JPH10277894A - ウエハの加工方法及び平面研削盤及び研削工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハの研削加工の際のウエハの支持を研削
工具で行う。 【解決手段】 ワーク１７中心をカップ砥石３が通過
し、ワークは一定位置で回転送りを与えられる。カップ
砥石３の研削作用面以外のワーク表面に接触する接触部
材４，５を砥石３の内外に一体的に設けた。研削工具だ
けでワークが支持されワークがたわまない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウエハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する加工方法及びその加工方法に用いられる平
面研削盤及び研削工具に関するものである。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】インゴットから切断し
たウエハは面粗度、形状精度共に粗である。そこでイン
ゴットから切断後のウエハをラップ仕上を行うと非常に
時間がかかり加工能率がよくない。またウエハの片面研
削においては、真空チャックでワークの片面を吸着する
ためインゴットから片面研削後のウエハの形状は吸着中
は平面であるが、真空チャックからワークを外すと形状
は元に戻り反る傾向にある。

【０００３】上述のラップ加工による加工能率及び加工
精度の向上を計るために試みられる研削によるウエハの
加工によれば、短かい加工時間で所要の面精度が得られ
る。しかし乍らウエハのチャッキングを真空チャックに
よる限り、形状精度は得られない。

【０００４】本発明は上述従来の技術を更に発展させた
ものであり、短時間で面精度と形状精度が得られるシリ
コンウエハーの加工方法及びその加工方法に用いられる
平面研削盤及び研削工具を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本出願に係る第１の発明
はインゴットから切断後のウエハの加工方法において、
カップ形の砥石とこの砥石外周側又は及び内周側に砥石
の研削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワー
ク接触部とを有する工具を対向させて砥石端面で研削を
行う両頭平面研削盤を準備して、前記工具の円環状ワー
ク接触部をウエハに接触し、ウエハを回転させると共に
前記工具を回転しウエハの両面に作用させて前記円環状
ワーク接触部でウエハを支持して前記砥石で研削を行う
ことを特徴とするウエハの加工方法である。

【０００６】本出願に係る第２の発明は前記砥石は共に
研削作用のある砥石を用いて両面を同時に研削すること
を特徴とする第１の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。

【０００７】本出願に係る第３の発明は前記砥石の内一
方は研削作用のある砥石を用いると共に他方の砥石は研
削作用が前記研削作用のある砥石に比較して研削作用の
小さい砥石を用いることを特徴とする第１の発明に記載
のウエハの加工方法である。

【０００８】本出願に係る第４の発明は前記ウエハはウ
エハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの
切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有し、
ウエハより薄い薄片の回転板とともに回転して研削され
ることを特徴とする第１から第３の発明の何れか１つに
記載のウエハの加工方法である。

【０００９】本出願に係る第５の発明はウエハの中心に
砥石の研削作用面が重なるように加工することを特徴と
する第１から第４の発明の何れか１つに記載のウエハの
加工方法である。

【００１０】本出願に係る第６の発明は砥石端面を対向
して配設され、砥石端面で薄板のワークの板面を加工す
る両頭平面研削盤において、円環状の端面を研削作用面
とする回転砥石と、前記回転砥石の外周側又は及び内周
側に環状に設けられ、前記砥石の研削作用面と同一平面
上にあるワーク接触面を有するワーク接触部材と、前記
砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材と、
を有する研削工具を備えたことを特徴とする両頭平面研
削盤である。

【００１１】本出願に係る第７の発明はインゴットから
切断後のウエハの加工方法において、カップ形の砥石と
この砥石の外周側又は及び内周側に研削作用面と同一平
面で砥石と同一中心の円環状ワーク接触部とを有する工
具を有し砥石端面で研削を行う単頭平面研削盤を準備し
て、前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触した
状態で、ウエハを回転させると共に前記工具を回転しウ
エハの片面に作用させて前記円環状ワーク接触部をウエ
ハに接触して前記砥石で研削を行うことを特徴とするウ
エハの加工方法である。

【００１２】本出願に係る第８の発明は前記ウエハはウ
エハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの
切欠部に係合するワーク駆動部を有する穴を有する回転
板とともに回転して研削されることを特徴とする第７の
発明に記載のウエハの加工方法である。

【００１３】本出願に係る第９の発明はウエハの中心に
砥石の研削作用面が重なるように加工することを特徴と
する第７又は第８の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。

【００１４】本出願に係る第１０の発明は前記回転板の
穴を有底としてウエハを支持することを特徴とする第８
の発明に記載のウエハの加工方法である。

【００１５】本出願に係る第１１の発明は砥石端面で薄
板のワークの板面を加工する単頭平面研削盤において、
円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、前記回転
砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けられ、前記砥
石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接触面を有す
るワーク接触部材と、前記砥石とワーク接触部材を一体
的に保持する保持部材と、を有する研削工具を備えたこ
とを特徴とする単頭平面研削盤である。

【００１６】本出願に係る第１２の発明は円板形のワー
クを回転し、ワークの表面を研削加工する研削工具にお
いて、円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、前
記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けられ、
前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接触面
を有するワーク接触部材と、前記砥石とワーク接触部材
を一体的に保持する保持部材と、を有することを特徴と
する研削工具である。

【００１７】本出願に係る第１３の発明は前記回転砥石
は円環状のダイヤモンド砥石でありワーク接触部材はダ
イヤモンドを除く砥粒を用いた円環状の砥石であること
を特徴とする第１２の発明に記載の研削工具である。

【００１８】本出願に係る第１４の発明は前記ワーク接
触部材はワークに作用して回転砥石がワークを研削する
能力よりも研削能力が小さく、工具摩耗が回転砥石より
も大である砥石であることを特徴とする第１２の発明に
記載の研削工具である。

【００１９】本出願に係る第１５の発明は前記ワーク接
触部材は潤滑性を有する材質であることを特徴とする第
１２から第１４の発明の何れか１つに記載の研削工具で
ある。

【００２０】本出願に係る第１６の発明は前記回転砥石
はワークを研削する能力を有する砥粒を有し、前記ワー
ク接触部材はワークに接触してワークを摩耗させること
がなくワークにより摩耗させられる材質であることを特
徴とする第１２に記載の研削工具である。

【００２１】本出願に係る第１７の発明は前記研削工具
は円板形の鉄製台座端面に回転砥石として砥粒を結合剤
で固着すると共にワーク接触部材を同台座端面に固着し
たものである第１２から第１６の発明の何れか１つに記
載の研削工具である。

【００２２】

【従来の技術】シリコンウエハなどのウエハはインゴッ
トをインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研
磨仕上を行っている。

【００２３】一方ウエハを研削により仕上げることが例
えば実登３０２８７３４号公報、機械と工具、１９９５
年７月号第６０頁から第６４頁、砥粒加工学会誌Ｖｏ
ｌ．３９Ｎｏ．４ １９９５．ＪＵＬ．第２０頁から第
２３頁等に開示されている。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態
を、図１〜図１１に基づいて詳細に説明する。

【００２５】（実施の形態１）図１〜図４に示すよう
に、この実施の形態の両頭平面研削盤は下部フレーム１
１を備え、その下部フレーム１１上には上部フレーム１
１１が固定されている。下部フレーム１１には下部砥石
回転昇降機構１２及びワーク支持部材１４が装設され、
上部フレーム１１１には上部砥石回転昇降機構１３が装
設されている。両砥石回転昇降機構１２，１３には夫々
上下部回転砥石１５，１６が配設され、それらの回転砥
石１５，１６の上部または下部端面の研削作用面１５
ａ，１６ａが互いに平行となるように対向配置されてい
る。そして、薄板状のワーク１７がワーク支持部材１４
に支持された状態で、両砥石回転昇降機構１２，１３の
回転砥石１５，１６間に挿入配置され、それらの回転砥
石１５，１６の研削作用面１５ａ，１６ａにより、ワー
ク１７の両面が同時に研削されるようになっている。

【００２６】図２及び図３に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構１２の砥石台２０は下部フレーム１１上に
いわゆるＶ平のガイド２１を介して、下部回転砥石１５
の回転軸線と直交する方向へ移動可能に支持されてい
る。下部砥石台移動用モータ２２は下部フレーム１１の
側部に配設され、このモータ２２の回転により、砥石台
２０に固定したボールナット２３ａにねじ込まれたボー
ルねじ２３を介して砥石台２０が水平横方向に移動す
る。下部軸支筒２４は砥石台２０と一体に設けられた上
下方向のガイド２４ａを介して下部回転砥石１５の回転
軸線方向へ昇降可能に支持されている。下部砥石台昇降
用モータ２５は砥石台２０の下部においてガイド部２４
ａの側部に配設され、このモータ２５の回転により、ウ
ォームとウォームホイールで構成される回転伝達機構２
６及び下部軸支筒２４に固定されたブラケット２４ｂに
固定された図示されないボールナットにねじ込まれたボ
ールねじ２７を介してガイド部２４ａに案内されて下部
軸支筒２４が昇降される。なお、この昇降ストロークは
わずかである。

【００２７】下部砥石軸２８は下部軸支筒２４内に回転
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ２９を介して下部回転砥石１５が装着されている。

【００２８】砥石駆動モータ３４は下部軸支筒２４の内
部に配設され、そのステータは下部軸支筒２４に嵌入固
定され、そのロータは下部砥石軸２８に嵌入固定され研
削加工に際しては、このモータ３４の回転により下部砥
石軸２８を介して下部回転砥石１５が高速回転する。

【００２９】図３に示すように、前記上部砥石回転昇降
機構１３の上部軸支筒３８は上部フレーム１１１と一体
のガイド３９を介して、下部回転砥石１６の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ４０は上
部フレーム１１１の側部に配設され、このモータ４０の
回転により、上部軸支筒３８に固定されたブラケット３
８ａに嵌入固定されたボールナット４１ａにねじ込まれ
たボールねじ４１を介して上部軸支筒３８が昇降され
る。

【００３０】上部砥石軸４２は前記上部軸支筒３８内に
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ４３を介して上部回転砥石１６が装着されて
いる。砥石駆動モータ４８は上部軸支筒３８の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒３８に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸４２に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ４８の回転により、上部砥石軸
４２を介して上部回転砥石１６が高速回転する。

【００３１】図２、図４に示すように、前記ワーク支持
部材１４の支持台５２は上下部の両砥石回転昇降機構１
２，１３間において、下部フレーム１１上に配設されて
いる。スライドテーブル５３は支持台５２上の下部回転
砥石１５の両側に配設された一対のガイドレール５４を
介して、下部砥石回転昇降機構１２の砥石台２０の移動
方向と同方向へ移動可能に支持されている。図４に示す
ようにスライドテーブル移動用モータ５５は支持台５２
上に配設され、このモータ５５の回転により、このモー
タ５５のモータ軸に連結されたボールねじ５６がスライ
ドテーブル５３に固定されたボールナット５６ａにねじ
込まれていてスライドテーブル５３が移動可能となって
いる。

【００３２】円環状の回転板５７は前記スライドテーブ
ル５３内に配され、スライドテーブル５３に回転自在に
支持される３個のガイドローラ５８を介して回転可能に
支持されている（図５参照）。回転板５７は円環状の肉
厚の外周枠５７ａにワーク支持板６０を装着してある。
外周枠５７ａの下部外周にはギヤ５９が形成されてい
る。ワーク支持板６０はワーク１７より薄く形成され、
外周枠５７ａの下面にその重力で撓んで変形しないよう
に図示しないテンション機構を介して、水平に張設さ
れ、その中心にはワーク１７を着脱可能にセットするた
めのセット穴６０ａが形成されている。このセット穴６
０ａはワーク１７が遊嵌する直径を有する。回転板回転
用モータ６１はスライドテーブル５３上に配設され、こ
のモータ６１のモータ軸には回転板５７のギヤ５９に噛
合するギヤ６２が固定されている。そして、このモータ
６１の回転により、ギヤ６２，５９を介して回転板５７
が回転する。上記外周枠５７ａの内径は回転板５７に対
してオフセットして降下してくる上部回転砥石１６がワ
ーク支持板６０へ接近し得る直径を有する。

【００３３】図４に示すように上記ワーク支持板６０の
セット穴６０ａにはインゴットから切断された未研削の
ウエハであるワーク１７の結晶方位の基準となるノッチ
やオリフラ（オリエンテーションフラット）等の切欠部
１７ａに係合するように内周側へ向って突出するワーク
駆動部６０ｂが設けてある。このワーク１７の切欠部１
７ａの形状は本実施の形態のようなＶ溝状のノッチ又は
ワーク外周の円弧を切るオリフラを縁とした形状であ
り、前記駆動部６０ｂはワークの切欠部１７ａをほぼ補
完する形状としてある。ただし、ワーク１７の切欠部１
７ａは結晶方位を知るための位置以外にワーク１７を駆
動するためにワーク１７に別に設けてもよい。

【００３４】上述のワークセット穴６０ａは本例では円
であるが、円に限らずワーク１７の位置が定まる形状で
あればよいので例えば、ワーク１７の外周を等配した少
なくとも３個所において、ワーク１７の外周に接するよ
うにしてもよい。

【００３５】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。

【００３６】さて、この両頭平面研削盤において、研削
加工を行う場合には、ワーク１７がワーク支持部材１４
のワーク支持板６０に遊嵌された状態で、上下両砥石回
転昇降機構１２，１３の上下部回転砥石１５，１６間に
挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降機構
１２，１３の上下部回転砥石１５，１６が高速回転され
るとともに、回転板回転用モータ６１が低速で回転駆動
され、ワーク支持板６０は回転駆動手段としてのギヤ６
２，５９を介して回転され、セット穴６０ａに保持され
たワーク１７が回転する。そして、上部砥石回転昇降機
構１３の上部回転砥石１６がワーク１７に向って下降接
近されて、両回転砥石１５，１６の研削作用面１５ａ，
１６ａによりワーク１７の両面が同時に研削される。

【００３７】図７は研削工具の研削作用面を見る正面
図、図８は図７の中心を含む縦断面図である。前述した
回転砥石（研削工具）１５，１６は本実施の形態では同
一部材が用いられる。ここではこの研削工具の全体を符
号１で表わす。

【００３８】この研削工具１は鉄製円板の台板２の端面
に同心円状に回転砥石としてのダイヤモンド砥石３、ワ
ークサポートとしてのワーク接触部材４，５を備えてい
る。これは何れも幅をもって円環状に配せられている。
即ち、ダイヤモンド砥石３の直径よりも大きい直径のワ
ーク接触部材４を台板２の外周近くに設けると共にダイ
ヤモンド砥石３の直径よりも小さいワーク接触部材５を
台板２の中心近くに設けてある。尚、ワーク接触部材
４，５の何れか一方のみを設けてもよい。

【００３９】このダイヤモンド砥石３はダイヤモンド砥
粒を結合剤で固めると共に台板２に固着したものであ
る。またワーク接触部材４，５は夫々ワーク１７によっ
て摩耗させられる物質で潤滑性のあるもの例えば含油セ
ラミックなどが適当である。

【００４０】ダイヤモンド砥石３の研削作用面３ａとワ
ーク接触部材４，５のワークとの接触面４ａ，５ａは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板２の背面に
は円筒形の凹形嵌合部２ａでもって砥石ホルダ６（前述
の符号２９，４３に代えて用いる）の凸形嵌合部６ａに
嵌合し、台板２の背面と砥石ホルダ６の前面を密着させ
台板２のボルト穴を挿通するボルト７を砥石ホルダ６に
ねじ込み固定されている。

【００４１】上記構成における作用について述べる。上
部回転砥石１６を上昇させた状態でスライドテーブル５
３を移動してワークセット穴６０ａの中心ＯＷを研削工
具１の中心ＯＧとオフセットｅして位置させる。このオ
フセットｅはダイヤモンド砥石３の平均半径である。ワ
ーク中心ＯＷは必ずダイヤモンド砥石３に重なる必要が
ある。ここで下部回転砥石１５を上昇してワーク支持板
６０下面に近接させ、ワーク１７をワーク１７の切欠部
１７ａをワークセット穴６０ａ内へ突出しているワーク
駆動部６０ｂに係合させてワーク１７をワークセット穴
６０ａ内へ嵌め込み、下部回転砥石１５上に載置する。
これによってワーク１７の上下面はワーク支持板６０上
下面よりも夫々上下へ出ている。ここで上部回転砥石１
６を下降してワーク１７に接近する。

【００４２】ここで砥石駆動モータ３４，４８、ワーク
駆動用の回転板回転用モータ６１を付勢すると夫々上下
部回転砥石１５，１６、ワーク１７は回転する。ここで
上部回転砥石１６を下降してワーク１７に切り込むと、
ダイヤモンド砥石３はワーク１７の両面を夫々研削す
る。この研削の際にワーク１７はダイヤモンド砥石３の
研削作用面３ａが作用している処（ワーク１７の中心を
とおる円弧帯）以外は、ワーク接触部材４，５でワーク
１７の外周近くを両面側より支持する。このワーク接触
部材４，５はワーク１７を摩耗させることはないがワー
ク１７により摩耗させられる材質、又はワーク１７を摩
耗させるがダイヤモンド砥石３よりもより早く摩耗する
材質が選ばれている。ワーク接触部材４，５は例えばア
ルミナ質砥粒又は炭化けい素質砥粒を軟らかい結合剤で
結合されている。

【００４３】ワーク１７の加工が終わると上部回転砥石
１６を上昇し、下部回転砥石１５から外周側にはみ出し
ているワーク１７の部分１７ｂ（図７参照）を持ち上げ
てワーク１７をセット穴６０ａから抜いてワーク１７を
取り出す。

【００４４】上述においてワーク１７としてウエハの直
径２００ｍｍ、ワーク回転速度１０ｒ．ｐ．ｍ、ダイヤ
モンド砥石３の外径１６０ｍ、内径１３０ｍｍ、上下の
回転砥石１５，１６を同速度で同方向に回転し、これら
の回転速度２０００〜３０００ｒ．ｐ．ｍで研削した
処、ＴＴＶ ０．３μｍ、研削時間は２分であった。

【００４５】（実施の形態２）図９、図１０はダイヤモ
ンドインプリ砥石を用いた研削工具１の例である。台板
２の表面には多数の同心円で同方向を半径方向の円につ
いて交互に分割位置を設けてダイヤモンドインプリ砥石
８を設けたものであり、ワーク１７に対してはワーク１
７の中心を研削工具１の外周がとおる位置から研削工具
１でワーク１７を全部覆ってしまう範囲で研削を行う。

【００４６】（実施の形態３）ワーク１７の片面の研削
仕上を主眼とすると、上述の両頭研削盤を用いて、下部
回転砥石１５を回転しないか、ゆるく回転して加工する
か、下部回転砥石１５をワーク１７に対して研削作用の
ゆるい、又は研削作用のない部材に変えてもよい。

【００４７】（実施の形態４）ワーク１７の片面の研削
仕上を行う場合は端面を研削作用面とする砥石を有する
単頭平面研削盤によることもできる。図１１はかかる単
頭研削盤であって下部フレーム１１には下部砥石台関係
部材はなく、下部フレーム１１上にはガイドレール５２
とワーク支持部材１４のみが設けられる。なおこの場
合、下部フレーム１１上に平面の上面を設けて前述のワ
ーク支持板６０をこの上面に接触又は接近するように設
けてもよく、ワークセット穴６０ａに底を設けてもよ
い。この場合、ワークセット穴６０ａの深さは当然ワー
ク１７の厚さよりも小さい。

【００４８】本発明の実施の形態は上述のようにウエハ
の結晶方位を示すために設ける切欠部へ駆動部を突出さ
せたワークセット穴を有するウエハよりも薄いワーク支
持板を回転駆動した状態でウエハの上下面に砥石を同時
に作用させて研削するようにしたので、ウエハが確実に
回転送りを与えられ研削作用がウエハの全面に平均して
作用し両面同時に研削されるという効果がある。そして
研削であるため短時間で良好な表面粗度を確保できると
共に真空チャックによりウエハを吸着する場合、真空チ
ャックの吸着面に引き込まれることにより、平とされた
状態で、形状精度の良好でないウエハを加工して真空チ
ャックより取り外した場合に弾力により形状が復元して
形状精度が悪化するが、この実施の形態によればワーク
支持のためにワークを平にしないので形状精度が良好で
ある。

【００４９】また片面研削の場合も上述のようにウエハ
はワーク支持板のセット穴に嵌合して駆動部をウエハ結
晶の方位を見るための切欠部に嵌合して強制的にウエハ
に回転送りを与えるものであるため、良好な表面粗度と
併せて形状精度が良好となる。

【００５０】また本発明の実施の形態に用いる研削工具
は台板端面に円環状にダイヤモンド砥石を配しその内外
周に夫々円環状にワーク接触部を設けてあるので、ダイ
ヤモンド砥石がカップ砥石形態でウエハの一部しか砥石
の研削作用面で押えられないので、ウエハを如何にして
支持すべきであるるかという課題が装置本体にワーク支
持手段を付設することなく解決される。

【００５１】また、この研削工具によれば薄板の形状が
円形でなく、砥石の研削作用面が接する部分以外が支持
されない形状例えば四角板、多角形、不定形状の薄板の
加工においても効果がある。

【００５２】実施の形態の研削盤は竪形両頭平面研削
盤、竪形単頭平面研削盤について述べたが横型両頭平面
研削盤、横型単頭平面研削盤を用いてもよい。

【００５３】

【発明の効果】本発明のシリコンウエハーの加工方法に
よればシリコンウエハーを強制して自転可能で且つ、シ
リコンウエハーの両面を同時に研削できるため、加工時
間が短かく且つ面粗度、形状精度が良好である。

【００５４】また上記においてシリコンウエハーの両面
を異なる研削作用を呈する砥石を用いて加工することに
より、片面のみを所要の仕上を行うと共に他の回路を付
さない面には必要な限りの仕上を行うことができる。

【００５５】また上記においてカップ砥石の研削作用面
がシリコンウエハーの中心をとおるようにすることによ
りシリコンウエハーの全面を研削できる。

【００５６】また上記においてはカップ砥石の研削作用
面の内外部側に円環状の砥石接触部を有する研削工具を
用いてシリコンウエハーを加工しているので、研削工具
だけでシリコンウエハーの面の支持ができる。

【００５７】円板形のワークを回転し、ワークの表面を
研削加工する研削工具において、端面を研削作用面とす
る回転砥石と、回転砥石の外周側又は及び内周側に環状
に設けられ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にある
ワーク接触面を有するワーク接触部材と、砥石とワーク
接触部材を一体的に保持する保持部材と、を有する研削
工具によれば、薄板の加工において薄板の研削と薄板の
支持ができ、薄板の形状にかかわらず研削工具でワーク
の支持ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の両頭平面研削盤の実施の形態を示す
正面図である。

【図２】下部フレーム部分の要部縦断面図である。

【図３】上部フレーム部分の要部縦断面図である。

【図４】ワーク支持部材の平面図である。

【図５】スライドテーブル部を示す縦断面図である。

【図６】同じく斜視図である。

【図７】研削工具の正面図である。

【図８】図７の縦断面図である。

【図９】研削工具の他の例を示す正面図である。

【図１０】図９の縦断面図である。

【図１１】この発明の単頭研削盤の実施の形態を示す正
面図である。

【符号の説明】

１…研削工具 ２…台板 ２ａ…凹形嵌合部 ３…ダイヤモンド砥石 ３ａ…研削作用面 ４，５…ワーク接触部材 ４ａ，５ａ…ワーク接触面 ６…砥石ホルダ ６ａ…凸形嵌合部 ７…ボルト ８…ダイヤモンドインプリ砥石 １１…下部フレーム １２…下部砥石回転昇降機構 １３…上部砥石回転昇降機構 １４…ワーク支持部材 １５…下部回転砥石 １５ａ…研削作用面 １６…上部回転砥石 １６ａ…研削作用面 １７…ワーク（ウエハ） １７ａ…切欠部 １７ｂ…部
分 ２０…砥石台 ２１…ガイド ２２…下部砥石台移動用モータ ２３…ボールネジ ２３ａ…ボールナット ２４…下部軸支筒 ２４ａ…ガイド部 ２４ｂ…ブラケ
ット ２５…下部砥石台昇降用モータ ２６…回転伝達機構 ２７…ボールねじ ２８…下部砥石軸 ２９…砥石ホルダ ３４…砥石駆動モータ ３８…上部軸支筒 ３８ａ…ブラケット ３９…ガイド ４０…昇降用モータ ４１…ボールねじ ４１ａ…ボールナット ４２…上部砥石軸 ４３…砥石ホルダ ４８…砥石駆動モータ ５２…支持台 ５３…スライドテーブル ５４…ガイドレール ５５…スライドテーブル移動用モータ ５６…ボールねじ ５６ａ…ボールナット ５７…回転板 ５７ａ…外周枠 ５８…ガイドローラ ５９…ギヤ ６０…ワーク支持板 ６０ａ…セット穴 ６０ｂ…ワー
ク駆動部 ６１…回転板回転用モータ ６２…ギヤ １１１…上部フレーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インゴットから切断後のウエハの加工方
   法において、 カップ形の砥石とこの砥石外周側又は及び内周側に砥石
   の研削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワー
   ク接触部とを有する工具を対向させて砥石端面で研削を
   行う両頭平面研削盤を準備して、 前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触し、ウエ
   ハを回転させると共に前記工具を回転しウエハの両面に
   作用させて前記円環状ワーク接触部でウエハを支持して
   前記砥石で研削を行うことを特徴とするウエハの加工方
   法。
2. 【請求項２】 前記砥石は共に研削作用のある砥石を用
   いて両面を同時に研削することを特徴とする請求項１に
   記載のウエハの加工方法。
3. 【請求項３】 前記砥石の内一方は研削作用のある砥石
   を用いると共に他方の砥石は研削作用が前記研削作用の
   ある砥石に比較して研削作用の小さい砥石を用いること
   を特徴とする請求項１に記載のウエハの加工方法。
4. 【請求項４】 前記ウエハはウエハを遊嵌し、内周から
   内部へ向って突設されウエハの切欠部に係合するワーク
   駆動部を有する貫通穴を有し、ウエハより薄い薄片の回
   転板とともに回転して研削されることを特徴とする請求
   項１から３の何れか１つに記載のウエハの加工方法。
5. 【請求項５】 ウエハの中心に砥石の研削作用面が重な
   るように加工することを特徴とする請求項１から４の何
   れか１つに記載のウエハの加工方法。
6. 【請求項６】 砥石端面を対向して配設され、砥石端面
   で薄板のワークの板面を加工する両頭平面研削盤におい
   て、 円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、 前記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けら
   れ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接
   触面を有するワーク接触部材と、 前記砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材
   と、を有する研削工具を備えたことを特徴とする両頭平
   面研削盤。
7. 【請求項７】 インゴットから切断後のウエハの加工方
   法において、 カップ形の砥石とこの砥石の外周側又は及び内周側に研
   削作用面と同一平面で砥石と同一中心の円環状ワーク接
   触部とを有する工具を有し砥石端面で研削を行う単頭平
   面研削盤を準備して、 前記工具の円環状ワーク接触部をウエハに接触した状態
   で、ウエハを回転させると共に前記工具を回転しウエハ
   の片面に作用させて前記円環状ワーク接触部をウエハに
   接触して前記砥石で研削を行うことを特徴とするウエハ
   の加工方法。
8. 【請求項８】 前記ウエハはウエハを遊嵌し、内周から
   内部へ向って突設されウエハの切欠部に係合するワーク
   駆動部を有する穴を有する回転板とともに回転して研削
   されることを特徴とする請求項７に記載のウエハの加工
   方法。
9. 【請求項９】 ウエハの中心に砥石の研削作用面が重な
   るように加工することを特徴とする請求項７又は８に記
   載のウエハの加工方法。
10. 【請求項１０】 前記回転板の穴を有底としてウエハを
    支持することを特徴とする請求項８に記載のウエハの加
    工方法。
11. 【請求項１１】 砥石端面で薄板のワークの板面を加工
    する単頭平面研削盤において、円環状の端面を研削作用
    面とする回転砥石と、 前記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けら
    れ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接
    触面を有するワーク接触部材と、 前記砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材
    と、を有する研削工具を備えたことを特徴とする単頭平
    面研削盤。
12. 【請求項１２】 円板形のワークを回転し、ワークの表
    面を研削加工する研削工具において、 円環状の端面を研削作用面とする回転砥石と、 前記回転砥石の外周側又は及び内周側に環状に設けら
    れ、前記砥石の研削作用面と同一平面上にあるワーク接
    触面を有するワーク接触部材と、 前記砥石とワーク接触部材を一体的に保持する保持部材
    と、を有することを特徴とする研削工具。
13. 【請求項１３】 前記回転砥石は円環状のダイヤモンド
    砥石でありワーク接触部材はダイヤモンドを除く砥粒を
    用いた円環状の砥石であることを特徴とする請求項１２
    に記載の研削工具。
14. 【請求項１４】 前記ワーク接触部材はワークに作用し
    て回転砥石がワークを研削する能力よりも研削能力が小
    さく、工具摩耗が回転砥石よりも大である砥石であるこ
    とを特徴とする請求項１２に記載の研削工具。
15. 【請求項１５】 前記ワーク接触部材は潤滑性を有する
    材質であることを特徴とする請求項１２から１４の何れ
    か１つに記載の研削工具。
16. 【請求項１６】 前記回転砥石はワークを研削する能力
    を有する砥粒を有し、前記ワーク接触部材はワークに接
    触してワークを摩耗させることがなくワークにより摩耗
    させられる材質であることを特徴とする請求項１２に記
    載の研削工具。
17. 【請求項１７】 前記研削工具は円板形の鉄製台座端面
    に回転砥石として砥粒を結合剤で固着すると共にワーク
    接触部材を同台座端面に固着したものである請求項１２
    から１６の何れか１つに記載の研削工具。