JPH1022190A5 - - Google Patents
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- JPH1022190A5 JPH1022190A5 JP1996168967A JP16896796A JPH1022190A5 JP H1022190 A5 JPH1022190 A5 JP H1022190A5 JP 1996168967 A JP1996168967 A JP 1996168967A JP 16896796 A JP16896796 A JP 16896796A JP H1022190 A5 JPH1022190 A5 JP H1022190A5
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- Pending
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16896796A JPH1022190A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 露光装置における位置合わせ誤差補正方法および該方法を用いた露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16896796A JPH1022190A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 露光装置における位置合わせ誤差補正方法および該方法を用いた露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1022190A JPH1022190A (ja) | 1998-01-23 |
| JPH1022190A5 true JPH1022190A5 (enExample) | 2004-07-22 |
Family
ID=15877896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16896796A Pending JPH1022190A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 露光装置における位置合わせ誤差補正方法および該方法を用いた露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1022190A (enExample) |
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1996
- 1996-06-28 JP JP16896796A patent/JPH1022190A/ja active Pending
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