JPH10287409A - 高純度過酸化水素水の製造方法 - Google Patents
高純度過酸化水素水の製造方法Info
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- JPH10287409A JPH10287409A JP9240197A JP9240197A JPH10287409A JP H10287409 A JPH10287409 A JP H10287409A JP 9240197 A JP9240197 A JP 9240197A JP 9240197 A JP9240197 A JP 9240197A JP H10287409 A JPH10287409 A JP H10287409A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】各種の無機不純物を含む過酸化水素水を精製し
て、これらの少ない極めて高純度の過酸化水素水を得る
のに好適なカチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂、
並びにこれらのイオン交換樹脂を用いた過酸化水素水の
製造方法を提供する。 【解決手段】過酸化水素水をイオン交換樹脂に接触させ
高純度の過酸化水素を製造する方法にあたり、平均孔径
１．０μｍ以下のフィルターに通過させた鉱酸水溶液と
接触させることにより前処理したイオン交換樹脂を用い
ることを特徴とする高純度過酸化水素水の製造方法。
て、これらの少ない極めて高純度の過酸化水素水を得る
のに好適なカチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂、
並びにこれらのイオン交換樹脂を用いた過酸化水素水の
製造方法を提供する。 【解決手段】過酸化水素水をイオン交換樹脂に接触させ
高純度の過酸化水素を製造する方法にあたり、平均孔径
１．０μｍ以下のフィルターに通過させた鉱酸水溶液と
接触させることにより前処理したイオン交換樹脂を用い
ることを特徴とする高純度過酸化水素水の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は無機不純物を含有す
る過酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化
水素水を安定に製造する方法に関する。本発明により精
製された過酸化水素水は、特に半導体製造分野、医療分
野で使用される。
る過酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化
水素水を安定に製造する方法に関する。本発明により精
製された過酸化水素水は、特に半導体製造分野、医療分
野で使用される。
【０００２】
【従来の技術】現在、過酸化水素は主に自動酸化法によ
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には各種の無機不純物が混入しており、実質
的な使用濃度の５〜７０重量％の過酸化水素水中には数
百μｇ／ｌの無機不純物が含まれているのが普通であ
る。一方で、半導体製造分野で使用される過酸化水素水
は高純度なものが要求され、近年では特に金属不純物の
残存濃度が０．０数μｇ／ｌ以下という極めて高純度な
ものが要求されるようになってきている。
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には各種の無機不純物が混入しており、実質
的な使用濃度の５〜７０重量％の過酸化水素水中には数
百μｇ／ｌの無機不純物が含まれているのが普通であ
る。一方で、半導体製造分野で使用される過酸化水素水
は高純度なものが要求され、近年では特に金属不純物の
残存濃度が０．０数μｇ／ｌ以下という極めて高純度な
ものが要求されるようになってきている。
【０００３】従来、過酸化水素水中に含まれる無機不純
物を除去、精製する方法として、イオン交換樹脂に過酸
化水素水を接触させる方法が知られている。大部分の金
属不純物は過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂に接
触させることにより除去される。さらに、塩化物イオ
ン、硫酸イオンや一部の酸化物などは、過酸化水素水を
強塩基性アニオン交換樹脂に接触させることにより除去
される。
物を除去、精製する方法として、イオン交換樹脂に過酸
化水素水を接触させる方法が知られている。大部分の金
属不純物は過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂に接
触させることにより除去される。さらに、塩化物イオ
ン、硫酸イオンや一部の酸化物などは、過酸化水素水を
強塩基性アニオン交換樹脂に接触させることにより除去
される。
【０００４】すなわち過酸化水素水の精製は、イオン交
換樹脂として強酸性カチオン交換樹脂単独、強塩基性ア
ニオン交換樹脂単独、またはこれらの混合物単独、さら
にこれらのイオン交換樹脂の組み合わせで行われる。イ
オン交換樹脂を用いて過酸化水素水の精製を行う例とし
ては特公昭３５−１６６７７号公報、ドイツ特許公開第
４２１４０７５号公報、フランス特許第２６７７０１１
号公報、特開平５−１７１０５号公報、ドイツ特許公開
第４２２２１０９号公報、特開平７−１７２８０５号公
報などが挙げられる。
換樹脂として強酸性カチオン交換樹脂単独、強塩基性ア
ニオン交換樹脂単独、またはこれらの混合物単独、さら
にこれらのイオン交換樹脂の組み合わせで行われる。イ
オン交換樹脂を用いて過酸化水素水の精製を行う例とし
ては特公昭３５−１６６７７号公報、ドイツ特許公開第
４２１４０７５号公報、フランス特許第２６７７０１１
号公報、特開平５−１７１０５号公報、ドイツ特許公開
第４２２２１０９号公報、特開平７−１７２８０５号公
報などが挙げられる。
【０００５】強酸性カチオン交換樹脂に鉱酸水溶液を接
触させることにより、使用時の水素型に変換することは
ごく一般的であり、また、強塩基性アニオン交換樹脂の
交換基を使用時の型に変換するに先立ち、強塩基性アニ
オン交換樹脂に鉱酸水溶液を接触させ洗浄することも知
られている。
触させることにより、使用時の水素型に変換することは
ごく一般的であり、また、強塩基性アニオン交換樹脂の
交換基を使用時の型に変換するに先立ち、強塩基性アニ
オン交換樹脂に鉱酸水溶液を接触させ洗浄することも知
られている。
【０００６】これらのイオン交換樹脂を過酸化水素水の
精製に用いるにあたり、過酸化水素水への溶出原因とな
るイオン交換樹脂中に含有する無機不純物の量を減らす
ことを目的に、イオン交換樹脂と鉱酸水溶液の接触時間
を長く取ることも行われる。このようにして調製された
イオン交換樹脂を用いて過酸化水素水の精製を行うと、
ある程度精製度の向上が見られる。しかしながら、それ
でもなお近年半導体製造分野で要求されるような極めて
高純度の精製過酸化水素水を得るのは難しい。
精製に用いるにあたり、過酸化水素水への溶出原因とな
るイオン交換樹脂中に含有する無機不純物の量を減らす
ことを目的に、イオン交換樹脂と鉱酸水溶液の接触時間
を長く取ることも行われる。このようにして調製された
イオン交換樹脂を用いて過酸化水素水の精製を行うと、
ある程度精製度の向上が見られる。しかしながら、それ
でもなお近年半導体製造分野で要求されるような極めて
高純度の精製過酸化水素水を得るのは難しい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、各種
の無機不純物を含む過酸化水素水を精製して、これらの
少ない極めて高純度の過酸化水素水を得るのに好適なカ
チオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂、並びにこれら
のイオン交換樹脂を用いた過酸化水素水の製造方法を提
供することにある。
の無機不純物を含む過酸化水素水を精製して、これらの
少ない極めて高純度の過酸化水素水を得るのに好適なカ
チオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂、並びにこれら
のイオン交換樹脂を用いた過酸化水素水の製造方法を提
供することにある。
【０００８】
【問題を解決するための手段】本発明者らは、前記の課
題を解決すべく鋭意検討した結果、精製過酸化水素水中
の無機不純物を低減させるために、一般に鉱酸水溶液な
どとの接触により前処理されたイオン交換樹脂が過酸化
水素水の精製に用いられるが、その鉱酸水溶液をフィル
ターに通過させた鉱酸水溶液とすることで、より一層無
機不純物の少ない極めて高純度の精製過酸化水素水が得
られることを見い出し、本発明を完成させた。
題を解決すべく鋭意検討した結果、精製過酸化水素水中
の無機不純物を低減させるために、一般に鉱酸水溶液な
どとの接触により前処理されたイオン交換樹脂が過酸化
水素水の精製に用いられるが、その鉱酸水溶液をフィル
ターに通過させた鉱酸水溶液とすることで、より一層無
機不純物の少ない極めて高純度の精製過酸化水素水が得
られることを見い出し、本発明を完成させた。
【０００９】すなわち本発明は、過酸化水素水をイオン
交換樹脂に接触させ高純度の過酸化水素水を製造する方
法にあたり、平均孔径１．０μｍ以下のフィルターに通
過させた鉱酸水溶液と接触させることにより前処理した
イオン交換樹脂を用いる高純度過酸化水素水の製造方法
に関する。
交換樹脂に接触させ高純度の過酸化水素水を製造する方
法にあたり、平均孔径１．０μｍ以下のフィルターに通
過させた鉱酸水溶液と接触させることにより前処理した
イオン交換樹脂を用いる高純度過酸化水素水の製造方法
に関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に使用されるイオン交換樹
脂は、交換基としてスルホン酸基を有する強酸性カチオ
ン交換樹脂および交換基として第４級アンモニウム基を
有する強塩基性アニオン交換樹脂である。
脂は、交換基としてスルホン酸基を有する強酸性カチオ
ン交換樹脂および交換基として第４級アンモニウム基を
有する強塩基性アニオン交換樹脂である。
【００１１】一般に強酸性カチオン交換樹脂は交換基の
型がナトリウム型で市販されているのため、過酸化水素
水の精製に使用するにあたっては、水素型に変換する必
要がある。強酸性カチオン交換樹脂の水素型への変換
は、市販の型から直接行うこともできるし、この変換に
先立ち、樹脂中に含まれる不純物を除去する意味で酸水
溶液、アルカリ水溶液および／または有機溶剤などで洗
浄することもできる。
型がナトリウム型で市販されているのため、過酸化水素
水の精製に使用するにあたっては、水素型に変換する必
要がある。強酸性カチオン交換樹脂の水素型への変換
は、市販の型から直接行うこともできるし、この変換に
先立ち、樹脂中に含まれる不純物を除去する意味で酸水
溶液、アルカリ水溶液および／または有機溶剤などで洗
浄することもできる。
【００１２】ただし、強酸性カチオン交換樹脂は、少な
くとも過酸化水素水精製に用いるにあたっての前処理の
最終工程として、鉱酸水溶液および超純水で処理され
る。本発明では、この工程において使用される鉱酸水溶
液として、フィルターを通過させた鉱酸水溶液が用いら
れる。
くとも過酸化水素水精製に用いるにあたっての前処理の
最終工程として、鉱酸水溶液および超純水で処理され
る。本発明では、この工程において使用される鉱酸水溶
液として、フィルターを通過させた鉱酸水溶液が用いら
れる。
【００１３】鉱酸水溶液の酸の種類には特に制限はない
が、例えば塩酸や硫酸などが好適に用いられる。鉱酸の
グレードについては高い方が良いが、一級試薬あるいは
それ以上の純度であれば良い。鉱酸水溶液の濃度として
は０．１〜１０Ｎのものが使用できる。
が、例えば塩酸や硫酸などが好適に用いられる。鉱酸の
グレードについては高い方が良いが、一級試薬あるいは
それ以上の純度であれば良い。鉱酸水溶液の濃度として
は０．１〜１０Ｎのものが使用できる。
【００１４】鉱酸水溶液を通過させるフィルターの孔径
は小さいほど効果があるが、平均孔径１．０μｍ以下で
あれば本発明は達成できる。
は小さいほど効果があるが、平均孔径１．０μｍ以下で
あれば本発明は達成できる。
【００１５】フィルターの孔径を規定するにあたって
は、ポリスチレンラテックス標準粒子による方法を用い
ている。ポリスチレンラテックス標準粒子としては、例
えばダウケミカル（株）や日本合成ゴム（株）製のもの
が使用される。この方法は平均直径の異なるポリスチレ
ンラテックス標準粒子を分散した超純水を該フィルター
にそれぞれ通過させ、その通過前後の超純水についてＵ
Ｖ光による濁度測定を行い、通過を阻止される粒子の割
合を求める。通過試験では複数の異なる平均直径を有す
る標準粒子を順次通過させる。通過阻止率が初めて７０
％を越えた時点の平均直径をそのフィルターの平均孔径
とする。
は、ポリスチレンラテックス標準粒子による方法を用い
ている。ポリスチレンラテックス標準粒子としては、例
えばダウケミカル（株）や日本合成ゴム（株）製のもの
が使用される。この方法は平均直径の異なるポリスチレ
ンラテックス標準粒子を分散した超純水を該フィルター
にそれぞれ通過させ、その通過前後の超純水についてＵ
Ｖ光による濁度測定を行い、通過を阻止される粒子の割
合を求める。通過試験では複数の異なる平均直径を有す
る標準粒子を順次通過させる。通過阻止率が初めて７０
％を越えた時点の平均直径をそのフィルターの平均孔径
とする。
【００１６】フィルターの材質としては、通過させる水
溶液が酸性であることから、酸による劣化がなく、成分
溶出がほとんどないものであれば制限はない。例えば、
ポリエーテルサルホン、ポリプロピレン、ポリテトラフ
ルオロエチレンなどが好適に使用できる。フィルターの
形状にも制限はない。すなわち、平膜、プリーツ型、ス
パイラル型、中空糸型など、どのような形状であっても
良い。
溶液が酸性であることから、酸による劣化がなく、成分
溶出がほとんどないものであれば制限はない。例えば、
ポリエーテルサルホン、ポリプロピレン、ポリテトラフ
ルオロエチレンなどが好適に使用できる。フィルターの
形状にも制限はない。すなわち、平膜、プリーツ型、ス
パイラル型、中空糸型など、どのような形状であっても
良い。
【００１７】鉱酸水溶液をフィルターへ通過させる際の
液温についても制限はないが、０〜50℃が好適である。
鉱酸水溶液の通過速度についても制限はなく、実施可能
な速度であれば任意の速度で通過させて良い。また、鉱
酸水溶液は少なくとも１回フィルターを通過させればよ
いが、複数回通過させることもなんら差し支えない。
液温についても制限はないが、０〜50℃が好適である。
鉱酸水溶液の通過速度についても制限はなく、実施可能
な速度であれば任意の速度で通過させて良い。また、鉱
酸水溶液は少なくとも１回フィルターを通過させればよ
いが、複数回通過させることもなんら差し支えない。
【００１８】フィルターを通過させた鉱酸水溶液と強酸
性カチオン交換樹脂との接触のさせ方は、特に制限はな
い。すなわち、強酸性カチオン交換樹脂を鉱酸水溶液に
投入し放置または撹拌するバッチ方式、あるいは強酸性
カチオン交換樹脂をカラムに充填し鉱酸水溶液を通液す
る連続方式のいずれでも良い。ただし、操作性および変
換効率の面で連続方式の方がより効果的である。例え
ば、カラムに強酸性カチオン交換樹脂を充填し、その強
酸性カチオン交換樹脂の交換容量の５倍当量以上となる
ような量の鉱酸水溶液を通液する。その後、その強酸性
カチオン交換樹脂は超純水による洗浄を行い、過酸化水
素水の精製に用いる。これらの操作における液温につい
ては特に制限はないが、０〜５０℃が好適である。
性カチオン交換樹脂との接触のさせ方は、特に制限はな
い。すなわち、強酸性カチオン交換樹脂を鉱酸水溶液に
投入し放置または撹拌するバッチ方式、あるいは強酸性
カチオン交換樹脂をカラムに充填し鉱酸水溶液を通液す
る連続方式のいずれでも良い。ただし、操作性および変
換効率の面で連続方式の方がより効果的である。例え
ば、カラムに強酸性カチオン交換樹脂を充填し、その強
酸性カチオン交換樹脂の交換容量の５倍当量以上となる
ような量の鉱酸水溶液を通液する。その後、その強酸性
カチオン交換樹脂は超純水による洗浄を行い、過酸化水
素水の精製に用いる。これらの操作における液温につい
ては特に制限はないが、０〜５０℃が好適である。
【００１９】一方、強塩基性アニオン交換樹脂は交換基
の型が塩化物型で市販されているため、過酸化水素水の
精製に使用するにあたっては、炭酸塩型、重炭酸塩型ま
たは水酸化物型に変換する必要がある。
の型が塩化物型で市販されているため、過酸化水素水の
精製に使用するにあたっては、炭酸塩型、重炭酸塩型ま
たは水酸化物型に変換する必要がある。
【００２０】本発明においては、強塩基性アニオン交換
樹脂の炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型への変換
に先立ち、樹脂に含まれる不純物を除去する意味で鉱酸
水溶液で洗浄を行う。この際、平均孔径１．０μｍ以下
のフィルターに通過させた鉱酸水溶液を用いることで、
強塩基性アニオン交換樹脂による過酸化水素水の精製度
は大きく向上する。該水溶液で前処理した後、炭酸塩水
溶液、重炭酸塩水溶液または水酸化物水溶液で処理して
炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型に変換する。さ
らに、鉱酸水溶液による前処理に先立ち、酸水溶液、ア
ルカリ水溶液および／または有機溶剤などによる樹脂の
洗浄を行っても良い。
樹脂の炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型への変換
に先立ち、樹脂に含まれる不純物を除去する意味で鉱酸
水溶液で洗浄を行う。この際、平均孔径１．０μｍ以下
のフィルターに通過させた鉱酸水溶液を用いることで、
強塩基性アニオン交換樹脂による過酸化水素水の精製度
は大きく向上する。該水溶液で前処理した後、炭酸塩水
溶液、重炭酸塩水溶液または水酸化物水溶液で処理して
炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型に変換する。さ
らに、鉱酸水溶液による前処理に先立ち、酸水溶液、ア
ルカリ水溶液および／または有機溶剤などによる樹脂の
洗浄を行っても良い。
【００２１】鉱酸水溶液による前処理に用いられる鉱酸
水溶液の種類、グレードおよび濃度、フィルターの平均
孔径、材質およびフィルター形状、フィルター通過の際
の液温、鉱酸水溶液のフィルターへの通過速度および通
過回数、強塩基性アニオン交換樹脂との接触方法、並び
にその後の超純水による洗浄については、強酸性カチオ
ン交換樹脂の場合と同様である。
水溶液の種類、グレードおよび濃度、フィルターの平均
孔径、材質およびフィルター形状、フィルター通過の際
の液温、鉱酸水溶液のフィルターへの通過速度および通
過回数、強塩基性アニオン交換樹脂との接触方法、並び
にその後の超純水による洗浄については、強酸性カチオ
ン交換樹脂の場合と同様である。
【００２２】このようにして前処理した強塩基性アニオ
ン交換樹脂は、例えば炭酸または重炭酸のナトリウム
塩、カリウム塩またはアンモニウム塩など、もしくは水
酸化ナトリウム、水酸化カリウムまたはアンモニア水
（ＮＨ4 ＯＨ）などの水酸化物を超純水に溶解させるこ
とで調製した水溶液と接触させることにより、交換基の
型を炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型に変換す
る。
ン交換樹脂は、例えば炭酸または重炭酸のナトリウム
塩、カリウム塩またはアンモニウム塩など、もしくは水
酸化ナトリウム、水酸化カリウムまたはアンモニア水
（ＮＨ4 ＯＨ）などの水酸化物を超純水に溶解させるこ
とで調製した水溶液と接触させることにより、交換基の
型を炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型に変換す
る。
【００２３】この際に使用する水溶液は、試薬を単に超
純水に溶解したものであっても良いが、この水溶液を同
様に平均孔径１．０μｍ以下のフィルターに通過させる
操作を行ったものであると、さらに過酸化水素水の精製
度が向上するため、より好ましい。
純水に溶解したものであっても良いが、この水溶液を同
様に平均孔径１．０μｍ以下のフィルターに通過させる
操作を行ったものであると、さらに過酸化水素水の精製
度が向上するため、より好ましい。
【００２４】過酸化水素水の精製においては、このよう
にして調製された強酸性カチオン交換樹脂および強塩基
性アニオン交換樹脂単独でも用いることができるが、両
者を組み合わせて用いると一層効果的である。組み合わ
せとしては、強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオ
ン交換樹脂の組み合わせ、またはこれらのイオン交換樹
脂混合物、さらにこれらのイオン交換樹脂とイオン交換
樹脂混合物の組み合わせが用いられる。
にして調製された強酸性カチオン交換樹脂および強塩基
性アニオン交換樹脂単独でも用いることができるが、両
者を組み合わせて用いると一層効果的である。組み合わ
せとしては、強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオ
ン交換樹脂の組み合わせ、またはこれらのイオン交換樹
脂混合物、さらにこれらのイオン交換樹脂とイオン交換
樹脂混合物の組み合わせが用いられる。
【００２５】精製される過酸化水素水の過酸化水素濃度
には特に制限はないが、実用的な濃度である５〜７０重
量％のものが使用される。また、精製時の過酸化水素水
の温度についても制限はないが、あまり高い温度では過
酸化水素の分解の原因ともなるため、その過酸化水素水
の凝固点〜３０℃が好ましい。
には特に制限はないが、実用的な濃度である５〜７０重
量％のものが使用される。また、精製時の過酸化水素水
の温度についても制限はないが、あまり高い温度では過
酸化水素の分解の原因ともなるため、その過酸化水素水
の凝固点〜３０℃が好ましい。
【００２６】イオン交換樹脂と過酸化水素水の接触のさ
せ方についても制限はない。すなわち、過酸化水素水に
イオン交換樹脂を投入し放置または攪拌することにより
精製を行うバッチ方式でも良いし、カラムに充填したイ
オン交換樹脂に過酸化水素水を通液し精製を行う連続方
式でも良い。ただし、操作性および精製度の点で連続方
式の方がより好ましい。この場合、過酸化水素水の通液
速度はＳＶ（空間速度）で１〜５００ｈｒ-1が好まし
い。
せ方についても制限はない。すなわち、過酸化水素水に
イオン交換樹脂を投入し放置または攪拌することにより
精製を行うバッチ方式でも良いし、カラムに充填したイ
オン交換樹脂に過酸化水素水を通液し精製を行う連続方
式でも良い。ただし、操作性および精製度の点で連続方
式の方がより好ましい。この場合、過酸化水素水の通液
速度はＳＶ（空間速度）で１〜５００ｈｒ-1が好まし
い。
【００２７】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものでは
ない。なお、金属濃度の分析については、ケイ素は原子
吸光法、鉄およびスズはＩＣＰ−ＭＳ法によった。
本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものでは
ない。なお、金属濃度の分析については、ケイ素は原子
吸光法、鉄およびスズはＩＣＰ−ＭＳ法によった。
【００２８】実施例１ 塩酸（関東化学（株）、特級）を超純水に溶解し、２．
０ｍｏｌ／ｌの溶液とした。この溶液を東洋濾紙（株）
製の平均孔径１．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターに通し濾過した。三菱化学（株）製
の強酸性カチオン交換樹脂ＰＫ２１６をカラムに充填
し、この濾過した塩酸水溶液をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈ
ｒ、さらに超純水をＳＶ１０ｈｒ-1で３ｈｒ通液して、
水素型とした。
０ｍｏｌ／ｌの溶液とした。この溶液を東洋濾紙（株）
製の平均孔径１．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターに通し濾過した。三菱化学（株）製
の強酸性カチオン交換樹脂ＰＫ２１６をカラムに充填
し、この濾過した塩酸水溶液をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈ
ｒ、さらに超純水をＳＶ１０ｈｒ-1で３ｈｒ通液して、
水素型とした。
【００２９】一方、オルガノ（株）製の強塩基性アニオ
ン交換樹脂ＩＲＡ−９０４をカラムに充填し、上記の濾
過した塩酸水溶液をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈｒ通液し、さ
らに超純水をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈｒ通液した。引き続
いて、予め東洋濾紙（株）製の平均孔径１．０μｍのポ
リテトラフルオロエチレンのフィルターに通し濾過した
重炭酸ナトリウム（関東化学（株）、特級）の０．５ｍ
ｏｌ／ｌ水溶液をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈｒ、さらに超純
水をＳＶ１０ｈｒ-1で３ｈｒ通液して、重炭酸型とし
た。
ン交換樹脂ＩＲＡ−９０４をカラムに充填し、上記の濾
過した塩酸水溶液をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈｒ通液し、さ
らに超純水をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈｒ通液した。引き続
いて、予め東洋濾紙（株）製の平均孔径１．０μｍのポ
リテトラフルオロエチレンのフィルターに通し濾過した
重炭酸ナトリウム（関東化学（株）、特級）の０．５ｍ
ｏｌ／ｌ水溶液をＳＶ１０ｈｒ-1で２ｈｒ、さらに超純
水をＳＶ１０ｈｒ-1で３ｈｒ通液して、重炭酸型とし
た。
【００３０】不純物としてケイ素１．５重量ｐｐｂ、鉄
３．８重量ｐｐｂ、スズ２．１重量ｐｐｂを含む３０重
量％の過酸化水素水を、上記の前処理を行った強酸性カ
チオン交換樹脂の充填されたカラム、強塩基性アニオン
交換樹脂の充填されたカラムの順でそれぞれＳＶ２００
ｈｒ-1で通液し精製した。精製過酸化水素水中の不純物
濃度を表１に示す。
３．８重量ｐｐｂ、スズ２．１重量ｐｐｂを含む３０重
量％の過酸化水素水を、上記の前処理を行った強酸性カ
チオン交換樹脂の充填されたカラム、強塩基性アニオン
交換樹脂の充填されたカラムの順でそれぞれＳＶ２００
ｈｒ-1で通液し精製した。精製過酸化水素水中の不純物
濃度を表１に示す。
【００３１】実施例２ 塩酸水溶液および重炭酸ナトリウム水溶液を濾過するフ
ィルターを、東洋濾紙（株）製の平均孔径０．２μｍの
ポリテトラフルオロエチレンの平膜型フィルターとした
以外は、実施例１と同様にして過酸化水素水の精製を行
った。精製過酸化水素水中の不純物濃度を表１に示す。
ィルターを、東洋濾紙（株）製の平均孔径０．２μｍの
ポリテトラフルオロエチレンの平膜型フィルターとした
以外は、実施例１と同様にして過酸化水素水の精製を行
った。精製過酸化水素水中の不純物濃度を表１に示す。
【００３２】実施例３ ２．０ｍｏｌ／ｌの塩酸水溶液の代わりに１．０ｍｏｌ
／ｌの硫酸（関東化学（株）製、特級）水溶液を用いた
以外は実施例２と同様にして過酸化水素水の精製を行っ
た。精製過酸化水素水中の不純物濃度を表１に示す。
／ｌの硫酸（関東化学（株）製、特級）水溶液を用いた
以外は実施例２と同様にして過酸化水素水の精製を行っ
た。精製過酸化水素水中の不純物濃度を表１に示す。
【００３３】実施例４ 実施例１と同様にして前処理した強酸性カチオン交換樹
脂および強塩基性アニオン交換樹脂を、交換容量比で
６：４になるように混合し、カラムに充填した。不純物
としてケイ素１．５ｐｐｂ、鉄３．８ｐｐｂ、スズ２．
１ｐｐｂを含む３０重量％の過酸化水素水をＳＶ２００
ｈｒ-1で通液し精製を行った。精製過酸化水素水中の不
純物濃度を表１に示す。
脂および強塩基性アニオン交換樹脂を、交換容量比で
６：４になるように混合し、カラムに充填した。不純物
としてケイ素１．５ｐｐｂ、鉄３．８ｐｐｂ、スズ２．
１ｐｐｂを含む３０重量％の過酸化水素水をＳＶ２００
ｈｒ-1で通液し精製を行った。精製過酸化水素水中の不
純物濃度を表１に示す。
【００３４】比較例１ フィルターによる塩酸水溶液および重炭酸ナトリウム水
溶液の濾過を行わなかった以外は、実施例１と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
溶液の濾過を行わなかった以外は、実施例１と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
【００３５】比較例２ 塩酸水溶液の濾過を行うフィルターを、東洋濾紙（株）
製の平均孔径３．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターとした以外は、実施例１と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
製の平均孔径３．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターとした以外は、実施例１と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
【００３６】比較例３ 硫酸水溶液の濾過を行うフィルターを、東洋濾紙（株）
製の平均孔径３．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターとした以外は、実施例３と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
製の平均孔径３．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターとした以外は、実施例３と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
【００３７】比較例４ 塩酸水溶液の濾過を行うフィルターを、東洋濾紙（株）
製の平均孔径３．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターとした以外は、実施例４と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
製の平均孔径３．０μｍのポリテトラフルオロエチレン
の平膜型フィルターとした以外は、実施例４と同様にし
て過酸化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の
不純物濃度を表１に示す。
【００３８】
【表１】
【００３９】
【発明の効果】本発明の前処理により調製された強酸性
カチオン交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用
いることにより、各種の無機不純物を含む過酸化水素水
を精製して、極めて高純度の過酸化水素水を製造するこ
とができる。
カチオン交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂を用
いることにより、各種の無機不純物を含む過酸化水素水
を精製して、極めて高純度の過酸化水素水を製造するこ
とができる。
Claims (4)
- 【請求項１】 過酸化水素水をイオン交換樹脂に接触さ
せ高純度の過酸化水素を製造する方法にあたり、平均孔
径１．０μｍ以下のフィルターに通過させた鉱酸水溶液
と接触させることにより前処理したイオン交換樹脂を用
いることを特徴とする高純度過酸化水素水の製造方法。 - 【請求項２】 イオン交換樹脂が、水素型の交換基を有
する強酸性カチオン交換樹脂である請求項１記載の製造
方法。 - 【請求項３】 イオン交換樹脂が、炭酸塩型、重炭酸塩
型または水酸化物型の交換基を有する強塩基性アニオン
交換樹脂である請求項１記載の製造方法。 - 【請求項４】 交換基の炭酸塩型、重炭酸塩型または水
酸化物型への変換が、平均孔径１．０μｍ以下のフィル
ターに通過させた炭酸塩水溶液、重炭酸塩水溶液または
水酸化物水溶液と接触させることにより行われる請求項
３記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09240197A JP3900211B2 (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09240197A JP3900211B2 (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10287409A true JPH10287409A (ja) | 1998-10-27 |
| JP3900211B2 JP3900211B2 (ja) | 2007-04-04 |
Family
ID=14053403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09240197A Expired - Lifetime JP3900211B2 (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3900211B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103333791A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-10-02 | 嘉兴职业技术学院 | 一种实验室用的沼气产生系统 |
| CN103333795A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-10-02 | 嘉兴职业技术学院 | 一种沼气池的沼气生产系统 |
| CN112723316A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-04-30 | 联仕(昆山)化学材料有限公司 | 一种低温去除双氧水中toc的提纯方法 |
-
1997
- 1997-04-10 JP JP09240197A patent/JP3900211B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103333791A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-10-02 | 嘉兴职业技术学院 | 一种实验室用的沼气产生系统 |
| CN103333795A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-10-02 | 嘉兴职业技术学院 | 一种沼气池的沼气生产系统 |
| CN103966085A (zh) * | 2013-06-09 | 2014-08-06 | 嘉兴职业技术学院 | 一种带压持机构的实验室用的沼气产生系统 |
| CN103981088A (zh) * | 2013-06-09 | 2014-08-13 | 嘉兴职业技术学院 | 一种带搅拌装置的沼气池的沼气生产系统 |
| CN112723316A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-04-30 | 联仕(昆山)化学材料有限公司 | 一种低温去除双氧水中toc的提纯方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3900211B2 (ja) | 2007-04-04 |
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