JPH10226079A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液体噴射記録ヘッドの製造に際して、切削加
工や切断分離加工の時に天板等に変形や剥離を生じさせ
ることがない製造方法を提供する。 【解決手段】 吐出圧発生素子１４と少なくとも液流路
となる部分を占有する固体層２が設けられた第１の基体
１上に硬化性樹脂８を塗布し、その上に第２の基体５を
積層する。その後に、共通液室１０を切削加工により形
成し、該切削箇所に氷またはシリコーンオイル等の補強
材１５を充填した状態で吐出口を切断分離し、その後、
補強材１５を除去するとともに液流路となる固体層２を
除去して液体噴射記録ヘッド１１を製造する。切削加工
や切断分離加工時に天板等に変形や剥離を生じさせるこ
となく、高歩留まりで液体噴射記録ヘッドを製造するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細な吐出口から
記録液を液滴として吐出させて記録紙等に記録を行なう
液体噴射記録方式に用いられる液体噴射記録ヘッドの製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録方式に用いられる液体噴射
記録ヘッドは、一般に微細な記録液吐出口、液流路、共
通液室および液流路の一部に設けられた吐出圧発生素子
を備えている。この種の液体噴射記録ヘッドの製造方法
としては、従来から種々の製造方法が知られており、液
体噴射記録ヘッドの製造方法の一形態を図５および図６
に図示する。図５の（ａ）および（ｂ）は、液体噴射記
録ヘッドの模式的な斜視図であり、図５の（ａ）に示す
ように、一枚の基体１上に複数本の液体噴射記録ヘッド
１１、１１を作製し、これを切断線１２に沿って分離す
ることによって、図５の（ｂ）に示すような個々の液体
噴射記録ヘッド１１を得ている。そして、図６には、こ
の種の液体噴射記録ヘッドの製造方法の各工程を図示す
る。なお、図６は、図５の（ａ）におけるＡ−Ａ線に沿
って破断した端面を各製造工程に従って図示する端面図
である。

【０００３】そこで、図６に示す製造方法を説明する
と、先ず、図６の（ａ）に示すように、液体噴射記録ヘ
ッド一対分の吐出圧発生素子１４、１４が設けられた第
１の基体１上に、液流路予定部位および液室予定部位に
第１の固体層２をパターニング等により選択的に形成す
る。次いで、液室の容積を充分確保すべく基体１と後述
する第２の基体５との間に空間を確保するために、図６
の（ｂ）に示すように、第２の固体層３を第１の固体層
２の上の少なくとも液室予定部位に公知の印刷等の方法
により形成する。そして、後にインク供給口となる開口
４を有する第２の基体５を図６の（ｃ）に示すように第
２の固体層３上に載置する。

【０００４】ところで、第２の固体層３の上に第２の基
体５を載置する際に、第１の基体１および第２の基体５
の反りやうねり、さらに第２の固体層３の平坦性や平面
内の厚さの均一性等の影響で、第２の固体層３と第２の
基体５との接触部位にわずかな隙間６が発生し、硬化性
樹脂８を注入する際に毛管現象により該隙間６に硬化性
樹脂８が侵入する。このように隙間６に侵入して硬化し
た硬化性樹脂８は、極めて薄いために、第１の固体層２
および第２の固体層３を除去する際の除去液により、あ
るいは記録ヘッド完成後使用中にインクにより膨潤し、
第２の基体５から剥離して、ノズルを詰まらせるゴミと
なったり、剥離しない場合でもインク供給口４の周囲に
バリ状に残り、インクのリフィル特性を大幅に低下させ
るといった問題点があった。さらに、甚だしい場合には
硬化性樹脂８が第２の固体層３の上面にはみ出して、後
に、第２の固体層３を除去する際の妨げとなるといった
問題点もあった。そこで、これらの問題点を解消するた
めに、液流路の壁となる硬化性樹脂を注入する前に、図
６の（ｄ）に示すように、第２の基体５と第２の固体層
３との隙間６を流動性のある充填剤７で充填している。

【０００５】次に、図６の（ｅ）に示すように、第１の
基体１と第２の基体５との間に形成された空間部に、図
示しない注入口から減圧注入により硬化性樹脂８を注入
して、これを硬化させる。そして、流動性のある充填剤
７を除去した後、対向する一対の液体噴射記録ヘッドの
中央を切断して、２個の液体噴射記録ヘッドに分離する
（図６の（ｆ）参照）。

【０００６】続いて、第１の固体層２および第２の固体
層３を除去液により除去して、吐出口９および液室１０
を有する液体噴射記録ヘッド１１を得ることができる
（図６の（ｇ）ならびに図５の（ｂ）参照）。

【０００７】しかしながら、上記の製造方法において
も、次のような問題があった。

【０００８】液室の容積を大きくするために第２の固体
層３を形成する工程が必要であるとともに、この第２の
固体層３には、次のような材料面での限定条件が多い。
すなわち、第２の固体層３としては、第１の固体層２と
ともに不溶物を形成しないこと、硬化性樹脂８と相溶し
ないこと、比較的厚く（数十μｍ以上）形成できかつ成
型性がよいこと、そして、第１の固体層２と同一除去液
で除去されるものであること等が望ましい。さらに、第
２の基体５と第２の固体層３の間の隙間を埋める工程も
必須であり、そのための充填剤についても次のような種
々の限定条件が多い。すなわち、充填剤としては、流動
性があって、隙間６を埋めることができかつ第２の固体
層３からはみ出さないこと、硬化性樹脂の注入硬化後に
除去することができること、注入する硬化性樹脂と混ざ
り合い、樹脂の硬化を妨げることがないこと、そして、
作業性が良いものであること等の条件を備えていること
が必要であった。

【０００９】そこで、第２の固体層や充填剤を必要とし
ない簡略な製造方法も提案されている。この簡略な製造
方法においては、共通液室を活性エネルギー線硬化材料
や第２の固体層を用いて形成するのではなく、切削また
は研削加工によって共通液室を形成することを特徴とす
るものである。この製造方法の各工程を図７に示し、以
下、図７に基づいて説明する。

【００１０】図７の（ａ）に示すように、液体噴射記録
ヘッド一対分の吐出圧発生素子１４、１４が設けられた
アルミ基板（第１の基体）１上に、液流路予定部位およ
びこれに連通する液室予定部位に固体層２をパターニン
グ等により選択的に形成する。そして、図７の（ｂ）に
示すように、約１００ミクロンのスペーサを切断分離後
不要部となる部位に設け、常温硬化性樹脂８を塗布す
る。次に、後にインク供給口となる開口４を有し、表面
に耐蝕処理を施したアルミ天板（第２の基体）５を図７
の（ｃ）に示すように常温硬化性樹脂８上に接合する。
その後、ダイヤモンドソーによって開口４の下方の硬化
性樹脂８を固体層２に至るまで切削する。この切削され
た部分が共通液室１０を構成する（図７の（ｄ）参
照）。なお、このときに、Ｂ部に他の機器との接続パッ
ドがある場合には、その上部の硬化性樹脂８も切削によ
り除去する。

【００１１】次に、図７の（ｅ）に示すように、対向す
る一対の液体噴射記録ヘッドの中央部において第１の基
体１と第２の基体５およびその間の硬化性樹脂８をダイ
ヤモンドソーで切断して、２個の液体噴射記録ヘッドに
分離する。

【００１２】続いて、固体層２を除去液エチルセロソル
ブで除去して吐出口９を形成し、吐出口９および共通液
室１０を有する液体噴射記録ヘッドを作製している（図
７の（ｆ）参照）。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
図示するような従来の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、吐出口から共通液室までの距離Ｌ（図７の
（ｆ）参照）が非常に短いために、対向する液体噴射記
録ヘッドを切削、切断分離する際にその切断による応力
で、この部分の天板（第２の基体）が変形したり、天板
と常温硬化性樹脂との間で剥離が生じるなどの問題があ
った。例えば、フルマルチタイプの液体噴射記録ヘッド
ではヘッド長さが２００ｍｍ以上あるけれども、吐出口
から共通液室までの距離Ｌは１ｍｍ以下であるために、
その部分の天板（第２の基体）は非常に変形しやすいも
のであった。

【００１４】そこで、本発明は、上記従来技術の有する
未解決な課題に鑑みてなされたものであって、液体噴射
記録ヘッドの製造に際してその切削加工や切断分離加工
の時に液体噴射記録ヘッドの天板等に変形や剥離が生じ
ることがない液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、吐出圧
発生素子と少なくとも液流路となる部分を占有する固体
層が設けられた基体上に樹脂を塗布または注入し、その
後に、共通液室を切削加工により形成して、液流路とな
る固体層を除去する工程を有する液体噴射記録ヘッドの
製造方法において、共通液室および吐出口のいずれか一
方を切削し、該切削箇所に補強材を充填し、その後、共
通液室および吐出口の他方を切削し、そして前記補強材
を除去することを特徴とする。

【００１６】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法においては、補強材が熱可塑性樹脂であることが
好ましく、また、補強材が氷またはシリコーンオイルで
あることが好ましい。

【００１７】

【作用】吐出圧発生素子と少なくとも液流路となる部分
を占有する固体層が設けられた第１の基体上に硬化性樹
脂を塗布し、その後に、第２の基体を積層し、共通液室
を切削加工により形成し、該切削箇所に氷またはシリコ
ーンオイル等の補強材を充填した状態で吐出口を切断分
離し、その後、補強材を除去するとともに液流路となる
固体層を除去して液体噴射記録ヘッドを製造することに
よって、共通液室の切削加工または吐出口の切断分離加
工時に第２の基体（天板）等に変形や剥離を生じさせる
ことなく、高歩留まりで液体噴射記録ヘッドを製造する
ことができる。また、切削箇所に充填する補強材とし
て、常温で液体、氷点下で固体となる氷やシリコーンオ
イル、あるいは低分子アクリル、印刷材等を用いること
によって、その取扱いが簡単であり、さらにその除去に
おいても、氷やシリコーンオイルを用いる場合は常温に
戻すことにより液体として除去することができ、また、
低分子アクリルや印刷材等においても固体層の除去と同
時に除去することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１９】図１は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法の第１の実施例における各製造工程を示す図面で
あり、以下、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の
第１の実施例を図１に示す製造工程に沿って詳細に説明
する。

【００２０】図１の（ａ）に示すように、先ず、液体噴
射記録ヘッド一対分の吐出圧発生素子１４、１４が設け
られたアルミ基板（第１の基体）１上に、液流路予定部
位およびこれに連通する液室予定部位に固体層２をパタ
ーニング等により選択的に形成する。そして、図１の
（ｂ）に示すように、約１００ミクロンのスペーサを切
断分離後不要部となる部位に設け、常温硬化性樹脂８を
塗布する。そして、後にインク供給口となる開口４を有
し、表面に耐蝕処理を施したアルミ天板（第２の基体）
５を、図１の（ｃ）に示すように、常温硬化性樹脂８上
に接合する。その後、ダイヤモンドソー等の切断刃によ
って開口４の下方の硬化性樹脂８を固体層２に至るまで
切削する。この切削穴が共通液室１０となる（図１の
（ｄ）参照）。このときに、Ｂ部に他の機器との接続パ
ッドがある場合には、その上方の硬化性樹脂８も切削に
より除去する。なお、本実施例におけるこれまでの工
程、すなわち、図１の（ａ）から（ｄ）までの工程は、
図７に示す従来の製造方法における（ａ）から（ｄ）ま
での工程と同様である。

【００２１】次に、図１の（ｅ）に示すように、アルミ
天板（第２の基体）５に設けられている開口４および切
削により形成した共通液室１０に補強材１５を充填す
る。

【００２２】本実施例においては、図１の（ｄ）におけ
る共通液室１０の切削工程、ならびに次の工程（ｆ）に
おける液体噴射記録ヘッドの切断分離工程に際して、液
体噴射記録ヘッドを固定保持するために、図２に図示す
る冷凍チャックプレート１６を用いる。これは、冷凍チ
ャックプレート１６を氷点下にして、被加工物を冷凍チ
ャックプレート１６上に氷で保持するものである。第１
の基体１を冷凍チャックプレート１６上に載置して固定
し、共通液室１０を切削加工で形成した後に、この共通
液室１０に水を充填すると直ぐに凍り、補強材１５とな
る。

【００２３】この後に、対向する一対の記録ヘッドの中
央部において第１の基体１と第２の基体５およびその間
の硬化性樹脂８を（図２に示すように）ダイヤモンドソ
ー等の切断刃によって切断して、２個の液体噴射記録ヘ
ッドに分離する（図１の（ｆ））。この際、共通液室１
０には補強材１５としての氷が詰まっているために、第
２の基体（天板）５に変形や剥離を生じさせることなく
切断分離することが可能となる。

【００２４】続いて、冷凍チャックプレート１６を常温
に戻すと氷は溶け、共通液室１０内の補強材がなくなる
とともに、液体噴射記録ヘッドを冷凍チャックプレート
１６から取り外すことができる（図１の（ｇ）参照）。

【００２５】そして、固体層２を除去液エチルセロソル
ブで除去して吐出口９を形成し、吐出口９および共通液
室１０を有する液体噴射記録ヘッド１１を得ることがで
きる（図１の（ｈ）参照）。

【００２６】本実施例においては、以上のように、チャ
ックプレートと液体噴射記録ヘッドの密着性および補強
材として水を凍らせているが、常温で液体、氷点下で固
体となるその他の材料であっても良い。例えば、特定の
シリコーンオイルを用いることによっても、実現するこ
とができる。このようなシリコーンオイルを用いた場合
には、表面張力が小さいので、よく濡れ広がり、液体噴
射記録ヘッドとチャックプレートの密着力を増加させる
ことができる。

【００２７】次に、図３は、本発明の液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法の第２の実施例における各製造工程を示す
もので、本実施例においては、第２の基体５ａのインク
供給口となる開口４を予め硬化性樹脂８で充填しておく
点、第２の基体５ａとして耐蝕コートをしていないアル
ミ天板を用いている点、および第１の基体１と第２の基
体５ａの間に硬化性樹脂８を注入で充填している点で、
先の第１の実施例のものと相違し、また、補強材１５と
して氷の代わりに低分子アクリルを用い、そして、スペ
ーサ１３としては、固体層２の除去液で除去可能な印刷
材を用いた。

【００２８】図３において、液体噴射記録ヘッド一対分
の吐出圧発生素子１４、１４が設けられたアルミ基板
（第１の基体）１上に、液流路予定部位およびこれに連
通する液室予定部位に固体層２を選択的に形成する（図
３の（ａ）参照）。そして、図３の（ｂ）に示すよう
に、固体層２を除去する除去液で除去可能な印刷材から
なるスペーサ１３を記録ヘッドの近傍に配置する。な
お、本実施例においては、スペーサ１３を固体層２の上
に配置したが、アルミ基板（第１の基体）１の両端部に
設けてもよく、あるいは第１の基体１または第２の基体
５ａに凸部を設けて、これをスペーサとして用いること
もできる。

【００２９】次いで、図３の（ｃ）に示すように、イン
ク供給口となる開口４を硬化性樹脂８で予め充填した第
２の基体５ａをスペーサ１３上に載置接合する。このよ
うに開口４を硬化性樹脂８で充填することにより、イン
クに接する供給口側面が保護されるので、天板を耐蝕コ
ートを行なう必要がない。そして、第１の基体１および
第２の基体５ａの間に硬化性樹脂の注入が可能となる。

【００３０】その後に、図３の（ｄ）に示すように、硬
化性樹脂８を第１の基体１および第２の基体５ａの間に
注入し、硬化性樹脂８が硬化した後、第２の基体５ａに
設けられた開口４に充填した硬化性樹脂８およびその下
方の硬化性樹脂８を、ダイヤモンドソー等の切断刃によ
って、固体層２に至るまで切削し、共通液室１０を形成
する（図３の（ｅ）参照）。

【００３１】次に、図３の（ｆ）に示すように、切削に
より形成した共通液室１０に、低分子アクリルを補強材
１５として充填する。そして、対向する一対の液体噴射
記録ヘッドの中央部において第１の基体１と第２の基体
５ａおよびその間の硬化性樹脂８をダイヤモンドソー等
の切断刃で切断して、２個の液体噴射記録ヘッドに分離
する（図３の（ｇ）参照）。その後、固定層２とスペー
サ１３、さらに補強材である低分子アクリルを、除去液
エチルセロソルブを用いて同時に除去する。この結果、
吐出口９および共通液室１０を形成するとともに、第１
の基体１のＢ部の接続パッドが表面に出る（図３の
（ｈ）参照）。

【００３２】また、図４は、本発明の液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法の第３の実施例における各製造工程を示す
もので、本実施例においては、天板（第２の基体）５ｂ
としてインク供給口となる開口を有していない天板を用
いた例であり、安価な天板で、荒いアライメント精度で
の液体噴射記録ヘッドの作製を可能とするものである。
さらに、補強材１５は、スペーサ１３と同じ印刷材を用
い、固体層２の除去液で除去できるようにした。なお、
補強材としては固体層２と同じポジレジストを用いるこ
ともできる。

【００３３】図４において、液体噴射記録ヘッド一対分
の吐出圧発生素子１４、１４が設けられたアルミ基板
（第１の基体）１上に、液流路予定部位およびこれに連
通する液室予定部位に固体層２を形成する（図４の
（ａ）参照）。そして図４の（ｂ）に示すように、図３
に示す第２の実施例と同様の印刷材からなるスペーサ１
３を液体噴射記録ヘッドの近傍に配置する。

【００３４】次いで、図４の（ｃ）に示すように、イン
ク供給口となる開口を有していない第２の基体５ｂをス
ペーサ１３上に載置接合する。かくして、第１の基体１
および第２の基体５ｂの間に硬化性樹脂の注入が可能と
なる。

【００３５】その後に、図４の（ｄ）に示すように、硬
化性樹脂８を第１の基体１および第２の基体５ｂの間に
注入し、硬化性樹脂８が硬化した後に、第２の基体５ｂ
においてインク供給口となる部分をダイヤモンドソー等
の切断刃によって切削加工し、この切削穴４ｂにさらに
硬化性樹脂８を充填する（図４の（ｅ）参照）。

【００３６】そして、切削穴４ｂの加工に用いた切断刃
より巾狭のダイヤモンドソー等の切断刃を用いて、固体
層２に至るまで切削加工して共通液室１０を形成する
（図４の（ｆ）参照）。

【００３７】次に、図４の（ｇ）に示すように、切削加
工により形成された共通液室１０に、補強材１５として
の印刷材を充填する。そして、対向する一対の液体噴射
記録ヘッドの中央部において第１の基体１と第２の基体
５ｂおよびその間の硬化性樹脂８をダイヤモンドソー等
の切断刃で切断して、吐出口の分離を行ない、２個の液
体噴射記録ヘッド１１に分離する（図４の（ｈ）参
照）。その後、固定層２とスペーサ１３、さらに補強材
１５を、除去液エチルセロソルブを用いて同時に除去
し、吐出口９を形成する（図４の（ｉ）参照）。

【００３８】以上のように、本発明は、共通液室を切削
した後にその切削箇所に補強材を充填して吐出口の切断
分離を行なうようにしたことにより、吐出口から共通液
室までの距離が非常に短い場合でも、切断分離加工の際
に液体噴射記録ヘッドの天板等に変形や剥離を生じさせ
ることなく、加工を行なうことができる。また、補強材
として、氷やシリコーンオイル、あるいは低分子アクリ
ル、印刷材等を用いることによって、その取扱いが簡単
であり、さらにその除去においても、氷やシリコーンオ
イルを用いる場合は常温に戻すことにより液体として除
去することができ、また、低分子アクリルや印刷材等に
おいても固体層の除去と同時に除去することができる。

【００３９】また、上述した３実施例においては、いず
れも共通液室を切削した後にその切削箇所に補強材を充
填して吐出口の切断分離を行なっているが、この逆に、
吐出口の切断分離を先に行ない、その切断箇所に補強材
を充填した上で共通液室の切削を行なうこともできる。
例えば、図１に図示する第１の実施例において、工程
（ｃ）の後に、冷凍チャックプレートに固定して、ダイ
ヤモンドソー等の切断刃によって２個の液体噴射記録ヘ
ッドに切断分離して、その切削箇所に水を充填して凍ら
せて補強材とし、その後に、共通液室を切削により形成
する。このようにしても、上述した３実施例のものと同
様に切削加工時に天板等に変形や剥離を生じさせること
なく、液体噴射記録ヘッドを高歩留まりで製造すること
ができる。

【００４０】なお、本発明は、特に液体噴射記録方式の
中で熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を
行なう、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。

【００４１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。

【００４２】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００４３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００４４】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００４５】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００４６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４７】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。

【００４８】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４９】以上の説明においては、インクを液体とし
て説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクで
あって、室温で軟化もしくは液体となるもの、あるい
は、インクジェットにおいて一般的に行なわれている温
度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃以下の温度範
囲で軟化もしくは液体となるものでもよい。すなわち、
使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば
よい。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をイン
クの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとし
て使用せしめることで防止するか、または、インクの蒸
発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いる
かして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じ
た付与によってインクが液化してインク液状として吐出
するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始
めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化
する性質のインクの使用も可能である。このような場合
インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開
昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質
シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持
された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形
態としてもよい。上述した各インクに対して最も有効な
ものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００５０】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。

【００５１】

【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、第２の固体層や充填剤を必要とせず、共通液室を
切削により形成する簡略な製造方法で液体噴射記録ヘッ
ドを作製することができ、しかも、吐出口から共通液室
までの距離Ｌが非常に短い場合でも、切削加工時に天板
等に変形や剥離を生じさせることなく、高歩留まりで液
体噴射記録ヘッドの製造が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の第１
の実施例における各製造工程を示す端面図である。

【図２】液体噴射記録ヘッドの製造方法における冷凍チ
ャックプレートを用いた切削加工の一態様を図示する斜
視図である。

【図３】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の第２
の実施例における各製造工程を示す端面図である。

【図４】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の第３
の実施例における各製造工程を示す端面図である。

【図５】液体噴射記録ヘッドの模式的な斜視図であり、
（ａ）は基体上に複数本の液体噴射記録ヘッドを作製し
た状態を示し、（ｂ）は切断線に沿って切断して個々の
液体噴射記録ヘッドに分離した状態を示す。

【図６】従来から知られている液体噴射記録ヘッドの製
造方法における各製造工程を図示する図５の（ａ）にお
けるＡ−Ａ線に沿った端面図である。

【図７】従来の他の液体噴射記録ヘッドの製造方法にお
ける各製造工程を図示する端面図である。

【符号の説明】

１ 第１の基体（基板） ２ 固体層 ４ 開口（インク供給口） ５、５ａ、５ｂ 第２の基体（天板） ８ 硬化性樹脂 ９ 吐出口 １０ 共通液室 １１ 液体噴射記録ヘッド １４ 吐出圧発生素子 １５ 補強材 １７ 切断刃

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出圧発生素子と少なくとも液流路とな
   る部分を占有する固体層が設けられた基体上に樹脂を塗
   布または注入し、その後に、共通液室を切削加工により
   形成して、液流路となる固体層を除去する工程を有する
   液体噴射記録ヘッドの製造方法において、 共通液室および吐出口のいずれか一方を切削し、該切削
   箇所に補強材を充填し、その後、共通液室および吐出口
   の他方を切削し、そして前記補強材を除去することを特
   徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 補強材が熱可塑性樹脂であることを特徴
   とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 補強材が氷またはシリコーンオイルであ
   ることを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッド
   の製造方法。