JPH10206739A - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
共焦点顕微鏡Info
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- JPH10206739A JPH10206739A JP999097A JP999097A JPH10206739A JP H10206739 A JPH10206739 A JP H10206739A JP 999097 A JP999097 A JP 999097A JP 999097 A JP999097 A JP 999097A JP H10206739 A JPH10206739 A JP H10206739A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 傾斜面を有する試料若しくは低反射率の試料
の表面検出の精度を向上させることが可能な共焦点顕微
鏡を実現する。 【解決手段】 複数の開口を有する円板を回転させ開口
を通過した光を集光して試料を走査することにより共焦
点画像を得る共焦点顕微鏡において、複数の開口が設け
られた円板と、開口を通過した光を試料に集光すると共
に試料からの反射光を開口に集光する対物レンズとを備
え、開口を介して入射される入射光の開口数よりも開口
側の対物レンズの開口数を大きくする。
の表面検出の精度を向上させることが可能な共焦点顕微
鏡を実現する。 【解決手段】 複数の開口を有する円板を回転させ開口
を通過した光を集光して試料を走査することにより共焦
点画像を得る共焦点顕微鏡において、複数の開口が設け
られた円板と、開口を通過した光を試料に集光すると共
に試料からの反射光を開口に集光する対物レンズとを備
え、開口を介して入射される入射光の開口数よりも開口
側の対物レンズの開口数を大きくする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の開口を設け
た円板を回転させることにより光走査を行う共焦点顕微
鏡に関し、特に傾斜面を有する試料若しくは低反射率の
試料の表面検出の精度を向上させることが可能な共焦点
顕微鏡に関する。
た円板を回転させることにより光走査を行う共焦点顕微
鏡に関し、特に傾斜面を有する試料若しくは低反射率の
試料の表面検出の精度を向上させることが可能な共焦点
顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】共焦点顕微鏡は点光源若しくは試料を走
査し、試料からの戻り光を開口部を介して受光するもの
である。図４はこのような従来の共焦点顕微鏡の一例を
示す構成ブロック図であり、本願出願人の出願に係る特
願平４−１５４１１号（特開平５−６０９８０号公報）
に記載されたものである。
査し、試料からの戻り光を開口部を介して受光するもの
である。図４はこのような従来の共焦点顕微鏡の一例を
示す構成ブロック図であり、本願出願人の出願に係る特
願平４−１５４１１号（特開平５−６０９８０号公報）
に記載されたものである。
【０００３】図４において１はレーザ、２は集光手段と
してマイクロレンズが設けられた円板（以下、マイクロ
レンズ板と呼ぶ。）、３は光分岐手段であるビームスプ
リッタ、４は開口としてピンホールが設けられた円板
（以下、ピンホール板と呼ぶ。）、５は対物レンズ、６
は試料、７はリレーレンズ、８は受光器、９はマイクロ
レンズ板２及びピンホール板４を同期して回転させるモ
ータである。
してマイクロレンズが設けられた円板（以下、マイクロ
レンズ板と呼ぶ。）、３は光分岐手段であるビームスプ
リッタ、４は開口としてピンホールが設けられた円板
（以下、ピンホール板と呼ぶ。）、５は対物レンズ、６
は試料、７はリレーレンズ、８は受光器、９はマイクロ
レンズ板２及びピンホール板４を同期して回転させるモ
ータである。
【０００４】レーザ１の出力光はマイクロレンズ板２に
入射され、マイクロレンズ板２に設けられた各々のマイ
クロレンズによりビームスプリッタ３を介してピンホー
ル板４上の各々のピンホールに集光される。ピンホール
板４上の各々のピンホールを通過した光は対物レンズ５
を介して試料６の上に入射される。
入射され、マイクロレンズ板２に設けられた各々のマイ
クロレンズによりビームスプリッタ３を介してピンホー
ル板４上の各々のピンホールに集光される。ピンホール
板４上の各々のピンホールを通過した光は対物レンズ５
を介して試料６の上に入射される。
【０００５】試料６からの反射光等の戻り光は再び対物
レンズ５を介してピンホール板４に入射され、ピンホー
ル板４上の各々のピンホールを通過した光はビームスプ
リッタ３で反射され、リレーレンズ７を介して受光器８
に入射される。
レンズ５を介してピンホール板４に入射され、ピンホー
ル板４上の各々のピンホールを通過した光はビームスプ
リッタ３で反射され、リレーレンズ７を介して受光器８
に入射される。
【０００６】また、マイクロレンズ板２及びピンホール
板４は同一の軸に固定され、この軸に取付けられたモー
タ９によって同期して回転される。
板４は同一の軸に固定され、この軸に取付けられたモー
タ９によって同期して回転される。
【０００７】ここで、図４に示す従来例の動作を説明す
る。レーザ１の出力光は同期して回転するマイクロレン
ズ板２上の各々のマイクロレンズ及びピンホール板４上
の各々のピンホールを通過することにより試料６表面を
走査する。そして、試料６からの反射光は受光器８で受
光されて共焦点画像が得られる。
る。レーザ１の出力光は同期して回転するマイクロレン
ズ板２上の各々のマイクロレンズ及びピンホール板４上
の各々のピンホールを通過することにより試料６表面を
走査する。そして、試料６からの反射光は受光器８で受
光されて共焦点画像が得られる。
【０００８】また、前述のようにマイクロレンズ板２に
設けられた各々のマイクロレンズは入射光をビームスプ
リッタ３を介してピンホール板４上の各々のピンホール
に集光する。即ち、マイクロレンズの焦点位置にピンホ
ールを配置することによりレーザ１からの入射光の利用
効率を向上させることが可能になる。
設けられた各々のマイクロレンズは入射光をビームスプ
リッタ３を介してピンホール板４上の各々のピンホール
に集光する。即ち、マイクロレンズの焦点位置にピンホ
ールを配置することによりレーザ１からの入射光の利用
効率を向上させることが可能になる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示す従
来例において試料６に傾斜面があり、試料６からの反射
光が対物レンズ５に上手く戻らない場合には共焦点画像
が得られない場合がある。
来例において試料６に傾斜面があり、試料６からの反射
光が対物レンズ５に上手く戻らない場合には共焦点画像
が得られない場合がある。
【００１０】例えば、図５は傾斜面を有する試料近傍の
詳細を示す説明図である。図５中５及び６は図４と同一
符号を付してある。
詳細を示す説明図である。図５中５及び６は図４と同一
符号を付してある。
【００１１】図５中”イ”に示す試料６の傾斜面に図５
中”ロ”に示すように光が入射された場合には、図５
中”ハ”に示す方向に入射光が反射されてしまい光がピ
ンホール板のピンホールに戻らない。
中”ロ”に示すように光が入射された場合には、図５
中”ハ”に示す方向に入射光が反射されてしまい光がピ
ンホール板のピンホールに戻らない。
【００１２】この結果、傾斜面を有する試料の測定が上
手く行かないと行った問題点があった。また、３次元画
像の測定の際には低反射率の表面検出はノイズに埋もれ
やすいため精度が悪いと言った問題点があった。従って
本発明が解決しようとする課題は、傾斜面を有する試料
若しくは低反射率の試料の表面検出の精度を向上させる
ことが可能な共焦点顕微鏡を実現することにある。
手く行かないと行った問題点があった。また、３次元画
像の測定の際には低反射率の表面検出はノイズに埋もれ
やすいため精度が悪いと言った問題点があった。従って
本発明が解決しようとする課題は、傾斜面を有する試料
若しくは低反射率の試料の表面検出の精度を向上させる
ことが可能な共焦点顕微鏡を実現することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明の第１では、開口を通過した光を集光
して試料を走査することにより共焦点画像を得る共焦点
顕微鏡において、前記開口を通過した光を前記試料に集
光すると共に前記試料からの反射光を前記開口に集光す
る対物レンズとを備え、前記開口を介して入射される入
射光の開口数よりも前記開口側の前記対物レンズの開口
数が大きいことを特徴とするものである。
るために、本発明の第１では、開口を通過した光を集光
して試料を走査することにより共焦点画像を得る共焦点
顕微鏡において、前記開口を通過した光を前記試料に集
光すると共に前記試料からの反射光を前記開口に集光す
る対物レンズとを備え、前記開口を介して入射される入
射光の開口数よりも前記開口側の前記対物レンズの開口
数が大きいことを特徴とするものである。
【００１４】このような課題を達成するために、本発明
の第２では、本発明の第１において、受光感度調整手段
により受光感度を調整して異なる受光感度で同一個所の
画像を複数枚撮影し、これらの画像を合成することによ
り全体の合成画像を得ることを特徴とするものである。
の第２では、本発明の第１において、受光感度調整手段
により受光感度を調整して異なる受光感度で同一個所の
画像を複数枚撮影し、これらの画像を合成することによ
り全体の合成画像を得ることを特徴とするものである。
【００１５】このような課題を達成するために、本発明
の第３では、本発明の第１乃至第２において、前記開口
が円板上に形成された複数のピンホール若しくはスリッ
トであることを特徴とするものである。
の第３では、本発明の第１乃至第２において、前記開口
が円板上に形成された複数のピンホール若しくはスリッ
トであることを特徴とするものである。
【００１６】このような課題を達成するために、本発明
の第４では、本発明の第１乃至第３において、前記複数
の開口と同一パターンの複数の集光手段を有する円板を
設け、前記複数の開口が設けられた円板と同期させて回
転させることを特徴とするものである。
の第４では、本発明の第１乃至第３において、前記複数
の開口と同一パターンの複数の集光手段を有する円板を
設け、前記複数の開口が設けられた円板と同期させて回
転させることを特徴とするものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る共焦点顕微鏡の一実施例
を示す部分構成図である。
説明する。図１は本発明に係る共焦点顕微鏡の一実施例
を示す部分構成図である。
【００１８】図１はピンホール及び試料近傍の構成を示
しており、その他の点では図４に示す従来例と同様であ
る。また、６は図４と同一符号を付してあり、４ａはピ
ンホール板、５ａは対物レンズである。
しており、その他の点では図４に示す従来例と同様であ
る。また、６は図４と同一符号を付してあり、４ａはピ
ンホール板、５ａは対物レンズである。
【００１９】図１中”イ”に示すピンホール板４ａ上の
ピンホールを通過した光は対物レンズ５ａにより試料６
上に集光され、試料６からの反射光は対物レンズ５ａに
よって図１中”イ”に示すピンホールに再び集光され
る。
ピンホールを通過した光は対物レンズ５ａにより試料６
上に集光され、試料６からの反射光は対物レンズ５ａに
よって図１中”イ”に示すピンホールに再び集光され
る。
【００２０】ここで、図１に示す実施例の動作を説明す
る。図１中”イ”に示すピンホールの直径を”ｄ”及び
レーザの出力光の波長を”λ”とした場合、開口数”Ｎ
Ａｐｈ”は、 ＮＡｐｈ＝１．２２×λ／ｄ （１） となり、図１中”イ”のピンホールを通過した入射光は
式（１）に示す開口数で広がる。
る。図１中”イ”に示すピンホールの直径を”ｄ”及び
レーザの出力光の波長を”λ”とした場合、開口数”Ｎ
Ａｐｈ”は、 ＮＡｐｈ＝１．２２×λ／ｄ （１） となり、図１中”イ”のピンホールを通過した入射光は
式（１）に示す開口数で広がる。
【００２１】一方、対物レンズ５ａの試料６側の開口数
を”ＮＡｏｂｊ”、対物レンズ５ａの倍率を”α”とす
れば、ピンホール側の開口数”ＮＡｏｂｊ’”は ＮＡｏｂｊ’＝ＮＡｏｂｊ／α （２） となる。
を”ＮＡｏｂｊ”、対物レンズ５ａの倍率を”α”とす
れば、ピンホール側の開口数”ＮＡｏｂｊ’”は ＮＡｏｂｊ’＝ＮＡｏｂｊ／α （２） となる。
【００２２】ここで、ＮＡｏｂｊ’＞ＮＡｐｈ ＮＡｏｂｊ／α＞１．２２×λ／ｄ ｄ＞１．２２×λ×α／ＮＡｏｂｊ （３） を満たすようにピンホールの直径”ｄ”を選択する。
【００２３】式（３）の関係を満たすようにすると、図
１中”ロ”に示す試料６の傾斜面に図１中”ハ”に示す
ように光が入射された場合、入射光が広がる開口数より
も対物レンズ５ａのピンホール側の開口数が大きので、
図１中”ニ”に示す方向に入射光が反射されても、その
反射光は対物レンズ５ａに入射されるので図１中”ホ”
に示すように反射光がピンホール板４ａのピンホール”
イ”に戻ってくることになる。
１中”ロ”に示す試料６の傾斜面に図１中”ハ”に示す
ように光が入射された場合、入射光が広がる開口数より
も対物レンズ５ａのピンホール側の開口数が大きので、
図１中”ニ”に示す方向に入射光が反射されても、その
反射光は対物レンズ５ａに入射されるので図１中”ホ”
に示すように反射光がピンホール板４ａのピンホール”
イ”に戻ってくることになる。
【００２４】即ち、試料６からの反射光が確実にピンホ
ール板４ａのピンホール”イ”に戻ってくるので、試料
６に傾斜面が存在しても測定が可能になる。
ール板４ａのピンホール”イ”に戻ってくるので、試料
６に傾斜面が存在しても測定が可能になる。
【００２５】この結果、ピンホールを介して入射される
入射光の開口数よりもピンホール側の対物レンズの開口
数を大きくすることにより、傾斜面を有する試料の表面
検出の精度を向上させることが可能になる。
入射光の開口数よりもピンホール側の対物レンズの開口
数を大きくすることにより、傾斜面を有する試料の表面
検出の精度を向上させることが可能になる。
【００２６】また、図２は試料の傾斜面での反射光の詳
細を説明する説明図である。図２において５及び６は図
４と同一符号を付してある。
細を説明する説明図である。図２において５及び６は図
４と同一符号を付してある。
【００２７】試料６の傾斜面に図２中”イ”に示す入射
光が入射されると従来例での説明のように図２中”ロ”
の方向に反射される。但し、反射光の大部分は図２中”
ロ”の方向に反射されるものの、実際には図２中”ハ”
に示すような若干の反射光が存在する。
光が入射されると従来例での説明のように図２中”ロ”
の方向に反射される。但し、反射光の大部分は図２中”
ロ”の方向に反射されるものの、実際には図２中”ハ”
に示すような若干の反射光が存在する。
【００２８】従って、図２中”ハ”に示す若干の反射光
は図２中”ニ”に示すように対物レンズ５によりピンホ
ール（図示せず。）に集光されることになる。即ち、こ
のような弱い反射光を測定できれば傾斜面を有する試料
若しくは低反射率の試料を測定することが可能になる。
これは蛍光の測定においても有用である。
は図２中”ニ”に示すように対物レンズ５によりピンホ
ール（図示せず。）に集光されることになる。即ち、こ
のような弱い反射光を測定できれば傾斜面を有する試料
若しくは低反射率の試料を測定することが可能になる。
これは蛍光の測定においても有用である。
【００２９】この場合、受光感度を高くすれば弱い反射
光も測定できるものの、平面等における強い反射光を受
光すると画素が飽和してしまう。従って、受光感度調整
手段（図示せず。）によりカメラ等の撮影手段で受光感
度を変えて画像を撮影する。
光も測定できるものの、平面等における強い反射光を受
光すると画素が飽和してしまう。従って、受光感度調整
手段（図示せず。）によりカメラ等の撮影手段で受光感
度を変えて画像を撮影する。
【００３０】受光感度としては何れかの画素が飽和しな
いように設定し、同一個所の画像を受光感度を変えなが
ら複数枚撮影する。そして、これらの画像を合成するこ
とにより全体の合成画像を得る。
いように設定し、同一個所の画像を受光感度を変えなが
ら複数枚撮影する。そして、これらの画像を合成するこ
とにより全体の合成画像を得る。
【００３１】図３は上述の画像合成のアルゴリズムを示
すフロー図である。先ず第１に図３中（ａ）に示すよう
に合成画像に用いる１つの画素を取り出し、図３中
（ｂ）に示すようにその画素が飽和しているかどうかを
判断する。
すフロー図である。先ず第１に図３中（ａ）に示すよう
に合成画像に用いる１つの画素を取り出し、図３中
（ｂ）に示すようにその画素が飽和しているかどうかを
判断する。
【００３２】もし、前記画素が飽和していなければその
まま合成画像に適用し、もし、飽和していれば図３中
（ｃ）に示すように異なる受光感度で撮影した画像のう
ち前記画素に相当する画素（説明のため、補正用画素と
呼ぶ。）を取り出す。
まま合成画像に適用し、もし、飽和していれば図３中
（ｃ）に示すように異なる受光感度で撮影した画像のう
ち前記画素に相当する画素（説明のため、補正用画素と
呼ぶ。）を取り出す。
【００３３】図３中（ｄ）に示すようにこの時点で前記
補正用画素が飽和していなければ図３中（ｅ）に示すよ
うに合成画像に適応するように前記補正用画素の感度を
適宜補正して合成画像に適用する。
補正用画素が飽和していなければ図３中（ｅ）に示すよ
うに合成画像に適応するように前記補正用画素の感度を
適宜補正して合成画像に適用する。
【００３４】また、前記補正用画素が飽和していれば図
３中（ｃ）に戻り更に異なる受光感度で撮影された他の
補正用画素を取り出し、飽和していない前記補正用画素
を取り出すまで処理を行う。
３中（ｃ）に戻り更に異なる受光感度で撮影された他の
補正用画素を取り出し、飽和していない前記補正用画素
を取り出すまで処理を行う。
【００３５】最後に、図３中（ｆ）に示すように画像の
合成が終了したか否かを判断し、もし、画像合成が終了
していなければ図３中（ａ）に戻り合成画像に用いる次
の画素を取り出しその後の処理を行う。
合成が終了したか否かを判断し、もし、画像合成が終了
していなければ図３中（ａ）に戻り合成画像に用いる次
の画素を取り出しその後の処理を行う。
【００３６】この結果、異なる受光感度で同一個所の画
像を複数枚撮影し、これらの画像を合成することにより
全体の合成画像を得ることにより、試料６からの反射光
の強度によって画素が飽和しないのでダイナミックレン
ジの広い画像を得ることができる。
像を複数枚撮影し、これらの画像を合成することにより
全体の合成画像を得ることにより、試料６からの反射光
の強度によって画素が飽和しないのでダイナミックレン
ジの広い画像を得ることができる。
【００３７】例えば、原画像が８ビットであり、合成画
像を１２ビットとすれば４ビット分ダイナミックレンジ
が拡大されることになる。
像を１２ビットとすれば４ビット分ダイナミックレンジ
が拡大されることになる。
【００３８】なお、図１中の対物レンズ５ａは有限系の
レンズであるが、無限系のレンズを用いても同様の効果
を得ることができる。
レンズであるが、無限系のレンズを用いても同様の効果
を得ることができる。
【００３９】また、図３における受光感度の変化方法と
しては以下の方法が考えられる。例えば、Ａ／Ｄ変換器
（図示せず。）の前段の増幅器の利得を変化さたり、撮
影手段の前段にイメージ・インテンシファイア等の光学
的増幅装置を設置して前記光学的増幅装置の利得を変化
させても良い。
しては以下の方法が考えられる。例えば、Ａ／Ｄ変換器
（図示せず。）の前段の増幅器の利得を変化さたり、撮
影手段の前段にイメージ・インテンシファイア等の光学
的増幅装置を設置して前記光学的増幅装置の利得を変化
させても良い。
【００４０】また、受光時間を変化させることにより受
光感度を変化させても良い。例えば、通常のカメラ等の
撮影手段はＮＴＳＣ（National Television System Com
mittee）の場合で”３３ｍｓ／画”であるが、これより
も高速のシャッターを用いることにより受光される光量
が減少して受光感度が低くなる。また、受光器の前に減
光フィルタを挿入しても良い。
光感度を変化させても良い。例えば、通常のカメラ等の
撮影手段はＮＴＳＣ（National Television System Com
mittee）の場合で”３３ｍｓ／画”であるが、これより
も高速のシャッターを用いることにより受光される光量
が減少して受光感度が低くなる。また、受光器の前に減
光フィルタを挿入しても良い。
【００４１】同様に、シャッター速度を遅くすれば受光
される光量が増加して受光感度が高くなる。この場合に
は冷却ＣＣＤ（Charge Coupled Device）を用いると暗
ノイズが減少するのでシャッター速度を遅くすることが
容易になる。
される光量が増加して受光感度が高くなる。この場合に
は冷却ＣＣＤ（Charge Coupled Device）を用いると暗
ノイズが減少するのでシャッター速度を遅くすることが
容易になる。
【００４２】さらに、光源側の出力光の強度を変化させ
ることにより、受光感度を変化させても構わない。ま
た、上述の方法をそれぞれ組み合わせても勿論構わな
い。
ることにより、受光感度を変化させても構わない。ま
た、上述の方法をそれぞれ組み合わせても勿論構わな
い。
【００４３】また、図３に示す画像合成をすることによ
り、試料６の傾斜面部分の測定のみならず、３次元測定
時のピークサーチに用いることが可能になる。
り、試料６の傾斜面部分の測定のみならず、３次元測定
時のピークサーチに用いることが可能になる。
【００４４】すなわち、反射型の共焦点画像では受光さ
れる光量が最大になる位置が試料６の表面の位置情報を
示すが、試料６の表面で反射率が低い部分はその最大光
量も小さいのでノイズに埋もれやすく誤差要因になり易
い。
れる光量が最大になる位置が試料６の表面の位置情報を
示すが、試料６の表面で反射率が低い部分はその最大光
量も小さいのでノイズに埋もれやすく誤差要因になり易
い。
【００４５】しかし、図３に示すようなアルゴリズムを
用いることにより、試料６の表面の反射率が低い部分で
あっても的確にそのピークを検出することが可能にな
る。
用いることにより、試料６の表面の反射率が低い部分で
あっても的確にそのピークを検出することが可能にな
る。
【００４６】また、図４では集光手段としてマイクロレ
ンズが設けられたマイクロレンズ板を用いた従来例を例
示し、図１においてもマイクロレンズ板（図示せず。）
を用いた構成を例示しているが、前記マイクロレンズ板
は無くても構わない。さらに、開口としてはピンホール
を例示したがスリット等でも構わない。また、ミラース
キャン型のような単一開口の共焦点方式でも良い。
ンズが設けられたマイクロレンズ板を用いた従来例を例
示し、図１においてもマイクロレンズ板（図示せず。）
を用いた構成を例示しているが、前記マイクロレンズ板
は無くても構わない。さらに、開口としてはピンホール
を例示したがスリット等でも構わない。また、ミラース
キャン型のような単一開口の共焦点方式でも良い。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。ピンホールを介
して入射される入射光の開口数よりもピンホール側の対
物レンズの開口数を大きくすることにより、傾斜面を有
する試料の表面検出の精度を向上させることが可能な共
焦点顕微鏡が実現できる。
本発明によれば次のような効果がある。ピンホールを介
して入射される入射光の開口数よりもピンホール側の対
物レンズの開口数を大きくすることにより、傾斜面を有
する試料の表面検出の精度を向上させることが可能な共
焦点顕微鏡が実現できる。
【００４８】また、異なる受光感度で同一個所の画像を
複数枚撮影し、これらの画像を合成することにより全体
の合成画像を得ることにより、傾斜面を有する試料若し
くは低反射率の試料の表面検出の精度を向上させること
が可能な共焦点顕微鏡が実現できる。
複数枚撮影し、これらの画像を合成することにより全体
の合成画像を得ることにより、傾斜面を有する試料若し
くは低反射率の試料の表面検出の精度を向上させること
が可能な共焦点顕微鏡が実現できる。
【図１】本発明に係る共焦点顕微鏡の一実施例を示す部
分構成図である。
分構成図である。
【図２】試料の傾斜面での反射光の詳細を説明する説明
図である。
図である。
【図３】画像合成のアルゴリズムを示すフロー図であ
る。
る。
【図４】従来の共焦点顕微鏡の一例を示す構成ブロック
図である。
図である。
【図５】傾斜面を有する試料近傍の詳細を示す説明図で
ある。
ある。
１ レーザ ２ マイクロレンズ板 ３ ビームスプリッタ ４，４ａ ピンホール板 ５，５ａ 対物レンズ ６ 試料 ７ リレーレンズ ８ 受光器 ９ モータ
Claims (4)
- 【請求項１】開口を通過した光を集光して試料を走査す
ることにより共焦点画像を得る共焦点顕微鏡において、 前記開口を通過した光を前記試料に集光すると共に前記
試料からの反射光を前記開口に集光する対物レンズとを
備え、 前記開口を介して入射される入射光の開口数よりも前記
開口側の前記対物レンズの開口数が大きいことを特徴と
する共焦点顕微鏡。 - 【請求項２】受光感度調整手段により受光感度を調整し
て異なる受光感度で同一個所の画像を複数枚撮影し、こ
れらの画像を合成することにより全体の合成画像を得る
ことを特徴とする特許請求の範囲請求項１記載の共焦点
顕微鏡。 - 【請求項３】前記開口が円板上に形成された複数のピン
ホール若しくはスリットであることを特徴とする特許請
求の範囲請求項１乃至請求項２記載の共焦点顕微鏡。 - 【請求項４】前記複数の開口と同一パターンの複数の集
光手段を有する円板を設け、前記複数の開口が設けられ
た円板と同期させて回転させることを特徴とする特許請
求の範囲請求項１乃至請求項３記載の共焦点顕微鏡。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP00999097A JP3533654B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 共焦点顕微鏡 |
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|---|---|
| JPH10206739A true JPH10206739A (ja) | 1998-08-07 |
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Family Applications (1)
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| JP00999097A Expired - Fee Related JP3533654B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 共焦点顕微鏡 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003010585A1 (fr) * | 2001-06-26 | 2003-02-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope confocal |
| JP2011118108A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Olympus Corp | レーザ共焦点顕微鏡、及び、試料表面検出方法 |
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-
1997
- 1997-01-23 JP JP00999097A patent/JP3533654B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003010585A1 (fr) * | 2001-06-26 | 2003-02-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope confocal |
| US8275226B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-09-25 | Spectral Applied Research Ltd. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
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