JPH10256222A - ウェーハの枚葉アルカリエッチング装置 - Google Patents
ウェーハの枚葉アルカリエッチング装置Info
- Publication number
- JPH10256222A JPH10256222A JP9055991A JP5599197A JPH10256222A JP H10256222 A JPH10256222 A JP H10256222A JP 9055991 A JP9055991 A JP 9055991A JP 5599197 A JP5599197 A JP 5599197A JP H10256222 A JPH10256222 A JP H10256222A
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- JP
- Japan
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- wafer
- etching
- wafers
- screw
- etching bath
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチング槽内でウェーハを連続的に移動さ
せながら、枚葉エッチングする。 【解決手段】 面内方向を垂直にして複数のウェーハ
６，６・・を収容する内容積をもつエッチング槽１に複
数本のスクリューローラ２〜５を浸漬する。スクリュー
ローラ２〜５は、ウェーハ６，６・・の周縁が差し込ま
れる複数の送りネジ８が長手方向に設けられている。エ
ッチングされるウェーハ６，６・・は、エッチング槽１
の一端に設けられた搬入機でエッチング槽に浸漬され、
スクリューローラ２〜５の回転によりエッチング槽１の
一端から他端にウェーハ６，６・・がピッチ送りされな
がらアルカリエッチングされ、他端に設けられた搬出機
でエッチング槽１から引き上げられる。 【効果】 エッチング処理が連続化されるため、従来の
バッチ方式に比較して処理能力が高い。
せながら、枚葉エッチングする。 【解決手段】 面内方向を垂直にして複数のウェーハ
６，６・・を収容する内容積をもつエッチング槽１に複
数本のスクリューローラ２〜５を浸漬する。スクリュー
ローラ２〜５は、ウェーハ６，６・・の周縁が差し込ま
れる複数の送りネジ８が長手方向に設けられている。エ
ッチングされるウェーハ６，６・・は、エッチング槽１
の一端に設けられた搬入機でエッチング槽に浸漬され、
スクリューローラ２〜５の回転によりエッチング槽１の
一端から他端にウェーハ６，６・・がピッチ送りされな
がらアルカリエッチングされ、他端に設けられた搬出機
でエッチング槽１から引き上げられる。 【効果】 エッチング処理が連続化されるため、従来の
バッチ方式に比較して処理能力が高い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン等のウェーハ
を枚葉で効率よくアルカリエッチングする装置に関す
る。
を枚葉で効率よくアルカリエッチングする装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハのアルカリエッチングに際して
は、２０〜１００枚程度のウェーハを所定間隔で収容し
たバスケットを使用したバッチ方式が採用されている。
この方式では、ウェーハを収容したバスケットをアルカ
リエッチング液に浸漬し、所定時間経過した後、エッチ
ング液からバスケットを引き上げ、エッチングされたウ
ェーハをバスケットから取り出して次工程に搬送してい
る。バスケットを使用してエッチングするとき、多数の
ウェーハが均一条件下でエッチングされるため、エッチ
ング後の品質が一定化する。
は、２０〜１００枚程度のウェーハを所定間隔で収容し
たバスケットを使用したバッチ方式が採用されている。
この方式では、ウェーハを収容したバスケットをアルカ
リエッチング液に浸漬し、所定時間経過した後、エッチ
ング液からバスケットを引き上げ、エッチングされたウ
ェーハをバスケットから取り出して次工程に搬送してい
る。バスケットを使用してエッチングするとき、多数の
ウェーハが均一条件下でエッチングされるため、エッチ
ング後の品質が一定化する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、バッチ方式で
は、バスケットに多数のウェーハを収納し、エッチング
後にバスケットから取り出す工程が必要となる。そのた
め、手数のかかる作業となる。また、ウェーハの大径化
に伴って、ウェーハを収容したバスケットがかなりの重
量物になり、運搬，取扱い，セッティング等にかかる負
担が大きくなることは勿論、エッチング装置及びその付
帯設備も大型化する。また、エッチング反応が拡散律速
の場合、バスケットの形状に起因して不均一にエッチン
グされる部分が生じ易い。不均一なエッチングはエッチ
ング液の撹拌により防止されるが、そのために専用の撹
拌機が必要になる。そこで、バスケットを使用したバッ
チ方式に替わるエッチング法として、枚葉式のアルカリ
エッチングが一部で見直されている。しかし、従来の枚
葉式アルカリエッチングでは、単位時間当りの処理枚数
が少ない。また、複数のウェーハをコンベア上に水平に
配列させ連続的に送りながらエッチングしようとする
と、装置の占有面積が大きくなり過ぎる欠点がある。た
とえば、３０ｃｍ径のウェーハを１０枚並べると、３ｍ
以上の長さをもつエッチング槽が必要になる。本発明
は、このような問題を解消すべく案出されたものであ
り、エッチング槽内でウェーハを連続的に移動させる機
構を組み込むことにより、枚葉式アルカリエッチングで
あるにも関わらず処理能力を飛躍的に向上させ、大径化
する傾向にあるウェーハに適したアルカリエッチング装
置を提供することを目的とする。
は、バスケットに多数のウェーハを収納し、エッチング
後にバスケットから取り出す工程が必要となる。そのた
め、手数のかかる作業となる。また、ウェーハの大径化
に伴って、ウェーハを収容したバスケットがかなりの重
量物になり、運搬，取扱い，セッティング等にかかる負
担が大きくなることは勿論、エッチング装置及びその付
帯設備も大型化する。また、エッチング反応が拡散律速
の場合、バスケットの形状に起因して不均一にエッチン
グされる部分が生じ易い。不均一なエッチングはエッチ
ング液の撹拌により防止されるが、そのために専用の撹
拌機が必要になる。そこで、バスケットを使用したバッ
チ方式に替わるエッチング法として、枚葉式のアルカリ
エッチングが一部で見直されている。しかし、従来の枚
葉式アルカリエッチングでは、単位時間当りの処理枚数
が少ない。また、複数のウェーハをコンベア上に水平に
配列させ連続的に送りながらエッチングしようとする
と、装置の占有面積が大きくなり過ぎる欠点がある。た
とえば、３０ｃｍ径のウェーハを１０枚並べると、３ｍ
以上の長さをもつエッチング槽が必要になる。本発明
は、このような問題を解消すべく案出されたものであ
り、エッチング槽内でウェーハを連続的に移動させる機
構を組み込むことにより、枚葉式アルカリエッチングで
あるにも関わらず処理能力を飛躍的に向上させ、大径化
する傾向にあるウェーハに適したアルカリエッチング装
置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の枚葉アルカリエ
ッチング装置は、その目的を達成するため、面内方向を
垂直にして複数のウェーハを収容する内容積をもつエッ
チング槽と、エッチング槽に浸漬された複数本のスクリ
ューローラと、スクリューローラの長手方向に設けら
れ、ウェーハの周縁が差し込まれる複数の送りネジとを
備え、スクリューローラの回転によりエッチング槽の一
端から他端にウェーハがピッチ送りされることを特徴と
する。エッチングされるウェーハは、エッチング槽の一
端に設けられた搬入機でエッチング槽に浸漬され、所定
のエッチング処理時間を経て、他端に設けられた搬出機
でエッチング槽から引き上げられる。ウェーハの下部近
傍を支持する一対のスクリューローラと、ウェーハの中
央部近傍を支持する一対のスクリューローラとをエッチ
ング槽に配置すると、エッチング中のウェーハが安定し
た位置関係でピッチ送りされる。また、各スクリューロ
ーラを同一方向に回転させると、エッチング槽内でピッ
チ送りされているウェーハに回転運動が与えられる。こ
の回転運動によりウェーハがエッチング液と均一に接触
し、不均一なエッチングが抑制される。このエッチング
装置は、たとえば取り代が３０〜４０μｍ程度の通常の
ウェーハエッチング，スライス直後の残留歪みを除去す
るために行われる取り代数μｍのエッチング，レーザマ
ーキング後の溶融屑を除去するための取り代１０μｍ程
度のエッチング等に使用される。
ッチング装置は、その目的を達成するため、面内方向を
垂直にして複数のウェーハを収容する内容積をもつエッ
チング槽と、エッチング槽に浸漬された複数本のスクリ
ューローラと、スクリューローラの長手方向に設けら
れ、ウェーハの周縁が差し込まれる複数の送りネジとを
備え、スクリューローラの回転によりエッチング槽の一
端から他端にウェーハがピッチ送りされることを特徴と
する。エッチングされるウェーハは、エッチング槽の一
端に設けられた搬入機でエッチング槽に浸漬され、所定
のエッチング処理時間を経て、他端に設けられた搬出機
でエッチング槽から引き上げられる。ウェーハの下部近
傍を支持する一対のスクリューローラと、ウェーハの中
央部近傍を支持する一対のスクリューローラとをエッチ
ング槽に配置すると、エッチング中のウェーハが安定し
た位置関係でピッチ送りされる。また、各スクリューロ
ーラを同一方向に回転させると、エッチング槽内でピッ
チ送りされているウェーハに回転運動が与えられる。こ
の回転運動によりウェーハがエッチング液と均一に接触
し、不均一なエッチングが抑制される。このエッチング
装置は、たとえば取り代が３０〜４０μｍ程度の通常の
ウェーハエッチング，スライス直後の残留歪みを除去す
るために行われる取り代数μｍのエッチング，レーザマ
ーキング後の溶融屑を除去するための取り代１０μｍ程
度のエッチング等に使用される。
【０００５】
【実施の形態】本発明に従った枚葉アルカリエッチング
装置は、たとえば図１に示すようにアルカリエッチング
液を収容したエッチング槽１に４本のスクリューローラ
２〜５を配置している。被処理材であるウェーハ６は、
面内方向を垂直にしてエッチング槽１内に収容される。
スクリューローラ２，３は、図２に示すように、収容さ
れるウェーハ６の下部を支持する位置に配置される。残
るスクリューローラ４，５は、ウェーハ５のほぼ中央部
を支持する位置に配置される。各スクリューローラ２〜
５は、図３に示すようにシャフト部７に送りネジ８を取
り付け或いは一体成形した構造をもっている。シャフト
部７はウェーハ６の周方向端面に対向し、隣接する送り
ネジ８，８の間にウェーハ６の周縁部が差し込まれる。
装置は、たとえば図１に示すようにアルカリエッチング
液を収容したエッチング槽１に４本のスクリューローラ
２〜５を配置している。被処理材であるウェーハ６は、
面内方向を垂直にしてエッチング槽１内に収容される。
スクリューローラ２，３は、図２に示すように、収容さ
れるウェーハ６の下部を支持する位置に配置される。残
るスクリューローラ４，５は、ウェーハ５のほぼ中央部
を支持する位置に配置される。各スクリューローラ２〜
５は、図３に示すようにシャフト部７に送りネジ８を取
り付け或いは一体成形した構造をもっている。シャフト
部７はウェーハ６の周方向端面に対向し、隣接する送り
ネジ８，８の間にウェーハ６の周縁部が差し込まれる。
【０００６】ウェーハ６を支持するスクリューローラ２
〜５を同一方向に回転させると、ウェーハ６は、矢印で
示す方向にピッチ送りされる。送り速度は、エッチング
槽１の端から端までウェーハ６が移動する間に所定のエ
ッチングが施されるように調節される。そこで、処理し
ようとするウェーハ６の収容枚数を考慮してエッチング
槽１の内容積を設定すると、多数のウェーハ６を枚葉ご
とにエッチングすることが可能になる。また、スクリュ
ーローラ２〜５に付けるネジ山８の個数も、エッチング
装置の処理能力に応じて適宜設定される。具体的には、
アルカリエッチング速度は一般的に２〜３μｍ／分であ
り、３０〜４０μｍの必要取り代に対して１０〜１５分
の処理時間が必要となる。この処理時間が満足され、且
つ数十枚のウェーハ６，６・・が同時にアルカリエッチ
ング液に浸漬されるように、エッチング槽１の内法長さ
及びスクリューフィーダ２〜５に付けるネジ山８の個数
を設定する。なお、ネジ山８のピッチは、隣接するウェ
ーハ６，６の間隙が過度に狭くならないように６〜２０
ｍｍの範囲に定められる。
〜５を同一方向に回転させると、ウェーハ６は、矢印で
示す方向にピッチ送りされる。送り速度は、エッチング
槽１の端から端までウェーハ６が移動する間に所定のエ
ッチングが施されるように調節される。そこで、処理し
ようとするウェーハ６の収容枚数を考慮してエッチング
槽１の内容積を設定すると、多数のウェーハ６を枚葉ご
とにエッチングすることが可能になる。また、スクリュ
ーローラ２〜５に付けるネジ山８の個数も、エッチング
装置の処理能力に応じて適宜設定される。具体的には、
アルカリエッチング速度は一般的に２〜３μｍ／分であ
り、３０〜４０μｍの必要取り代に対して１０〜１５分
の処理時間が必要となる。この処理時間が満足され、且
つ数十枚のウェーハ６，６・・が同時にアルカリエッチ
ング液に浸漬されるように、エッチング槽１の内法長さ
及びスクリューフィーダ２〜５に付けるネジ山８の個数
を設定する。なお、ネジ山８のピッチは、隣接するウェ
ーハ６，６の間隙が過度に狭くならないように６〜２０
ｍｍの範囲に定められる。
【０００７】たとえば、ネジ山８のピッチを１０ｍｍに
設定した場合、２５枚のウェーハ６，６・・を同時にア
ルカリエッチング液に浸漬するためには、エッチング槽
１の内法長さを２８０〜３２０ｍｍの範囲に定める。ま
た、ウェーハ６，６・・の浸漬時間は、スクリューロー
ラ２〜５の回転速度、すなわちネジ山８によるピッチ送
り速度によっても調整できる。ウェーハ６は、たとえば
図４に示す搬入機９を使用して、エッチング槽１の一端
からエッチング液に浸漬される。搬入機９は、ウェーハ
６の主面に直角方向から近付くアーム１０を備えてお
り、アーム１０の下端近傍に下側ウェーハ押え１１を固
着している。アーム１０の途中にエアシリンダ１２が設
けられており、ロッド１３がバネ１４を介してエアシリ
ンダ１２に連結されている。ロッド１３はリンク機構１
５に接続されており、リンク機構１５の先端に上側ウェ
ーハ押え１６が設けられている。下側ウェーハ押え１１
は、図５に示すようにアーム１０の二股状に分岐した下
端に２個取り付けられている。
設定した場合、２５枚のウェーハ６，６・・を同時にア
ルカリエッチング液に浸漬するためには、エッチング槽
１の内法長さを２８０〜３２０ｍｍの範囲に定める。ま
た、ウェーハ６，６・・の浸漬時間は、スクリューロー
ラ２〜５の回転速度、すなわちネジ山８によるピッチ送
り速度によっても調整できる。ウェーハ６は、たとえば
図４に示す搬入機９を使用して、エッチング槽１の一端
からエッチング液に浸漬される。搬入機９は、ウェーハ
６の主面に直角方向から近付くアーム１０を備えてお
り、アーム１０の下端近傍に下側ウェーハ押え１１を固
着している。アーム１０の途中にエアシリンダ１２が設
けられており、ロッド１３がバネ１４を介してエアシリ
ンダ１２に連結されている。ロッド１３はリンク機構１
５に接続されており、リンク機構１５の先端に上側ウェ
ーハ押え１６が設けられている。下側ウェーハ押え１１
は、図５に示すようにアーム１０の二股状に分岐した下
端に２個取り付けられている。
【０００８】ウェーハ６をウェーハ押え１１と１６との
間に挟み込むときには、先ずロッド１３を押し下げてリ
ンク機構１５を上方に傾動させ、ウェーハ押え１６を開
く（図４右）。そして、２個の下側ウェーハ押え１１，
１１にウェーハ６の下縁を置き、ウェーハ６を垂直に保
持する。そして、エアシリンダ１２を駆動させてロッド
１３を上昇させると、上側ウェーハ押え１６がリンク機
構１５を介して下向きに傾動する。その結果、ウェーハ
６の上縁及び下縁がウェーハ押え１６，１１で挟持され
る（図４左）。この状態で図５に示すように、エッチン
グ槽１内に配置されているスクリューローラ２〜５の所
定の溝にウェーハ６を差し込み、エッチング槽１に浸漬
する。この方式によるとき、バネ１４の伸縮力でウェー
ハ６に加わる衝撃が緩和されるので、ウェーハ６の損傷
が防止される。ウェーハ押え１１，１６としては、耐薬
品性に優れ比較的軟質なフッ素樹脂等を使用することが
好ましい。なお、ウェーハ６の浸漬に際しては、バネ１
４がエッチング液に浸漬されないようにアーム１０の長
さ及びバネ１４の配置位置を選定する。
間に挟み込むときには、先ずロッド１３を押し下げてリ
ンク機構１５を上方に傾動させ、ウェーハ押え１６を開
く（図４右）。そして、２個の下側ウェーハ押え１１，
１１にウェーハ６の下縁を置き、ウェーハ６を垂直に保
持する。そして、エアシリンダ１２を駆動させてロッド
１３を上昇させると、上側ウェーハ押え１６がリンク機
構１５を介して下向きに傾動する。その結果、ウェーハ
６の上縁及び下縁がウェーハ押え１６，１１で挟持され
る（図４左）。この状態で図５に示すように、エッチン
グ槽１内に配置されているスクリューローラ２〜５の所
定の溝にウェーハ６を差し込み、エッチング槽１に浸漬
する。この方式によるとき、バネ１４の伸縮力でウェー
ハ６に加わる衝撃が緩和されるので、ウェーハ６の損傷
が防止される。ウェーハ押え１１，１６としては、耐薬
品性に優れ比較的軟質なフッ素樹脂等を使用することが
好ましい。なお、ウェーハ６の浸漬に際しては、バネ１
４がエッチング液に浸漬されないようにアーム１０の長
さ及びバネ１４の配置位置を選定する。
【０００９】浸漬されたウェーハ６は、回転しながら、
面に対してほぼ直角の方向に沿ってエッチング槽１内を
搬送される。そのため、バッチ処理にありがちなバスケ
ット跡やエッチングムラのない処理が可能になる。ま
た、ウェーハ６，６・・の隣接間隔を比較的狭く設定で
きるため、同時処理できるウェーハ６，６・・の枚数も
多くすることができる。スクリューローラ２〜５により
エッチング槽１の一端から他端までピッチ送りされる過
程で、所定のエッチング処理がウェーハ６に施される。
エッチング槽１の他端に至ったウェーハ６は、図５に示
す搬出機でエッチング槽１から引き上げられる。搬出機
には、搬入機とほぼ同じ構造をもつものが使用され、エ
ッチング槽１からウェーハ６を引き上げた後、ウェーハ
押え１１，１６を開くことにより搬出機からウェーハ６
を取り外し、次工程に搬送する。このようにしてウェー
ハ６，６・・をアルカリエッチングするとき、枚葉処理
であるにも拘らず、多数のウェーハ６，６・・を連続的
にエッチングできるため、ハンドリング機器の大型化を
招くことなく、処理能力が飛躍的に向上する。しかも、
エッチング槽１は、ウェーハ６，６・・を直径よりも若
干大きい程度の内容積をもっていれば十分であり、大径
化の傾向が強いウェーハのエッチング処理に好適であ
る。
面に対してほぼ直角の方向に沿ってエッチング槽１内を
搬送される。そのため、バッチ処理にありがちなバスケ
ット跡やエッチングムラのない処理が可能になる。ま
た、ウェーハ６，６・・の隣接間隔を比較的狭く設定で
きるため、同時処理できるウェーハ６，６・・の枚数も
多くすることができる。スクリューローラ２〜５により
エッチング槽１の一端から他端までピッチ送りされる過
程で、所定のエッチング処理がウェーハ６に施される。
エッチング槽１の他端に至ったウェーハ６は、図５に示
す搬出機でエッチング槽１から引き上げられる。搬出機
には、搬入機とほぼ同じ構造をもつものが使用され、エ
ッチング槽１からウェーハ６を引き上げた後、ウェーハ
押え１１，１６を開くことにより搬出機からウェーハ６
を取り外し、次工程に搬送する。このようにしてウェー
ハ６，６・・をアルカリエッチングするとき、枚葉処理
であるにも拘らず、多数のウェーハ６，６・・を連続的
にエッチングできるため、ハンドリング機器の大型化を
招くことなく、処理能力が飛躍的に向上する。しかも、
エッチング槽１は、ウェーハ６，６・・を直径よりも若
干大きい程度の内容積をもっていれば十分であり、大径
化の傾向が強いウェーハのエッチング処理に好適であ
る。
【００１０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のアルカ
リエッチング装置は、エッチング槽に配置した複数のス
クリューローラにより、面内方向を垂直に維持された複
数のウェーハをエッチング槽の一端から他端に移動させ
ながらエッチングしている。そのため、枚葉エッチング
であるにも拘らず処理能力が極めて高く、また大径化の
傾向が強いウェーハに対しても十分対応できる。
リエッチング装置は、エッチング槽に配置した複数のス
クリューローラにより、面内方向を垂直に維持された複
数のウェーハをエッチング槽の一端から他端に移動させ
ながらエッチングしている。そのため、枚葉エッチング
であるにも拘らず処理能力が極めて高く、また大径化の
傾向が強いウェーハに対しても十分対応できる。
【図１】 本発明に従った枚葉アルカリエッチング装置
の概略斜視図
の概略斜視図
【図２】 エッチング槽内に配置されるスクリューロー
ラ
ラ
【図３】 スクリューローラで支持されているウェーハ
【図４】 エッチング槽の入側に配置される搬入機の側
面図
面図
【図５】 搬入機の正面図
１：エッチング槽 ２〜５：スクリューローラ
６：ウェーハ ７：シャフト部 ８：送りネジ ９：搬入機
１０：アーム １１：下側ウェーハ押え １２：エアシリンダ １
３：ロッド １４：バネ １５：リンク機構 １
６：上側ウェーハ押え
６：ウェーハ ７：シャフト部 ８：送りネジ ９：搬入機
１０：アーム １１：下側ウェーハ押え １２：エアシリンダ １
３：ロッド １４：バネ １５：リンク機構 １
６：上側ウェーハ押え
Claims (3)
- 【請求項１】 面内方向を垂直にして複数のウェーハを
収容する内容積をもつエッチング槽と、エッチング槽に
浸漬された複数本のスクリューローラと、スクリューロ
ーラの長手方向に設けられ、ウェーハの周縁が差し込ま
れる複数の送りネジとを備え、スクリューローラの回転
によりエッチング槽の一端から他端にウェーハがピッチ
送りされるウェーハの枚葉アルカリエッチング装置。 - 【請求項２】 エッチング槽の一端に搬入機が設けら
れ、他端に搬出機が設けられている請求項１記載のウェ
ーハの枚葉アルカリエッチング装置。 - 【請求項３】 ウェーハの下部近傍を支持する一対のス
クリューローラと、ウェーハの中央部近傍を支持する一
対のスクリューローラとを備えている請求項１記載のウ
ェーハの枚葉アルカリエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9055991A JPH10256222A (ja) | 1997-03-11 | 1997-03-11 | ウェーハの枚葉アルカリエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9055991A JPH10256222A (ja) | 1997-03-11 | 1997-03-11 | ウェーハの枚葉アルカリエッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10256222A true JPH10256222A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=13014560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9055991A Pending JPH10256222A (ja) | 1997-03-11 | 1997-03-11 | ウェーハの枚葉アルカリエッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10256222A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101052821B1 (ko) * | 2009-02-18 | 2011-07-29 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 그 방법 |
| CN107955972A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-24 | 中锗科技有限公司 | 旋转锗片/硅片碱腐蚀工艺及其专用设备 |
-
1997
- 1997-03-11 JP JP9055991A patent/JPH10256222A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101052821B1 (ko) * | 2009-02-18 | 2011-07-29 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 그 방법 |
| CN107955972A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-24 | 中锗科技有限公司 | 旋转锗片/硅片碱腐蚀工艺及其专用设备 |
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