JPH07306030A - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
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- JPH07306030A JPH07306030A JP12304994A JP12304994A JPH07306030A JP H07306030 A JPH07306030 A JP H07306030A JP 12304994 A JP12304994 A JP 12304994A JP 12304994 A JP12304994 A JP 12304994A JP H07306030 A JPH07306030 A JP H07306030A
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- JP
- Japan
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- receiver
- permanent magnet
- displacement
- current pulse
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】優れた温度特性を有する変位検出装置を提供す
る。 【構成】磁歪線１の始端部側よりその軸線方向に電流パ
ルスを流し、磁歪線１に沿って移動可能な永久磁石１２
の近接する磁歪線１の部位で捩り弾性波を発生させ、磁
歪線１の始端部側に配置した受信器１０で捩り弾性波を
受信することにより、永久磁石１２に与えられる機械的
変位を検出する。受信器１０の背後に位置する磁歪線の
始端部には捩り弾性波を吸収するダンピング材５，６が
設けられ、磁歪線１の終端部側の特定位置には捩り弾性
波を反射する反射部材９が設けられる。永久磁石１２の
近接部で発生した捩り弾性波または反射部材９で反射し
た捩り弾性波の伝播時間を計測することにより、永久磁
石１２の変位を検出する。
る。 【構成】磁歪線１の始端部側よりその軸線方向に電流パ
ルスを流し、磁歪線１に沿って移動可能な永久磁石１２
の近接する磁歪線１の部位で捩り弾性波を発生させ、磁
歪線１の始端部側に配置した受信器１０で捩り弾性波を
受信することにより、永久磁石１２に与えられる機械的
変位を検出する。受信器１０の背後に位置する磁歪線の
始端部には捩り弾性波を吸収するダンピング材５，６が
設けられ、磁歪線１の終端部側の特定位置には捩り弾性
波を反射する反射部材９が設けられる。永久磁石１２の
近接部で発生した捩り弾性波または反射部材９で反射し
た捩り弾性波の伝播時間を計測することにより、永久磁
石１２の変位を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁歪現象を用いて物体の
機械的変位や液面の変位などを検出する磁歪式変位検出
装置に関するものである。
機械的変位や液面の変位などを検出する磁歪式変位検出
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁歪式変位検出装置として、磁歪
線に電流パルスを流すことにより、磁歪線に沿って移動
可能な永久磁石の近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を
発生させ、磁歪線の特定部位に設けた受信器までの捩り
弾性波の伝播時間を計測することにより、永久磁石に与
えられる機械的変位を検出するものが知られている。
線に電流パルスを流すことにより、磁歪線に沿って移動
可能な永久磁石の近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を
発生させ、磁歪線の特定部位に設けた受信器までの捩り
弾性波の伝播時間を計測することにより、永久磁石に与
えられる機械的変位を検出するものが知られている。
【０００３】上記受信器としては、触子を磁歪線に対し
てほぼ直交して接触させ、捩り弾性波を触子の軸方向力
に変換し、触子の端部に取り付けた圧電素子で捩り弾性
波の到来を検出するものや、逆磁歪効果(Villari effec
t)を利用して磁歪線を伝播した捩り弾性波の到来を非接
触で検出する受信用コイル等がある。
てほぼ直交して接触させ、捩り弾性波を触子の軸方向力
に変換し、触子の端部に取り付けた圧電素子で捩り弾性
波の到来を検出するものや、逆磁歪効果(Villari effec
t)を利用して磁歪線を伝播した捩り弾性波の到来を非接
触で検出する受信用コイル等がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この種の変位検出装置
の場合、温度変化により測定精度が変動しないのが理想
的である。磁歪線の選定および回路の設計に注意すれ
ば、温度による変動（以下、温度ドリフトという）は 0.005mm/℃＋( 10ppm/℃) ×Ｓ 程度であると言われている。上式において、Ｓは測定ス
トロークである。第１項は信号検出回路の温度ドリフト
であり、測定ストロークＳには関係がない。また、第２
項は超音波信号の伝播速度の温度ドリフトによるもので
あり、測定ストロークＳに比例する。第１項の温度ドリ
フトを消去するため、本出願人は、固定と可動の２種の
永久磁石を用いた変位検出装置（特開平２−１８３１１
７号公報）を提案しているが、この装置でも第２項の伝
播速度による温度ドリフトは避けられない。
の場合、温度変化により測定精度が変動しないのが理想
的である。磁歪線の選定および回路の設計に注意すれ
ば、温度による変動（以下、温度ドリフトという）は 0.005mm/℃＋( 10ppm/℃) ×Ｓ 程度であると言われている。上式において、Ｓは測定ス
トロークである。第１項は信号検出回路の温度ドリフト
であり、測定ストロークＳには関係がない。また、第２
項は超音波信号の伝播速度の温度ドリフトによるもので
あり、測定ストロークＳに比例する。第１項の温度ドリ
フトを消去するため、本出願人は、固定と可動の２種の
永久磁石を用いた変位検出装置（特開平２−１８３１１
７号公報）を提案しているが、この装置でも第２項の伝
播速度による温度ドリフトは避けられない。
【０００５】そこで、本発明の目的は、検出回路の温度
ドリフトだけでなく、超音波信号の伝播速度に起因する
温度ドリフトも小さくでき、安定した精度の変位検出装
置を提供することにある。本発明の他の目的は、固定と
可動の２種の永久磁石を用いることなく、高精度に変位
を検出できる変位検出装置を提供することにある。
ドリフトだけでなく、超音波信号の伝播速度に起因する
温度ドリフトも小さくでき、安定した精度の変位検出装
置を提供することにある。本発明の他の目的は、固定と
可動の２種の永久磁石を用いることなく、高精度に変位
を検出できる変位検出装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、磁歪線の始端部側よりその軸線方向に電
流パルスを流し、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の
近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線
の始端部側に配置した受信器で捩り弾性波を受信するこ
とにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検出する
装置において、上記受信器の背後に位置する磁歪線の始
端部に捩り弾性波を吸収するダンピング材を設けるとと
もに、磁歪線の終端部側の特定位置に捩り弾性波を反射
する反射部材を設けたものである。
に、本発明は、磁歪線の始端部側よりその軸線方向に電
流パルスを流し、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の
近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線
の始端部側に配置した受信器で捩り弾性波を受信するこ
とにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検出する
装置において、上記受信器の背後に位置する磁歪線の始
端部に捩り弾性波を吸収するダンピング材を設けるとと
もに、磁歪線の終端部側の特定位置に捩り弾性波を反射
する反射部材を設けたものである。
【０００７】
【作用】磁歪線の永久磁石の近接する部位で発生した捩
り弾性波（超音波) は受信器側（始端側) へ伝播する同
時に、その反対側（終端側) へも伝播する。始端側へ伝
播した超音波は受信器で受信され、終端側へ伝播した超
音波は反射部材で反射した後、磁歪線を逆方向へ伝播し
て受信器で受信される。反射部材で反射した超音波は、
永久磁石で発生した波形の位相が反転した波形として受
信器で受信される。これら２つの信号の到達時刻から、
永久磁石の位置を温度ドリフトの影響の極めて少なくか
つ高精度に求めることができる。
り弾性波（超音波) は受信器側（始端側) へ伝播する同
時に、その反対側（終端側) へも伝播する。始端側へ伝
播した超音波は受信器で受信され、終端側へ伝播した超
音波は反射部材で反射した後、磁歪線を逆方向へ伝播し
て受信器で受信される。反射部材で反射した超音波は、
永久磁石で発生した波形の位相が反転した波形として受
信器で受信される。これら２つの信号の到達時刻から、
永久磁石の位置を温度ドリフトの影響の極めて少なくか
つ高精度に求めることができる。
【０００８】その１つの検出方法として、受信器から永
久磁石までの距離をｘとし、受信器から反射部材までの
距離をＬ（既知）とすると、次式により変位ｘを求める
ことができる。 ｘ＝２Ｌ・Ｔa ／（Ｔa ＋Ｔb ） 上式において、時間Ｔa およびＴa ＋Ｔb にはそれぞれ
検出回路の温度ドリフトと超音波信号の伝播速度の温度
ドリフトとが含まれるが、両者の温度ドリフトが互いに
相殺されるため、温度係数の非常に小さい、安定な変位
検出装置が得られる。
久磁石までの距離をｘとし、受信器から反射部材までの
距離をＬ（既知）とすると、次式により変位ｘを求める
ことができる。 ｘ＝２Ｌ・Ｔa ／（Ｔa ＋Ｔb ） 上式において、時間Ｔa およびＴa ＋Ｔb にはそれぞれ
検出回路の温度ドリフトと超音波信号の伝播速度の温度
ドリフトとが含まれるが、両者の温度ドリフトが互いに
相殺されるため、温度係数の非常に小さい、安定な変位
検出装置が得られる。
【０００９】さらに、安定な変位検出装置を得るには、
上式におけるＴa およびＴa ＋Ｔbの値の温度ドリフト
による影響を小さくするのが望ましい。Ｔa ＋Ｔb は伝
播速度ｖの逆数、即ちｖの温度係数に比例するので、Ｔ
a ＋Ｔb の基準温度における値と実際温度における値と
の差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）を求め、Ｔa およびＴa ＋Ｔbか
らこの差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）に比例する値を除算すれば、
温度変化の少ない変位ｘを求めることが可能となる。
上式におけるＴa およびＴa ＋Ｔbの値の温度ドリフト
による影響を小さくするのが望ましい。Ｔa ＋Ｔb は伝
播速度ｖの逆数、即ちｖの温度係数に比例するので、Ｔ
a ＋Ｔb の基準温度における値と実際温度における値と
の差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）を求め、Ｔa およびＴa ＋Ｔbか
らこの差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）に比例する値を除算すれば、
温度変化の少ない変位ｘを求めることが可能となる。
【００１０】また、分解能に優れた変位検出装置を得る
には、１回の電流パルスで変位ｘを測定する方法に代え
て、反射波が受信器に到達した時刻に次の電流パルスを
複数回繰り返し、複数回目の電流パルスによって発生し
た超音波または反射波の１回目の電流パルスからの伝播
時間ＴanまたはＴbnと、２回目の電流パルスによって発
生した超音波の伝播時間Ｔa2とを計測すれば、分解能に
優れた高精度の変位検出が可能である。この場合も、時
間Ｔa2の基準温度における値と実際温度における値との
差ΔＴa2を求め、ＴanまたはＴbnと、Ｔa2からこの差Δ
Ｔa2に比例する値を除算すれば、温度ドリフトの影響の
少ない変位ｘを求めることが可能となる。
には、１回の電流パルスで変位ｘを測定する方法に代え
て、反射波が受信器に到達した時刻に次の電流パルスを
複数回繰り返し、複数回目の電流パルスによって発生し
た超音波または反射波の１回目の電流パルスからの伝播
時間ＴanまたはＴbnと、２回目の電流パルスによって発
生した超音波の伝播時間Ｔa2とを計測すれば、分解能に
優れた高精度の変位検出が可能である。この場合も、時
間Ｔa2の基準温度における値と実際温度における値との
差ΔＴa2を求め、ＴanまたはＴbnと、Ｔa2からこの差Δ
Ｔa2に比例する値を除算すれば、温度ドリフトの影響の
少ない変位ｘを求めることが可能となる。
【００１１】反射部材としては、磁歪線を伝播する捩り
弾性波をできるだけ全反射させるため、例えば金属材料
を磁歪線に固着するのが望ましい。固着方法としては、
圧着、半田付け、ロー付、溶接、ネジ止めなど、あらゆ
る方法を用いることができる。反射部材として半田を用
いた場合、捩り弾性波を全反射させやすいこと、磁歪線
に歪みが生じないので不要な超音波が発生しにくいこ
と、半田溶融温度（約190 ℃）が磁歪線の再結晶温度よ
り低いので磁歪効果を劣化させないこと等の利点があ
る。永久磁石の部位で発生した超音波信号が受信器で受
信された後、磁歪線の始端部で反射して再び受信器で受
信されると、反射部材で反射した超音波信号と混同する
恐れがある。そのため、磁歪線の始端側にダンピング材
を設け、必要な波形と不要な波形との混同を防止してい
る。なお、本発明における磁歪線は、電流パルスが直接
供給される中実線に限るものではなく、特開昭５９−１
６２４１２号公報に記載のように、磁歪線をチューブ状
とし、この磁歪線の中央に電流パルスを流すための導線
を別に挿通したものでもよい。
弾性波をできるだけ全反射させるため、例えば金属材料
を磁歪線に固着するのが望ましい。固着方法としては、
圧着、半田付け、ロー付、溶接、ネジ止めなど、あらゆ
る方法を用いることができる。反射部材として半田を用
いた場合、捩り弾性波を全反射させやすいこと、磁歪線
に歪みが生じないので不要な超音波が発生しにくいこ
と、半田溶融温度（約190 ℃）が磁歪線の再結晶温度よ
り低いので磁歪効果を劣化させないこと等の利点があ
る。永久磁石の部位で発生した超音波信号が受信器で受
信された後、磁歪線の始端部で反射して再び受信器で受
信されると、反射部材で反射した超音波信号と混同する
恐れがある。そのため、磁歪線の始端側にダンピング材
を設け、必要な波形と不要な波形との混同を防止してい
る。なお、本発明における磁歪線は、電流パルスが直接
供給される中実線に限るものではなく、特開昭５９−１
６２４１２号公報に記載のように、磁歪線をチューブ状
とし、この磁歪線の中央に電流パルスを流すための導線
を別に挿通したものでもよい。
【００１２】
【実施例】図１は本発明にかかる磁歪式変位検出装置の
一例を示し、図２は受信器で受信された波形を示す。磁
歪線１の始端は、基台２上に固定された押板３と、支持
板４との間にシリコーンゴムなどのダンピング材５，６
を介して圧着されている。ダンピング材５，６によって
超音波（捩り弾性波）が吸収され、始端からの超音波の
反射が抑制される。また、磁歪線１の終端はスプリング
７を介して終端固定具８によって支持され、磁歪線１に
は常に一定の張力が与えられる。スプリング７の直前、
即ち磁歪線１のスプリング７より始端側の部位には、超
音波を反射させる反射部材９が固着されている。固着方
法は、半田、クランプ、溶接など如何なる方法でもよ
い。磁歪線１を終端側へ伝播した超音波は反射部材９で
殆ど全反射するため、スプリング７側へは超音波が殆ど
伝播しない。
一例を示し、図２は受信器で受信された波形を示す。磁
歪線１の始端は、基台２上に固定された押板３と、支持
板４との間にシリコーンゴムなどのダンピング材５，６
を介して圧着されている。ダンピング材５，６によって
超音波（捩り弾性波）が吸収され、始端からの超音波の
反射が抑制される。また、磁歪線１の終端はスプリング
７を介して終端固定具８によって支持され、磁歪線１に
は常に一定の張力が与えられる。スプリング７の直前、
即ち磁歪線１のスプリング７より始端側の部位には、超
音波を反射させる反射部材９が固着されている。固着方
法は、半田、クランプ、溶接など如何なる方法でもよ
い。磁歪線１を終端側へ伝播した超音波は反射部材９で
殆ど全反射するため、スプリング７側へは超音波が殆ど
伝播しない。
【００１３】磁歪線１の始端部、特にダンピング材５，
６より終端部側の近傍には、受信器１０が配置されてお
り、受信器１０に内蔵したコイル１０ａの中心部を磁歪
線１が非接触で貫通している。コイル１０ａは逆磁歪効
果を利用して磁歪線１を伝播する超音波の到来を検出す
る。コイル１０ａの負極は接地され、正極は増幅器１１
に接続される。
６より終端部側の近傍には、受信器１０が配置されてお
り、受信器１０に内蔵したコイル１０ａの中心部を磁歪
線１が非接触で貫通している。コイル１０ａは逆磁歪効
果を利用して磁歪線１を伝播する超音波の到来を検出す
る。コイル１０ａの負極は接地され、正極は増幅器１１
に接続される。
【００１４】磁歪線１の中間部には円環状の永久磁石１
２が軸線方向に移動自在に挿通されている。この実施例
では、永久磁石１２の内周面と外周面とにそれぞれＮ，
Ｓ極が着磁されているが、永久磁石１２の着磁方向は、
例えば両側面にＮ，Ｓ極を着磁したものでもよく、さら
に永久磁石１２の形状は円環状に限らず、直方体形、Ｕ
字形など如何なる形状でもよい。
２が軸線方向に移動自在に挿通されている。この実施例
では、永久磁石１２の内周面と外周面とにそれぞれＮ，
Ｓ極が着磁されているが、永久磁石１２の着磁方向は、
例えば両側面にＮ，Ｓ極を着磁したものでもよく、さら
に永久磁石１２の形状は円環状に限らず、直方体形、Ｕ
字形など如何なる形状でもよい。
【００１５】ダンピング材５，６から突出した磁歪線１
の始端にはパルス発生回路１３から電流パルスが供給さ
れ、磁歪線１の終端はアースされている。具体的には、
電流パルスはスプリング７を介してパルス発生回路１３
のアース側に戻される。電流パルスが供給されると、ビ
ーデマン効果により永久磁石１２の近接する磁歪線１の
部位で超音波が発生し、この超音波は磁歪線１の始端側
と終端側とに同時に伝播する。始端側へ伝播した超音波
は受信器１０で受信され、終端側へ伝播した超音波は反
射部材９で反射した後、永久磁石１２の近接する部位を
通過し、受信器１０で検出される。反射部材９で反射し
た際、超音波波形はその位相が反転するので、受信器１
０で受信された波形は図２のようになる。
の始端にはパルス発生回路１３から電流パルスが供給さ
れ、磁歪線１の終端はアースされている。具体的には、
電流パルスはスプリング７を介してパルス発生回路１３
のアース側に戻される。電流パルスが供給されると、ビ
ーデマン効果により永久磁石１２の近接する磁歪線１の
部位で超音波が発生し、この超音波は磁歪線１の始端側
と終端側とに同時に伝播する。始端側へ伝播した超音波
は受信器１０で受信され、終端側へ伝播した超音波は反
射部材９で反射した後、永久磁石１２の近接する部位を
通過し、受信器１０で検出される。反射部材９で反射し
た際、超音波波形はその位相が反転するので、受信器１
０で受信された波形は図２のようになる。
【００１６】図２において、波形ｐは電流パルス、波形
ａは永久磁石１２で発生した超音波信号、ｂは反射部材
９で反射した超音波信号である。信号ａ，ｂの伝播時間
Ｔa，Ｔb の測定点は、図２では波形のゼロクロス点と
しているが、図３のように−Ｖボルトでトリガーしても
よいし、図４のように波形の頂点で測定してもよい。い
ずれにしても、各波形の定点で波形の到着を検出すれば
よく、公知の方法でＴa ，Ｔb を測定できる。
ａは永久磁石１２で発生した超音波信号、ｂは反射部材
９で反射した超音波信号である。信号ａ，ｂの伝播時間
Ｔa，Ｔb の測定点は、図２では波形のゼロクロス点と
しているが、図３のように−Ｖボルトでトリガーしても
よいし、図４のように波形の頂点で測定してもよい。い
ずれにしても、各波形の定点で波形の到着を検出すれば
よく、公知の方法でＴa ，Ｔb を測定できる。
【００１７】増幅器１１の出力は検出回路１４に入力さ
れ、検出回路１４は入力された信号を波形成形するとと
もに、演算処理して、永久磁石１２に与えられる機械的
変位ｘを検出する。また、検出回路１４は後述するよう
に、反射部材９で反射した超音波が受信器１０で受信さ
れた時刻に次の電流パルスを発生するよう、パルス発生
回路１３を駆動する機能を有していてもよい。
れ、検出回路１４は入力された信号を波形成形するとと
もに、演算処理して、永久磁石１２に与えられる機械的
変位ｘを検出する。また、検出回路１４は後述するよう
に、反射部材９で反射した超音波が受信器１０で受信さ
れた時刻に次の電流パルスを発生するよう、パルス発生
回路１３を駆動する機能を有していてもよい。
【００１８】次に、永久磁石１２に与えられる機械的変
位ｘを求める方法を説明する。まず、受信器１０と永久
磁石１２との距離をｘ、受信器１０と反射部材９との距
離をＬ（一定）、永久磁石１２で発生した超音波の到達
時間をＴa 、反射部材９で反射した超音波の到達時間を
Ｔb 、超音波の伝播速度をｖとすると、各値は次式で与
えられる。 Ｔa ＝ｘ／ｖ …(1) Ｔb ＝（２Ｌ−ｘ）／ｖ …(2) (1) 式と(2) 式を加算すると、 Ｔa ＋Ｔb ＝２Ｌ／ｖ …(3) Ｌは既知であるから、 ｖ＝２Ｌ／（Ｔa ＋Ｔb ） …(4) のようにして、超音波の伝播速度ｖが求まる。そこで、
(1) 式と(4) 式とからｖを消去すると、次式となる。 ｘ＝２Ｌ・Ｔa ／（Ｔa ＋Ｔb ） …(5) また、(1) 式と(2) 式との差を取ると、次式となる。 Ｔb −Ｔa ＝２（Ｌ−ｘ）／ｖ …(6)
位ｘを求める方法を説明する。まず、受信器１０と永久
磁石１２との距離をｘ、受信器１０と反射部材９との距
離をＬ（一定）、永久磁石１２で発生した超音波の到達
時間をＴa 、反射部材９で反射した超音波の到達時間を
Ｔb 、超音波の伝播速度をｖとすると、各値は次式で与
えられる。 Ｔa ＝ｘ／ｖ …(1) Ｔb ＝（２Ｌ−ｘ）／ｖ …(2) (1) 式と(2) 式を加算すると、 Ｔa ＋Ｔb ＝２Ｌ／ｖ …(3) Ｌは既知であるから、 ｖ＝２Ｌ／（Ｔa ＋Ｔb ） …(4) のようにして、超音波の伝播速度ｖが求まる。そこで、
(1) 式と(4) 式とからｖを消去すると、次式となる。 ｘ＝２Ｌ・Ｔa ／（Ｔa ＋Ｔb ） …(5) また、(1) 式と(2) 式との差を取ると、次式となる。 Ｔb −Ｔa ＝２（Ｌ−ｘ）／ｖ …(6)
【００１９】上記構造の変位検出装置において、周囲の
温度が０〜６０℃に変化した時の各時間Ｔa ，Ｔb の実
験値，Ｔb −Ｔa ，Ｔa ＋Ｔb およびｘの計算値を次表
に示す。
温度が０〜６０℃に変化した時の各時間Ｔa ，Ｔb の実
験値，Ｔb −Ｔa ，Ｔa ＋Ｔb およびｘの計算値を次表
に示す。
【表１】 上記実験では、Ｌ＝３９７ｍｍとし、各時間の単位はμ
sec である。表の温度係数は、周囲温度２０℃を基準と
して、最小自乗法によって理想直線を求め、その傾斜か
ら温度係数を求めた。
sec である。表の温度係数は、周囲温度２０℃を基準と
して、最小自乗法によって理想直線を求め、その傾斜か
ら温度係数を求めた。
【００２０】従来では、(1) 式から変位ｘを求めていた
ため、その温度係数は40.3ppm/℃であったのに対し、本
発明では(5) 式のようにＴa の値を（Ｔa ＋Ｔb ）で除
算しているため、両者の温度係数が相殺され、温度係数
を 8.1ppm/℃まで低減できた。即ち、温度係数を従来の
約１／４まで低減でき、温度変化に対して安定な変位検
出装置が得られた。
ため、その温度係数は40.3ppm/℃であったのに対し、本
発明では(5) 式のようにＴa の値を（Ｔa ＋Ｔb ）で除
算しているため、両者の温度係数が相殺され、温度係数
を 8.1ppm/℃まで低減できた。即ち、温度係数を従来の
約１／４まで低減でき、温度変化に対して安定な変位検
出装置が得られた。
【００２１】上記のようにして求めた変位ｘの温度係数
は 8.1ppm/℃であり、温度特性が良好であるが、これを
更に向上させる方法を以下に説明する。周囲温度２０℃
における超音波の伝播速度は、(4) 式から ｖ＝２×397 ／289.1615 ＝2.75 mm ／μsec …(7) Ｔa の測定結果には検出回路の電気的温度ドリフトと超
音波信号の伝播速度の温度ドリフトとが含まれる。一
方、Ｔb −Ｔa では検出回路の温度ドリフトが相殺され
るので、伝播速度の温度ドリフトのみが含まれると考え
られる。Ｔa の温度係数が40.3ppm/℃であるのに対し、
Ｔb −Ｔa の温度係数が14.6ppm/℃と小さいのは、その
ためである。 40.3−14.6＝25.7 ppm／℃ …(8) この値が検出回路の電気的温度ドリフトに相当する。こ
れを周囲温度２０℃を基準にすると、 99.3185 ×25.7×10-6＝2.552 ×10-3μsec ／℃ …(9) (9) 式で得られた値は検出回路の電気的温度ドリフトで
あり、測定ストロークに関係なく周囲温度によって変化
するものである。
は 8.1ppm/℃であり、温度特性が良好であるが、これを
更に向上させる方法を以下に説明する。周囲温度２０℃
における超音波の伝播速度は、(4) 式から ｖ＝２×397 ／289.1615 ＝2.75 mm ／μsec …(7) Ｔa の測定結果には検出回路の電気的温度ドリフトと超
音波信号の伝播速度の温度ドリフトとが含まれる。一
方、Ｔb −Ｔa では検出回路の温度ドリフトが相殺され
るので、伝播速度の温度ドリフトのみが含まれると考え
られる。Ｔa の温度係数が40.3ppm/℃であるのに対し、
Ｔb −Ｔa の温度係数が14.6ppm/℃と小さいのは、その
ためである。 40.3−14.6＝25.7 ppm／℃ …(8) この値が検出回路の電気的温度ドリフトに相当する。こ
れを周囲温度２０℃を基準にすると、 99.3185 ×25.7×10-6＝2.552 ×10-3μsec ／℃ …(9) (9) 式で得られた値は検出回路の電気的温度ドリフトで
あり、測定ストロークに関係なく周囲温度によって変化
するものである。
【００２２】さて、Ｔa ＋Ｔb は、(3) 式から明らかな
ようにＬ（既知）に比例し、ｖに反比例する値であり、
ｘの変化に全く影響されない。ｖは温度によって変化す
るので、Ｔa ＋Ｔb の情報を得れば、その時の周囲温度
を推定することが可能である。例えば、周囲温度２０℃
におけるＴa ＋Ｔb の値を基準とし、０℃，４０℃，６
０℃の各温度における差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）を演算すれ
ば、表２が得られる。
ようにＬ（既知）に比例し、ｖに反比例する値であり、
ｘの変化に全く影響されない。ｖは温度によって変化す
るので、Ｔa ＋Ｔb の情報を得れば、その時の周囲温度
を推定することが可能である。例えば、周囲温度２０℃
におけるＴa ＋Ｔb の値を基準とし、０℃，４０℃，６
０℃の各温度における差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）を演算すれ
ば、表２が得られる。
【００２３】
【表２】 図５は表２における温度とΔ（Ｔa ＋Ｔb ）との関係を
図示したものである。表２では、Δ（Ｔa ＋Ｔb ）に係
数ｋ＝0.2114を乗算したものも併記した。このｋの値
は、(9) 式で得られた検出回路の０〜２０℃の温度ドリ
フトに相当するよう決めたものである。即ち、(9) 式に
温度２０℃を乗算すると、 2.552 ×10-3μsec/℃×20℃＝0.0510μsec となる。また、０〜２０℃における実測したΔ（Ｔa ＋
Ｔb ）は0.2414μsec であるから、次式より係数ｋを求
めることができる。 ｋ＝0.0510μsec ／0.2414μsec ＝ 0.2114
図示したものである。表２では、Δ（Ｔa ＋Ｔb ）に係
数ｋ＝0.2114を乗算したものも併記した。このｋの値
は、(9) 式で得られた検出回路の０〜２０℃の温度ドリ
フトに相当するよう決めたものである。即ち、(9) 式に
温度２０℃を乗算すると、 2.552 ×10-3μsec/℃×20℃＝0.0510μsec となる。また、０〜２０℃における実測したΔ（Ｔa ＋
Ｔb ）は0.2414μsec であるから、次式より係数ｋを求
めることができる。 ｋ＝0.0510μsec ／0.2414μsec ＝ 0.2114
【００２４】永久磁石の変位ｘは(5) 式から求められる
が、既に述べたようにＴa ，Ｔb には温度ドリフトが含
まれるので、下式のように補正することができる。
が、既に述べたようにＴa ，Ｔb には温度ドリフトが含
まれるので、下式のように補正することができる。
【数６】 (10)式による補正の効果を確認するため、ｋ1 ＝ｋ2 ＝
0.2114の場合と、参考のためｋ1 ＝ｋ2 ＝0.1 の場合と
について、(10)式による計算結果を表３に示す。
0.2114の場合と、参考のためｋ1 ＝ｋ2 ＝0.1 の場合と
について、(10)式による計算結果を表３に示す。
【００２５】なお、(5) 式および(10)式では１回目の電
流パルスによって発生する超音波および反射波の伝播時
間の和Ｔa ＋Ｔb を用いて変位ｘを求めたが、後述する
ように、２回目の電流パルスによって発生する超音波ａ
2 の伝播時間Ｔa2を計測すれば、Ｔa2＝Ｔa ＋Ｔb であ
るため、Ｔa2を用いて変位ｘを求めることもできる。
流パルスによって発生する超音波および反射波の伝播時
間の和Ｔa ＋Ｔb を用いて変位ｘを求めたが、後述する
ように、２回目の電流パルスによって発生する超音波ａ
2 の伝播時間Ｔa2を計測すれば、Ｔa2＝Ｔa ＋Ｔb であ
るため、Ｔa2を用いて変位ｘを求めることもできる。
【００２６】
【表３】 なお、温度係数は表１と同様の方法で求めた。
【００２７】表３から明らかなように、(10)式の補正に
より、(5) 式で求めたｘの値（ 8.1ppm/℃）よりさらに
優れた温度特性が得られることが分かる。なお、表３で
は、係数ｋ1 とｋ2 とを同一値として計算したが、Ｔa
の温度係数とＴa ＋Ｔb の温度係数とが異なるので、異
なる係数を用いてもよい。また、係数ｋの値として0.21
14を用いた場合、温度係数が−4.5 ppm/℃となり、零に
はならない。その理由は、ｋ＝0.2114は０〜２０℃の範
囲における値を基準としているためであり、２０℃以上
の範囲も考慮にいれて係数を決定すれば、温度係数をさ
らに零に近づけることが可能である。表３によれば、0.
2114と0.1の中間値が最も零に近い温度係数を得ること
ができると考えられる。
より、(5) 式で求めたｘの値（ 8.1ppm/℃）よりさらに
優れた温度特性が得られることが分かる。なお、表３で
は、係数ｋ1 とｋ2 とを同一値として計算したが、Ｔa
の温度係数とＴa ＋Ｔb の温度係数とが異なるので、異
なる係数を用いてもよい。また、係数ｋの値として0.21
14を用いた場合、温度係数が−4.5 ppm/℃となり、零に
はならない。その理由は、ｋ＝0.2114は０〜２０℃の範
囲における値を基準としているためであり、２０℃以上
の範囲も考慮にいれて係数を決定すれば、温度係数をさ
らに零に近づけることが可能である。表３によれば、0.
2114と0.1の中間値が最も零に近い温度係数を得ること
ができると考えられる。
【００２８】上記のように時間Ｔa とＴb とを測定し、
(5) 式または(10)式のような演算を行えば、非常に温度
特性に優れた変位検出装置が得られる。この時間Ｔa ，
Ｔb を例えば水晶発振器で測定するのが最も精度が良い
と言われている。水晶発振器の周波数が５０ＭＨｚであ
るとすると、１クロックは 1/（50×106 ）＝0.02μsec となる。既に述べたように、超音波の伝播速度は周囲温
度２０℃の時、2.75mm/μsec であるから、１クロック
は 2.75×0.02＝0.055 mm 即ち、変位測定の分解能は0.055mm でしかない。さらに
分解能を上げるため、一方法として水晶発振器の周波数
を高くすることがあるが、技術的, 経済的に困難を生じ
る。
(5) 式または(10)式のような演算を行えば、非常に温度
特性に優れた変位検出装置が得られる。この時間Ｔa ，
Ｔb を例えば水晶発振器で測定するのが最も精度が良い
と言われている。水晶発振器の周波数が５０ＭＨｚであ
るとすると、１クロックは 1/（50×106 ）＝0.02μsec となる。既に述べたように、超音波の伝播速度は周囲温
度２０℃の時、2.75mm/μsec であるから、１クロック
は 2.75×0.02＝0.055 mm 即ち、変位測定の分解能は0.055mm でしかない。さらに
分解能を上げるため、一方法として水晶発振器の周波数
を高くすることがあるが、技術的, 経済的に困難を生じ
る。
【００２９】そこで、安価にかつ簡単に分解能を上げる
ことができる測定方法を、図６にしたがって説明する。
１回目の電流パルスｐ1 により反射部材９で反射した超
音波ｂ1 の到達時刻（Ｔb1時間後）に２回目の電流パル
スｐ2 を磁歪線１に供給し、２回目の電流パルスによっ
て反射部材９で反射した超音波ｂ2 の到達時刻（Ｔb2時
間後）に３回目の電流パルスｐ3 を磁歪線１に供給す
る。このようにして、順次ｎ回の電流パルスｐn を磁歪
線１に供給し、永久磁石１２で発生した超音波ａn また
は反射波ｂn の１回目の電流パルスｐ1 の供給からの時
間ＴanまたはＴbnを計測する。
ことができる測定方法を、図６にしたがって説明する。
１回目の電流パルスｐ1 により反射部材９で反射した超
音波ｂ1 の到達時刻（Ｔb1時間後）に２回目の電流パル
スｐ2 を磁歪線１に供給し、２回目の電流パルスによっ
て反射部材９で反射した超音波ｂ2 の到達時刻（Ｔb2時
間後）に３回目の電流パルスｐ3 を磁歪線１に供給す
る。このようにして、順次ｎ回の電流パルスｐn を磁歪
線１に供給し、永久磁石１２で発生した超音波ａn また
は反射波ｂn の１回目の電流パルスｐ1 の供給からの時
間ＴanまたはＴbnを計測する。
【００３０】図６から明らかなように、ｎ回目の電流パ
ルスｐn によって得られる反射波ｂn の伝播時間Ｔbnは
次式のようになる。 Ｔbn＝ｎ（２Ｌ−ｘ）／ｖ …(11) また、２回目の電流パルスｐ2 によって得られる超音波
ａ2 の伝播時間Ｔa2は次式で与えられる。 Ｔa2＝２Ｌ／ｖ …(12) (11)式および(12)式からｖを消去すると、 Ｒc ＝Ｔbn／Ｔa2＝ｎ（２Ｌ−ｘ）／２Ｌ …(13) (13)式のようにＲc は伝播速度ｖを含まない値となる。
(13)式からｘを求めると、次式のようになる。
ルスｐn によって得られる反射波ｂn の伝播時間Ｔbnは
次式のようになる。 Ｔbn＝ｎ（２Ｌ−ｘ）／ｖ …(11) また、２回目の電流パルスｐ2 によって得られる超音波
ａ2 の伝播時間Ｔa2は次式で与えられる。 Ｔa2＝２Ｌ／ｖ …(12) (11)式および(12)式からｖを消去すると、 Ｒc ＝Ｔbn／Ｔa2＝ｎ（２Ｌ−ｘ）／２Ｌ …(13) (13)式のようにＲc は伝播速度ｖを含まない値となる。
(13)式からｘを求めると、次式のようになる。
【数７】 図２の方法であれば、変位情報としてｘ／ｖしか得られ
ないのに対し、図６の方法では、Ｔbnとしてｎ倍長い情
報が変位信号として得られる。即ち、同じ５０ＭＨｚの
水晶発振器を用いても、0.055 mm／ｎのように１／ｎの
分解能が得られることになる。
ないのに対し、図６の方法では、Ｔbnとしてｎ倍長い情
報が変位信号として得られる。即ち、同じ５０ＭＨｚの
水晶発振器を用いても、0.055 mm／ｎのように１／ｎの
分解能が得られることになる。
【００３１】上記計算では反射波ｂn の伝播時間Ｔbnと
超音波ａ2 の伝播時間Ｔa2とを用いて変位ｘを求めた
が、ｎ回目の電流パルスｐn によって得られる超音波ａ
n の伝播時間Ｔanと２回目の電流パルスｐ2 によって得
られる超音波ａ2 の伝播時間Ｔa2とを用いて変位ｘを求
めることもできる。Ｔanは次式で与えられる。
超音波ａ2 の伝播時間Ｔa2とを用いて変位ｘを求めた
が、ｎ回目の電流パルスｐn によって得られる超音波ａ
n の伝播時間Ｔanと２回目の電流パルスｐ2 によって得
られる超音波ａ2 の伝播時間Ｔa2とを用いて変位ｘを求
めることもできる。Ｔanは次式で与えられる。
【数８】 ここで、 Ｔan／Ｔa2＝Ｒc ’ …(16) とすると、変位ｘは次式のようになる。
【数９】 以上のように、ｎ回目の電流パルスによって得られる超
音波ａn または反射波ｂn の何れを用いても、同様に分
解能の優れた変位検出を行うことができる。
音波ａn または反射波ｂn の何れを用いても、同様に分
解能の優れた変位検出を行うことができる。
【００３２】次に、(14)式または(17)式で求められた変
位ｘを、(10)式と同様に温度補正する方法を説明する。
即ち、(10)式におけるＴa ＋Ｔb の値と２回目の超音波
ａ2 の伝播時間Ｔa2とは同一であるから、基準温度（例
えば２０℃）における時間Ｔa2と実際温度における時間
Ｔa2との差ΔＴa2を求め、次式によりＲc を補正する。
補正されたＲcをＲccとすると、
位ｘを、(10)式と同様に温度補正する方法を説明する。
即ち、(10)式におけるＴa ＋Ｔb の値と２回目の超音波
ａ2 の伝播時間Ｔa2とは同一であるから、基準温度（例
えば２０℃）における時間Ｔa2と実際温度における時間
Ｔa2との差ΔＴa2を求め、次式によりＲc を補正する。
補正されたＲcをＲccとすると、
【数１０】 となる。同様に、補正されたＲc ’をＲcc’とすると、
【数１１】 となる。上記の(18)式および(19)式を用いて変位ｘを(1
4)式または(17)式により求めれば、温度ドリフトの影響
が極めて少なく、かつ分解能の高い変位検出が可能とな
る。なお、(18)式および(19)式の係数ｋ3 〜ｋ6 は(10)
式と同様にして求めればよい。
4)式または(17)式により求めれば、温度ドリフトの影響
が極めて少なく、かつ分解能の高い変位検出が可能とな
る。なお、(18)式および(19)式の係数ｋ3 〜ｋ6 は(10)
式と同様にして求めればよい。
【００３３】なお、上記実施例は本発明の一例に過ぎ
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
本発明において、ダンピング材としては、実施例のよう
に磁歪線を上下で圧着保持するものに限らず、張力をも
って保持された磁歪線の途中に塗布されたものでもよ
い。その場合には、磁歪線を始端側を別の固定具で保持
すればよい。但し、実施例のように構成すれば、ダンピ
ング材が絶縁材料で構成されるので、電流パルスが他の
部位へ流れるのを防止でき、全ての電流を磁歪線に効果
的に流すことができる利点がある。また、本発明の反射
部材も、実施例のように磁歪線の中間部に固着した部材
片に限らず、終端固定具で共用することもできる。上記
実施例では、受信器としてコイルを用いたが、これに代
えて触子を磁歪線に対してほぼ直交して接触させ、捩り
弾性波を触子の軸方向力に変換し、触子の端部に取り付
けた圧電素子やコイル等の検出器で捩り弾性波の到来を
検出してもよい。
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
本発明において、ダンピング材としては、実施例のよう
に磁歪線を上下で圧着保持するものに限らず、張力をも
って保持された磁歪線の途中に塗布されたものでもよ
い。その場合には、磁歪線を始端側を別の固定具で保持
すればよい。但し、実施例のように構成すれば、ダンピ
ング材が絶縁材料で構成されるので、電流パルスが他の
部位へ流れるのを防止でき、全ての電流を磁歪線に効果
的に流すことができる利点がある。また、本発明の反射
部材も、実施例のように磁歪線の中間部に固着した部材
片に限らず、終端固定具で共用することもできる。上記
実施例では、受信器としてコイルを用いたが、これに代
えて触子を磁歪線に対してほぼ直交して接触させ、捩り
弾性波を触子の軸方向力に変換し、触子の端部に取り付
けた圧電素子やコイル等の検出器で捩り弾性波の到来を
検出してもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、受信器の背後に位置する磁歪線の始端部に捩り
弾性波を吸収するダンピング材を設けるとともに、磁歪
線の終端部側の特定位置に捩り弾性波を反射する反射部
材を設け、永久磁石の近接する磁歪線の部位で発生した
捩り弾性波の受信器への伝播時間および反射部材で反射
した捩り弾性波の受信器への伝播時間の少なくとも片方
を用いて永久磁石の機械的変位を求めるようにしたの
で、永久磁石の位置を温度ドリフトの影響が極めて少な
くかつ高精度に求めることができる。また、固定と可動
の２種の永久磁石を必要としないので、構成が簡単であ
り、高精度に変位を検出できる。
よれば、受信器の背後に位置する磁歪線の始端部に捩り
弾性波を吸収するダンピング材を設けるとともに、磁歪
線の終端部側の特定位置に捩り弾性波を反射する反射部
材を設け、永久磁石の近接する磁歪線の部位で発生した
捩り弾性波の受信器への伝播時間および反射部材で反射
した捩り弾性波の受信器への伝播時間の少なくとも片方
を用いて永久磁石の機械的変位を求めるようにしたの
で、永久磁石の位置を温度ドリフトの影響が極めて少な
くかつ高精度に求めることができる。また、固定と可動
の２種の永久磁石を必要としないので、構成が簡単であ
り、高精度に変位を検出できる。
【図１】本発明にかかる変位検出装置の一例の概略構成
図である。
図である。
【図２】図１の受信器における受信波形図である。
【図３】受信波形の他の時間計測方法を示す図である。
【図４】受信波形のさらに他の時間計測方法を示す図で
ある。
ある。
【図５】Δ（Ｔa ＋Ｔb ）の温度特性を示す図である。
【図６】電流パルスを複数回供給した場合の受信波形図
である。
である。
【符号の説明】 １ 磁歪線 ５，６ ダンピング材 ９ 反射部材 １０ 受信器 １２ 永久磁石 １３ パルス発生回路 １４ 検出回路
Claims (7)
- 【請求項１】磁歪線の始端部側よりその軸線方向に電流
パルスを流し、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近
接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線の
始端部側に配置した受信器で捩り弾性波を受信すること
により、永久磁石に与えられる機械的変位を検出する装
置において、 上記受信器の背後に位置する磁歪線の始端部に捩り弾性
波を吸収するダンピング材を設けるとともに、磁歪線の
終端部側の特定位置に捩り弾性波を反射する反射部材を
設けたことを特徴とする変位検出装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の変位検出装置において、 上記永久磁石の近接する磁歪線の部位で発生した捩り弾
性波の受信器への伝播時間Ｔa と、反射部材で反射した
捩り弾性波の受信器への伝播時間Ｔb とを計測し、次式
により永久磁石の機械的変位を求めることを特徴とする
変位検出装置。 ｘ＝２Ｌ・Ｔa ／（Ｔa ＋Ｔb ） （ｘ：受信器から永久磁石までの距離，Ｌ：受信器から
反射部材までの距離） - 【請求項３】請求項１に記載の変位検出装置において、 上記永久磁石の近接する磁歪線の部位で発生した捩り弾
性波の受信器への伝播時間Ｔa と、反射部材で反射した
捩り弾性波の受信器への伝播時間Ｔb とを計測し、基準
温度における伝播時間Ｔa ，Ｔb の和と実際温度におけ
る伝播時間Ｔa，Ｔb の和との差Δ（Ｔa ＋Ｔb ）を求
め、次式により永久磁石の機械的変位を求めることを特
徴とする変位検出装置。 【数１】 （ｘ：受信器から永久磁石までの距離，Ｌ：受信器から
反射部材までの距離，ｋ1 ，ｋ2 ：係数） - 【請求項４】請求項１に記載の変位検出装置において、 反射部材で反射した捩り弾性波が受信器で受信された時
刻に次の電流パルスを供給するよう、電流パルスの供給
をｎ回（ｎは２以上の正の整数）繰り返し、 １回目の電流パルスの供給から、２回目の電流パルスに
よって永久磁石の近接する磁歪線の部位で発生した捩り
弾性波が受信器へ到達するまでの時間Ｔa2と、ｎ回目の
電流パルスによって反射部材で反射した捩り弾性波が受
信器へ到達するまでの時間Ｔbnとを計測し、 次式により永久磁石の機械的変位を求めることを特徴と
する変位検出装置。 【数２】 （ｘ：受信器から永久磁石までの距離，Ｌ：受信器から
反射部材までの距離，Ｒc ＝Ｔbn／Ｔa2） - 【請求項５】請求項４に記載の変位検出装置において、 基準温度における時間Ｔa2と実際温度における時間Ｔa2
との差ΔＴa2を求め、次式によりＲc を補正することを
特徴とする変位検出装置。 【数３】 （ｋ3 ，ｋ4 ：係数，） - 【請求項６】請求項１に記載の変位検出装置において、 反射部材で反射した捩り弾性波が受信器で受信された時
刻に次の電流パルスを供給するよう、電流パルスの供給
をｎ回（ｎは３以上の正の整数）繰り返し、 １回目の電流パルスの供給から、２回目の電流パルスに
よって永久磁石の近接する磁歪線の部位で発生した捩り
弾性波が受信器へ到達するまでの時間Ｔa2と、ｎ回目の
電流パルスによって永久磁石の近接する磁歪線の部位で
発生した捩り弾性波が受信器へ到達するまでの時間Ｔan
とを計測し、 次式により永久磁石の機械的変位を求めることを特徴と
する変位検出装置。 【数４】 （ｘ：受信器から永久磁石までの距離，Ｌ：受信器から
反射部材までの距離，Ｒc ’＝Ｔan／Ｔa2） - 【請求項７】請求項６に記載の変位検出装置において、 基準温度における時間Ｔa2と実際温度における時間Ｔa2
との差ΔＴa2を求め、次式によりＲc ’を補正すること
を特徴とする変位検出装置。 【数５】 （ｋ5 ，ｋ6 ：係数）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304994A JPH07306030A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304994A JPH07306030A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306030A true JPH07306030A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14850945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12304994A Pending JPH07306030A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07306030A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6087828A (en) * | 1997-03-03 | 2000-07-11 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Displacement detection sensor using magnetostriction |
| JP2007240333A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Shinshu Univ | 変位検出方法及び装置 |
| KR101517491B1 (ko) * | 2014-09-03 | 2015-05-15 | (주)동명엔터프라이즈 | 토양, 지하수오염 예방을 위한 유류 저장시설용 레벨 측정 시스템 및 이를 이용한 레벨 측정방법 |
| CN109870389A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-06-11 | 长春工程学院 | 基于磁致伸缩位移传感器灌溉水粘滞系数检测装置及方法 |
| JP2020518810A (ja) * | 2017-05-24 | 2020-06-25 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー． カー・ゲーＳｃｈａｅｆｆｌｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＡＧ ＆ Ｃｏ． ＫＧ | 回転部品の角度を決定する装置 |
-
1994
- 1994-05-11 JP JP12304994A patent/JPH07306030A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6087828A (en) * | 1997-03-03 | 2000-07-11 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Displacement detection sensor using magnetostriction |
| JP2007240333A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Shinshu Univ | 変位検出方法及び装置 |
| KR101517491B1 (ko) * | 2014-09-03 | 2015-05-15 | (주)동명엔터프라이즈 | 토양, 지하수오염 예방을 위한 유류 저장시설용 레벨 측정 시스템 및 이를 이용한 레벨 측정방법 |
| JP2020518810A (ja) * | 2017-05-24 | 2020-06-25 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー． カー・ゲーＳｃｈａｅｆｆｌｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＡＧ ＆ Ｃｏ． ＫＧ | 回転部品の角度を決定する装置 |
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