JPH10253641A - 走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダInfo
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- JPH10253641A JPH10253641A JP5292997A JP5292997A JPH10253641A JP H10253641 A JPH10253641 A JP H10253641A JP 5292997 A JP5292997 A JP 5292997A JP 5292997 A JP5292997 A JP 5292997A JP H10253641 A JPH10253641 A JP H10253641A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】探針ホルダまで電子衝撃による加熱を行わな
く、小さい電力で探針のみを電子衝撃により十分に加熱
する。 【構成】探針ホルダ１は、探針固定用ナット４の表面に
セラミックコーティング部１１が形成されている。ホル
ダ本体３の探針保持部３ａの溝孔に探針２を挿入した
後、この探針用固定ナット４を探針保持部３ａに締結す
ることで、探針２が探針保持部３ａに保持される。した
がって、フィラメントから放出された熱電子は、探針固
定用ナット４の表面がセラミックコーティング部１１で
覆われているため、熱電子のほとんどは探針２のみに衝
突し、この電子衝撃により、探針２のみが効率よく高温
に加熱される。しかも、セラミックコーティング部１１
は熱伝導率が悪いので、探針保持部３ａおよび探針固定
用ナット４を通して探針２の熱が逃げ難くなるので、探
針２のみを更に一層効果的に高温にすることができる。
く、小さい電力で探針のみを電子衝撃により十分に加熱
する。 【構成】探針ホルダ１は、探針固定用ナット４の表面に
セラミックコーティング部１１が形成されている。ホル
ダ本体３の探針保持部３ａの溝孔に探針２を挿入した
後、この探針用固定ナット４を探針保持部３ａに締結す
ることで、探針２が探針保持部３ａに保持される。した
がって、フィラメントから放出された熱電子は、探針固
定用ナット４の表面がセラミックコーティング部１１で
覆われているため、熱電子のほとんどは探針２のみに衝
突し、この電子衝撃により、探針２のみが効率よく高温
に加熱される。しかも、セラミックコーティング部１１
は熱伝導率が悪いので、探針保持部３ａおよび探針固定
用ナット４を通して探針２の熱が逃げ難くなるので、探
針２のみを更に一層効果的に高温にすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば超高真空中
においてトンネル効果の原理を利用して試料の観察を行
う超高真空走査型トンネル顕微鏡（ＵＨＶ−ＳＴＭ）等
の探針を有する走査型プローブ顕微鏡の技術分野に属
し、特に、探針を熱電子衝撃による加熱でクリーニング
することのできるように保持する走査型プローブ顕微鏡
用の探針ホルダの技術分野に属するものである。
においてトンネル効果の原理を利用して試料の観察を行
う超高真空走査型トンネル顕微鏡（ＵＨＶ−ＳＴＭ）等
の探針を有する走査型プローブ顕微鏡の技術分野に属
し、特に、探針を熱電子衝撃による加熱でクリーニング
することのできるように保持する走査型プローブ顕微鏡
用の探針ホルダの技術分野に属するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＵＨＶ−ＳＴＭにおいて従来から用いら
れている、探針を保持する探針ホルダの一つに、図５に
示すような探針ホルダがある。図中、１は探針ホルダ、
２は探針、３は探針２を保持するホルダ本体、４はホル
ダ本体３に螺合されて探針２を固定する探針固定用ナッ
トである。
れている、探針を保持する探針ホルダの一つに、図５に
示すような探針ホルダがある。図中、１は探針ホルダ、
２は探針、３は探針２を保持するホルダ本体、４はホル
ダ本体３に螺合されて探針２を固定する探針固定用ナッ
トである。
【０００３】このような探針ホルダ１に探針２を保持す
る場合は、ホルダ本体３の探針保持部３ａの溝孔に探針
２を挿入した後、探針用固定ナット４を探針保持部３ａ
に螺合しかつ締結することにより、探針保持部３ａの傾
斜面３ｂと探針用固定ナット４の傾斜面４ａとの間のく
さび効果により、探針２を挟圧、保持するようになって
いる。その場合、ホルダ本体３および探針固定用ナット
４は、ステンレスやタンタル等の金属から形成されてお
り、探針ホルダ１と探針２とはすべての部分において、
電気的に導通した状態となっている。
る場合は、ホルダ本体３の探針保持部３ａの溝孔に探針
２を挿入した後、探針用固定ナット４を探針保持部３ａ
に螺合しかつ締結することにより、探針保持部３ａの傾
斜面３ｂと探針用固定ナット４の傾斜面４ａとの間のく
さび効果により、探針２を挟圧、保持するようになって
いる。その場合、ホルダ本体３および探針固定用ナット
４は、ステンレスやタンタル等の金属から形成されてお
り、探針ホルダ１と探針２とはすべての部分において、
電気的に導通した状態となっている。
【０００４】ところで、試料を測定するにあたっては、
探針２表面に汚染分子が吸着あるいは付着していること
があるため、従来は探針２をクリーニングしてこれらの
汚染分子を取り除いている。このような探針２をクリー
ニングするためのクリーニング装置として、従来、例え
ば特開平８−２２６９２７号公報等に開示されているよ
うに、探針を熱電子衝撃による加熱でクリーニングする
ようにしたクリーニング装置がある。
探針２表面に汚染分子が吸着あるいは付着していること
があるため、従来は探針２をクリーニングしてこれらの
汚染分子を取り除いている。このような探針２をクリー
ニングするためのクリーニング装置として、従来、例え
ば特開平８−２２６９２７号公報等に開示されているよ
うに、探針を熱電子衝撃による加熱でクリーニングする
ようにしたクリーニング装置がある。
【０００５】図６は、このような熱電子衝撃によるクリ
ーニング装置の一例を示す図である。図中、５はクリー
ニング装置、６は内部が超高真空に保持される超高真空
処理室、７は熱電子ｅを放出するフィラメント、８はフ
ィラメント７を加熱するためのフィラメント加熱用電
源、９は探針ホルダ１が取り付けられる導電材製のパー
キング、１０は探針印加用電源である。
ーニング装置の一例を示す図である。図中、５はクリー
ニング装置、６は内部が超高真空に保持される超高真空
処理室、７は熱電子ｅを放出するフィラメント、８はフ
ィラメント７を加熱するためのフィラメント加熱用電
源、９は探針ホルダ１が取り付けられる導電材製のパー
キング、１０は探針印加用電源である。
【０００６】このようなクリーニング装置６において
は、探針２を保持させた探針ホルダ１を超高真空処理室
６内のパーキング９に取り付ける。その後、図示しない
排気装置により超高真空処理室６内を超高真空状態に設
定するとともに、フィラメント加熱用電源８により、フ
ィラメント７に電流を流して加熱するとともに、探針印
加用電源１０により、探針２にパーキング９および探針
ホルダ１を通して、フィラメント７に対して５００V〜1
kV程度の正の電位を探針２に印加する。これにより、フ
ィラメント７から熱電子ｅが放出され、この熱電子ｅ
は、正電位の探針１に衝突する。このため、探針２が高
温に加熱され、探針２の表面に着いている汚染分子が取
り除かれる。このように、フィラメント７からの熱電子
ｅを探針２に熱電子衝撃させることにより、探針２がク
リーニングされるようになる。
は、探針２を保持させた探針ホルダ１を超高真空処理室
６内のパーキング９に取り付ける。その後、図示しない
排気装置により超高真空処理室６内を超高真空状態に設
定するとともに、フィラメント加熱用電源８により、フ
ィラメント７に電流を流して加熱するとともに、探針印
加用電源１０により、探針２にパーキング９および探針
ホルダ１を通して、フィラメント７に対して５００V〜1
kV程度の正の電位を探針２に印加する。これにより、フ
ィラメント７から熱電子ｅが放出され、この熱電子ｅ
は、正電位の探針１に衝突する。このため、探針２が高
温に加熱され、探針２の表面に着いている汚染分子が取
り除かれる。このように、フィラメント７からの熱電子
ｅを探針２に熱電子衝撃させることにより、探針２がク
リーニングされるようになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
探針２のクリーニング装置６においては、探針２のクリ
ーニング中は、探針２、探針固定用ナット４、およびホ
ルダ本体３がいずれも同電位となっているとともに、探
針２よりも探針固定用ナット４の方が体積も大きく、フ
ィラメント７からあまり遠くないので、フィラメント７
からの熱電子は、探針２よりもむしろ探針固定用ナット
４の方に多く到達するようになる。このため、ホルダ本
体３および探針固定用ナット４が必要以上に加熱されて
しまい、その結果、電力を必要以上に消費してしまうば
かりでなく、超高真空処理室６内の真空度を低下させた
り、探針ホルダ１を電気的に絶縁するためのパーキング
の絶縁体などの絶縁性を低下させてしまうという問題が
生じる。
探針２のクリーニング装置６においては、探針２のクリ
ーニング中は、探針２、探針固定用ナット４、およびホ
ルダ本体３がいずれも同電位となっているとともに、探
針２よりも探針固定用ナット４の方が体積も大きく、フ
ィラメント７からあまり遠くないので、フィラメント７
からの熱電子は、探針２よりもむしろ探針固定用ナット
４の方に多く到達するようになる。このため、ホルダ本
体３および探針固定用ナット４が必要以上に加熱されて
しまい、その結果、電力を必要以上に消費してしまうば
かりでなく、超高真空処理室６内の真空度を低下させた
り、探針ホルダ１を電気的に絶縁するためのパーキング
の絶縁体などの絶縁性を低下させてしまうという問題が
生じる。
【０００８】また、逆に探針２の温度を十分に高温にす
ることはできなく、せいぜい８００℃程度が限界であ
り、このため探針２のクリーニングを確実に行うことが
できなくなるという問題がある。
ることはできなく、せいぜい８００℃程度が限界であ
り、このため探針２のクリーニングを確実に行うことが
できなくなるという問題がある。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであって、その目的は、探針ホルダまで電子衝撃に
よる加熱を行わなく、小さい電力で探針のみを電子衝撃
により十分に加熱することのができる走査型プローブ顕
微鏡用の探針ホルダを提供することである。
ものであって、その目的は、探針ホルダまで電子衝撃に
よる加熱を行わなく、小さい電力で探針のみを電子衝撃
により十分に加熱することのができる走査型プローブ顕
微鏡用の探針ホルダを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、探針を熱電子衝撃により加熱
することができるように保持する走査型プローブ顕微鏡
用の探針ホルダにおいて、前記探針を保持する探針保持
部を有するホルダ本体と、このホルダ本体の少なくとも
前記探針保持部を覆う電気絶縁部と、前記探針と前記ホ
ルダ本体とを固定するための固定手段とを備えているこ
とを特徴としている。
めに、請求項１の発明は、探針を熱電子衝撃により加熱
することができるように保持する走査型プローブ顕微鏡
用の探針ホルダにおいて、前記探針を保持する探針保持
部を有するホルダ本体と、このホルダ本体の少なくとも
前記探針保持部を覆う電気絶縁部と、前記探針と前記ホ
ルダ本体とを固定するための固定手段とを備えているこ
とを特徴としている。
【００１１】また請求項２の発明は、前記電気絶縁部
が、セラミックコーティング部等の絶縁コーティング部
またはセラミック等の電気絶縁体からなることを特徴と
している。
が、セラミックコーティング部等の絶縁コーティング部
またはセラミック等の電気絶縁体からなることを特徴と
している。
【００１２】更に請求項３の発明は、前記固定手段が、
前記探針保持部に螺合されるナットであり、このナット
が締結されることにより前記探針保持部が前記探針を挟
持することを特徴としている。
前記探針保持部に螺合されるナットであり、このナット
が締結されることにより前記探針保持部が前記探針を挟
持することを特徴としている。
【００１３】更に請求項４の発明は、前記固定手段が、
前記探針保持部に螺入されるねじであり、このねじが前
記探針保持部にねじ込まれることにより、前記探針が前
記探針保持部に固定されることを特徴としている。
前記探針保持部に螺入されるねじであり、このねじが前
記探針保持部にねじ込まれることにより、前記探針が前
記探針保持部に固定されることを特徴としている。
【００１４】
【作用】このような構成をした請求項１ないし４の各発
明の走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダにおいては、
金属製の探針ホルダのなかの、少なくとも探針を保持す
る探針保持部が電気的絶縁部で覆われるようになる。こ
れにより、フィラメントから放出された熱電子は探針保
持部を電子衝撃することができなくなる。このため、熱
電子のほとんどは探針のみに衝突し、この電子衝撃によ
り、探針のみが効率よく高温に加熱されるようになる。
明の走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダにおいては、
金属製の探針ホルダのなかの、少なくとも探針を保持す
る探針保持部が電気的絶縁部で覆われるようになる。こ
れにより、フィラメントから放出された熱電子は探針保
持部を電子衝撃することができなくなる。このため、熱
電子のほとんどは探針のみに衝突し、この電子衝撃によ
り、探針のみが効率よく高温に加熱されるようになる。
【００１５】そして、本来加熱する必要のない探針ホル
ダの加熱を抑えることができるので、電力が小さい電力
で済むようになる。また、探針のみが効率的に加熱され
るようになることから、加熱中の超高真空処理室の真空
度の低下や、探針ホルダを電気的に絶縁しているパーキ
ング等の絶縁性の低下が防止されるようになる。
ダの加熱を抑えることができるので、電力が小さい電力
で済むようになる。また、探針のみが効率的に加熱され
るようになることから、加熱中の超高真空処理室の真空
度の低下や、探針ホルダを電気的に絶縁しているパーキ
ング等の絶縁性の低下が防止されるようになる。
【００１６】特に、請求項２の発明においては、電気絶
縁部にセラミックコーティング部またはセラミックを用
いることにより、これらのセラミックは熱伝導率が悪い
ので、探針保持部を通して探針の熱が逃げ難くなる。し
たがって、探針のみが更に一層効果的に高温に加熱され
るようになる。
縁部にセラミックコーティング部またはセラミックを用
いることにより、これらのセラミックは熱伝導率が悪い
ので、探針保持部を通して探針の熱が逃げ難くなる。し
たがって、探針のみが更に一層効果的に高温に加熱され
るようになる。
【００１７】更に、探針保持部を覆う電気絶縁部は、探
針を電子衝撃加熱ではなく、単なる傍熱加熱する場合に
も、探針の熱を逃げ難くし、探針の温度を高温にするの
に有効である。
針を電子衝撃加熱ではなく、単なる傍熱加熱する場合に
も、探針の熱を逃げ難くし、探針の温度を高温にするの
に有効である。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。図１は本発明にかかる走査型プロー
ブ顕微鏡用の探針ホルダを示す、図５と同様の断面図で
ある。なお、前述の従来の走査型プローブ顕微鏡用の探
針ホルダおよびクリーニング装置と同じ構成要素には同
じ符号を付すことにより、その詳細な説明は省略する。
の形態を説明する。図１は本発明にかかる走査型プロー
ブ顕微鏡用の探針ホルダを示す、図５と同様の断面図で
ある。なお、前述の従来の走査型プローブ顕微鏡用の探
針ホルダおよびクリーニング装置と同じ構成要素には同
じ符号を付すことにより、その詳細な説明は省略する。
【００１９】図１に示すように、この例の探針ホルダ１
は、探針固定用ナット４の表面にセラミックコーティン
グ部１１がコーティングされている。探針固定用ナット
４の表面へのセラミックコーティング部１１のコーティ
ング方法としては、例えばＣＶＤ法（化学気相蒸着法）
や液相法等が用いることができるとともに、コーティン
グ材としては、Ｓｉｏ2やＡｌ2Ｏ3等が用いることがで
きる。また、コーティングの厚さとしては、耐電圧の必
要性から２０μｍ程度以上必要である。この例の探針ホ
ルダ１の他の構成は、前述の図５に示す探針ホルダ１の
構成と同じである。
は、探針固定用ナット４の表面にセラミックコーティン
グ部１１がコーティングされている。探針固定用ナット
４の表面へのセラミックコーティング部１１のコーティ
ング方法としては、例えばＣＶＤ法（化学気相蒸着法）
や液相法等が用いることができるとともに、コーティン
グ材としては、Ｓｉｏ2やＡｌ2Ｏ3等が用いることがで
きる。また、コーティングの厚さとしては、耐電圧の必
要性から２０μｍ程度以上必要である。この例の探針ホ
ルダ１の他の構成は、前述の図５に示す探針ホルダ１の
構成と同じである。
【００２０】このような構成をした本例の探針ホルダ１
においては、前述の図５の探針ホルダ１の場合と同様
に、ホルダ本体３の探針保持部３ａの溝孔に探針２を挿
入した後、表面にセラミックコーティング部１１が形成
された探針用固定ナット４を探針保持部３ａに螺合しか
つ締結することにより、探針２が探針保持部３ａに挟
圧、保持される。
においては、前述の図５の探針ホルダ１の場合と同様
に、ホルダ本体３の探針保持部３ａの溝孔に探針２を挿
入した後、表面にセラミックコーティング部１１が形成
された探針用固定ナット４を探針保持部３ａに螺合しか
つ締結することにより、探針２が探針保持部３ａに挟
圧、保持される。
【００２１】そして、この探針２を保持した探針ホルダ
１を、図２に示すようにクリーニング装置５の超高真空
処理室９内のパーキング９に取り付ける。その後、図示
しない排気装置により超高真空処理室６内を超高真空状
態に設定するとともに、フィラメント加熱用電源８によ
り、フィラメント７に数Ａの電流を流して加熱するとと
もに、探針印加用電源１０により、探針２にパーキング
９および探針ホルダ１を通して、フィラメント７に対し
て５００V〜1kV程度の正の電位を探針２に印加する。こ
れにより、フィラメント７から熱電子ｅが放出され、こ
の熱電子ｅは、探針２および探針ホルダ１の方に向かう
ようになる。
１を、図２に示すようにクリーニング装置５の超高真空
処理室９内のパーキング９に取り付ける。その後、図示
しない排気装置により超高真空処理室６内を超高真空状
態に設定するとともに、フィラメント加熱用電源８によ
り、フィラメント７に数Ａの電流を流して加熱するとと
もに、探針印加用電源１０により、探針２にパーキング
９および探針ホルダ１を通して、フィラメント７に対し
て５００V〜1kV程度の正の電位を探針２に印加する。こ
れにより、フィラメント７から熱電子ｅが放出され、こ
の熱電子ｅは、探針２および探針ホルダ１の方に向かう
ようになる。
【００２２】しかし、探針固定用ナット４の表面が、絶
縁体であるセラミックコーティング部１１で覆われてい
るため、熱電子ｅは、探針ホルダ１の探針固定用ナット
４を電子衝撃することができない。このため、熱電子ｅ
のほとんどは探針２のみに衝突し、この電子衝撃によ
り、探針２のみが効率よく高温に加熱されるようにな
る。しかも、セラミックコーティング部１１は熱伝導率
が悪いので、探針保持部３ａおよび探針固定用ナット４
を通して探針２の熱が逃げ難くなるので、探針２のみを
更に一層効果的に高温にすることができるようになる。
縁体であるセラミックコーティング部１１で覆われてい
るため、熱電子ｅは、探針ホルダ１の探針固定用ナット
４を電子衝撃することができない。このため、熱電子ｅ
のほとんどは探針２のみに衝突し、この電子衝撃によ
り、探針２のみが効率よく高温に加熱されるようにな
る。しかも、セラミックコーティング部１１は熱伝導率
が悪いので、探針保持部３ａおよび探針固定用ナット４
を通して探針２の熱が逃げ難くなるので、探針２のみを
更に一層効果的に高温にすることができるようになる。
【００２３】更に、セラミックコーティング部１１は、
探針２を電子衝撃加熱ではなく、単なる傍熱加熱する場
合にも、探針２の熱を逃げ難くし、探針２の温度を高温
にするのに有効である。
探針２を電子衝撃加熱ではなく、単なる傍熱加熱する場
合にも、探針２の熱を逃げ難くし、探針２の温度を高温
にするのに有効である。
【００２４】このように本例の探針ホルダ１によれば、
本来加熱する必要のない探針ホルダ１の加熱を抑えるこ
とができるので、従来８００℃位が限度であった探針２
の加熱温度を１２００℃以上の高温に上昇させることが
できるようになる。また、電力も数１０Ｗ以上必要であ
ったものが１０Ｗ以下の小さい電力に抑えることができ
るようになる。
本来加熱する必要のない探針ホルダ１の加熱を抑えるこ
とができるので、従来８００℃位が限度であった探針２
の加熱温度を１２００℃以上の高温に上昇させることが
できるようになる。また、電力も数１０Ｗ以上必要であ
ったものが１０Ｗ以下の小さい電力に抑えることができ
るようになる。
【００２５】また、探針２のみを効率的に加熱すること
ができるので、加熱中の超高真空処理室６の真空度の低
下や、探針ホルダ２を電気的に絶縁しているパーキング
等の絶縁性の低下を防止できる。
ができるので、加熱中の超高真空処理室６の真空度の低
下や、探針ホルダ２を電気的に絶縁しているパーキング
等の絶縁性の低下を防止できる。
【００２６】なお、図２に二点鎖線で示すように制御電
極１５を設け、この制御電極１５により、フィラメント
７で発生した熱電子ｅを探針２に向けて集束させること
により、より大量の熱電子ｅを探針２に照射するように
することもできる。このようにすれば、探針２を更に一
層効果的に高温に加熱することができる。
極１５を設け、この制御電極１５により、フィラメント
７で発生した熱電子ｅを探針２に向けて集束させること
により、より大量の熱電子ｅを探針２に照射するように
することもできる。このようにすれば、探針２を更に一
層効果的に高温に加熱することができる。
【００２７】図３は、本発明の実施の形態の他の例を示
す、図１と同様の断面図である。なお、前述の図１に示
す例の探針ホルダと同じ構成要素には同じ符号を付すこ
とにより、その詳細な説明は省略する。
す、図１と同様の断面図である。なお、前述の図１に示
す例の探針ホルダと同じ構成要素には同じ符号を付すこ
とにより、その詳細な説明は省略する。
【００２８】前述の図１の例では、セラミックコーティ
ン部１１が形成された探針固定用ナット４をホルダ本体
３の探針保持部３ａに螺合、締結することにより、探針
２を探針保持部３ａに固定しているが、この例の探針ホ
ルダ１は、図３に示すように探針固定用ナット４が省略
されている。
ン部１１が形成された探針固定用ナット４をホルダ本体
３の探針保持部３ａに螺合、締結することにより、探針
２を探針保持部３ａに固定しているが、この例の探針ホ
ルダ１は、図３に示すように探針固定用ナット４が省略
されている。
【００２９】そして、ホルダ本体３の探針保持部３ａの
全表面にわたってセラミックコーティン部１１が形成さ
れているとともに、探針保持部３ａに螺合した探針固定
用ねじ１２により、探針２が探針保持部３ａに固定され
ている。この例の探針ホルダ１によれば、探針保持部３
ａの形状および探針２の探針保持部３ａへの取付構造が
ともに簡単になる。
全表面にわたってセラミックコーティン部１１が形成さ
れているとともに、探針保持部３ａに螺合した探針固定
用ねじ１２により、探針２が探針保持部３ａに固定され
ている。この例の探針ホルダ１によれば、探針保持部３
ａの形状および探針２の探針保持部３ａへの取付構造が
ともに簡単になる。
【００３０】この例の探針ホルダ１の他の構成は、図１
の探針ホルダ１と同様であるとともにこの例の探針ホル
ダ１の、作用効果は、図１の探針ホルダ１と同様であ
る。なお、図１および図２に示す各例の探針ホルダ１で
は、セラミックコーティング部１１を設けるものとして
いるが、本発明はこれに限定されるものではなく、セラ
ミック以外の絶縁材の絶縁コーティング部を設けるよう
にすることもできる。
の探針ホルダ１と同様であるとともにこの例の探針ホル
ダ１の、作用効果は、図１の探針ホルダ１と同様であ
る。なお、図１および図２に示す各例の探針ホルダ１で
は、セラミックコーティング部１１を設けるものとして
いるが、本発明はこれに限定されるものではなく、セラ
ミック以外の絶縁材の絶縁コーティング部を設けるよう
にすることもできる。
【００３１】図４は、本発明の実施の形態の更に他の例
を示す、図３と同様の断面図である。なお、前述の図３
に示す例の探針ホルダと同じ構成要素には同じ符号を付
すことにより、その詳細な説明は省略する。
を示す、図３と同様の断面図である。なお、前述の図３
に示す例の探針ホルダと同じ構成要素には同じ符号を付
すことにより、その詳細な説明は省略する。
【００３２】前述の図３の例では、ホルダ本体３の探針
保持部３ａの全表面にわたってセラミックコーティン部
１１で覆うようにしているが、本例の探針ホルダ１は、
図４に示すようにセラミック等の筒状の絶縁体１３がホ
ルダ本体３の探針保持部３ａに被されているとともに、
絶縁体固定用ねじ１４により、この絶縁体１３は探針保
持部３ａに固定されている。
保持部３ａの全表面にわたってセラミックコーティン部
１１で覆うようにしているが、本例の探針ホルダ１は、
図４に示すようにセラミック等の筒状の絶縁体１３がホ
ルダ本体３の探針保持部３ａに被されているとともに、
絶縁体固定用ねじ１４により、この絶縁体１３は探針保
持部３ａに固定されている。
【００３３】この例の探針ホルダ１の他の構成は、図３
の探針ホルダ１と同様であるとともにこの例の探針ホル
ダ１の作用効果も、図３の探針ホルダ１と同様である。
また、本発明は、前述の実施の形態の各例に限定される
ものではなく、種々の設計変更が可能であることは言う
までもない。
の探針ホルダ１と同様であるとともにこの例の探針ホル
ダ１の作用効果も、図３の探針ホルダ１と同様である。
また、本発明は、前述の実施の形態の各例に限定される
ものではなく、種々の設計変更が可能であることは言う
までもない。
【００３４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダによれば、金属
製の探針ホルダのなかの、少なくとも探針を保持する探
針保持部を電気的絶縁部で覆うようにしているので、電
子衝撃加熱を行う際、探針ホルダまでは電子衝撃加熱が
行われなくなる。したがって、電子衝撃により、探針の
みを効率よく高温に加熱できるようになり、探針を効果
的にクリーニングできるようになる。
の走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダによれば、金属
製の探針ホルダのなかの、少なくとも探針を保持する探
針保持部を電気的絶縁部で覆うようにしているので、電
子衝撃加熱を行う際、探針ホルダまでは電子衝撃加熱が
行われなくなる。したがって、電子衝撃により、探針の
みを効率よく高温に加熱できるようになり、探針を効果
的にクリーニングできるようになる。
【００３５】そして、本来加熱する必要のない探針ホル
ダの加熱を抑えることができるので、探針の加熱を小さ
い電力で済むようになる。したがって、消費電力を抑制
することができ、試料測定のコストを低減できる。
ダの加熱を抑えることができるので、探針の加熱を小さ
い電力で済むようになる。したがって、消費電力を抑制
することができ、試料測定のコストを低減できる。
【００３６】また、探針のみが効率的に加熱されるよう
になることから、加熱中の超高真空処理室の真空度の低
下や、探針ホルダを電気的に絶縁しているパーキング等
の絶縁性の低下を防止できる。
になることから、加熱中の超高真空処理室の真空度の低
下や、探針ホルダを電気的に絶縁しているパーキング等
の絶縁性の低下を防止できる。
【００３７】特に、請求項２の発明によれば、電気絶縁
部にセラミックコーティング部またはセラミックを用い
ることにより、針保持部を通して探針の熱が逃げるのを
抑制することができる。したがって、探針のみを更に一
層効果的に高温に加熱でき、その分、更に消費電力を小
さくできる。更に、探針保持部を覆うセラミックコーテ
ィング部またはセラミックにより、探針を電子衝撃加熱
ではなく、単なる傍熱加熱する場合にも、探針の熱を逃
げ難くし、探針の温度を高温にするのに有効となる。
部にセラミックコーティング部またはセラミックを用い
ることにより、針保持部を通して探針の熱が逃げるのを
抑制することができる。したがって、探針のみを更に一
層効果的に高温に加熱でき、その分、更に消費電力を小
さくできる。更に、探針保持部を覆うセラミックコーテ
ィング部またはセラミックにより、探針を電子衝撃加熱
ではなく、単なる傍熱加熱する場合にも、探針の熱を逃
げ難くし、探針の温度を高温にするのに有効となる。
【図１】 本発明にかかる走査型プローブ顕微鏡用の探
針ホルダの実施の形態の一例を示す断面図である。
針ホルダの実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】 図１に示す例の探針ホルダのクリーニングを
行うためのクリーニング装置を示す図である。
行うためのクリーニング装置を示す図である。
【図３】 本発明の実施の形態の他の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】 本発明の実施の形態の更に他の例を示す断面
図である。
図である。
【図５】 従来の走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ
の一例を示す断面図である。
の一例を示す断面図である。
【図６】 従来の、探針ホルダのクリーニングを行うた
めのクリーニング装置を示す図である。
めのクリーニング装置を示す図である。
１…探針ホルダ、２…探針、３…ホルダ本体、３ａ…探
針保持部、４…探針固定用ナット、５…クリーニング装
置、６…超高真空処理室、７…フィラメント、８…フィ
ラメント加熱用電源、９…パーキング、１０…探針印加
用電源、１１…セラミックコーティング部、１２…探針
固定用ねじ、１３…絶縁体、１４…絶縁体固定用ねじ、
ｅ…熱電子
針保持部、４…探針固定用ナット、５…クリーニング装
置、６…超高真空処理室、７…フィラメント、８…フィ
ラメント加熱用電源、９…パーキング、１０…探針印加
用電源、１１…セラミックコーティング部、１２…探針
固定用ねじ、１３…絶縁体、１４…絶縁体固定用ねじ、
ｅ…熱電子
Claims (4)
- 【請求項１】 探針を熱電子衝撃により加熱することが
できるように保持する走査型プローブ顕微鏡用の探針ホ
ルダにおいて、 前記探針を保持する探針保持部を有するホルダ本体と、
このホルダ本体の少なくとも前記探針保持部を覆う電気
絶縁部と、前記探針と前記ホルダ本体とを固定するため
の固定手段とを備えていることを特徴とする走査型プロ
ーブ顕微鏡用の探針ホルダ。 - 【請求項２】 前記電気絶縁部は、セラミックコーティ
ング部等の絶縁コーティング部またはセラミック等の電
気絶縁体からなることを特徴とする請求項１記載の走査
型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ。 - 【請求項３】 前記固定手段は、前記探針保持部に螺合
されるナットであり、このナットが締結されることによ
り前記探針保持部が前記探針を挟持することを特徴とす
る請求項１または請求項２記載の走査型プローブ顕微鏡
用の探針ホルダ。 - 【請求項４】 前記固定手段は、前記探針保持部に螺入
されるねじであり、このねじが前記探針保持部にねじ込
まれることにより、前記探針が前記探針保持部に固定さ
れることを特徴とする請求項１または請求項２記載の走
査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5292997A JPH10253641A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5292997A JPH10253641A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10253641A true JPH10253641A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=12928540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5292997A Withdrawn JPH10253641A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 走査型プローブ顕微鏡用の探針ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10253641A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1627938A1 (en) | 2004-08-20 | 2006-02-22 | Leica Microsystems Ltd. Shanghai | Ceramic coating for parts of a microscope |
| JP2011038933A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Sii Nanotechnology Inc | 軟化点測定装置および熱伝導測定装置 |
| KR101279939B1 (ko) * | 2012-07-23 | 2013-07-05 | 김명수 | 탐침 장치 |
| CN105445499A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-30 | 四川大学 | 扫描离子电导显微镜玻璃探针夹持与照明装置 |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP5292997A patent/JPH10253641A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1627938A1 (en) | 2004-08-20 | 2006-02-22 | Leica Microsystems Ltd. Shanghai | Ceramic coating for parts of a microscope |
| JP2011038933A (ja) * | 2009-08-12 | 2011-02-24 | Sii Nanotechnology Inc | 軟化点測定装置および熱伝導測定装置 |
| US8608373B2 (en) | 2009-08-12 | 2013-12-17 | Sii Nanotechnology Inc. | Softening point measuring apparatus and thermal conductivity measuring apparatus |
| KR101279939B1 (ko) * | 2012-07-23 | 2013-07-05 | 김명수 | 탐침 장치 |
| CN105445499A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-30 | 四川大学 | 扫描离子电导显微镜玻璃探针夹持与照明装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |