JPH10283651A - 化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置 - Google Patents
化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置Info
- Publication number
- JPH10283651A JPH10283651A JP9087063A JP8706397A JPH10283651A JP H10283651 A JPH10283651 A JP H10283651A JP 9087063 A JP9087063 A JP 9087063A JP 8706397 A JP8706397 A JP 8706397A JP H10283651 A JPH10283651 A JP H10283651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- compound semiconductor
- layer
- optical pickup
- pickup device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Head (AREA)
Abstract
物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置を提供す
る。 【解決手段】 発振波長580nm以下で、内部損失α
i が8〔cm-1〕以下の化合物半導体レーザ20を光源
とする、化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装
置100を構成する。
Description
して光ディスク等の光学記録媒体を用いた例えばコンピ
ューターの記憶装置、音楽・画像情報記憶装置等の、光
学記録装置、光学再生装置、或いは光学記録再生装置に
用いる光ピックアップ装置に係わる。
光学記録媒体に対する記録・再生の高記録密度化及び高
解像度化の要求のために、緑色ないしは青色発光の半導
体レーザの要求が高まっている。即ち、コンピューター
の記憶装置や、画像情報のパッケージメディアとして用
いる目的で、光ディスクの高記録密度化が進み、この高
記録密度化を実現する1つの手段として光源の短波長化
がある。
レーザには、例えばGaAs/AlGaAs系レーザが
ある。このレーザは、波長が780nm〜830nm程
度で、いわゆるコンパクトディスク(CD)用光ピック
アップ装置の光源として実用化されて久しい。しかし、
このレーザは波長が長いため、記録密度は上がらず、直
径12cmのディスクに対して650MB(メガバイ
ト)程度の記録情報しか入らない。
InP系レーザが実用化された。このレーザは、波長が
635〜690nmと赤色領域で上述のコンパクトディ
スク用レーザよりも短いため、技術を結集した結果、直
径12cmのディスクに対して4.7GBまで記録容量
が高まった。しかしながら、赤色はまだ他の可視光と比
較して波長が長いために、高密度記録には限界がある。
装置においては、短波長化による高い記録密度が充分達
成されているとは言えない。
した光ピックアップ装置を、高記録密度化させるのは容
易ではない。光源の波長はそのままで、記録密度を上げ
る1つの手段として、例えば対物レンズのN.A.(開
口数)を上げる方法があるが、このとき、対物レンズと
光ディスクとの距離が縮まることにより、光ディスクの
非水平性(スキュー)や非平坦性に対するマージンすな
わち裕度がとりにくくなる。従って、サーボ機構の精度
を大幅に上げる等の工夫が必要となる。また、光ディス
クに付着するごみ等による影響も大きくなって、エラー
の発生原因となりやすい。
た高い記録密度を実現することができるようにした、化
合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置を提供す
るものである。
0nm以下で内部損失αi が8〔cm-1〕以下の化合物
半導体レーザを光源とする化合物半導体レーザを用いた
光ピックアップ装置である。
の化合物半導体レーザを光源とし、この化合物半導体レ
ーザの駆動において、200MHz〜1GHzの高周波
重畳を行う構成の、化合物半導体レーザを用いた光ピッ
クアップ装置である。
80nm以下の短波長レーザを光ピックアップの光源と
するので高密度記録が可能となる、これに伴いN.A.
を抑えることができることから、例えば光ディスクのス
キューの問題、平坦性の問題、ゴミの問題を改善するこ
とができる。また、後述するところから明らかなよう
に、内部損失αi が8〔cm-1〕以下の化合物半導体レ
ーザを光源とすることにより、戻り光に対する端面反射
率を大とすることができる。
て、200MHz〜1GHzの高周波重畳を行う構成を
採ることにより、戻り光ノイズを小さくできるため、端
面反射率を大きくできることと相まって、光学記録媒体
からの戻り光等のノイズの影響を抑制することができ
る。
は、その光源を、発振波長580nm以下で内部損失α
i が8〔cm-1〕以下の化合物半導体レーザとする。
波長580nm以下の化合物半導体レーザを光源として
用い、化合物半導体レーザの駆動において、200MH
z〜1GHzの高周波重畳、すなわち高周波電圧あるい
は高周波電流重畳を行う。
その光源を、II族元素としてZn,Be,Mg,Cdま
たはHgのうちの少なくとも1種類以上の元素を含み、
IV族元素としてSe,S,Teのうちの少なくとも1種
類以上の元素を含むII−IV族化合物半導体レーザ構成と
する。
その光源を、III 族元素としてAl,GaまたはInの
うちの少なくとも1種類以上の元素を含み、V族元素と
して少なくともNを含むIII −V族化合物半導体レーザ
構成とする。
その光源の化合物半導体レーザの共振器端面が、前方端
面と後方端面とで異なる反射率とされた構成とする。
その光源の化合物半導体レーザがゲインガイド型構造を
有する構成とする。尚、このゲインガイド型構造とは、
文字どおりゲインガイド構造を有するものであって、そ
の電流狭窄効果を有する部分が、共振器を構成する活性
層から1μm以上隔てた位置にある構成のものを指称す
る。
その光源の化合物半導体レーザが上述したゲインガイド
型構造を有し、そのストライプ幅が5μm以下とされた
構成とする。
その光源の化合物半導体レーザがインデックス型構造を
有する構成とする。尚、このインデックス型構造とは、
その屈折率差を生じさせる手段として、電流狭窄効果を
有する領域を設ける場合においても、この領域は活性層
と200nm以下の至近距離に設けられるものを指称す
る。
本発明の光ピックアップ装置の一例を説明する。図中1
00は、本発明による光ピックアップ装置を全体として
示す。この光ピックアップ装置100は、光源としての
半導体レーザ101からの出射光をディスク200へ導
くと共に、ディスク200からの反射光、即ち信号光を
再生するための公知の光学系、即ちコリメートレンズ1
02、偏光ビームスプリッタ(PBS)103、1/4
波長板104、対物レンズ105、検出レンズ106、
信号光を検出する、フォトダイオード等の受光素子10
7を具備して成る。108は光を非等方に変形するアナ
モルフィックプリズム、109は光を回折させるグレー
ティング、110は光路を変更するプリズムをそれぞれ
示す。
を、例えば図2にその概略構成図を示す化合物半導体レ
ーザ20によって構成する。この化合物半導体レーザ2
0は、第1導電型例えばn型の化合物半導体基板1の上
に、第1のバッファ層2、第2のバッファ層3、第3の
バッファ層4、第1導電型のクラッド層5、第1のガイ
ド層6、活性層7、第2のガイド層8、第2導電型(p
型)のクラッド層9、半導体層10及びコンタクト層1
1、超格子構造14、キャップ層15が順次エピタキシ
ャル成長によって積層形成されている。半導体層10及
びコンタクト層11、超格子構造14及びキャップ層1
5は、所定の幅のストライプ状リッジ部をリッジ状に残
してその両側を例えばエッチングによって削除し、この
ストライプ構造のリッジの両側のエッチング溝内に電流
狭窄層12が埋込み形成されている。そして、表面には
p側電極13が、化合物半導体基板1の裏面にはn側電
極16が、それぞれ形成されて半導体レーザ20を構成
している。
0nm以下、内部損失αi を8〔cm-1〕以下とするも
のであり、このとき高密度記録が可能となる。そして、
例えばII−IV族化合物半導体レーザあるいはIII −V族
化合物半導体レーザによって構成する。
IV族化合物半導体レーザを用いる場合には、II族元素と
してZn,Be,Mg,CdまたはHgのうちの少なく
とも1種類以上の元素を含み、IV族元素としてSe,
S,Teのうちの少なくとも1種類以上の元素を含む構
成とする。この場合の半導体レーザ20の構成例を次に
示す。
の厚さ(以下単に厚さとする)が350μmであり、n
型不純物としてSiを添加したn型のGaAs層により
構成される。第1のバッファ層2は、例えば、厚さが2
0nmであり、n型不純物として塩素Clを添加したn
型のZnSe層により構成される。第2のバッファ層3
は、例えば、厚さが50nmであり、n型不純物として
塩素を添加したn型のZnSSe層により構成される。
第1導電型のクラッド層5は、例えば、厚さが1μmで
あり、n型不純物としてClを添加したn型のZnMg
SSe混晶層により構成される。
nmであり、n型不純物としてClを添加した、或いは
何も添加しないZnSSe混晶層により構成される。こ
の第1のガイド層6を構成するZnSSe混晶のVI族元
素の組成比は、例えば硫黄Sを6%、セレンSeを94
%とする。
量子井戸構造を有したZnCdSe混晶により構成され
る。この活性層7を構成するZnCdSe混晶のII族元
素の組成比は、例えば亜鉛Znを80%、カドミウムC
dを20%とする。このとき、活性層7の格子定数が、
化合物半導体基板1のGaAsの格子定数より若干大き
くなる。
nmであり、p型不純物として窒素Nを添加した、或い
は何も添加しないZnSSe混晶層により構成される。
この第2のガイド層8を構成するZnSSe混晶のVI族
元素の組成比は、例えばSを6%、Seを94%とす
る。
さが1μmであり、p型不純物として窒素Nを添加した
p型のZnMgSSe混晶層により構成される。半導体
層10は、例えば、厚さが1μmであり、p型不純物と
して窒素Nを添加したp型のZnSSe混晶層により構
成される。コンタクト層11は、例えば、厚さが100
nmであり、p型不純物として窒素Nを添加したp型の
ZnSe層により構成される。超格子構造14は、例え
ば、p型不純物として窒素を添加したp型のZnSe/
ZnTeの超格子構造により構成される。キャップ層1
5は、例えば、厚さが30nmであり、p型不純物とし
て窒素を添加したp型のZnTe層により構成される。
μmの帯状のストライプ構造を形成し、電流狭窄をする
ように構成される。そして、コンタクト層11が形成さ
れていない半導体層10上の領域には、例えばアルミナ
(Al2 O3 )による絶縁層からなる電流狭窄層12が
形成される。この場合、電流狭窄層12は活性層7から
1μm以上の距離にあって、この半導体レーザ20はゲ
インガイド構造とされる。
に形成されたp側電極13は、例えば厚さが10nmの
パラジウム(Pd)、例えば厚さが厚さが100nmの
白金(Pt)及び、例えば厚さが300nmの金(A
u)をコンタクト層11側から順次積層して形成され
る。また化合物半導体基板1の裏面に形成されたn側電
極16は、例えばインジウム(In)により形成され
る。
μmの幅に劈開を行うことにより、劈開面を共振器端面
とする。そして、所定の反射率が得られるように、共振
器端面には、例えば誘電体膜を被着形成して前方端面の
反射率が70%、後方端面の反射率が90%となるよう
に端面コートを行う。
特性を示す。活性層に平行な方向の放射角(曲線IIa)
の半値全幅FWHM‖が1.9°、活性層に垂直な方向
の放射角(曲線I)の半値全幅FWHM⊥が27°で、
アスペクト比FWHM⊥/FWHM‖が10以上とな
る。FWHM‖が小さいのは、ストライプ幅が10μm
と大きいためである。
m以下、より好ましくは3μm以下とする。ストライプ
幅が5μm以下の場合には、活性層に平行な方向の放射
角(曲線IIb)の半値全幅FWHM‖が8〜10°と拡
がって、アスペクト比も小さくなる。
は、その他、図4Aに概略構成図を示すような、インデ
ックスガイド構造の半導体レーザ40を用いることがで
きる。
からなる化合物半導体基板21上に、例えばZnSe層
からなるバッファ層22を介して、例えばMgZnSS
e層からなる第1のクラッド層23が形成され、例えば
ZnSSe層からなるガイド層24に挟まれて、例えば
ZnCdSeの量子井戸からなる活性層25が形成され
て成る。またガイド層24の上には、例えばMgZnS
Se層からなる第2のクラッド層26、例えばZnSe
層からなるキャップ層28、Au層29が形成され、こ
れら第2のクラッド層26、キャップ層28、Au層2
9はエッチング等により、所定幅の断面台形状のストラ
イプリッジ構造が形成されていて、そのリッジ構造の両
側には例えばZnS層からなる屈折率差を形成する層2
7が形成されている。表面には、例えばTi−Auから
なる電極30が形成されている。化合物半導体基板21
の裏面にも図示しないが電極が形成される。
27によって屈折率差を形成して、これにより導波を行
う、インデックスガイド型構造の半導体レーザとするこ
とができる。すなわち、この場合、屈折率差形成層27
は電流狭窄効果も生じるが、この層27は、活性層25
の至近距離にあってインデックスガイド構造とされてい
る。これにより、図4Bに放射角分布特性を示すよう
に、活性層に平行な方向の放射角(θ‖)と、活性層に
垂直な方向の放射角(θ⊥)が近づいて、アスペクト比
が小さくなる。
用いて構成された光ピックアップ装置100において、
ノイズ低減の効果を見るために、高周波重畳を行ったも
のと行わなかったものとについて比較を行った。図5A
が高周波重畳を行わない場合のRF(高周波)信号、図
5Bはこれに高周波重畳を行って得られたRF信号を示
す。図5Aの高周波重畳を行わない場合は、いわゆる戻
り光によるモードホップノイズ等により信号の変動や信
号の不連続が現れている。これに対して、図5Bを見て
明らかなように、高周波重畳を行うことにより、信号の
変動が非常に小さくなると共に信号の不連続がなくなる
ことがわかる。
得られるように、好ましくは200MHz〜1GHzと
する。
の改善が図られるのは、この高周波重畳によって空間的
コヒーレンスが短くなることに因る。そして、この高周
波重畳は、図6中曲線50または曲線51に示すよう
に、高周波電圧、または高周波電流としての重畳による
ことができる。また、これら、高周波電圧の重畳は、曲
線50または曲線51に示すように、閾値電圧Vthの近
傍において、また、高周波電流の重畳は閾値電流Ithの
近傍において、小さい振幅をもって印加することができ
る。
波長のレーザが用いられることによってその活性層のバ
ンドギャップしたがってガイド層およびクラッド層のバ
ンドギャップは大であり、これによって不純物Nのドー
ピング量が充分得られず動作電圧VOPが大きくなるが、
上述したように、Vth、もしくはIth近傍で小さい振幅
で与えることにするので高速応答を阻害することがな
い。
イズの改善を図るようにすることによって、戻り光ノイ
ズに問題のあるインデックス型構造の半導体レーザを用
いるとき、より有利となる。しかしながら、例えばパル
セーションレーザを光源として用いる場合は、高周波重
畳を行わないことも考えられる。
る強さは、半導体レーザの端面反射率を変えることによ
り制御することができる。このとき、必要に応じて、前
方端面の反射率Rf と後方端面の反射率Rr を異なる値
に設定することもある。特に、高出力動作をさせる時に
は、後方端面の反射率Rr を高く、前方端面の反射率R
f を低く設定する。
立ち上がりの傾きに相当する、外部微分量子効率ηd に
ついて、次の数1の関係が成り立つ。
時においては約1である。また、αi は共振器内部損失
αm は共振器端面におけるミラー損失を示す。αm につ
いては、数2の関係が成り立つ。
端面の反射率
化合物半導体レーザの場合のミラー損失及び内部損失の
値を、それぞれαm I 及びαi I 、上述したII−IV族化
合物半導体レーザもしくはNを含むナイトライド系III
−V族半導体レーザの場合のミラー損失及び内部損失の
値を、αm 及びαi 、とそれぞれ表すことにする。同じ
外部微分量子効率ηd を得ようとするとき、ηi ≒1で
あるから、数1より、数3の関係が成り立つ。
(αm +αi )
れは、αi I の約1/2の値であるので、a=αi I =
αi I /2とおくと、数4の関係となる。
lGaAs系半導体レーザにおける前面反射率、後面反
射率である。従って、上記II−IV族化合物半導体レーザ
の方が、従来のGaAs/AlGaAs系化合物半導体
レーザよりも、同じ電流−光出力特性の傾きを得るため
の反射率Rf ,Rr が大きく、そのため、端面コートに
よる反射率が大きいため、戻り光が端面で外部に反射し
て内部に取り込まれにくいことから戻り光の影響を少な
くすることができる。
に適用した場合の特性について説明する。図7はMTF
(Modulation Transfer Function)を示す。実線が実測
値、点線が理論値である。2000lines /mm程度ま
で変調がなされている。また、図8に、本発明の光ピッ
クアップ装置によって、N.A.=0.6の状態で7.
7GBの容量の光ディスクを再生したときのアイパター
ンを示す。図8のアイパターンより、光ディスクに書き
込まれた情報が正しく再生されることがわかる。
ーザを用いることにより、光ディスクの記録密度を、従
来の赤色レーザを光ピックアップに用いた場合の、約2
倍まで拡大させることができる。
ザを用いた光ピックアップ装置を、光ディスクの再生装
置に適用した例であったが、光ディスクの記録装置、光
ディスクの記録再生装置等、その他の装置にも適用する
ことができる。特に、高温で動作する必要がある装置、
例えば車載用の半導体レーザ装置を有する装置にも適用
することができる。
も化合物半導体レーザをII−IV族化合物半導体レーザに
より構成したが、化合物半導体レーザを、発振波長58
0nm以下で内部損失αi が8〔cm-1〕以下のIII −
V族化合物半導体レーザによって構成してもよい。
半導体レーザによって構成する場合には、好ましくはII
I 族としてAl,Ga,Inのうち少なくとも1種類以
上の元素、V族としてNを含む化合物半導体レーザとす
る。構造としては、例えばサファイヤ基板の(000
1)面上に、クラッド層をGaAlN層、活性層をGa
InN層、ガイド層をGaN層として化合物半導体レー
ザを構成する。
ド層を有するいわゆるSCH(Separate Confinment He
terostructure )構造とした場合であるが、ガイド層を
設けないいわゆるDH(Double Hetero )構造とするこ
とができるなど種々の構造を採ることができ、また本発
明の化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置
は、アナモルフィックプリズムを省略した構造とするな
ど、そのほか種々の構造の光ピックアップ装置に適用す
る等、上述の例に限定されるものではなく、本発明の要
旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
nm以下の短波長レーザを光ピックアップの光源とする
ので高密度記録が可能となる、これに伴いN.A.を抑
えることができることから、例えば光ディスクのスキュ
ーの問題、平坦性の問題、ゴミの問題を改善することが
できる。また、後述するところから明らかなように、内
部損失αi が8〔cm-1〕以下の化合物半導体レーザを
光源とすることにより、戻り光に対する端面反射率を大
とすることができる。
て、200MHz〜1GHzの高周波重畳を行うことに
より、戻り光ノイズを小さくできるため、端面反射率を
大きくできることと相まって、光学記録媒体からの戻り
光等のノイズの影響を抑制することができる。
構成図である。
ーザの一例の概略構成図である。
性図である。
体レーザの他の例の概略構成図である。B 図4Aの半
導体レーザの遠視野像の放射角分布特性図である。
の効果を示す図である。 A 高周波重畳を行わない場合のRF信号である。 B 高周波重畳を行った場合に得られるRF信号であ
る。
である。
tion Transfer function)を示す図である。
の再生を行った時のアイパターンを示す図である。
3 第2のバッファ層、4 第3のバッファ層、5 第
1導電型のクラッド層、6 第1のガイド層、7,25
活性層、8 第2のガイド層、9 第2導電型のクラ
ッド層、10 半導体層、11 コンタクト層、12
電流狭窄層、13 p側電極、14 超格子構造、1
5,28 キャップ層、16 n側電極、20,40,
101 半導体レーザ、22 バッファ層、23 第1
のクラッド層、24 ガイド層、26第2のクラッド
層、27 屈折率差形成層、29 Au層、30 電
極、100 光ピックアップ装置、102 コリメート
レンズ、103 偏光ビームスプリッタ(PBS)、1
04 1/4波長板、105 対物レンズ、106 検
出レンズ、107 受光素子、108 アナモルフィッ
クプリズム、109 グレーティング、110 プリズ
ム、200 ディスク
Claims (8)
- 【請求項1】 発振波長580nm以下で内部損失αi
が8〔cm-1〕以下の化合物半導体レーザを光源とする
ことを特徴とする化合物半導体レーザを用いた光ピック
アップ装置。 - 【請求項2】 発振波長580nm以下の化合物半導体
レーザを光源とし、該化合物半導体レーザの駆動におい
て、200MHz〜1GHzの高周波重畳を行うことを
特徴とする化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ
装置。 - 【請求項3】 上記化合物半導体レーザが、II族元素と
してZn,Be,Mg,CdまたはHgのうちの少なく
とも1種類以上の元素を含み、IV族元素としてSe,
S,Teのうちの少なくとも1種類以上の元素を含むII
−IV族化合物半導体レーザであることを特徴とする請求
項1に記載の化合物半導体レーザを用いた光ピックアッ
プ装置。 - 【請求項4】 上記化合物半導体レーザが、III 族元素
としてAl,Ga、またはInのうちの少なくとも1種
類以上の元素を含み、V族元素として少なくともNを含
むIII −V族化合物半導体レーザであることを特徴とす
る請求項1に記載の化合物半導体レーザを用いた光ピッ
クアップ装置。 - 【請求項5】 上記化合物半導体レーザの共振器端面
が、前方端面と後方端面とで異なる反射率とされたこと
を特徴とする請求項1に記載の化合物半導体レーザを用
いた光ピックアップ装置。 - 【請求項6】 上記化合物半導体レーザがゲインガイド
型構造を有することを特徴とする請求項1に記載の化合
物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置。 - 【請求項7】 上記化合物半導体レーザがゲインガイド
型構造を有し、そのストライプ幅が5μm以下とされた
ことを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体レーザ
を用いた光ピックアップ装置。 - 【請求項8】 上記化合物半導体レーザがインデックス
型構造を有することを特徴とする請求項1に記載の化合
物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08706397A JP3837821B2 (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08706397A JP3837821B2 (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10283651A true JPH10283651A (ja) | 1998-10-23 |
JP3837821B2 JP3837821B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=13904490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08706397A Expired - Fee Related JP3837821B2 (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3837821B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000048179A1 (en) * | 1999-02-11 | 2000-08-17 | Sony Electronics, Inc. | Inexpensive safe light beam recorder |
US6151290A (en) * | 1998-02-05 | 2000-11-21 | Sony Corporation | Inexpensive safe light beam recorder |
-
1997
- 1997-04-04 JP JP08706397A patent/JP3837821B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6151290A (en) * | 1998-02-05 | 2000-11-21 | Sony Corporation | Inexpensive safe light beam recorder |
WO2000048179A1 (en) * | 1999-02-11 | 2000-08-17 | Sony Electronics, Inc. | Inexpensive safe light beam recorder |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3837821B2 (ja) | 2006-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6618420B1 (en) | Monolithic multi-wavelength semiconductor laser unit | |
US6392979B1 (en) | Optical pickup and optical disk apparatus using the same | |
US7418019B2 (en) | Multi-wavelength semiconductor laser | |
US20060062267A1 (en) | Semiconductor laser array and manufacturing method for semiconductor laser array | |
US6930024B2 (en) | Semiconductor laser device and method for fabricating the same | |
US5956362A (en) | Semiconductor light emitting device and method of etching | |
US6373874B1 (en) | Semiconductor laser and optical disk device using the laser | |
US6781944B1 (en) | Optical information processor with monolithically integrated light emitting device, light receiving devices and optics | |
EP0602603B1 (en) | Semiconductor laser with optimum resonator | |
WO2003071642A1 (en) | Semiconductor light emitting device and optical disk unit using it | |
JP2981315B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
US20020136255A1 (en) | Semiconductor laser, optical element provided with the same and optical pickup provided with the optical element | |
JP3837821B2 (ja) | 化合物半導体レーザを用いた光ピックアップ装置 | |
JP2003086902A (ja) | 半導体レーザ装置および光ディスク記録再生装置 | |
JP4589539B2 (ja) | 半導体レーザ装置及びその製造方法 | |
JPH10154843A (ja) | 半導体レーザ素子及びそれを用いた光ディスク装置 | |
JP3710313B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JPH0750814B2 (ja) | 多点発光型半導体レーザ装置 | |
JP4362873B2 (ja) | 半導体レーザおよび光ディスク装置 | |
WO1997041625A1 (fr) | Laser a semi-conducteurs et son procede de fabrication | |
JPH09270563A (ja) | 半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP2000232255A (ja) | 半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP2863340B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2967238B2 (ja) | 半導体レーザ及び該半導体レーザを用いた光ディスク装置 | |
JPH10177732A (ja) | 光記録再生方法、光記録再生装置、半導体レーザ装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050308 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050509 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060724 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110811 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120811 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |