JPH10277853A - 微細部品の組立装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産タクトが長い。 【解決手段】 駆動ユニットを供給する第１ステーショ
ンＳ１と、駆動ユニット２に接着剤８を塗布する第２ス
テーションＳ２と、駆動ユニット２と液室ユニット３と
を接合する第３ステーションＳ３と、組立物を排出する
第４ステーションとを順次配置し、これらの第１〜第４
ステーションＳ１〜Ｓ４間でワークを移送する移送機構
部２３を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は２つの微細部品を接
合する微細部品の組立装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、インクジェットヘッドを用いて
画像を記録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等のイ
ンクジェット記録装置は、インク滴を吐出するための複
数のノズルと、各ノズルに対応して設けた電気機械変換
素子や発熱抵抗体などのアクチュエータとを備えたイン
クジェットヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応
じてノズルからインク滴を記録媒体（インク滴が付着す
るもの）に吐出することによって、高速、高密度、高品
質の記録を行なうものである。

【０００３】インクジェットヘッドとしては種々の構造
のものが知られているが、例えば、基板上に複数の圧電
素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、
この振動板上に変位部に対応する液室を形成するための
液室隔壁部材を設け、この液室隔壁部材上に振動板の変
位部に対向するノズルを形成したノズル板（ノズル形成
部材）を設けて、圧電素子を駆動することで振動板を介
して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからイ
ンク滴を吐出するようにしたものがある。また、基板上
に複数の圧電素子と液室隔壁となる支柱部とを交互に列
設し、圧電素子に対向するノズルを形成したノズル板を
支柱部に接合して、圧電素子の変位によって対向するノ
ズルからインク滴を吐出するようにしたものもある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したようなインク
ジェットヘッドおいて、高密度、高品質記録を行うため
はヘッドを構成している微細な構成部品の個々の精度を
高くしなければならないと共に、ノズル板、振動板、圧
電素子等の各微細部品を接合して組み立てるときの組み
立て精度（部品相互の位置精度即ち接合精度）を高くし
なければならない。

【０００５】特に、組立ての中でも、ノズル板のノズル
と振動板の変位部との位置精度、振動板の変位部と圧電
素子との位置精度、ノズル板のノズルと圧電素子との位
置精度を高くしなければ、圧電素子の変位が効率的に振
動板から液室に伝達されなくなってインクの吐出効率が
低下したり、複数の圧電素子を同時に駆動したときに相
互の干渉を生じて吐出速度が低下したりして、画像品質
が低下するなどの不都合が発生する。

【０００６】したがって、上述したようなインクジェッ
トヘッドを構成している２つの微細部品を自動的に接合
する組立装置を構成しようとする場合、接合に要する時
間を短縮して生産タクトの短縮化を図ると共に、２つの
微細部品の位置合せ精度の向上が要求される。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、２つの微細部品を高精度に接合でき、生産タクト
の短縮化を図れる微細部品の組立装置を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１の微細部品の組立装置は、２つの微細部品
にそれぞれ設けた位置検出用基準手段を検出し、この検
出結果に基づいて前記２つの微細部品を接合する微細部
品の組立装置において、前記２つの微細部品のうちの一
方の微細部品を供給する第１ステーションと、前記一方
の微細部品に接着剤を塗布する第２ステーションと、前
記２つの微細部品を接合する第３ステーションと、前記
２つの微細部品を接合した組立物を排出する第４ステー
ションとを順次配置すると共に、前記第２ステーション
には、前記一方の微細部品を撮像する位置検出用撮像手
段と、この撮像手段の撮像結果に基づいて前記一方の微
細部品を接着剤塗布位置に位置決めする位置決め手段と
を備え、前記第３ステーションには、前記他方の微細部
品を吸着保持する保持手段と、この保持手段を他方の微
細部品供給側との間で往復移動させる移動機構部と、前
記２つの微細部品を撮像する撮像手段及び移動可能に配
設した照明用光源と、前記２つの微細部品を接合位置に
位置決めする位置決め手段とを備えている構成とした。

【０００９】請求項２の微細部品の組立装置は、上記請
求項１の微細部品の組立装置において、前記第１ステー
ションから第４ステーションの方向に沿って移動可能に
搬送アームを配設し、この搬送アームには前記一方の微
細部品及び接合された２つの微細部品を保持する複数の
ワーク保持手段を取付けてなる移送手段を備えると共
に、前記第２ステーションの前記位置決め手段は前記移
送手段のワーク保持手段との間でワークの受渡しをする
受渡し位置と前記接着剤を塗布する接着剤塗布位置との
間で移動可能に配設し、前記前記第３ステーションの前
記位置決め手段は前記移送手段のワーク保持手段との間
でワークの受渡しをする受渡し位置と前記他方の微細部
品と接合する接合位置との間で移動可能に配設した構成
した。

【００１０】請求項３の微細部品の組立装置は、上記請
求項１又は２の微細部品の組立装置において、前記第
１，第２，第３，第４ステーションを等間隔で配置して
いる構成とした。

【００１１】請求項４の微細部品の組立装置は、上記請
求項２又は３の微細部品の組立装置において、前記移送
手段の複数のワーク保持手段の内の少なくともいずれか
がメカニカルチャックである構成とした。

【００１２】請求項５の微細部品の組立装置は、上記請
求項１乃至４のいずれかの微細部品の組立装置におい
て、前記第２ステーションの接着剤塗布手段がスクリー
ン印刷型接着剤塗布装置であり、この接着剤塗布装置に
はダミー印刷用ローラテープを備えている構成とした。

【００１３】請求項６の微細部品の組立装置は、上記請
求項１乃至５のいずれかの微細部品の組立装置におい
て、前記第１，第４ステーションにはパレタイズステー
ジを備えている構成とした。

【００１４】請求項７の微細部品の組立装置は、上記請
求項１乃至６のいずれかの微細部品の組立装置におい
て、前記２つの微細部品のうちの一方の微細部品がノズ
ル形成部材、液室隔壁部材及び振動板を一体化した液室
ユニットであり、他方の微細部品が基板に圧電素子を接
合した駆動ユニットである構成とした。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。先ず、図１乃至図４を参照し
て本発明に係る微細部品の組立装置で接合する２つの微
細部品を含むインクジェットヘッドの一例について説明
する。図１はインクジェットヘッドの模式的説明図、図
２は同ヘッドの駆動ユニットの平面図、図３は同駆動ユ
ニットの正面図、図４は同ヘッドの液室ユニットの平面
図である。

【００１６】このインクジェットヘッド１は、駆動ユニ
ット２と、この駆動ユニット２に接合した液室ユニット
３とを備えている。駆動ユニット２は、図２及び図３に
も示すように、基板４上に複数の圧電素子５及び支柱部
６を交互に配設してなり、これらの圧電素子５及び支柱
部６は所定の間隔を置いて基板４に接合している。

【００１７】一方、液室ユニット３には、図４にも示す
ように、インク滴を吐出する複数のノズル７を形成した
ノズル形成部材（ノズルプレート）８と、ノズル７が連
通する液室９を形成する液室隔壁部材１０と、圧電素子
５の変位を液室９へ伝達するための振動板１１とを順次
積層し接合してなる。

【００１８】そして、これらの駆動ユニット２及び液室
ユニット３はそれぞれ別個に組立接合された後、本発明
に係る微細部品の組立装置を用いて、駆動ユニット２の
各圧電素子５及び支柱部６上面に接着剤８を塗布して液
室ユニット３と高い精度で接着接合する。

【００１９】ここで、駆動ユニット２の基板４には４隅
の一角を除いた３箇所に位置検出用基準手段である位置
検出用基準孔１２を形成し、一方、液室ユニット３にも
基板４の位置検出用基準孔１２に対応する位置に位置検
出用基準手段である位置検出用基準孔１３を形成してい
る。この液室ユニット３の位置検出用基準孔１３は基板
４の位置検出用基準孔１２よりも大径に形成している。

【００２０】また、液室ユニット３の位置検出用基準孔
１３と基板４の位置検出用基準孔１２とは接合時に同心
円状になる位置に形成しているが、後述するように上方
からカメラ（撮像手段）で撮像したときに液室ユニット
３の位置検出用基準孔１３と基板４の位置検出用基準孔
１２とを検出可能な位置に配置していれば良い。つま
り、駆動ユニット２と液室ユニット３とを高精度に位置
合わせして接合すること、より正確には、液室ユニット
３の各ノズル７と駆動ユニット２の各圧電素子５とが接
着剤８を介して精度よく接着接合されていることがヘッ
ドの性能上重要であり、位置検出用基準手段はこの高精
度接着接合を可能にする基準となるものであればよい。

【００２１】そこで、本発明に係る微細部品の組立装置
について図５以降を参照して説明する。図５は同接合装
置の全体構成を示す正面図、図６は図５のＡ−Ａ線に沿
う断面図、図７は図５のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図８は
移送機構部の詳細図、図９はスクリーン印刷式接着剤塗
布装置の説明に供する説明図である。

【００２２】この微細部品の組立装置は、剛性のある溶
接構造で構成したフレーム２１上にベース２２を載置
し、このベース２２上に、第１ステーションＳ１、第２
ステーションＳ２、第３ステーションＳ３及び第４ステ
ーションＳ４を順次等間隔で配置すると共に、接合対象
となるインクジェットヘッド１を構成する一方の微細部
品である駆動ユニット２を第１、第２、第３及び第４ス
テーションＳ１〜Ｓ４に順次移送する移送手段である移
送機構部２３を備えている。

【００２３】ここで、第１ステーションＳ１は、接合対
象となるインクジェットヘッド１の駆動ユニット２を搭
載するステーションであり、駆動ユニット２を搭載する
テーブル２４を備えている。このテーブル２４は、ベー
ス２２上に支持機構部２５を介して支持されると共に、
図示しない真空源に連結されていて、搭載された駆動ユ
ニット２を吸着保持する。支持機構部２５は、ベース２
２上に可動台２６を一方向（Ｙ方向）に摺動自在を配設
し、この可動台２６上にＺ軸移動機構部２７を支持し、
このＺ軸移動機構部２７上にＸ軸移動機構部２８を支持
し、このＸ軸移動機構部２８上にθ軸移動機構部２９を
支持してなり、このθ軸移動機構部２９上に前記テーブ
ル２４を載設している。

【００２４】第２ステーションＳ２は、移送機構部２３
によって第１ステーションＳ１から移送された駆動ユニ
ット２の位置検出及び位置調整を行なって駆動ユニット
２の圧電素子５及び支柱部６上に接着剤８を塗布するス
テーションであり、駆動ユニット２を搭載するテーブル
３０を備えている。このテーブル３０は、ベース２２上
にワーク搬送方向（第１ステーションＳ１から第４ステ
ーションに沿う方向）に対して前後方向に敷設したガイ
ドレール３１上に位置決め手段である支持機構部３２を
介して支持されると共に、図示しない真空源に連結され
ていて、搭載された駆動ユニット２を吸着保持する。

【００２５】支持機構部３２は、ガイドレール３１上に
可動台３３を一方向（Ｙ方向）に摺動自在の搭載し、こ
の可動台３３上にＺ軸移動機構部３４を支持し、このＺ
軸移動機構部３４上にＸ軸移動機構部３５を支持し、こ
のＸ軸移動機構部３５上にθ軸移動機構部３６を支持し
てなり、このθ軸移動機構部３６上に前記テーブル３０
を載設している。この支持機構部３２は、図示しない移
動手段によって、上述したガイドレール３１に沿って、
移送機構部２３との間でワーク（駆動ユニット２）の受
渡しをする図６に図示のワーク受渡し位置と後述する接
着剤塗布装置３８で接着剤を塗布する接着剤塗布位置と
の間で移動できるようにしている。

【００２６】また、この第２ステーションＳ２は、ガイ
ドレール３１のＹ方向前方側（図６の左側）にはポール
３７によってベース２２上方に配設したスクリーン印刷
式接着剤塗布装置３８を備え、予め所定の姿勢でマスク
支持プレート３９にセットしたスクリーンマスク４０を
用いて、駆動ユニット２の圧電素子５及び支柱部６上面
に接着剤８をスクリーン印刷で塗布する。

【００２７】このスクリーン印刷式接着剤塗布装置３８
は、図９をも参照して、接着剤８を塗布するためのスキ
ージ４１とダミー印刷用のスキージ４２とを備えると共
に、ダミー印刷のためにテープ繰り出しローラ４３から
繰り出されてテープ巻取りローラ４４で巻取られるダミ
ー印刷用ローラテープ４５を備え、これらのテープ繰り
出しローラ４３及びテープ巻取りローラ４４は図示しな
い移動機構部によってスクリーンマスク３３の下方に位
置するダミー印刷位置とスクリーンマスク３３の下方か
ら退避した退避位置との間で移動できるように配設して
いる。また、この接着剤塗布装置３８にはディスペンサ
システムを具備して接着剤８を自動供給できるように
し、作業時間の短縮を図っている。

【００２８】さらに、図６に戻って、この第２ステーシ
ョンＳ２には、駆動ユニット２の圧電素子５及び支柱部
６をエリアで撮像する位置検出用（以下、「印刷用カメ
ラ」という。）４６を備えている。この印刷用カメラ４
６は接着剤の塗布状態を検査するためのカメラとしても
兼用することができる。

【００２９】そして、この第２ステーションＳ２では、
移送機構部２３によって移送された駆動ユニット２がテ
ーブル３０上に移載され、ガイドレール３１を介してテ
ーブル３０が移動することで駆動ユニット２を印刷用カ
メラ４６による撮像位置に移動させ、この印刷用カメラ
４６で駆動ユニット２を撮像して、この撮像結果を画像
処理して駆動ユニット２の位置を測定し、この測定結果
とスクリーンマスク４０の位置情報とに基づいて支持機
構部３５を駆動制御して、駆動ユニット２の圧電素子５
及び支柱部６とスリーンマスク４０との位置合わせを行
う。

【００３０】さらに、駆動ユニット２の圧電素子５及び
支柱部６とスリーンマスク４０との位置合わせ後、テー
ブル３０と共に駆動ユニット２をスクリーンマスク４０
の下方側に移動させ、駆動ユニット２の位置調整をした
後、接着剤塗布装置３８によって圧電素子５及び支柱部
６上にスクリーン印刷方式で接着剤８を塗布する。

【００３１】すなわち、この組立装置では、駆動ユニッ
ト２の圧電素子５及び支柱部６上にスクリーン印刷方式
で接着剤８を塗布して液室ユニット３と接合するため、
圧電素子５及び支柱部６上に接着剤８を塗布しなければ
ならない。そのため、所定位置に設けたスクリーンマス
ク４０は予め所定の姿勢でマスク支持プレート３９にセ
ットされているので、駆動ユニット２の位置を検出し
て、スクリーンマスク４０とのずれ量を演算し、この演
算結果であるずれ量に応じて支持機構部６５の可動台３
３及びＺ軸，Ｘ軸，θ軸の各移動機構部３４，３５，３
６を駆動制御することによって、テーブル３０上の駆動
ユニット２をスクリーンマスク４０と合致する位置に正
確に位置調整する。

【００３２】第３ステーションＳ３は、移送機構部２３
によって第２ステーションＳ２から移送された駆動ユニ
ット２と液室ユニット供給部から供給される他方の微細
部品である液室ユニット３とを接合するステーションで
あり、駆動ユニット２を搭載するテーブル３０を備えて
いる。このテーブル５０は、ベース２２上にワーク搬送
方向（第１ステーションＳ１から第４ステーションに沿
う方向）に対して前後方向に敷設したガイドレール５１
上に位置決め手段である支持機構部５２を介して支持さ
れると共に、図示しない真空源に連結されていて、搭載
された駆動ユニット２を吸着保持する。

【００３３】支持機構部５２は、ガイドレール５１上に
可動台５３を一方向（Ｙ方向）に摺動自在の搭載し、こ
の可動台５３上にＺ軸移動機構部５４を支持し、このＺ
軸移動機構部５４上にＸ軸移動機構部５５を支持し、こ
のＸ軸移動機構部５５上にθ軸移動機構部５６を支持し
てなり、このθ軸移動機構部５６上に前記テーブル５０
を載設している。この支持機構部５２は、図示しない移
動手段によって、ガイドレール５１に沿って、移送機構
部２３との間でワーク（駆動ユニット２、及び駆動ユニ
ット２と液室ユニット３の接合部材＝インクジェットヘ
ッド１）の受渡しをする図７に図示のワーク受渡し位置
と駆動ユニット２と液室ユニット３とを接合する接合位
置との間で移動できるようにしている。

【００３４】また、この第３ステーションＳ３は、ガイ
ドレール５１のＹ方向前方側（図７の左側）には他方の
微細部品である液室ユニット３を供給する液室ユニット
供給部と接合位置との間で液室ユニット３を移送するた
めの液室ユニット移送機構部６１を備えている。この液
室ユニット移送機構部６１は、図示しないスライドレー
ルに摺動自在に支持した保持手段６２を備え、モータ６
３でボールネジ６４を回転させることによって、保持手
段６２を移動させる。この保持手段６２は、液室ユニッ
ト３を吸着保持するものであり、図示しない真空源に連
結され、液室ユニット３を吸着保持し、また、後述する
接合用カメラで駆動ユニット２の基板４の位置検出用基
準孔１２及び液室ユニット３の位置検出用基準孔１３を
撮像できるように貫通穴を設けている。

【００３５】さらに、この第３ステーションＳ３には、
駆動ユニット２と液室ユニット３とを重ねた状態で、駆
動ユニット２の基板４の位置検出用基準孔１２及び液室
ユニット３の位置検出用基準孔１３を撮像する撮像手段
である位置検出用カメラ（以下、「接合用カメラ」とい
う。）６６を備え、この接合用カメラ６６の撮像結果を
画像処理して駆動ユニット２と液室ユニット３の各位置
を検出し、駆動ユニット２を液室ユニット３と合致する
位置に正確に位置調整して、駆動ユニット２と液室ユニ
ット３とを接合する。

【００３６】なお、接合用カメラ６６は、駆動ユニット
２の基板４及び液室ユニット３に形成した複数の位置検
出用基準孔１２，１３を同時に撮像可能な３視野の光学
系を具備すると共に、その光学系として２焦点光学系を
用いている。

【００３７】また、この第３ステーションＳ３には被撮
像微細部品である駆動ユニット２及び液室ユニット３の
位置検出を行う際にこれらの被撮像微細部品を照射する
光源６７を備えている。この光源６７を載置した照明支
持プレート６８は、フレーム２１上に支持したアングル
６９上に取付けたスライドシリンダ７０によって移動可
能としている。

【００３８】そして、光源６７は、駆動ユニット２がワ
ーク受渡し位置から移送されてくる際には、スライドシ
リンダ７０によって駆動ユニット２に移送経路から退避
した退避位置に移動し、駆動ユニット２及び液室ユニッ
ト３の位置検出をするための撮像の際には所定位置に移
動させる。また、接合完了後に接合用カメラ６７を用い
て、接合後の駆動ユニット２の基板４及び液室ユニット
３に形成した複数の位置検出用基準孔１２，１３を撮像
し、この撮像結果に基づいてずれ量を計測し、良品／不
良品の判定を行う。この検査データは良品／不良品の判
定だけであく、すれ量をフィードバックして次回の接合
オフセットデータを自動修正する。

【００３９】第４ステーションＳ４は、テーブル７２及
び第１ステーションＳ１の支持機構部２５と同様に構成
した支持機構部７２を備えている。なお、第１ステーシ
ョンＳ１及び第４ステーションＳ４のテーブル２４，７
２としてはパレタイズステージを用いることによって、
パレット搬送に対応する供給、排出ができるようにな
る。

【００４０】移送機構部２３は、ベース２２上に取付け
た支持部材８１，８２間に、第１ステーションＳ１から
第４ステーションＳ４の方向（ワーク搬送方向）に沿っ
てガイドシャフト８３を配設し、このガイドシャフト８
３に移動テーブル８４を摺動自在に搭載し、この移動テ
ーブル８４には支持部材８１に取付けた送りシリンダ８
５を連結して、移動テーブル８４をワーク搬送方向に移
動可能にしている。

【００４１】そして、移動テーブル８４上にスペーサ部
材８６を介してワーク搬送方向に沿った搬送アーム８７
を取付けている。この搬送アーム８７は第１ステーショ
ンＳ１から第３ステーションＳ３間の長さに相当する長
さを有し、搬送アーム８７の両端部にはワーク保持手段
である真空チャック８８，８９を保持し、中央部には同
じくワーク搬送手段であるメカニカルチャック９０を保
持している。これらの真空チャック８８とメカニカルチ
ャック９０との間隔及びメカニカルチャック９０と真空
チャック８９との間隔は、第１〜第４ステーションＳ１
〜Ｓ４の間隔と同じく等ピッチ間隔としている。

【００４２】この移送機構部２３の搬送アーム８７は、
図５で実線図示の位置にあるときに、真空チャック８８
が第１ステーションＳ１のワーク受取り位置に、メカニ
カルチャック８９が第２ステーションＳ２のワーク受け
渡し位置に、真空チャック８９が第３ステーションのワ
ーク受け渡し位置にそれぞれ対応し、送りシリンダ８５
が駆動されて同図破線図示の位置に移動されたときに、
真空チャック８８が第２ステーションＳ２のワーク受け
渡し位置に、メカニカルチャック８９が第３ステーショ
ンＳ３のワーク受け渡し位置に、真空チャック８９が第
４ステーションのワーク払出し位置にそれぞれ対応す
る。

【００４３】次に、このように構成した微細部品の組立
装置の作用について図１０及び図１１をも参照して説明
する。先ず、図１０を参照して、駆動ユニット２を第１
ステーションＳ１のテーブル２４上に吸着保持した後、
移送機構部２３の真空チャック８８によってテーブル２
４上の駆動ユニット２を吸着し、送りシリンダ８５によ
って搬送アーム８７を図５の実線図示の位置から破線図
示を図示の位置へ移動させることによって、駆動ユニッ
ト２を第２ステーションＳ２に移送する。

【００４４】そして、移送機構部２３から駆動ユニット
２を受け渡し位置にいるテーブル３０に移載し、テーブ
ル３０を移動させて駆動ユニット２を印刷用カメラ４６
の撮像位置に移動させ、印刷用カメラ４６によって駆動
ユニット２の基板４の位置検出用基準孔１２を撮像し
て、駆動ユニット２の位置を検出した後、この検出結果
とスクリーンマスク４０の位置情報に基づいて駆動ユニ
ット２（圧電素子５及び支柱部６）の現位置がスクリー
ンマスク４０の位置と一致するか否かを判別する。

【００４５】このとき、駆動ユニット２の位置がスクリ
ーンマスク４０の位置と一致していないければ、計測結
果とスクリーンマスク４０の位置情報とに基づいて駆動
ユニット２の位置補正量を演算して、この演算結果に応
じて支持機構部３２の可動台３３及びＺ軸，Ｙ軸，θ軸
の各移動機構部３４，３５，３６を駆動制御して駆動ユ
ニット２の位置を調整し、再度駆動ユニット２の基板４
の位置検出用基準孔１２を印刷用カメラ４６で撮像して
駆動ユニット２の位置を計測する。

【００４６】そして、駆動ユニット２とスクリーンマス
ク４０との位置合せができたときには、テーブル３０を
移動することで駆動ユニット２を接着剤塗布装置３８に
よる接着剤塗布位置に移動して、接着剤塗布装置３８に
よって駆動ユニット２の圧電素子５及び支柱部６上面に
接着剤８をスクリーン印刷で塗布する。このように駆動
ユニット２とスクリーンマスク３３との位置合わせをし
た後接着剤を塗布する。

【００４７】すなわち、駆動ユニット２の圧電素子５及
び支柱部６に接着剤８を塗布するために使用するスクリ
ーンマスク４０のパターン（マスクパターン）は、圧電
素子５及び支柱部６の幅よりも狭く形成しており、か
つ、接着剤８は圧電素子５及び支柱部６のセンターに塗
布しなければならず、更に圧電素子５と支柱部６との間
の溝に接着剤８がはみ出して塗布してはならないので、
駆動ユニット２とスクリーンマスク４０との位置合わせ
をした後接着剤を塗布するのである。

【００４８】ここで、図９をも参照してスクリーン印刷
による接着剤の塗布工程について説明すると、同図
（ａ）に示すように接着剤塗布装置３８の印刷用スキー
ジ４１及びダミー印刷用スキージ４２が初期位置にある
状態で、同図（ｂ）に示すように駆動ユニット２が位置
決めされた後、同図（ｃ）に示すようにスキージ４１の
みが下降してスクリーンマスク４０上を一方向に走査
し、これによって駆動ユニット２に接着剤８が塗布さ
れ、同図（ｄ）に示すように終了位置でスキージ４１が
上昇して印刷が完了する。

【００４９】次いで、同図（ｆ）に示すようにスクリー
ンマスク４０の下方に繰り出しローラ４３及び巻取りロ
ーラ４４間に張装したダミー印刷用ローラテープ４５が
移動配置され、同図（ｇ）に示すようにスキージ４２が
下降し（なお、実際にはスキージ４１の上昇時にこれら
の動作が行われる。）、同図（ｈ）に示すようにスクリ
ーンマスク４０を逆方向に走査し、スクリーンマスク４
０に残留している接着剤をダミー印刷用ローラテープ４
５側にはみ出させてを除去し、同図（ｉ）に示すように
スキージ４２が上昇してダミー印刷が完了する。なお、
ダミー印刷用ローラテープ４５はダミー印刷が終了する
と巻取りローラ４４に所定量巻取られて次の接着剤塗布
動作に備える。

【００５０】このようにスキージ４１及びダミー印刷用
スキージ４２を備えて、スキージ４１が次の印刷をする
ために初期位置に戻るときにダミー印刷用スキージ４２
の動作に併せてスクリーンマスク４０の裏面にダミー印
刷用ローラテープ４５を配置して接着剤の残液及び転写
残りの接着剤を除去することによって、接合品質が向上
する。

【００５１】その後、接着剤の塗布が完了した駆動ユニ
ット２を、テーブル３０を逆方向に移動させることで接
着剤塗布位置から受け渡し位置へ移動させ、移送機構部
２３によって保持する。この場合、移送機構部２３の搬
送アーム８７は第１ステーションＳ１から第２ステーシ
ョンＳ２への駆動ユニット２の移送が終了した後、図１
の実線図示の位置に復帰しており、第２ステーションＳ
２ではメカニカルチャック９０で接着剤が塗布された駆
動ユニット２を保持すると共に、第１ステーションＳ１
では前述したように真空チャック８８で接着剤の塗布さ
れていない駆動ユニット２を保持する。

【００５２】ここで、移送機構部２３の搬送アーム８７
に備えたワーク保持手段として、接着剤塗布後の駆動ユ
ニット２を保持するためのワーク保持手段としては真空
チャックに代えてメカニカルチャック９０を用いている
ので、圧電素子５及び支柱部６表面に接着剤８が塗布さ
れている駆動ユニット２を保持することが可能になる。

【００５３】次いで、図１１を参照して、移送機構部２
３の搬送アーム８７を移動させて駆動ユニット２を第２
ステーションＳ２から第３ステーションＳ３に移送す
る。なお、このとき、移送機構部２３の搬送アーム８７
の真空チャック８８で吸着保持した駆動ユニット２は上
述したように第２ステーションＳ２に移送される。

【００５４】そして、受け渡し位置で駆動ユニット２を
テーブル５０に移載し、テーブル５０を移動して駆動ユ
ニット２を接合位置に移動させる。一方、第３ステーシ
ョンＳ３では液室ユニット３を液室ユニット移動機構部
６１で吸着保持して、液室ユニット３を接合位置に移動
させる。

【００５５】そこで、第３ステーションＳ３の接合位置
では、接合用カメラ６６によって駆動ユニット２の基板
４の位置検出用基準孔１２と液室ユニット３の位置検出
用基準孔１３とを撮像して、この撮像結果に基づいて駆
動ユニット２と液室ユニット３の位置を測定し、両者の
ずれ量（偏差量）を演算し、演算した両者の偏差量が予
め定めた許容範囲内か否かを判別する。

【００５６】このとき、駆動ユニット２と液室ユニット
３の偏差量が許容範囲内でなければ、演算した偏差量を
駆動ユニット２の位置補正量として、この補正量に応じ
て支持機構部５２の可動台５３及びＺ軸，Ｙ軸，θ軸の
各移動機構部５４，５５，５６を駆動制御して駆動ユニ
ット２の位置を調整し、再度駆動ユニット２の基板４の
位置検出用基準孔１２及び液室ユニット３の位置検出用
基準孔１３を位置検出用カメラ６６で撮像して、この撮
像結果に基づいて駆動ユニット２と液室ユニット３の位
置を測定し、両者の偏差量を演算する処理を繰り返し行
う。

【００５７】そして、駆動ユニット２と液室ユニット３
の偏差量が許容範囲内になったときには、Ｚ軸移動機構
部５６を駆動制御してＺ軸を上昇させ、駆動ユニット２
を上昇させることによって駆動ユニット２の圧電素子５
及び支柱部６と液室ユニット３とを接合する。

【００５８】その後、再度、接合用カメラ４１によって
駆動ユニット２の基板４の位置検出用基準孔１２と液室
ユニット３の位置検出用基準孔１３とを撮像して、この
撮像結果に基づいて駆動ユニット２と液室ユニット３の
接合ずれ量を演算し、演算した両者の接合ずれ量が予め
定めた良品範囲内か否かを判別する。

【００５９】このとき、接合ずれ量が良品許容範囲内で
あれば、テーブル５０を復動させて駆動ユニット２と液
室ユニット３とを接合したインクジェットヘッド１（ワ
ーク）を受け渡し位置に移動し、移送機構部２３の真空
チャック９１で保持して、移送機構部２３の搬送アーム
８７を移動させてワークを第４ステーションＳ４に移送
して排出する。なお、良品許容範囲内でなければ、不良
品処理ルーチンを実行する。

【００６０】この移送機構部２３の搬送アーム８７を移
動するときに、第１ステーションＳ１から第２ステーシ
ョンＳ２び駆動ユニット２が移送され、第２ステーショ
ンＳ２から第３ステーションＳ３に移送され、複数のワ
ークの移送が並行して行われる。これによって、接着剤
塗布工程と接合工程を同時に行なうことが可能になり、
生産タクトが短縮し、また、高精度の接合を行なうこと
ができる。

【００６１】なお、上記実施例においては、本発明を微
細部品としてのインクジェットヘッドを組立る組立装置
に適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外
の微細部品を組立る装置にも当然に適用することができ
る。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の微細部
品の組立装置によれば、２つの微細部品にそれぞれ設け
た位置検出用基準手段を検出し、この検出結果に基づい
て２つの微細部品を接合する微細部品の組立装置におい
て、２つの微細部品のうちの一方の微細部品を供給する
第１ステーションと、一方の微細部品に接着剤を塗布す
る第２ステーションと、２つの微細部品を接合する第３
ステーションと、２つの微細部品を接合した組立物を排
出する第４ステーションとを順次配置すると共に、第２
ステーションには、一方の微細部品を撮像する位置検出
用撮像手段と、この撮像手段の撮像結果に基づいて一方
の微細部品を接着剤塗布位置に位置決めする位置決め手
段とを備え、第３ステーションには、他方の微細部品を
吸着保持する保持手段と、この保持手段を他方の微細部
品供給側との間で往復移動させる移動機構部と、２つの
微細部品を撮像する撮像手段及び移動可能に配設した照
明用光源と、２つの微細部品を接合位置に位置決めする
位置決め手段とを備えている構成としたので、接着剤塗
布と接合工程を並行して行なえるようにすることが可能
になって生産タクトの短縮化を図れると共に、高精度の
接合を行なうことができる。

【００６３】請求項２の微細部品の組立装置によれば、
上記請求項１の微細部品の組立装置において、第１ステ
ーションから第４ステーションの方向に沿って移動可能
に搬送アームを配設し、この搬送アームには一方の微細
部品及び接合された２つの微細部品を保持する複数のワ
ーク保持手段を取付けてなる移送手段を備えると共に、
第２ステーションの位置決め手段は移送手段のワーク保
持手段との間でワークの受渡しをする受渡し位置と接着
剤を塗布する接着剤塗布位置との間で移動可能に配設
し、第３ステーションの位置決め手段は移送手段のワー
ク保持手段との間でワークの受渡しをする受渡し位置と
他方の微細部品と接合する接合位置との間で移動可能に
配設した構成したので、接着剤塗布と接合工程を並行し
て行なうことができ、生産タクトが短縮すると共に、高
精度の接合を行なうことができる。。

【００６４】請求項３の微細部品の組立装置によれば、
上記請求項１又は２の微細部品の組立装置において、第
１，第２，第３，第４ステーションを等間隔で配置して
いる構成としたので、微細部品のステーション間の移送
を行なうための構成が簡単になる。

【００６５】請求項４の微細部品の組立装置によれば、
上記請求項２又は３の微細部品の組立装置において、移
送手段の複数のワーク保持手段の内の少なくともいずれ
かがメカニカルチャックである構成としたので、接着剤
が塗布された後の微細部品を保持して移送することがで
きる。

【００６６】請求項５の微細部品の組立装置によれば、
上記請求項１乃至４のいずれかの微細部品の組立装置に
おいて、第２ステーションの接着剤塗布手段がスクリー
ン印刷型接着剤塗布装置であり、この接着剤塗布装置に
はダミー印刷用ローラテープを備えている構成としたの
で、接合品質が向上する。

【００６７】請求項６の微細部品の組立装置によれば、
上記請求項１乃至５のいずれかの微細部品の組立装置に
おいて、第１，第４ステーションにはパレタイズステー
ジを備えている構成としたので、微細部品のパレット搬
送に対応する供給、排出を行なうことができる。

【００６８】請求項７の微細部品の組立装置によれば、
上記請求項１乃至６のいずれかの微細部品の組立装置に
おいて、２つの微細部品のうちの一方の微細部品がノズ
ル形成部材、液室隔壁部材及び振動板を一体化した液室
ユニットであり、他方の微細部品が基板に圧電素子を接
合した駆動ユニットである構成としたので、液室ユニッ
トと駆動ユニットを高精度に接合することができ、信頼
性の高いインクジェットヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットヘッドの模式的説明図

【図２】同ヘッドの駆動ユニットの平面図

【図３】同駆動ユニットの正面図

【図４】同ヘッドの液室ユニットの平面図

【図５】本発明に係る微細部品の組立装置の全体構成を
示す正面図

【図６】同５のＡ−Ａ線に沿う断面図

【図７】同６のＢ−Ｂ線に沿う断面図

【図８】同組立装置の移送機構部の搬送アームを説明す
る要部説明図

【図９】同組立装置に接着剤塗布工程の説明に供する説
明図

【図１０】同組立装置による組立工程の説明に供するフ
ロー図

【図１１】同組立装置による組立工程の説明に供するフ
ロー図

【符号の説明】

１…インクジェットヘッド、２…駆動ユニット、３…液
室ユニット、４…基板、１２，１３…位置検出用基準
孔、２３…移送機構部、２４，３０，５０…テーブル、
２５，３２，５２…支持機構部、２６，３３，５３…可
動台、２７，３４，５４…Ｘ軸移動機構部、２８，３
５，５５…Ｚ軸移動機構部、２９，３６，５６…θ軸移
動機構部、３８…接着剤塗布装置、４０…スクリーンマ
スク、４５…ダミー印刷用ローラテープ、４６…印刷用
カメラ、６１…液室ユニット移動機構部、６３…接合用
用カメラ、８７…搬送アーム、８８，８９…真空チャッ
ク、９０…メカニカルチャック、Ｓ１…第１ステーショ
ン、Ｓ２…第２ステーション、Ｓ３…第３ステーショ
ン、Ｓ４…第４ステーション。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの微細部品にそれぞれ設けた位置検
   出用基準手段を検出し、この検出結果に基づいて前記２
   つの微細部品を接合する微細部品の組立装置において、
   この組立装置は、前記２つの微細部品のうちの一方の微
   細部品を供給する第１ステーションと、前記一方の微細
   部品に接着剤を塗布する第２ステーションと、前記２つ
   の微細部品を接合する第３ステーションと、前記２つの
   微細部品を接合した組立物を排出する第４ステーション
   とを順次配置すると共に、前記第２ステーションには、
   前記一方の微細部品を撮像する位置検出用撮像手段と、
   この撮像手段の撮像結果に基づいて前記一方の微細部品
   を接着剤塗布位置に位置決めする位置決め手段とを備
   え、前記第３ステーションには、前記他方の微細部品を
   吸着保持する保持手段と、この保持手段を他方の微細部
   品供給側との間で往復移動させる移動機構部と、前記２
   つの微細部品を撮像する撮像手段及び移動可能に配設し
   た照明用光源と、前記２つの微細部品を接合位置に位置
   決めする位置決め手段とを備えたことを特徴とする微細
   部品の組立装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の微細部品の組立装置に
   おいて、前記第１ステーションから第４ステーションの
   方向に沿って移動可能に搬送アームを配設し、この搬送
   アームには前記一方の微細部品及び接合された２つの微
   細部品を保持する複数のワーク保持手段を取付けてなる
   移送手段を備えると共に、前記第２ステーションの前記
   位置決め手段は前記移送手段のワーク保持手段との間で
   ワークの受渡しをする受渡し位置と前記接着剤を塗布す
   る接着剤塗布位置との間で移動可能に配設し、前記前記
   第３ステーションの前記位置決め手段は前記移送手段の
   ワーク保持手段との間でワークの受渡しをする受渡し位
   置と前記他方の微細部品と接合する接合位置との間で移
   動可能に配設したことを特徴とする微細部品の組立装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の微細部品の組立
   装置において、前記第１，第２，第３，第４ステーショ
   ンを等間隔で配置したことを特徴とする微細部品の組立
   装置。
4. 【請求項４】 請求項２又は３に記載の微細部品の組立
   装置において、前記移送手段の複数のワーク保持手段の
   内の少なくともいずれかがメカニカルチャックであるこ
   とを特徴とする微細部品の組立装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の微細
   部品の組立装置において、前記第２ステーションの接着
   剤塗布手段がスクリーン印刷型接着剤塗布装置であり、
   この接着剤塗布装置にはダミー印刷用ローラテープを備
   えたことを特徴とする微細部品の組立装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載の微細
   部品の組立装置において、前記第１，第４ステーション
   にはパレタイズステージを備えたことを特徴とする微細
   部品の組立装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の微細
   部品の組立装置において、前記２つの微細部品のうちの
   一方の微細部品がノズル形成部材、液室隔壁部材及び振
   動板を一体化した液室ユニットであり、他方の微細部品
   が基板に圧電素子を接合した駆動ユニットであることを
   特徴とする微細部品の組立装置。