JPH10257728A - 同心多軸モータ - Google Patents

同心多軸モータ

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JPH10257728A
JPH10257728A JP9053721A JP5372197A JPH10257728A JP H10257728 A JPH10257728 A JP H10257728A JP 9053721 A JP9053721 A JP 9053721A JP 5372197 A JP5372197 A JP 5372197A JP H10257728 A JPH10257728 A JP H10257728A
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rotation
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Tetsuo Oishi
哲男 大石
Nobuo Ariga
信雄 有賀
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Shinko Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 設置に熟練を要さず、しかも保守が楽であっ
て、かつ小型の同心多軸モータを得ること。 【解決手段】 本発明は、内側出力軸たる第1の回転軸
20と、第1の回転軸20の同図左側部分の外周面に取
り付けられ界磁磁界を発生する永久磁石21と、第1の
回転軸20に対してボールベアリング23、24を介し
て同軸に配設された第2の回転軸22と、第2の回転軸
22の外周面に取り付けられ界磁磁界を発生する永久磁
石25と、第1の円筒部26aと該第1の円筒部26a
より径大の第2の円筒部26bとが一体に形成されてお
り、ボールベアリング27、28を介して第1の回転軸
20および第2の回転軸22を軸支するケーシング26
とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置、
一般産業用テーブル装置、繊維機械等の駆動源として用
いられる同心多軸モータに関する。
【0002】
【従来の技術】周知のごとく、モータは、一般産業用設
備における各種駆動源として広く使用されている。この
同心多軸モータの使用方法としては、同心多軸モータの
出力回転軸に負荷を取り付けた後、所定の回転速度で出
力回転軸を回転駆動することにより、負荷を駆動すると
いう、いわゆる1軸駆動方法が一般的である。また、近
年においては、産業界の発展や設備の多様化に対応すべ
く、同軸配設された複数の回転軸に各々取り付けられた
複数の負荷を異なる回転速度で駆動する同心多軸モータ
が用いられている。
【0003】図4は、上述した従来の同心多軸モータの
構成を示す断面図である。この図において、1は図示し
ない第1の制御装置(または第1のドライバ)により回
転駆動される第1のモータである。この第1のモータ1
において、2は内側出力軸たる第1の回転軸である。3
は、第1の回転軸2の同図左側の一定長さ部分の外周面
に取り付けられた永久磁石であり、界磁磁束を発生す
る。4は、基台5を介して設置床6に設置された略円筒
形状のケーシングであり、その両端板には、円形の開口
穴4a、4bが各々形成されている。
【0004】また、ケーシング4には、開口穴4a、4
bを貫くようにして第1の回転軸2の左側の一定長さ部
分が貫通されており、ケーシング4は、開口穴4a、4
bの周縁に沿って取り付けられたボールベアリング7、
8を介して第1の回転軸2を軸支している。すなわち、
第1の回転軸2の右側の一定長さ部分は、ケーシング4
の開口穴4aより同図右方へ突出している。9、9は、
ケーシング4の内周面に沿って各々配設されたステータ
であり、供給される三相交流電流により回転磁界を発生
する。
【0005】10は、第1のモータ1の近傍に設けられ
た第2のモータであり、図示しない第2の制御装置(ま
たは第2のドライバ)により回転駆動される。この第2
のモータ10において、11は、円筒形状の外側出力軸
たる第2の回転軸であり、第1の回転軸2の右側の一定
長さ部分に対して同軸配置されている。12は、第2の
回転軸11の外周面に取り付けられた永久磁石であり、
界磁磁束を発生する。13は、基台14を介して設置床
6に設置された略円筒形状のケーシングであり、その両
端板には、円形の開口穴13a、13aが各々形成され
ている。
【0006】また、ケーシング13には、開口穴13
a、13aを貫くようにして第1の回転軸2の右側の一
定長さ部分および第2の回転軸11が各々同軸状に貫通
されており、ケーシング13は、開口穴13a、13a
の周縁に沿って取り付けられたボールベアリング15、
16を介して第2の回転軸11を軸支している。すなわ
ち、第1の回転軸2および第2の回転軸11の先端部分
は、開口穴13aより同図右方へ突出している。17、
17は、ケーシング13の内周面に沿って各々配設され
たステータであり、供給される三相交流電流により回転
磁界を発生する。
【0007】上記構成において、第1および第2の制御
装置よりステータ9および17へ三相交流電力が供給さ
れると、回転磁界が発生し、第1の回転軸2および第2
の回転軸11が各々回転駆動される。また、第1の回転
軸2および第2の回転軸11の回転速度は、第1および
第2の制御装置の制御により同一速度または異なる速度
とされている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の同心
多軸モータにおいて、第1のモータ1および第2のモー
タ10を同心上に配置する際には、平行度や同心度等を
正確に測定しつつ行わなければならない。しかしなが
ら、従来の同心多軸モータにおいては、上記設置等に熟
練を要するとともに、設置された後の経年的な位置ズレ
等の修正、保守に多大なる労力を要するという欠点があ
った。また、従来の同心多軸モータにおいては、第1の
回転軸2の軸長が長いため、オーバハングとなり、これ
により軸の弾性モードに対して悪影響を及ぼし、ひいて
は共振点が低下したり、振動剛性が低下するという欠点
があった。さらに、従来の同心多軸モータにおいては、
2台の第1のモータ1および第2のモータ10から構成
されているため、当然のことながら設置面積が大きいと
いう欠点があった。本発明はこのような背景の下になさ
れたもので、設置に熟練を要さず、しかも保守が楽であ
って、かつ小型の同心多軸モータを提供することを目的
とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、第1の回転軸と、前記第1の回転軸に対して同軸配
設された円筒形状の第2の回転軸と、前記第1の回転軸
と前記第2の回転軸との間に介挿された第1の軸受と、
前記第1および第2の回転軸に対して同軸配設された略
円筒形状のケーシングと、前記第1の回転軸と前記ケー
シングとの間に介挿された第2の軸受と、前記第2の回
転軸と前記ケーシングとの間に介挿された第3の軸受
と、前記第1および第2の回転軸を回転駆動する駆動手
段とを具備することを特徴とする。また、請求項2に記
載の発明は、請求項1に記載の同心多軸モータにおい
て、前記第1の回転軸の回転速度を検知する第1の速度
検知手段と、前記第2の回転軸の回転速度を検知する第
2の速度検知手段と、前記駆動手段は、前記第1および
第2の速度検知手段の各検知結果に基づいて、前記第1
および第2の回転軸が共に同一の回転速度で回転するよ
うに、前記第1および第2の回転軸を回転駆動すること
を特徴とする。請求項3に記載の発明は、請求項1に記
載の同心多軸モータにおいて、前記第1の回転軸の回転
速度を検知する第1の速度検知手段と、前記第2の回転
軸の回転速度を検知する第2の速度検知手段と、前記駆
動手段は、前記第1および第2の速度検知手段の各検知
結果に基づいて、前記第1および第2の回転軸が共に所
定の回転速度差をもって回転するように、前記第1およ
び第2の回転軸を回転駆動することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図1は本発明の一実施形態に
よる同心多軸モータの構成を示す断面図である。図2
(a)は図1に示すA−A線視断面図であり、図2
(b)は図1に示すB−B線視断面図である。図1にお
いて、20は、内側出力軸たる第1の回転軸である。2
1は、第1の回転軸20の同図左側部分の外周面に取り
付けられた永久磁石であり、界磁磁界を発生する。
【0011】22は、外側出力軸たる略円筒形状の第2
の回転軸であり、第1の回転軸20に対してボールベア
リング23、24を介して同軸に配設されている。25
は、第2の回転軸22の外周面に取り付けられた永久磁
石であり、界磁磁界を発生する。26は、略円筒形状の
ケーシングであり、第1の円筒部26aと該第1の円筒
部26aより径大の第2の円筒部26bとが一体に形成
されてなる。
【0012】また、ケーシング26の一端板の中央部に
は、開口穴26cが形成されており、さらにケーシング
26の他端板の中央部には、開口穴26dが形成されて
いる。ケーシング26は、開口穴26cの周縁に取り付
けられたボールベアリング27を介して第1の回転軸2
0の一端部を軸支しているとともに、開口穴26dの周
縁に取り付けられたボールベアリング28を介して第2
の回転軸22を軸支している。
【0013】29は、図2(a)に示す第1の円筒部2
6aの内周面26eに沿って各々配設された鉄心であ
り、この鉄心29には、第1のコイル30、30、・・・
が各々巻回されている。これらの第1のコイル30、3
0、・・・は、供給される三相交流電流により回転磁界を
発生する。
【0014】40は、第1の回転軸20の近傍に配設さ
れた第1の磁極センサであり、第1の回転軸20の回転
速度を検知し、検知結果を第1の回転速度信号P1(図
3参照)として出力する。この第1の磁極センサ40と
しては、ホール素子等が用いられている。
【0015】図2(b)に示す、31は、第2の円筒部
26bの内周面26fに沿って各々配設された鉄心であ
り、この鉄心31には、第2のコイル32、32、・・・
が各々巻回されている。これらの第2のコイル32、3
2、・・・は、供給される三相交流電流により回転磁界を
発生する。
【0016】50は、第2の回転軸22の近傍に配設さ
れた第2の磁極センサであり、第2の回転軸22の回転
速度を検知し、検知結果を第2の回転速度信号P2(図
3参照)として出力する。この第2の磁極センサ50と
しては、ホール素子等が用いられている。
【0017】図3は、上述した一実施形態による同心多
軸モータの電気的構成を示すブロック図である。この図
において、60は、制御演算部であり、基準速度指令信
号Sr、速度差指令信号Ss、第1の回転速度信号P1お
よび第2の回転速度信号P2に基づいて、第1の回転軸
20および第2の回転軸22の回転速度を制御する。こ
の制御演算部60の動作の詳細については後述する。
【0018】61は、第1の回転軸20(図1参照)を
駆動する第1のドライバであり、制御演算部60より入
力される第1の速度指令信号S1に応じた三相交流電流
I1を第1のコイル30へ供給する。62は、第2の回
転軸22(図1参照)を駆動する第2のドライバであ
り、制御演算部60より入力される第2の速度指令信号
S2に応じた三相交流電流I2を第2のコイル32へ供給
する。
【0019】次に、上述した一実施形態による同心多軸
モータの動作について説明する。はじめに、第1の回転
軸20および第2の回転軸22を共に同一の回転速度で
動作させる場合について説明する。図3に示す基準速度
指令信号Srが入力されると、制御演算部60は、基準
速度指令信号Srに対応した第1の速度指令信号S1およ
び第2の速度指令信号S2を第1のドライバ61および
第2のドライバ62へ各々出力する。これにより、第1
のドライバ61および第2のドライバ62は、第1の速
度指令信号S1および第2の速度指令信号S2に対応した
三相交流電流I1および三相交流電流I2を第1のコイル
30および第2のコイル32へ各々出力する。
【0020】これにより、図1に示す鉄心第1のコイル
30、30、・・・および第2のコイル32、32、・・・に
各々回転磁界が発生し、これらの回転磁界と永久磁石2
1、25との相互作用によるローレンツ力が発生するこ
とにより、第1の回転軸20および第2の回転軸22が
回転駆動される。このとき、図3に示す第1の磁極セン
サ40および第2の磁極センサ50からは、第1の回転
軸20および第2の回転軸22の回転速度を示す第1の
回転速度信号P1および第2の回転速度信号P2が制御演
算部60へ出力される。
【0021】以後、制御演算部60は、第1の回転速度
信号P1および第2の回転速度信号P2のフィードバック
を受けながら、第1の回転軸20および第2の回転軸2
2が共に、基準速度指令信号Srが示す回転速度となる
ように第1の速度指令信号S1および第2の速度指令信
号S2を各々出力する。
【0022】次に、第1の回転軸20および第2の回転
軸22を一定の回転速度差をもって回転駆動する場合の
動作について説明する。図3に示す基準速度指令信号S
rおよび速度差指令信号Ssが入力されると、制御演算部
60は、基準速度指令信号Srに対応した第1の速度指
令信号S1を第1のドライバ61へ出力する。これと同
時に、制御演算部60は、基準速度指令信号Srが示す
回転速度より、速度差指令信号Ssが示す回転速度差分
遅い(または速い)速度を示す第2の速度指令信号S2
を第2のドライバ62へ出力する。
【0023】これにより、第1のドライバ61および第
2のドライバ62は、第1の速度指令信号S1および第
2の速度指令信号S2に対応した三相交流電流I1および
三相交流電流I2を第1のコイル30および第2のコイ
ル32へ各々出力する。
【0024】これにより、図1に示す第1のコイル3
0、30、・・・および第2のコイル32、32、・・・に各
々回転磁界が発生し、これらの回転磁界と永久磁石2
1、25との相互作用によるローレンツ力が発生するこ
とにより、第1の回転軸20および第2の回転軸22が
速度差指令信号Ssが示す回転速度差をもって各々回転
駆動される。このとき、図3に示す第1の磁極センサ4
0および第2の磁極センサ50からは、第1の回転軸2
0および第2の回転軸22の回転速度を示す第1の回転
速度信号P1および第2の回転速度信号P2が制御演算部
60へ出力される。
【0025】以後、制御演算部60は、第1の回転速度
信号P1および第2の回転速度信号P2のフィードバック
を受けながら、第1の回転軸20および第2の回転軸2
2の回転速度差が速度差指令信号Ssが示す回転速度差
となるように第1の速度指令信号S1および第2の速度
指令信号S2を各々出力する。
【0026】以上説明したように、本発明の一実施形態
による同心多軸モータによれば、第1の回転軸20およ
び第2の回転軸22を1つのケーシング26に収容して
いるので、設置に熟練を要さず、しかも保守が楽であっ
て、かつ小型にすることができるという効果が得られ
る。また、上述した一実施形態による同心多軸モータに
よれば、図1に示すボールベアリング23より同図右方
へ突出している第1の回転軸20の長さを、従来の同心
多軸モータに比して短くすることができるため、負荷側
にオーバハングすることがない。従って、一実施形態に
よる同心多軸モータによれば、ボールベアリング23、
24、27にかかる負荷が低減されるため、ボールベア
リング23、24、27の損傷を防止でき、ひいては寿
命を長くすることができるという効果が得られる。さら
に、上述した一実施形態による同心多軸モータによれ
ば、ボールベアリング27とボールベアリング23、2
4との間の距離が従来の同心多軸モータに比して長いた
め、第1の回転軸20が安定に軸支されることから、弾
性モードに対する悪影響を解消することができるという
効果が得られる。加えて、上述した一実施形態による同
心多軸モータによれば、小型化されることにより、設置
面積を小さくすることができるとともに、製造コストを
も安くすることができるという効果が得られる。
【0027】以上、本発明の一実施形態を図面を参照し
て詳述してきたが、具体的な構成はこの一実施形態に限
られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上述
した一実施形態による同心多軸モータにおいては、2軸
のものについて説明したが、これに限定されることなく
軸数を3軸以上としてもよい。また、上述した一実施形
態による同心多軸モータにおいては、永久磁石21、2
5を用いたモータについて説明したが、これに限定され
ることなくモータの種類はいかなるものであってもよ
い。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、1つのケーシング内に
第1および第2の回転軸を収容する構成としたので、設
置に熟練を要さず、しかも保守が楽であって、かつ小型
にすることができるという効果が得られる。また、本発
明によれば、第1の軸受より負荷側へ突出した第1の回
転軸の長さが従来の同心多軸モータに比して短いため、
負荷側にオーバハングすることがない。従って、本発明
によれば、第1および第2の軸受にかかる負荷が低減さ
れるため、第1および第2の軸受の損傷を防止でき、ひ
いては寿命を長くすることができるという効果が得られ
る。さらに、本発明によれば、第1の軸受と第2の軸受
との間の距離が従来の同心多軸モータに比して長いた
め、第1の回転軸が安定に軸支されることから、弾性モ
ードに対する悪影響を解消することができるという効果
が得られる。加えて、本発明によれば、小型化されるこ
とにより、設置面積を小さくすることができるととも
に、製造コストをも安くすることができるという効果が
得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による同心多軸モータの
構成を示す断面図である。
【図2】 図1に示すA−A線視断面図およびB−B線
視断面図である。
【図3】 本発明の一実施形態による同心多軸モータの
電気的構成を示すブロック図である。
【図4】 従来の同心多軸モータの構成を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
20 第1の回転軸 21 永久磁石 22 第2の回転軸 23、24 ボールベアリング 25 永久磁石 26 ケーシング 27、28 ボールベアリング 29 鉄心 30 第1のコイル 31 鉄心 32 第2のコイル 40 第1の磁極センサ 50 第2の磁極センサ 60 制御演算部 61 第1のドライバ 62 第2のドライバ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の回転軸と、 前記第1の回転軸に対して同軸配設された円筒形状の第
    2の回転軸と、 前記第1の回転軸と前記第2の回転軸との間に介挿され
    た第1の軸受と、 前記第1および第2の回転軸に対して同軸配設された略
    円筒形状のケーシングと、 前記第1の回転軸と前記ケーシングとの間に介挿された
    第2の軸受と、 前記第2の回転軸と前記ケーシングとの間に介挿された
    第3の軸受と、 前記第1および第2の回転軸を回転駆動する駆動手段
    と、 を具備することを特徴とする同心多軸モータ。
  2. 【請求項2】 前記第1の回転軸の回転速度を検知する
    第1の速度検知手段と、 前記第2の回転軸の回転速度を検知する第2の速度検知
    手段と、 前記駆動手段は、前記第1および第2の速度検知手段の
    各検知結果に基づいて、前記第1および第2の回転軸が
    共に同一の回転速度で回転するように、前記第1および
    第2の回転軸を回転駆動すること、 を特徴とする請求項1に記載の同心多軸モータ。
  3. 【請求項3】 前記第1の回転軸の回転速度を検知する
    第1の速度検知手段と、 前記第2の回転軸の回転速度を検知する第2の速度検知
    手段と、 前記駆動手段は、前記第1および第2の速度検知手段の
    各検知結果に基づいて、前記第1および第2の回転軸が
    共に所定の回転速度差をもって回転するように、前記第
    1および第2の回転軸を回転駆動すること、 を特徴とする請求項1に記載の同心多軸モータ。
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