated in the adhesive layer between the layers from the boundary between the plating resist and the conductive circuit due to the heat cycle.

【0039】[0039]

【実施例】【Example】

〔シリコーンオイルAの合成〕 (1) ジメチルメトキシシラン8.12重量部とメチルクロロ
エチルメトキシシラン1.38重量部からなるアルコキシシ
ランに 0.1N塩酸および水を10重量部加え、50℃で攪拌
したのち24時間放置した。 (2) 1Nの KOHを加えた後、17.6重量部のエチレンオキ
シドを添加し、50℃で攪拌したのち8時間放置した。 (3) さらに1Nの KOHを加えた後、21.5重量部のプロピ
レンオキシドを添加し、50℃で攪拌したのち8時間放置
した。
[Synthesis of Silicone Oil A] (1) 0.1N hydrochloric acid and 10 parts by weight of water were added to an alkoxysilane composed of 8.12 parts by weight of dimethylmethoxysilane and 1.38 parts by weight of methylchloroethylmethoxysilane, and the mixture was stirred at 50 ° C. and then allowed to stand for 24 hours. did. (2) After 1N KOH was added, 17.6 parts by weight of ethylene oxide was added, and the mixture was stirred at 50 ° C. and allowed to stand for 8 hours. (3) After further adding 1N KOH, 21.5 parts by weight of propylene oxide was added, and the mixture was stirred at 50 ° C. and allowed to stand for 8 hours.

【0040】このようにして合成したシリコーンオイル
について、 1H−NMR、13C−NMRとIRスペクト
ルを測定した。その測定結果を図13〜図15に示す。FT
−IRは、PERKIN ELMER 1650 を使用し、透過法(KR
S−5)により測定した。NMRは、日本電子製 EX
−400 を使用し、観測周波数は、 1Hは 400MHz、13
は 100MHz、パルス幅45°、測定溶媒は重クロロホル
ム、ケミカルシフト基準は、 1Hで7.25ppm 、13Cで7
7.05ppmである。測定温度は室温である。これらの図か
ら、ここで合成したシリコーンオイルは、(化1)に示
す構造式において、n=1、m=7、x=40、y=37で
あった。
The 1 H-NMR, 13 C-NMR and IR spectrum of the silicone oil thus synthesized were measured. The measurement results are shown in FIGS. FT
-IR uses PERKIN ELMER 1650, transmission method (KR
S-5). NMR is made by JEOL EX
Using the -400, observation frequency, 1 H is 400 MHz, 13 C
Is 100 MHz, pulse width is 45 °, measurement solvent is deuterated chloroform, and the chemical shift standard is 7.25 ppm for 1 H and 7 for 13 C.
7.05 ppm. The measurement temperature is room temperature. From these figures, the silicone oil synthesized here had n = 1, m = 7, x = 40, and y = 37 in the structural formula shown in Chemical Formula 1.

【0041】〔無電解めっき用接着剤B−1の調製〕D
MDG(ジエチレングリコールジメチルエーテル)に溶
解したクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、分子量2500)の25%アクリル化物を35重量部、ポリ
エーテルスルフォン(PES)12重量部、イミダゾール
硬化剤(四国化成製、商品名: 2E4MZ−CN)2重量部、
感光性モノマーであるカプロラクトン変成トリス(アク
ロキシエチル)イソシアヌレート(東亜合成製、商品
名:アロニックスM325 )4重量部、光開始剤としての
ベンゾフェノン(関東化学製)2重量部、光増感剤とし
てのミヒラーケトン(関東化学製)0.2 重量部を混合
し、これらの混合物に対してエポキシ樹脂粒子(三洋化
成製、商品名:ポリマーポール)の平均粒径 3.0μmの
ものを10.3重量部、平均粒径 0.5μmのものを3.09重量
部、合成したAのシリコーンオイル 0.5重量部を混合し
た後、さらにNMPを添加しながら混合し、ホモディス
パー攪拌機で粘度7Pa・sに調整し、続いて3本ロール
で混練して無電解めっき用接着剤を得た。
[Preparation of Adhesive B-1 for Electroless Plating] D
35 parts by weight of a 25% acrylate of a cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, molecular weight 2500) dissolved in MDG (diethylene glycol dimethyl ether), 12 parts by weight of polyether sulfone (PES), an imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, Product name: 2E4MZ-CN) 2 parts by weight,
4 parts by weight of caprolactone-modified tris (acroxyethyl) isocyanurate (produced by Toagosei Co., Ltd., trade name: Aronix M325) as a photosensitive monomer, 2 parts by weight of benzophenone as a photoinitiator (manufactured by Kanto Kagaku), as a photosensitizer 0.2 parts by weight of Michler's ketone (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.) and 10.3 parts by weight of epoxy resin particles (manufactured by Sanyo Chemical Co., trade name: Polymer Pole) having an average particle size of 3.0 μm were added to the mixture. After mixing 3.09 parts by weight of 0.5 μm and 0.5 part by weight of the synthesized silicone oil of A, the mixture was further mixed while adding NMP, and the viscosity was adjusted to 7 Pa · s with a homodisper stirrer. The mixture was kneaded to obtain an adhesive for electroless plating.

【0042】〔プリント配線板の製造〕 (実施例1) (1) 厚さ1mmのガラスエポキシ樹脂またはBT(ビスマ
レイミドトリアジン)樹脂からなる基板1の両面に18μ
mの銅箔8がラミネートされている銅張積層板を出発材
料とした(図1参照)。この銅張積層板をドリル削孔
し、無電解めっき処理を施し、パターン状にエッチング
することにより、基板1の両面に内層銅パターン4とス
ルーホール9を形成した。
[Manufacture of Printed Wiring Board] (Example 1) (1) 18 μm on both sides of a substrate 1 made of glass epoxy resin or BT (bismaleimide triazine) resin having a thickness of 1 mm.
A copper-clad laminate on which m copper foils 8 were laminated was used as a starting material (see FIG. 1). The copper-clad laminate was drilled, subjected to electroless plating, and etched in a pattern to form an inner copper pattern 4 and through holes 9 on both surfaces of the substrate 1.

【0043】(2) 一方、ビスフェノールF型エポキシモ
ノマー(油化シェル製、分子量310 、商品名:YL983U)
100重量部と、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品
名:2E4MZ-CN)6重量部、消泡剤(サンノプコ製、商品
名:ペレノールS4)1.5 重量部を混合し、さらに、こ
れらの混合物に対し、表面にシランカップリング剤をコ
ーティングした平均粒径 1.6μmのSiO2 球状粒子(ア
ドマテック製、CRS 1101−CE、ここで、最大粒子の大き
さは後述する内層銅パターンの厚み(15μm)以下とす
る) 170重量部を混合し、3本ロールにて混練すること
により、その混合物の粘度を23±1℃で45,000〜49,000
cps に調整して、基板表面平滑化のための樹脂充填剤10
を得た。この樹脂充填剤は無溶剤である。もし溶剤入り
の樹脂充填剤を用いると、後工程において層間剤を塗布
して加熱・乾燥させる際に、樹脂充填剤の層から溶剤が
揮発して、樹脂充填剤の層と層間材との間で剥離が発生
するからである。
(2) On the other hand, bisphenol F type epoxy monomer (manufactured by Yuka Shell, molecular weight 310, trade name: YL983U)
100 parts by weight, 6 parts by weight of an imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), and 1.5 parts by weight of an antifoaming agent (manufactured by San Nopco, trade name: Perenol S4) were mixed. On the other hand, SiO 2 spherical particles having an average particle diameter of 1.6 μm coated with a silane coupling agent on the surface (manufactured by Admatech, CRS 1101-CE, where the maximum particle size is not more than the thickness (15 μm) of the inner layer copper pattern described later) By mixing 170 parts by weight and kneading with three rolls, the viscosity of the mixture is 45,000 to 49,000 at 23 ± 1 ° C.
Adjust to cps and use resin filler 10 for substrate surface smoothing
I got This resin filler is solventless. If a resin filler containing a solvent is used, the solvent is volatilized from the resin filler layer when the interlayer agent is applied, heated and dried in a later step, so that the space between the resin filler layer and the interlayer material is reduced. This causes peeling.

【0044】(3) 内層銅パターン4を形成した基板を水
洗いし、乾燥した後、NaOH(10g/l)、NaClO2(40g
/l)、Na3PO4(6g/l)を酸化浴(黒化浴)、NaOH
(10g/l)、NaBH4 (6g/l)を還元浴として用
い、内層導体回路4およびスルーホール9の全表面に粗
化層11を設けた(図2参照)。
(3) The substrate on which the inner layer copper pattern 4 was formed was washed with water and dried, and then NaOH (10 g / l) and NaClO 2 (40 g)
/ L), Na 3 PO 4 (6 g / l) in an oxidation bath (blackening bath), NaOH
(10 g / l) and NaBH 4 (6 g / l) as a reducing bath, a roughened layer 11 was provided on the entire surface of the inner conductor circuit 4 and the through hole 9 (see FIG. 2).

【0045】(4) 前記(2) で得た樹脂充填剤10を、粗化
層を設けた基板の片面にロールコータを用いて塗布する
ことにより、内層導体回路4間あるいはスルーホール9
内に充填し、120 ℃,20分間で仮硬化し、他方の面につ
いても同様にして樹脂充填剤10を内層導体回路4間ある
いはスルーホール9内に充填し、120 ℃,20分間で仮硬
化した(図3参照)。
(4) The resin filler 10 obtained in the above (2) is applied to one surface of the substrate provided with the roughened layer using a roll coater, so that the resin filler 10 is provided between the inner layer conductor circuits 4 or through holes 9.
, And temporarily cured at 120 ° C. for 20 minutes. The other surface is similarly filled with the resin filler 10 between the inner conductor circuits 4 or the through holes 9 and temporarily cured at 120 ° C. for 20 minutes. (See FIG. 3).

【0046】(5) 前記(4) の処理を終えた基板の片面
を、#600 のベルト研磨紙(三共理化学製)を用いたベ
ルトサンダー研磨により、内層銅パターン4の表面やス
ルーホール9のランド表面に樹脂充填剤10が残らないよ
うに研磨し、次いで、前記ベルトサンダー研磨による傷
を取り除くためのバフ研磨を行った。このような一連の
研磨を基板の他方の面についても同様に行った(図4参
照)。次いで 100℃で1時間、 120℃で3時間、 150℃
で1時間、 180℃で7時間の加熱処理を行って樹脂充填
剤10を完全硬化した。
(5) One surface of the substrate after the treatment of the above (4) is subjected to belt sander polishing using # 600 belt polishing paper (manufactured by Sankyo Rikagaku) to form the surface of the inner layer copper pattern 4 and the through holes 9. Polishing was performed so that the resin filler 10 did not remain on the land surface, and then buffing was performed to remove scratches due to the belt sander polishing. Such a series of polishing was similarly performed on the other surface of the substrate (see FIG. 4). Then 100 ° C for 1 hour, 120 ° C for 3 hours, 150 ° C
For 1 hour and a heat treatment at 180 ° C. for 7 hours to completely cure the resin filler 10.

【0047】このようにして、スルーホール9等に充填
された樹脂充填剤10の表層部および内層導体回路4上面
の粗化層11を除去して基板両面を平滑化し、樹脂充填剤
10と内層導体回路4の側面とが粗化層11を介して強固に
密着し、またスルーホール9の内壁面と樹脂充填剤10と
が粗化層11を介して強固に密着した配線基板を得た。即
ち、この工程により、樹脂充填剤10の表面と内層銅パタ
ーン4の表面が同一平面となる。ここで、充填した硬化
樹脂のTg点は155.6 ℃、線熱膨張係数は44.5×10-6
℃であった。
In this manner, the surface layer of the resin filler 10 filled in the through holes 9 and the like and the roughened layer 11 on the upper surface of the inner conductor circuit 4 are removed to smooth both surfaces of the substrate.
A wiring board is firmly adhered to the side surface of the inner conductor circuit 4 via the roughened layer 11 and the inner wall surface of the through hole 9 is tightly adhered to the resin filler 10 via the roughened layer 11. Obtained. That is, by this step, the surface of the resin filler 10 and the surface of the inner layer copper pattern 4 become flush with each other. Here, the Tg point of the filled cured resin is 155.6 ° C., and the coefficient of linear thermal expansion is 44.5 × 10 −6 /
° C.

【0048】(6) 前記(5) の処理で露出した内層導体回
路4およびスルーホール9のランド上面に厚さ 2.5μm
のCu−Ni−P合金からなる粗化層(凹凸層)11を形成
し、さらにその粗化層11の表面に厚さ 0.3μmのSn層を
形成した(図5参照、但し、Sn層については図示しな
い)。その形成方法は以下のようである。即ち、基板を
酸性脱脂してソフトエッチングし、次いで、塩化パラジ
ウムと有機酸からなる触媒溶液で処理して、Pd触媒を
付与し、この触媒を活性化した後、硫酸銅8g/l、硫
酸ニッケル 0.6g/l、クエン酸15g/l、次亜リン酸
ナトリウム29g/l、ホウ酸31g/l、界面活性剤 0.1
g/l、pH=9からなる無電解めっき浴にてめっきを
施し、銅導体回路4上面およびスルーホール9のランド
上面にCu−Ni−P合金の粗化層11を形成した。ついで、
ホウフッ化スズ0.1mol/l、チオ尿素1.0mol/l、温度
50℃、pH=1.2 の条件でCu−Sn置換反応を行い、粗化
層11の表面に厚さ0.3 μmのSn層を設けた(Sn層につい
ては図示しない)。
(6) A thickness of 2.5 μm is formed on the upper surface of the land of the inner conductor circuit 4 and the through hole 9 exposed in the processing of (5).
A roughened layer (concavo-convex layer) 11 made of a Cu—Ni—P alloy was formed, and a Sn layer having a thickness of 0.3 μm was formed on the surface of the roughened layer 11 (see FIG. 5; Is not shown). The formation method is as follows. That is, the substrate is acid-degreased and soft-etched, and then treated with a catalyst solution comprising palladium chloride and an organic acid to provide a Pd catalyst. After activating this catalyst, copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate 0.6 g / l, citric acid 15 g / l, sodium hypophosphite 29 g / l, boric acid 31 g / l, surfactant 0.1
Plating was performed in an electroless plating bath having g / l and pH = 9 to form a roughened layer 11 of a Cu—Ni—P alloy on the upper surface of the copper conductor circuit 4 and the upper surface of the land of the through hole 9. Then
Tin borofluoride 0.1 mol / l, thiourea 1.0 mol / l, temperature
A Cu—Sn substitution reaction was performed at 50 ° C. and pH = 1.2 to provide a 0.3 μm thick Sn layer on the surface of the roughened layer 11 (the Sn layer is not shown).

【0049】(7) DMDGに溶解したクレゾールノボラ
ック型エポキシ樹脂(日本化薬製、分子量2500)の25%
アクリル化物を35重量部、ポリエーテルスルフォン(三
井東圧製、商品名:PES1010P)12重量部、イミダゾ
ール硬化剤(四国化成製、商品名:2E4MZ −CN)2重量
部、感光性モノマーであるカプロラクトン変成トリス
(アクロキシエチル)イソシアヌレート(東亜合成製、
商品名:アロニックスM325 )4重量部、光開始剤とし
てのベンゾフェノン(関東化学製)2重量部、光増感剤
としてのミヒラーケトン(関東化学製)0.2 重量部を混
合し、これらの混合物に対してエポキシ樹脂粒子(三洋
化成製、商品名:ポリマーポール)の平均粒径0.5 μm
のものを12.0重量部、Aのシリコーンオイルを0.5 重量
部を混合した後、さらにNMPを添加しながら混合し、
粘度1.5 Pa・sおよび7.0 Pa・sの層間絶縁剤(下層)
を得た。
(7) 25% of cresol novolak type epoxy resin (Nippon Kayaku, molecular weight 2500) dissolved in DMDG
35 parts by weight of acrylate, 12 parts by weight of polyether sulfone (trade name: PES1010P, manufactured by Mitsui Toatsu), 2 parts by weight of imidazole hardener (trade name: 2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals), caprolactone as a photosensitive monomer Modified tris (acryloxyethyl) isocyanurate (manufactured by Toa Gosei,
Trade name: Aronix M325) 4 parts by weight, 2 parts by weight of benzophenone as a photoinitiator (manufactured by Kanto Kagaku), and 0.2 parts by weight of Michler's ketone as a photosensitizer (manufactured by Kanto Kagaku) are mixed. Epoxy resin particles (manufactured by Sanyo Chemicals, trade name: polymer pole) average particle size 0.5 μm
After mixing 12.0 parts by weight of the above and 0.5 part by weight of the silicone oil of A, they were mixed while further adding NMP.
Interlayer insulator with viscosity of 1.5 Pa · s and 7.0 Pa · s (lower layer)
I got

【0050】(8) 前記(6) の基板の両面に、前記(7) で
得られた粘度7.0 Pa・sの層間絶縁剤(下層)をロール
コータで塗布し、水平状態で20分間放置してから、60℃
で乾燥を行い、絶縁剤層2aを作成した。さらにB−1の
接着剤を基板両面に塗布し、水平状態で20分間放置して
から、60℃で30分の乾燥を行い、厚さ60μmの接着剤層
2bを形成した(図6参照)。
(8) The interlayer insulating agent (lower layer) having a viscosity of 7.0 Pa · s obtained in the above (7) is applied on both surfaces of the substrate of the above (6) by a roll coater, and left in a horizontal state for 20 minutes. 60 ℃
To form an insulating agent layer 2a. Further, the adhesive of B-1 is applied to both sides of the substrate, left in a horizontal state for 20 minutes, dried at 60 ° C. for 30 minutes, and an adhesive layer having a thickness of 60 μm is formed.
2b was formed (see FIG. 6).

【0051】(9) 絶縁剤層2aおよび接着剤層2bを形成し
た基板の両面に、 100μmφの黒円が印刷されたフォト
マスクフィルムを密着させ、超高圧水銀灯により 500mJ
/cm2で露光した。次いで、これをDMTG溶液でスプ
レー現像し、さらに、当該基板を超高圧水銀灯により30
00mJ/cm2 で露光し、100 ℃で1時間、その後 150℃で
5時間の加熱処理をすることにより、フォトマスクフィ
ルムに相当する寸法精度に優れた 100μmφの開口(バ
イアホール形成用開口6)を有する厚さ50μmの樹脂絶
縁層2を形成した(図7参照)。
(9) A photomask film on which a black circle of 100 μmφ is printed is brought into close contact with both surfaces of the substrate on which the insulating layer 2a and the adhesive layer 2b are formed, and 500mJ is applied by an ultra-high pressure mercury lamp.
/ Cm 2 . Next, this was spray-developed with a DMTG solution, and the substrate was further cleaned with an ultra-high pressure mercury lamp.
Exposure at 100 mJ / cm 2 and heat treatment at 100 ° C. for 1 hour and then at 150 ° C. for 5 hours to provide a 100 μmφ opening with excellent dimensional accuracy equivalent to a photomask film (via hole forming opening 6). Was formed with a thickness of 50 μm (see FIG. 7).

【0052】(10)開口が形成された基板を、クロム酸に
2分間浸漬し、接着剤層2bの表面のエポキシ樹脂粒子を
溶解除去することにより、樹脂絶縁層2の表面を粗面と
し、その後、中和溶液(シプレイ社製)に浸漬してから
水洗いした(図8参照)。さらに、粗面化処理(粗化深
さ6μm)した該基板の表面に、パラジウム触媒(アト
テック製)を付与することにより、樹脂絶縁層2の表面
およびバイアホール用開口6に触媒核を付けた。
(10) The substrate in which the openings are formed is immersed in chromic acid for 2 minutes to dissolve and remove the epoxy resin particles on the surface of the adhesive layer 2b, thereby making the surface of the resin insulating layer 2 rough. Then, it was immersed in a neutralizing solution (manufactured by Shipley) and washed with water (see FIG. 8). Further, by applying a palladium catalyst (manufactured by Atotech) to the surface of the substrate subjected to the surface roughening treatment (roughening depth: 6 μm), a catalyst nucleus was attached to the surface of the resin insulating layer 2 and the via hole opening 6. .

【0053】(11)一方、DMDGに溶解させた40重量%
のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬製)
のエポキシ基50%をアクリル化した感光性付与のオリゴ
マー(分子量4000)を 100重量部、メチルエチルケトン
に溶解させた20重量%のビスフェノールA型エポキシ樹
脂(油化シェル製、商品名:エピコート1001)を32重量
部、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名:2E4MZ
−CN)3.4 重量部、感光性モノマーである多価アクリル
モノマー(日本化薬製、商品名:R604 )6.4 重量部、
同じく感光性モノマーである多価アクリルモノマー(共
栄社化学製、商品名:DPE6A )3.2 重量部を混合し、さ
らにこれらの混合物 100重量部に対し、レベリング剤
(共栄社化学製、商品名:ポリフロー No.75) 0.5重量
部を混合して攪拌し、混合液Aを得た。一方、光開始剤
としてのベンゾフェノン(関東化学製)4.3 重量部、光
増感剤としてのミヒラーケトン(関東化学製)0.4 重量
部を40℃に加熱した6.4 重量部のジエチレングリコール
ジメチルエーテル(DMDG)に溶解させて混合液Bを
得た。上記混合液Aと上記混合液Bを混合攪拌し、液状
レジストを得た。
(11) On the other hand, 40% by weight dissolved in DMDG
Cresol novolak epoxy resin (Nippon Kayaku)
100% by weight of a photosensitizing oligomer (molecular weight 4000) obtained by acrylizing 50% of the epoxy groups of epoxy resin, and 20% by weight of a bisphenol A type epoxy resin (trade name: Epicoat 1001 manufactured by Yuka Shell Co.) dissolved in methyl ethyl ketone 32 parts by weight, imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ
-CN) 3.4 parts by weight, 6.4 parts by weight of a polyacrylic monomer which is a photosensitive monomer (trade name: R604, manufactured by Nippon Kayaku)
3.2 parts by weight of a polyvalent acrylic monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical; trade name: DPE6A), which is also a photosensitive monomer, is mixed with 100 parts by weight of the mixture, and a leveling agent (manufactured by Kyoeisha Chemical; trade name: Polyflow No. 75) 0.5 part by weight was mixed and stirred to obtain a mixed solution A. On the other hand, 4.3 parts by weight of benzophenone as a photoinitiator (manufactured by Kanto Chemical) and 0.4 parts by weight of Michler's ketone as a photosensitizer (manufactured by Kanto Chemical) are dissolved in 6.4 parts by weight of diethylene glycol dimethyl ether (DMDG) heated to 40 ° C. Thus, a mixed solution B was obtained. The mixed liquid A and the mixed liquid B were mixed and stirred to obtain a liquid resist.

【0054】(12)前記(10)で触媒核付与の処理を終えた
基板の両面に、上記液状レジストをロールコーターを用
いて塗布し、60℃で30分の乾燥を行い、厚さ30μmのレ
ジスト層を形成する。次に、このレジスト層の上に、導
体回路パターンの描画されたフォトマスクフィルムを載
置して 400mJ/cm2 の紫外線を照射し、露光した。そし
て、フォトマスクフィルムを取り除いた後、レジスト層
をDMTGで溶解現像し、基板上に導体回路パターン部
の抜けためっき用レジストを形成し、さらに、超高圧水
銀灯にて6000mJ/cm2 で露光し、 100℃で1時間、その
後、 150℃で3時間の加熱処理を行い、層間絶縁層2の
上に永久レジスト3を形成した(図9参照)。
(12) The above liquid resist is applied to both surfaces of the substrate, which has been subjected to the catalyst nucleation treatment in the above (10), using a roll coater, dried at 60 ° C. for 30 minutes, and dried to a thickness of 30 μm. A resist layer is formed. Next, a photomask film on which a conductive circuit pattern was drawn was placed on the resist layer, and the resist layer was exposed to ultraviolet light of 400 mJ / cm 2 . Then, after removing the photomask film, the resist layer is dissolved and developed with DMTG to form a plating resist on the substrate where the conductor circuit pattern portion has been removed, and further exposed to 6000 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp. A heat treatment was performed at 100 ° C. for 1 hour and then at 150 ° C. for 3 hours to form a permanent resist 3 on the interlayer insulating layer 2 (see FIG. 9).

【0055】(13)上記永久レジスト3を形成した基板
に、予め、めっき前処理(具体的には触媒核の活性化)
を施し、その後、下記組成を有する無電解銅−ニッケル
合金めっき浴を用いて一次めっきを行い、レジスト非形
成部分に厚さ約1.7 μmの銅−ニッケル−リンめっき薄
膜を形成した。このとき、めっき浴の温度は60℃とし、
めっき浸漬時間は1時間とした。 錯化剤… Na3C6H5O7 : 0.23M (60g/l) 還元剤… NaPH2O2・H2O : 0.19M (20g/l) pH調節剤…NaOH : 0.75M (pH=9.5 ) 安定剤…硝酸鉛 : 0.2 mM(80ppm ) 界面活性剤 : 0.05g/l 析出速度は、1.7 μm/時間
(13) Pre-plating treatment (specifically, activation of catalyst nuclei) is applied to the substrate on which the permanent resist 3 is formed, in advance.
Then, primary plating was performed using an electroless copper-nickel alloy plating bath having the following composition to form a copper-nickel-phosphorous plating thin film having a thickness of about 1.7 μm on the non-resist-forming portion. At this time, the temperature of the plating bath was 60 ° C,
The plating immersion time was 1 hour. Complexing agent: Na 3 C 6 H 5 O 7 : 0.23 M (60 g / l) Reducing agent: NaPH 2 O 2 .H 2 O: 0.19 M (20 g / l) pH regulator: NaOH: 0.75 M (pH = 9.5) Stabilizer: Lead nitrate: 0.2 mM (80 ppm) Surfactant: 0.05 g / l Precipitation rate is 1.7 μm / hour

【0056】(14)一次めっき処理した基板を、前記めっ
き浴から引き上げて表面に付着しているめっき浴を水で
洗い流し、さらに、その基板を酸性溶液で処理すること
により、銅−ニッケル−リンめっき薄膜表層の酸化皮膜
を除去した。その後、Pd置換を行うことなく、銅−ニッ
ケル−リンめっき薄膜上に、下記組成の無電解銅めっき
浴を用いて二次めっきを施すことにより、アディティブ
法による導体層として必要な外層導体パターン5および
バイアホール(BVH )7を形成した(図10参照)。この
とき、めっき浴の温度は50〜70℃とし、めっき浸漬時間
は90〜360 分とした。 金属塩… CuSO4・5H2O : 8.6 mM 錯化剤…TEA : 0.15M 還元剤…HCHO : 0.02M その他…安定剤(ビピリジル、フェロシアン化カリウム
等):少量 析出速度は、6μm/時間
(14) The substrate subjected to the primary plating is lifted from the plating bath, the plating bath attached to the surface is washed away with water, and the substrate is treated with an acidic solution to obtain copper-nickel-phosphorus. The oxide film on the surface of the plating thin film was removed. Then, without performing Pd substitution, a secondary plating is performed on the copper-nickel-phosphorous plating thin film using an electroless copper plating bath having the following composition, so that the outer layer conductor pattern 5 required as a conductor layer by the additive method is formed. And via holes (BVH) 7 were formed (see FIG. 10). At this time, the temperature of the plating bath was 50 to 70 ° C., and the plating immersion time was 90 to 360 minutes. Metal salts ... CuSO 4 · 5H 2 O: 8.6 mM Complexing agent ... TEA: 0.15 M reducing agent ... HCHO: 0.02 M Others ... stabilizer (bipyridyl, potassium ferrocyanide and the like): a small amount deposition rate, 6 [mu] m / Time

【0057】(15)このようにしてアディティブ法による
導体層を形成した後、#600 のベルト研磨紙を用いたベ
ルトサンダー研磨により、基板の片面を、永久レジスト
の表層とバイアホールの銅の最上面とが揃うまで研磨し
た。引き続き、ベルトサンダーによる傷を取り除くため
にバフ研磨を行った(バフ研磨のみでもよい)。そし
て、他方の面についても同様に研磨して、基板両面が平
滑なプリント配線基板を形成した。
(15) After the conductive layer is formed by the additive method in this manner, one surface of the substrate is subjected to belt sander polishing using # 600 belt polishing paper so that the surface layer of the permanent resist and the copper layer in the via hole are removed. Polishing was performed until the upper surface was aligned. Subsequently, buffing was performed to remove the scratches caused by the belt sander (only buffing may be performed). Then, the other surface was similarly polished to form a printed wiring board having both surfaces smooth.

【0058】(16)そして、硫酸銅8g/l、硫酸ニッケ
ル 0.6g/l、クエン酸15g/l、次亜リン酸ナトリウ
ム29g/l、ホウ酸31g/l、界面活性剤 0.1g/lか
らなるpH=9の無電解めっき液に浸漬し、厚さ3μm
のCu−Ni−P合金からなる粗化層11を形成した(図11参
照)。そしてさらに、前述の工程を繰り返すことにより
(但し、使用する下層の層間絶縁剤は、粘度 1.5Pa・s
のものを使用した。)、アディティブ法による導体層を
更にもう一層形成し、このようにして配線層をビルドア
ップすることにより6層の多層プリント配線板を得た。
(16) Copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate 0.6 g / l, citric acid 15 g / l, sodium hypophosphite 29 g / l, boric acid 31 g / l, surfactant 0.1 g / l Immersed in an electroless plating solution having a pH of 9 and a thickness of 3 μm
A roughened layer 11 made of a Cu—Ni—P alloy was formed (see FIG. 11). Further, by repeating the above steps (however, the lower interlayer insulating agent used has a viscosity of 1.5 Pa · s
Was used. ), A further conductive layer was formed by the additive method, and the wiring layer was built up in this way to obtain a six-layer multilayer printed wiring board.

【0059】(17)一方、DMDGに溶解させた60重量%
のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬製)
のエポキシ基50%をアクリル化した感光性付与のオリゴ
マー(分子量4000)を 46.67g、メチルエチルケトンに
溶解させた80重量%のビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェル製、エピコート1001)15.0g、イミダゾー
ル硬化剤(四国化成製、商品名:2E4MZ-CN)1.6 g、感
光性モノマーである多価アクリルモノマー(日本化薬
製、商品名:R604 )3g、同じく多価アクリルモノマ
ー(共栄社化学製、商品名:DPE6A ) 1.5g、分散系消
泡剤(サンノプコ社製、商品名:S−65)0.71gを混合
し、さらにこれらの混合物に対して光開始剤としてのベ
ンゾフェノン(関東化学製)を2g、光増感剤としての
ミヒラーケトン(関東化学製)を0.2 g加えて、粘度を
25℃で 2.0Pa・sに調整したソルダーレジスト組成物を
得た。なお、粘度測定は、B型粘度計(東京計器、 DVL
-B型)で 60rpmの場合はローターNo.4、6rpm の場合は
ローターNo.3によった。
(17) On the other hand, 60% by weight dissolved in DMDG
Cresol novolak epoxy resin (Nippon Kayaku)
46.67 g of a photosensitizing oligomer (molecular weight 4000) obtained by acrylizing 50% of the epoxy groups of epoxy resin, 15.0 g of an 80 wt% bisphenol A type epoxy resin (made by Yuka Shell, Epicoat 1001) dissolved in methyl ethyl ketone, imidazole curing 1.6 g of an agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), 3 g of a polyacrylic monomer which is a photosensitive monomer (trade name: R604, manufactured by Nippon Kayaku), and a polyacrylic monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name) : DPE6A) 1.5 g and 0.71 g of a dispersion antifoaming agent (manufactured by San Nopco, trade name: S-65), and 2 g of benzophenone (manufactured by Kanto Chemical) as a photoinitiator was added to the mixture. Add 0.2 g of Michler's ketone (manufactured by Kanto Kagaku) as a photosensitizer to increase the viscosity.
A solder resist composition adjusted to 2.0 Pa · s at 25 ° C. was obtained. The viscosity was measured using a B-type viscometer (Tokyo Keiki, DVL
-B type) in case of 60rpm, rotor No.4 and in case of 6rpm, rotor No.3.

【0060】(18)前記(16)で得られた多層プリント配線
板に、Pd触媒を付与し、この触媒を活性化した後、硫
酸銅8g/l、硫酸ニッケル 0.6g/l、クエン酸15g
/l、次亜リン酸ナトリウム29g/l、ホウ酸31g/
l、界面活性剤 0.1g/l、pH=9からなる無電解め
っき浴にてCu−Ni−P合金からなるめっきを施し、導体
回路表面に粗化層11を形成した。その多層プリント配線
板の両面に上記ソルダーレジスト組成物を20μmの厚さ
で塗布した。次いで、70℃で20分間、70℃で30分間の乾
燥処理を行った後、1000mJ/cm2 の紫外線で露光し、DM
TG現像処理した。そしてさらに、80℃で1時間、 100℃
で1時間、 120℃で1時間、 150℃で3時間の条件で加
熱処理し、パッド部分が開口した(開口径 200μm)ソ
ルダーレジスト層(厚み20μm)14を形成した。
(18) A Pd catalyst was applied to the multilayer printed wiring board obtained in (16) above, and after activating this catalyst, copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate 0.6 g / l, and citric acid 15 g
/ L, sodium hypophosphite 29g / l, boric acid 31g /
1 and a surfactant made of a Cu-Ni-P alloy in an electroless plating bath consisting of 0.1 g / l and pH = 9 to form a roughened layer 11 on the surface of the conductor circuit. The solder resist composition was applied to both sides of the multilayer printed wiring board in a thickness of 20 μm. Next, after performing a drying treatment at 70 ° C. for 20 minutes and at 70 ° C. for 30 minutes, it was exposed to ultraviolet light of 1000 mJ / cm 2 , DM
TG development processing was performed. And then at 80 ° C for 1 hour at 100 ° C
For 1 hour, 120 ° C. for 1 hour, and 150 ° C. for 3 hours to form a solder resist layer (opening diameter: 200 μm) 14 (opening diameter: 200 μm) with a pad portion opened.

【0061】(19)次に、ソルダーレジスト層14を形成し
た基板を、塩化ニッケル30g/l、次亜リン酸ナトリウ
ム10g/l、クエン酸ナトリウム10g/lからなるpH
=5の無電解ニッケルめっき液に20分間浸漬して、開口
部に厚さ5μmのニッケルめっき層15を形成した。さら
に、その基板を、シアン化金カリウム2g/l、塩化ア
ンモニウム75g/l、クエン酸ナトリウム50g/l、次
亜リン酸ナトリウム10g/lからなる無電解金めっき液
に93℃の条件で23秒間浸漬して、ニッケルめっき層15上
に厚さ0.03μmの金めっき層16を形成した。
(19) Next, the substrate on which the solder resist layer 14 was formed was treated with a pH of 30 g / l of nickel chloride, 10 g / l of sodium hypophosphite, and 10 g / l of sodium citrate.
= 5 for 20 minutes to form a nickel plating layer 15 having a thickness of 5 μm at the opening. Further, the substrate was placed on an electroless gold plating solution comprising 2 g / l of potassium gold cyanide, 75 g / l of ammonium chloride, 50 g / l of sodium citrate, and 10 g / l of sodium hypophosphite at 93 ° C. for 23 seconds. By dipping, a gold plating layer 16 having a thickness of 0.03 μm was formed on the nickel plating layer 15.

【0062】(20)そして、ソルダーレジスト層14の開口
部に、はんだペーストを印刷して 200℃でリフローする
ことによりはんだバンプ17を形成し、はんだバンプ17を
有する多層プリント配線板を製造した(図12参照)。
(20) Then, a solder paste was printed in the opening of the solder resist layer 14 and reflowed at 200 ° C. to form a solder bump 17, thereby manufacturing a multilayer printed wiring board having the solder bump 17 ( See FIG. 12).

【0063】(比較例1)Aのシリコーンオイルを添加
しなかったこと以外は、実施例1と同様にしてプリント
配線板を製造した。
Comparative Example 1 A printed wiring board was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the silicone oil of A was not added.

【0064】このようにして製造した実施例1と比較例
1のプリント配線板につき、配線板表面のうねりを目視
で観察した。また、破面を電子顕微鏡で観察して接着剤
層中の気泡の存在を確認した。さらに、実施例1および
比較例1に従って製造したプリント配線板の10枚につい
て、温度 135℃、湿度85%、バイアス3.3 V、48時間の
条件で耐候試験を実施した。この試験の後、導体回路間
のショート(導通の有無)をチェッカのプローブを使用
して確認し、そのショートの発生割合を調べた。その結
果を表1に示す。
With respect to the printed wiring boards of Example 1 and Comparative Example 1 thus manufactured, the undulation of the wiring board surface was visually observed. The fracture surface was observed with an electron microscope to confirm the presence of bubbles in the adhesive layer. Further, a weather resistance test was performed on ten printed wiring boards manufactured according to Example 1 and Comparative Example 1 under the conditions of a temperature of 135 ° C., a humidity of 85%, a bias of 3.3 V, and a duration of 48 hours. After this test, a short circuit (presence or absence of conduction) between the conductor circuits was confirmed using a checker probe, and the occurrence ratio of the short circuit was examined. Table 1 shows the results.

【0065】[0065]

【表1】 [Table 1]

【0066】(実施例2) 〔無電解めっき用接着剤B−2の調製〕脂環式エポキシ
樹脂(大日本インキ株式会社製:EPICLON HP−7200)を
35重量部、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名:
2E4MZ−CN)2重量部、感光性モノマーである多価アク
リルモノマー(共栄社化学製、商品名:DPE6A )6.0 重
量部、多価アクリルモノマー(日本化薬製、商品名:R
604 )1.5 重量部、光開始剤(チバガイギー製、商品
名:イルガキュアー907 )2重量部、光増感剤(日本化
薬製、商品名:DETX−S)0.2 重量部、シリコーンオイ
ル(信越化学製、商品名:KF−101 )8.75重量部を混
合し、これらの混合物に対してエポキシ樹脂粒子(三洋
化成製、商品名:ポリマーポール)の平均粒径3.0 μm
のものを10.3重量部、平均粒径0.5 μmのものを3.09重
量部を混合した後、さらにNMP30重量部を添加しなが
ら混合し、モディスパー攪拌機で粘度7Pa・sに調整し
て無電解めっき用接着剤を得た。
(Example 2) [Preparation of adhesive B-2 for electroless plating] An alicyclic epoxy resin (EPICLON HP-7200 manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) was used.
35 parts by weight, imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name:
2E4MZ-CN) 2 parts by weight, 6.0 parts by weight of polyvalent acrylic monomer as photosensitive monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name: DPE6A), polyvalent acrylic monomer (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: R)
604) 1.5 parts by weight, photoinitiator (Ciba Geigy, trade name: Irgacure 907) 2 parts by weight, photosensitizer (Nippon Kayaku, trade name: DETX-S) 0.2 part by weight, silicone oil (Shin-Etsu Chemical) 8.75 parts by weight manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd., trade name: KF-101) and an average particle size of epoxy resin particles (manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd .: polymer pole) of 3.0 μm
After mixing 10.3 parts by weight of the above and 3.09 parts by weight of an average particle size of 0.5 μm, further mix by adding 30 parts by weight of NMP, and adjust the viscosity to 7 Pa · s with a modisper stirrer to bond for electroless plating. Agent was obtained.

【0067】〔プリント配線板の製造〕B−2の無電解
めっき用接着剤を使用したこと、および下層の層間絶縁
剤として次のものを使用したこと以外は、実施例1と同
様にしてはんだバンプを有する多層プリント配線板を製
造した。脂環式エポキシ樹脂(大日本インキ株式会社
製、商品名:EPICLON HP−7200)の25%アクリル化物を
35重量部、ポリエーテルスルフォン(三井東圧製、商品
名:PES1010P)12重量部、イミダゾール硬化剤(四
国化成製、商品名: 2E4MZ−CN)2重量部、感光性モノ
マーであるカプロラクトン変成トリス(アクロキシエチ
ル)イソシアヌレート(東亜合成製、商品名:アロニッ
クスM325 )4重量部、光開始剤としてのベンゾフェノ
ン(関東化学製)2重量部、光増感剤としてのミヒラー
ケトン(関東化学製)0.2 重量部を混合し、これらの混
合物に対してエポキシ樹脂粒子(三洋化成製、商品名:
ポリマーポール)の平均粒径0.5 μmのものを12.0重量
部、シリコーンオイル(信越化学製、商品名:KF−10
1 )8.75重量部を混合した後、さらにNMPを添加しな
がら混合し、粘度1.5 および7.0 Pa・sの層間樹脂絶縁
剤(下層)を得た。
[Manufacture of Printed Wiring Board] Soldering was performed in the same manner as in Example 1 except that the adhesive for electroless plating of B-2 was used and the following interlayer insulating agent was used. A multilayer printed wiring board having bumps was manufactured. 25% acrylate of alicyclic epoxy resin (Dai Nippon Ink Co., Ltd., trade name: EPICLON HP-7200)
35 parts by weight, 12 parts by weight of polyether sulfone (trade name: PES1010P, manufactured by Mitsui Toatsu), 2 parts by weight of imidazole hardener (trade name: 2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals), and caprolactone-modified Tris (a photosensitive monomer) 4 parts by weight of (acroxyethyl) isocyanurate (manufactured by Toagosei Co., Ltd., trade name: Aronix M325), 2 parts by weight of benzophenone (manufactured by Kanto Chemical) as a photoinitiator, 0.2 part by weight of Michler's ketone (manufactured by Kanto Chemical) as a photosensitizer Parts, and then mix the epoxy resin particles (manufactured by Sanyo Chemical Co., trade name:
12.0 parts by weight of a polymer pole having an average particle size of 0.5 μm, silicone oil (trade name: KF-10, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
1) After mixing 8.75 parts by weight, NMP was further added and mixed to obtain an interlayer resin insulating material (lower layer) having a viscosity of 1.5 and 7.0 Pa · s.

【0068】(比較例2)シリコーンオイルを添加しな
かったこと以外は、実施例2と同様にしてプリント配線
板を製造した。
Comparative Example 2 A printed wiring board was manufactured in the same manner as in Example 2 except that no silicone oil was added.

【0069】このようにして製造した実施例2と比較例
2のプリント配線板につき、−55℃〜125 ℃で1000回お
よび2000回のヒートサイクル試験を実施した。このと
き、層間に位置する無電解めっき用接着剤層でのクラッ
ク発生の有無を確認した。その結果を表2に示す。
The printed wiring boards thus manufactured in Example 2 and Comparative Example 2 were subjected to heat cycle tests at -55 ° C. to 125 ° C. 1,000 times and 2,000 times. At this time, the presence or absence of cracks in the adhesive layer for electroless plating located between the layers was checked. Table 2 shows the results.

【0070】[0070]

【表2】 [Table 2]

【0071】シリコーンオイルの存在により、引っ張り
強度、破壊伸度が向上したため、めっきレジストと導体
回路の界面を起点として層間の無電解めっき用接着剤に
発生するクラックの発生を抑制できると考えられる。
Since the tensile strength and the elongation at break are improved by the presence of the silicone oil, it is considered that the generation of cracks generated in the adhesive for electroless plating between layers starting from the interface between the plating resist and the conductor circuit can be suppressed.

【0072】なお、この実施例では、フルアディティブ
法により製造したプリント配線板について説明したが、
本発明は、いわゆるセミアディティブ法やパートリーア
ディティブ法により製造するプリント配線板にも適用す
ることができる。
In this embodiment, the printed wiring board manufactured by the full additive method has been described.
The present invention can be applied to a printed wiring board manufactured by a so-called semi-additive method or a partly additive method.

【0073】[0073]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、無
電解めっき用接着剤層表面のうねりを防止し、また気泡
の発生を抑制することができる。さらに本発明によれ
ば、無電解めっき用接着剤層の樹脂強度が向上するの
で、ヒートサイクルによってめっきレジストと導体回路
との境界を起点として発生する無電解めっき用接着剤層
のクラックを抑制することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the surface of the adhesive layer for electroless plating from undulating and to suppress the generation of bubbles. Furthermore, according to the present invention, since the resin strength of the adhesive layer for electroless plating is improved, cracks in the adhesive layer for electroless plating that occur from the boundary between the plating resist and the conductor circuit by a heat cycle are suppressed. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 1 is a view showing one process in manufacturing a printed wiring board according to the present invention.

【図2】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 2 is a view showing one step in manufacturing a printed wiring board according to the present invention.

【図3】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 3 is a view showing one step in the manufacture of a printed wiring board according to the present invention.

【図4】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 4 is a view showing one step in the manufacture of a printed wiring board according to the present invention.

【図5】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 5 is a view showing one step in the manufacture of a printed wiring board according to the present invention.

【図6】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 6 is a view showing one step in the manufacture of the printed wiring board according to the present invention.

【図7】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 7 is a view showing one step in the manufacture of a printed wiring board according to the present invention.

【図8】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 8 is a view showing one step in the manufacture of the printed wiring board according to the present invention.

【図9】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 9 is a view showing one step in the manufacture of a printed wiring board according to the present invention.

【図10】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing one step in the manufacture of a printed wiring board according to the present invention.

【図11】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 11 is a view showing one step in the manufacture of the printed wiring board according to the present invention.

【図12】本発明にかかるプリント配線板の製造における
一工程を示す図である。
FIG. 12 is a view showing one step in the manufacture of the printed wiring board according to the present invention.

【図13】FT−IRの測定結果を示すスペクトル図であ
る。
FIG. 13 is a spectrum diagram showing a measurement result of FT-IR.

【図14】1H−NMRの測定結果を示すスペクトル図で
ある。
FIG. 14 is a spectrum chart showing the measurement results of 1 H-NMR.

【図15】13C−NMRの測定結果を示すスペクトル図で
ある。
FIG. 15 is a spectrum chart showing measurement results of 13 C-NMR.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 樹脂絶縁層 2a 絶縁剤層(層間絶縁剤の層) 2b 接着剤層 3 めっきレジスト 4 内層導体回路(内層銅パターン) 5 外層導体回路(外層銅パターン) 6 バイアホール用開口 7 バイアホール(BVH ) 8 銅箔 9 スルーホール 10 充填樹脂(樹脂充填剤) 11 粗化層 14 ソルダーレジスト層 15 ニッケルめっき層 16 金めっき層 17 はんだバンプ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Resin insulating layer 2a Insulating agent layer (layer of interlayer insulating agent) 2b Adhesive layer 3 Plating resist 4 Inner layer conductor circuit (Inner layer copper pattern) 5 Outer layer conductor circuit (Outer layer copper pattern) 6 Opening for via hole 7 Via hole (BVH) 8 Copper foil 9 Through hole 10 Filled resin (resin filler) 11 Roughened layer 14 Solder resist layer 15 Nickel plated layer 16 Gold plated layer 17 Solder bump

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化処理さ
れた耐熱性樹脂粒子が、硬化処理によって酸あるいは酸
化剤に難溶性となる未硬化の耐熱性樹脂マトリックス中
に分散した無電解めっき用接着剤において、 前記耐熱性樹脂マトリックス中に、シリコーンオイルを
含むことを特徴とする無電解めっき用接着剤。
1. An adhesive for electroless plating in which cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent are dispersed in an uncured heat-resistant resin matrix which becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. An adhesive for electroless plating, comprising: a silicone oil in the heat-resistant resin matrix.
【請求項2】 前記シリコーンオイルは、その末端基
が、エポキシ基、ポリオキシアルキレン基、アミノ含有
基、カルボキシ含有基、脂肪酸含有基およびアルコール
含有基の中から選ばれるいずれか少なくとも1種の官能
基で変成されたものであることを特徴とする請求項1に
記載の無電解めっき用接着剤。
2. The silicone oil according to claim 1, wherein a terminal group of the silicone oil is at least one selected from an epoxy group, a polyoxyalkylene group, an amino-containing group, a carboxy-containing group, a fatty acid-containing group and an alcohol-containing group. The adhesive for electroless plating according to claim 1, wherein the adhesive is modified by a base.
【請求項3】 前記シリコーンオイルは、ポリエチレン
オキシド構造またはポリプロピレンオキシド構造を有す
るポリエーテル変成シリコーンオイルであることを特徴
とする請求項1または2に記載の無電解めっき用接着
剤。
3. The adhesive for electroless plating according to claim 1, wherein the silicone oil is a polyether-modified silicone oil having a polyethylene oxide structure or a polypropylene oxide structure.
【請求項4】 前記シリコーンオイルは、下記の構造式
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項
に記載の無電解めっき用接着剤。 【化1】
4. The adhesive for electroless plating according to claim 1, wherein the silicone oil has the following structural formula. Embedded image
【請求項5】 基板上に、表面が粗化された硬化処理済
の無電解めっき用接着剤層を有し、その接着剤層表面の
粗化面上に導体回路が形成されてなるプリント配線板に
おいて、 前記接着剤層は、硬化処理によって酸あるいは酸化剤に
難溶性となる未硬化の耐熱性樹脂マトリックス中に酸あ
るいは酸化剤に可溶性の硬化処理された耐熱性樹脂粒子
を分散させてなる接着剤からなり、その耐熱性樹脂マト
リックス中に、シリコーンオイルを含むことを特徴とす
るプリント配線板。
5. A printed wiring having a roughened surface of an electroless plating adhesive layer having a roughened surface on a substrate, and a conductor circuit formed on the roughened surface of the adhesive layer surface. In the plate, the adhesive layer is obtained by dispersing cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent in an uncured heat-resistant resin matrix that becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by a curing treatment. A printed wiring board comprising an adhesive, wherein the heat-resistant resin matrix contains silicone oil.
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