JPH10251783A - 低水素過電圧陰極およびその製造方法 - Google Patents
低水素過電圧陰極およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH10251783A JPH10251783A JP9054711A JP5471197A JPH10251783A JP H10251783 A JPH10251783 A JP H10251783A JP 9054711 A JP9054711 A JP 9054711A JP 5471197 A JP5471197 A JP 5471197A JP H10251783 A JPH10251783 A JP H10251783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- hydrogen
- oxygen
- carbon
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 7
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- 239000002585 base Substances 0.000 abstract description 8
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 7
- 229910001514 alkali metal chloride Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 abstract description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 abstract description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000376 reactant Substances 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical group [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001924 platinum group oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的は、水の電気分解または食塩など
のアルカリ金属塩化物の水溶液電気分解に使用する場
合、水素過電圧が十分に低い陰極およびその製造方法を
提供することにある。 【解決手段】ニッケルと水素、炭素、窒素及び酸素の少
なくとも一元素を含む層を被覆した低水素過電圧陰極で
あって、ニッケルを70〜95原子%、水素、炭素、窒
素及び酸素の少なくとも一元素を30〜5原子%含み、
かつCuKα線によるX線回折において、角度42〜4
5度の間に主ピークがあり、その半値幅が0.4〜7度
である被覆層からなる低水素過電圧陰極、およびニッケ
ルターゲットを使用し、かつ導電性基材の電位を−10
0〜50Vとし、反応ガスとして水素、炭素、窒素及び
酸素の少なくとも一元素を含むガスを導入し、アーク放
電型イオンプレーティング法にて製造することを特徴と
する当該低水素過電圧陰極の製造方法。
のアルカリ金属塩化物の水溶液電気分解に使用する場
合、水素過電圧が十分に低い陰極およびその製造方法を
提供することにある。 【解決手段】ニッケルと水素、炭素、窒素及び酸素の少
なくとも一元素を含む層を被覆した低水素過電圧陰極で
あって、ニッケルを70〜95原子%、水素、炭素、窒
素及び酸素の少なくとも一元素を30〜5原子%含み、
かつCuKα線によるX線回折において、角度42〜4
5度の間に主ピークがあり、その半値幅が0.4〜7度
である被覆層からなる低水素過電圧陰極、およびニッケ
ルターゲットを使用し、かつ導電性基材の電位を−10
0〜50Vとし、反応ガスとして水素、炭素、窒素及び
酸素の少なくとも一元素を含むガスを導入し、アーク放
電型イオンプレーティング法にて製造することを特徴と
する当該低水素過電圧陰極の製造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は水の電気分解または
食塩などのアルカリ金属塩化物の水溶液電気分解に使用
する低水素過電圧陰極とその製造方法に関するものであ
る。
食塩などのアルカリ金属塩化物の水溶液電気分解に使用
する低水素過電圧陰極とその製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】水またはアルカリ金属塩化物水溶液電解
工業は多電力消費型産業であり、省エネルギーのための
様々な技術開発が進められている。省エネルギーの手段
とは、理論分解電圧、溶液抵抗、隔膜抵抗、陽極過電
圧、陰極過電圧などで構成される電解電圧を実質的に低
減することであり、特に過電圧に関してはその特性が電
極の材料や表面形態に著しく左右されることから、多く
の研究者の興味を引き、開発がなされてきた。イオン交
換膜法食塩電解においては、とりわけ陽極過電圧の低減
にその注目が集まり、精力的な研究開発が行われてきた
結果、耐久性に優れ、ほとんど陽極過電圧の問題となら
ない電極が完成し、既に工業的に広く利用されてきてい
る。
工業は多電力消費型産業であり、省エネルギーのための
様々な技術開発が進められている。省エネルギーの手段
とは、理論分解電圧、溶液抵抗、隔膜抵抗、陽極過電
圧、陰極過電圧などで構成される電解電圧を実質的に低
減することであり、特に過電圧に関してはその特性が電
極の材料や表面形態に著しく左右されることから、多く
の研究者の興味を引き、開発がなされてきた。イオン交
換膜法食塩電解においては、とりわけ陽極過電圧の低減
にその注目が集まり、精力的な研究開発が行われてきた
結果、耐久性に優れ、ほとんど陽極過電圧の問題となら
ない電極が完成し、既に工業的に広く利用されてきてい
る。
【0003】一方、陰極過電圧を低減するための低水素
過電圧電極、いわゆる活性陰極に関してもこれまで多く
の提案がなされている。水素過電圧400mVという鉄
陰極に対して、200〜250mVの電圧低減が可能な
電極、例えば特開昭59−25940号あるいは特開平
6−146046号明細書に示されるように電極基材表
面に水素吸蔵合金や白金族酸化物を付着させたもの、特
公昭40−9130号に示されるように電極基材表面に
鉄、コバルト、ニッケル等の遷移金属とタングステン、
モリブデンとの合金層を被覆したものなどが開示されて
いる。
過電圧電極、いわゆる活性陰極に関してもこれまで多く
の提案がなされている。水素過電圧400mVという鉄
陰極に対して、200〜250mVの電圧低減が可能な
電極、例えば特開昭59−25940号あるいは特開平
6−146046号明細書に示されるように電極基材表
面に水素吸蔵合金や白金族酸化物を付着させたもの、特
公昭40−9130号に示されるように電極基材表面に
鉄、コバルト、ニッケル等の遷移金属とタングステン、
モリブデンとの合金層を被覆したものなどが開示されて
いる。
【0004】このようにこれまで開示されている多くの
活性陰極は、電極基材とその上に被覆された低水素過電
圧を示す特定組成の触媒物質層とで構成されたものであ
り、その被覆方法も様々である。例えば、上記特許の例
のように活性物質を分散させた浴や金属塩を溶解させた
浴等から触媒物質を電析させる湿式メッキによる方法、
例えば特開昭61−41786号に示されるように、溶
融状態の触媒物質金属を基材に直接溶射する方法、また
は特開昭61−295386号に開示されているよう
に、金属塩溶液を基材上に塗布し、乾燥、還元処理等を
施して触媒物質層を得る方法等がある。しかし、前者の
湿式メッキ法では、電析電位の差等により被覆出来る合
金組成が限定される。また、メッキ浴中の活性物質や金
属成分等の組成がメッキ時間と共に変化し易く、均質な
合金層を常に安定に得るためには十分な浴管理が必要で
ある等の問題点がある。一方後者の2つの方法では、被
覆時に高温熱処理を行うので蒸気圧の差が大きい元素間
の合金化は困難である。また、高温での熱処理により結
晶化が促進されるので、性能が優れているアモルファス
もしくは微結晶の構造が得にくい等の問題点がある。こ
の内、結晶化を避ける方法として、例えば特開平7−2
68676号に記載されているスパッター法等が試みら
れているが、製膜速度が遅い等、依然として問題点を抱
えている。
活性陰極は、電極基材とその上に被覆された低水素過電
圧を示す特定組成の触媒物質層とで構成されたものであ
り、その被覆方法も様々である。例えば、上記特許の例
のように活性物質を分散させた浴や金属塩を溶解させた
浴等から触媒物質を電析させる湿式メッキによる方法、
例えば特開昭61−41786号に示されるように、溶
融状態の触媒物質金属を基材に直接溶射する方法、また
は特開昭61−295386号に開示されているよう
に、金属塩溶液を基材上に塗布し、乾燥、還元処理等を
施して触媒物質層を得る方法等がある。しかし、前者の
湿式メッキ法では、電析電位の差等により被覆出来る合
金組成が限定される。また、メッキ浴中の活性物質や金
属成分等の組成がメッキ時間と共に変化し易く、均質な
合金層を常に安定に得るためには十分な浴管理が必要で
ある等の問題点がある。一方後者の2つの方法では、被
覆時に高温熱処理を行うので蒸気圧の差が大きい元素間
の合金化は困難である。また、高温での熱処理により結
晶化が促進されるので、性能が優れているアモルファス
もしくは微結晶の構造が得にくい等の問題点がある。こ
の内、結晶化を避ける方法として、例えば特開平7−2
68676号に記載されているスパッター法等が試みら
れているが、製膜速度が遅い等、依然として問題点を抱
えている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、水の
電気分解または食塩等のアルカリ金属塩化物の水溶液電
気分解に使用する場合、水素過電圧が十分に低い陰極お
よびその製造方法を提供することにある。
電気分解または食塩等のアルカリ金属塩化物の水溶液電
気分解に使用する場合、水素過電圧が十分に低い陰極お
よびその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】発明者らは、上記問題点
を解決するため鋭意検討した結果、ターゲット構成原子
をアーク放電により蒸発、イオン化し、基材上に触媒物
質を被覆するアーク放電型イオンプレーティング法で作
製した陰極が優れた低水素過電圧を示すことを見いだし
た。
を解決するため鋭意検討した結果、ターゲット構成原子
をアーク放電により蒸発、イオン化し、基材上に触媒物
質を被覆するアーク放電型イオンプレーティング法で作
製した陰極が優れた低水素過電圧を示すことを見いだし
た。
【0007】すなわち、本発明は、ニッケルと水素、炭
素、窒素及び酸素の少なくとも一元素とからなる層がア
ーク放電型イオンプレーティング法により導電性基材表
面に被覆された電極であって、皮膜中のNi含有量が7
0〜95原子%で、残部が水素、炭素、窒素及び酸素の
少なくとも一元素であり、かつCuKα線によるX線回
折において、角度42〜45度の間に主ピークがあり、
その半値幅が0.4〜7度である被覆層からなる低水素
過電圧陰極およびその製造方法である。
素、窒素及び酸素の少なくとも一元素とからなる層がア
ーク放電型イオンプレーティング法により導電性基材表
面に被覆された電極であって、皮膜中のNi含有量が7
0〜95原子%で、残部が水素、炭素、窒素及び酸素の
少なくとも一元素であり、かつCuKα線によるX線回
折において、角度42〜45度の間に主ピークがあり、
その半値幅が0.4〜7度である被覆層からなる低水素
過電圧陰極およびその製造方法である。
【0008】導電性基材としては、例えば、ニッケル、
鉄、銅、チタンやステンレス合金鋼等で、特に苛性アル
カリに対して耐食性の優れたものであれば使用できる。
導電性基材の形状は、特に限定されるものではなく、一
般に電解槽の陰極に合わせた形状のもの、例えば平板
状、曲板状、エキスパンドメタル状、パンチメタル状、
網状、多孔板状などが使用される。このような導電性基
材表面に被覆層を形成する前に、予め、脱脂、真空加
熱、イオンボンバードメント等の一般的な前処理を行う
ことが好ましい。また、導電性基材に適当なニッケル合
金メッキを行ったり、カーボンや白金族金属などの導電
性微粒子等を付着させることにより、基材表面の凹凸度
を高め、基材と被覆層の密着性を強固にすることも有効
である。 均質なメッキ皮膜を得るためには、絶えず製
膜条件を管理する必要があるため作業が煩雑であるが、
本発明の方法によれば、金属単体ターゲットを使用する
ため原理的にそのような管理の必要性がないので作業が
簡略化出来る。
鉄、銅、チタンやステンレス合金鋼等で、特に苛性アル
カリに対して耐食性の優れたものであれば使用できる。
導電性基材の形状は、特に限定されるものではなく、一
般に電解槽の陰極に合わせた形状のもの、例えば平板
状、曲板状、エキスパンドメタル状、パンチメタル状、
網状、多孔板状などが使用される。このような導電性基
材表面に被覆層を形成する前に、予め、脱脂、真空加
熱、イオンボンバードメント等の一般的な前処理を行う
ことが好ましい。また、導電性基材に適当なニッケル合
金メッキを行ったり、カーボンや白金族金属などの導電
性微粒子等を付着させることにより、基材表面の凹凸度
を高め、基材と被覆層の密着性を強固にすることも有効
である。 均質なメッキ皮膜を得るためには、絶えず製
膜条件を管理する必要があるため作業が煩雑であるが、
本発明の方法によれば、金属単体ターゲットを使用する
ため原理的にそのような管理の必要性がないので作業が
簡略化出来る。
【0009】膜厚は、5〜500μmが適当であるが、
成膜時間により容易に制御出来る。請求項1に記載の被
覆層の場合、製膜速度は数μm/10分程度だが、複数
のターゲットを同時に使用することで製膜速度を上げる
ことが可能であり、他のイオンプレーティング法あるい
はスパッタリング法等では困難な厚膜化も容易である。
成膜時間により容易に制御出来る。請求項1に記載の被
覆層の場合、製膜速度は数μm/10分程度だが、複数
のターゲットを同時に使用することで製膜速度を上げる
ことが可能であり、他のイオンプレーティング法あるい
はスパッタリング法等では困難な厚膜化も容易である。
【0010】本発明における組成と構造の被覆層は、反
応ガス量および製膜条件を制御することにより得られ
る。すなわち、ニッケルターゲットを使用し、反応ガス
として水素、炭素、窒素及び酸素の少なくとも一元素を
含むガスを導入して、基材に−100〜50Vの電位を
かけて製膜を行う。水素含有ガスとは、例えばH2 、H
2 Oの様に、ガス成分中に水素原子を含むガスのことで
ある。炭素含有ガスとしては、例えばCH4 、C2 H6
等が、窒素含有ガスとしては、例えばN2 、NH3 等
が、酸素含有ガスとしては、例えばO2 、CO等がある
が、反応ガスはここに例示したガスに限定されるもので
はない。上記条件でアーク放電型イオンプレーティング
を行うことにより、皮膜中のニッケル含有量が70〜9
5原子%で、残部が水素、炭素、窒素及び酸素の少なく
とも一元素であり、かつCuKα線によるX線回折にお
いて、角度42〜45度の間に主ピークがあり、その半
値幅が0.4〜7度である被覆層からなる低水素過電圧
陰極が得られる。
応ガス量および製膜条件を制御することにより得られ
る。すなわち、ニッケルターゲットを使用し、反応ガス
として水素、炭素、窒素及び酸素の少なくとも一元素を
含むガスを導入して、基材に−100〜50Vの電位を
かけて製膜を行う。水素含有ガスとは、例えばH2 、H
2 Oの様に、ガス成分中に水素原子を含むガスのことで
ある。炭素含有ガスとしては、例えばCH4 、C2 H6
等が、窒素含有ガスとしては、例えばN2 、NH3 等
が、酸素含有ガスとしては、例えばO2 、CO等がある
が、反応ガスはここに例示したガスに限定されるもので
はない。上記条件でアーク放電型イオンプレーティング
を行うことにより、皮膜中のニッケル含有量が70〜9
5原子%で、残部が水素、炭素、窒素及び酸素の少なく
とも一元素であり、かつCuKα線によるX線回折にお
いて、角度42〜45度の間に主ピークがあり、その半
値幅が0.4〜7度である被覆層からなる低水素過電圧
陰極が得られる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を示すが、本発明はこ
れらの実施例により何等限定されるものではない。
れらの実施例により何等限定されるものではない。
【0012】実施例1〜4 ニッケルターゲットを使用し、反応ガスとして水素、炭
素、窒素及び酸素の少なくとも一元素を含むガスを使用
してアーク放電型イオンプレーティングを行い、実施例
1〜4の試料を得た。基材は、脱脂等を施して表面を清
浄にしたニッケル板(40×50mm2 )を用いた。ア
ーク放電型イオンプレーティングは(株)昭和真空製S
IA−400Tを用いて行った。1×10-3Torrの
真空下、アーク電流100Aで50分間製膜を行い、基
材上に被覆層が約20〜30μm厚さ被覆された電極を
作製した。皮膜の製膜条件を表1に、得られた皮膜の特
性を表2に示す。
素、窒素及び酸素の少なくとも一元素を含むガスを使用
してアーク放電型イオンプレーティングを行い、実施例
1〜4の試料を得た。基材は、脱脂等を施して表面を清
浄にしたニッケル板(40×50mm2 )を用いた。ア
ーク放電型イオンプレーティングは(株)昭和真空製S
IA−400Tを用いて行った。1×10-3Torrの
真空下、アーク電流100Aで50分間製膜を行い、基
材上に被覆層が約20〜30μm厚さ被覆された電極を
作製した。皮膜の製膜条件を表1に、得られた皮膜の特
性を表2に示す。
【0013】
【表1】
【0014】
【表2】
【0015】皮膜の組成はX線マイクロアナライザーで
分析した。主ピークの位置および半値幅は、CuKα線
によるX線回折図形から求めた。また、水素過電圧は9
0℃、32.5%の苛性ソーダ液中にて、40A/dm
2 の電流密度でカレントインタラプター法により測定し
た。
分析した。主ピークの位置および半値幅は、CuKα線
によるX線回折図形から求めた。また、水素過電圧は9
0℃、32.5%の苛性ソーダ液中にて、40A/dm
2 の電流密度でカレントインタラプター法により測定し
た。
【0016】比較例1〜2 基材の電位を−300Vとする以外は実施例1と同様の
条件で製膜を実施した。製膜の条件および得られた皮膜
の性能をそれぞれ表1および表2に示す。得られた皮膜
の半値幅が請求範囲からはずれており、過電圧は300
mV程度の高い値を示す。
条件で製膜を実施した。製膜の条件および得られた皮膜
の性能をそれぞれ表1および表2に示す。得られた皮膜
の半値幅が請求範囲からはずれており、過電圧は300
mV程度の高い値を示す。
【0017】実施例5〜7および比較例3〜4 酸素ガス量以外は実施例4と同様の条件で製膜を実施
し、実施例5〜7および比較例1〜2を得た。製膜条件
を表3に、得られた皮膜の特性を表4に示す。
し、実施例5〜7および比較例1〜2を得た。製膜条件
を表3に、得られた皮膜の特性を表4に示す。
【0018】
【表3】
【0019】
【表4】
【0020】比較例4は酸素濃度が、比較例3は、酸素
濃度および半値幅が請求範囲からはずれており、過電圧
は高い。
濃度および半値幅が請求範囲からはずれており、過電圧
は高い。
【0021】
【発明の効果】本発明の製造方法により得られる活性陰
極を90℃、32.5%の苛性ソーダ液中にて、40A
/dm2 の電流密度で電解すると、水素過電圧が120
〜150mVと低く、本発明により得られる陰極は、非
常に優れた陰極性能を有することが明らかとなった。
極を90℃、32.5%の苛性ソーダ液中にて、40A
/dm2 の電流密度で電解すると、水素過電圧が120
〜150mVと低く、本発明により得られる陰極は、非
常に優れた陰極性能を有することが明らかとなった。
【0022】この陰極をアルカリ金属塩化物水溶液電解
に適用すると、消費電力のセービングが可能となり、ク
ロルアルカリ工業における省エネルギーに対する寄与は
大きい。
に適用すると、消費電力のセービングが可能となり、ク
ロルアルカリ工業における省エネルギーに対する寄与は
大きい。
Claims (2)
- 【請求項1】導電性基材上に、ニッケルと水素、炭素、
窒素及び酸素の少なくとも一元素を含む層を被覆した低
水素過電圧陰極であって、Ni含有量が70〜95原子
%で、残部が水素、炭素、窒素及び酸素の少なくとも一
元素であり、かつCuKα線によるX線回折において、
角度42〜45度の間に主ピークがあり、その半値幅が
0.4〜7度である被覆層からなる低水素過電圧陰極。 - 【請求項2】ニッケルターゲットを使用し、かつ導電性
基材の電位を−100〜50Vとし、反応ガスとして水
素、炭素、窒素及び酸素の少なくとも一元素を含むガス
を導入し、アーク放電型イオンプレーティング法にて製
造することを特徴とする請求項1に記載の低水素過電圧
陰極の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9054711A JPH10251783A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9054711A JPH10251783A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10251783A true JPH10251783A (ja) | 1998-09-22 |
Family
ID=12978397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9054711A Pending JPH10251783A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10251783A (ja) |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP9054711A patent/JPH10251783A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4544473A (en) | Catalytic electrolytic electrode | |
JPH0357198B2 (ja) | ||
JP4578348B2 (ja) | 水素発生用電極 | |
JPH0488182A (ja) | オゾン製造用電極構造体及びその製造方法 | |
JPH02236298A (ja) | 帯状金属基材の電解金属被覆方法及びその遂行のための装置 | |
US6699379B1 (en) | Method for reducing stress in nickel-based alloy plating | |
JP3358465B2 (ja) | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 | |
US5948223A (en) | Low hydrogen overvoltage cathode and process for the production thereof | |
CN114622238B (zh) | 一种过渡金属基析氢析氧双功能电极的制备及应用 | |
JP3676554B2 (ja) | 活性化陰極 | |
JP3723898B2 (ja) | 低水素過電圧陰極 | |
US4190514A (en) | Electrolytic cell | |
JPH10251783A (ja) | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 | |
JP2006265649A (ja) | 水素発生用電極の製造方法 | |
US5827413A (en) | Low hydrogen over voltage cathode and process for production thereof | |
JPH10251784A (ja) | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 | |
JPH10330998A (ja) | 電気めっき方法 | |
JPH11229170A (ja) | 活性化陰極 | |
JPH09194972A (ja) | 低水素過電圧陰極およびその製造方法 | |
JP2001073179A (ja) | 低水素過電圧陰極の処理方法 | |
Gutiérrez et al. | Self-organization phenomena during electrodeposition of Co-In alloys | |
JPH10251885A (ja) | ニッケル合金層−陽イオン交換膜接合体およびその製造方法と使用方法 | |
US20240209531A1 (en) | Electrode for generating chlorine | |
JPS5846553B2 (ja) | 活性化された電極の製法 | |
JP2005015818A (ja) | 水素発生用電極及びその製造方法並びにこれを用いた電解方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060822 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070417 |