JP2001153639A - 磁歪線を用いた測尺装置 - Google Patents
磁歪線を用いた測尺装置Info
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
速度及びレシーブ波の振幅が変化しても誤差のない位置
検出が可能な磁歪線を用いた測尺装置を提案する。 【解決手段】 この磁歪線を用いた測尺装置は、ドライ
ブコイル2に印加する駆動パルスにより磁歪線1に超音
波振動を発生させるタイミングを、磁歪線1を伝搬する
超音波振動が磁歪線1の他端の開放端で反射して、ドラ
イブコイル2の位置まで戻ってくる時間に同期させ、超
音波振動が磁歪線1を伝搬し、磁石片4の配設された位
置を通過するとき、レシーブコイル3に発生するレシー
ブ波信号を検出してから、更に超音波振動が磁歪線1の
他端の開放端で反射して、再度磁石片4の配設された位
置を通過するとき、レシーブコイル3に発生する反射レ
シーブ波信号を検出するまでの時間により、磁石片4の
位置を測定するものである。
Description
タンドのガソリンンタンクの液面の測定、油圧シリンダ
ー内部に組み込みピストンロッドのストローク検出また
は各種産業機械の可動部の位置検出等に使用して好適な
磁歪線を用いた測尺装置に関する。
たは縮小する超音波磁歪遅延線を用いた測長装置として
本出願人が提案している特公平7−62612号公報記
載の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置がある。
遅延線を用いた測長装置について説明する。図4におい
て、1は超音波磁歪遅延線(磁歪線)であり、2は送波
器に設けられたドライブコイルであり、超音波磁歪遅延
線1の一端に配接される。3は検出コイル(レシーブコ
イル)であり、超音波磁歪遅延線1の外周に測長範囲の
全域に亘って巻回される。4は超音波磁歪遅延線1の長
さ方向の測長範囲全域にわたって移動可能に所定距離離
隔して対向して配置された磁石片である。5は駆動パル
ス発生回路であり、反射波検出に同期して送波器のドラ
イブコイル2に所定の駆動パルスAを印加する。6はレ
シーブコイル3に発生するレシーブ波の誘起電圧として
のレーシーブ波信号Bを検出するレシーブ波検出回路で
ある。7はドライブコイル2に発生した反射波を検出す
る反射波検出回路である。8は演算回路であり、反射波
検出から次の反射波検出までの時間(超音波振動が磁歪
線1を1往復する時間)と反射波検出からレシーブ波検
出までの遅れ時間を計算してその距離に相当する信号を
出力端子から出力するようにするものである。Cは送波
器のドライブコイル2により磁歪線1の長さ方向に伝搬
する超音波振動の反射レシーブ波信号である。
パルス発生回路5からの駆動パルスAによって、送波器
のドライブコイル2から超音波磁歪遅延線1に超音波振
動を加えると、超音波磁歪遅延線1を超音波が伝搬して
ゆく。レシーブ波信号Bはレシーブコイル3に発生する
電圧の信号波形である。T1は超音波振動が超音波磁歪
遅延線1内を1往復する時間である。T2は駆動パルス
Aからレシーブ波信号Bまでの時間である。
ブコイル2に駆動パルスAを印加するとドライブコイル
2に瞬間的に磁界が発生する。このドライブコイル2に
発生した磁界により瞬間的に超音波磁歪遅延線1に磁歪
現象が起こり、超音波磁歪遅延線1を超音波振動が伝搬
していく。
ーブコイル3にパルス電圧は発生しないが、超音波磁歪
遅延線1に接近して磁石片4を置くと、超音波磁歪遅延
線1が部分的に磁化されるため、この磁石片4を超音波
振動が通過するとき、レシーブコイル3の透磁率が小さ
くなるいわゆる逆磁歪現象によりレシーブコイル3に誘
導起電力によるレシーブ波信号Bが発生する。レシーブ
波検出回路6では、レシーブ波の振幅がレシーブ波検出
レベルVthより大きくなった時点を検出する。
磁歪線1を伝搬していき、ドライブコイル2と反対側の
開放端で反射し、磁石片4の位置を再度通過するが、こ
のとき反射レシーブ波信号Cが発生する。そして、また
ドライブコイル2の位置まで戻ってくる。
戻ってきたとき、ドライブコイル2に逆磁歪現象による
誘導起電力が発生し反射波が発生する。尚、図示してな
いが、ドライブコイルには超音波振動を発生させる磁界
の動作点を最適にするための磁石片があり、常に一定の
磁界が加わっている。この反射波を反射波検出回路7で
検出する。駆動パルス検出回路5では、反射波検出と同
期してドライブコイル2に駆動パルスを送る。
新しい超音波振動を発生させるため、磁歪線1には常に
1つの超音波振動が伝搬している。
発生から次の駆動パルス発生までの時間T1、つまり超
音波振動が磁歪線1を1往復する時間と、駆動パルス発
生からレシーブ波検出までの時間T2を演算して、距離
に相当する信号を出力する。
従来の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置では、超音波
振動が超音波磁歪遅延線1を往復する時間をT1、反射
検出からレシーブ波検出までの時間をT2、磁歪線1の
長さをL、ドライブコイル2から磁石片4までの距離を
S、超音波振動が磁歪線1を伝搬する速度をVとする
と、T1は数1式、T2は数2式となることから、Sは
数3式となる。
する速度Vが温度変化等により変化しても、伝搬速度V
に依存することなくドライブコイル2から磁石片4まで
の距離Sを求めることができる。要するに、伝搬速度V
の変化を補正することができる。しかし、図6に示すよ
うに、温度変化等によりレシーブ波信号Bの振幅が変化
した場合、これを補正する機能を持っていないため、検
出誤差が発生するという不都合があった。
形を示し、B’は振幅が小さいときを示している。図6
において、共にレシーブ波検出レベルVthより大きく
なった時点を検出するため、駆動パルス発生からレシー
ブ波検出までの時間T2とT2’との間で差が出てしま
うため、この差が直接検出誤差となっていた。
で、温度変化等により超音波振動が磁歪線を伝搬する速
度及びレシーブ波の振幅が変化しても誤差のない正確な
位置検出を可能にすることを目的とする磁歪線を用いた
測尺装置を提案しようとするものである。
測尺装置は、磁歪線の一端に送波器を配設し、他端を開
放端とし、磁歪線の外周に測長範囲全域に亘って検出コ
イルを配設し、磁歪線に沿って検出片を移動可能に配設
し、送波器に加える駆動パルスに対する検出コイルに信
号波形電圧が発生するまでの時間により、検出片の位置
を測定する磁歪線を用いた測尺装置において、送波器に
印加する駆動パルスにより磁歪線に超音波振動を発生さ
せるタイミングを、磁歪線を伝搬する超音波振動が磁歪
線の他端の開放端で反射して、送波器の配設される位置
まで戻ってくる時間に同期させるようにし、超音波振動
が磁歪線を伝搬し、検出片の配設された位置を通過する
とき、検出コイルに発生する信号波形電圧を検出してか
ら、更に超音波振動が磁歪線の他端の開放端で反射し
て、再度検出片の配設された位置を通過するとき、検出
コイルに発生する反射信号波形電圧を検出するまでの時
間により、検出片の位置を測定するようにしたものであ
る。
変化等により検出コイルに発生する信号波形電圧の振幅
が変化した場合でも、変化前後の検出される時間に差が
出ず誤差が発生しないため誤差のない正確な位置決めが
可能となる。
本実施の形態の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置につ
いて説明する。図1において、1は磁歪線である。2は
ドライブコイル(送波器)であり、磁歪線1の一端に配
設される。3はレシーブコイル(検出コイル)であり、
磁歪線1の外周に測長範囲の全域に亘って巻回される。
4は磁歪線1の長さ方向の測長範囲全域にわたってに移
動可能に所定距離離隔して対向して配置された磁石片で
ある。5は駆動パルス発生回路であり、反射波検出に同
期してドライブコイル2に所定の駆動パルスAを印加す
る。6はレシーブ波検出回路であり、レシーブコイル3
に発生する誘起電圧としてのレシーブ波信号B及び反射
レシーブ波信号Cを検出するものである。7はドライブ
コイル2に発生した反射波を検出する反射波検出回路で
ある。9は演算回路であり、反射波検出から次の反射波
検出までの時間(超音波振動が磁歪線1を1往復する時
間)とレシーブ波検出から反射レシーブ波検出までの遅
れ時間を計算してその距離に相当する信号を出力端子か
ら出力するようにするものである。
波磁歪遅延線を用いた測長装置が図4に示した従来の超
音波磁歪遅延線を用いた測長装置と異なる点は、演算回
路9で、反射波検出から次の反射波検出までの時間(超
音波振動が磁歪線1を1往復する時間)とレシーブ波検
出から反射レシーブ波検出までの遅れ時間を計算してそ
の距離に相当する信号を出力する点である。
パルス発生回路5からの駆動パルスAによって、送波器
のドライブコイル2から超音波磁歪遅延線1に超音波振
動を加えると、超音波磁歪遅延線1を超音波が伝搬して
ゆく。レシーブ波信号Bはレシーブコイル3に発生する
電圧の信号波形である。T1は超音波振動が超音波磁歪
遅延線1内を1往復する時間である。T3はレシーブ波
信号Bから反射レシーブ波信号Cの検出までの時間であ
る。
ブコイル2に駆動パルスAを印加するとドライブコイル
2に瞬間的に磁界が発生する。このドライブコイル2に
発生した磁界により瞬間的に超音波磁歪遅延線1に磁歪
現象が起こり、超音波磁歪遅延線1を超音波振動が伝搬
していく。
ーブコイル3にパルス電圧は発生しないが、超音波磁歪
遅延線1に接近して磁石片4を置くと、超音波磁歪遅延
線1が部分的に磁化されるため、この磁石片4を超音波
振動が通過するとき、レシーブコイル3の透磁率が小さ
くなるいわゆる逆磁歪現象によりレシーブコイル3に誘
導起電力によるレシーブ波信号Bが発生する。レシーブ
波検出回路6では、レシーブ波の振幅がレシーブ波検出
レベルVthより大きくなった時点を検出する。
磁歪線1を伝搬していき、ドライブコイル2と反対側の
開放端で反射し、磁石片4の位置を再度通過するが、こ
のとき反射レシーブ波信号Cが発生する。そして、また
ドライブコイル2の位置まで戻ってくる。
戻ってきたとき、ドライブコイル2に逆磁歪現象による
誘導起電力が発生し反射波が発生する。尚、図示してな
いが、ドライブコイルには超音波振動を発生させる磁界
の動作点を最適にするための磁石片があり、常に一定の
磁界が加わっている。この反射波を反射波検出回路7で
検出する。駆動パルス検出回路5では、反射波検出と同
期してドライブコイル2に駆動パルスを送る。
新しい超音波振動を発生させるため、磁歪線1には常に
1つの超音波振動が伝搬している。
発生から次の駆動パルス発生までの時間T1、つまり超
音波振動が磁歪線1を1往復する時間と、レシーブ波B
の検出から反射レシーブ波Cの検出までの時間T3を演
算して、距離に相当する信号を出力する。
波形を示し、Cは通常の反射レシーブ波信号波形を示
し、B’は波形が小さいときのレシーブ波信号波形を示
し、C’は波形が小さいときの反射レシーブ波信号波形
を示す。図3に示すように温度変化等によりレシーブ波
Bの振幅がB’に変化した場合、それと同様に反射レシ
ーブ波Cの振幅もC’に変化する。そのため、レシーブ
波検出レベルVthより大きくなった時点を検出する、
通常のレシーブ波信号Bの検出から反射レシーブ波信号
Cの検出までの時間T3は、振幅の小さいレシーブ波信
号B’の検出から反射レシーブ波信号C’の検出までの
時間T3’と変わらない。
の振幅が変化した場合でも、検出される時間T3および
T3’に差が出ず誤差が発生しないため誤差のない正確
な位置決めが可能となる。
る時間をT1、レシーブコイル3に発生するレシーブ波
信号Bの検出から反射レシーブ波信号Cの検出までの時
間をT3、磁歪線1の長さをL、ドライブコイル2から
磁石片4までの長さをS、超音波振動が磁歪線1を伝搬
する速度をVとすると、T1は数4式、T3は数5式に
示すようになることから、数4式および数5式からVを
消去することによりSは数6式となる。
る速度Vが温度変化等により変化しても、伝搬速度Vに
依存することなくドライブコイル2から磁石片4までの
距離Sを求めることができる。
た測尺装置によれば、温度変化等により超音波振動が磁
歪線を伝搬する速度及びレシーブ波の振幅が変化しても
誤差のない正確な位置検出が可能となる。
歪線の一端に送波器を配設し、他端を開放端とし、磁歪
線の外周に測長範囲全域に亘って検出コイルを配設し、
磁歪線に沿って検出片を移動可能に配設し、送波器に加
える駆動パルスに対する検出コイルに信号波形電圧が発
生するまでの時間により、検出片の位置を測定する磁歪
線を用いた測尺装置において、送波器に印加する駆動パ
ルスにより磁歪線に超音波振動を発生させるタイミング
を、磁歪線を伝搬する超音波振動が磁歪線の他端の開放
端で反射して、送波器の配設される位置まで戻ってくる
時間に同期させるようにし、超音波振動が磁歪線を伝搬
し、検出片の配設された位置を通過するとき、検出コイ
ルに発生する信号波形電圧を検出してから、更に超音波
振動が磁歪線の他端の開放端で反射して、再度検出片の
配設された位置を通過するとき、検出コイルに発生する
反射信号波形電圧を検出するまでの時間により、検出片
の位置を測定するようにしたので、温度変化等により検
出コイルに発生する信号波形電圧の振幅が変化した場合
でも、変化前後の検出される時間に差が出ず誤差が発生
しないため誤差のない正確な位置決めを可能とすること
ができるという効果を奏する。
は、上述において、駆動パルスにより磁歪線に超音波振
動を発生させてから、磁歪線を伝搬する超音波振動が磁
歪線の他端の開放端で反射して、送波器の配設される位
置まで戻ってきて次の駆動パルスを発生させる時間と、
超音波振動が磁歪線を伝搬し、検出片の配設された位置
を通過するとき、検出コイルに発生する信号波形電圧を
検出してから、更に超音波振動が磁歪線の他端の開放端
で反射して、再度検出片の配設された位置を通過すると
き、検出コイルに発生する反射信号波形電圧を検出する
までの時間の比から検出片の位置を測定するので、温度
変化等により超音波振動が磁歪線を伝搬する速度及び検
出コイルに発生する信号波形の振幅が変化しても誤差の
ない正確な位置検出を可能とすることができるという効
果を奏する。
図である。
図である。
図である。
る。
る。
る。
コイル、4……磁石片、5……駆動パルス発生回路、6
……レシーブ波検出回路、7……反射波検出回路、9…
…演算回路
Claims (2)
- 【請求項1】 磁歪線の一端に送波器を配設し、他端を
開放端とし、上記磁歪線の外周に測長範囲全域に亘って
検出コイルを配設し、上記磁歪線に沿って検出片を移動
可能に配設し、上記送波器に加える駆動パルスに対する
上記検出コイルに信号波形電圧が発生するまでの時間に
より、上記検出片の位置を測定する磁歪線を用いた測尺
装置において、 上記送波器に印加する上記駆動パルスにより上記磁歪線
に超音波振動を発生させるタイミングを、上記磁歪線を
伝搬する上記超音波振動が上記磁歪線の他端の開放端で
反射して、上記送波器の配設される位置まで戻ってくる
時間に同期させるようにし、 上記超音波振動が上記磁歪線を伝搬し、上記検出片の配
設された位置を通過するとき、上記検出コイルに発生す
る信号波形電圧を検出してから、更に上記超音波振動が
上記磁歪線の他端の開放端で反射して、再度上記検出片
の配設された位置を通過するとき、上記検出コイルに発
生する反射信号波形電圧を検出するまでの時間により、
上記検出片の位置を測定するようにしたことを特徴とす
る磁歪線を用いた測尺装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の磁歪線を用いた測尺装置
において、 上記駆動パルスにより上記磁歪線に超音波振動を発生さ
せてから、上記磁歪線を伝搬する上記超音波振動が上記
磁歪線の他端の開放端で反射して、上記送波器の配設さ
れる位置まで戻ってきて次の駆動パルスを発生させる時
間と、上記超音波振動が上記磁歪線を伝搬し、上記検出
片の配設された位置を通過するとき、上記検出コイルに
発生する信号波形電圧を検出してから、更に上記超音波
振動が上記磁歪線の他端の開放端で反射して、再度上記
検出片の配設された位置を通過するとき、上記検出コイ
ルに発生する反射信号波形電圧を検出するまでの時間の
比から上記検出片の位置を測定することを特徴とする磁
歪線を用いた測尺装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33297399A JP2001153639A (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 磁歪線を用いた測尺装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33297399A JP2001153639A (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 磁歪線を用いた測尺装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001153639A true JP2001153639A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18260901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33297399A Pending JP2001153639A (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 磁歪線を用いた測尺装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001153639A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1691173A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-08-16 | Gefran Sensori S.r.l. | Magnetostrictive position sensor |
JP2020518810A (ja) * | 2017-05-24 | 2020-06-25 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー. カー・ゲーSchaeffler Technologies AG & Co. KG | 回転部品の角度を決定する装置 |
-
1999
- 1999-11-24 JP JP33297399A patent/JP2001153639A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1691173A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-08-16 | Gefran Sensori S.r.l. | Magnetostrictive position sensor |
JP2020518810A (ja) * | 2017-05-24 | 2020-06-25 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー. カー・ゲーSchaeffler Technologies AG & Co. KG | 回転部品の角度を決定する装置 |
US11555688B2 (en) | 2017-05-24 | 2023-01-17 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Device having two mutually spaced sensor loops for determining the angle of a rotating component |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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|
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A02 | Decision of refusal |
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