JPH10286507A - 塗布装置及び塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】凝集物欠点や凝集物起因の縦スジのない、高品
位な塗膜表面を長期間に亘って順次形成でき、かつ、塗
膜厚みを均一にできる塗布装置と塗布方法、さらに、こ
れらを用いた製品歩留まりの良い、設備稼働率の高いカ
ラーフィルタの製造装置と製造方法を提供する。 【解決手段】塗布器は被塗布枚葉部材の相対的な進行方
向のみで前後に結合されたフロントリップ及びリアリッ
プと、リップ間に形成され、供給手段から供給された塗
布液を吐出口と同一方向に拡幅するためのマニホールド
と、マニホールドから吐出口へ塗布液を導くためのスリ
ット平行部と、スリット平行部を形成するフロント及び
リアリップのリップ接液面とを有し、塗布器のマニホル
ドの容量Ｖ１は被塗布枚葉部材表面への１回の塗布液量
Ｖ２に対し、０．０５≦Ｖ１／Ｖ２≦１の範囲とする。
これらによりカラーフィルタが効率よく製造できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板や金属
板などの平坦な被塗布枚葉部材の表面に塗布液を吐出
し、その塗布液の塗膜を形成する塗布装置および塗布方
法並びにカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製
造装置および製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶ディスプレイ用のカラーフィ
ルタは、被塗布部材としてのガラス基板上に３原色の細
かな格子模様を有しており、このような格子模様はガラ
ス基板上に黒色の塗膜を形成した後、そのガラス基板上
をさらに赤、青、緑の３原色に塗り分けて得られる。

【０００３】それゆえ、カラーフィルタの製造には、ガ
ラス基板上に黒、赤、青、緑の塗布液を順次塗布し、そ
れぞれの塗膜を形成する枚葉塗布工程が不可欠となる。
この種の塗布工程には、従来、塗布装置としてスピナ
ー、バーコータあるいはロールコータが使用されていた
が、塗布液の消費量の削減や塗膜の物性向上、さらに
は、カラー液晶ディスプレイの大型化に伴うガラス基板
の大板化対応のために、近年に至ってはダイコータの使
用が検討されている。

【０００４】ダイコータでは、一般にチキソトロピック
性を有した凝集性のある塗布液を被塗布部材表面に塗布
する場合、その塗布器いわゆるスリットダイの内部に設
けた塗布液を塗布幅方向に拡幅するためのマニホールド
内で、特にマニホールドへ塗布液を供給する供給口から
離れるにしたがって、塗布液の凝集物やゲル状化物が発
生し易くなる問題がある。

【０００５】マニホールド内で塗布液の凝集物やゲル状
化物が生じると、塗膜表面に凝集物欠点が発生し、この
凝集物がマニホールドからスリット平行部へと繋がるマ
ニホールド下部内壁面に沈降、付着して堆積すると、マ
ニホールドから平行スリット部への塗布液の流れが変化
して塗膜表面に縦スジが発生する。

【０００６】そして、これら塗膜表面品位の低下は、製
品の歩留まり悪化やスリットダイの内部洗浄、又はスリ
ットダイの交換による塗布装置の稼働率低下を招き、塗
布装置の生産性を著しく損ねてしまう。

【０００７】従来より、本問題を解決するために、主と
して連続走行するウエブ表面に塗膜を形成するためのス
リットダイに関しては、例えば特開昭６２−９５１７４
号公報では、マニホールド内に塗布巾方向に亘って設け
た回転円筒によってせん断力を付与しながら塗布液を強
制的に攪拌し、塗布液の凝集やゲル状化を抑止する方法
が開示されている。

【０００８】また特開平１−２６６８７６号公報では、
塗布幅方向に亘ってマニホールド内に固定型攪拌手段を
設け、塗布液をそれ自身の液圧により攪拌することで塗
布液の凝集やゲル状化を抑止する方法が開示されてい
る。

【０００９】さらに、発生した塗布液の凝集物がマニホ
ールドから吐出口に至る接液面に沈降、付着し吐出口が
詰まることを抑制する手段として、特開平４−３４６８
６９号公報には、マニホールドから吐出口に至る接液面
を対向する壁面との離間を漸次狭めるなめらかな連続面
とする方法等が開示されている。

【００１０】しかし、前記の如き公知の方法では、例え
ばガラス基板のような枚葉部材表面に厚みの均一な塗膜
を順次形成するダイコータには適さず、実用が困難であ
る。つまり、前記特開昭６２−９５１７４号公報で開示
されている、マニホールド内に回転円筒を有するスリッ
トダイでは、比較的粘度が低い（〜４００ｃｐ）塗布液
において、回転円筒のわずかな回転ムラや、振れの影響
で塗布液の吐出圧が変化するため、塗布厚みの均一性が
著しく損なわれる。さらに、ダイコータによって各枚葉
部材毎に塗布液の枚葉塗布を行なう場合、塗布厚みの均
一性を維持するために塗布開始および終了時における塗
布厚み制御が不可欠となるが、スリットダイへ塗布液を
供給するポンプの送液量変化と連動して回転円筒の回転
数を微妙に制御することは困難なため、塗膜面全体で均
一な塗布厚みを達成することはできない。

【００１１】同様に、前記特開平１−２６６８７６号公
報で開示されている、マニホールド内に固定型攪拌手段
を有するスリットダイでも、固定型攪拌手段が抵抗とな
って塗布開始および終了時における前記ポンプの送液量
変化がスリットダイ吐出口に伝わりにくく、微妙な塗布
液の吐出量制御ができないため、塗膜面全体で均一な塗
布厚みを達成することができない。さらに、マニホール
ド内を流動する液圧に頼って塗布液を攪拌するため、塗
膜の薄膜化に伴って塗布液流量が減少すると、マニホー
ルド内の塗布液流動が緩慢になって、固定型攪拌手段の
壁面近傍で塗布液の異常滞留が発生し易く、その箇所で
は逆に塗布液の凝集やゲル状化進行を促進してしまう。
また、マニホールド内の構造が複雑になり、接液面積が
増加するために、スリットダイ内部の洗浄性が悪く、分
解洗浄が必要となるという手間もかかる。

【００１２】そして、前記特開平４−３４６８６９号公
報で開示されているマニホールドから吐出口に至る接液
面が対抗する接液面との離間を漸次狭めるなめらかな連
続面としたスリットダイでは、マニホールドと吐出口の
間にスリット平行部が設けられていないので、吐出口に
おける塗布幅方向に均一な間隙を機械的に製作すること
は困難であり、塗布幅方向で高い塗布厚み精度を達成す
ることができない。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に基づいてなされたもので、その目的とするところ
は、一般にチキソトロピック性を有し凝集性のある塗布
液を被枚葉部材表面に吐出する場合でも、凝集物欠点や
凝集物起因の縦スジのない、高品位な塗膜表面を長期間
に亘って順次形成でき、かつ、塗布開始および終了時の
塗布膜厚制御性を損なうことなく塗膜厚みを均一にでき
る塗布装置および塗布方法を提供することにある。さら
に、これら塗布装置および塗布方法を用いた製品歩留ま
りの良い、設備稼働率の高いカラーフィルタの製造装置
および製造方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明者らが鋭意研究を
重ねた結果、上記目的を達成するためには、スリットダ
イ内部に充填している塗布液をポンプ等の供給手段から
新たに供給される塗布液と１回の枚葉塗布工程でほぼ完
全に交換（置換）できること、スリットダイ内部のマニ
ホールドを含めた塗布液の流路を塗布膜厚精度が悪化し
ない範囲で発生した凝集物が塗布器内部壁面へ沈降・付
着することのない形状とすること、凝集物の発生を抑制
できるようなマニホールド壁面の表面粗さとすることが
重要との結論に至った。

【００１５】上記の目的を達成する本発明の構成は以下
の通りである。すなわち、 （１）本発明の塗布装置は、塗布液を供給する供給手段
と、この供給手段からの塗布液の供給を受け、一方向に
延びる吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、この塗
布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的
に移動させて、その被塗布部材の表面に塗布液の塗膜を
形成する移動手段とを備え、その塗布器は、被塗布枚葉
部材の相対的な進行方向でみて前後に結合されたフロン
トリップおよびリアリップと、これらリップ間に形成さ
れ、供給手段から供給された塗布液を吐出口と同一方向
に拡幅するためのマニホールドと、マニホールドから吐
出口へ塗布液を導くためのスリット平行部と、スリット
平行部を形成するフロントおよびリアリップのリップ接
液面とを有し、この塗布器のマニホールドの容積Ｖ１
（ｍｍ³ ）は、被塗布枚葉部材表面への１回の塗布に必
要な塗布液量Ｖ２（ｍｍ³ ）に対して、 ０．０５≦Ｖ１／Ｖ２≦１．０ の範囲に収められていることを特徴とする。

【００１６】上記本発明の塗布装置によれば、被塗布枚
葉部材表面へのほぼ１回の塗布で塗布器内部に充填され
ている塗布液がポンプより新たに供給される塗布液と速
やかに置換することができるため、塗布器のマニホール
ドにおいて塗布液の凝集物が発生して滞留することもな
い。したがって、各枚葉塗布開始時には常に新しい塗布
液が塗布器のマニホールドに充填されているため、表面
に凝集物欠点や凝集物起因の縦スジのない高品位な塗膜
を被塗布枚葉部材表面に長期間に亘って順次形成するこ
とができる。さらに、塗布器内部の流路に余分な抵抗物
等がないため、枚葉塗布開始および終了時の膜厚制御に
おいて、何ら悪影響を及ぼすことがないため、塗布厚み
の均一性を損なうこともない。

【００１７】（２）また、本発明の塗布装置は、スリッ
ト平行部の塗布液押出し方向の長さをＬ１（ｍｍ）とし
たとき、 １５＜Ｌ１≦７０ の範囲であり、対向する壁面との離間を漸次狭めてスリ
ット平行部へと繋がるマニホールド下部内壁面の塗布液
押出方向の長さをＬ２（ｍｍ）としたとき、 ０．０５≦Ｌ２／Ｌ１≦０．５ の範囲であり、このマニホールド下部内壁面における各
位置の塗布液押出方向接線とスリット平行部における塗
布液押出方向線とを結ぶ角度θ（゜）が、 ５≦θ≦４０ の範囲に収められているものであることが好ましい。

【００１８】上記の塗布装置によれば、マニホールド内
部の塗布液押出方向における塗布液の異常滞留が抑止で
き、塗布器内部に充填されている塗布液を新たに供給さ
れる塗布液と速やかに置換することができるので、塗布
液の凝集進行を防ぐことができる。また、仮にマニホー
ルド内で塗膜表面品質を損なわない程度の極微少な凝集
核が発生した場合でも、この凝集核がマニホールド内壁
面へ沈降、付着して成長することなくスリット平行部を
通じて吐出口より円滑に吐出されるため、被塗布枚葉部
材へ凝集物欠点や凝集物起因の縦スジがない高品位な塗
膜表面を長期間に亘って順次形成できる。さらに、マニ
ホールド内を流動する塗布液の圧損が無視できる程度の
圧損を稼ぐのに必要充分な長さをもつスリット平行部が
マニホールドから連続的に設けられているため、吐出口
における間隙の塗布幅方向の均一性を容易に向上するこ
とができる。したがって、例えばカラーフィルタ用の塗
膜に要求されるような高い塗布膜厚精度が実現できる塗
布装置に適用可能となる。 （３）また、本発明の塗布装置は、塗布器のマニホール
ド内壁面の算術平均粗さ（Ｒａ）が、０．００１〜０．
４（μｍ）の範囲に設定されていることが好ましい。

【００１９】上記の塗布装置によれば、マニホールド内
壁面の微小キズや凹凸に塗布液固形分がこびりついて凝
集核となり、これが成長して凝集物が発生することを抑
制できる。したがって、被塗布枚葉部材へ凝集物欠点や
凝集物起因の縦スジがない高品位な塗膜表面を長期間に
亘って順次形成することができる。

【００２０】（４）また、本発明の塗布装置は、スリッ
ト平行部の間隙幅が、０．０５〜０．３（ｍｍ）の範囲
に設定されていることが好ましい。

【００２１】この場合、スリット平行部の間隙幅は、例
えばカラーフィルタ用の塗膜に要求されるような塗布膜
厚を実現でき、且つ塗布液固形分の凝集物が詰まること
もなく、凝集欠点や凝集物起因の縦スジがない高品質な
塗膜表面を被塗布部材表面に長期間に亘って順次形成す
ることができる （５）また、本発明のカラーフィルタの製造装置は、前
記（１）〜（４）のいずれかに記載の塗布装置を含んで
おり、このカラーフィルタの製造装置は、その塗布器か
ら塗布液を吐出してガラス基板などの透明基板に表面品
位の高い所定の塗膜を長期間にわたって順次形成できる
ため、稼働率良くカラーフィルタを製造することができ
る。

【００２２】（６）また、本発明の塗布方法は、前記
（１）〜（４）のいずれかに記載の塗布装置を用い、塗
布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的
に移動させて被塗布部材の表面に塗布液の塗膜を形成す
るものである。

【００２３】上記の塗布方法によれば、前記（１）〜
（４）の塗布装置の同様な作用、つまり、表面品位が高
く塗布幅方向に膜厚が均一な塗膜を長期間に亘って安定
に形成できる。

【００２４】（７）また、本発明のカラーフィルタの製
造方法は、前記（６）記載の塗布方法を用いて、ガラス
基板などの透明基板に所定の塗膜を順次形成し、これに
より、カラーフィルタを歩留まり良く製造することがで
きる。

【００２５】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、カラーフィル
タの製造に適用された塗布装置いわゆるダイコータが示
されており、ダイコータは基台２を備えている。基台２
上には一対のガイド溝レール４が設けられており、これ
らガイド溝レール４には、ステージ６が配置され、この
ステージ６の上面はサクション面として構成されてい
る。ステージ６は、一対のスライド脚８を介してガイド
溝レール４上を水平方向に往復動自在となっている。

【００２６】一対のガイド溝レール４間には、ガイド溝
レール１４に沿って延びるケーシング１２が配置されて
おり、このケーシング１２は送り機構を内蔵している。
送り機構は、図２に示されているようにボールねじから
なるフィードスクリュー１４を有しており、フィードス
クリュー１４はステージ６の下面に固定されたナット状
のコネクタ１６にねじ込まれ、このコネクタ１６を貫通
して延びている。フィードスクリュー１４の両端部は図
示しない軸受に回転自在に支持されており、その一端に
はＡＣサーボモータ１８が連結されている。なお、ケー
シング１２の上面又は側面にはコネクタ１６の移動を許
容する開口が形成されているが、図１中その開口は省略
されている。

【００２７】なお、ここでは、ステージ６が往復動する
構成となっているが、これに限らず、後述するスリット
ダイ４０がステージ６に対して往復動する構成であって
もよい。要は、ステージ６およびスリットダイ４０のう
ちの少なくとも一方が往復動すればよい。

【００２８】基台２の上面にはその一端側に逆Ｌ字形の
センサ支柱２０が配置されている。センサ支柱２０はそ
の先端が一方のガイド溝レール４の上方まで延びてお
り、その先端には電動型の昇降アクチュエータ２１が取
り付けられている。この昇降アクチュエータ２１には厚
みセンサ２２が下向きにして取り付けられており、この
厚みセンサ２２としてはレーザ変位計、電子マイクロ変
位計、超音波厚さ計などを使用することができる。

【００２９】さらに、基台２の上面にはセンサ支柱２０
よりも基台２の中央側に同じく逆Ｌ字形をなしたダイ支
柱２４が配置されている。ダイ支柱２４の先端は一対の
ガイド溝レール４間の上方、つまり、ステージ６の往復
動経路の上方に位置し、その先端には昇降機構２６が取
り付けられている。図１中には詳細に示されていないけ
れども、昇降機構２６は昇降ブラケットを備えており、
この昇降ブラケットは一対のガイドロッドに昇降自在に
取り付けられている。これらガイドロッド間にはボール
ねじからなるフィードスクリューが配置されており、こ
のフィードスクリューは昇降ブラケットのナット部にね
じ込まれ、このナット部を貫通して延びている。フィー
ドスクリューの上端部にはＡＣサーボモータ３０が連結
されており、このＡＣサーボモータ３０はケーシング２
８の上面に取り付けられている。なお、前述したガイド
ロッドおよびフィードスクリューはケーシング２８に収
容され、軸受を介して回転自在に支持されている。

【００３０】昇降ブラケットには支持軸（図示しない）
を介してコ字形をなしたダイホルダ３２が垂直面内で回
転自在に取り付けられており、このダイホルダ３２は一
対のガイド溝レール４の上方をこれらガイド溝レール４
間に亘って水平に延びている。さらに、昇降ブラケット
にはダイホルダ３２の上方に水平バー３６が固定されて
おり、この水平バー３６はダイホルダ３２に沿って延び
ている。水平バー３６の両端部には、空圧型の調整アク
チュエータ３８がそれぞれ取り付けられている。この調
整アクチュエータ３８は水平バー３６の下面から突出し
た伸縮可能なロッドを有しており、これら伸縮ロッドの
下端はダイホルダ３２の両端それぞれに当接されてい
る。

【００３１】ダイホルダ３２内には塗布器としてのスリ
ットダイ４０が取り付けられている。図２に示されてい
るようにスリットダイ４０からは塗布液の供給ホース４
２が延びており、この供給ホース４２の先端はシリンジ
ポンプ４４における電磁切り換え弁４６の供給ポートに
接続されている。電磁切り換え弁４６の吸引ポートから
は吸引ホース４８が延びており、この吸引ホース４８の
先端部は、塗布液を蓄えたタンク５０内に挿入されてい
る。

【００３２】シリンジポンプ４４のポンプ本体５２は、
電磁切り換え弁４６の切り換え作動により供給ホース４
２および吸引ホース４８の一方に選択的に接続可能とな
っている。そして、これら電磁切り換え弁４６およびポ
ンプ本体５２はコンピュータ５４に電気的に接続され、
このコンピュータ５４からの制御信号を受けて、それら
の作動が制御されるようになっている。また、コンピュ
ータ５４は前述した昇降アクチュエータ２１および厚み
センサ２２もまた電気的に接続されている。

【００３３】さらに、シリンジポンプ４４の作動を制御
するため、コンピュータ５４にはシーケンサ５６もまた
電気的に接続されている。このシーケンサ５６は、ステ
ージ６側のフィードスクリュー１４のＡＣサーボモータ
１８や、昇降機構２６つまりそのＡＣサーボモータ３０
の作動をシーケンス制御するものであり、そのシーケン
ス制御のために、シーケンサ５６にはＡＣサーボモータ
１８，３０の作動状態を示す信号、ステージ６の移動位
置を検出する位置センサ５８からの信号、スリットダイ
４０の作動状態を検出するセンサ（図示しない）からの
信号などが入力され、一方、シーケンサ５６からはシー
ケンス動作を示す信号がコンピュータ５４に出力される
ようになっている。なお、位置センサ５８を使用する代
わりに、ＡＣサーボモータ１８にエンコーダを組み込
み、このエンコーダから出力されるパルス信号に基づ
き、シーケンサ５６にてステージ６の位置を検出するこ
とも可能である。また、シーケンサ５６にコンピュータ
５４による制御を組み込むことも可能である。

【００３４】図示されていないが、ダイコータには、ス
テージ６上に被塗布部材としての枚葉部材、つまり、カ
ラーフィルタのためのガラス基板Ａを供給するローダ
や、ステージ６からガラス基板Ａを取り外すためのアン
ローダが備えられており、これらローダおよびアンロー
ダにはその主要構成部分に例えば円筒座標系産業用ロボ
ットを使用することができる。

【００３５】図１から明らかなように、前述したスリッ
トダイ４０は、ステージ６の往復動方向と直行する方
向、すなわち、ステージ６の幅方向に水平に延びてお
り、その両端がダイホルダ３２に支持されている。ここ
で、スリットダイ４０の水平調整は、前述した水平バー
３６の両端に設けた調整アクチュエータ３８の伸縮ロッ
ドを伸縮させ、ダイホルダ３２をその支持軸回りに回転
させることで行うことができる。

【００３６】図３および図４を参照すれば、第１〜第３
実施例において基本的構成が共通なスリットダイ４０の
詳細が示されている。このスリットダイ４０は長尺なブ
ロックであるフロントリップ５８およびリアリップ６０
を備えており、これらフロントおよびリアリップ５８、
６０はステージ６の往復動方向前後にシム６２を介して
結合され、図では一部省略しているが、互いに複数の連
結ボルト６４により一体的に結合されている。

【００３７】より詳しくは、フロントリップ５８の調整
ボルト９０が設けられている部分より下側が下方に向け
てさらに突出して吐出口７４へと連なっており、一方、
リアリップ６０の後面下部も吐出口７４からさらにフロ
ントリップ５８の下面に連なるようにして下向きの傾斜
面が形成されている。これにより、スリットダイ４０の
下面中央にはその幅方向に延びるノズル部６６が形成さ
れている。

【００３８】図４から明らかなように、リアリップ６０
の内面にはその中央部分に位置してマニホールド６８が
形成されている。このマニホールド６８は溝から形成さ
れており、この溝はスリットダイ４０の幅方向に水平に
延びている。

【００３９】なお、マニホールド６８は前述した塗布液
の供給ホース４２に内部通路７０を介して常時接続され
ており、この内部通路７０はマニホールド６８の中央上
部に位置付けられている。

【００４０】本実施例では、マニホールドがリアリップ
の片側にだけある場合を示しているが、本発明はこれに
限定されるものでなく、マニホールド６８はフロントリ
ップ５８の片側のみに形成されても、フロントおよびリ
アリップ５８、６０の両側に形成されてもよい。

【００４１】シム６２は、全体に亘って厚みが基準値か
ら偏差２％以内に収められている薄い板状をなし、マニ
ホールド６８自体およびマニホールド６８の下方部に対
応した部分が切り欠かれている。したがって、シム６２
は、フロントリップ５８とリアリップ６０との間にマニ
ホールド６８に連なる垂直なスリット平行部７２（図３
参照）を形成しており、このスリット平行部７２の下端
開口はノズル部６６の下面すなわちリップ下面６６ａに
開口する吐出口７４となっている。この吐出口７４もま
たマニホールド６８と同様にステージ６の往復動方向と
直行する方向、すなわち、ステージ６の幅方向に延びて
いる。

【００４２】フロントおよびリアリップ６０の内面にお
いて、スリット平行部７２を規定する部分はそれぞれリ
ップ接液面７６となっており、これらリップ接液面７６
間の間隙（スリット平行部７２の隙間）は、スリット平
行部７２の上下方向（図５中矢印Ｂ方向）及び吐出口７
４の長手方向（図５中矢印Ｅ方向）のそれぞれに亘り、
つまり、リップ接液面７６の全域に亘り、基準値から偏
差が４％以内に収められている。ここで、スリット平行
部７２の間隙、つまり、その基準値はシム６２の厚みに
よって決定され、その間隙は例えば０．０５ｍｍから
０．３ｍｍに設定されている。

【００４３】ここで、この間隙が０．０５ｍｍ以上に確
保されていると、差動ボルトで構成される調整ボルト９
０によってその間隙調整が容易に行え、これに対し、そ
の間隙が０．３ｍｍを越えてしまうと、スリット平行部
７２およびマニホールド６８内の塗布液の吐出圧を十分
に保つことが困難となり、吐出口７４から一様に塗布液
Ｌを吐出することができなくなってしまう。

【００４４】図５および図６に示されているようにステ
ージ６の幅方向に沿う吐出口７４の吐出幅は、前述の説
明から明らかなようにマニホールド６８における両端間
の長さ（図５参照）、つまり、シム６２における両脚部
６２ａ間の間隔（図６参照）によって規定されており、
その吐出幅は図５、６中、参照符号Ｗで示されている。
なお、図６では、シム６２は斜線を施して示されてい
る。

【００４５】また、シム６２の切欠き形状は、フロント
およびリアリップ５８、６０をシム６２を介して結合す
る際、マニホールド６８に対応するシム６２の切欠き部
上側稜線６３はマニホールド６８の上側稜線６９よりも
下側（図６参照）に位置するような形状をしていなけれ
ばならない。これは、仮にシム６２の切欠き部がマニホ
ールド６８の上側稜線６９よりも上側にある場合、この
部分でフロントおよびリアリップ５８、６０との間にシ
ム６２の厚みに相当する隙間ができ、毛管現象によって
塗布液が流れ込んで塗布液の凝集が生じやすくなるのを
防ぐためである。

【００４６】さらに、このシム６２にはその表裏が認識
できるよう、上側片端の角に面取りの目印６１が付けら
れている（図４、６参照）。目印は何であっても構わな
いが、その目的はシム６２の表裏を区別することによ
り、フロントおよびリアリップ５８、６０を一度分解し
て再組立する際にも、スリット平行部７２の間隙プロフ
ァイルが変わらないようにするためである。

【００４７】図８には、第１実施例のリアリップ６０に
おけるマニホールド６８の容量Ｖ１（ｍｍ³ ）と被塗布
枚葉部材表面へ１回塗布するのに必要な塗布液量Ｖ２
（ｍｍ³ ）との関係を示す。

【００４８】マニホールド容量Ｖ１（ｍｍ³ ）は、１枚
の被塗布枚葉部材表面に１回塗布する塗布液量Ｖ２（ｍ
ｍ³ ）に対して ０．０５≦Ｖ１／Ｖ２≦１．０ の範囲に収められている。したがって、１回の塗布工程
によってマニホールド６８の内部に充填している塗布液
のほぼ全量を消費することができ、新たに供給する塗布
液と置換することができる。したがって、被塗布枚葉部
材（ガラス基板Ａ）表面へは、常に新鮮な塗布液による
塗膜を順次形成することができる。

【００４９】また、第１実施例のスリットダイは、図９
で示すようにマニホールド下部内壁面９３において、任
意の塗布液押出方向接線（例えばａ１、ａ２、ａ３）と
スリット平行部７２における塗布液押出方向線ｂとを結
ぶ角度θが４０°より大きくなっている箇所があり、一
般的にはＴダイと呼ばれるものである。むろん、本発明
が提案する塗布装置における塗布器、すなわちスリット
ダイは、そのマニホールド容量が上記範囲内であれば前
述のＴダイだけに限定されるものではなく、一般的なコ
ートハンガーダイまたは多数のマニホールドから構成さ
れる多段マニホールドダイであっても、その他のダイで
も形式は問わない。

【００５０】仮に、マニホールド容量Ｖ１を上記範囲よ
り小さくした場合、マニホールドの塗布幅方向を流動す
る塗布液の圧損が大きくなりすぎて、塗布液を幅方向に
均一吐出することが難しくなる。

【００５１】逆に、マニホールド容量Ｖ１を上記範囲よ
りも大きくすると、スリットダイ４０の内部に充填され
ている塗布液のほぼ全量が１回の枚葉塗布工程で新たに
供給される塗布液と置換されず、その一部は幾度の枚葉
塗布を経てもマニホールド内に滞留するため、その滞留
箇所で塗布液固形分が凝集物やゲル化物となる。このた
めに、短期間で塗膜表面に凝集物欠点や凝集起因の縦ス
ジが発生するので製品歩留まりが悪く、スリットダイ内
部を溶媒等で頻繁に洗浄することが必要となるので塗布
装置の稼働率も低下する。

【００５２】図１０には、第２実施例のリアリップ６０
におけるマニホールド形状の詳細を示している。通常、
スリット平行部７２を流動する塗布液の圧損が高く、そ
の流れが層流状態であるほど塗布幅方向における塗布液
の均一吐出が可能となる。圧損を高めて、流れを層流状
態にするためにはスリット平行部７２の間隙幅を狭める
ことが一番効果的であり、次いでスリット平行部７２の
上下方向の長さをできるだけ長くすることが好ましい。

【００５３】しかし、スリット平行部７２の間隙幅を狭
くするにも、機械製作精度や塗布液に混入する異物の詰
まり防止の点で制約があるため、前述した０．０５ｍｍ
が範囲が限界である。したがって、塗布幅方向における
塗布液の均一吐出をより実現しやすくするためは、スリ
ット平行部７２の上下方向の長さＬ１（ｍｍ）をスリッ
トダイの重量や機械的寸法が許される範囲内で適切な長
さにすることが好ましく、 １５＜Ｌ１≦７０ の範囲に設定するのが好ましい。

【００５４】このＬ１が上記範囲より短い場合、前述し
たスリット平行部７２の間隙幅の範囲内では必要な圧損
を稼げず、塗布液の流れも完全な層流状態にはならない
ため、塗布液を塗布幅方向で均一吐出することは困難と
なる。逆にＬ１が上記範囲より長くなるとスリットダイ
のサイズが大きくなりすぎて重量が増加したり、スリッ
ト７２で塗布液に混入する異物が詰まりやすくなり、か
つ、この詰まった不純物を清掃することも難しくなる。

【００５５】対向する壁面との離間を漸次狭めてスリッ
ト平行部７２へと繋がるマニホールド下部内壁面９３の
上下方向の長さＬ２（ｍｍ）は、スリット平行部７２の
上下方向の長さＬ１（ｍｍ）に対して、 ０．０５≦Ｌ２／Ｌ１≦０．５ の範囲に設定されている。

【００５６】Ｌ２が上記範囲より長くなるとマニホール
ド容量が大きくなって塗布液の置換性が悪化するために
塗布液の凝集物やゲル状化物が発生しやすくなる。逆に
Ｌ２が上記範囲より小さくなるとマニホールド６８内を
塗布幅方向に流動する塗布液の圧力分布を均一化して、
かつ円滑に上下方向の流動に変えることが難しくなり、
スリット平行部７２より塗布液の塗布幅方向における均
一吐出が難しくなる。また、マニホールド下部内壁面９
３の対抗する壁面との離間を漸次狭める形状は、直線も
しくは曲線のどちらでもよいが、機械加工の難易度や精
度を考慮すれば直線的に離間を漸次狭めるテーパ形状が
より好ましい。

【００５７】さらに、このマニホールド下部内壁面９３
における各位置の接線ａとスリット平行部７２における
塗布液押出方向線ｂとを結ぶ角度θ（゜）は、 ５≦θ≦４０ の範囲に設定されていることが好ましい。

【００５８】角度θが大きすぎると、マニホールド下部
内壁面９３付近の塗布液の流れは二次流動によって渦状
の循環流となりやすく、マニホールド内で発生した微小
凝集物がマニホールド下部内壁面９３で沈降・付着して
成長することにより、スリット平行部７２の隙間を塞
ぎ、凝集物起因の縦スジが発生しやすくなる。逆に角度
θが小さすぎると、上述したＬ２の範囲ではマニホール
ド６８の容量が小さくなり、スリット平行部７２を流動
する塗布液の圧損に対してマニホールド６８内を流動す
る塗布液の圧損が無視できなくなるため、スリット平行
部７２から塗布幅方向で塗布液を均一吐出することが難
しくなる。

【００５９】マニホールド６８全域の内壁面の表面粗さ
が悪いと、粗さの隙間に塗布液の固形分が入り、これが
凝集核として成長するので、凝集物が発生しやすくな
る。

【００６０】様々な評価のすえ、第１および第２実施例
におけるリアリップ６０のマニホールド６８の内壁面の
表面粗さは算術平均粗さ（Ｒａ）が０．４μｍ以下の範
囲で加工されることが好ましいことが分かった（第３実
施例）。また、逆に良すぎると加工費がかさむため、
０．００１μｍが限界である。

【００６１】本発明で規定する算術平均粗さ（Ｒａ）と
は、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（１９９４）に準拠して測定
される数値である。すなわち、算術平均粗さ（Ｒａ）
は、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さ（Ｌ）だ
け抜き取り、この抜き取り部分の平均線の方向にＸ軸、
縦倍率の方向にＹ軸を取り、粗さ曲線をＹ＝ｆ（Ｘ）で
表したときに、次の［式１］によって求められる値をマ
イクロメートル単位（μｍ）で表したものをいう。

【００６２】

【式１】 カラーフィルタのような顔料分散液を超精密塗布する場
合には、マニホールド６８全域の内壁面にごく僅かな傷
でもあると塗布液固形分（分散顔料）がマニホールド壁
面にこびり付きやすくなるため、表面粗さの最大高さ
（Ｒｙ）を０．４μｍ以下の範囲に収まるように加工さ
れるほうがより好ましいことが分かった。この場合で
も、逆に良すぎると加工費がかさむため、０．００１μ
ｍが限界である。

【００６３】本発明で規定される表面粗さの最大高さＲ
ｙとは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（１９９４）に準拠して
測定される数値である。すなわち、最大高さＲｙは、粗
さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、
この抜き取り部分の山頂線と谷底線との間隔を粗さ曲線
の縦倍率方向に測定し、この値をマイクロメートル単位
（μｍ）で表したものをいう。

【００６４】次に、カラーフィルタの製造に係わる一工
程、つまり、上述したダイコータを使用して行われる塗
布方法を説明する。

【００６５】図１、図２において、まず、ダイコータに
おける各作動部の原点復帰が行われると、ステージ６は
厚みセンサ２２の下方に位置付けられ、また、タンク５
０から吸引ホース４８および供給ホース４２を経て、ス
リットダイ４０内のマニホールド６８およびスリット平
行部７２内に至る経路内に塗布液が満たされる。さら
に、塗布準備動作として、シリンジポンプ４４の電磁切
り換え弁４６がそのポンプ本体５２に吸引ホース４８と
接続すべく切り換え作動され、そして、ポンプ本体５２
にタンク５０内の塗布液を吸引ホース４８を通じて吸引
する吸引動作を行わせる。シリンジポンプ４４内に所定
量の塗布液が吸引されると、シリンジポンプ４４の電磁
切り換え弁４６はポンプ本体５２と供給ホース４２とを
接続すべく切換作動される。

【００６６】この状態で、図示しないローダからステー
ジ６上にガラス基板Ａが供給され、このガラス基板Ａは
ステージ６上にサクション圧を受けて保持される。ここ
で、ガラス基板Ａは、スリットダイ４０における吐出口
７４の吐出幅Ｗよりも広い幅寸法を有している。このよ
うにしてガラス基板Ａのローディングが完了すると、厚
みセンサ２２が所定の位置まで加工され、ガラス基板Ａ
の厚みが厚みセンサ２２により測定される。測定後、厚
みセンサ２２は元の位置まで上昇される。

【００６７】ガラス基板Ａのローディングが完了する
と、ステージ６はスリットダイ４０に向けて移動して、
スリットダイ４０の直前で停止される。この後、スリッ
トダイ４０が下降され、スリットダイ４０、すなわち、
そのノズル部６６の下面とガラス基板Ａの上面との間に
所定のクリアランス、すなわち、形成すべき塗膜の厚さ
Ｔに対して数倍となる、例えば０．１ｍｍのクリアラン
スＨ（図７参照）が確保される。クリアランスＨは、厚
みセンサ２２により測定したガラス基板Ａの厚さを考慮
し、ステージ６とスリットダイ４０との間の距離を測定
する距離センサ（図示しない）からの出力信号に基づ
き、スリットダイ４０の下降位置が位置決めされ得るこ
とで正確に設定される。

【００６８】次に、ステージ６をさらに移動させ、ガラ
ス基板Ａの上面にて、塗膜の形成を開始すべきスタート
ラインがスリットダイ４０の吐出口７４の直下に位置づ
けされて現時点で、ステージ６を一旦停止させる。

【００６９】このステージ６の一旦停止と実質的に同時
に、シリンジポンプ４４に塗布液の吐出動作を開始さ
せ、塗布液をスリットダイ４０に向けて供給する。した
がって、スリットダイ４０の吐出口７４からガラス基板
Ａ上に塗布液Ｌが吐出される。ここで、吐出口７４はそ
の間隙がスリットダイ４０の長手方向、つまり、ステー
ジ６の往復動方向に沿って一定であるから、吐出口７４
からはガラス基板Ａのスタートラインに沿って一様に塗
布液Ｌが吐出され、この結果、スリットダイ４０とガラ
ス基板Ａとの間にはメニスカスと称される液溜まりＣ
（図７参照）がスタートラインに沿って形成される。

【００７０】このような液溜まりＣの形成と同時に、吐
出口７４からの塗布液Ｌの吐出を継続しながら、ステー
ジ６を一定の速度で往復動方向に進行させると、図２お
よび図７に示されるようにガラス基板Ａの上面に塗布液
Ｌの塗膜Ｄが連続性適正される。

【００７１】なお、塗膜Ｄの形成にあたっては、ステー
ジ６の移動を一旦停止することなく、ガラス基板Ａのの
スタートラインがスリットダイ４０の吐出口７４を通過
するタイミングにて、吐出口７４から塗布液Ｌを吐出す
るようにしてもよい。

【００７２】ステージ６の進行に伴い、ガラス基板Ａ上
にて塗膜Ｄの形成を終了すべきフィニッシュラインがス
リットダイ４０の吐出口７４の直前位置に到達すると、
この時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作が停止され
る。このようにしてスリットダイ４０の吐出口７４から
塗布液Ｌの吐出が停止されても、ガラス基板Ａ上の液溜
まりＣの塗布液を消費しながら、塗膜Ｄの形成がフィニ
ッシュラインまで継続される。なお、ガラス基板Ａ上の
フィニッシュラインがスリットダイ４０の吐出口７４を
通過した時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作を停止
するようにしてもよい。

【００７３】ガラス基板Ａ上のフィニッシュラインが吐
出口７４を通過する時点又は通過した時点で、シリンジ
ポンプ４４の吸引動作がわずかに行われ、これにより、
スリットダイ４０のスリット平行部７２内の塗布液Ｌは
マニホールド６８側に吸引される。

【００７４】同時に、スリットダイ４０は元の位置まで
上昇され、スリットダイ４０から塗布液Ｌの吐出工程が
終了する。次に、シリンジポンプ４４に吸引動作と同じ
量だけ吐出動作を与えて、スリットダイ４０のスリット
平行部７２に空気が残らないようにした後、シリンジポ
ンプ４４の電磁切り換え弁４６はポンプ本体５２と吸引
ホース４８とを接続すべく切り換え動作され、そして、
ポンプ本体５２にタンク５０内の塗布液を吸引ホース４
８を通じて吸引する吸引動作を行わせる。シリンジポン
プ４４内に所定量の塗布液が吸引されると、シリンジポ
ンプ４４の電磁切り換え弁４６はポンプ本体５２と供給
ホース４２とを接続すべく切り換え作動される。なお、
スリットダイ４０の上昇位置にて、その下端面に付着し
ている塗布液Ｌがクリーナ（図示しない）により拭き取
られる。

【００７５】一方、ステージ６の往動は、塗布液Ｌの吐
出工程が終了しても継続されており、ステージ６がガイ
ド溝レール４の終端に到達した時点で、その往動が停止
される。この、状態で、塗膜Ｄが形成されたガラス基板
Ａは、そのサクションによる吸着が解除されて後、アン
ローダによりステージ６上から取り外される。この後、
ステージ６は往動され、図１に示す初期位置に戻されて
一連の塗布工程が終了する。初期位置にて、ステージ６
は新たなガラス基板がローディングされるまで待機す
る。

【００７６】上述したガラス基板Ａ上への塗膜Ｄの形成
に関し、スリットダイ４０におけるマニホールド６８の
容量はガラス基板Ａ上へ１回塗布するのに消費される塗
布液量に対してほぼ同等以下に設定されているため、１
回の塗布工程間で新たに供給される塗布液により、マニ
ホールド６８に充填されている塗布液のほぼ全量が凝集
物やゲル状化物を発生することなく速やかに吐出口７４
より吐出される。

【００７７】また、マニホールド下部内壁面９３を前述
のような形状としておけば、仮に塗布液の凝集物がマニ
ホールド６８内で発生したとしても、この凝集物が壁面
に沈降・付着して成長することによりスリット平行部７
２を塞ぐことがないため、長期間に亘って枚葉塗布工程
を繰り返しても塗膜Ｄ表面に凝集物起因の縦スジが発生
することもない。

【００７８】さらに、マニホールド６８の内壁面の表面
粗さの算術平均粗さ（Ｒａ）、より好ましくは最大高さ
（Ｒｙ）を前述の範囲に設定しておけば、マニホールド
壁面の傷に塗布液固形分が付着し、これが核となって成
長することによる凝集物発生も未然に防ぐことができ
る。

【００７９】したがって、本発明における塗布装置およ
び塗布方法によって、カラーフィルタの製造を長期間に
亘って歩留まり良く、かつ、設備稼働率良く行うことが
できる。

【００８０】

【実施例】前述したように、一般にチキソトロピック性
を有した凝集性のある塗布液を被塗布枚葉部材へ塗布す
る場合、塗布厚み精度を悪化することなく塗膜表面に凝
集物欠点や凝集起因の縦スジが発生することを長期間に
亘って抑制するには、塗布器のマニホールドの容量、形
状、壁面の表面粗さを適切にすることが重要である。

【００８１】図１１には、塗布幅は３００ｍｍから６５
０ｍｍと様々であるが、前述した塗布方法でガラス基板
に塗布液を塗布して約２５０００枚のカラーフィルタを
製造する際、ガラス基板１枚へ１回塗布するのに必要な
塗布液量で正規化した塗布器のマニホールド容量Ｖと、
塗膜表面に凝集物欠点や凝集物起因の縦スジが発生して
その塗布器の内部洗浄や塗布器自体の交換といった塗布
装置の停機が必要になるまで連続的に枚葉塗布できたガ
ラス基板枚数の関係を示している。

【００８２】また、本実施例では塗布液として、ピグメ
ントレッド１７７とガラスビーズをγ−ブチロラクトン
へホモジナイザーによって分散処理した後、濾過により
ガラスビーズを除去した顔料分散液にポリアミック酸の
γ−ブチロラクトン溶液を添加混合したカラーペースト
を使用し、その粘度比は２．５６であった。（東京計器
（株）製ＥＬＤ型粘度計の回転数を変えて２５℃で測定
を行い、（０．５ｒｐｍの粘度指示値）／（２．５ｒｐ
ｍの粘度指示値）の比を粘度比とした。なお、粘度比が
１に近いほど顔料の分散性が良く塗布液はニュートン流
体になる） 対向する壁面との離間を漸次狭めて平行スリット部へと
繋がるマニホールド下部内壁面が前述した図９のような
形状をなし、かつマニホールド容量Ｖが、０．０５≦Ｖ
≦１．０の範囲にある第１実施例の塗布器を備えた塗布
装置では、５０００枚のガラス基板に順次枚葉塗布を行
ってもその塗膜表面には凝集物欠点が発生せず（○
印）、凝集物起因の縦スジが発生するのも７５００枚以
上のガラス基板に塗布した後であった（△印）。また、
マニホールド容量Ｖが上記範囲内で小さくなるほど、凝
集物起因の欠点や縦スジのない高品位な塗膜表面を形成
できるガラス基板枚数は増加した。

【００８３】なお、図１１で示している縦軸方向の点線
よりも小さなマニホールド容量Ｖ、すなわちマニホール
ド容量Ｖを０．０５未満とした場合、リップ間隙を調整
しても塗布器の塗布幅方向の塗布厚み精度が１０％以上
となって、カラーフィルタの品質上好ましくないため評
価するには至らなかった。

【００８４】マニホールド容量Ｖが上記範囲内で同じな
らば、前述した図１０に示すような第２実施例の塗布器
を備えた塗布装置では、１００００枚のガラス基板に順
次枚葉塗布を行ってもその塗膜表面には凝集物欠点が発
生しなかった（●印）。そして、評価したガラス基板枚
数では凝集物起因の縦スジが塗膜表面に発生しなかっ
た。

【００８５】マニホールド容量Ｖが上記範囲内で同じで
あり、前述した図１０に示すような第２実施例のスリッ
トダイにおいて、０．８μｍ以上あったマニホールドの
内壁面の算術平均粗さ（Ｒａ）を０．４μｍ以下までに
向上した第３実施例の塗布器を備えた塗布装置では、１
４０００枚のガラス基板に順次枚葉塗布を行ってもその
塗膜表面には凝集物欠点が発生しなかった（◎印）。そ
して、この第３実施例のスリットダイでも、評価したガ
ラス基板枚数では凝集物起因の縦スジが塗膜表面に発生
しなかった。

【００８６】これに対して、マニホールド容量Ｖが１．
０よりも大きく、図９で示すマニホールド形状を成した
実施例の塗布器を備えた塗布装置では、凝集物起因の欠
点や縦スジのない高品位な塗膜表面を順次形成できるガ
ラス基板の枚数は２５００枚以下であり、塗布した２５
０００枚のガラス基板全数を塗布する間、頻繁な塗布器
の内部洗浄や塗布器自体の交換が必要であった。

【００８７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の塗布装
置および塗布方法によれば、塗布器内部に充填されてい
る塗布液の全量が新たに供給される塗布液とほぼ１回の
枚葉塗布で速やかに置換され、発生した塗布液の凝集物
がマニホールド下部内壁面に沈降・付着してスリット平
行部を塞ぐほど成長することもなく、また塗布液の凝集
自体の発生も抑制できる。よって、一般にチキソトロピ
ック性を有した凝集性のある塗布液を被塗布枚葉部材へ
塗布する場合でも、凝集物混入のない新鮮な塗布液を常
に塗布器より吐出し、長期間に亘って高品質な塗膜表面
を順次形成することが可能となるため、製品の歩留まり
や塗布装置自体の生産性が向上する。さらに、枚葉塗布
において重要な塗布開始および終了時の膜厚制御におい
て、何ら悪影響を及ぼすことがないため、塗膜厚みの均
一性を損なうこともない。

【００８８】また、本発明の塗布装置によれば、塗布器
の吐出口の開度を適切な範囲に抑えることができ、塗布
器マニホールド内で発生した凝集物がスリット平行部を
塞いで縦スジが発生することなく、塗布液を吐出口より
塗布幅方向で均一に吐出することが可能になる。

【００８９】さらに本発明のカラーフィルタの製造装置
および製造方法によれば、設備稼働率が向上するととも
に高品質なカラーフィルタを歩留まり良く製造すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ダイコータを示した概略斜視図である。

【図２】図１のダイコータを塗布液の供給系をも含めて
示した概略構成図である。

【図３】スリットダイを一部破断して示した側面図であ
る。

【図４】第１〜第３実施例において、基本的構成が共通
なスリットダイを示した分解斜視図である。

【図５】図４に示したリアリップの拡大図である。

【図６】リアリップとシムとの関係を示す図である。

【図７】図５中VII 部におけるスリットダイの拡大断面
図である。

【図８】第１実施例のマニホールド容量と塗布液量を示
したスリットダイの概略斜視図である。

【図９】第１実施例および比較例のスリットダイの断面
図である。

【図１０】第２実施例のスリットダイの断面図である。

【図１１】凝集性のある塗布液について、１回の枚葉塗
布に消費する塗布液量によって正規化されたマニホール
ド容量Ｖと塗布液の凝集起因の塗膜欠陥が発生するまで
に順次枚葉塗布できたガラス基板枚数の関係を示すグラ
フである。

【符号の説明】

６：ステージ １４：フィードスクリュー ４０：スリットダイ（塗布器） ４４：シリンジポンプ（供給手段） ５０：タンク ５８：フロントリップ ６０：リアリップ ６２：シム ６２ａ：シム両脚部 ６３：シム切欠き部上側稜線 ６６ａ：リップ下面 ６８：マニホールド ６９：マニホールド上側稜線 ７０：供給口 ７２：スリット平行部 ７４：吐出口 ７６：リップ接液面 ９０：調整ボルト ９３：マニホールド下部内壁面 Ａ：ガラス基板（被塗布枚葉部材）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】塗布液を供給する手段と、 前記供給手段からの塗布液の供給を受け、一方向に延び
   る吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、 前記塗布器または被塗布枚葉部材の少なくとも一方を相
   対的に移動させ、前記被塗布枚葉部材の表面に塗布液の
   塗膜を形成する移動手段とを具備する塗布装置であっ
   て、 前記塗布器は、前記被塗布枚葉部材の相対的な進行方向
   でみて前後に結合されたフロントリップおよびリアリッ
   プと、これらリップ間に形成され、前記供給手段から供
   給された塗布液を前記吐出口と同一方向に拡幅するため
   のマニホールドと、前記マニホールドから前記吐出口へ
   塗布液を導くためのスリット平行部と、前記スリット平
   行部を形成する前記フロントおよびリアリップのリップ
   接液面とを有し、 前記塗布器の前記マニホールドの容量Ｖ１（ｍｍ³ ）
   は、前記塗布器から前記被塗布枚葉部材表面への１回の
   塗布に必要な塗布液量Ｖ２（ｍｍ³ ）に対して、 ０．０５≦Ｖ１／Ｖ２≦１．０ の範囲であることを特徴とする塗布装置。
2. 【請求項２】前記塗布器の前記スリット平行部の塗布液
   押出方向の長さをＬ１（ｍｍ）としたとき、 １５＜Ｌ１≦７０ の範囲であり、 対向する壁面との離間を漸次狭めて前記スリット平行部
   へと繋がる前記マニホールド下部内壁面の塗布押出方向
   の長さをＬ２（ｍｍ）としたとき、 ０．０５≦Ｌ２／Ｌ１≦０．５ の範囲であり、 前記マニホールド下部内壁面における各位置の塗布液押
   出方向接線とスリット平行部における塗布液押出方向線
   とを結ぶ角度をθ（゜）としたとき、 ５≦θ≦４０ を満たしていることを特徴とする請求項１記載の塗布装
   置。
3. 【請求項３】前記マニホールド内壁面の算術平均粗さ
   （Ｒａ）が、 ０．００１〜０．４（μｍ） の範囲であることを特徴とする請求項１又は２記載の塗
   布装置。
4. 【請求項４】前記スリット平行部の前記被塗布部材の相
   対的な進行方向の間隙幅が、０．０５〜０．３（ｍｍ）
   の範囲に設定されていることを特徴とする請求項１〜３
   のいずれかに記載の塗布装置。
5. 【請求項５】請求項１〜４のいずれかの塗布器を含むカ
   ラーフィルタの製造装置。
6. 【請求項６】請求項１〜４のいずれかに記載の塗布装置
   を用い、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相
   対的に移動させて前記被塗布部材の表面に塗布液の塗膜
   を形成することを特徴とする塗布方法。
7. 【請求項７】請求項６の塗布方法を用いてカラーフィル
   ターを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造
   方法。