JPH10274770A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents

液晶表示素子の製造方法

Info

Publication number
JPH10274770A
JPH10274770A JP9081236A JP8123697A JPH10274770A JP H10274770 A JPH10274770 A JP H10274770A JP 9081236 A JP9081236 A JP 9081236A JP 8123697 A JP8123697 A JP 8123697A JP H10274770 A JPH10274770 A JP H10274770A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rubbing
liquid crystal
crystal display
transparent glass
glass substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9081236A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3313608B2 (ja
Inventor
Mamoru Okamoto
守 岡本
Toshiaki Ishiyama
敏昭 石山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP08123697A priority Critical patent/JP3313608B2/ja
Priority to US09/040,745 priority patent/US6154266A/en
Priority to TW087104129A priority patent/TW496988B/zh
Priority to KR1019980011010A priority patent/KR100256930B1/ko
Publication of JPH10274770A publication Critical patent/JPH10274770A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3313608B2 publication Critical patent/JP3313608B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/134309Electrodes characterised by their geometrical arrangement
    • G02F1/134363Electrodes characterised by their geometrical arrangement for applying an electric field parallel to the substrate, i.e. in-plane switching [IPS]
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133784Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単位画素部内の櫛歯型共通電極と画素電極近
傍の液晶の配向異常を抑制し、コントラストの低下を防
ぐと共に上下及び左右の視野角依存性を無くし画質の向
上を図ることができる液晶表示素子の製造方法の提供。 【解決手段】 基板に平行な方向の横電界を電極間に発
生させ第一及び第二の基板間に配置した液晶を制御する
方式の液晶表示素子の製造方法において、ゲ−トバスラ
イン7とドレインバスライン8が配設され、これらの各
交点に対応してマトリクス状に能動素子9が配置され、
さらに共通電極11と画素電極12が櫛歯状に配設され
た第一の基板6上の配向膜15をラビング処理するに際
して二回のラビング処理を行い、かつ第一回目のラビン
グ処理に形成された第一のラビング方向13と第二回目
のラビング処理により形成された第二のラビング方向1
4が180度逆方向になるようにラビング処理を行う工
程を少なくとも備える液晶表示素子の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は基板に対して平行な
方向の電界で液晶を制御する方式の液晶表示素子の製造
方法に関し、特に単位画素部内の櫛歯型共通電極と画素
部電極近傍の液晶の配向異常を抑制し、コントラストの
低下を防ぐと共に画質の向上を図ることができる液晶表
示素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、基板に対して垂直な方向(縦方
向)の電界で液晶を制御する方式の代表例であるTN
(ツイストネマティック)方式の液晶表示素子は、ゲ−
トバスラインとドレインバスラインを有し、かつその各
交点に対応してマトリクス状の能動素子と画素電極とが
配置された第一の透明ガラス基板と、R(赤)、G
(緑)、B(青)からなる着色層と遮光膜及び共通電極
が設けられた第二の透明ガラス基板との間に液晶層が配
置された構造をしている。このようなTN方式の液晶表
示素子では、上記画素電極と上記共通電極間に電圧を印
加することにより生じる電界で液晶を制御している。
【0003】一方、基板に対して平行な方向(横方向)
の電界で液晶を制御する方式の代表例であるIPS(イ
ンプレインスイッチング)方式の液晶表示素子は、ゲ−
トバスラインとドレインバスラインを有し、かつその各
交点に対応してマトリクス状の能動素子と画素電極及び
共通電極とが櫛歯型に配置された第一の透明ガラス基板
と、R(赤)、G(緑)、B(青)からなる着色層と遮
光膜が設けられた第二の透明ガラス基板との間に液晶層
が配置された構造をしている。このようなIPS方式の
液晶表示素子では、上記画素電極と上記共通電極間に電
圧を印加することにより液晶を制御するものであるか
ら、横方向の電界が用いられている。
【0004】従来のIPS方式の液晶表示素子の製造方
法を図面を用いて説明する。図7は、従来のIPS方式
の液晶表示素子の単位画素部を示す平面図であり、図8
(a)は、単位画素部のラビング処理方向を示す詳細
図、(b)はその断面図である。従来、IPS方式の液
晶表示素子を製造するには、まず、透明ガラス基板36
上にゲ−トバスライン37とドレインバスライン38と
能動素子39を、単位画素部内部に櫛歯型の共通電極4
1と画素電極42を複数回のフォトリソグラフィー法に
より所望のパタ−ンに形成する。ついで、図8(b)に
示すようにこれらバスライン37、38、能動素子39
および電極41、42が形成された透明ガラス基板36
上に配向膜45をオフセット印刷法等の方法を用いて順
次形成し、この配向膜45の表面に液晶分子の配向方向
を規定するラビング処理を施す。ここでのラビング処理
は、図8(a)に示すように櫛歯型の共通電極41と画
素電極42を斜めに横断する方向53、つまり電界の法
線方向に対して約1゜〜20゜の範囲で行われるのが望
ましいことが特開平7−306417号に報告されてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが液晶表示素子
を製造する場合、単位画素部内部に存在する櫛歯型の共
通電極4lと画素電極42は通常電極幅約5μm、電極
間スペ−ス約10μmであり、かつ1画素部内に約6対
形成されており、しかも1000〜2000Åの膜厚を
有するため、単位画素部内の電極近傍では電極自身が有
する膜厚つまり電極段差により陰となる部分が生じ、ラ
ビング処理する際にラビング布の毛先と配向膜45が接
触せずラビング処理されないか、あるいはラビング強度
が他の部分よりも極端に弱い領域である配向規制力を有
しない領域(ラビング非接触領域)60が存在してしま
う。この様な配向規制力を有しない領域60が配向膜4
5に存在すると、液晶分子の配向方向が均一に制御され
ずに表示上配向異常となり、コントラストが低下した
り、画面を見る角度によっては表示の色付きが変わり画
質が低下するという問題があった。
【0006】上記のようなコントラストの低下が起こる
理由は、横方向の電界で液晶を制御するIPS方式で
は、単位画素部内部に配置された櫛歯型の共通電極41
と画素電極42の近傍において、液晶分子が通常の回転
方向とは逆方向に回転するドメイン(逆回転ドメイン)
等が発生しそれらが輝線となって現われるため黒表示時
の輝度上昇が起こり結果としてコントラストの低下が起
こるのである。また、上記のような画質の低下が起こる
理由は、表示面に対する視野角が上下60度及び左右6
0度以上の角度となると、例えば白画面を見た場合でも
着色を帯びた表示に見える様な色付きが起こるからであ
る。
【0007】そこで、このような問題を解決する手段が
要望されているが、IPS方式の液晶表示素子の場合に
ついては、単位画素部内の電極近傍の液晶の配向異常に
起因する画質劣化等に対する有効な解決手段は未だ提供
されていないのが現状である。一方、TN方式の液晶表
示素子の場合であれば、ラビング非接触領域の発生に起
因する画質劣化等に対する解決手段としてラビング強度
を低減させながら順方向と逆方向に複数回ラビング処理
を行う方法が特開平4−195119号に開示されてい
るが、この方法では先にラビングした順方向のラビング
履歴が全く残らないため、結果として逆方向のラビング
を行ったに過ぎず、電極近傍の配向制御はできないとい
う問題があった。また、その他の方法としては、画素電
極の4隅の角部を円弧状にする方法(特開平4−285
917ごう)や、強誘電性液晶を用いる液晶表示素子の
場合に限れば、ラビング後に紫外線を照射し液晶のプレ
チルト角を低減させる方法(特開平7−333619
号)も提案されているが、いずれの方法においても製造
装置が大掛かりになり、かつ角部が円弧状のパターン形
成技術や紫外線照射量の制御が難しく、製造が困難であ
るという問題点を有している。さらに、その他の方法と
しては、液晶セルを積層させる方法(例えば特開平2−
204725号)等もあるが、これでは透過率が半分と
なるため、その分バックライトの輝度を2倍に上昇させ
なければならず消費電力が上がるため実用化することは
難しかった。
【0008】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、基板に対して平行な方向の電界で液晶を制御する方
式の液晶表示素子において、単位画素部内の櫛歯型共通
電極と画素電極近傍の液晶の配向異常を抑制し、コント
ラストの低下を防ぐと共に上下及び左右の視野角依存性
を無くし画質の向上を図ることができる液晶表示素子の
製造方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
第一の透明ガラス基板上にゲ−トバスラインとドレイン
バスラインを配設し、これらの各交点に対応してマトリ
クス状に能動素子を配置し、さらに共通電極と画素電極
を櫛歯状に配設し、前記第一の透明ガラス基板と対向し
て設けられる第二の基板上に遮光膜と着色層を配置し、
これら第一及び第二の基板上にそれぞれラビング処理が
施された配向膜を配置し、前記基板に平行な方向の横電
界を前記電極間に発生させ前記第一及び第二の基板間に
配置した液晶を制御する方式の液晶表示素子の製造方法
において、第一の透明ガラス基板上の配向膜をラビング
処理するに際して二回のラビング処理を行い、かつ第一
回目のラビング処理に形成された第一のラビング方向と
第二回目のラビング処理により形成された第二のラビン
グ方向が180度逆方向になるようにラビング処理を行
う工程を少なくとも備えることを特徴とする液晶表示素
子の製造方法を前記課題の解決手段とした。また、請求
項2記載の発明は、前記第一の透明ガラス基板上の配向
膜をラビング処理する際、互いに逆方向に回転している
2本のラビングロールを用い、該2本のラビングロ−ル
の下を配向膜が形成された第一の透明ガラス基板を連続
して通過させることを特徴とする請求項1記載の液晶表
示素子の製造方法を前記課題の解決手段とした。
【0010】また、請求項3記載の発明は、第一の透明
ガラス基板上にゲ−トバスラインとドレインバスライン
を配設し、これらの各交点に対応してマトリクス状に能
動素子を配置し、さらに共通電極と画素電極を櫛歯状に
配設し、前記第一の透明ガラス基板と対向して設けられ
る第二の基板上に遮光膜と着色層を配置し、これら第一
及び第二の基板上にそれぞれラビング処理が施された配
向膜を配置し、前記基板に平行な方向の横電界を前記電
極間に発生させ前記第一及び第二の基板間に配置した液
晶を制御する方式の液晶表示素子の製造方法において、
第一及び第二の基板上にそれぞれ形成された配向膜を
ラビング処理するに際して、まず始めに基板全面に対し
て第一回目のラビング処理を行い、ついで単位画素部を
1行毎または複数行毎にマスクし、マスクされていない
単位画素部の行に対して前記第一回目のラビング処理に
より形成された第一のラビング方向と180度逆方向の
ラビング処理を行う第二回目のラビング処理を行うこと
を特徴とする液晶表示素子の製造方法を前記課題の解決
手段とした。また、請求項4記載の発明は、第一の透明
ガラス基板上にゲ−トバスラインとドレインバスライン
を配設し、これらの各交点に対応してマトリクス状に能
動素子を配置し、さらに共通電極と画素電極を櫛歯状に
配設し、前記第一の透明ガラス基板と対向して設けられ
る第二の基板上に遮光膜と着色層を配置し、これら第一
及び第二の基板上にそれぞれラビング処理が施された配
向膜を配置し、前記基板に平行な方向の横電界を前記電
極間に発生させ前記第一及び第二の基板間に配置した液
晶を制御する方式の液晶表示素子の製造方法において
第一及び第二の基板上にそれぞれ形成された配向膜をラ
ビング処理するに際して、まず始めに基板全面に対して
第一回目のラビング処理を行い、ついで単位画素部を1
列毎または複数列毎にマスクし、マスクされていない単
位画素部の列に対して前記第一回目のラビング処理によ
り形成された第一のラビング方向と180度逆方向のラ
ビング処理を行う第二回目のラビング処理を行うことを
特徴とする液晶表示素子の製造方法を前記課題の解決手
段とした。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶表示素子の製
造方法の実施形態の例について図面を参照して詳細に説
明する。図1は、本発明の液晶表示素子の製造方法を基
板に対して平行な方向の電界で液晶を制御する方式の液
晶表示素子の製造方法に適用した第一の実施形態を説明
するための図であり、液晶表示素子の単位画素部を示す
平面図である。図2(a)は、図1の単位画素部のラビ
ング処理方向を示す詳細図であり、(b)はその断面図
である。
【0012】まず、第一の透明ガラス基板6上にゲ−ト
バスライン7とドレインバスライン8で格子状に単位画
素部を形成した後、各単位画素部にゲ−トバスライン7
とドレインバスライン8の各交点に対応して単位画素部
のスイッチングとしての能能動素子9である薄膜トラン
ジスタ(TFT)をマトリクス状に配置する。ついで、
各単位画素部内部に共通電極11及び画素電極12を櫛
歯状に配設する。ここでのバスライン7、8や、電極1
1、12等は、フォトリソグラフィ−法によりクロム金
属膜を1000Å〜2000Åの膜厚で所望のパタ−ン
に形成することにより設けられる。一方、第一の透明ガ
ラス基板6と対向して設けられる第二の基板(図示略)
上に遮光膜(図示略)と着色層(図示略)を配置する。
【0013】ついで、第一の透明ガラス基板6および第
二の基板上にポリイミド等の有機材料からなる配向膜1
5を500〜600Åの膜厚となるようにオフセット印
刷法等の方法により形成する。ここで第一のガラス基板
6側に配向膜15を形成するとき、配向膜15は電極1
1、12の上層に一様に形成され、すなわち表示画素部
が全て覆われるように形成される。
【0014】ついで、第一の透明ガラス基板6に形成さ
れた配向膜15の表面に液晶分子の配向方向を規定する
ためのラビング処理を施す。ここでのラビング処理は2
回実施される。第一回目のラビング処理は、図2(a)
に示すように共通電極11や画素電極12を斜めに横断
する方向(第一のラビング方向)13、つまり電極ライ
ンに対して15゜の角度となる様に実施される。その直
後に、第一のラビング方向13と180゜逆方向(第二
のラビング方向)14になるように第一回目のラビング
処理と同様のラビング強度で第二回目のラビング処理を
実施する。ここでラビング処理を2回実施する方法とし
ては、例えば、能動素子9等が配置された上記第一の透
明ガラス基板6を、ラビングテーブルを1方向に回転し
ている固定された1本のラビングロ−ルの下を往復させ
て、第一の透明ガラス基板6の配向膜15をラビングロ
ールと接触させることにより2回のラビング処理を行う
ことができる。
【0015】なお、着色層は配置される第二の基板に形
成された配向膜の配向処理方法については、特に限定さ
れず、上記第一の透明ガラス基板6の配向膜15に施し
た配向処理方法と同様の配向処理を施してもよいし、異
なる方法であってもよい。
【0016】第一の実施形態の液晶表示素子の製造方法
にあっては、能動素子9等が設けられた第一の透明ガラ
ス基板6側の配向膜15をラビング処理するに際して二
回のラビング処理を行い、かつ第一回目のラビング処理
により形成された第一のラビング方向と第二回目のラビ
ング処理により形成された第二のラビング方向が180
゜逆方向になるようにラビング処理を行う工程を備える
ことにより、各単位画素部内の共通電極11及び画素電
極12の近傍についてもラビング処理が行われてこれら
電極11、12近傍の液晶の配向異常が発生しないの
で、各単位画素部内の電極近傍の液晶の配向異常に起因
するコントラストの低下を防ぐことができ、また、表示
画素部の行及び列方向に対して複数のラビング処理方向
を有するため上下及び左右の視野角依存性を大幅に改善
することができるとともに色付き防止という効果も併せ
持つことができ画質の向上を図ることができる。
【0017】次に、本発明の液晶表示素子の製造方法の
第二の実施形態について図3を用いて説明する。第二の
実施形態の液晶表示素子の製造方法が、第一の実施形態
の液晶表示素子の製造方法と異なるところは、第一の透
明ガラス基板6側に設けられた配向膜15をラビング処
理する方法が異なる点である。
【0018】この第二の実施形態でのラビング処理は、
まず、逆方向に回転している2本のラビンクロール2
3、24をラビングテーブル21の上方に配置し、つい
で、透明ガラス基板6上に配向膜15を形成してなる基
板12を配向膜15側の面を上にしてラビングテーブル
21上に配置し、ついで、この基板22を2本のラビン
クロール23、24の下を連続して通過させて配向膜1
5をラビングロール23、24のラビング布毛先25、
26に順次接触させることにより2回のラビング処理が
施されて、第一のラビング方向と、この第一のラビング
方向と180゜逆方向の第二のラビング方向が形成され
る。
【0019】第二の実施形態の液晶表示素子の製造方法
にあっては、第一の透明ガラス基板6上の配向膜15を
ラビング処理する際、互いに逆方向に回転している2本
のラビングロール23、24を用い、該2本のラビング
ロ−ル23、24の下を配向膜15が形成された第一の
透明ガラス基板6を連続して通過させて、ラビング方向
が180゜逆方向を持つ第一のラビング方向と第二のラ
ビング方向を形成することにより、各単位画素部内の共
通電極11及び画素電極12の近傍についてもラビング
処理が行われてこれら電極11、12近傍の液晶の配向
異常が発生しないので、各単位画素部内の電極近傍の液
晶の配向異常に起因するコントラストの低下を防ぐこと
ができ、また、表示画素部の行及び列方向に対して複数
のラビング処理方向を有するため上下及び左右の視野角
依存性を大幅に改善することができると共に色付き防止
という効果も併せ持つことができ画質画質の向上を図る
ことができる。
【0020】次に、本発明の液晶表示素子の製造方法を
第三の実施形態について説明する。図4は、第三の実施
形態の液晶表示素子の製造方法によりラビング処理が施
された液晶セルの平面図である。第三の実施形態の液晶
表示素子の製造方法が、第一の実施形態の液晶表示素子
の製造方法と異なるところは、第一の透明ガラス基板と
これと対向して設けられう第二のガラス基板にそれぞれ
設けられた配向膜をラビング処理する理するに際して、
単位画素部33の1行毎または複数行毎に異なるラビン
グ方向を持たせることである。
【0021】第三の実施形態でのラビング処理方法は、
まず始めに第一の透明ガラス基板および第二の基板にそ
れぞれ形成されている配向膜全面に対して第一回目のラ
ビング処理を行う。その際、能能動素子である薄膜トラ
ンジスタ(TFT)等が設けられた透明ガラス基板の配
向膜のラビング方向(第一のTFTラビング方向)27
と着色層であるカラーフィルタが設けられた第二の基板
のラビング方向(第一のCFラビング方向)28は、1
80゜逆方向である。
【0022】ついで、第一の透明ガラス基板および第二
の基板上に感光性フォトレジストをパタ−ニングし単位
画素部33を1行毎にマスクし、マスクされていない単
位画素部33の行に対して上記第一回目のラビング処理
とラビング方向が180゜逆方向の第二回目のラビング
処理を実施する。その際、能能動素子である薄膜トラン
ジスタ(TFT)等が設けられた第一の透明ガラス基板
の配向膜のラビング方向(第二のTFTラビング方向)
29、着色層であるカラーフィルタが設けられた第二の
基板のラビング方向(第二のCFラビング方向)30
は、180゜逆方向である。また、第二回目のラビング
処理により形成された第二のTFTラビング方向29
は、ラビング方向が第一回目のラビング処理により形成
された第一のTFTラビング方向27と180゜逆方向
であり、第二回目のラビング処理により形成された第二
のCFラビング方向28は、ラビング方向が第一回目の
ラビング処理により形成された第一のCFラビング方向
30と180゜逆方向である。
【0023】ついで、感光性フォトレジストを剥離する
と、図4に示すように第一回目のラビング処理により得
られた第一のラビング領域31と、第二回目のラビング
処理により得られた第二のラビング領域32とが交互に
現れた表面状態を有する配向膜、すなわち1行毎にラビ
ング方向の異なった表面状熊を有する配向膜が得られ
る。
【0024】第三の実施形態の液晶表示素子の製造方法
にあっては、第一及び第二の基板上にそれぞれ形成され
た配向膜をラビング処理するに際して、まず始めに基板
全面に対して第一回目のラビング処理を行い、ついで単
位画素を1行毎にマスクし、マスクされていない単位画
素の行に対して上記第一回目のラビング処理方向と18
0度逆方向のラビング処理を行う第二回目のラビング処
理を行うことにより、1行毎にラビング方向の異なった
表面状熊を有する配向膜が得られ、各単位画素部内の電
極近傍の液晶の配向異常に起因するコントラストの低下
を防ぐことができ、また、複数のラビング処理方向を有
するため上下及び左右の視野角依存性を大幅に改善する
ことができると共に色付き防止という効果も併せ持つこ
とができ画質の向上を図ることができる。
【0025】次に、本発明の液晶表示素子の製造方法を
第四の実施形態について説明する。図5は、第四の実施
形態の液晶表示素子の製造方法によりラビング処理が施
された液晶セルの平面図である。第四の実施形態の液晶
表示素子の製造方法が、第三の実施形態の液晶表示素子
の製造方法と異なるところは、第一の透明ガラス基板と
これと対向して設けられう第二のガラス基板にそれぞれ
設けられた配向膜をラビング処理する理するに際して、
単位画素部33の1列毎または複数列毎に異なるラビン
グ方向を持たせることである。第四の実施形態でのラビ
ング処理方法は、まず始めに第一の透明ガラス基板およ
び第二の基板にそれぞれ形成されている配向膜全面に対
して第一回目のラビング処理を行う。その際、能能動素
子である薄膜トランジスタ(TFT)等が設けられた透
明ガラス基板の配向膜のラビング方向(第一のTFTラ
ビング方向)27と着色層であるカラーフィルタが設け
られた第二の基板のラビング方向(第一のCFラビング
方向)28は、180゜逆方向である。
【0026】ついで、第一の透明ガラス基板および第二
の基板上に感光性フォトレジストをパタ−ニングし単位
画素部33を3列毎にマスクし、マスクされていない単
位画素部33の列に対して上記第一回目のラビング処理
とラビング方向が180゜逆方向の第二回目のラビング
処理を実施する。その際、能能動素子である薄膜トラン
ジスタ(TFT)等が設けられた第一の透明ガラス基板
の配向膜のラビング方向(第二のTFTラビング方向)
29、着色層であるカラーフィルタが設けられた第二の
基板のラビング方向(第二のCFラビング方向)30
は、180゜逆方向である。また、第二回目のラビング
処理により形成された第二のTFTラビング方向29
は、ラビング方向が第一回目のラビング処理により形成
された第一のTFTラビング方向27と180゜逆方向
であり、第二回目のラビング処理により形成された第二
のCFラビング方向28は、ラビング方向が第一回目の
ラビング処理により形成された第一のCFラビング方向
30と180゜逆方向である。
【0027】ついで、感光性フォトレジストを剥離する
と、図5に示すように3列毎にラビング方向の異なった
表面状熊を有する配向膜が得られる。なお、図5中、符
号31は、第一回目のラビング処理により得られた第一
のラビング領域、符号32は、第二回目のラビング処理
により得られた第二のラビング領域である。
【0028】第四の実施形態の液晶表示素子の製造方法
にあっては、第一及び第二の基板上にそれぞれ形成され
た配向膜をラビング処理するに際して、まず始めに基板
全面に対して第一回目のラビング処理を行い、ついで単
位画素を3列毎にマスクし、マスクされていない単位画
素の行に対して前記第一回目のラビング処理方向と18
0度逆方向のラビング処理を行う第二回目のラビング処
理を行うことにより、3列毎にラビング方向の異なった
表面状熊を有する配向膜が得られ、各単位画素部内の電
極近傍の液晶の配向異常に起因するコントラストの低下
を防ぐことができ、また、複数のラビング処理方向を有
するため上下及び左右の視野角依存性を大幅に改善する
ことができ画質の向上を図ることができる。
【0029】図6は、第四の実施形態の液晶表示素子の
製造方法によりラビング処理が施された配向膜を有する
液晶表示素子の視野角特性と、比較として従来法により
ラビング処理が施された配向膜を有する液晶表示素子の
視野角特性の白色色度座標の軌跡を示す図である。な
お,図6は、白画面を表示させた状態で表示面の天頂角
がら60度の視野で画面を見た時の白色色度座標の軌跡
を表した図である。図6中、曲線(a)は本発明の液晶
表示素子の製造方法の第四の実施形態により製造された
液晶表示素子の白色色度座標の軌跡を示し、曲線(b)
は従来の液晶表示素子の製造方法により製造された液晶
表示素子の白色色度座標の軌跡を示す。図6から本発明
の製造方法により製造された液晶表示素子は、白色色度
座標の軌跡が短いため従来の製造方法により製造された
液晶表示素子に比べて白画面の着色(色付き)が少ない
ことが認められる。従って、本発明の製造方法により製
造さられた液晶表示素子は 表示画素部内部の電極近傍
の配向異常が抑制されると共に複数のラビング方向を持
つことにより、表示不良及ぴ視野角依存性が大幅に改善
できることがわかる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように請求項1の液晶表示
素子の製造方法にあっては、第一の透明ガラス基板上の
配向膜をラビング処理するに際して二回のラビング処理
を行い、かつ第一回目のラビング処理に形成された第一
のラビング方向と第二回目のラビング処理により形成さ
れた第二のラビング方向が180度逆方向になるように
ラビング処理を行う工程を少なくとも備えることによ
り、電極近傍の液晶の配向異常が発生しないので、各単
位画素部内の電極近傍の液晶の配向異常に起因するコン
トラストの低下を防ぐことができ、また、表示画素部の
行及び列方向に対して複数のラビング処理方向を有する
ため上下及び左右の視野角依存性を大幅に改善すること
ができるとともに色付き防止という効果も併せ持つこと
ができ画質の向上を図ることができる。また、請求項2
の液晶表示素子の製造方法にあっては、上記請求項1の
液晶表示装置の製造方法において第一の透明ガラス基板
上の配向膜をラビング処理する際、互いに逆方向に回転
している2本のラビングロールを用い、該2本のラビン
グロ−ルの下を配向膜が形成された第一の透明ガラス基
板を連続して通過させることにより、請求項1記載の液
晶表示素子の製造方法と同様の作用効果があるうえ、ラ
ビング処理を効率よく施すことができる。
【0031】また、請求項3の液晶表示素子の製造方法
にあっては、特に、第一及び第二の基板上にそれぞれ形
成された配向膜をラビング処理するに際して、まず始め
に基板全面に対して第一回目のラビング処理を行い、つ
いで単位画素部を1行毎または複数行毎にマスクし、マ
スクされていない単位画素部の行に対して前記第一回目
のラビング処理により形成された第一のラビング方向と
180度逆方向のラビング処理を行う第二回目のラビン
グ処理を行うことにより、1行毎または複数行毎にラビ
ング方向の異なった表面状熊を有する配向膜が得られ、
各単位画素部内の電極近傍の液晶の配向異常に起因する
コントラストの低下を防ぐことができ、また、複数のラ
ビング処理方向を有するため上下及び左右の視野角依存
性を大幅に改善することができると共に色付き防止とい
う効果も併せ持つことができ画質の向上を図ることがで
きる。また、請求項4の液晶表示素子の製造方法にあっ
ては、特に、第一及び第二の基板上にそれぞれ形成され
た配向膜をラビング処理するに際して、まず始めに基板
全面に対して第一回目のラビング処理を行い、ついで単
位画素部を1列毎または複数列毎にマスクし、マスクさ
れていない単位画素部の列に対して前記第一回目のラビ
ング処理により形成された第一のラビング方向と180
度逆方向のラビング処理を行う第二回目のラビング処理
を行うことにより、1列毎または複数列毎にラビング方
向の異なった表面状熊を有する配向膜が得られ、各単位
画素部内の電極近傍の液晶の配向異常に起因するコント
ラストの低下を防ぐことができ、また、複数のラビング
処理方向を有するため上下及び左右の視野角依存性を大
幅に改善することができると共に色付き防止という効果
も併せ持つことができ画質の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の液晶表示素子の製造方法の第一の実
施形態を説明するための図であり、液晶表示素子の単位
画素部を示す平面図である。
【図2】 (a)は、図1の単位画素部のラビング処理
方向を示す詳細図であり、(b)はその断面図である。
【図3】 本発明の液晶表示素子の製造方法の第二の実
施形態のラビング処理方法を説明するための断面図であ
る。
【図4】 本発明の第三の実施形態の液晶表示素子の製
造方法によりラビング処理が施された液晶セルを示す平
面図である。
【図5】 本発明の第四の実施形態の液晶表示素子の製
造方法によりラビング処理が施された液晶セルを示す平
面図である。
【図6】 本発明の液晶表示素子の製造方法によりラビ
ング処理が施された配向膜を有する液晶表示素子と、従
来の液晶表示素子の製造方法によりラビング処理が施さ
れた配向膜を有する液晶表示素子のそれぞれついて天頂
角60゜から見た白色色度座標の軌跡を示すグラフであ
る。
【図7】 従来の液晶表示素子の製造方法を説明するた
めの図であり、IPS方式の液晶表示素子の単位画素部
を示す平面図である。
【図8】 従来の液晶表示素子の製造方法を説明するた
めの図であり、(a)図7の単位画素部のラビング処理
方向を示す詳細図であり、(b)はその断面図である。
【符号の説明】
6・・・第一の透明ガラス基板、7・・・ゲートバスライン、
8・・・ドレインバスライン、9・・・能動素子、11・・・共
通電極、12・・・画素電極、13・・・第一のラビング方
向、14・・・ラビング方向、15・・・配向膜、21・・・ラ
ビングテーブル、22・・・基板、23・・・ラビングロ−
ル、24・・・ラビングロ−ル、25・・・ラビング布毛先、
26・・・ラビング布毛先、27・・・第一のTFTラビング
方向、28・・・第二のCFラビング方向、29・・・第二の
TFTラビング方向、30・・・第二のCFラビング方
向、31・・・第一のラビング処理領域、32・・・第二のラ
ビング処理領域、33・・・単位画素部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第一の透明ガラス基板上にゲ−トバスラ
    インとドレインバスラインを配設し、これらの各交点に
    対応してマトリクス状に能動素子を配置し、さらに共通
    電極と画素電極を櫛歯状に配設し、前記第一の透明ガラ
    ス基板と対向して設けられる第二の基板上に遮光膜と着
    色層を配置し、これら第一及び第二の基板上にそれぞれ
    ラビング処理が施された配向膜を配置し、前記基板に平
    行な方向の横電界を前記電極間に発生させ前記第一及び
    第二の基板間に配置した液晶を制御する方式の液晶表示
    素子の製造方法において、 前記第一の透明ガラス基板上の配向膜をラビング処理す
    るに際して二回のラビング処理を行い、かつ第一回目の
    ラビング処理に形成された第一のラビング方向と第二回
    目のラビング処理により形成された第二のラビング方向
    が180度逆方向になるようにラビング処理を行う工程
    を少なくとも備えることを特徴とする液晶表示素子の製
    造方法。
  2. 【請求項2】 前記第一の透明ガラス基板上の配向膜を
    ラビング処理する際、互いに逆方向に回転している2本
    のラビングロールを用い、該2本のラビングロ−ルの下
    を配向膜が形成された第一の透明ガラス基板を連続して
    通過させることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素
    子の製造方法。
  3. 【請求項3】 第一の透明ガラス基板上にゲ−トバスラ
    インとドレインバスラインを配設し、これらの各交点に
    対応してマトリクス状に能動素子を配置し、さらに共通
    電極と画素電極を櫛歯状に配設し、前記第一の透明ガラ
    ス基板と対向して設けられる第二の基板上に遮光膜と着
    色層を配置し、これら第一及び第二の基板上にそれぞれ
    ラビング処理が施された配向膜を配置し、前記基板に平
    行な方向の横電界を前記電極間に発生させ前記第一及び
    第二の基板間に配置した液晶を制御する方式の液晶表示
    素子の製造方法において、 第一及び第二の基板上にそれぞれ形成された配向膜をラ
    ビング処理するに際して、まず始めに基板全面に対して
    第一回目のラビング処理を行い、ついで単位画素部を1
    行毎または複数行毎にマスクし、マスクされていない単
    位画素部の行に対して前記第一回目のラビング処理によ
    り形成された第一のラビング方向と180度逆方向のラ
    ビング処理を行う第二回目のラビング処理を行うことを
    特徴とする液晶表示素子の製造方法。
  4. 【請求項4】 第一の透明ガラス基板上にゲ−トバスラ
    インとドレインバスラインを配設し、これらの各交点に
    対応してマトリクス状に能動素子を配置し、さらに共通
    電極と画素電極を櫛歯状に配設し、前記第一の透明ガラ
    ス基板と対向して設けられる第二の基板上に遮光膜と着
    色層を配置し、これら第一及び第二の基板上にそれぞれ
    ラビング処理が施された配向膜を配置し、前記基板に平
    行な方向の横電界を前記電極間に発生させ前記第一及び
    第二の基板間に配置した液晶を制御する方式の液晶表示
    素子の製造方法において、 第一及び第二の基板上にそれぞれ形成された配向膜をラ
    ビング処理するに際して、まず始めに基板全面に対して
    第一回目のラビング処理を行い、ついで単位画素部を1
    列毎または複数列毎にマスクし、マスクされていない単
    位画素部の列に対して前記第一回目のラビング処理によ
    り形成された第一のラビング方向と180度逆方向のラ
    ビング処理を行う第二回目のラビング処理を行うことを
    特徴とする液晶表示素子の製造方法。
JP08123697A 1997-03-31 1997-03-31 液晶表示素子の製造方法 Expired - Fee Related JP3313608B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08123697A JP3313608B2 (ja) 1997-03-31 1997-03-31 液晶表示素子の製造方法
US09/040,745 US6154266A (en) 1997-03-31 1998-03-18 Method of manufacturing liquid crystal display device
TW087104129A TW496988B (en) 1997-03-31 1998-03-19 A manufacture method for liquid crystal displays
KR1019980011010A KR100256930B1 (ko) 1997-03-31 1998-03-30 액정 표시 장치 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08123697A JP3313608B2 (ja) 1997-03-31 1997-03-31 液晶表示素子の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10274770A true JPH10274770A (ja) 1998-10-13
JP3313608B2 JP3313608B2 (ja) 2002-08-12

Family

ID=13740813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08123697A Expired - Fee Related JP3313608B2 (ja) 1997-03-31 1997-03-31 液晶表示素子の製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6154266A (ja)
JP (1) JP3313608B2 (ja)
KR (1) KR100256930B1 (ja)
TW (1) TW496988B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008268944A (ja) * 2007-04-17 2008-11-06 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co Ltd 液晶ディスプレイパネル
JP2011107487A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP2011248297A (ja) * 2010-05-31 2011-12-08 Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd 液晶表示装置の製造方法

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6184961B1 (en) * 1997-07-07 2001-02-06 Lg Electronics Inc. In-plane switching mode liquid crystal display device having opposite alignment directions for two adjacent domains
US6642984B1 (en) * 1998-12-08 2003-11-04 Fujitsu Display Technologies Corporation Liquid crystal display apparatus having wide transparent electrode and stripe electrodes
US6636289B2 (en) * 2000-04-19 2003-10-21 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. In-plane switching LCD panel with multiple domains and rubbing directions symetric about a line
KR100595298B1 (ko) * 2000-09-23 2006-07-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Htn모드 액정 디스플레이 장치
KR100710282B1 (ko) * 2000-12-29 2007-04-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 박막트랜지스터 및 그 제조방법
JP3771137B2 (ja) * 2001-03-21 2006-04-26 シャープ株式会社 液晶表示装置およびその製造方法
CA2443691A1 (en) * 2001-04-09 2002-10-17 Research Triangle Institute Thermoelectric device for dna genomic and proteonic chips and thermo-optical switching circuits
KR100933967B1 (ko) * 2001-10-05 2009-12-28 넥스트림 써멀 솔루션즈, 인크. 포논 차단 전자 투과 소형 구조물
US7235735B2 (en) * 2002-04-15 2007-06-26 Nextreme Thermal Solutions, Inc. Thermoelectric devices utilizing double-sided Peltier junctions and methods of making the devices
JP4425681B2 (ja) * 2004-03-29 2010-03-03 三菱電機株式会社 液晶表示装置
US7523617B2 (en) * 2004-10-22 2009-04-28 Nextreme Thermal Solutions, Inc. Thin film thermoelectric devices for hot-spot thermal management in microprocessors and other electronics
US8063298B2 (en) * 2004-10-22 2011-11-22 Nextreme Thermal Solutions, Inc. Methods of forming embedded thermoelectric coolers with adjacent thermally conductive fields
WO2006113607A2 (en) * 2005-04-18 2006-10-26 Nextreme Thermal Solutions Thermoelectric generators for solar conversion and related systems and methods
WO2007002342A2 (en) * 2005-06-22 2007-01-04 Nextreme Thermal Solutions Methods of forming thermoelectric devices including electrically insulating matrixes between conductive traces and related structures
WO2007002337A2 (en) 2005-06-22 2007-01-04 Nextreme Thermal Solutions Methods of forming thermoelectric devices including conductive posts and/or different solder materials and related methods and structures
WO2007103249A2 (en) * 2006-03-03 2007-09-13 Nextreme Thermal Solutions Methods of forming thermoelectric devices using islands of thermoelectric material and related structures
US9601677B2 (en) 2010-03-15 2017-03-21 Laird Durham, Inc. Thermoelectric (TE) devices/structures including thermoelectric elements with exposed major surfaces
KR101376657B1 (ko) * 2010-10-21 2014-03-21 엘지디스플레이 주식회사 러빙방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
KR20160068096A (ko) * 2014-12-04 2016-06-15 삼성디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 그 제조 방법
CN104749822A (zh) * 2015-04-07 2015-07-01 武汉华星光电技术有限公司 取向层的摩擦取向方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02204725A (ja) * 1989-02-03 1990-08-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 二層式液晶表示装置
JPH04195119A (ja) * 1990-11-28 1992-07-15 Fujitsu Ltd 液晶パネルの製造方法
JPH04285917A (ja) * 1991-03-15 1992-10-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
JPH04355725A (ja) * 1991-06-03 1992-12-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd アクティブマトリクス液晶表示パネルの製造方法
JP3732242B2 (ja) * 1994-02-18 2006-01-05 シャープ株式会社 液晶表示装置
JPH07248499A (ja) * 1994-03-09 1995-09-26 Toshiba Corp 液晶表示素子
CN1055769C (zh) * 1994-03-17 2000-08-23 株式会社日立制作所 有源矩阵型液晶显示系统及其驱动方法
JPH07333619A (ja) * 1994-06-02 1995-12-22 Canon Inc 液晶表示素子
JP3289099B2 (ja) * 1995-07-17 2002-06-04 株式会社日立製作所 アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008268944A (ja) * 2007-04-17 2008-11-06 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co Ltd 液晶ディスプレイパネル
JP2011107487A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP2011248297A (ja) * 2010-05-31 2011-12-08 Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd 液晶表示装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6154266A (en) 2000-11-28
KR19980080857A (ko) 1998-11-25
TW496988B (en) 2002-08-01
JP3313608B2 (ja) 2002-08-12
KR100256930B1 (ko) 2000-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3313608B2 (ja) 液晶表示素子の製造方法
JP2692693B2 (ja) 液晶表示パネル
KR100634768B1 (ko) 액정표시장치
US7852450B2 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
KR20020063498A (ko) 액정표시장치
JP2002296615A (ja) 液晶表示装置
JP2003066482A (ja) 液晶表示装置
JP2000029014A (ja) 液晶表示素子用カラーフィルタ基板及び液晶表示素子
KR0182415B1 (ko) 액정표시용 기판의 제조방법
JP3568662B2 (ja) 液晶表示パネル
JPH09105937A (ja) 液晶表示素子の配向膜形成方法
KR19990036769A (ko) 액정표시장치
JP3471737B2 (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH11119227A (ja) 液晶表示装置
US7349045B2 (en) Displacement-designed color filter structure and method of forming the same
US6829024B2 (en) Liquid crystal display having a reflective electrode and method for fabricating the same
JP3827806B2 (ja) 液晶表示パネル
JPH11264969A (ja) 液晶表示装置
JPH0943609A (ja) 液晶表示パネル
JP3129699B2 (ja) 液晶表示装置
JP2003156855A (ja) 微細パターン形成方法及び液晶表示パネル
JP2013047720A (ja) カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法
JP3513826B2 (ja) 液晶表示素子
JP2006178202A (ja) 偏移設計されたカラーフィルタ構造
JP2021110790A (ja) 液晶表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20000905

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080531

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090531

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100531

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100531

Year of fee payment: 8

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100531

Year of fee payment: 8

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110531

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110531

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130531

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees