JPH05172555A - 磁歪式変位検出装置 - Google Patents
磁歪式変位検出装置Info
- Publication number
- JPH05172555A JPH05172555A JP35694891A JP35694891A JPH05172555A JP H05172555 A JPH05172555 A JP H05172555A JP 35694891 A JP35694891 A JP 35694891A JP 35694891 A JP35694891 A JP 35694891A JP H05172555 A JPH05172555 A JP H05172555A
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- Japan
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- magnetostrictive
- coils
- waveform
- elastic wave
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Abstract
(57)【要約】
【目的】極めて簡単な構成で従来に比べて大きな検出波
形が得られ、かつ外部から侵入するノイズによる影響を
少なくできる磁歪式変位検出装置を得ること。 【構成】磁歪線１０に電流パルスを流すことにより、永
久磁石１９の近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生
させ、２個の受信用コイル１６ａ，１７ａまでの捩り弾
性波の伝播時間を計測することにより、永久磁石１９の
変位を検出する。コイル１６ａ，１７ａは逆極性に接続
され、かつ各コイルにより得られる捩り弾性波の信号波
形のうち先方の波形のピークとなる山と後方の波形の最
初の山とが重なり合うように、磁歪線の軸線方向に距離
Ｌを置いて配置される。
形が得られ、かつ外部から侵入するノイズによる影響を
少なくできる磁歪式変位検出装置を得ること。 【構成】磁歪線１０に電流パルスを流すことにより、永
久磁石１９の近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生
させ、２個の受信用コイル１６ａ，１７ａまでの捩り弾
性波の伝播時間を計測することにより、永久磁石１９の
変位を検出する。コイル１６ａ，１７ａは逆極性に接続
され、かつ各コイルにより得られる捩り弾性波の信号波
形のうち先方の波形のピークとなる山と後方の波形の最
初の山とが重なり合うように、磁歪線の軸線方向に距離
Ｌを置いて配置される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁歪現象を用いて物体の
機械的変位や液面の変位などを検出する磁歪式変位検出
装置に関するものである。
機械的変位や液面の変位などを検出する磁歪式変位検出
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁歪式変位検出装置として、本出
願人は磁歪線に電流パルスを流すことにより、磁歪線に
沿って移動可能な永久磁石の近接する磁歪線の部位で捩
り弾性波（超音波）を発生させ、磁歪線の特定部位に設
けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計測すること
により、永久磁石に与えられる機械的変位を検出するも
のを提案した（特開昭６１−１１２９２３号公報，特開
昭６３−２１７２２４号公報) 。上記受信器としては、
触子を磁歪線に対してほぼ直交して接触させ、捩り弾性
波を触子の軸方向力に変換し、触子の端部に取り付けた
圧電素子で捩り弾性波の到来を検出するものや、逆磁歪
効果(Villari effect)を利用して磁歪線を伝播した捩り
弾性波の到来を非接触で検出するコイル等がある。
願人は磁歪線に電流パルスを流すことにより、磁歪線に
沿って移動可能な永久磁石の近接する磁歪線の部位で捩
り弾性波（超音波）を発生させ、磁歪線の特定部位に設
けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計測すること
により、永久磁石に与えられる機械的変位を検出するも
のを提案した（特開昭６１−１１２９２３号公報，特開
昭６３−２１７２２４号公報) 。上記受信器としては、
触子を磁歪線に対してほぼ直交して接触させ、捩り弾性
波を触子の軸方向力に変換し、触子の端部に取り付けた
圧電素子で捩り弾性波の到来を検出するものや、逆磁歪
効果(Villari effect)を利用して磁歪線を伝播した捩り
弾性波の到来を非接触で検出するコイル等がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種の変位検出装置
の場合、検出精度および信頼性を高めるには、受信器で
受信される検出波形中のノイズを少なくし、かつ大きな
波形が得られるようにする必要がある。大きな検出波形
を得るには、電流パルスを強くするか、永久磁石の磁力
を強くするか、あるいは受信器の出力を増幅する増幅器
のゲインを大きくする等の手段をとればよい。しかし、
電流パルスを強くすると、それによる回路へのノイズの
悪影響や消費電流が大きくなる等の問題がある。また、
永久磁石の磁力を強くするにも限度があり、磁力の強い
永久磁石は高価であるという欠点がある。さらに、増幅
器のゲインを上げると、それだけ検出波形中に含まれる
ノイズも増幅されるという欠点がある。また、検出波形
中のノイズを少なくするため、磁歪線や受信器の外側を
シールド材で何層にも覆ったり、検出波形中のノイズを
フィルタ等で電気的に除去する方法が用いられている
が、装置が大型化したり、回路が複雑化するという問題
がある。そこで、本発明の目的は、極めて簡単な構成で
従来に比べて大きな検出波形が得られ、かつ外部から侵
入するノイズによる影響を少なくできる磁歪式変位検出
装置を提供することにある。
の場合、検出精度および信頼性を高めるには、受信器で
受信される検出波形中のノイズを少なくし、かつ大きな
波形が得られるようにする必要がある。大きな検出波形
を得るには、電流パルスを強くするか、永久磁石の磁力
を強くするか、あるいは受信器の出力を増幅する増幅器
のゲインを大きくする等の手段をとればよい。しかし、
電流パルスを強くすると、それによる回路へのノイズの
悪影響や消費電流が大きくなる等の問題がある。また、
永久磁石の磁力を強くするにも限度があり、磁力の強い
永久磁石は高価であるという欠点がある。さらに、増幅
器のゲインを上げると、それだけ検出波形中に含まれる
ノイズも増幅されるという欠点がある。また、検出波形
中のノイズを少なくするため、磁歪線や受信器の外側を
シールド材で何層にも覆ったり、検出波形中のノイズを
フィルタ等で電気的に除去する方法が用いられている
が、装置が大型化したり、回路が複雑化するという問題
がある。そこで、本発明の目的は、極めて簡単な構成で
従来に比べて大きな検出波形が得られ、かつ外部から侵
入するノイズによる影響を少なくできる磁歪式変位検出
装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、磁歪線の軸線方向に電流パルスを流すこ
とにより、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接す
る磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線の特定
部位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計測
することにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検
出する装置において、上記受信器は磁歪線が中心部を貫
通する２個のコイルよりなり、これらコイルをその極性
を逆にして接続するとともに、これらコイルにより得ら
れる捩り弾性波の信号波形のうち先方の波形と後方の波
形の山同士または谷同士が重なり合うように、２個のコ
イルを磁歪線の軸線方向に所定距離を置いて配置したも
のである。
に、本発明は、磁歪線の軸線方向に電流パルスを流すこ
とにより、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接す
る磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線の特定
部位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計測
することにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検
出する装置において、上記受信器は磁歪線が中心部を貫
通する２個のコイルよりなり、これらコイルをその極性
を逆にして接続するとともに、これらコイルにより得ら
れる捩り弾性波の信号波形のうち先方の波形と後方の波
形の山同士または谷同士が重なり合うように、２個のコ
イルを磁歪線の軸線方向に所定距離を置いて配置したも
のである。
【０００５】
【作用】磁歪線の一端に電流パルスを流し、永久磁石の
近接部で発生した捩り弾性波をコイルで検出した場合、
その波形は一般に図１に示すような形状となる。つま
り、波形の最初には谷１が現れ、その後にピークとなる
山２が現れ、その次に谷３が現れる。このような波形形
状は永久磁石の形状やコイルのインダクタンスを変更し
ても殆ど変わりがない。なお、コイルを逆極性とした場
合、その検出波形は図１の波形を上下反転させた形状と
なる。２個のコイルをその極性を逆にして接続し、かつ
これらコイルを磁歪線の軸線方向に距離Ｌをおいて配置
した場合、図２のように上下反転した２個の検出波形
５，６が時間Ｔをおいて現れる。先方の波形５の山５ａ
と後方の波形６の谷６ａとの時間差Ｔは、距離Ｌを捩り
弾性波の伝播速度Ｖで除算することにより与えられる。
即ち、 Ｔ＝Ｌ／Ｖ ここで、距離Ｌを次第に小さくしていくと、図３に示す
ように前後の波形５，６が次第に近づき、先方の波形５
の２番目の谷５ｂに続いて後方の波形６の山６ｂが現れ
るようになる。さらに距離Ｌを小さくしていくと、図４
のように先方の波形５の山５ａと後方の波形６の最初の
山６ｂとが重なり合い（先方の波形５の２番目の谷５ｂ
と後方の波形６の谷６ａも重なり合う）、非常に大きな
波形が得られる。個々のコイルには外部から不要なノイ
ズが侵入するが、殆どの場合（人為的なノイズを除い
て）ノイズは同相で入ってくる。本発明では２個のコイ
ルを逆相に接続しているので、侵入したノイズの極性も
逆となり、互いに相殺される。そのため、最終的な検出
波形のノイズが非常に少なくなり、Ｓ／Ｎ比を大幅に向
上させることができる。
近接部で発生した捩り弾性波をコイルで検出した場合、
その波形は一般に図１に示すような形状となる。つま
り、波形の最初には谷１が現れ、その後にピークとなる
山２が現れ、その次に谷３が現れる。このような波形形
状は永久磁石の形状やコイルのインダクタンスを変更し
ても殆ど変わりがない。なお、コイルを逆極性とした場
合、その検出波形は図１の波形を上下反転させた形状と
なる。２個のコイルをその極性を逆にして接続し、かつ
これらコイルを磁歪線の軸線方向に距離Ｌをおいて配置
した場合、図２のように上下反転した２個の検出波形
５，６が時間Ｔをおいて現れる。先方の波形５の山５ａ
と後方の波形６の谷６ａとの時間差Ｔは、距離Ｌを捩り
弾性波の伝播速度Ｖで除算することにより与えられる。
即ち、 Ｔ＝Ｌ／Ｖ ここで、距離Ｌを次第に小さくしていくと、図３に示す
ように前後の波形５，６が次第に近づき、先方の波形５
の２番目の谷５ｂに続いて後方の波形６の山６ｂが現れ
るようになる。さらに距離Ｌを小さくしていくと、図４
のように先方の波形５の山５ａと後方の波形６の最初の
山６ｂとが重なり合い（先方の波形５の２番目の谷５ｂ
と後方の波形６の谷６ａも重なり合う）、非常に大きな
波形が得られる。個々のコイルには外部から不要なノイ
ズが侵入するが、殆どの場合（人為的なノイズを除い
て）ノイズは同相で入ってくる。本発明では２個のコイ
ルを逆相に接続しているので、侵入したノイズの極性も
逆となり、互いに相殺される。そのため、最終的な検出
波形のノイズが非常に少なくなり、Ｓ／Ｎ比を大幅に向
上させることができる。
【０００６】図１のような捩り弾性波の鋭敏な受信波形
を得るには、コイルおよび永久磁石としてできるだけ軸
線方向の厚みの薄いものを使用するのが望ましい。ま
た、波形の谷１と山２との時間差は通常の場合３〜４μ
ｓであり、捩り弾性波の伝播速度は約２．７ｍｍ／μｓ
であるから、計算上は２個のコイルの距離Ｌを９〜１０
ｍｍにすれば大きな波形を得ることが可能である。しか
しながら、実際にはコイルの相互作用により計算上の距
離Ｌ（９〜１０ｍｍ）では先方の波形５の山５ａと後方
の波形６の最初の山６ｂとがうまく重なり合わない。そ
こで、２個のコイルをできるだけ近づけるのが望まし
い。例えば厚みが４ｍｍのコイルの場合、距離Ｌを約４
ｍｍ、つまり２個のコイルを軸線方向に接触状態で配置
するのが最も望ましい波形となった。
を得るには、コイルおよび永久磁石としてできるだけ軸
線方向の厚みの薄いものを使用するのが望ましい。ま
た、波形の谷１と山２との時間差は通常の場合３〜４μ
ｓであり、捩り弾性波の伝播速度は約２．７ｍｍ／μｓ
であるから、計算上は２個のコイルの距離Ｌを９〜１０
ｍｍにすれば大きな波形を得ることが可能である。しか
しながら、実際にはコイルの相互作用により計算上の距
離Ｌ（９〜１０ｍｍ）では先方の波形５の山５ａと後方
の波形６の最初の山６ｂとがうまく重なり合わない。そ
こで、２個のコイルをできるだけ近づけるのが望まし
い。例えば厚みが４ｍｍのコイルの場合、距離Ｌを約４
ｍｍ、つまり２個のコイルを軸線方向に接触状態で配置
するのが最も望ましい波形となった。
【０００７】
【実施例】図５は本発明にかかる磁歪式変位検出装置の
一例を示す。磁歪線１０の始端は基台１１上に固定され
たクランプ部材１２によってクランプされ、終端はスプ
リング１３を介して支持部材１４によって支持されてい
る。そのため、磁歪線１０には常に一定の張力が与えら
れる。なお、磁歪線１０の終端部にはシリコンゴム等の
ダンピング材１５が塗布されており、スプリング１３ま
たは支持部材１４からの反射波の影響を抑制している。
受信器１６，１７は一方のクランプ部材１２の近傍に配
置されており、内蔵したコイル１６ａ，１７ａの中心部
を磁歪線１０が無接触で貫通している。コイル１６ａ，
１７ａは同一の特性を有するコイルよりなり、磁歪線１
０の軸線方向に距離Ｌを置いて配置され、逆磁歪効果を
利用して磁歪線１０を伝播する捩り弾性波を検出する。
各コイル１６ａ，１７ａの負極は接地され、正極は差動
増幅器１８の正入力と負入力とに夫々接続されているた
め、両コイルは逆相で接続されることになる。磁歪線１
０には円環状の永久磁石１９が軸線方向に移動自在に挿
通されており、永久磁石１９の両端面にはＮ，Ｓ極が着
磁されている。なお、永久磁石１９の着磁方向は例えば
内周側をＮ極またはＳ極とし、外周側をＳ極またはＮ極
としてもよい。
一例を示す。磁歪線１０の始端は基台１１上に固定され
たクランプ部材１２によってクランプされ、終端はスプ
リング１３を介して支持部材１４によって支持されてい
る。そのため、磁歪線１０には常に一定の張力が与えら
れる。なお、磁歪線１０の終端部にはシリコンゴム等の
ダンピング材１５が塗布されており、スプリング１３ま
たは支持部材１４からの反射波の影響を抑制している。
受信器１６，１７は一方のクランプ部材１２の近傍に配
置されており、内蔵したコイル１６ａ，１７ａの中心部
を磁歪線１０が無接触で貫通している。コイル１６ａ，
１７ａは同一の特性を有するコイルよりなり、磁歪線１
０の軸線方向に距離Ｌを置いて配置され、逆磁歪効果を
利用して磁歪線１０を伝播する捩り弾性波を検出する。
各コイル１６ａ，１７ａの負極は接地され、正極は差動
増幅器１８の正入力と負入力とに夫々接続されているた
め、両コイルは逆相で接続されることになる。磁歪線１
０には円環状の永久磁石１９が軸線方向に移動自在に挿
通されており、永久磁石１９の両端面にはＮ，Ｓ極が着
磁されている。なお、永久磁石１９の着磁方向は例えば
内周側をＮ極またはＳ極とし、外周側をＳ極またはＮ極
としてもよい。
【０００８】クランプ部材１２から突出した磁歪線１０
の始端には図示しないパルス発生装置から電流パルスが
供給され、磁歪線１０の終端はスプリング１３を介して
パルス発生装置のアースに戻される。そのため、受信器
１６，１７では永久磁石１９で発生した捩り弾性波が検
出される。この検出波形は２個の受信器１６，１７の距
離Ｌによって異なるが、本発明では距離Ｌを図４のよう
に受信器１６で受信された波形５のピークの山５ａと受
信器１７で受信された後方の波形６の最初の山６ｂとが
丁度重なり合う距離に設定してある。そのため、電流パ
ルスの強さや永久磁石１９の磁力が従来と同じでも、ま
た差動増幅器１８のゲインを殊更大きくしなくても、差
動増幅器１８の出力には非常に大きな波形が得られる。
の始端には図示しないパルス発生装置から電流パルスが
供給され、磁歪線１０の終端はスプリング１３を介して
パルス発生装置のアースに戻される。そのため、受信器
１６，１７では永久磁石１９で発生した捩り弾性波が検
出される。この検出波形は２個の受信器１６，１７の距
離Ｌによって異なるが、本発明では距離Ｌを図４のよう
に受信器１６で受信された波形５のピークの山５ａと受
信器１７で受信された後方の波形６の最初の山６ｂとが
丁度重なり合う距離に設定してある。そのため、電流パ
ルスの強さや永久磁石１９の磁力が従来と同じでも、ま
た差動増幅器１８のゲインを殊更大きくしなくても、差
動増幅器１８の出力には非常に大きな波形が得られる。
【０００９】電流パルスの供給から受信器１６に捩り弾
性波が到達するまでの時間ｔを測定すれば、永久磁石１
９の変位ｘは次式で簡単に求めることができる。 ｘ＝ｖ・ｔ なお、ｖは磁歪線１０の捩り弾性波の伝播速度である。
伝播速度ｖおよび回路部は温度変化による影響を受け、
そのため測定された変位ｘにも誤差を生じることがあ
る。このような誤差を解消するため、可動永久磁石１９
のほかに所定位置に固定永久磁石を配置し、それらの伝
播時間の比、あるいは伝播時間差から変位ｘを求めても
よい。
性波が到達するまでの時間ｔを測定すれば、永久磁石１
９の変位ｘは次式で簡単に求めることができる。 ｘ＝ｖ・ｔ なお、ｖは磁歪線１０の捩り弾性波の伝播速度である。
伝播速度ｖおよび回路部は温度変化による影響を受け、
そのため測定された変位ｘにも誤差を生じることがあ
る。このような誤差を解消するため、可動永久磁石１９
のほかに所定位置に固定永久磁石を配置し、それらの伝
播時間の比、あるいは伝播時間差から変位ｘを求めても
よい。
【００１０】なお、上記実施例は本発明の一例に過ぎ
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
本発明で使用される２個のコイルは、そのインダクタン
スや形状が異なるものを用いてもよい。また、２個のコ
イルの極性を逆に接続する方法として実施例では差動増
幅器を用いたが、これに限らず、２個のコイルの正極同
士または負極同士を接続し、残る２つの極を出力として
取り出すようにしてもよい。また、上記実施例では磁歪
線として中実線を用い、この磁歪線に電流パルスを直接
供給する例を示したが、特開昭５９−１６２４１２号公
報に記載のように、磁歪線をチューブ状とし、この磁歪
線の中央に電流パルスを流すための導線を挿通した構成
としてもよい。本発明で用いられる永久磁石は実施例の
ような円環形状に限らず、直方体形、Ｕ字形など如何な
る形状でもよい。また、永久磁石の磁界の方向も磁歪線
の軸線方向に限らず、半径方向であってもよい。
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
本発明で使用される２個のコイルは、そのインダクタン
スや形状が異なるものを用いてもよい。また、２個のコ
イルの極性を逆に接続する方法として実施例では差動増
幅器を用いたが、これに限らず、２個のコイルの正極同
士または負極同士を接続し、残る２つの極を出力として
取り出すようにしてもよい。また、上記実施例では磁歪
線として中実線を用い、この磁歪線に電流パルスを直接
供給する例を示したが、特開昭５９−１６２４１２号公
報に記載のように、磁歪線をチューブ状とし、この磁歪
線の中央に電流パルスを流すための導線を挿通した構成
としてもよい。本発明で用いられる永久磁石は実施例の
ような円環形状に限らず、直方体形、Ｕ字形など如何な
る形状でもよい。また、永久磁石の磁界の方向も磁歪線
の軸線方向に限らず、半径方向であってもよい。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、２個のコイルを軸線方向に一定距離隔てて配置
するとともに、互いにその極性を逆にして接続すること
により、２個のコイルで検出される波形の山同士または
谷同士を重ね合わせることができ、従来と同様な電流パ
ルスおよび永久磁石でも格段に大きな検出波形を得るこ
とができる。また、外部から侵入する同相のノイズは２
個のコイルによって互いに相殺されるので、出力波形に
はノイズの少ない明瞭な波形を得ることができる。した
がって、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。
よれば、２個のコイルを軸線方向に一定距離隔てて配置
するとともに、互いにその極性を逆にして接続すること
により、２個のコイルで検出される波形の山同士または
谷同士を重ね合わせることができ、従来と同様な電流パ
ルスおよび永久磁石でも格段に大きな検出波形を得るこ
とができる。また、外部から侵入する同相のノイズは２
個のコイルによって互いに相殺されるので、出力波形に
はノイズの少ない明瞭な波形を得ることができる。した
がって、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。
【図１】コイルで検出される捩り弾性波の一例の波形図
である。
である。
【図２】逆相の２個のコイルを距離を離して配置したと
きの受信波形図である。
きの受信波形図である。
【図３】逆相の２個のコイルの距離を近づけたときの受
信波形図である。
信波形図である。
【図４】逆相の２個のコイルの距離をさらに近づけたと
きの受信波形図である。
きの受信波形図である。
【図５】本発明にかかる磁歪式変位検出装置の概略配置
図である。
図である。
【符号の説明】 １０ 磁歪線 １６，１７ 受信器 １６ａ，１７ａ コイル １８ 差動増幅器 １９ 永久磁石
Claims (1)
- 【請求項１】磁歪線の軸線方向に電流パルスを流すこと
により、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接する
磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線の特定部
位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計測す
ることにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検出
する装置において、 上記受信器は磁歪線が中心部を貫通する２個のコイルよ
りなり、これらコイルをその極性を逆にして接続すると
ともに、これらコイルにより得られる捩り弾性波の信号
波形のうち先方の波形と後方の波形の山同士または谷同
士が重なり合うように、２個のコイルを磁歪線の軸線方
向に所定距離を置いて配置したことを特徴とする磁歪式
変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35694891A JPH05172555A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 磁歪式変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35694891A JPH05172555A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 磁歪式変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172555A true JPH05172555A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18451586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35694891A Pending JPH05172555A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 磁歪式変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172555A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08145651A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-07 | Hiroyuki Wakiwaka | 変位検出装置 |
| WO1999063352A1 (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-09 | Cooke Chathan M | Closely-coupled multiple-winding magnetic induction-type sensor |
| JP2007240333A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Shinshu Univ | 変位検出方法及び装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54119264A (en) * | 1978-03-09 | 1979-09-17 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Signal detector |
| JPS63217224A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Sankyo Boeki Kk | 変位検出装置 |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP35694891A patent/JPH05172555A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54119264A (en) * | 1978-03-09 | 1979-09-17 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Signal detector |
| JPS63217224A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Sankyo Boeki Kk | 変位検出装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08145651A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-07 | Hiroyuki Wakiwaka | 変位検出装置 |
| WO1999063352A1 (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-09 | Cooke Chathan M | Closely-coupled multiple-winding magnetic induction-type sensor |
| US6392401B1 (en) | 1998-06-05 | 2002-05-21 | Chathan M. Cooke | Closely-coupled multiple-winding magnetic induction-type sensor |
| US6563296B2 (en) | 1998-06-05 | 2003-05-13 | Chathan M. Cooke | Closely-coupled multiple-winding magnetic induction-type sensor |
| JP2007240333A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Shinshu Univ | 変位検出方法及び装置 |
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