JPH10228793A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH10228793A
JPH10228793A JP2924997A JP2924997A JPH10228793A JP H10228793 A JPH10228793 A JP H10228793A JP 2924997 A JP2924997 A JP 2924997A JP 2924997 A JP2924997 A JP 2924997A JP H10228793 A JPH10228793 A JP H10228793A
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JP
Japan
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clock signals
booster circuit
charge pump
voltage
wirings
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Abandoned
Application number
JP2924997A
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English (en)
Inventor
Hideki Arakawa
秀貴 荒川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH10228793A publication Critical patent/JPH10228793A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フラッシュメモリなどのチャージポンプを用
いた昇圧回路を有する半導体装置の消費電力を低減す
る。 【解決手段】 互いに逆相のクロック信号により駆動さ
れるチャージポンプを用いた昇圧回路を有する半導体装
置において、チャージポンプを駆動するための互いに逆
相のクロック信号Φ、ΦBの立ち上がり/立ち下がりの
遷移時にクロック信号Φ、ΦB用の配線1、2間をショ
ートさせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置に関
し、特に、互いに逆相のクロック信号により駆動される
チャージポンプを用いた昇圧回路を有する半導体装置、
例えばいわゆるフラッシュメモリに適用して好適なもの
である。
【0002】
【従来の技術】3V以下の低電圧で動作するフラッシュ
メモリの読み出しにおいては、ワード線のブーストが不
可欠である。このブーストを行う方法には大きく分けて
二種類ある。一つは大きな容量を用いてアドレス遷移検
出(ATD)パルスなどに同期させて昇圧を行うブート
ストラップ回路を用いるものであり、もう一つはチャー
ジポンプを用いた昇圧回路により常時昇圧した昇圧電源
を用いるものである。
【0003】このうちブートストラップ回路を用いる方
法は、電源電圧Vccの50〜60%の電圧分しか昇圧す
ることができないため、Vccが3V以下である場合には
不適当である。一方、昇圧電源を用いる方法は、Vcc
3V以下である場合にも非常に有効である。ただし、こ
の方法には、スタンバイ時にも電流を消費するという欠
点があるので、全ての動作を止めるディープパワーダウ
ン(Deep Power Down)モードと呼ばれるモードを設定す
ることによりこの欠点を補っている。
【0004】いま、昇圧電源を用いてワード線のブース
トを行う場合において、Vccが2.7V以下でワード線
電圧を約3.5Vとしてサイクルタイム10MHz以上
で動作させる場合を考えると、昇圧回路からの3.5V
の電流は少なくとも1mAは必要となる。このとき、昇
圧回路のチャージポンプは4段(この段数はチャージポ
ンプのキャパシタの数と等しい)以上で各キャパシタの
容量としては1000pF以上が必要となる。
【0005】ここで、もしもこのキャパシタの寄生容量
がその容量の1/10であるとすると(キャパシタとし
てMOSトランジスタのゲート−チャネル間容量を用い
る場合)、この寄生容量を充放電する電流Is は、Vcc
=3.3V(Max)、チャージポンプを駆動するクロ
ック信号の周波数f=10MHzとすると、 Is =4×100pF×3.3V×10MHz≒13mA (1) となり、非常に大きな値になる。チャージポンプのキャ
パシタとしてゲート−ウェル間容量を用いた場合には、
寄生容量はキャパシタとしてゲート−チャネル間容量を
用いる場合の1/2程度となるが、これでは根本的な解
決にはならない。なお、ウェル側を昇圧ダイオード列側
にしても、問題は変わらない。
【0006】図7に昇圧電源の一般的な回路構成を示
す。図7に示すように、この昇圧電源においては、発振
器101により発生された互いに逆相のクロック信号が
バッファ102を介して昇圧回路103に供給される。
この昇圧回路103の出力端子は抵抗R1 、R2 を介し
て接地されている。これらの抵抗R1 、R2 の間のノー
ドNは差動アンプ104の−端子と接続されている。ま
た、この差動アンプ104の+端子には、基準電圧発生
回路105により発生された基準電圧Vref が供給され
る。この差動アンプ104の−端子に入力される電圧と
+端子に入力される基準電圧Vref との差に応じた出力
がこの差動アンプ104から出力され、発振器101に
供給される。そして、出力電圧Vout が所望の電圧より
高くなったら、発振器101からのクロック信号の発生
を止めて昇圧動作を停止する。このようにして、昇圧回
路103の出力電圧Vout をVccより高い所望の電圧に
保持する。
【0007】図8に昇圧回路103の具体的な構成を示
す。図8に示すように、この昇圧回路103において
は、キャパシタCp と昇圧ダイオードDp とからなるチ
ャージポンプが複数段(この場合は4段)縦続接続され
てチャージポンプ列が構成されている。このチャージポ
ンプ列を、図9に示すような互いに逆相のクロック信号
Φ、ΦBで駆動することにより、Vout としてVccより
高い電圧を発生させる。符号201、202はそれぞれ
クロック信号Φ、ΦB用の配線を示す。
【0008】図10に、図8に示す昇圧回路103にお
けるチャージポンプ列の一つのノードについての容量の
等価回路を示す。図10において、Cs は昇圧ダイオー
ド列側の寄生容量、Cpsはクロック信号Φ、ΦB用の配
線201、202側の寄生容量である。Cs 、Cpsには
キャパシタCp のそれぞれの側の寄生容量も当然含まれ
る。
【0009】ここで、チャージポンプの昇圧段数(=キ
ャパシタCp の数)をNとすると、昇圧回路103で消
費されるVcc電流Iccはほぼ Icc=(N+1)Iout +(Cps+Cs )・Vcc・f・N (2) と表される。ただし、Iout は昇圧回路103の出力電
流を示す。(2)式の右辺の第2項は寄生容量Cs 、C
psの充放電電流Is を示し、(1)式に対応するもので
ある。このIs が大きな値であることは(1)式に示し
た通りである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】この寄生容量の充放電
電流Is を低減するには、まず第1にCs とCpsとを小
さくすることであり、従来はこの対策のみが採られてき
た。Vccが高いうちは、Cp もそれほど大きくなく、し
たがってCs 、Cpsの充放電電流もあまり問題にならな
かった。しかしながら、フラッシュメモリの低電圧動作
化に伴い、Cs とCpsとを小さくすることによるCs
psの充放電電流の低減には限界が生じているのが実情
である。
【0011】したがって、この発明の目的は、フラッシ
ュメモリなどの、互いに逆相のクロック信号により駆動
されるチャージポンプを用いた昇圧回路を有する半導体
装置において、チャージポンプのキャパシタの寄生容量
の充放電電流の低減により低消費電力化を図ることがで
きる半導体装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、互いに逆相のクロック信号により駆動
されるチャージポンプを用いた昇圧回路を有する半導体
装置において、互いに逆相のクロック信号の立ち上がり
/立ち下がりの遷移時に互いに逆相のクロック信号用の
配線間を短絡するように構成されていることを特徴とす
るものである。
【0013】この発明においては、典型的には、互いに
逆相のクロック信号用の配線間にスイッチが設けられ、
このスイッチを互いに逆相のクロック信号の立ち上がり
/立ち下がりの遷移時にオンさせることにより互いに逆
相のクロック信号用の配線間を短絡する。また、この発
明において、チャージポンプは、好適には2段以上、典
型的には3段または4段以上縦続接続される。
【0014】上述のように構成されたこの発明による半
導体装置によれば、チャージポンプを駆動するための互
いに逆相のクロック信号の立ち上がり/立ち下がりの遷
移時にこれらの互いに逆相のクロック信号用の配線間を
短絡することにより、Vcc電源からの電流を用いること
なくキャパシタの電圧をほぼ(1/2)Vccまで上げ下
げすることができるので、残りの(1/2)Vcc分だけ
をVcc電源からの電流を用いて上げ下げすればよい。こ
のため、その分だけ、従来に比べてチャージポンプのキ
ャパシタの充放電電流を低減することができ、それによ
って低消費電力化を図ることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。なお、実施形態の全図
において、同一または対応する部分には同一の符号を付
す。
【0016】図1はこの発明の第1の実施形態による昇
圧回路を示す。
【0017】図1に示すように、この第1の実施形態に
よる昇圧回路においては、キャパシタCp と昇圧ダイオ
ードDp とからなるチャージポンプが4段縦続接続され
てチャージポンプ列が構成されている。このチャージポ
ンプ列は、図2Aおよび図2Bに示すような互いに逆相
のクロック信号Φ、ΦBにより駆動される。符号1、2
はそれぞれクロック信号Φ、ΦB用の配線を示す。
【0018】これらの配線1、2には、それぞれトラン
スファーゲート3、4が設けられている。また、これら
の配線1、2間には、トランスファーゲート5が設けら
れている。トランスファーゲート3、4のp側入力端子
およびトランスファーゲート5のn側入力端子には、図
2Cに示すような、クロック信号Φ、ΦBの立ち上がり
/立ち下がりの遷移時の前後にわたる所定のパルス幅を
有するイコライズ信号CEQが供給されるようになって
いる。また、トランスファーゲート3、4のn側入力端
子およびトランスファーゲート5のp側入力端子には、
インバータ6によりイコライズ信号CEQを反転した信
号が供給されるようになっている。
【0019】次に、この第1の実施形態による昇圧回路
の動作について説明する。
【0020】図1および図2において、互いに逆相のク
ロック信号Φ、ΦBの立ち上がり/立ち下がりの遷移時
には、イコライズ信号CEQがハイレベルとなり、トラ
ンスファーゲート3、4はオフ、トランスファーゲート
5はオンとなって、これらのクロック信号Φ、ΦB用の
配線1、2間がショートされる。イコライズ信号CEQ
がローレベルになると、トランスファーゲート3、4は
オン、トランスファーゲート5はオフとなって、これら
のクロック信号Φ、ΦBによりチャージポンプが駆動さ
れ、昇圧動作が行われる。
【0021】この場合、クロック信号Φ用の配線1につ
ながっている寄生容量Cp 、Cpsに加わる電圧はV
cc(または0V)、クロック信号ΦB用の配線2につな
がっている寄生容量Cp 、Cpsに加わる電圧は0V(ま
たはVcc)となっているが、上述のようにこれらの配線
1、2間をショートさせたときには、いずれもほぼVcc
/2になり、したがって0VからVccに昇圧しようとし
ていたうちの半分の電圧分の昇圧はVcc電源から電流を
供給しなくても行うことができる。
【0022】したがって、このときの寄生容量Cp 、C
psの充放電電流は Is =(Cps+Cs )・Vcc・f・N/2 (4) となり、従来の半分に低減される。具体的には、N=4
とすると、従来はIs =13mAであったのが、Is
6.6mAとなる。
【0023】以上のように、この第1の実施形態によれ
ば、昇圧回路を構成するチャージポンプ列を駆動する互
いに逆相のクロック信号Φ、ΦBの立ち上がり/立ち下
がりの遷移時にこれらのクロック信号Φ、ΦB用の配線
1、2間をショートさせるようにしていることにより、
チャージポンプのキャパシタの寄生容量の充放電電流を
従来の半分と大幅に低減することができ、これによって
低消費電力化を図ることができる。
【0024】この第1の実施形態による昇圧回路は、V
ccが2.7V以下のフラッシュメモリにおける昇圧電源
に用いて特に好適なものであり、このようなフラッシュ
メモリは電源として電池を用いる携帯用電子機器に用い
て好適なものである。
【0025】図3はこの発明の第2の実施形態による昇
圧回路を示す。この昇圧回路は、図4および図5に示す
ようなクロックトインバータ(Clocked Inverter) を用
いたものである。
【0026】図3に示すように、この第2の実施形態に
よる昇圧回路においては、クロック信号Φ1用の配線1
にインバータ7およびクロックトインバータ8が設けら
れ、クロック信号Φ2用の配線2にクロックトインバー
タ9が設けられている。ここで、インバータ7およびク
ロックトインバータ9のそれぞれの入力端子には、図6
Aに示すようなクロック信号Φが供給されるようになっ
ている。また、クロックトインバータ8、9のそれぞれ
の制御端子およびトランスファーゲート5のn側入力端
子には、図6Bに示すような、クロック信号Φの立ち上
がり/立ち下がりの遷移時にハイレベルとなる所定のパ
ルス幅を有するイコライズ信号CEQが供給されるよう
になっている。さらに、トランスファーゲート5のp側
入力端子には、インバータ6によりイコライズ信号CE
Qを反転した信号が供給されるようになっている。チャ
ージポンプの構成は第1の実施形態による昇圧回路と同
様である。
【0027】この第2の実施形態による昇圧回路の動作
は、第1の実施形態による昇圧回路の動作と実質的に同
様である。すなわち、クロック信号Φの立ち上がり/立
ち下がりの遷移時、したがって互いに逆相のクロック信
号Φ1、Φ2の立ち上がり/立ち下がりの遷移時に、イ
コライズ信号CEQがハイレベルとなり、クロックトイ
ンバータ8、9は非導通状態、トランスファーゲート5
はオンとなって、これらのクロック信号Φ1、Φ2用の
配線1、2間がショートされる。イコライズ信号CEQ
がローレベルになると、クロックトインバータ8、9は
導通状態、トランスファーゲート5はオフとなって、こ
れらのクロック信号Φ1、Φ2によりチャージポンプが
駆動され、昇圧動作が行われる。
【0028】そして、配線1、2間をショートさせたと
きには、クロック信号Φ1用の配線1につながっている
寄生容量Cp 、Cpsに加わる電圧およびクロック信号Φ
2用の配線2につながっている寄生容量Cp 、Cpsに加
わる電圧はいずれもほぼVcc/2になり、したがって0
VからVccに昇圧しようとしていたうちの半分の電圧分
の昇圧はVcc電源から電流を供給しなくても行うことが
できる。
【0029】なお、この第2の実施形態におけるイコラ
イズ信号CEQのタイミングは第1の実施形態における
イコライズ信号CEQのタイミングと少し異なるが、第
1の実施形態におけるイコライズ信号CEQに比べて、
この第2の実施形態におけるイコライズ信号CEQの方
がつくりやすい。
【0030】この第2の実施形態によっても、第1の実
施形態と同様な利点を得ることができる。
【0031】以上、この発明の実施形態について具体的
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。
【0032】例えば、上述の第1および第2の実施形態
において、互いに逆相のクロック信号の立ち上がり/立
ち下がりの遷移時にこれらのクロック信号用の配線間を
ショートさせるために用いられている回路は例に過ぎ
ず、必要に応じてこれらと異なる回路を用いてもよい。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による半
導体装置によれば、互いに逆相のクロック信号の立ち上
がり/立ち下がりの遷移時にこれらの互いに逆相のクロ
ック信号用の配線間を短絡するように構成されているこ
とにより、チャージポンプのキャパシタの寄生容量の充
放電電流を大幅に低減することができ、これによって低
消費電力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態による昇圧回路を示
す回路図である。
【図2】この発明の第1の実施形態による昇圧回路の動
作を説明するためのタイミングチャートである。
【図3】この発明の第2の実施形態による昇圧回路を示
す回路図である。
【図4】この発明の第2の実施形態による昇圧回路にお
いて用いられるクロックトインバータの記号を示す略線
図である。
【図5】この発明の第2の実施形態による昇圧回路にお
いて用いられるクロックトインバータを示す回路図であ
る。
【図6】この発明の第2の実施形態による昇圧回路の動
作を説明するためのタイミングチャートである。
【図7】従来の昇圧電源を示すブロック図である。
【図8】従来の昇圧回路を示す回路図である。
【図9】従来の昇圧回路の動作を説明するためのタイミ
ングチャートである。
【図10】従来の昇圧回路におけるチャージポンプ列の
一つのノードについての容量の等価回路図である。
【符号の説明】
p ・・・キャパシタ、Dp ・・・昇圧ダイオード、
1、2・・・配線、3、4、5・・・トランスファーゲ
ート、8、9・・・クロックトインバータ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに逆相のクロック信号により駆動さ
    れるチャージポンプを用いた昇圧回路を有する半導体装
    置において、 上記互いに逆相のクロック信号の立ち上がり/立ち下が
    りの遷移時に上記互いに逆相のクロック信号用の配線間
    を短絡するように構成されていることを特徴とする半導
    体装置。
  2. 【請求項2】 上記互いに逆相のクロック信号用の配線
    間にスイッチが設けられ、このスイッチを上記互いに逆
    相のクロック信号の立ち上がり/立ち下がりの遷移時に
    オンさせることにより上記互いに逆相のクロック信号用
    の配線間を短絡するようにしたことを特徴とする請求項
    1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 上記チャージポンプは2段以上縦続接続
    されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装
    置。
JP2924997A 1997-02-13 1997-02-13 半導体装置 Abandoned JPH10228793A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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