JP3224211B2 - Solder resist composition and printed wiring board - Google Patents

Solder resist composition and printed wiring board

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JP3224211B2
JP3224211B2 JP23150397A JP23150397A JP3224211B2 JP 3224211 B2 JP3224211 B2 JP 3224211B2 JP 23150397 A JP23150397 A JP 23150397A JP 23150397 A JP23150397 A JP 23150397A JP 3224211 B2 JP3224211 B2 JP 3224211B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ソルダーレジスト
組成物およびプリント配線板に関し、特に、ロールコー
タで塗布しやすく、鉛のマイグレーションが少ないソル
ダーレジスト組成物とこのソルダーレジスト組成物を用
いたプリント配線板について提案する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder resist composition and a printed wiring board, and more particularly to a solder resist composition which is easy to apply by a roll coater and has little migration of lead, and a printed wiring using the solder resist composition. Suggest board.

【0002】[0002]

【従来技術】プリント配線板は、その最表層部にソルダ
ーレジスト層が形成されている。このソルダーレジスト
層は、表層に露出した導体回路を保護する機能、および
電子部品を搭載するパッド表面に供給したはんだ体(例
えば、はんだバンプ)のはんだ流出やはんだブリッジを
防ぐダムとしての機能、を持つものである。
2. Description of the Related Art A printed wiring board has a solder resist layer formed on the outermost layer. This solder resist layer has a function to protect the conductor circuit exposed on the surface layer, and a function as a dam to prevent the solder outflow and solder bridge of the solder body (for example, solder bump) supplied to the pad surface on which the electronic components are mounted. Have.

【0003】このようなソルダーレジスト層を形成する
ための樹脂組成物としては、例えば特開昭63−286841号
(USP4902726号)公報に開示されているような、エポキ
シアクリレートとイミダゾール硬化剤をセロソルブアセ
テートに溶解させ、その粘度を 0.1〜0.2 Pa・sに調整
したソルダーレジスト組成物などが用いられている。ま
た、特開昭62−23036 号公報には、アルカリ現像タイプ
のソルダーレジスト組成物が開示されている。
As a resin composition for forming such a solder resist layer, for example, an epoxy acrylate and an imidazole curing agent such as cellosolve acetate disclosed in JP-A-63-286841 (US Pat. No. 4,902,726) are used. And the viscosity thereof is adjusted to 0.1 to 0.2 Pa · s. JP-A-62-23036 discloses an alkali development type solder resist composition.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
63−286841号公報に記載の樹脂組成物をソルダーレジス
ト層として使用すると、パッド上に形成されるはんだ体
(はんだバンプ等)から鉛イオンがソルダーレジスト層
内を拡散し(この現象を鉛のマイグレーションとい
う)、パッド間の導通を招いて、ショートを引き起こす
という問題があった。また、特開昭62−23036 号公報に
記載の樹脂組成物をソルダーレジスト層として使用する
場合も、やはり上記現象を招き、ショートを引き起こす
という問題があった。
SUMMARY OF THE INVENTION However, Japanese Patent Application Laid-Open
When the resin composition described in JP-A-63-286841 is used as a solder resist layer, lead ions diffuse from the solder body (solder bumps or the like) formed on the pads into the solder resist layer (this phenomenon is referred to as migration of lead). There is a problem in that conduction between the pads is caused to cause a short circuit. Further, when the resin composition described in JP-A-62-23036 is used as a solder resist layer, the above-mentioned phenomenon is also caused, and there is a problem that a short circuit is caused.

【0005】一方で、上記樹脂組成物を銅パターンに塗
布してこれを乾燥すると、このような樹脂層下の銅パタ
ーンは酸化し、ニッケル−金めっきを施す際に、この銅
パターンの酸化層が溶解して、いわゆるハロー現象と呼
ばれる変色が発生するという問題があった。
On the other hand, when the above resin composition is applied to a copper pattern and dried, the copper pattern under such a resin layer is oxidized, and when nickel-gold plating is performed, an oxide layer of the copper pattern is formed. Dissolves to cause discoloration called a halo phenomenon.

【0006】また、上記樹脂組成物をソルダーレジスト
層として使用すると、このようなソルダーレジスト層
は、ヒートサイクルによって剥離が生じやすいという問
題があった。
Further, when the above resin composition is used as a solder resist layer, there is a problem that such a solder resist layer is easily peeled off by a heat cycle.

【0007】さらに、プリント配線板は両面配線板が基
本仕様であり、この場合、ソルダーレジスト組成物は両
面に塗布しなければならない。そのため、最良の塗布形
態として、配線基板を垂直に立てた状態でロールコータ
の一対の塗布用ロールのロール間に挟み、その基板の両
面にソルダーレジスト組成物を同時に塗布する方法があ
る。しかし、この方法を採用すると、従来技術にかかる
上記ソルダーレジスト組成物は粘度が低すぎて垂れてし
まうという問題があった。
Further, a printed wiring board is basically a double-sided wiring board, in which case the solder resist composition must be applied to both sides. Therefore, as a best mode of application, there is a method in which a wiring substrate is sandwiched between a pair of application rolls of a roll coater in a state of standing upright, and a solder resist composition is simultaneously applied to both surfaces of the substrate. However, when this method is adopted, there is a problem that the viscosity of the solder resist composition according to the prior art is too low and the composition sags.

【0008】本発明は、従来技術が抱える上述した各種
問題を解消するためになされたものであり、その主たる
目的は、ロールコータで塗布しやすく、鉛のマイグレー
ションが少ないソルダーレジスト組成物を開発すること
にある。また本発明の他の目的は、ハロー現象やヒート
サイクルによるソルダーレジスト層の剥離のないプリン
ト配線板を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned various problems of the prior art, and a main object of the present invention is to develop a solder resist composition which can be easily applied by a roll coater and has little lead migration. It is in. Another object of the present invention is to provide a printed wiring board in which a solder resist layer is not peeled off due to a halo phenomenon or a heat cycle.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】発明者らは、上記目的の
実現に向け鋭意研究した結果、以下に述べるような知見
を得た。即ち、前述の特開昭63−286841号公報に記載の
樹脂組成物は、粘度が低く(0.1〜0.2Pa・s)、分子鎖
間に隙間が存在し、これを乾燥させて露光硬化しても硬
化率は低く、この隙間が残存する。そのため、この隙間
を鉛イオンが移動するのではないかと考えられる。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have earnestly studied for realizing the above object, and have obtained the following knowledge. That is, the resin composition described in the above-mentioned JP-A-63-286841 has a low viscosity (0.1 to 0.2 Pa · s), a gap exists between molecular chains, and this is dried and exposed and cured. Also, the curing rate is low, and this gap remains. Therefore, it is considered that lead ions may move through this gap.

【0010】また、特開昭62−23036 号公報に記載の樹
脂組成物は、エポキシ基にカルボン酸を導入しており、
アルカリ現像するにあたり、分子鎖を化学的に切断する
ため、現像面が荒れてしまい、この荒れた面から鉛イオ
ンが拡散するのではないかと考えられる。
In the resin composition described in JP-A-62-23036, a carboxylic acid is introduced into an epoxy group.
In alkali development, the molecular chains are chemically cut, so that the development surface becomes rough, and it is considered that lead ions may diffuse from the rough surface.

【0011】さらに、溶剤としてセロソルブアセテート
を含む上記樹脂組成物は、−COORが分解して遊離酸
素(O)を生じるので、これが銅表面を酸化させている
ものと考えられる。
Further, in the above resin composition containing cellosolve acetate as a solvent, since -COOR is decomposed to generate free oxygen (O), it is considered that this oxidizes the copper surface.

【0012】本発明は、このような知見に基づいて開発
されたものであり、その要旨構成は以下のとおりであ
る。 (1) ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレート、イミダ
ゾール硬化剤およびアクリル酸エステルの重合体を含
み、アクリル酸エステルの重合体は、分子量 500〜5000
であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1
〜10のアルコールとのエステルの重合体であることを特
徴とするソルダーレジスト組成物である。 (2) ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレート、イミダ
ゾール硬化剤およびアクリル酸エステルの重合体を含
み、アクリル酸エステルの重合体は、分子量 500〜5000
であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1
〜10のアルコールとのエステルの重合体であり、かつグ
リコールエーテル系溶剤を用いて粘度を25℃で 0.5〜10
Pa・sに調整してなるソルダーレジスト組成物である。
The present invention has been developed based on such knowledge, and the gist configuration thereof is as follows. (1) Novolak type epoxy resin acrylate, imidazole curing agent and acrylate ester polymer, the acrylate polymer has a molecular weight of 500 to 5000
Wherein acrylic acid or methacrylic acid has 1 carbon atom
(10) A solder resist composition, which is a polymer of an ester with an alcohol of (10). (2) Novolak-type epoxy resin acrylate, including imidazole curing agent and acrylate polymer, acrylate polymer has a molecular weight of 500-5000
Wherein acrylic acid or methacrylic acid has 1 carbon atom
A polymer of an ester with an alcohol having a viscosity of 0.5 to 10 at 25 ° C. using a glycol ether solvent.
It is a solder resist composition adjusted to Pa · s.

【0013】また、上記 (1)および(2) に記載のソルダ
ーレジスト組成物は、開始剤として、下記化学式5の構
造を持つ化合物を含み、光増感剤として、下記化学式6
の構造を持つ化合物を含むことが好ましい。
Further, the solder resist composition described in the above (1) and (2) contains a compound having a structure of the following chemical formula 5 as an initiator, and a compound of the following chemical formula 6 as a photosensitizer.
It is preferable to include a compound having the structure:

【化5】 Embedded image

【化6】 さらに、上記 (1)および(2) に記載のソルダーレジスト
組成物において、前記イミダゾール硬化剤は、25℃で液
状であることが好ましい。
Embedded image Further, in the solder resist composition according to the above (1) and (2), the imidazole curing agent is preferably liquid at 25 ° C.

【0014】(4)導体回路を形成した配線基板の表面に
ソルダーレジスト層を有するプリント配線板において、
前記ソルダーレジスト層は、ノボラック型エポキシ樹脂
のアクリレートと、イミダゾール硬化剤と、分子量 500
〜5000であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭
素数1〜10のアルコールとのエステルの重合体とを含
み、かつグリコールエーテル系溶剤を用いて粘度を25℃
で 0.5〜10Pa・sに調整したソルダーレジスト組成物を
硬化させて形成してなることを特徴とするプリント配線
板である。 (5)導体回路を形成した配線基板に対し、その表面にソ
ルダーレジスト層を設けると共にこのソルダーレジスト
層に設けた開口部から露出する前記導体回路の一部をパ
ッドとして形成し、そのパッド上にはんだ体を供給保持
してなるプリント配線板において、前記ソルダーレジス
ト層は、ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレートと、
イミダゾール硬化剤と、分子量 500〜5000であって、ア
クリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1〜10のアルコ
ールとのエステルの重合体とを主成分としてなることを
特徴とするプリント配線板である。
(4) In a printed wiring board having a solder resist layer on the surface of a wiring board on which a conductor circuit is formed,
The solder resist layer is composed of a novolak epoxy resin acrylate, an imidazole curing agent, and a molecular weight of 500.
~ 5000, containing a polymer of an ester of acrylic acid or methacrylic acid and an alcohol having 1 to 10 carbon atoms, and using a glycol ether solvent, the viscosity is 25 ° C
A printed wiring board characterized by being formed by curing a solder resist composition adjusted to 0.5 to 10 Pa · s. (5) For the wiring board on which the conductor circuit is formed, a solder resist layer is provided on the surface thereof, and a part of the conductor circuit exposed from the opening provided in the solder resist layer is formed as a pad, and the pad is formed on the pad. In a printed wiring board that supplies and holds a solder body, the solder resist layer includes an acrylate of a novolak type epoxy resin,
A printed wiring board comprising, as main components, an imidazole curing agent and a polymer of an ester of acrylic acid or methacrylic acid and an alcohol having 1 to 10 carbon atoms having a molecular weight of 500 to 5,000.

【0015】また、上記(4)または(5) に記載のプリン
ト配線板において、前記ソルダーレジスト層は、下記化
学式7の構造を持つ開始剤と、下記化学式8の構造を持
つ光増感剤を含むことが好ましい。
In the printed wiring board according to the above (4) or (5), the solder resist layer comprises an initiator having a structure represented by the following chemical formula 7 and a photosensitizer having a structure represented by the following chemical formula 8: It is preferred to include.

【化7】 Embedded image

【化8】 さらに、上記 (4)または(5) に記載のプリント配線板に
おいて、前記導体回路の表面には、粗化層が形成されて
なることが好ましく、その粗化層は、銅−ニッケル−リ
ンからなる合金層であることが望ましい。
Embedded image Further, in the printed wiring board according to the above (4) or (5), it is preferable that a roughened layer is formed on a surface of the conductor circuit, and the roughened layer is made of copper-nickel-phosphorus. It is desirable that the alloy layer be made of

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明のソルダーレジスト組成物
は、ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレートとイミダ
ゾール硬化剤を主成分とする樹脂組成物である点に一の
特徴がある。それ故に、この樹脂組成物を硬化したソル
ダーレジスト層は、耐熱性、耐アルカリ性に優れ、はん
だが溶融する温度( 200℃前後)でも劣化しないし、ニ
ッケルめっきや金めっきのようなめっき液で分解するこ
ともない。また、上記ソルダーレジスト組成物は、溶剤
現像が可能であるので、アルカリ現像のように現像面が
荒れることもない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One feature of the solder resist composition of the present invention is that it is a resin composition containing acrylate of novolak type epoxy resin and imidazole curing agent as main components. Therefore, the solder resist layer obtained by curing this resin composition has excellent heat resistance and alkali resistance, does not deteriorate even at the temperature at which the solder melts (around 200 ° C), and is decomposed with a plating solution such as nickel plating or gold plating. Nothing to do. Further, since the solder resist composition can be developed with a solvent, the developed surface is not roughened unlike the case of alkali development.

【0017】本発明のソルダーレジスト組成物は、溶剤
としてグリコールエーテル系溶剤を用い、その粘度を25
℃で 0.5〜10Pa・s、より好ましくは2〜3Pa・sとし
た点に他の特徴がある。このように25℃で 0.5Pa・s以
上の粘度に調整したソルダーレジスト組成物によれば、
得られるソルダーレジスト層は、樹脂分子鎖同志の隙間
が小さく、この隙間を移動するPbの拡散(鉛のマイグ
レーション)が少なくなる結果、プリント配線板のショ
ート不良が低減される。また、上記ソルダーレジスト組
成物の粘度が25℃で 0.5Pa・s以上であれば、基板を垂
直に立てた状態で両面同時に塗布してもその組成物が垂
れることはなく、良好な塗布が可能となる。ところが、
上記ソルダーレジスト組成物の粘度が25℃で10Pa・sを
超えると、ロールコータによる塗布ができないので、そ
の上限を10Pa・sとした。
The solder resist composition of the present invention uses a glycol ether-based solvent as a solvent and has a viscosity of 25.
Another characteristic is that the temperature is 0.5 to 10 Pa · s, more preferably 2 to 3 Pa · s at ° C. According to the solder resist composition adjusted to have a viscosity of 0.5 Pa · s or more at 25 ° C.,
In the obtained solder resist layer, the gap between the resin molecular chains is small, and the diffusion of Pb (migration of lead) moving in the gap is reduced, so that the short circuit failure of the printed wiring board is reduced. Also, if the viscosity of the solder resist composition is 0.5 Pa · s or more at 25 ° C., the composition does not sag even when applied simultaneously on both sides while the substrate is set upright, and good application is possible. Becomes However,
If the viscosity of the solder resist composition exceeds 10 Pa · s at 25 ° C., application by a roll coater cannot be performed, so the upper limit was set to 10 Pa · s.

【0018】ここで、上記ノボラック型エポキシ樹脂の
アクリレートとしては、フェノールノボラックやクレゾ
ールノボラックのグリシジルエーテルを、アクリル酸や
メタクリル酸などと反応させたエポキシ樹脂などを用い
ることができる。
Here, as the acrylate of the novolak type epoxy resin, an epoxy resin obtained by reacting glycidyl ether of phenol novolak or cresol novolak with acrylic acid, methacrylic acid or the like can be used.

【0019】上記イミダゾール硬化剤は、種々のものを
使用できるが、25℃で液状であることが望ましい。粉末
では均一混練が難しく、液状の方が均一に混練できるか
らである。このような液状イミダゾール硬化剤として
は、1-ベンジル- 2-メチルイミダゾール(品名:1B2MZ
)、1-シアノエチル- 2-エチル- 4-メチルイミダゾー
ル(品名:2E4MZ-CN)、4-メチル- 2-エチルイミダゾー
ル(品名:2E4MZ )を用いることができる。このイミダ
ゾール硬化剤の添加量は、上記ソルダーレジスト組成物
の総固形分に対して1〜10重量%とすることが望まし
い。この理由は、添加量がこの範囲内であれば均一混合
しやすいからである。
Various imidazole curing agents can be used, but are desirably liquid at 25 ° C. This is because uniform kneading is difficult with powder, and liquid can be kneaded more uniformly. As such a liquid imidazole curing agent, 1-benzyl-2-methylimidazole (product name: 1B2MZ
), 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole (product name: 2E4MZ-CN), and 4-methyl-2-ethylimidazole (product name: 2E4MZ). The addition amount of the imidazole curing agent is desirably 1 to 10% by weight based on the total solid content of the solder resist composition. The reason for this is that if the added amount is within this range, uniform mixing is easy.

【0020】上記ソルダーレジスト組成物は、溶剤とし
てグリコールエーテル系溶剤を使用しているので、この
ような組成物を用いたソルダーレジスト層は、遊離酸素
が発生せず、銅パッド表面を酸化させない。また、人体
に対する有害性も少ない。このようなグリコールエーテ
ル系溶剤としては、下記構造式のもの、特に望ましく
は、ジエチレングリコールジメチルエーテル(DMD
G)およびトリエチレングリコールジメチルエーテル
(DMTG)から選ばれるいずれか少なくとも1種を用
いる。これらの溶剤は、30〜50℃程度の加温により反応
開始剤であるベンゾフェノンやミヒラーケトンを完全に
溶解させることができるからである。 CH3O-(CH2CH2O) n −CH3 (n=1〜5) このグリコールエーテル系溶剤は、ソルダーレジスト組
成物の全重量に対して10〜40wt%がよい。
Since the above solder resist composition uses a glycol ether-based solvent as a solvent, the solder resist layer using such a composition does not generate free oxygen and does not oxidize the surface of the copper pad. It is also less harmful to the human body. As such a glycol ether-based solvent, one having the following structural formula, particularly preferably diethylene glycol dimethyl ether (DMD
G) and at least one selected from triethylene glycol dimethyl ether (DMTG). This is because these solvents can completely dissolve benzophenone and Michler's ketone as reaction initiators by heating at about 30 to 50 ° C. CH 3 O— (CH 2 CH 2 O) n —CH 3 (n = 1 to 5) The glycol ether solvent is preferably 10 to 40% by weight based on the total weight of the solder resist composition.

【0021】以上説明したようなソルダーレジスト組成
物には、その他に、各種消泡剤やレベリング剤、耐熱性
や耐塩基性の改善と可撓性付与のために熱硬化性樹脂、
解像度改善のために感光性モノマーなどを添加すること
ができる。さらに、ソルダーレジスト組成物には、色素
や顔料を添加してもよい。配線パターンを隠蔽できるか
らである。この色素としてはフタロシアニングリーンを
用いることが望ましい。
In addition to the solder resist composition described above, various defoaming agents and leveling agents, thermosetting resins for improving heat resistance and base resistance and imparting flexibility,
A photosensitive monomer or the like can be added to improve the resolution. Further, a dye or a pigment may be added to the solder resist composition. This is because the wiring pattern can be hidden. It is desirable to use phthalocyanine green as this dye.

【0022】特に、本発明では、ソルダーレジスト組成
物には、分子量 500〜5000程度のアクリル酸エステルの
重合体を添加することが望ましい。この重合体は、25℃
で液状であり、クレゾールノボラックエポキシ樹脂アク
リレートと相溶しやすく、レベリング作用、消泡作用を
持つからである。このため、形成されたソルダーレジス
ト層は、表面平滑性に優れ、はじきや気泡による凹凸も
ない。また、この重合体は、感光性樹脂成分との相溶性
を有しており、樹脂成分中に分散して透光性を低下させ
ないので、現像残りが発生しにくい。
In particular, in the present invention, it is desirable to add an acrylate polymer having a molecular weight of about 500 to 5,000 to the solder resist composition. This polymer is 25 ° C
Because it is liquid and easily compatible with cresol novolak epoxy resin acrylate, and has a leveling action and a defoaming action. For this reason, the formed solder resist layer has excellent surface smoothness, and has no repelling or unevenness due to bubbles. In addition, this polymer has compatibility with the photosensitive resin component, and does not disperse in the resin component to lower the light transmittance, so that development residue hardly occurs.

【0023】本発明に用いられるアクリル酸エステルの
重合体は、炭素数1〜10のアルコール、およびアクリル
酸、メタクリル酸もしくはその誘導体とのエステルの重
合体であることが望ましい。本発明に用いられる炭素数
1〜10、好ましくは炭素数3〜8のアルコールとして
は、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n
−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、イソブ
チルアルコール、ペンチルアルコール、ヘキシルアルコ
ール、オクチルアルコール、2−エチルヘキシルアルコ
ール、アミルアルコール等の一価アルコール、1,2-エタ
ンジオール等の多価アルコール等が挙げられる。
The acrylate polymer used in the present invention is desirably an ester polymer of alcohol having 1 to 10 carbon atoms and acrylic acid, methacrylic acid or a derivative thereof. The alcohol having 1 to 10, preferably 3 to 8 carbon atoms used in the present invention includes propyl alcohol, isopropyl alcohol, n
Monohydric alcohols such as -butyl alcohol, tert-butyl alcohol, isobutyl alcohol, pentyl alcohol, hexyl alcohol, octyl alcohol, 2-ethylhexyl alcohol, amyl alcohol, and polyhydric alcohols such as 1,2-ethanediol.

【0024】このアクリル酸エステルの重合体は、クレ
ゾールノボラックエポキシ樹脂アクリレートとの相溶性
に優れており、特に、2-エチルヘキシルアクリレート
(2EHA)、ブチルアクリレート(BA)、エチルア
クリレート(EA)およびヒドロキシエチルアクリレー
ト(HEA)から選ばれるいずれか少なくとも1種以上
のアクリル酸エステルの重合体が望ましい。2-エチルヘ
キシルアクリレートは、分岐しているため界面活性作用
を付与でき、めっきレジストがゴミなどに弾かれること
を防止する。また、ブチルアクリレートは、レベリング
作用や消泡作用を担い、エチルアクリレートおよびヒド
ロキシエチルアクリレートは、相溶性を向上させると考
えられる。前記4種のアクリレートは、それぞれ単独で
重合させたものを単独または2種以上を併用するか、あ
るいは、前記4種のアクリレートから選ばれる2種以上
のアクリレートを共重合させたものを単独または混合し
て使用してもよい。
The polymer of the acrylic ester has excellent compatibility with cresol novolak epoxy resin acrylate, and particularly, 2-ethylhexyl acrylate (2EHA), butyl acrylate (BA), ethyl acrylate (EA) and hydroxyethyl A polymer of at least one acrylate ester selected from acrylates (HEA) is desirable. Since 2-ethylhexyl acrylate is branched, it can impart a surface active effect, and prevents the plating resist from being repelled by dust or the like. Also, butyl acrylate plays a leveling and defoaming action, and ethyl acrylate and hydroxyethyl acrylate are thought to improve compatibility. The four types of acrylates may be used alone or in combination of two or more types, or may be used alone or in combination of two or more types of acrylates selected from the four types of acrylates. You may use it.

【0025】例えば、前記4種のアクリレートを全て使
用する場合、それらの重量組成比は、2-エチルヘキシル
アクリレート/ブチルアクリレートは40/60〜60/40が
望ましく、2-エチルヘキシルアクリレートとブチルアク
リレートの混合物/エチルアクリレートは90/10〜97/
3、2-エチルヘキシルアクリレートとブチルアクリレー
トの混合物/ヒドロキシエチルアクリレートは95/5〜
99/1が望ましい。
For example, when all of the four acrylates are used, the weight composition ratio of 2-ethylhexyl acrylate / butyl acrylate is preferably 40/60 to 60/40, and a mixture of 2-ethylhexyl acrylate and butyl acrylate is preferred. / Ethyl acrylate is 90/10 ~ 97 /
3, mixture of 2-ethylhexyl acrylate and butyl acrylate / hydroxyethyl acrylate is 95/5
99/1 is desirable.

【0026】このようなアクリル酸エステルの重合体の
分子量は 500〜5000程度が好ましい。この範囲では、25
℃において液状であり、ソルダーレジストを調製する
際、感光性樹脂と混合しやすい。分子量が5000を超える
と粘度が高くなり、レベリング作用や消泡作用が低下す
る。逆に分子量が 500未満では、レベリング作用や消泡
作用がみられない。さらに、特に望ましいアクリル酸エ
ステルの重合体の分子量は、2000〜3000である。この範
囲では粘度が 250〜550cp (25℃)となり、さらにソル
ダーレジストを調製しやすくなる。
The molecular weight of such an acrylic acid ester polymer is preferably about 500 to 5,000. In this range, 25
It is liquid at ℃ and easily mixes with the photosensitive resin when preparing the solder resist. When the molecular weight exceeds 5,000, the viscosity increases, and the leveling action and the defoaming action decrease. Conversely, when the molecular weight is less than 500, no leveling action or defoaming action is observed. Furthermore, the particularly desirable molecular weight of the acrylate polymer is from 2,000 to 3,000. In this range, the viscosity becomes 250 to 550 cp (at 25 ° C.), and it becomes easier to prepare a solder resist.

【0027】アクリル酸エステルの重合体の添加量は、
感光性樹脂成分 100重量部に対して0.1〜5重量部、好
ましくは 0.2〜1.0 重量部とすることが望ましい。 0.1
重量部未満であるとレベリング作用や消泡作用が低下
し、気泡に起因するPbマイグレーションやクラックが発
生しやすく、逆に、5重量部を超えるとガラス転移点が
低下して耐熱性が低下するからである。
The amount of the acrylate polymer added is
It is desirable to use 0.1 to 5 parts by weight, preferably 0.2 to 1.0 part by weight, per 100 parts by weight of the photosensitive resin component. 0.1
If the amount is less than 5 parts by weight, the leveling action and the defoaming action are reduced, and Pb migration and cracks due to bubbles are easily generated. Conversely, if the amount is more than 5 parts by weight, the glass transition point is reduced and the heat resistance is reduced. Because.

【0028】また本発明では、ソルダーレジスト組成物
には、開始剤として下記化学式9の構造を持つ化合物、
光増感剤として下記化学式10の構造を持つ化合物をを添
加することが望ましい。これらの化合物は入手しやす
く、また人体に対する安全性も高いからである。
In the present invention, a compound having a structure represented by the following chemical formula 9 is added to the solder resist composition as an initiator:
It is desirable to add a compound having the structure of the following chemical formula 10 as a photosensitizer. This is because these compounds are easily available and have high safety for the human body.

【化9】 Embedded image

【化10】 [Formula 10]

【0029】なお、添加成分として挙げた上記熱硬化性
樹脂としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂を用いる
ことができる。このビスフェノール型エポキシ樹脂に
は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノール
F型のエポキシ樹脂があり、耐塩基性を重視する場合に
は前者が、低粘度化が要求される場合(塗布性を重視す
る場合)には後者がよい。
As the thermosetting resin mentioned as an additional component, a bisphenol type epoxy resin can be used. The bisphenol type epoxy resin includes a bisphenol A type epoxy resin and a bisphenol F type epoxy resin, and when the basic resistance is important, the former is required when a low viscosity is required (when the application property is important). ) Is better for the latter.

【0030】また、添加成分として挙げた上記感光性モ
ノマーとしては、多価アクリル系モノマーを用いること
ができる。多価アクリル系モノマーは、解像度を向上さ
せることができるからである。例えば、下記化学式11お
よび化学式12に示すような構造の多価アクリル系モノマ
ーが望ましい。ここで、化学式11は日本化薬製のDPE
−6Aであり、化学式12は共栄社化学製のR−604で
ある。
Further, as the photosensitive monomer mentioned as an additional component, a polyvalent acrylic monomer can be used. This is because the polyvalent acrylic monomer can improve the resolution. For example, a polyacrylic monomer having a structure represented by the following chemical formulas 11 and 12 is desirable. Here, chemical formula 11 is DPE manufactured by Nippon Kayaku.
-6A, and the chemical formula 12 is R-604 manufactured by Kyoeisha Chemical.

【0031】[0031]

【化11】 [Formula 11]

【化12】 Embedded image

【0032】さらに、ソルダーレジスト組成物には、ベ
ンゾフェノン(BP)やミヒラーケトン(MK)を添加
してもよい。これらは、開始剤、反応促進剤として作用
するからである。このBPとMKは、30〜70℃に加熱し
たグリコールエーテル系溶媒に同時に溶解させて均一混
合し、他の成分と混合することが望ましい。溶解残渣が
なく、完全に溶解できるからである。
Further, benzophenone (BP) or Michler's ketone (MK) may be added to the solder resist composition. This is because these act as an initiator and a reaction accelerator. It is desirable that BP and MK are simultaneously dissolved in a glycol ether-based solvent heated to 30 to 70 ° C., uniformly mixed, and mixed with other components. This is because there is no dissolution residue and it can be completely dissolved.

【0033】本発明のプリント配線板は、導体回路を形
成した配線基板の表面にソルダーレジスト層を有するプ
リント配線板において、前記ソルダーレジスト層を前述
した本発明にかかるソルダーレジスト組成物を硬化させ
たもので構成したことを特徴とする。即ち、前記ソルダ
ーレジスト層は、ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレ
ートとイミダゾール硬化剤を主成分とする樹脂組成物の
硬化物であることを特徴とする。
The printed wiring board of the present invention is a printed wiring board having a solder resist layer on the surface of a wiring board on which a conductive circuit is formed, wherein the solder resist layer is cured by the above-described solder resist composition of the present invention. It is characterized by comprising. That is, the solder resist layer is a cured product of a resin composition mainly containing acrylate of novolak type epoxy resin and imidazole curing agent.

【0034】本発明のプリント配線板において、配線基
板は、特には限定されないが、表面が粗化処理された樹
脂絶縁材上にめっきレジストが形成され、そのめっきレ
ジストの非形成部分にパッドを含む導体回路が形成され
た、いわゆるアディティブプリント配線板、ビルドアッ
プ多層プリント配線板であることが望ましい。このよう
な配線基板にソルダーレジスト組成物を塗布する場合、
ソルダーレジスト層の開口径は、導体パッド径よりも大
きくすることができる。これにより、樹脂であるめっき
レジストは、はんだ体とはなじまずに該はんだ体を弾く
ため、はんだ体のダムとして作用する。また逆に、ソル
ダーレジスト層の開口径をパッドの径よりも小さくし、
パッドの一部をソルダーレジスト層で被覆することも可
能である。この場合は、パッドの粗化層がソルダーレジ
ストに食い込み、ソルダーレジスト層とパッドが密着
し、パッドの剥離を抑制することができる。
In the printed wiring board of the present invention, the wiring board is not particularly limited, but a plating resist is formed on a resin insulating material whose surface is roughened, and a pad is formed in a portion where the plating resist is not formed. It is desirable to use a so-called additive printed wiring board or a build-up multilayer printed wiring board on which a conductive circuit is formed. When applying a solder resist composition to such a wiring board,
The opening diameter of the solder resist layer can be larger than the conductor pad diameter. As a result, the plating resist, which is a resin, repels the solder without repelling the solder, so that it acts as a dam for the solder. Conversely, make the opening diameter of the solder resist layer smaller than the pad diameter,
It is also possible to cover a part of the pad with a solder resist layer. In this case, the roughened layer of the pad bites into the solder resist, and the solder resist layer and the pad are in close contact with each other, so that peeling of the pad can be suppressed.

【0035】本発明のプリント配線板において、ソルダ
ーレジスト層の厚さは、5〜30μmとすることが望まし
い。薄すぎるとはんだ体のダムとしての効果が低下し、
厚すぎると現像処理しにくいからである。
In the printed wiring board of the present invention, the thickness of the solder resist layer is preferably 5 to 30 μm. If it is too thin, the effect of the solder body as a dam decreases,
This is because if it is too thick, development processing is difficult.

【0036】また、本発明のプリント配線板としてさら
に好適な構成は、図3および図24に示すように、導体回
路を形成した配線基板に対し、その表面にソルダーレジ
スト層を設けると共にこのソルダーレジスト層に設けた
開口部から露出する前記導体回路の一部をパッドとして
形成し、そのパッド上にはんだ体を供給保持してなるプ
リント配線板において、前記ソルダーレジスト層を本発
明にかかるソルダーレジスト組成物を硬化させたもので
構成すると共に、前記導体回路の表面には粗化層が形成
されている構造である。このような構造のプリント配線
板では、パッド(ICチップや電子部品を搭載する部
分)を含む導体回路の表面に形成した粗化層がアンカー
として作用するので、導体回路とソルダーレジスト層が
強固に密着している。また、パッド表面に供給保持され
るはんだ体の密着性も改善される。また、特に、ノボラ
ック型エポキシ樹脂のアクリレートは、剛直骨格を持つ
ため、耐熱性、耐塩基性には優れるが、フレキシビリテ
ィーに欠けるため、高温、多湿条件下での剥離が生じや
すい。この点、導体回路の表面に粗化層を形成した上記
構成によれば、このような剥離を防止することができ
る。
Further, as a more preferable configuration as the printed wiring board of the present invention, as shown in FIG. 3 and FIG. 24, a solder resist layer is provided on the surface of In a printed wiring board formed by forming a part of the conductor circuit exposed from an opening provided in a layer as a pad and supplying and holding a solder body on the pad, the solder resist layer according to the present invention is used as a solder resist composition. The conductor circuit is constituted by a cured product, and a roughened layer is formed on the surface of the conductor circuit. In a printed wiring board having such a structure, the roughened layer formed on the surface of the conductive circuit including the pads (portions on which the IC chip and electronic components are mounted) acts as an anchor, so that the conductive circuit and the solder resist layer are firmly connected. Closely adhered. Further, the adhesiveness of the solder body supplied and held on the pad surface is also improved. In particular, acrylates of novolak-type epoxy resins have a rigid skeleton and thus are excellent in heat resistance and base resistance, but lack flexibility and are liable to peel off under high-temperature and high-humidity conditions. In this regard, according to the above configuration in which the roughened layer is formed on the surface of the conductor circuit, such peeling can be prevented.

【0037】ここで、上記粗化層は、研磨処理、エッチ
ング処理、酸化還元処理およびめっき処理のいずれかに
より形成されることが望ましい。これらの処理のうち、
酸化還元処理は、NaOH(10g/l)、NaCl02(40g/
l)、Na3PO4(6g/l)を酸化浴(黒化浴)、NaOH
(10g/l)、NaBH4 (5g/l)を還元浴として用
い、めっき処理は、硫酸銅8g/l、硫酸ニッケル 0.6
g/l、クエン酸15g/l、次亜リン酸ナトリウム29g
/l、ホウ酸31g/lおよび界面活性剤 0.1g/lから
なるpH=9の銅−ニッケル−リンめっき用の無電解め
っき浴を用いることが望ましい。特に、銅−ニッケル−
リンめっきによる合金層の粗化層は、針状構造でソルダ
ーレジスト層内にくい込むので、そのアンカー効果によ
ってソルダーレジスト層との密着性向上に寄与するから
である。また、この粗化層は、電気導電性であるので、
パッド表面にはんだ体を形成しても除去する必要がな
い。
Here, the roughened layer is desirably formed by any one of a polishing process, an etching process, an oxidation-reduction process, and a plating process. Of these processes,
The oxidation-reduction treatment was performed using NaOH (10 g / l), NaClO 2 (40 g /
l), Na 3 PO 4 (6 g / l) was converted into an oxidation bath (black bath), NaOH
(10 g / l), NaBH 4 (5 g / l) as a reducing bath, and the plating treatment was copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate 0.6
g / l, citric acid 15g / l, sodium hypophosphite 29g
/ L, boric acid 31 g / l and surfactant 0.1 g / l, it is preferable to use an electroless plating bath for copper-nickel-phosphorus plating at pH = 9. In particular, copper-nickel-
This is because the roughened layer of the alloy layer formed by the phosphor plating has a needle-like structure and is hardly embedded in the solder resist layer, so that the anchor effect contributes to improving the adhesion to the solder resist layer. Also, since this roughened layer is electrically conductive,
Even if a solder body is formed on the pad surface, there is no need to remove it.

【0038】前記粗化層を構成する合金層の組成は、
銅、ニッケル、リンの割合で、それぞれ90〜96wt%、1
〜5wt%、 0.5〜2wt%であることが望ましい。これら
の組成割合のときに、針状の構造を有するからである。
また、前記粗化層の厚さは、0.5〜7μmであることが
望ましい。厚すぎても薄すぎてもソルダーレジスト層や
はんだ体との密着性が低下するからである。
The composition of the alloy layer constituting the roughened layer is as follows:
90 to 96 wt%, 1 for copper, nickel and phosphorus
It is desirable that the content be 5 to 5% by weight and 0.5 to 2% by weight. This is because these compositions have a needle-like structure at these composition ratios.
Further, the thickness of the roughened layer is desirably 0.5 to 7 μm. This is because if the thickness is too large or too small, the adhesion to the solder resist layer or the solder body is reduced.

【0039】なお、パッド上にはんだ体を供給保持する
場合には、そのパッド表面にニッケル−金めっきを施し
ておくとよい。ニッケル層は、銅との密着性を改善し、
また金との密着性にも優れ、金層ははんだ体との馴染み
がよいからである。はんだ体は、層状であってもよく、
ボール状のいわゆる「はんだバンプ」であってもよい。
When a solder body is supplied and held on a pad, the surface of the pad is preferably plated with nickel-gold. The nickel layer improves the adhesion with copper,
In addition, the adhesiveness to gold is excellent, and the gold layer is well compatible with the solder body. The solder body may be layered,
It may be a ball-shaped so-called “solder bump”.

【0040】次に、本発明にかかるプリント配線板を製
造する一方法について説明する。 (1)まず、コア基板の表面に内層銅パターンを形成した
配線基板を作製する。このコア基板への銅パターンの形
成は、銅張積層板をエッチングして行うか、あるいは、
ガラスエポキシ基板やポリイミド基板、セラミック基
板、金属基板などの基板に無電解めっき用接着剤層を形
成し、この接着剤層表面を粗化して粗化面とし、ここに
無電解めっきを施して行う方法がある。さらに必要に応
じて、上記配線基板に無電解めっき用接着剤層を形成
し、この層にバイアホール用開口を設け、その層表面を
粗化し、ここに無電解めっきを施して銅パターンとバイ
アホールを形成する工程を繰り返して多層化した配線基
板とすることができる。なお、コア基板には、スルーホ
ールが形成され、このスルーホールを介して表面と裏面
の配線層を電気的に接続することができる。
Next, one method of manufacturing a printed wiring board according to the present invention will be described. (1) First, a wiring board having an inner copper pattern formed on the surface of a core board is manufactured. The copper pattern is formed on the core substrate by etching the copper clad laminate, or
An adhesive layer for electroless plating is formed on a substrate such as a glass epoxy substrate, a polyimide substrate, a ceramic substrate, or a metal substrate, and the surface of the adhesive layer is roughened to a roughened surface, which is then subjected to electroless plating. There is a way. Further, if necessary, an adhesive layer for electroless plating is formed on the wiring substrate, an opening for a via hole is formed in this layer, the surface of the layer is roughened, and electroless plating is performed thereon to form a copper pattern and a via. By repeating the step of forming holes, a multilayer wiring board can be obtained. Note that a through hole is formed in the core substrate, and the wiring layer on the front surface and the back surface can be electrically connected through the through hole.

【0041】(2)次に、前記 (1)で作製した配線基板の
上に、層間樹脂絶縁材層を形成する。特に本発明では、
層間樹脂絶縁材として前述した無電解めっき用接着剤を
用いることが望ましい。この無電解めっき用接着剤は、
硬化処理された酸あるいは酸化剤に可溶性の耐熱性樹脂
粒子が、酸あるいは酸化剤に難溶性の未硬化の耐熱性樹
脂中に分散されてなるものが最適である。上記無電解め
っき用接着剤において、特に硬化処理された前記耐熱性
樹脂粒子としては、平均粒径が10μm以下の耐熱性樹
脂粉末、平均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末を凝
集させた凝集粒子、平均粒径が10μm以下の耐熱性粉
末樹脂粉末と平均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末と
の混合物、平均粒径が2〜10μmの耐熱性樹脂粉末の
表面に平均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末または無
機粉末のいずれか少なくとも1種を付着させてなる疑似
粒子、平均粒径0.1〜0.8 μmの耐熱性樹脂粒子と平
均粒径 0.8μmを超え平均粒径2μm未満の耐熱性樹脂
粒子との混合物、から選ばれるいずれか少なくとも1種
を用いることが望ましい。これらは、より複雑なアンカ
ーを形成できるからである。
(2) Next, an interlayer resin insulating material layer is formed on the wiring board prepared in the above (1). In particular, in the present invention,
It is desirable to use the above-mentioned adhesive for electroless plating as an interlayer resin insulating material. This adhesive for electroless plating
It is most preferable that heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent subjected to curing treatment are dispersed in an uncured heat-resistant resin hardly soluble in an acid or an oxidizing agent. In the adhesive for electroless plating, in particular, the cured heat-resistant resin particles include a heat-resistant resin powder having an average particle size of 10 μm or less, and a heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm or less. Particles, a mixture of a heat-resistant powder resin powder having an average particle diameter of 10 μm or less and a heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm or less, and an average particle diameter of 2 μm on the surface of the heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 to 10 μm Pseudo particles obtained by adhering at least one of the following heat-resistant resin powders or inorganic powders, heat-resistant resin particles having an average particle diameter of 0.1 to 0.8 μm and heat resistance having an average particle diameter of more than 0.8 μm and less than 2 μm It is desirable to use at least one selected from a mixture with a conductive resin particle. This is because they can form more complex anchors.

【0042】(3)前記(2) で形成した無電解めっき用接
着剤層を乾燥した後、必要に応じてバイアホール形成用
開口を設ける。感光性樹脂の場合は、露光,現像してか
ら熱硬化することにより、また、熱硬化性樹脂の場合
は、熱硬化したのちレーザー加工することにより、前記
接着剤層にバイアホール形成用の開口部を設ける。
(3) After the adhesive layer for electroless plating formed in (2) is dried, openings for forming via holes are provided as necessary. In the case of a photosensitive resin, it is exposed and developed and then thermally cured. In the case of a thermosetting resin, it is thermally cured and then subjected to laser processing, so that an opening for forming a via hole is formed in the adhesive layer. Section is provided.

【0043】(4)次に、硬化した前記接着剤層の表面に
存在するエポキシ樹脂粒子を酸あるいは酸化剤によって
溶解除去し、接着剤層表面を粗化処理する。ここで、上
記酸としては、リン酸、塩酸、硫酸、あるいは蟻酸や酢
酸などの有機酸があるが、特に有機酸を用いることが望
ましい。粗化処理した場合に、バイアホールから露出す
る金属導体層を腐食させにくいからである。一方、上記
酸化剤としては、クロム酸、過マンガン酸塩(過マンガ
ン酸カリウムなど)を用いることが望ましい。
(4) Next, the epoxy resin particles present on the surface of the cured adhesive layer are dissolved and removed with an acid or an oxidizing agent, and the surface of the adhesive layer is roughened. Here, examples of the acid include phosphoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, and organic acids such as formic acid and acetic acid, and it is particularly preferable to use an organic acid. This is because when the roughening treatment is performed, the metal conductor layer exposed from the via hole is hardly corroded. On the other hand, it is desirable to use chromic acid and permanganate (such as potassium permanganate) as the oxidizing agent.

【0044】(5)次に、接着剤層表面を粗化した配線基
板に触媒核を付与する。触媒核の付与には、貴金属イオ
ンや貴金属コロイドなどを用いることが望ましく、一般
的には、塩化パラジウムやパラジウムコロイドを使用す
る。なお、触媒核を固定するために加熱処理を行うこと
が望ましい。このような触媒核としてはパラジウムがよ
い。
(5) Next, a catalyst nucleus is applied to the wiring board whose surface of the adhesive layer is roughened. It is desirable to use a noble metal ion or a noble metal colloid for providing the catalyst nucleus, and generally, palladium chloride or a palladium colloid is used. Note that it is desirable to perform a heat treatment to fix the catalyst core. Palladium is preferred as such a catalyst core.

【0045】(6)次に、触媒核を付与した配線基板にめ
っきレジストを形成する。めっきレジスト組成物として
は、特にクレゾールノボラックやフェノールノボラック
型エポキシ樹脂のアクリレートとイミダゾール硬化剤か
らなる組成物を用いることが望ましいが、他に市販品を
使用することもできる。
(6) Next, a plating resist is formed on the wiring substrate to which the catalyst nucleus has been applied. As the plating resist composition, it is particularly desirable to use a composition comprising an acrylate of a cresol novolak or a phenol novolak type epoxy resin and an imidazole curing agent, but other commercially available products can also be used.

【0046】(7)次に、めっきレジスト非形成部に無電
解めっきを施し、パッドを含む導体回路、ならびにバイ
アホールを形成してプリント配線板を製造する。ここ
で、上記無電解めっきとしては、銅めっきを用いること
が望ましい。
(7) Next, electroless plating is applied to the portion where the plating resist is not formed to form a conductor circuit including a pad and a via hole to manufacture a printed wiring board. Here, it is desirable to use copper plating as the electroless plating.

【0047】(8)次に、必要に応じて、導体回路の表面
に粗化層を形成する。ここで、銅−ニッケル−リン合金
層による粗化層を形成する場合は、この合金層は無電解
めっきにより析出させる。この合金の無電解めっきとし
ては、硫酸銅1〜40g/l、硫酸ニッケル 0.1〜6.0 g
/l、クエン酸10〜20g/l、次亜リン酸塩10〜100 g
/l、ホウ酸10〜40g/l、界面活性剤0.01〜10g/l
からなる液組成のめっき浴を用いることが望ましい。
(8) If necessary, a roughened layer is formed on the surface of the conductor circuit. Here, when forming a roughened layer by a copper-nickel-phosphorus alloy layer, this alloy layer is deposited by electroless plating. As electroless plating of this alloy, copper sulfate 1-40 g / l, nickel sulfate 0.1-6.0 g
/ L, citric acid 10-20 g / l, hypophosphite 10-100 g
/ L, boric acid 10-40 g / l, surfactant 0.01-10 g / l
It is desirable to use a plating bath having a solution composition of

【0048】(9)次に、前記(8) の処理を終えたプリン
ト配線板の両面に、本発明にかかるソルダーレジスト組
成物を塗布する。特に本発明では、図2に示すように、
プリント配線板の両面にソルダーレジスト層を塗布する
際に、前記プリント配線板を垂直に立てた状態でロール
コータの一対の塗布用ロールのロール間に挟み、下側か
ら上側へ搬送させて基板の両面にソルダーレジスト組成
物を同時に塗布することが望ましい。この理由は、現在
のプリント配線板の基本仕様は両面であり、カーテンコ
ート法(樹脂を滝のように上から下へ流し、この樹脂
の”カーテン”に基板をくぐらせて塗布する方法)で
は、片面しか塗布できないからである。前述した本発明
のソルダーレジスト組成物は、両面同時に塗布する上記
方法のために有利に使用できる。即ち、本発明のソルダ
ーレジスト組成物は、粘度が25℃で1〜10Pa・sである
ため、基板を垂直に立てて塗布しても流れず、また転写
も良好である。
(9) Next, the solder resist composition according to the present invention is applied to both surfaces of the printed wiring board after the treatment of the above (8). In particular, in the present invention, as shown in FIG.
When applying a solder resist layer to both sides of the printed wiring board, the printed wiring board is sandwiched between a pair of application rolls of a roll coater in a state where the printed wiring board is vertically erected, and is conveyed from the lower side to the upper side and the substrate is It is desirable to apply the solder resist composition on both sides simultaneously. The reason is that the current basic specifications of printed wiring boards are on both sides, and the curtain coating method (a method of flowing resin from top to bottom like a waterfall and applying it by passing a substrate through this "curtain" of resin) This is because only one side can be applied. The above-described solder resist composition of the present invention can be advantageously used for the above-described method of simultaneously applying both surfaces. That is, since the viscosity of the solder resist composition of the present invention is 1 to 10 Pa · s at 25 ° C., the composition does not flow even when the substrate is applied vertically and the transfer is good.

【0049】(10)次に、ソルダーレジスト組成物の塗膜
を60〜80℃で5〜60分間乾燥し、この塗膜に、開口部を
描画したフォトマスクフィルムを載置して露光、現像処
理することにより、導体回路のうちパッド部分を露出さ
せた開口部を形成する。このようにして開口部を形成し
た塗膜を、さらに80℃〜150 ℃で1〜10時間の熱処理に
より硬化させる。これにより、開口部を有するソルダー
レジスト層は導体回路の表面に設けた粗化層と密着す
る。ここで、前記開口部の開口径は、パッドの径よりも
大きくし、パッドを完全に露出させる程度にすることが
できる。この場合、フォトマスクがずれてもパッドがソ
ルダーレジストで被覆されることはなく、またソルダー
レジストがはんだ体に接触せず、はんだ体にくびれが生
じないため、はんだ体にはクラックが発生しにくくな
る。また逆に、ソルダーレジスト層の開口径をパッドの
径よりも小さくし、パッドの一部をソルダーレジスト層
で被覆することも可能である。この場合は、パッドの粗
化層がソルダーレジストに食い込み、ソルダーレジスト
層とパッドが密着し、パッドの剥離を抑制することがで
きる。
(10) Next, the coating film of the solder resist composition is dried at 60 to 80 ° C. for 5 to 60 minutes, and a photomask film having an opening is placed on the coating film to expose and develop. The processing forms an opening exposing the pad portion of the conductor circuit. The coating film in which the openings are formed in this manner is further cured by a heat treatment at 80 ° C. to 150 ° C. for 1 to 10 hours. Thereby, the solder resist layer having the opening is in close contact with the roughened layer provided on the surface of the conductor circuit. Here, the opening diameter of the opening may be larger than the diameter of the pad, and may be such that the pad is completely exposed. In this case, even if the photomask is displaced, the pad is not covered with the solder resist, and the solder resist does not contact the solder body and the solder body does not become constricted, so that the solder body is less likely to crack. Become. Conversely, it is also possible to make the opening diameter of the solder resist layer smaller than the diameter of the pad and cover a part of the pad with the solder resist layer. In this case, the roughened layer of the pad bites into the solder resist, and the solder resist layer and the pad are in close contact with each other, so that peeling of the pad can be suppressed.

【0050】(11)次に、前記開口部から露出した前記パ
ッド部上にニッケルめっき、金めっきを施す。ニッケル
めっきや金めっきの具体的なめっき液組成は公知であ
り、例えば、槇書店発行、神戸徳蔵 著、「NPシリー
ズ 無電解めっき」(1990年9月30日発行)などに詳述
されている。
(11) Next, nickel plating and gold plating are applied to the pad portion exposed from the opening. Specific plating solution compositions of nickel plating and gold plating are known, and are described in detail, for example, in Maki Shoten, Tokuzo Kobe, "NP Series Electroless Plating" (published on September 30, 1990). .

【0051】(12)次に、前記開口部から露出した前記パ
ッド部上にはんだ体を供給する。はんだ体の供給方法と
しては、はんだ転写法や印刷法を用いることができる。
ここで、はんだ転写法は、プリプレグにはんだ箔を貼合
し、このはんだ箔を開口部分に相当する箇所のみを残し
てエッチングすることによりはんだパターンを形成して
はんだキャリアフィルムとし、このはんだキャリアフィ
ルムを、基板のソルダーレジスト開口部分にフラックス
を塗布した後、はんだパターンがパッドに接触するよう
に積層し、これを加熱して転写する方法である。一方、
印刷法は、パッドに相当する箇所に貫通孔を設けたメタ
ルマスクを基板に載置し、はんだペーストを印刷して加
熱処理する方法である。
(12) Next, a solder body is supplied onto the pad portion exposed from the opening. As a method of supplying the solder body, a solder transfer method or a printing method can be used.
Here, in the solder transfer method, a solder foil is bonded to a prepreg, and the solder foil is etched leaving only a portion corresponding to an opening portion to form a solder pattern to form a solder carrier film. Is applied to a solder resist opening portion of a substrate, and then laminated such that a solder pattern is in contact with a pad, which is heated and transferred. on the other hand,
The printing method is a method in which a metal mask having a through-hole provided at a position corresponding to a pad is placed on a substrate, and a solder paste is printed and heated.

【0052】なお、上述した方法は、いわゆるフルアデ
ィテイブ法と呼ばれるプリント配線板の製造方法であ
り、この方法以外にもセミアディティブ法と呼ばれる方
法を採用することができる。例えば、次のような方法で
プリント配線板を製造することができる。 (1) 前述した方法における工程(5) を終えた基板に対
し、全面に無電解めっき膜を形成する。この無電解めっ
き膜としては無電解銅めっき膜がよく、その厚さは1〜
5μmがよい。この理由は、無電解銅めっき膜は、めっ
きリードとして機能し、かつエッチングで除去しやすい
からである。 (2) 無電解めっき膜上に感光性のドライフィルムを熱圧
着させ、次いでフォトマスクフィルムを密着させて露光
し、アルカリや溶剤などで現像処理し、めっきレジスト
を設ける。 (3) 無電解めっき膜をめっきリードとして電解めっきを
行い、レジスト非形成部分に電解めっき膜を形成する。
この電解めっき膜の厚さは、5〜20μmがよい。 (4) めっきレジストをアルカリや溶剤で剥離した後、硫
酸−過酸化水素の混合水溶液、あるいは過硫酸塩の水溶
液、塩化第二鉄、塩化第二銅などの水溶液でめっきレジ
スト下の無電解めっき膜を溶解除去し、パッド含む導体
回路、バイアホールを形成する。 (5) 以下、前述した方法における工程 (8)〜(12)を経
て、ソルダーレジスト層およびはんだバンプを形成す
る。
The above-described method is a method for manufacturing a printed wiring board called a so-called full additive method. In addition to this method, a method called a semi-additive method can be adopted. For example, a printed wiring board can be manufactured by the following method. (1) An electroless plating film is formed on the entire surface of the substrate after the step (5) in the method described above. This electroless plating film is preferably an electroless copper plating film, and its thickness is 1 to
5 μm is preferred. The reason for this is that the electroless copper plating film functions as a plating lead and is easily removed by etching. (2) A photosensitive dry film is thermocompression-bonded on the electroless plating film, then a photomask film is brought into close contact with the substrate, exposed, developed with an alkali or a solvent, and provided with a plating resist. (3) Electroplating is performed using the electroless plating film as a plating lead, and an electrolytic plating film is formed on a portion where no resist is formed.
The thickness of this electrolytic plating film is preferably 5 to 20 μm. (4) After stripping the plating resist with an alkali or a solvent, electroless plating under the plating resist with an aqueous solution of sulfuric acid-hydrogen peroxide or an aqueous solution of persulfate, ferric chloride, cupric chloride, etc. The film is dissolved and removed to form conductive circuits including pads and via holes. (5) Hereinafter, through steps (8) to (12) in the above-described method, a solder resist layer and a solder bump are formed.

【0053】[0053]

【実施例】【Example】

(実施例1) (1) 厚さ1mmのガラスエポキシ樹脂またはBT(ビスマ
レイミドトリアジン)樹脂からなる基板1の両面に18μ
mの銅箔8がラミネートされてなる銅張積層板を出発材
料とした(図1(a) 参照)。この銅張積層板の銅箔8を
常法に従いパターン状にエッチングすることにより、基
板1の両面に内層銅パターン4を形成した(図1(b) 参
照)。
Example 1 (1) 18 μm on both sides of a substrate 1 made of glass epoxy resin or BT (bismaleimide triazine) resin having a thickness of 1 mm.
A copper-clad laminate obtained by laminating m copper foils 8 was used as a starting material (see FIG. 1A). The copper foil 8 of the copper-clad laminate was etched in a pattern according to a conventional method to form an inner copper pattern 4 on both surfaces of the substrate 1 (see FIG. 1B).

【0054】(2) 前記(1) で内層銅パターン4を形成し
た基板を水洗いし、乾燥した後、その基板を酸性脱脂し
てソフトエッチングし、次いで、塩化パラジウムと有機
酸からなる触媒溶液で処理して、Pd触媒を付与し、こ
の触媒を活性化した後、硫酸銅8g/l、硫酸ニッケル
0.6g/l、クエン酸15g/l、次亜リン酸ナトリウム
29g/l、ホウ酸31g/l、界面活性剤 0.1g/l、p
H=9からなる無電解めっき浴にてめっきを施し、銅導
体回路3の全表面にCu−Ni−P合金の厚さ 2.5μmの粗
化層(凹凸層)を形成した(但し、この粗化層は図示し
ない)。そしてさらに、その基板を水洗いし、0.1mol/
lホウふっ化スズ−1.0mol/lチオ尿素液からなる無電
解スズ置換めっき浴に50℃で1時間浸漬し、前記Cu−Ni
−P合金粗化層の表面に厚さ 0.3μmのスズ置換めっき
層を形成した(但し、このスズ置換めっき層は図示しな
い)。
(2) The substrate on which the inner layer copper pattern 4 was formed in the above (1) was washed with water and dried, and then the substrate was acid-degreased and soft-etched. Then, a catalyst solution comprising palladium chloride and an organic acid was used. After treatment to give a Pd catalyst and to activate this catalyst, copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate
0.6 g / l, citric acid 15 g / l, sodium hypophosphite
29 g / l, boric acid 31 g / l, surfactant 0.1 g / l, p
Plating was performed in an electroless plating bath consisting of H = 9, and a roughened layer (uneven layer) of Cu-Ni-P alloy having a thickness of 2.5 μm was formed on the entire surface of the copper conductor circuit 3 (however, this roughened layer was formed). Layer is not shown). Then, further, the substrate is washed with water, and 0.1 mol /
immersed in an electroless tin displacement plating bath composed of l-boron fluoride-1.0 mol / l thiourea solution at 50 ° C for 1 hour,
A tin-substituted plating layer having a thickness of 0.3 μm was formed on the surface of the -P alloy roughened layer (this tin-substituted plating layer is not shown).

【0055】(3) DMDG(ジエチレングリコールジメ
チルエーテル)に溶解したクレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂(日本化薬製、分子量2500)の25%アクリル化
物を70重量部、ポリエーテルスルフォン(PES)30重
量部、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名:2E4M
Z-CN)4重量部、感光性モノマーであるカプロラクトン
変成トリス(アクロキシエチル)イソシアヌレート(東
亜合成製、商品名:アロニックスM325 )10重量部、光
開始剤としてのベンゾフェノン(関東化学製)5重量
部、光増感剤としてのミヒラーケトン(関東化学製)0.
5 重量部、さらにこの混合物に対してエポキシ樹脂粒子
の平均粒径 5.5μmのものを35重量部、平均粒径 0.5μ
mのものを5重量部を混合した後、NMP(ノルマルメ
チルピロリドン)を添加しながら混合し、ホモディスパ
ー攪拌機で粘度12Pa・sに調整し、続いて3本ロールで
混練して感光性接着剤溶液(層間樹脂絶縁材)を得た。
(3) 70 parts by weight of a 25% acrylate of cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, molecular weight 2500) dissolved in DMDG (diethylene glycol dimethyl ether), 30 parts by weight of polyether sulfone (PES), and imidazole curing (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4M
4 parts by weight of Z-CN), 10 parts by weight of caprolactone-modified tris (acroxyethyl) isocyanurate (trade name: Alonix M325, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as a photosensitive monomer, and benzophenone (manufactured by Kanto Chemical) 5 as a photoinitiator Parts by weight, Michler's ketone as a photosensitizer (Kanto Chemical)
5 parts by weight, 35 parts by weight of an epoxy resin particle having an average particle size of 5.5 μm with respect to this mixture, and an average particle size of 0.5 μm
m, 5 parts by weight, and then mixing while adding NMP (normal methylpyrrolidone), adjusting the viscosity to 12 Pa · s with a homodisper stirrer, and kneading with a three-roll mill. A solution (interlayer resin insulating material) was obtained.

【0056】(4) 前記(3) で得た感光性接着剤溶液を、
前記(2) の処理を終えた基板の両面に、ロールコータを
用いて塗布し、水平状態で20分間放置してから、60℃で
30分間の乾燥を行い、厚さ60μmの接着剤層2を形成し
た。
(4) The photosensitive adhesive solution obtained in the above (3) is
On both sides of the substrate after the treatment of the above (2), apply using a roll coater, leave it in a horizontal state for 20 minutes, and then
Drying was performed for 30 minutes to form an adhesive layer 2 having a thickness of 60 μm.

【0057】(5) 前記(4) で接着剤層2を形成した基板
の両面に、バイアホールが描画されたフォトマスクフィ
ルムを載置し、紫外線を照射して露光した。 (6) 露光した基板をDMTG(トリエチレングリコール
ジメチルエーテル)溶液でスプレー現像することによ
り、接着剤層2に 100μmφのバイアホールとなる開口
を形成した。さらに、当該基板を超高圧水銀灯にて3000
mJ/cm2 で露光し、100℃で1時間、その後 150℃で5
時間にて加熱処理することにより、フォトマスクフィル
ムに相当する寸法精度に優れた開口(バイアホール形成
用開口6)を有する厚さ50μmの接着剤層2を形成し
た。なお、バイアホールとなる開口6には、スズめっき
層を部分的に露出させる。
(5) A photomask film having via holes drawn thereon was placed on both sides of the substrate on which the adhesive layer 2 was formed in the above (4), and was exposed to ultraviolet rays. (6) The exposed substrate was spray-developed with a DMTG (triethylene glycol dimethyl ether) solution to form an opening serving as a 100 μmφ via hole in the adhesive layer 2. Further, the substrate is 3,000
Exposure at mJ / cm 2 for 1 hour at 100 ° C, then 5 ° C at 150 ° C
By performing heat treatment over time, an adhesive layer 2 having a thickness of 50 μm and having an opening (opening 6 for forming a via hole) having excellent dimensional accuracy corresponding to a photomask film was formed. Note that the tin plating layer is partially exposed in the opening 6 serving as a via hole.

【0058】(7) 前記(5) (6) でバイアホール形成用開
口6を形成した基板を、クロム酸に2分間浸漬し、接着
剤層2表面に存在するエポキシ樹脂粒子を溶解除去し
て、当該接着剤層の表面を粗化し、その後、中和溶液
(シプレイ社製)に浸漬してから水洗いした(図1(c)
参照)。
(7) The substrate having the via hole forming openings 6 formed in the above (5) and (6) is immersed in chromic acid for 2 minutes to dissolve and remove the epoxy resin particles present on the surface of the adhesive layer 2. Then, the surface of the adhesive layer was roughened, and then immersed in a neutralizing solution (manufactured by Shipley) and washed with water (FIG. 1 (c)).
reference).

【0059】(8) 前記(7) で粗面化処理(粗化深さ20μ
m)を行った基板に対し、パラジウム触媒(アトテック
製)を付与することにより、接着剤層2およびバイアホ
ール用開口6の表面に触媒核を付与した。
(8) Roughening treatment (roughening depth 20 μm)
By applying a palladium catalyst (manufactured by Atotech) to the substrate subjected to m), catalyst nuclei were provided on the surfaces of the adhesive layer 2 and the via hole openings 6.

【0060】(9) DMDGに溶解させた60重量%のクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬製)のエポ
キシ基50%をアクリル化した感光性付与のオリゴマー
(分子量4000)を 46.67g、メチルエチルケトンに溶解
させた80重量%のビスフェノールA型エポキシ樹脂(油
化シェル製、エピコート1001)15.0g、イミダゾール硬
化剤(四国化成製、商品名:2E4MZ-CN)1.6 g、感光性
モノマーである多価アクリルモノマー(日本化薬製、商
品名:R604 )3g、同じく多価アクリルモノマー(共
栄社化学製、商品名:DPE6A )1.5 gを混合し、混合液
Aを調製した。一方で、光開始剤としてのベンゾフェノ
ン(関東化学製)2g、光増感剤としてのミヒラーケト
ン(関東化学製)0.2 gを40℃に加温した3gのDMD
Gに溶解させて混合液Bを調製した。上記混合液Aと上
記混合液Bを混合攪拌して液状レジスト組成物を得た。
(9) 46.67 g of a photosensitizing oligomer (molecular weight: 4000) obtained by acrylated 50% of an epoxy group of a cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku) of 60% by weight dissolved in DMDG was added to methyl ethyl ketone. 15.0 g of dissolved 80% by weight bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, Epicoat 1001), 1.6 g of imidazole hardener (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), polyvalent acrylic as a photosensitive monomer A mixed solution A was prepared by mixing 3 g of a monomer (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: R604) and 1.5 g of a polyvalent acrylic monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name: DPE6A). On the other hand, 3 g of DMD prepared by heating 2 g of benzophenone as a photoinitiator (manufactured by Kanto Kagaku) and 0.2 g of Michler's ketone as a photosensitizer (manufactured by Kanto Kagaku) at 40 ° C.
G to prepare a mixed solution B. The liquid mixture A and the liquid mixture B were mixed and stirred to obtain a liquid resist composition.

【0061】(10)上記(8) で触媒核付与の処理を終えた
基板の両面に、上記液状レジスト組成物をロールコータ
を用いて塗布し、60℃で30分の乾燥を行い、厚さ30μm
のレジスト層を形成した。
(10) The liquid resist composition is applied to both surfaces of the substrate, which has been subjected to the treatment for providing catalyst nuclei in the above (8), using a roll coater, and dried at 60 ° C. for 30 minutes. 30 μm
Was formed.

【0062】(11)前記レジスト層にパターンが描画され
たマスクを積層し、紫外線を照射して露光した。 (12)前記(11)で露光した後、レジスト層をDMTGで溶
解現像し、基板上に導体回路パターン部の抜けためっき
レジスト3を形成し、さらに、これを超高圧水銀灯にて
6000mJ/cm2 で露光した。そしてさらに、このめっきレ
ジスト3を、 100℃で1時間、その後、 150℃で3時間
にて加熱処理することにより、前記接着剤層2の上に形
成した永久レジスト3とする。
(11) A mask having a pattern drawn thereon was laminated on the resist layer, and the resist layer was exposed to ultraviolet rays. (12) After exposure in the above (11), the resist layer is dissolved and developed with DMTG to form a plating resist 3 from which the conductor circuit pattern portion has been removed on the substrate, and this is further subjected to an ultra-high pressure mercury lamp.
Exposure was performed at 6000 mJ / cm 2 . Further, the plating resist 3 is subjected to a heat treatment at 100 ° C. for 1 hour and then at 150 ° C. for 3 hours to obtain a permanent resist 3 formed on the adhesive layer 2.

【0063】(13)永久レジスト3を形成した基板に、予
め、めっき前処理(具体的には硫酸処理等および触媒核
の活性化)を施し、その後、無電解銅めっき浴による銅
めっきを行い、レジスト非形成部に厚さ15μm程度の無
電解銅めっきを析出させて、外層銅パターン5、バイア
ホール7を形成することにより、アディティブ法による
導体層を形成した(図1(d) 参照)。 (14)ついで、導体層を形成した基板を、硫酸銅8g/
l、硫酸ニッケル 0.6g/l、クエン酸15g/l、次亜
リン酸ナトリウム29g/l、ホウ酸31g/l、界面活性
剤 0.1g/lからなるpH=9の無電解めっき液に浸漬
し、該導体層の表面に銅−ニッケル−リンからなる粗化
層11を形成した(図1(e) 参照)。
(13) The substrate on which the permanent resist 3 has been formed is preliminarily subjected to a plating pretreatment (specifically, a sulfuric acid treatment or the like and activation of catalyst nuclei), and thereafter, is subjected to copper plating in an electroless copper plating bath. A conductor layer was formed by an additive method by depositing an electroless copper plating having a thickness of about 15 μm on the non-resist forming portion to form an outer copper pattern 5 and a via hole 7 (see FIG. 1D). . (14) Then, the substrate on which the conductor layer was formed was coated with copper sulfate 8 g /
1, nickel sulfate 0.6 g / l, citric acid 15 g / l, sodium hypophosphite 29 g / l, boric acid 31 g / l, surfactant 0.1 g / l, immersed in an electroless plating solution having a pH of 9 Then, a roughened layer 11 made of copper-nickel-phosphorus was formed on the surface of the conductor layer (see FIG. 1 (e)).

【0064】(15)一方、DMDGに溶解させた60重量%
のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬製)
のエポキシ基50%をアクリル化した感光性付与のオリゴ
マー(分子量4000)を 46.67g、メチルエチルケトンに
溶解させた80重量%のビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェル製、エピコート1001)15.0g、イミダゾー
ル硬化剤(四国化成製、商品名:2E4MZ-CN)1.6 g、感
光性モノマーである多価アクリルモノマー(日本化薬
製、商品名:R604 )3g、同じく多価アクリルモノマ
ー(共栄社化学製、商品名:DPE6A ) 1.5g、分散系消
泡剤(サンノプコ社製、商品名:S−65)0.71gを混合
し、さらにこの混合物に対して光開始剤としてのベンゾ
フェノン(関東化学製)を2g、光増感剤としてのミヒ
ラーケトン(関東化学製)を0.2 g加えて、粘度を25℃
で 2.0Pa・sに調整したソルダーレジスト組成物を得
た。なお、粘度測定は、B型粘度計(東京計器、 DVL-B
型)で 60rpmの場合はローターNo.4、6rpm の場合はロ
ーターNo.3によった。
(15) On the other hand, 60% by weight dissolved in DMDG
Cresol novolak epoxy resin (Nippon Kayaku)
46.67 g of a photosensitizing oligomer (molecular weight 4000) obtained by acrylizing 50% of the epoxy groups of epoxy resin, 15.0 g of an 80 wt% bisphenol A type epoxy resin (made by Yuka Shell, Epicoat 1001) dissolved in methyl ethyl ketone, imidazole curing 1.6 g of an agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), 3 g of a polyacrylic monomer which is a photosensitive monomer (trade name: R604, manufactured by Nippon Kayaku), and a polyacrylic monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name) : DPE6A) 1.5 g and a dispersion antifoaming agent (manufactured by San Nopco, trade name: S-65) 0.71 g were mixed, and 2 g of benzophenone (Kanto Chemical) as a photoinitiator was added to this mixture. Add 0.2 g of Michler's ketone (manufactured by Kanto Chemical Co.) as a sensitizer and adjust the viscosity to 25 ° C.
Thus, a solder resist composition adjusted to 2.0 Pa · s was obtained. The viscosity was measured using a B-type viscometer (Tokyo Keiki, DVL-B
The rotor was No. 4 at 60 rpm and the rotor No. 3 at 6 rpm.

【0065】(16)(14)までの工程で得た基板を、垂直に
立てた状態で図2に示すロールコーター18の一対の塗布
用ロール19間に挟み、該基板の表面に前記(15)で得たソ
ルダーレジスト組成物を2回塗布し、厚さ20μmの樹脂
層を形成した。ここで、1回目の塗布では75℃,20分間
の乾燥を行い、2回目の塗布では75℃,30分間の乾燥を
行った。 (17)次いで、前記基板の表面に樹脂層を形成した後、該
樹脂層を1000mJ/cm2 の紫外線で露光し、DMTG現像処理
した。さらに、80℃で1時間、 100℃で1時間、 120℃
で1時間、 150℃で3時間の条件で加熱処理し、パッド
部分が開口した(開口径 200μm)ソルダーレジスト層
(厚み20μm)14を形成した(図1(f) 参照)。
(16) The substrate obtained in the steps up to (14) is sandwiched between a pair of coating rolls 19 of a roll coater 18 shown in FIG. 2) was applied twice to form a resin layer having a thickness of 20 μm. Here, in the first coating, drying was performed at 75 ° C. for 20 minutes, and in the second coating, drying was performed at 75 ° C. for 30 minutes. (17) Next, after forming a resin layer on the surface of the substrate, the resin layer was exposed to ultraviolet rays of 1000 mJ / cm 2 and subjected to DMTG development treatment. 1 hour at 80 ° C, 1 hour at 100 ° C, 120 ° C
1 hour and heat treatment at 150 ° C. for 3 hours to form a solder resist layer (thickness: 20 μm) 14 with an opening in the pad portion (opening diameter: 200 μm) (see FIG. 1 (f)).

【0066】(18)次に、ソルダーレジスト層14を形成し
た基板を、塩化ニッケル30g/l、次亜リン酸ナトリウ
ム10g/l、クエン酸ナトリウム10g/l、グリシン20
g/l、硝酸鉛2mg/lからなるpH=5.5 の無電解
ニッケルめっき液に30分間浸漬して、開口部に厚さ4μ
mのニッケルめっき層15を形成した。さらに、その基板
を、シアン化金カリウム2g/l、塩化アンモニウム75
g/l、クエン酸ナトリウム50g/l、次亜リン酸ナト
リウム10g/lからなるpH=5の無電解金めっき液に
90℃の条件で30分間浸漬して、ニッケルめっき層15上に
厚さ0.05μmの金めっき層16を形成した(図1(g) 参
照)。 (19)そして、ソルダーレジスト層14の開口部に、はんだ
ペーストを印刷して(半田転写法でもよい) 200℃でリ
フローすることによりはんだバンプ17を形成し、はんだ
バンプ17を有するプリント配線板を製造した(図1(h)
参照)。
(18) Next, the substrate on which the solder resist layer 14 was formed was coated with nickel chloride 30 g / l, sodium hypophosphite 10 g / l, sodium citrate 10 g / l, glycine 20
g / l, 2 mg / l of lead nitrate, immersed in an electroless nickel plating solution having a pH of 5.5 for 30 minutes, and a thickness of 4 μm
m of the nickel plating layer 15 was formed. Further, the substrate was washed with 2 g / l of potassium gold cyanide and 75 g of ammonium chloride.
g / l, sodium citrate 50 g / l, sodium hypophosphite 10 g / l, pH = 5 electroless gold plating solution
The gold plating layer 16 having a thickness of 0.05 μm was formed on the nickel plating layer 15 by immersion at 90 ° C. for 30 minutes (see FIG. 1 (g)). (19) Then, a solder paste is printed on the opening of the solder resist layer 14 (a solder transfer method may be used) and reflowed at 200 ° C. to form a solder bump 17, and a printed wiring board having the solder bump 17 is formed. Manufactured (Fig. 1 (h)
reference).

【0067】(比較例1)ソルダーレジスト組成物とし
て、実施例1(15)の組成物にDMDGを14g加えて、粘
度を0.2 Pa・sに調整したものを用いたこと以外は、実
施例1と同様にして(16)までの処理を実施した。しかし
ながら、上記ソルダーレジスト組成物は、粘度が低すぎ
て垂れやすく、配線基板を垂直に立てた状態にして両面
同時に塗布することができなかった。そこで、配線基板
を水平にしてカーテンコート法により上記ソルダーレジ
スト組成物を塗布し、実施例1と同様にしてはんだバン
プを有するプリント配線板を製造した。
Comparative Example 1 Example 1 was repeated except that 14 g of DMDG was added to the composition of Example 1 (15) to adjust the viscosity to 0.2 Pa · s as the solder resist composition. The processing up to (16) was performed in the same manner as described above. However, the above-mentioned solder resist composition has a viscosity that is too low and tends to hang down, and it has not been possible to simultaneously apply both surfaces of the solder resist composition in a state where the wiring substrate is set upright. Therefore, the above-mentioned solder resist composition was applied by a curtain coating method with the wiring substrate horizontal, and a printed wiring board having solder bumps was manufactured in the same manner as in Example 1.

【0068】(比較例2)実施例1(15)において、70%
固形分のクレゾールノボラック型エポキシアクリレート
を用いて、粘度を15Pa・sに調整したソルダーレジスト
組成物を得たこと以外は、実施例1と同様にして、はん
だバンプを有するプリント配線板を製造した。この比較
例2では、ソルダーレジスト組成物の粘度が高すぎるた
めに、ソルダーレジスト層の表面に凹凸が発生した。
(Comparative Example 2) In Example 1 (15), 70%
A printed wiring board having solder bumps was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a solder resist composition having a viscosity adjusted to 15 Pa · s was obtained using a solid cresol novolak type epoxy acrylate. In Comparative Example 2, unevenness was generated on the surface of the solder resist layer because the viscosity of the solder resist composition was too high.

【0069】(比較例3)ソルダーレジスト組成物とし
て、特開昭63−286841号公報に記載の実験番号1−1の
組成物(オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、
セロソルブアセテート、ベンゾフェノン、ミヒラーケト
ンを含む粘度 0.2Pa・sのソルダーレジスト組成物)を
用いたこと以外は、実施例1と同様にして(16)までの処
理を実施した。しかしながら、上記ソルダーレジスト組
成物は、粘度が低すぎて垂れやすく、配線基板を垂直に
立てた状態にして両面同時に塗布することができなかっ
た。そこで、特開昭63−286841号公報に準じてカーテン
コート法により、配線基板の表面に上記ソルダーレジス
トを塗布し、以後、上記実施例1と同様にしてはんだバ
ンプを有するプリント配線板を製造した。
(Comparative Example 3) As a solder resist composition, a composition of Experiment No. 1-1 (orthocresol novolak type epoxy resin, described in JP-A-63-286841)
The process up to (16) was carried out in the same manner as in Example 1 except that a solder resist composition containing cellosolve acetate, benzophenone and Michler's ketone and having a viscosity of 0.2 Pa · s) was used. However, the above-mentioned solder resist composition has a viscosity that is too low and tends to hang down, and it has not been possible to simultaneously apply both surfaces of the solder resist composition in a state where the wiring substrate is set upright. Therefore, the above-mentioned solder resist was applied to the surface of the wiring board by a curtain coating method according to JP-A-63-286841, and thereafter, a printed wiring board having solder bumps was manufactured in the same manner as in Example 1 above. .

【0070】(比較例4)ソルダーレジスト組成物とし
て、特開昭62−23036 号公報に記載の組成物を使用し、
ソルダーレジスト層の現像処理をアルカリ現像としたこ
と以外は、実施例1と同様にしてはんだバンプを有する
プリント配線板を製造した。
(Comparative Example 4) A composition described in JP-A-62-23036 was used as a solder resist composition.
A printed wiring board having solder bumps was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the development of the solder resist layer was performed by alkali development.

【0071】このようにして製造したプリント配線板に
ついて、ソルダーレジスト組成物の塗布性を確認し、ま
た、HAST試験(High Accelaration Stress Test)を
実施し、試験後の、はんだバンプ間のショートの有無を
チェッカで測定した。なお、HAST試験条件は、湿度
85%、温度 135℃、印加電圧 3.3V、48時間とした。ま
た、目視によるハロー現象の有無を確認し、さらに、−
55〜125 ℃で1000回のヒートサイクル試験を実施し、光
学顕微鏡によりソルダーレジスト層の剥離の有無を確認
した。これらの結果を表1に示す。
For the printed wiring board thus manufactured, the applicability of the solder resist composition was confirmed, and a HAST test (High Acceleration Stress Test) was performed. Was measured with a checker. Note that the HAST test condition is humidity
85%, temperature 135 ° C, applied voltage 3.3V, 48 hours. In addition, the presence or absence of a halo phenomenon was visually confirmed, and
A heat cycle test was performed 1000 times at 55 to 125 ° C., and the presence or absence of peeling of the solder resist layer was confirmed by an optical microscope. Table 1 shows the results.

【0072】本発明例である実施例1では、配線基板を
立てた状態にしてロールコータによりソルダーレジスト
組成物を塗布する場合、その塗布性は良好であった。こ
れに対し、ソルダーレジスト組成物の粘度が低すぎる比
較例1やその粘度が高すぎる比較例2では、そのソルダ
ーレジスト組成物の塗布性は悪かった。また実施例1で
は、鉛のマイグレーションは確認されず、このマイグレ
ーションの有無に起因するHAST試験後のショート不
良の発生はなかった。これに対し、比較例2、4では、
実施例1と同じ組成のソルダーレジスト組成物を使用し
ていてもその粘度が低いので、鉛のマイグレーションが
確認され、HAST試験後にショート不良が発生した。
さらに実施例1では、グリコールエーテル系溶剤を使用
しているので、導体回路を酸化させることはなくハロー
現象やヒートサイクルによるソルダーレジスト層の剥離
は観察されなかった。これに対し、セロソルブアセテー
トを使用している比較例3では、ハロー現象やヒートサ
イクルによる剥離が観察された。
In Example 1, which is an example of the present invention, when the solder resist composition was applied by a roll coater with the wiring board upright, the applicability was good. On the other hand, in Comparative Example 1 where the viscosity of the solder resist composition was too low and Comparative Example 2 where the viscosity was too high, the coatability of the solder resist composition was poor. In Example 1, no migration of lead was confirmed, and no short-circuit failure occurred after the HAST test due to the presence or absence of this migration. In contrast, in Comparative Examples 2 and 4,
Even when a solder resist composition having the same composition as in Example 1 was used, its migration was low because of its low viscosity, and short-circuit failure occurred after the HAST test.
Further, in Example 1, since the glycol ether-based solvent was used, the conductor circuit was not oxidized, and no halo phenomenon or peeling of the solder resist layer due to a heat cycle was observed. In contrast, in Comparative Example 3 using cellosolve acetate, a halo phenomenon and peeling due to a heat cycle were observed.

【0073】[0073]

【表1】 [Table 1]

【0074】(実施例2) A.無電解めっき用接着剤組成物の調製 .クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、分子量2500)の25%アクリル化物を80wt%の濃度で
DMDGに溶解させた樹脂液を35重量部、感光性モノマ
ー(東亜合成製、アロニックスM315 )3.15重量部、消
泡剤(サンノプコ製、S−65)0.5 重量部、NMPを3.
6 重量部を攪拌混合した。 .ポリエーテルスルフォン(PES)12重量部、エポ
キシ樹脂粒子(三洋化成製、ポリマーポール)の平均粒
径 1.0μmのものを7.2 重量部、平均粒径0.5μmのも
のを3.09重量部を混合した後、さらにNMP30重量部を
添加し、ビーズミルで攪拌混合した。 .イミダゾール硬化剤(四国化成製、2E4MZ-CN)2重
量部、光開始剤(チバガイギー製、イルガキュア I−
907 )2重量部、光増感剤(日本化薬製、DETX-S)0.2
重量部、NMP1.5 重量部を攪拌混合した。 これらを混合して無電解めっき用接着剤組成物を調製し
た。
Example 2 A. Preparation of adhesive composition for electroless plating. 35 parts by weight of a resin solution prepared by dissolving a 25% acrylated cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., molecular weight 2500) in DMDG at a concentration of 80 wt%, 35 parts by weight, and 3.15 parts by weight of a photosensitive monomer (Alonix M315 manufactured by Toa Gosei) Parts, 0.5 parts by weight of antifoaming agent (manufactured by San Nopco, S-65), and 3.
6 parts by weight were mixed with stirring. . After mixing 12 parts by weight of polyethersulfone (PES), 7.2 parts by weight of an epoxy resin particle (manufactured by Sanyo Chemical Industries, polymer pole) having an average particle diameter of 1.0 μm, and 3.09 parts by weight of an epoxy resin particle having an average particle diameter of 0.5 μm, Further, 30 parts by weight of NMP was added and mixed by stirring with a bead mill. . 2 parts by weight of an imidazole curing agent (2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals), a photoinitiator (Irgacure I-, manufactured by Ciba-Geigy)
907) 2 parts by weight, photosensitizer (DETX-S, manufactured by Nippon Kayaku) 0.2
Parts by weight and 1.5 parts by weight of NMP were mixed with stirring. These were mixed to prepare an adhesive composition for electroless plating.

【0075】B.下層の層間樹脂絶縁剤の調製 .クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、分子量2500)の25%アクリル化物を80wt%の濃度で
DMDGに溶解させた樹脂液を35重量部、感光性モノマ
ー(東亜合成製、アロニックスM315 )4重量部、消泡
剤(サンノプコ製、S−65)0.5 重量部、NMPを3.6
重量部を攪拌混合した。 .ポリエーテルスルフォン(PES)12重量部、エポ
キシ樹脂粒子(三洋化成製、ポリマーポール)の平均粒
径 0.5μmのものを14.49 重量部、を混合した後、さら
にNMP30重量部を添加し、ビーズミルで攪拌混合し
た。 .イミダゾール硬化剤(四国化成製、2E4MZ-CN)2重
量部、光開始剤(チバガイギー製、イルガキュア I−
907 )2重量部、光増感剤(日本化薬製、DETX-S)0.2
重量部、NMP1.5 重量部を攪拌混合した。 これらを混合して、2層構造の層間樹脂絶縁層を構成す
る下層側の絶縁剤層として用いられる樹脂組成物を調製
した。
B. Preparation of lower interlayer resin insulation agent 35 parts by weight of a resin solution prepared by dissolving a 25% acrylate of cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., molecular weight: 2500) at a concentration of 80 wt% in DMDG, and 4 parts by weight of a photosensitive monomer (Toa Gosei Co., Aronix M315) Parts, 0.5 parts by weight of antifoaming agent (manufactured by San Nopco, S-65), 3.6 parts of NMP
The parts by weight were mixed with stirring. . After mixing 12 parts by weight of polyether sulfone (PES) and 14.49 parts by weight of an epoxy resin particle (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd., polymer pole) having an average particle diameter of 0.5 μm, 30 parts by weight of NMP was further added and stirred with a bead mill. Mixed. . 2 parts by weight of an imidazole curing agent (2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals), a photoinitiator (Irgacure I-, manufactured by Ciba-Geigy)
907) 2 parts by weight, photosensitizer (DETX-S, manufactured by Nippon Kayaku) 0.2
Parts by weight and 1.5 parts by weight of NMP were mixed with stirring. These were mixed to prepare a resin composition to be used as a lower insulating layer constituting a two-layer interlayer resin insulating layer.

【0076】C.樹脂充填剤の調製 .ビスフェノールF型エポキシモノマー(油化シェル
製、分子量310, YL983U)100重量部、表面にシランカッ
プリング剤がコーティングされた平均粒径 1.6μmのSi
2 球状粒子(アドマテック製、CRS 1101−CE、ここ
で、最大粒子の大きさは後述する内層銅パターンの厚み
(15μm)以下とする) 170重量部、レベリング剤(サ
ンノプコ製、ペレノールS4)1.5 重量部を3本ロール
にて混練して、その混合物の粘度を23±1℃で45,000〜
49,000cps に調整した。 .イミダゾール硬化剤(四国化成製、2E4MZ-CN)6.5
重量部。 これらを混合して樹脂充填剤10を調製した。
C. Preparation of resin filler 100 parts by weight of bisphenol F type epoxy monomer (manufactured by Yuka Shell, molecular weight 310, YL983U), Si coated with a silane coupling agent on the surface and having an average particle size of 1.6 μm
O 2 spherical particles (manufactured by Admatech, CRS 1101-CE, where the maximum particle size is not more than the thickness (15 μm) of the inner layer copper pattern described later) 170 parts by weight, leveling agent (manufactured by San Nopco, Perenol S4) 1.5 The weight of the mixture is kneaded with three rolls and the viscosity of the mixture is 45,000 ~ at 23 ± 1 ° C.
Adjusted to 49,000cps. . Imidazole curing agent (2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals) 6.5
Parts by weight. These were mixed to prepare a resin filler 10.

【0077】D.アクリル酸エステル重合体の製造例1 キシレン溶媒中に2−エチルヘキシルアクリレートとブ
チルアクリレートを重量比で53:47の割合で混合し、ジ
メチルアニリン(3級アミン)を開始剤として用い、50
℃に加熱して常法により共重合させた。また、同様にし
てエチルアクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート
をそれぞれ単独で重合させた。2−エチルヘキシルアク
リレートとブチルアクリレートの共重合体、エチルアク
リレートの重合体、ヒドロキシエチルアクリレートの重
合体を重量比で2−エチルヘキシルアクリレート:ブチ
ルアクリレート:エチルアクリレート:ヒドロキシエチ
ルアクリレート=49:42:6:3となるようにそれぞれ
混合して、キシレンを加熱除去した。得られた組成物
は、メタノールに対する再沈を試みたが、ポリマーが沈
降せず、分子量は約2000〜3000程度であると推定され
る。得られた組成物について、FT−IRスペクトル、
1H−NMR、13C−NMRを測定した。その結果を図
25、図26、図27に示す。これらのIRおよびNMRのデ
ータより、合成物はアクリル酸エステルの重合体である
ことが裏付けられた。
D. Preparation Example 1 of Acrylic Ester Polymer In a xylene solvent, 2-ethylhexyl acrylate and butyl acrylate were mixed at a weight ratio of 53:47, and dimethylaniline (tertiary amine) was used as an initiator.
C. and was copolymerized by a conventional method. Similarly, ethyl acrylate and hydroxyethyl acrylate were independently polymerized. A copolymer of 2-ethylhexyl acrylate and butyl acrylate, a polymer of ethyl acrylate, and a polymer of hydroxyethyl acrylate are 2-ethylhexyl acrylate: butyl acrylate: ethyl acrylate: hydroxyethyl acrylate = 49: 42: 6: 3 by weight ratio. And xylene was removed by heating. The resulting composition was tried to reprecipitate in methanol, but the polymer did not precipitate, and the molecular weight is estimated to be about 2,000 to 3,000. About the obtained composition, FT-IR spectrum,
1 H-NMR and 13 C-NMR were measured. Fig.
25, 26 and 27. From these IR and NMR data, it was confirmed that the synthesized product was a polymer of an acrylate ester.

【0078】〔測定装置および測定条件〕 FT−IR 装置:パーキンエルマー1650 測定法:透過法(KRS−5) NMR 装置:日本電子製 EX−400 ケミカルシフト基準:CDCl3 1H 7.25ppm , 13C 7
7.05ppm 試料を重クロロホルムに溶解してピリジン−d5を5滴
加えて室温にて測定を行った。
[Measurement Apparatus and Measurement Conditions] FT-IR apparatus: Perkin Elmer 1650 Measurement method: Transmission method (KRS-5) NMR apparatus: JEOL EX-400 Chemical shift standard: CDCl 3 ; 1 H 7.25 ppm, 13 C 7
A 7.05 ppm sample was dissolved in deuterated chloroform, and 5 drops of pyridine-d5 were added, followed by measurement at room temperature.

【0079】E.プリント配線板の製造方法 (1) 厚さ1mmのガラスエポキシ樹脂またはBT(ビスマ
レイミドトリアジン)樹脂からなる基板1の両面に18μ
mの銅箔8がラミネートされている銅張積層板を出発材
料とした(図4参照)。まず、この銅張積層板をドリル
削孔し、めっきレジストを形成した後、無電解めっき処
理してスルーホール9を形成し、さらに、銅箔8を常法
に従いパターン状にエッチングすることにより、基板1
の両面に内層銅パターン4を形成した。
E. Manufacturing method of printed wiring board (1) 18 μm on both sides of substrate 1 made of glass epoxy resin or BT (bismaleimide triazine) resin having a thickness of 1 mm
A copper-clad laminate on which m copper foils 8 were laminated was used as a starting material (see FIG. 4). First, the copper clad laminate is drilled to form a plating resist, and then subjected to an electroless plating process to form a through hole 9, and further, the copper foil 8 is etched in a pattern according to a conventional method. Substrate 1
The inner layer copper pattern 4 was formed on both surfaces of the substrate.

【0080】(2) 内層銅パターン4およびスルーホール
9を形成した基板を水洗いし、乾燥した後、酸化浴(黒
化浴)として、NaOH(10g/l)、NaClO2(40g/
l)、Na3PO4(6g/l)、還元浴として、NaOH(10g
/l),NaBH4 (6g/l)を用いた酸化−還元処理に
より、内層銅パターン4およびスルーホール9の表面に
粗化層11を設けた(図5参照)。
(2) The substrate on which the inner layer copper pattern 4 and the through hole 9 were formed was washed with water and dried. Then, NaOH (10 g / l) and NaClO 2 (40 g /
l), Na 3 PO 4 (6 g / l), NaOH (10 g
/ L), a roughened layer 11 was provided on the surface of the inner layer copper pattern 4 and the through hole 9 by oxidation-reduction treatment using NaBH 4 (6 g / l) (see FIG. 5).

【0081】(3) 樹脂充填剤10を、基板の片面にロール
コータを用いて塗布することにより、導体回路4間ある
いはスルーホール9内に充填し、70℃,20分間で乾燥さ
せ、他方の面についても同様にして樹脂充填剤10を導体
回路4間あるいはスルーホール9内に充填し、70℃,20
分間で加熱乾燥させた(図6参照)。
(3) The resin filler 10 is applied to one surface of the substrate by using a roll coater to fill the space between the conductor circuits 4 or into the through holes 9 and dried at 70 ° C. for 20 minutes. In the same way, the resin filler 10 is filled between the conductor circuits 4 or in the through holes 9 at 70 ° C., 20 ° C.
It was dried by heating for minutes (see FIG. 6).

【0082】(4) 前記(3) の処理を終えた基板の片面
を、#600 のベルト研磨紙(三共理化学製)を用いたベ
ルトサンダー研磨により、内層銅パターン4の表面やス
ルーホール9のランド表面に樹脂充填剤10が残らないよ
うに研磨し、次いで、前記ベルトサンダー研磨による傷
を取り除くためのバフ研磨を行った。このような一連の
研磨を基板の他方の面についても同様に行った。次い
で、100 ℃で1時間、120 ℃で3時間、 150℃で1時
間、 180℃で7時間の加熱処理を行って樹脂充填剤10を
硬化した(図7参照)。
(4) One surface of the substrate after the treatment of (3) is subjected to belt sander polishing using # 600 belt polishing paper (manufactured by Sankyo Rikagaku Co., Ltd.) to form the surface of the inner layer copper pattern 4 and the through holes 9. Polishing was performed so that the resin filler 10 did not remain on the land surface, and then buffing was performed to remove scratches due to the belt sander polishing. Such a series of polishing was similarly performed on the other surface of the substrate. Next, a heat treatment was performed at 100 ° C. for 1 hour, at 120 ° C. for 3 hours, at 150 ° C. for 1 hour, and at 180 ° C. for 7 hours to cure the resin filler 10 (see FIG. 7).

【0083】このようにして、スルーホール9等に充填
された樹脂充填剤10の表層部および内層導体回路4上面
の粗化層11を除去して基板両面を平滑化し、樹脂充填剤
10と内層導体回路4の側面とが粗化層11を介して強固に
密着し、またスルーホール9の内壁面と樹脂充填剤10と
が粗化層11を介して強固に密着した配線基板を得た。即
ち、この工程により、樹脂充填剤10の表面と内層銅パタ
ーン4の表面が同一平面となる。ここで、充填した硬化
樹脂のTg点は155.6 ℃、線熱膨張係数は44.5×10-6
℃であった。
In this manner, the surface layer of the resin filler 10 filled in the through holes 9 and the like and the roughened layer 11 on the upper surface of the inner conductor circuit 4 are removed to smooth both surfaces of the substrate.
A wiring board is firmly adhered to the side surface of the inner conductor circuit 4 via the roughened layer 11 and the inner wall surface of the through hole 9 is tightly adhered to the resin filler 10 via the roughened layer 11. Obtained. That is, by this step, the surface of the resin filler 10 and the surface of the inner layer copper pattern 4 become flush with each other. Here, the Tg point of the filled cured resin is 155.6 ° C., and the coefficient of linear thermal expansion is 44.5 × 10 −6 /
° C.

【0084】(5) 前記(4) の処理で露出した内層導体回
路4およびスルーホール9のランド上面に厚さ 2.5μm
のCu−Ni−P合金からなる粗化層(凹凸層)11を形成
し、さらに、その粗化層11の表面に厚さ 0.3μmのSn層
を設けた(図8参照、但し、Sn層については図示しな
い)。その形成方法は以下のようである。即ち、基板を
酸性脱脂してソフトエッチングし、次いで、塩化パラジ
ウムと有機酸からなる触媒溶液で処理して、Pd触媒を付
与し、この触媒を活性化した後、硫酸銅8g/l、硫酸
ニッケル 0.6g/l、クエン酸15g/l、次亜リン酸ナ
トリウム29g/l、ホウ酸31g/l、界面活性剤 0.1g
/l、pH=9からなる無電解めっき浴にてめっきを施
し、銅導体回路4上面およびスルーホール9のランド上
面にCu−Ni−P合金の粗化層11を形成した。さらに、こ
の基板に対し、 100℃で30分間、 120℃で30分間、 150
℃で2時間の加熱処理を施し、10重量%硫酸水溶液、0.
2mol/lのホウフッ酸水溶液で処理し、ついで、ホウフ
ッ化スズ0.1mol/l、チオ尿素1.0mol/l、温度50℃、
pH=1.2 の条件でCu−Sn置換反応させ、粗化層11の表
面に厚さ0.3 μmのSn層を設けた(Sn層については図示
しない)。
(5) A thickness of 2.5 μm is formed on the upper surface of the land of the inner conductor circuit 4 and the through hole 9 exposed in the processing of (4).
A roughened layer (concavo-convex layer) 11 made of a Cu—Ni—P alloy was formed, and a Sn layer having a thickness of 0.3 μm was provided on the surface of the roughened layer 11 (see FIG. 8; Is not shown). The formation method is as follows. That is, the substrate was acid-degreased and soft-etched, and then treated with a catalyst solution comprising palladium chloride and an organic acid to provide a Pd catalyst. After activating this catalyst, copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate 0.6 g / l, citric acid 15 g / l, sodium hypophosphite 29 g / l, boric acid 31 g / l, surfactant 0.1 g
Then, plating was performed in an electroless plating bath consisting of / l and pH = 9 to form a roughened layer 11 of a Cu-Ni-P alloy on the upper surface of the copper conductor circuit 4 and the upper surface of the land of the through hole 9. Further, the substrate was heated at 100 ° C for 30 minutes, at 120 ° C for 30 minutes,
C. for 2 hours, 10% by weight sulfuric acid aqueous solution, 0.1%
Treatment with 2 mol / l borofluoric acid aqueous solution, then tin borofluoride 0.1 mol / l, thiourea 1.0 mol / l, temperature 50 ° C.
A Cu—Sn substitution reaction was performed under the condition of pH = 1.2, and a Sn layer having a thickness of 0.3 μm was provided on the surface of the roughened layer 11 (the Sn layer is not shown).

【0085】(6) 前記(5) の基板の両面に、Bの層間樹
脂絶縁剤(粘度1.5 Pa・s) をロールコータで塗布し、
水平状態で20分間放置してから、60℃で30分の乾燥(プ
リベーク)を行い、絶縁剤層2aを形成した。さらにこの
絶縁剤層2aの上にAの無電解めっき用接着剤(粘度7Pa
・s)をロールコータを用いて塗布し、水平状態で20分
間放置してから、60℃で30分の乾燥(プリベーク)を行
い、接着剤層2bを形成した(図9参照)。
(6) An interlayer resin insulating material of B (viscosity: 1.5 Pa · s) is applied to both surfaces of the substrate of (5) by a roll coater.
After being left in a horizontal state for 20 minutes, drying (prebaking) was performed at 60 ° C. for 30 minutes to form an insulating layer 2a. Further, an adhesive for electroless plating of A (viscosity 7 Pa) is placed on the insulating layer 2a.
S) was applied using a roll coater, left in a horizontal state for 20 minutes, and then dried (prebaked) at 60 ° C. for 30 minutes to form an adhesive layer 2b (see FIG. 9).

【0086】(7) 前記(6) で絶縁剤層2aおよび接着剤層
2bを形成した基板の両面に、85μmφの黒円が印刷され
たフォトマスクフィルムを密着させ、超高圧水銀灯によ
り 500mJ/cm2 で露光した。これをDMTG溶液でスプ
レー現像し、さらに、当該基板を超高圧水銀灯により30
00mJ/cm2 で露光し、100 ℃で1時間、その後 150℃で
5時間の加熱処理(ポストベーク)をすることにより、
フォトマスクフィルムに相当する寸法精度に優れた85μ
mφの開口(バイアホール形成用開口6)を有する厚さ
35μmの層間樹脂絶縁層(2層構造)2を形成した(図
10参照)。なお、バイアホールとなる開口には、スズめ
っき層を部分的に露出させた。
(7) The insulating layer 2a and the adhesive layer in the above (6)
A photomask film on which a black circle of 85 μmφ was printed was brought into close contact with both surfaces of the substrate on which 2b was formed, and was exposed at 500 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp. This is spray-developed with a DMTG solution, and the substrate is further subjected to an ultra-high pressure mercury lamp for 30 minutes.
Exposure at 100 mJ / cm 2 and heat treatment (post-bake) at 100 ° C. for 1 hour and then at 150 ° C. for 5 hours
85μ with excellent dimensional accuracy equivalent to a photomask film
Thickness with mφ opening (via hole forming opening 6)
35 μm interlayer resin insulation layer (two-layer structure) 2 was formed (FIG.
10). Note that the tin plating layer was partially exposed in the opening serving as the via hole.

【0087】(8) 開口が形成された基板を、 800g/l
のクロム酸に70℃で19分間浸漬し、層間樹脂絶縁層2の
接着剤層2bの表面に存在するエポキシ樹脂粒子を溶解除
去することにより、当該層間樹脂絶縁層2の表面を粗面
(深さ3μm)とし、その後、中和溶液(シプレイ社
製)に浸漬してから水洗いした(図11参照)。さらに、
粗面化処理した該基板の表面に、パラジウム触媒(アト
テック製)を付与することにより、層間樹脂絶縁層2の
表面およびバイアホール用開口6の内壁面に触媒核を付
けた。
(8) 800 g / l of the substrate having the openings
Chromic acid at 70 ° C. for 19 minutes to dissolve and remove the epoxy resin particles present on the surface of the adhesive layer 2b of the interlayer resin insulation layer 2, thereby making the surface of the interlayer resin insulation layer 2 rough (depth) 3 μm), and then immersed in a neutralizing solution (manufactured by Shipley) and washed with water (see FIG. 11). further,
By applying a palladium catalyst (manufactured by Atotech) to the surface of the roughened substrate, catalyst nuclei were attached to the surface of the interlayer resin insulating layer 2 and the inner wall surface of the via hole opening 6.

【0088】(9) 以下の組成の無電解銅めっき浴中に基
板を浸漬して、粗面全体に厚さ0.6 μmの無電解銅めっ
き膜12を形成した(図12参照)。さらに、この無電解め
っき膜に対し、50℃で1時間、 100℃で30分間、 120℃
で30分間、 150℃で2時間の加熱処理を施した。 〔無電解めっき液〕 EDTA 150 g/l 硫酸銅 20 g/l HCHO 30 ml/l NaOH 40 g/l α、α’−ビピリジル 80 mg/l PEG 0.1 g/l 〔無電解めっき条件〕 70℃の液温度で30分
(9) The substrate was immersed in an electroless copper plating bath having the following composition to form an electroless copper plating film 12 having a thickness of 0.6 μm on the entire rough surface (see FIG. 12). Furthermore, this electroless plating film is applied at 50 ° C for 1 hour, at 100 ° C for 30 minutes, at 120 ° C.
For 30 minutes and at 150 ° C. for 2 hours. [Electroless plating solution] EDTA 150 g / l Copper sulfate 20 g / l HCHO 30 ml / l NaOH 40 g / l α, α'-bipyridyl 80 mg / l PEG 0.1 g / l [Electroless plating conditions] 70 ° C. 30 minutes at liquid temperature

【0089】(10)前記(9) で形成した無電解銅めっき膜
12上に市販の感光性ドライフィルムを貼り付け、マスク
を載置して、100 mJ/cm2 で露光、0.8 %炭酸ナトリウ
ムで現像処理し、厚さ15μmのめっきレジスト3を設け
た(図13参照)。
(10) Electroless copper plating film formed in (9)
A commercially available photosensitive dry film was affixed on 12 and a mask was placed thereon, exposed at 100 mJ / cm 2 , developed with 0.8% sodium carbonate, and provided with a plating resist 3 having a thickness of 15 μm (FIG. 13). reference).

【0090】(11)ついで、10%硫酸水溶液で無電解めっ
き膜表面を処理した後、レジスト非形成部分に以下の条
件で電解銅めっきを施し、厚さ15μmの電解銅めっき膜
13を形成した(図14参照)。さらに、この電解めっき膜
に対し、50℃で30分間、80℃で30分間、 100℃で30分
間、 120℃で30分間、 150℃で5時間の加熱処理を施し
た。 〔電解めっき液〕 硫酸 180 g/l 硫酸銅 80 g/l 添加剤(アトテックジャパン製、カパラシドGL)1
ml/l 〔電解めっき条件〕 電流密度 1A/dm2 時間 30分 温度 室温
(11) Then, after the surface of the electroless plating film is treated with a 10% sulfuric acid aqueous solution, a portion where no resist is formed is subjected to electrolytic copper plating under the following conditions, and a 15 μm-thick electrolytic copper plating film is formed.
13 was formed (see FIG. 14). Further, the electrolytic plating film was subjected to a heat treatment at 50 ° C. for 30 minutes, at 80 ° C. for 30 minutes, at 100 ° C. for 30 minutes, at 120 ° C. for 30 minutes, and at 150 ° C. for 5 hours. [Electroplating solution] Sulfuric acid 180 g / l Copper sulfate 80 g / l Additive (Capparaside GL, manufactured by Atotech Japan) 1
ml / l [Electroplating conditions] Current density 1A / dm 2 hours 30 minutes Temperature Room temperature

【0091】(12)めっきレジスト3を5%KOHで剥離
除去したのち10%硫酸水溶液で表面処理し、さらにその
めっきレジスト3下の無電解めっき膜12を硫酸と過酸化
水素の混合液でエッチング処理して溶解除去し、無電解
銅めっき膜12と電解銅めっき膜13からなる厚さ18μmの
導体回路(バイアホールを含む)5を形成した。さら
に、70℃で800g/l のクロム酸に3分間浸漬して、導体
回路非形成部分に位置する導体回路間の無電解めっき用
接着剤層の表面を1〜2μmエッチング処理し、その表
面に残存するパラジウム触媒を除去した(図15参照)。
(12) After the plating resist 3 is peeled off with 5% KOH, the surface is treated with a 10% sulfuric acid aqueous solution, and the electroless plating film 12 under the plating resist 3 is etched with a mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide. This was treated and dissolved and removed to form a conductor circuit (including via holes) 5 having a thickness of 18 μm and comprising an electroless copper plating film 12 and an electrolytic copper plating film 13. Further, the surface of the adhesive layer for electroless plating between the conductor circuits located at the portion where the conductor circuits are not formed is immersed in 800 g / l chromic acid at 70 ° C. for 3 minutes, and the surface of the adhesive layer for electroless plating is etched by 1 to 2 μm. The remaining palladium catalyst was removed (see FIG. 15).

【0092】(13)導体回路5を形成した基板を、硫酸銅
8g/l、硫酸ニッケル 0.6g/l、クエン酸15g/
l、次亜リン酸ナトリウム29g/l、ホウ酸31g/l、
界面活性剤 0.1g/lからなるpH=9の無電解めっき
液に浸漬し、該導体回路5の表面に厚さ3μmの銅−ニ
ッケル−リンからなる粗化層11を形成した(図16参
照)。このとき、形成した粗化層11をEPMA(蛍光X
線分析装置)で分析したところ、Cu : 98mol%、Ni :
1.5 mol%、P: 0.5mol%の組成比であった。さらに、
ホウフッ化スズ0.1mol/l、チオ尿素1.0mol/l、温度
50℃、pH=1.2 の条件でCu−Sn置換反応を行い、前記
粗化層11の表面に厚さ 0.3μmのSn層を設けた(Sn層に
ついては図示しない)。
(13) The substrate on which the conductor circuit 5 is formed is made of copper sulfate 8 g / l, nickel sulfate 0.6 g / l, citric acid 15 g / l
1, sodium hypophosphite 29 g / l, boric acid 31 g / l,
The surface of the conductive circuit 5 was immersed in an electroless plating solution having a pH of 9 containing 0.1 g / l of a surfactant to form a roughened layer 11 of 3 μm thick made of copper-nickel-phosphorus (see FIG. 16). ). At this time, the formed roughened layer 11 is applied to EPMA (fluorescent X
Line analyzer), Cu: 98 mol%, Ni:
The composition ratio was 1.5 mol%, P: 0.5 mol%. further,
Tin borofluoride 0.1 mol / l, thiourea 1.0 mol / l, temperature
A Cu-Sn substitution reaction was performed under the conditions of 50 ° C. and pH = 1.2 to provide a 0.3 μm thick Sn layer on the surface of the roughened layer 11 (the Sn layer is not shown).

【0093】(14)前記 (6)〜(13)の工程を繰り返すこと
により、さらに上層の導体回路を形成し、多層プリント
配線板を得た。但し、Sn置換は行わなかった(図17〜22
参照)。
(14) By repeating the above steps (6) to (13), a further upper layer conductive circuit was formed to obtain a multilayer printed wiring board. However, Sn substitution was not performed (FIGS. 17 to 22).
reference).

【0094】(15)一方、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂(日本化薬製)のエポキシ基50%をアクリル化し
た感光性付与のオリゴマー(分子量4000) 46.67重量
部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェル製、
エピコート1001)14.121重量部、イミダゾール硬化剤
(四国化成製、2E4MZ-CN)1.6 重量部、感光性モノマー
である多価アクリルモノマー(日本化薬製、R604 )1.
5 重量部、同じく多価アクリルモノマー(共栄社化学
製、DPE6A ) 3.0重量部、Dで合成したアクリル酸エス
テル重合体 0.36 重量部を混合し、これらの混合物に対
し、光開始剤としてイルガキュアI907 (チバガイギー
製)2.0 重量部、光増感剤としてDETX-S(日本化薬製)
0.2 重量部を加え、さらにDMDG(ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル)1.0重量部を加えて、粘度を25℃
で 1.4±0.3Pa ・sに調整したソルダーレジスト組成物
を得た。なお、粘度測定は、B型粘度計(東京計器、 D
VL-B型)で 60rpmの場合はローターNo.4、6rpm の場合
はローターNo.3によった。
(15) On the other hand, 46.67 parts by weight of a cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) having a 50% epoxy group acrylated to impart photosensitivity (molecular weight: 4000), a bisphenol A type epoxy resin (oiled shell) Made,
Epicoat 1001) 14.121 parts by weight, imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, 2E4MZ-CN) 1.6 parts by weight, photosensitive monomer polyvalent acrylic monomer (Nippon Kayaku, R604) 1.
5 parts by weight, similarly 3.0 parts by weight of a polyvalent acrylic monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, DPE6A) and 0.36 parts by weight of the acrylate polymer synthesized in D were mixed, and the mixture was mixed with Irgacure I907 (Ciba Geigy) as a photoinitiator. 2.0 parts by weight, DETX-S (Nippon Kayaku) as photosensitizer
0.2 parts by weight, and 1.0 part by weight of DMDG (diethylene glycol dimethyl ether) were further added.
Thus, a solder resist composition adjusted to 1.4 ± 0.3 Pa · s was obtained. The viscosity was measured using a B-type viscometer (Tokyo Keiki, D
For VL-B), rotor No. 4 was used for 60 rpm, and rotor No. 3 for 6 rpm.

【0095】(16)前記(14)で得られた多層配線基板の両
面に、上記ソルダーレジスト組成物を20μmの厚さで塗
布した。次いで、70℃で20分間、70℃で30分間の乾燥処
理を行った後、円パターン(マスクパターン)が描画さ
れた厚さ5mmのフォトマスクフィルムを密着させて載置
し、1000mJ/cm2 の紫外線で露光し、DMTG現像処理し
た。そしてさらに、80℃で1時間、 100℃で1時間、 1
20℃で1時間、 150℃で3時間の条件で加熱処理し、は
んだパッド部分(バイアホールとそのランド部分を含
む)を開口した(開口径 200μm)ソルダーレジスト層
(厚み20μm)14を形成した。
(16) The solder resist composition was applied to both sides of the multilayer wiring board obtained in the above (14) in a thickness of 20 μm. Next, after performing a drying treatment at 70 ° C. for 20 minutes and at 70 ° C. for 30 minutes, a 5 mm-thick photomask film on which a circular pattern (mask pattern) is drawn is placed in close contact with the substrate, and 1000 mJ / cm 2. And subjected to DMTG development processing. And 1 hour at 80 ° C, 1 hour at 100 ° C,
Heat treatment was performed at 20 ° C. for 1 hour and at 150 ° C. for 3 hours to form a solder resist layer (thickness: 20 μm) 14 (opening diameter: 200 μm) with a solder pad portion (including a via hole and its land portion) opened. .

【0096】(17)次に、ソルダーレジスト層14を形成し
た基板を、塩化ニッケル30g/l、次亜リン酸ナトリウ
ム10g/l、クエン酸ナトリウム10g/lからなるpH
=5の無電解ニッケルめっき液に20分間浸漬して、開口
部に厚さ5μmのニッケルめっき層15を形成した。さら
に、その基板を、シアン化金カリウム2g/l、塩化ア
ンモニウム75g/l、クエン酸ナトリウム50g/l、次
亜リン酸ナトリウム10g/lからなる無電解金めっき液
に93℃の条件で23秒間浸漬して、ニッケルめっき層15上
に厚さ0.03μmの金めっき層16を形成した。
(17) Next, the substrate on which the solder resist layer 14 was formed was treated with a pH of 30 g / l of nickel chloride, 10 g / l of sodium hypophosphite, and 10 g / l of sodium citrate.
= 5 for 20 minutes to form a nickel plating layer 15 having a thickness of 5 μm at the opening. Further, the substrate was placed on an electroless gold plating solution comprising 2 g / l of potassium gold cyanide, 75 g / l of ammonium chloride, 50 g / l of sodium citrate, and 10 g / l of sodium hypophosphite at 93 ° C. for 23 seconds. By dipping, a gold plating layer 16 having a thickness of 0.03 μm was formed on the nickel plating layer 15.

【0097】(18)そして、ソルダーレジスト層14の開口
部に、はんだペーストを印刷して 200℃でリフローする
ことによりはんだバンプ(はんだ体)17を形成し、はん
だバンプ17を有するプリント配線板を製造した(図23参
照)。
(18) Then, a solder paste is printed in the opening of the solder resist layer 14 and reflowed at 200 ° C. to form a solder bump (solder body) 17. A printed wiring board having the solder bump 17 is formed. It was manufactured (see FIG. 23).

【0098】このようにして製造したプリント配線板に
ついて、実施例1および比較例と同様にして、塗布性の
確認、HAST試験、ハロー現象の確認、ヒートサイクル試
験を行った。その結果を表1に併せて示す。また、実施
例1と実施例2のソルダーレジスト層について、光学顕
微鏡を用いて気泡の有無を調べた。その結果、実施例1
のソルダーレジスト層中には、気泡の残存が見られた
が、実施例2のソルダーレジスト層中には、気泡は全く
みられなかった。また、実施例1のソルダーレジスト層
は失透していたが、実施例2のソルダーレジスト層は透
光性を有しており、現像性は実施例2のソルダーレジス
ト層の方が優れていた。
The printed wiring board thus manufactured was subjected to confirmation of applicability, HAST test, confirmation of halo phenomenon, and heat cycle test in the same manner as in Example 1 and Comparative Example. The results are shown in Table 1. In addition, the solder resist layers of Example 1 and Example 2 were examined for the presence or absence of bubbles using an optical microscope. As a result, Example 1
No air bubbles were observed in the solder resist layer of Example 2, but no air bubbles were observed in the solder resist layer of Example 2. Further, the solder resist layer of Example 1 was devitrified, but the solder resist layer of Example 2 had translucency, and the developability of the solder resist layer of Example 2 was better. .

【0099】[0099]

【発明の効果】以上説明したように本発明のソルダーレ
ジスト組成物によれば、ロールコータによる基板両面へ
の同時塗布が可能であり、鉛のマイグレーションがな
い。それ故に、本発明のプリント配線板は、導体パッド
表面に酸化膜を形成することもないため、ハロー現象や
ヒートサイクルによるソルダーレジスト層の剥離もな
い。
As described above, according to the solder resist composition of the present invention, simultaneous application to both surfaces of a substrate by a roll coater is possible, and there is no migration of lead. Therefore, since the printed wiring board of the present invention does not form an oxide film on the surface of the conductive pad, there is no peeling of the solder resist layer due to a halo phenomenon or heat cycle.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかるプリント配線板の一製造工程を
示す図である。
FIG. 1 is a view showing one manufacturing process of a printed wiring board according to the present invention.

【図2】(a) は本発明にかかるソルダーレジストの塗布
工程を示す図であり、(b) はその塗布工程に用いる塗布
用ローラーの表面構造を示す図である。
FIG. 2 (a) is a view showing a solder resist coating step according to the present invention, and FIG. 2 (b) is a view showing a surface structure of a coating roller used in the coating step.

【図3】本発明のプリント配線板にはんだ体を設けた状
態を示す部分断面図であり、(a) はパッドの全表面がソ
ルダーレジスト層の開口部内に露出している形態、(b)
はパッドの一部表面がソルダーレジスト層の開口部内に
露出している形態を示す。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing a state where a solder body is provided on the printed wiring board of the present invention, wherein (a) shows a form in which the entire surface of the pad is exposed in an opening of a solder resist layer, and (b)
Shows a form in which a partial surface of the pad is exposed in the opening of the solder resist layer.

【図4】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 4 is a view showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図5】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図6】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 6 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図7】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 7 is a view showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図8】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 8 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図9】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 9 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図10】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 10 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図11】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 11 is a view showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図12】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 12 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図13】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 13 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図14】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 14 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図15】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 15 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図16】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 16 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図17】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 17 is a diagram illustrating each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図18】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 18 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図19】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 19 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図20】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 20 is a diagram illustrating each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図21】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 21 is a diagram illustrating each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図22】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 22 is a diagram illustrating each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図23】発明にかかるプリント配線板の各製造工程を示
す図である。
FIG. 23 is a diagram showing each manufacturing process of the printed wiring board according to the present invention.

【図24】本発明のプリント配線板にはんだ体を設けた状
態を示す他の部分断面図であり、(a) はパッドの全表面
がソルダーレジスト層の開口部内に露出している形態、
(b) はパッドの一部表面がソルダーレジスト層の開口部
内に露出している形態を示す。
FIG. 24 is another partial cross-sectional view showing a state in which a solder body is provided on the printed wiring board of the present invention, in which (a) is a form in which the entire surface of the pad is exposed in the opening of the solder resist layer
(b) shows a form in which a part of the surface of the pad is exposed in the opening of the solder resist layer.

【図25】実施例2で合成したアクリル酸エステルの重合
体のFT−IRスペクトルを示す図である。
25 is a diagram showing an FT-IR spectrum of a polymer of an acrylate ester synthesized in Example 2. FIG.

【図26】実施例2で合成したアクリル酸エステルの重合
体の 1H−NMRスペクトルを示す図である。
26 is a diagram showing a 1 H-NMR spectrum of a polymer of an acrylate ester synthesized in Example 2. FIG.

【図27】実施例2で合成したアクリル酸エステルの重合
体の13C−NMRスペクトルを示す図である。
FIG. 27 is a diagram showing a 13 C-NMR spectrum of a polymer of an acrylate ester synthesized in Example 2.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 層間樹脂絶縁層(無電解めっき用接着剤層) 2a 絶縁剤層 2b 接着剤層 3 めっきレジスト(永久レジスト) 4 内層導体回路(内層銅パターン) 5 外層導体回路(外層銅パターン) 6 バイアホール用開口 7 バイアホール(BVH ) 8 銅箔 9 スルーホール 10 充填樹脂(樹脂充填剤) 11 粗化層 12 無電解銅めっき膜 13 電解銅めっき膜 14 ソルダーレジスト層 15 ニッケルめっき層 16 金めっき層 17 はんだバンプ 18 ロールコーター 19 塗布用ローラー 20 ドクターバー Reference Signs List 1 substrate 2 interlayer resin insulating layer (adhesive layer for electroless plating) 2a insulating layer 2b adhesive layer 3 plating resist (permanent resist) 4 inner conductor circuit (inner copper pattern) 5 outer conductor circuit (outer copper pattern) 6 Via hole opening 7 Via hole (BVH) 8 Copper foil 9 Through hole 10 Filling resin (resin filler) 11 Roughening layer 12 Electroless copper plating film 13 Electrolytic copper plating film 14 Solder resist layer 15 Nickel plating layer 16 Gold plating Layer 17 Solder bump 18 Roll coater 19 Coating roller 20 Doctor bar

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C08L 33:00) C08L 33:00) (72)発明者 浅井 元雄 岐阜県揖斐郡揖斐川町北方1−1 イビ デン株式会社内 (56)参考文献 特開 平8−242064(JP,A) 特開 平5−194902(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 1/00 - 3/46 C08G 59/17 C08L 63/10 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI C08L 33:00) C08L 33:00) (72) Inventor Motoo Asai 1-1 Ibigawa-cho, Ibi-gun, Ibi-gun, Gifu Prefecture Inside IBIDEN Corporation (56 References JP-A-8-242064 (JP, A) JP-A-5-194902 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 1/00-3/46 C08G 59/17 C08L 63/10

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレー
トと、イミダゾール硬化剤と、アクリル酸エステルの重
合体とを含み、 前記アクリル酸エステルの重合体は、分子量500〜5000
であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1
〜10のアルコールとのエステルの重合体であることを特
徴とするソルダーレジスト組成物。
1. Acryl of novolak type epoxy resin
Weight, imidazole curing agent and acrylic ester
And a polymer of the acrylate ester having a molecular weight of 500 to 5,000.
Wherein acrylic acid or methacrylic acid has 1 carbon atom
It is a polymer of ester with alcohol of ~ 10
A solder resist composition according to the present invention.
【請求項2】 ノボラック型エポキシ樹脂のアクリレー
トと、イミダゾール硬化剤と、アクリル酸エステルの重
合体とを含み、 前記アクリル酸エステルの重合体は、分子量 500〜5000
であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1
〜10のアルコールとのエステルの重合体であり、かつグ
リコールエーテル系溶剤を用いて粘度を25℃で0.5〜10P
a・sに調整してなるソルダーレジスト組成物。
2. Acryl of novolak type epoxy resin
Weight, imidazole curing agent and acrylic ester
And a polymer of the acrylate ester having a molecular weight of 500 to 5000.
Wherein acrylic acid or methacrylic acid has 1 carbon atom
A polymer of an ester with an alcohol of up to 10
0.5 ~ 10P at 25 ° C using recol ether ether solvent
A solder resist composition adjusted to a · s.
【請求項3】 開始剤として、下記化学式1の構造を持
つ化合物を含み、光増感剤として、下記化学式2の構造
を持つ化合物を含むことを特徴とする請求項1または2
に記載のソルダーレジスト組成物。 【化1】 【化2】
3. An initiator having a structure represented by the following chemical formula 1.
A compound of the following formula 2 as a photosensitizer:
3. A compound comprising a compound having the formula:
3. The solder resist composition according to item 1. Embedded image Embedded image
【請求項4】 前記イミダゾール硬化剤は、室温で液状
である請求項1または2に記載のソルダーレジスト組成
4. The imidazole curing agent is liquid at room temperature.
The solder resist composition according to claim 1, wherein
Thing .
【請求項5】 導体回路を形成した配線基板の表面にソ
ルダーレジスト層を有するプリント配線板において、 前記ソルダーレジスト層は、ノボラック型エポキシ樹脂
のアクリレートと、イミダゾール硬化剤と、アクリル酸
エステルの重合体とを含み、 前記アクリル酸エステルの重合体は、分子量 500〜5000
であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1
〜10のアルコールとのエステルの重合体であり、かつグ
リコールエーテル系溶剤を用いて粘度を25℃で 0.5〜10
Pa・sに調整したソルダーレジスト組成物を硬化させて
形成してなることを特徴とするプリント配線板
5. A semiconductor device on a surface of a wiring board on which a conductive circuit is formed.
In a printed wiring board having a solder resist layer, the solder resist layer is a novolak type epoxy resin.
Acrylate, imidazole curing agent, and acrylic acid
And a polymer of an ester, wherein the polymer of the acrylate ester has a molecular weight of 500 to 5,000.
Wherein acrylic acid or methacrylic acid has 1 carbon atom
A polymer of an ester with an alcohol of up to 10
0.5 ~ 10 viscosity at 25 ° C using recol ether solvent
Cure the solder resist composition adjusted to Pa · s
A printed wiring board characterized by being formed .
【請求項6】 導体回路を形成した配線基板に対し、そ
の表面にソルダーレジスト層を設けると共にこのソルダ
ーレジスト層に設けた開口部から露出する前記導体回路
の一部をパッドとして形成し、そのパッド上にはんだ体
を供給保持してなるプリント配線板において、 前記ソルダーレジスト層は、ノボラック型エポキシ樹脂
のアクリレートと、イミダゾール硬化剤と、アクリル酸
エステルの重合体とを含み、 前記アクリル酸エステルの重合体は、分子量 500〜5000
であって、アクリル酸もしくはメタクリル酸と炭素数1
〜10のアルコールとのエステルの重合体であることを特
徴とするプリント配線板。
6. A wiring board on which a conductive circuit is formed is provided.
A solder resist layer on the surface of
The conductor circuit exposed from the opening provided in the resist layer
Is formed as a pad, and the solder
In the printed wiring board formed by supplying hold, the solder resist layer is a novolac type epoxy resin
Acrylate, imidazole curing agent, and acrylic acid
And a polymer of an ester, wherein the polymer of the acrylate ester has a molecular weight of 500 to 5,000.
Wherein acrylic acid or methacrylic acid has 1 carbon atom
It is a polymer of ester with alcohol of ~ 10
Printed wiring board.
【請求項7】 前記ソルダーレジスト層は、開始剤とし
て、下記化学式3の構造を持つ化合物と、光増感剤とし
て、下記化学式4の構造を持つ化合物とを含むことを特
徴とする請求項5または6に記載のプリント配線板。 【化3】 【化4】
7. The method according to claim 1, wherein the solder resist layer is used as an initiator.
And a compound having the structure of the following chemical formula 3 and a photosensitizer
And a compound having a structure represented by the following chemical formula 4.
The printed wiring board according to claim 5 or 6, wherein Embedded image Embedded image
【請求項8】 前記導体回路の表面には、粗化層が形成
されてなる請求項5または6に記載のプリント配線板
8. A roughened layer is formed on a surface of the conductor circuit.
The printed wiring board according to claim 5, wherein the printed wiring board is formed .
【請求項9】 前記粗化層は、銅−ニッケル−リンから
なる合金層である請求項8に記載のプリント配線板
9. The roughening layer is made of copper-nickel-phosphorus.
The printed wiring board according to claim 8, wherein the printed wiring board is an alloy layer .
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