JPH10260031A - 磁歪式変位検出装置 - Google Patents
磁歪式変位検出装置Info
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- JPH10260031A JPH10260031A JP6678397A JP6678397A JPH10260031A JP H10260031 A JPH10260031 A JP H10260031A JP 6678397 A JP6678397 A JP 6678397A JP 6678397 A JP6678397 A JP 6678397A JP H10260031 A JPH10260031 A JP H10260031A
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- JP
- Japan
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- permanent magnet
- propagation time
- magnetostrictive
- magnetostrictive material
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】固定永久磁石を設けずとも良い磁歪式変位検出
装置を提供すること。 【解決手段】装置は、第１反射部１６と第２反射部９と
の間に延設された磁歪材５と、相対移動可能な永久磁石
６とを有する。磁歪材５上をＸ１方向に進行した弾性波
の伝搬時間をＴＡとし、ＴＡが測定された弾性波が第１
反射部１６及び第２反射部９で反射した後の伝搬時間を
ＴＢとする。ＴＡとＴＢとに基づいて永久磁石６の相対
変位を検出する。具体的には、Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−
ＴＡ）〕×２Ｌに基づいて、永久磁石６の相対変位を検
出する。
装置を提供すること。 【解決手段】装置は、第１反射部１６と第２反射部９と
の間に延設された磁歪材５と、相対移動可能な永久磁石
６とを有する。磁歪材５上をＸ１方向に進行した弾性波
の伝搬時間をＴＡとし、ＴＡが測定された弾性波が第１
反射部１６及び第２反射部９で反射した後の伝搬時間を
ＴＢとする。ＴＡとＴＢとに基づいて永久磁石６の相対
変位を検出する。具体的には、Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−
ＴＡ）〕×２Ｌに基づいて、永久磁石６の相対変位を検
出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁歪式変位検出装
置に関する。本発明は、可動部の変位を検出する場合に
適用できる。
置に関する。本発明は、可動部の変位を検出する場合に
適用できる。
【０００２】
【従来の技術】磁歪材を伝搬する弾性波に基づいて変位
を検出する磁歪式変位検出装置が従来より知られてい
る。この磁歪式変位検出装置は、可動部の変位を正確に
検出できる。この装置では、温度変化による磁歪材の伸
縮、温度変化による弾性波の伝搬速度の変動、温度変化
による電子回路における抵抗値等の変動等が生じるおそ
れがある。これらの要因に起因して検出誤差が生じるお
それがある。この検出誤差を改善すれば、更なる検出精
度の向上を期待できる。
を検出する磁歪式変位検出装置が従来より知られてい
る。この磁歪式変位検出装置は、可動部の変位を正確に
検出できる。この装置では、温度変化による磁歪材の伸
縮、温度変化による弾性波の伝搬速度の変動、温度変化
による電子回路における抵抗値等の変動等が生じるおそ
れがある。これらの要因に起因して検出誤差が生じるお
それがある。この検出誤差を改善すれば、更なる検出精
度の向上を期待できる。
【０００３】そこで従来より、永久磁石２個方式の磁歪
式変位検出装置（特開平２−１８３１１７号公報など）
が知られている。この磁歪式変位検出装置では、図６に
示すように、基体１００と、基体１００に架設状態に保
持された線状の磁歪材２００と、磁歪材２００と略同軸
的に設けられたリング状の固定永久磁石３００及び可動
永久磁石３０２と、磁歪材２００に電流パルスを供給す
るパルス供給回路４００と、受信コイル５００とを備え
ている。
式変位検出装置（特開平２−１８３１１７号公報など）
が知られている。この磁歪式変位検出装置では、図６に
示すように、基体１００と、基体１００に架設状態に保
持された線状の磁歪材２００と、磁歪材２００と略同軸
的に設けられたリング状の固定永久磁石３００及び可動
永久磁石３０２と、磁歪材２００に電流パルスを供給す
るパルス供給回路４００と、受信コイル５００とを備え
ている。
【０００４】可動永久磁石３０２は可動部に保持されて
おり、可動部の移動に伴って、磁歪材２００の延設方向
に沿ってつまり矢印Ｘ１、Ｘ２方向に沿って基体１００
に対して相対変位する。この磁歪式変位検出装置では、
パルス供給回路４００により磁歪材２００にこれの他端
部２００ｅから電流パルスが供給されると、磁歪材２０
０の回りに円周方向の磁場が発生する。この磁場が固定
永久磁石３００の磁場に加わると、Wiedemann 効果によ
り、磁歪材２００のうち、固定永久磁石３００の近傍に
ねじり歪みが発生する。そしてねじり歪みに基づく弾性
波が、磁歪材２００のうち固定永久磁石３００の近傍か
ら磁歪材２００上を所定の速度（一般的には音速）で矢
印Ｘ１方向に向けてつまり受信コイル５００に向けて伝
搬される。
おり、可動部の移動に伴って、磁歪材２００の延設方向
に沿ってつまり矢印Ｘ１、Ｘ２方向に沿って基体１００
に対して相対変位する。この磁歪式変位検出装置では、
パルス供給回路４００により磁歪材２００にこれの他端
部２００ｅから電流パルスが供給されると、磁歪材２０
０の回りに円周方向の磁場が発生する。この磁場が固定
永久磁石３００の磁場に加わると、Wiedemann 効果によ
り、磁歪材２００のうち、固定永久磁石３００の近傍に
ねじり歪みが発生する。そしてねじり歪みに基づく弾性
波が、磁歪材２００のうち固定永久磁石３００の近傍か
ら磁歪材２００上を所定の速度（一般的には音速）で矢
印Ｘ１方向に向けてつまり受信コイル５００に向けて伝
搬される。
【０００５】同様に、磁歪材２００のうち可動永久磁石
３０２の近傍からも、矢印Ｘ１方向に向けて磁歪材２０
０上を所定の速度で弾性波が受信コイル５００に伝搬さ
れる。図７における信号Ｐ１は、上記した電流パルスが
受信コイル５００で受信された信号波形を示し、信号Ｐ
２は、磁歪材２００のうち固定永久磁石３００の近傍か
ら発生した弾性波が矢印Ｘ１方向に進行して受信コイル
５００で受信された信号波形を示し、信号Ｐ３は、可動
永久磁石３０２の近傍から発生した弾性波が矢印Ｘ１方
向に進行して受信コイル５００で受信された信号波形を
示す。
３０２の近傍からも、矢印Ｘ１方向に向けて磁歪材２０
０上を所定の速度で弾性波が受信コイル５００に伝搬さ
れる。図７における信号Ｐ１は、上記した電流パルスが
受信コイル５００で受信された信号波形を示し、信号Ｐ
２は、磁歪材２００のうち固定永久磁石３００の近傍か
ら発生した弾性波が矢印Ｘ１方向に進行して受信コイル
５００で受信された信号波形を示し、信号Ｐ３は、可動
永久磁石３０２の近傍から発生した弾性波が矢印Ｘ１方
向に進行して受信コイル５００で受信された信号波形を
示す。
【０００６】上記した装置では、信号Ｐ２の伝搬時間Ｔ
X 、信号Ｐ３の伝搬時間ＴY を計測する。ここで信号Ｐ
２の伝搬時間ＴX は、検出始端から固定永久磁石３００
までの基準距離ＬX0に比例する。信号Ｐ３の伝搬時間Ｔ
Y は、検出始端から可動永久磁石３０２までの距離ＬYO
に比例する。そのため、可動永久磁石３０２までの距離
ＬYOは、ＬYO＝（ＴY ／ＴX ）×ＬX0に基づいて求ま
る。
X 、信号Ｐ３の伝搬時間ＴY を計測する。ここで信号Ｐ
２の伝搬時間ＴX は、検出始端から固定永久磁石３００
までの基準距離ＬX0に比例する。信号Ｐ３の伝搬時間Ｔ
Y は、検出始端から可動永久磁石３０２までの距離ＬYO
に比例する。そのため、可動永久磁石３０２までの距離
ＬYOは、ＬYO＝（ＴY ／ＴX ）×ＬX0に基づいて求ま
る。
【０００７】換言すれば、この装置では、変位を測定す
る可動永久磁石３０２の他に、基準距離を求める基準信
号を形成する固定永久磁石３００を採用し、基準となる
信号Ｐ２に基づいて、基準となる伝搬時間ＴX を求め、
（ＴY ／ＴX ）を利用してＬ YOを検出する。このように
すれば、温度変化等による伝搬時間の検出誤差は、上記
式の分母である伝搬時間ＴX 、上記式の分子であるＴY
の双方に同様に影響を与えるため、検出誤差が相殺さ
れ、検出精度の向上が期待できる。
る可動永久磁石３０２の他に、基準距離を求める基準信
号を形成する固定永久磁石３００を採用し、基準となる
信号Ｐ２に基づいて、基準となる伝搬時間ＴX を求め、
（ＴY ／ＴX ）を利用してＬ YOを検出する。このように
すれば、温度変化等による伝搬時間の検出誤差は、上記
式の分母である伝搬時間ＴX 、上記式の分子であるＴY
の双方に同様に影響を与えるため、検出誤差が相殺さ
れ、検出精度の向上が期待できる。
【０００８】また特開平７−３０６０３０号公報には、
磁歪材の一端部をコイルバネで引張って基体に固定する
と共に、磁歪材の他端部をゴム層で挟持した方式の磁歪
式変位検出装置が開示されている。この装置では、磁歪
材に沿って受信コイルに直接近づくように進行する弾性
波を直接波とし、受信コイルから遠ざかる方向に進行し
た後、反射部材で反射し受信コイルに近づくように弾性
波を反射波とする。
磁歪材の一端部をコイルバネで引張って基体に固定する
と共に、磁歪材の他端部をゴム層で挟持した方式の磁歪
式変位検出装置が開示されている。この装置では、磁歪
材に沿って受信コイルに直接近づくように進行する弾性
波を直接波とし、受信コイルから遠ざかる方向に進行し
た後、反射部材で反射し受信コイルに近づくように弾性
波を反射波とする。
【０００９】直接波の伝搬時間と反射波の伝搬時間とに
基づいて可動永久磁石の変位を検出することにしてい
る。この装置は、反射波をゴム層で強制的に減衰させる
方式である。
基づいて可動永久磁石の変位を検出することにしてい
る。この装置は、反射波をゴム層で強制的に減衰させる
方式である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記した図６に示す磁
歪式変位検出装置によれば、基準信号を用いるため検出
精度が確保されるものの、変位検出子である可動永久磁
石３０２の他に、基準信号を得るための固定永久磁石３
００を必要とする問題がある。更に、磁歪材２００の延
設方向において可動永久磁石３０２と固定永久磁石３０
０とが接近すると、双方の弾性波、あるいは弾性波によ
る信号波形が合成され、合成に起因して検出精度が低下
するおそれがある。
歪式変位検出装置によれば、基準信号を用いるため検出
精度が確保されるものの、変位検出子である可動永久磁
石３０２の他に、基準信号を得るための固定永久磁石３
００を必要とする問題がある。更に、磁歪材２００の延
設方向において可動永久磁石３０２と固定永久磁石３０
０とが接近すると、双方の弾性波、あるいは弾性波によ
る信号波形が合成され、合成に起因して検出精度が低下
するおそれがある。
【００１１】そのため、可動永久磁石３０２と固定永久
磁石３００とを所定距離以上離間する必要がある。その
ため磁歪式変位検出装置の長さ方向が大型化したり、変
位検出範囲が短くなる問題がある。本発明は上記した実
情に鑑みなされたものであり、各請求項は、磁歪材上を
一方向に進行する弾性波の伝搬時間をＴＡとし、伝搬時
間ＴＡが測定された弾性波が反射して第１反射部と第２
反射部との間を少なくとも１回往復した後の伝搬時間Ｔ
Ｂを求め、伝搬時間ＴＡと伝搬時間ＴＢとに基づいて、
永久磁石の相対変位を検出することにより、永久磁石の
相対変位の検出にあたり、基準信号を形成する固定永久
磁石を設けずとも良い磁歪式変位検出装置を提供するこ
とを課題とする。
磁石３００とを所定距離以上離間する必要がある。その
ため磁歪式変位検出装置の長さ方向が大型化したり、変
位検出範囲が短くなる問題がある。本発明は上記した実
情に鑑みなされたものであり、各請求項は、磁歪材上を
一方向に進行する弾性波の伝搬時間をＴＡとし、伝搬時
間ＴＡが測定された弾性波が反射して第１反射部と第２
反射部との間を少なくとも１回往復した後の伝搬時間Ｔ
Ｂを求め、伝搬時間ＴＡと伝搬時間ＴＢとに基づいて、
永久磁石の相対変位を検出することにより、永久磁石の
相対変位の検出にあたり、基準信号を形成する固定永久
磁石を設けずとも良い磁歪式変位検出装置を提供するこ
とを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】 請求項１に係る磁歪式変位検出装置は、所定の間隔を
隔てて設けられ弾性波を反射する第１反射部と第２反射
部との間に延設された磁歪材と、磁歪材の延設方向に沿
って相対移動可能な永久磁石と、磁歪材にこれの延設方
向に沿って流れる電流パルスを供給するパルス供給手段
と、電流パルスによる磁場と永久磁石による磁場とに基
づいて磁歪材のうち永久磁石の近傍で発生し磁歪材を伝
搬した弾性波を受信する受信手段と、受信手段による弾
性波の受信に伴い弾性波の伝搬時間を求め、伝搬時間に
基づいて磁歪材の延設方向における永久磁石の相対変位
を検出する検出手段とを具備する磁歪式変位検出装置に
おいて、検出手段は、磁歪材上を一方向に進行し受信手
段で受信された弾性波の伝搬時間をＴＡとし、ＴＡが測
定された弾性波が第１反射部及び第２反射部による反射
により第１反射部と第２反射部との間を少なくとも１回
往復した後の伝搬時間をＴＢとしたとき、伝搬時間ＴＡ
と伝搬時間ＴＢとに基づいて、永久磁石の相対変位を検
出することを特徴とするものである。 請求項２に係る磁歪式変位検出装置によれば、請求項
１において、検出手段は、ＴＡと（ＴＢ−ＴＡ）とに基
づいて、永久磁石の相対変位を検出することを特徴とす
るものである。 請求項３に係る磁歪式変位検出装置によれば、請求項
２において、検出手段は、ＴＡが測定された弾性波が第
１反射部及び第２反射部による反射により第１反射部と
第２反射部との間を１回往復した後の伝搬時間をＴＢと
し、第１反射部と第２反射部との間の距離をＬとし、第
１反射部と永久磁石との距離をＬ1 としたとき、Ｌ1 ＝
〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２Ｌに基づいて、永久磁石
の相対変位を検出することを特徴とするものである。
隔てて設けられ弾性波を反射する第１反射部と第２反射
部との間に延設された磁歪材と、磁歪材の延設方向に沿
って相対移動可能な永久磁石と、磁歪材にこれの延設方
向に沿って流れる電流パルスを供給するパルス供給手段
と、電流パルスによる磁場と永久磁石による磁場とに基
づいて磁歪材のうち永久磁石の近傍で発生し磁歪材を伝
搬した弾性波を受信する受信手段と、受信手段による弾
性波の受信に伴い弾性波の伝搬時間を求め、伝搬時間に
基づいて磁歪材の延設方向における永久磁石の相対変位
を検出する検出手段とを具備する磁歪式変位検出装置に
おいて、検出手段は、磁歪材上を一方向に進行し受信手
段で受信された弾性波の伝搬時間をＴＡとし、ＴＡが測
定された弾性波が第１反射部及び第２反射部による反射
により第１反射部と第２反射部との間を少なくとも１回
往復した後の伝搬時間をＴＢとしたとき、伝搬時間ＴＡ
と伝搬時間ＴＢとに基づいて、永久磁石の相対変位を検
出することを特徴とするものである。 請求項２に係る磁歪式変位検出装置によれば、請求項
１において、検出手段は、ＴＡと（ＴＢ−ＴＡ）とに基
づいて、永久磁石の相対変位を検出することを特徴とす
るものである。 請求項３に係る磁歪式変位検出装置によれば、請求項
２において、検出手段は、ＴＡが測定された弾性波が第
１反射部及び第２反射部による反射により第１反射部と
第２反射部との間を１回往復した後の伝搬時間をＴＢと
し、第１反射部と第２反射部との間の距離をＬとし、第
１反射部と永久磁石との距離をＬ1 としたとき、Ｌ1 ＝
〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２Ｌに基づいて、永久磁石
の相対変位を検出することを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施形態】 各請求項に係る装置においては、パルス供給手段から
電流パルスが磁歪材にこれの延設方向に沿って供給され
る。従来技術と同様に、電流パルスに基づく磁場が永久
磁石の磁場に作用すると、磁歪材のうち永久磁石の近傍
に弾性波が発生する。この弾性波は磁歪材に沿って伝達
され、受信手段で受信される。これに基づいて永久磁石
の相対変位が検出される。 請求項１〜３に係る装置によれば、伝搬時間ＴＡと伝
搬時間ＴＢとに基づいて、永久磁石の相対変位は検出手
段により検出される。伝搬時間ＴＢは、伝搬時間ＴＡが
計測された弾性波が第１反射部及び第２反射部による反
射により第１反射部と第２反射部との間を少なくとも１
回往復した後の伝搬時間である。
電流パルスが磁歪材にこれの延設方向に沿って供給され
る。従来技術と同様に、電流パルスに基づく磁場が永久
磁石の磁場に作用すると、磁歪材のうち永久磁石の近傍
に弾性波が発生する。この弾性波は磁歪材に沿って伝達
され、受信手段で受信される。これに基づいて永久磁石
の相対変位が検出される。 請求項１〜３に係る装置によれば、伝搬時間ＴＡと伝
搬時間ＴＢとに基づいて、永久磁石の相対変位は検出手
段により検出される。伝搬時間ＴＢは、伝搬時間ＴＡが
計測された弾性波が第１反射部及び第２反射部による反
射により第１反射部と第２反射部との間を少なくとも１
回往復した後の伝搬時間である。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の第１実施例を図１〜図５を参
照して説明する。本実施例は車両に搭載され車高を検出
するハイトセンサに適用したものである。 （実施例の構成） 図１から理解できるように、基体１は、収容室１０ａ
をもつ導電性が良好な非磁性材料（例えばＡｌ、Ｃｕ
系）で形成された長尺状をなす収容管体１０をもつ。収
容管体１０は、後述する回路７０、７５、７７、７８、
７９をもつＥＣＵと共に車両のバネ上部分に搭載されて
いる。
照して説明する。本実施例は車両に搭載され車高を検出
するハイトセンサに適用したものである。 （実施例の構成） 図１から理解できるように、基体１は、収容室１０ａ
をもつ導電性が良好な非磁性材料（例えばＡｌ、Ｃｕ
系）で形成された長尺状をなす収容管体１０をもつ。収
容管体１０は、後述する回路７０、７５、７７、７８、
７９をもつＥＣＵと共に車両のバネ上部分に搭載されて
いる。
【００１５】図１から理解できるように収容管体１０
は、矢印Ｘ１、Ｘ２方向に延設されている。磁歪材５は
収容室１０ａ内で線状に長くのびている。磁歪材５は例
えばＦｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｒ系合金等で形成でき
る。磁歪材５の一端部５ｃは、収容管体１０の一端部１
０ｃ側の閉鎖壁１０ｆに第２反射部９を介して結合され
ている。第２反射部９は、磁歪材５に張力を付与するコ
イルバネで構成されている。磁歪材５の他端部５ｅは、
収容管体１０の長手方向の他端部１０ｅにホルダ１８を
介して支持されている。収容管体１０の他端部１０ｅに
は、弾性波を反射する第１反射部１６が設けられてい
る。
は、矢印Ｘ１、Ｘ２方向に延設されている。磁歪材５は
収容室１０ａ内で線状に長くのびている。磁歪材５は例
えばＦｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｒ系合金等で形成でき
る。磁歪材５の一端部５ｃは、収容管体１０の一端部１
０ｃ側の閉鎖壁１０ｆに第２反射部９を介して結合され
ている。第２反射部９は、磁歪材５に張力を付与するコ
イルバネで構成されている。磁歪材５の他端部５ｅは、
収容管体１０の長手方向の他端部１０ｅにホルダ１８を
介して支持されている。収容管体１０の他端部１０ｅに
は、弾性波を反射する第１反射部１６が設けられてい
る。
【００１６】図１から理解できるように磁歪材５を略同
軸的に包囲するように、リング状をなす可動式の永久磁
石６が設けられている。永久磁石６の内周面６ｉは収容
管体１０を介して磁歪材５に対向している。永久磁石６
の軸端面６ａ、６ｃは磁極（Ｎ極、Ｓ極）とされてい
る。本実施例では、前記した図６に示す従来技術とは異
なり、永久磁石６は２個ではなく１個装備されているだ
けであり、永久磁石シングル方式である。
軸的に包囲するように、リング状をなす可動式の永久磁
石６が設けられている。永久磁石６の内周面６ｉは収容
管体１０を介して磁歪材５に対向している。永久磁石６
の軸端面６ａ、６ｃは磁極（Ｎ極、Ｓ極）とされてい
る。本実施例では、前記した図６に示す従来技術とは異
なり、永久磁石６は２個ではなく１個装備されているだ
けであり、永久磁石シングル方式である。
【００１７】可動部６０は、車両のバネ上部分とバネ下
部分との相対変位に応じて左右方向へ移動し、バネ下部
分に対するバネ上部分の高さ、つまり車高に対応した位
置を取る部材である。可動部６０に永久磁石６は保持さ
れている。永久磁石６は、可動部６０の移動に伴い矢印
Ｘ１、Ｘ２方向に磁歪材５に沿って、つまり収容管体１
０に沿って相対移動する。
部分との相対変位に応じて左右方向へ移動し、バネ下部
分に対するバネ上部分の高さ、つまり車高に対応した位
置を取る部材である。可動部６０に永久磁石６は保持さ
れている。永久磁石６は、可動部６０の移動に伴い矢印
Ｘ１、Ｘ２方向に磁歪材５に沿って、つまり収容管体１
０に沿って相対移動する。
【００１８】磁歪材５の他端部５ｅには、給電信号線７
１を介してパルス供給手段としてのパルス供給回路７０
が電気的に接続されている。受信手段としての受信コイ
ル４は磁歪材５の他端部５ｅの側に位置しており、ホル
ダ１８に巻回されて保持されている。図１に示すよう
に、受信コイル４による検知始端である第１反射部１６
と第２反射部９の先端部９ｃとの間の距離は固定値であ
り、Ｌで示される。
１を介してパルス供給手段としてのパルス供給回路７０
が電気的に接続されている。受信手段としての受信コイ
ル４は磁歪材５の他端部５ｅの側に位置しており、ホル
ダ１８に巻回されて保持されている。図１に示すよう
に、受信コイル４による検知始端である第１反射部１６
と第２反射部９の先端部９ｃとの間の距離は固定値であ
り、Ｌで示される。
【００１９】受信コイル４には、検出手段として機能す
る波形整形回路７５が受信信号線７３を介して電気的に
接続されている。パルス供給回路７０及び波形整形回路
７５はそれぞれ信号線７０ｒ、７０ｓ、７５ｒを介して
信号処理・時間計測回路７７、７８に接続され、更に信
号線７７ｍ、７８ｍを介して演算回路７９に接続されて
いる。 本実施例に係る磁歪式変位検出装置の作動について、
信号波形のタイミングを示す図２を参照して説明する。
図２（Ａ）はパルス供給回路７０における信号波形を示
す。図２（Ｂ）は受信コイル４で受信した信号波形を示
す。図２（Ｃ）は受信コイル４で受信した信号の波形を
波形整形回路７５で波形整形した矩形波を示す。
る波形整形回路７５が受信信号線７３を介して電気的に
接続されている。パルス供給回路７０及び波形整形回路
７５はそれぞれ信号線７０ｒ、７０ｓ、７５ｒを介して
信号処理・時間計測回路７７、７８に接続され、更に信
号線７７ｍ、７８ｍを介して演算回路７９に接続されて
いる。 本実施例に係る磁歪式変位検出装置の作動について、
信号波形のタイミングを示す図２を参照して説明する。
図２（Ａ）はパルス供給回路７０における信号波形を示
す。図２（Ｂ）は受信コイル４で受信した信号波形を示
す。図２（Ｃ）は受信コイル４で受信した信号の波形を
波形整形回路７５で波形整形した矩形波を示す。
【００２０】本実施例では、図２（Ａ）に示す電流パル
スＩｃがパルス供給回路７０から磁歪材５の他端部５ｅ
に供給される。電流パルスＩｃは磁歪材５の他端部５ｅ
から一端部５ｃに向かって磁歪材５に沿って矢印Ｘ２方
向に流れる。電流パルスＩｃに基づく磁場変化は、受信
コイル４を通過する際に受信コイル４によって励起信号
Ｃ１（図２（Ｂ）参照）として検出される。この電流パ
ルスＩｃ供給時刻を開始時刻とする。
スＩｃがパルス供給回路７０から磁歪材５の他端部５ｅ
に供給される。電流パルスＩｃは磁歪材５の他端部５ｅ
から一端部５ｃに向かって磁歪材５に沿って矢印Ｘ２方
向に流れる。電流パルスＩｃに基づく磁場変化は、受信
コイル４を通過する際に受信コイル４によって励起信号
Ｃ１（図２（Ｂ）参照）として検出される。この電流パ
ルスＩｃ供給時刻を開始時刻とする。
【００２１】従来からの磁歪式変位検出装置と同様に、
電流パルスＩｃに基づく磁場が永久磁石６の磁場に作用
すると、永久磁石６の近傍の磁歪材５の部分にねじり歪
みが発生する。この結果、ねじり歪みに基づく弾性波が
磁歪材５上を所定の速度（一般的には音速）で矢印Ｘ１
方向に向けて、つまり直接に受信コイル４に向けて進行
し、受信コイル４により検出される。これが直接波であ
り、図２（Ｂ）において直接波信号Ｃ２（Ｖmax ＝
Ｖ2 ）として検出される。直接波信号Ｃ２の伝搬時間は
ＴＡである。
電流パルスＩｃに基づく磁場が永久磁石６の磁場に作用
すると、永久磁石６の近傍の磁歪材５の部分にねじり歪
みが発生する。この結果、ねじり歪みに基づく弾性波が
磁歪材５上を所定の速度（一般的には音速）で矢印Ｘ１
方向に向けて、つまり直接に受信コイル４に向けて進行
し、受信コイル４により検出される。これが直接波であ
り、図２（Ｂ）において直接波信号Ｃ２（Ｖmax ＝
Ｖ2 ）として検出される。直接波信号Ｃ２の伝搬時間は
ＴＡである。
【００２２】更に磁歪材５のうち永久磁石６の近傍から
弾性波が磁歪材５上を所定の速度で逆方向である矢印Ｘ
２方向に向けて進行し、第２反射部９の先端部９ｃで反
射し、更に矢印Ｘ１方向につまり受信コイル４に向けて
進行し、受信コイル４により検出される。これが反射波
であり、図２（Ｂ）において反射波信号Ｃ３（Ｖmax＝
Ｖ3 ）として検出される。反射波信号Ｃ３の伝搬時間は
Ｔαである。
弾性波が磁歪材５上を所定の速度で逆方向である矢印Ｘ
２方向に向けて進行し、第２反射部９の先端部９ｃで反
射し、更に矢印Ｘ１方向につまり受信コイル４に向けて
進行し、受信コイル４により検出される。これが反射波
であり、図２（Ｂ）において反射波信号Ｃ３（Ｖmax＝
Ｖ3 ）として検出される。反射波信号Ｃ３の伝搬時間は
Ｔαである。
【００２３】前記した直接波は、第１反射部１６で反射
して磁歪材５上を矢印Ｘ２方向に進行し、更に第２反射
部９の先端部９ｃで反射し、逆方向である矢印Ｘ１方向
に磁歪材５上を進行し、受信コイル４により直接波・反
射波信号Ｃ２1 （Ｖmax ＝Ｖ 21）として検出される。直
接波・反射波信号Ｃ２1 の伝搬時間はＴＢである。更
に、直接波・反射波は、第２反射部９と第１反射部１６
とで反射されて収容管体１０を更に往復する。これが図
５に示す直接波・反射波信号Ｃ２2 として検出される。
図５に示すように直接波・反射波信号Ｃ２2 の伝搬時間
はＴＤである。
して磁歪材５上を矢印Ｘ２方向に進行し、更に第２反射
部９の先端部９ｃで反射し、逆方向である矢印Ｘ１方向
に磁歪材５上を進行し、受信コイル４により直接波・反
射波信号Ｃ２1 （Ｖmax ＝Ｖ 21）として検出される。直
接波・反射波信号Ｃ２1 の伝搬時間はＴＢである。更
に、直接波・反射波は、第２反射部９と第１反射部１６
とで反射されて収容管体１０を更に往復する。これが図
５に示す直接波・反射波信号Ｃ２2 として検出される。
図５に示すように直接波・反射波信号Ｃ２2 の伝搬時間
はＴＤである。
【００２４】上記した反射波も同様に、第２反射部９と
第１反射部１６とで反射されて収容管体１０を更に往復
し、図５に示す反射波・反射波信号Ｃ３1 として受信コ
イル４により検出される。図５に示すように反射波・反
射波信号Ｃ３1 の伝搬時間はＴＣである。このように直
接波及び反射波は、減衰するまで、第１反射部１６と第
２反射部９との間を往復する。 本実施例では図１に示すように第１反射部１６と第２
反射部９との間の距離をＬ（固定値）とし、第１反射部
１６と永久磁石６の間の距離をＬ1 とし、第２反射部９
と永久磁石６の間の距離をＬ2 として示す。本実施例で
は、図５に示すように、次の式が成立する（∝は比例を
意味する）。
第１反射部１６とで反射されて収容管体１０を更に往復
し、図５に示す反射波・反射波信号Ｃ３1 として受信コ
イル４により検出される。図５に示すように反射波・反
射波信号Ｃ３1 の伝搬時間はＴＣである。このように直
接波及び反射波は、減衰するまで、第１反射部１６と第
２反射部９との間を往復する。 本実施例では図１に示すように第１反射部１６と第２
反射部９との間の距離をＬ（固定値）とし、第１反射部
１６と永久磁石６の間の距離をＬ1 とし、第２反射部９
と永久磁石６の間の距離をＬ2 として示す。本実施例で
は、図５に示すように、次の式が成立する（∝は比例を
意味する）。
【００２５】ＴＡ∝Ｌ1 Ｔα∝（Ｌ2 ＋Ｌ） ＴＢ∝（Ｌ1 ＋２Ｌ） ＴＣ∝（Ｌ2 ＋３Ｌ） ＴＤ∝（Ｌ1 ＋４Ｌ） （ＴＢ−ＴＡ）＝２Ｌ 上記のように、（ＴＢ−ＴＡ）は、第１反射部１６と第
２反射部９との間の距離の往復距離、つまり（２×Ｌ）
に相当する。（２×Ｌ）は固定値であり、検出の際にお
ける基準距離となり得る。 （ＴＢ−ＴＡ） 本実施例では、（ＴＢ−ＴＡ）は次のように計測する。
即ち、波形整形回路７５には、しきい値（スレショルド
電圧）をＶO （ＶO ＜Ｖ1 、ＶO ＜Ｖ21）に設定したコ
ンパレータが設けられている。そのため、直接波信号Ｃ
２では、しきい値ＶO を越えた領域はオンとされ、しき
い値ＶO 未満の領域はオフとされる。これにより直接波
信号Ｃ２は、図３（Ｃ）に示すように矩形波信号Ｄ２に
波形整形される。同様に直接波・反射波信号Ｃ２1 も、
しきい値ＶO を境として矩形波信号Ｄ２1 に波形整形さ
れる。
２反射部９との間の距離の往復距離、つまり（２×Ｌ）
に相当する。（２×Ｌ）は固定値であり、検出の際にお
ける基準距離となり得る。 （ＴＢ−ＴＡ） 本実施例では、（ＴＢ−ＴＡ）は次のように計測する。
即ち、波形整形回路７５には、しきい値（スレショルド
電圧）をＶO （ＶO ＜Ｖ1 、ＶO ＜Ｖ21）に設定したコ
ンパレータが設けられている。そのため、直接波信号Ｃ
２では、しきい値ＶO を越えた領域はオンとされ、しき
い値ＶO 未満の領域はオフとされる。これにより直接波
信号Ｃ２は、図３（Ｃ）に示すように矩形波信号Ｄ２に
波形整形される。同様に直接波・反射波信号Ｃ２1 も、
しきい値ＶO を境として矩形波信号Ｄ２1 に波形整形さ
れる。
【００２６】ここで図３（Ｂ）から理解できるように、
直接波信号Ｃ２、直接波・反射波信号Ｃ２1 は共にSIN
波状であり、伝搬時間の真値はSIN 曲線の中央Ｃ２k 、
Ｃ２ 1kを基準として把握することが好ましい。従って図
３（Ｂ）から理解できるように、直接波信号Ｃ２の伝搬
時間の真値はＴO である。直接波・反射波信号Ｃ２1の
伝搬時間の真値は（ＴO ＋Ｔ1 ）である。
直接波信号Ｃ２、直接波・反射波信号Ｃ２1 は共にSIN
波状であり、伝搬時間の真値はSIN 曲線の中央Ｃ２k 、
Ｃ２ 1kを基準として把握することが好ましい。従って図
３（Ｂ）から理解できるように、直接波信号Ｃ２の伝搬
時間の真値はＴO である。直接波・反射波信号Ｃ２1の
伝搬時間の真値は（ＴO ＋Ｔ1 ）である。
【００２７】しかしながらコンパレータのしきい値はＶ
O に設定されているため、しきい値ＶO に係る垂線Ｗａ
が基準となる。故に直接波信号Ｃ２の伝搬時間の計測値
ＴＡは、実際にはＴO ’となる。図３（Ｂ）から理解で
きるように、しきい値ＶO の影響で、計測値ＴO ’は真
値ＴO よりもΔＴ1 短縮されている。即ち、直接波信号
Ｃ２の伝搬時間の計測値ＴＡは、ＴＡ＝ＴO ’＝ＴO −
ΔＴ1 である。
O に設定されているため、しきい値ＶO に係る垂線Ｗａ
が基準となる。故に直接波信号Ｃ２の伝搬時間の計測値
ＴＡは、実際にはＴO ’となる。図３（Ｂ）から理解で
きるように、しきい値ＶO の影響で、計測値ＴO ’は真
値ＴO よりもΔＴ1 短縮されている。即ち、直接波信号
Ｃ２の伝搬時間の計測値ＴＡは、ＴＡ＝ＴO ’＝ＴO −
ΔＴ1 である。
【００２８】また図３（Ｂ）から理解できるように、直
接波・反射波信号Ｃ２1 についても同様に、しきい値Ｖ
O に係る垂線Ｗｃが基準となる。よって直接波・反射波
信号Ｃ２1 の伝搬時間の計測値ＴＢは、（ＴO ’＋
Ｔ1 ’）となる。図３（Ｂ）から理解できるように、
（ＴO ’＋Ｔ1 ’）は、真値（ＴO ＋Ｔ1 ）よりもΔＴ
2 短縮されている。換言すれば、直接波・反射波信号Ｃ
２2 の伝搬時間の計測値ＴＢは、ＴＢ＝（ＴO ’＋
Ｔ1 ’）＝（ＴO ＋Ｔ1 ）−ΔＴ2 である。
接波・反射波信号Ｃ２1 についても同様に、しきい値Ｖ
O に係る垂線Ｗｃが基準となる。よって直接波・反射波
信号Ｃ２1 の伝搬時間の計測値ＴＢは、（ＴO ’＋
Ｔ1 ’）となる。図３（Ｂ）から理解できるように、
（ＴO ’＋Ｔ1 ’）は、真値（ＴO ＋Ｔ1 ）よりもΔＴ
2 短縮されている。換言すれば、直接波・反射波信号Ｃ
２2 の伝搬時間の計測値ＴＢは、ＴＢ＝（ＴO ’＋
Ｔ1 ’）＝（ＴO ＋Ｔ1 ）−ΔＴ2 である。
【００２９】本実施例では、直接波信号Ｃ２の伝搬時間
の計測値ＴＡと、直接波・反射波信号Ｃ２1 の伝搬時間
の計測値ＴＢ（ＴＢ＞ＴＡ）とを用い、両者の計測値差
（ＴＢ−ＴＡ）を求める。従って、次の（１）式のよう
に展開できる。 ＴＢ−ＴＡ＝｛（ＴO ＋Ｔ1 ）−ΔＴ2 ｝−｛ＴO −ΔＴ1 ｝ ………（１） ＝ＴO ＋Ｔ1 −ΔＴ2 −ＴO ＋ΔＴ1 ………（２） ここでΔＴ2 及びΔＴ1 の双方はコンパレータのしきい
値ＶO に影響される因子であるため、実質的にΔＴ2 ＝
ΔＴ1 とみなし得る。そのため上記（２）式において、
ΔＴ2 の項とΔＴ1 の項とが相殺され、（３）式が成立
する。
の計測値ＴＡと、直接波・反射波信号Ｃ２1 の伝搬時間
の計測値ＴＢ（ＴＢ＞ＴＡ）とを用い、両者の計測値差
（ＴＢ−ＴＡ）を求める。従って、次の（１）式のよう
に展開できる。 ＴＢ−ＴＡ＝｛（ＴO ＋Ｔ1 ）−ΔＴ2 ｝−｛ＴO −ΔＴ1 ｝ ………（１） ＝ＴO ＋Ｔ1 −ΔＴ2 −ＴO ＋ΔＴ1 ………（２） ここでΔＴ2 及びΔＴ1 の双方はコンパレータのしきい
値ＶO に影響される因子であるため、実質的にΔＴ2 ＝
ΔＴ1 とみなし得る。そのため上記（２）式において、
ΔＴ2 の項とΔＴ1 の項とが相殺され、（３）式が成立
する。
【００３０】ＴＢ−ＴＡ＝Ｔ1 ……（３） 上記（３）式は次のことを意味する。即ち、計測値ＴＢ
と計測値ＴＡとの間の計測値差を求めれば、直接波信号
Ｃ２の伝搬時間の真値と、直接波・反射波信号Ｃ２1 の
伝搬時間の真値との差である真値Ｔ1 （Ｃ２K 〜Ｃ２1K
間の領域）が求められる。
と計測値ＴＡとの間の計測値差を求めれば、直接波信号
Ｃ２の伝搬時間の真値と、直接波・反射波信号Ｃ２1 の
伝搬時間の真値との差である真値Ｔ1 （Ｃ２K 〜Ｃ２1K
間の領域）が求められる。
【００３１】このようにしきい値ＶO の影響を解消でき
る本実施例では、使用環境温度等の変動等に起因してコ
ンパレータのしきい値ＶO が変動したとしても、それに
起因する計測誤差を実質的に解消できる。本実施例で
は次の（４）式、（５）式が成立し、（５）式からＬ1
を求める。 （Ｌ1 ／２Ｌ）＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕……（４） Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２Ｌ……（５） この結果、Ｌ1 に基づいて、磁歪材５の延設方向におけ
る永久磁石６の相対変位が検出される。図３は上記し
た操作手順の流れを示す。ステップＳ２では、電流パル
スＩｃが供給される。ステップＳ４では、直接波信号Ｃ
２の伝搬時間の計測値ＴＡが計測される。ここで前記し
たようにＴＡ＝ＴO ’＝ＴO −ΔＴ1 が成立する。
る本実施例では、使用環境温度等の変動等に起因してコ
ンパレータのしきい値ＶO が変動したとしても、それに
起因する計測誤差を実質的に解消できる。本実施例で
は次の（４）式、（５）式が成立し、（５）式からＬ1
を求める。 （Ｌ1 ／２Ｌ）＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕……（４） Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２Ｌ……（５） この結果、Ｌ1 に基づいて、磁歪材５の延設方向におけ
る永久磁石６の相対変位が検出される。図３は上記し
た操作手順の流れを示す。ステップＳ２では、電流パル
スＩｃが供給される。ステップＳ４では、直接波信号Ｃ
２の伝搬時間の計測値ＴＡが計測される。ここで前記し
たようにＴＡ＝ＴO ’＝ＴO −ΔＴ1 が成立する。
【００３２】ステップＳ６では反射波信号Ｃ３が検出さ
れる。ステップＳ８では、直接波・反射波信号Ｃ２1 の
伝搬時間の計測値ＴＢが計測される。ここでＴＢ＝（Ｔ
O ’＋Ｔ1 ’）＝（ＴO ＋Ｔ1 ）−ΔＴ2 が成立する。
ステップＳ１０では、計測値の差（ＴＢ−ＴＡ）が求め
られる。ここで（ＴＢ−ＴＡ）＝Ｔ1 が成立する。ステ
ップＳ１２では、Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２
Ｌに基づいて、Ｌ1 が求められる。
れる。ステップＳ８では、直接波・反射波信号Ｃ２1 の
伝搬時間の計測値ＴＢが計測される。ここでＴＢ＝（Ｔ
O ’＋Ｔ1 ’）＝（ＴO ＋Ｔ1 ）−ΔＴ2 が成立する。
ステップＳ１０では、計測値の差（ＴＢ−ＴＡ）が求め
られる。ここで（ＴＢ−ＴＡ）＝Ｔ1 が成立する。ステ
ップＳ１２では、Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２
Ｌに基づいて、Ｌ1 が求められる。
【００３３】（実施例の効果）以上説明したように本実
施例によれば、１個の永久磁石６の近傍から発生した弾
性波である直接波と、直接波が第１反射部１６と第２反
射部９とで反射した直接波・反射波を使用する。換言す
れば、伝搬時間ＴＡを計測した直接波信号Ｃ２と、その
直接波が第１反射部１６と第２反射部９とで反射した直
接波・反射波信号Ｃ２1 を使用する。
施例によれば、１個の永久磁石６の近傍から発生した弾
性波である直接波と、直接波が第１反射部１６と第２反
射部９とで反射した直接波・反射波を使用する。換言す
れば、伝搬時間ＴＡを計測した直接波信号Ｃ２と、その
直接波が第１反射部１６と第２反射部９とで反射した直
接波・反射波信号Ｃ２1 を使用する。
【００３４】そのため検出の際における基準距離を求め
る基準信号として、直接波・反射波信号Ｃ２1 を利用で
きる。よって、特開平２−１８３１１７号公報等の永久
磁石２個方式の磁歪式変位検出装置とは異なり、基準距
離を求める基準信号を形成するための固定用永久磁石を
用いることなく、検出精度が確保される。更に本実施例
では、（ＴＢ−ＴＡ）に基づいて、磁歪材５の延設方向
における永久磁石６の相対位置を検出するため、しきい
値を用いて信号を波形整形する場合において、しきい値
に起因する前記した誤差ΔＴ1 、ΔＴ2 を相殺できる。
そのため、検出精度の向上に有利である。故に、使用環
境温度の変動等に起因してしきい値の大きさが変動して
も、その影響を回避するのに有利である。
る基準信号として、直接波・反射波信号Ｃ２1 を利用で
きる。よって、特開平２−１８３１１７号公報等の永久
磁石２個方式の磁歪式変位検出装置とは異なり、基準距
離を求める基準信号を形成するための固定用永久磁石を
用いることなく、検出精度が確保される。更に本実施例
では、（ＴＢ−ＴＡ）に基づいて、磁歪材５の延設方向
における永久磁石６の相対位置を検出するため、しきい
値を用いて信号を波形整形する場合において、しきい値
に起因する前記した誤差ΔＴ1 、ΔＴ2 を相殺できる。
そのため、検出精度の向上に有利である。故に、使用環
境温度の変動等に起因してしきい値の大きさが変動して
も、その影響を回避するのに有利である。
【００３５】（他の例）上記した実施例では、収容管体
１０は車体等の固定部に固定されており、永久磁石６が
可動部６０に保持されており、可動部６０の移動に伴い
永久磁石６が収容管体１０の長さ方向に沿って移動する
方式である。しかしこれに限らず、永久磁石６を固定方
式とし、収容管体１０を可動部６０に保持し、可動部６
０の移動に伴い収容管体１０を永久磁石６に対して移動
させる方式としても良い。
１０は車体等の固定部に固定されており、永久磁石６が
可動部６０に保持されており、可動部６０の移動に伴い
永久磁石６が収容管体１０の長さ方向に沿って移動する
方式である。しかしこれに限らず、永久磁石６を固定方
式とし、収容管体１０を可動部６０に保持し、可動部６
０の移動に伴い収容管体１０を永久磁石６に対して移動
させる方式としても良い。
【００３６】
【発明の効果】請求項１によれば、１個の永久磁石の近
傍から発生した弾性波である直接波と、直接波が第１反
射部と第２反射部とで反射した直接波・反射波を使用す
る。そのため変位検出の際における基準距離を求める基
準信号として、直接波・反射波を利用できる。よって、
特開平２−１８３１１７号公報等の永久磁石２個方式の
磁歪式変位検出装置とは異なり、基準信号を形成するた
めの固定用永久磁石を用いることなく、検出精度が確保
される。
傍から発生した弾性波である直接波と、直接波が第１反
射部と第２反射部とで反射した直接波・反射波を使用す
る。そのため変位検出の際における基準距離を求める基
準信号として、直接波・反射波を利用できる。よって、
特開平２−１８３１１７号公報等の永久磁石２個方式の
磁歪式変位検出装置とは異なり、基準信号を形成するた
めの固定用永久磁石を用いることなく、検出精度が確保
される。
【００３７】請求項２、３に係る装置によれば、（ＴＢ
−ＴＡ）に基づいて、磁歪材の延設方向における永久磁
石の相対位置を検出する。このようにすれば、しきい値
を用いて信号を波形整形する場合において、しきい値に
起因する誤差を相殺できる。従って、永久磁石の相対変
位を検出する検出精度の向上に有利である。故に、使用
環境温度の変動等に起因してしきい値の大きさが変動し
ても、その影響を回避するのに有利である。
−ＴＡ）に基づいて、磁歪材の延設方向における永久磁
石の相対位置を検出する。このようにすれば、しきい値
を用いて信号を波形整形する場合において、しきい値に
起因する誤差を相殺できる。従って、永久磁石の相対変
位を検出する検出精度の向上に有利である。故に、使用
環境温度の変動等に起因してしきい値の大きさが変動し
ても、その影響を回避するのに有利である。
【００３８】請求項３に係る装置によれば、（ＴＢ−Ｔ
Ａ）の時間が第１反射部と第２反射部との間の往復距離
（２×Ｌ）に相当する。この往復距離は固定値であるた
め、基準距離となり得、検出精度の向上に貢献できる。
Ａ）の時間が第１反射部と第２反射部との間の往復距離
（２×Ｌ）に相当する。この往復距離は固定値であるた
め、基準距離となり得、検出精度の向上に貢献できる。
【図１】実施例に係る構成図である。
【図２】実施例に係る信号波形のタイミングを示す説明
図である。
図である。
【図３】しきい値に起因する誤差を相殺する形態を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】実施例に係る操作手順を示すフローチャートで
ある。
ある。
【図５】実施例に係る信号波形のタイミングを示す説明
図である。
図である。
【図６】別の従来技術に係る構成図である。
【図７】従来技術に係る信号波形のタイミングを示す説
明図である。
明図である。
図中、１は基体、１６は第１反射部、４は受信コイル
（受信手段）、５は磁歪材、６は永久磁石、７０はパル
ス供給回路（パルス供給手段）、７５は波形整形回路、
９は第２反射部を示す。
（受信手段）、５は磁歪材、６は永久磁石、７０はパル
ス供給回路（パルス供給手段）、７５は波形整形回路、
９は第２反射部を示す。
Claims (3)
- 【請求項１】所定の間隔を隔てて設けられ弾性波を反射
する第１反射部と第２反射部との間に延設された磁歪材
と、 前記磁歪材の延設方向に沿って相対移動可能な永久磁石
と、 前記磁歪材にこれの延設方向に沿って流れる電流パルス
を供給するパルス供給手段と、 前記電流パルスによる磁場と前記永久磁石による磁場と
に基づいて前記磁歪材のうち前記永久磁石の近傍で発生
し磁歪材を伝搬した弾性波を受信する受信手段と、 前記受信手段による弾性波の受信に伴い弾性波の伝搬時
間を求め、前記伝搬時間に基づいて前記磁歪材の延設方
向における前記永久磁石の相対変位を検出する検出手段
とを具備する磁歪式変位検出装置において、 前記検出手段は、 前記磁歪材上を一方向に進行し前記受信手段で受信され
た前記弾性波の伝搬時間をＴＡとし、前記ＴＡが測定さ
れた前記弾性波が前記第１反射部及び前記第２反射部に
よる反射により前記第１反射部と前記第２反射部との間
を少なくとも１回往復した後の伝搬時間をＴＢとしたと
き、 前記伝搬時間ＴＡと前記伝搬時間ＴＢとに基づいて、前
記永久磁石の相対変位を検出することを特徴とする磁歪
式変位検出装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記検出手段は、 ＴＡと（ＴＢ−ＴＡ）とに基づいて、前記永久磁石の相
対変位を検出することを特徴とする磁歪式変位検出装
置。 - 【請求項３】請求項２において、前記検出手段は、 前記ＴＡが測定された前記弾性波が前記第１反射部及び
前記第２反射部による反射により前記第１反射部と前記
第２反射部との間を１回往復した後の伝搬時間をＴＢと
し、 前記第１反射部と前記第２反射部との間の距離をＬと
し、前記第１反射部と前記永久磁石との間の距離をＬ1
としたとき、 Ｌ1 ＝〔ＴＡ／（ＴＢ−ＴＡ）〕×２Ｌに基づいて、前
記永久磁石の相対変位を検出することを特徴とする磁歪
式変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6678397A JPH10260031A (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 磁歪式変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6678397A JPH10260031A (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 磁歪式変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10260031A true JPH10260031A (ja) | 1998-09-29 |
Family
ID=13325818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6678397A Pending JPH10260031A (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 磁歪式変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10260031A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102095358A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-06-15 | 上海交通大学 | 精密位移传感装置 |
-
1997
- 1997-03-19 JP JP6678397A patent/JPH10260031A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102095358A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-06-15 | 上海交通大学 | 精密位移传感装置 |
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