JPH1020205A - 共焦点用光スキャナ - Google Patents

共焦点用光スキャナ

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Publication number
JPH1020205A
JPH1020205A JP17901396A JP17901396A JPH1020205A JP H1020205 A JPH1020205 A JP H1020205A JP 17901396 A JP17901396 A JP 17901396A JP 17901396 A JP17901396 A JP 17901396A JP H1020205 A JPH1020205 A JP H1020205A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
disk
beam splitter
hub
optical scanner
Prior art date
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Pending
Application number
JP17901396A
Other languages
English (en)
Inventor
Yumiko Sugiyama
由美子 杉山
Takeo Tanaami
健雄 田名網
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP17901396A priority Critical patent/JPH1020205A/ja
Publication of JPH1020205A publication Critical patent/JPH1020205A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】ビームスプリッタでの反射光が迷光として観察
系に入らないようにして観察光のS/Nの低下を防止す
る。 【解決手段】複数の微小開口が設けられたニポウディス
クと、このニポウディスクのピンホールに励起光を入射
する集光ディスクがハブを介して連結され、前記ニポウ
ディスクと集光ディスクの間に励起光と戻り光を分離す
るビームスプリッタが固定配置されると共に、前記ニポ
ウディスクと集光ディスクは一体となって回転できるよ
うに構成された共焦点用光スキャナにおいて、前記ビー
ムスプリッタを挟んで、観察側と反対側に反射するビー
ムスプリッタの裏面反射光を観測側の光軸とは異なる方
向へ反射する反射面を有する反射手段を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点顕微鏡等に
用いられるニポウディスク式の光スキャナに関し、特に
観察光のS/Nの改善に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、複数の微小開口(例えばピン
ホール)が設けられたディスク(通常ニポウディスクと
呼ばれる)を用いた共焦点用光スキャナはよく知られて
いる。図4はこの種の共焦点用光スキャナの一例を示す
構成図であり、ニポウディスクのピンホールに入射光を
集光する集光ディスクを有する共焦点用光スキャナであ
る。
【0003】図4において、ニポウディスク1と集光デ
ィスク2はその中心部が円柱状のハブ3を介して平行に
連結されている。更にハブの中心はモータ4の回転軸に
直結し、モータ4によりニポウディスク1と集光ディス
ク2は一体となって回転駆動されるようになっている。
ビームスプリッタ(またはダイクロイックミラー)5
は、集光ディスク2とニポウディスク1との間に45゜
に傾けて固定配置されていて、励起光と戻り光とを分離
する。
【0004】このような構成において、集光ディスク2
で集光された入射光はビームスプリッタ5を透過し、続
いてピンホールを通過して顕微鏡の対物レンズ(図示せ
ず)を通って試料に入射する。試料からの戻り光は再び
対物レンズおよびニポウディスク1のピンホールを通
り、続いてビームスプリッタ5で反射して観察系のリレ
ーレンズ6に入る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな共焦点用光スキャナでは、入射光(説明を分かり易
くするためA,Bで表す)のすべてがビームスプリッタ
5を透過するわけではなく、励起光の一部はビームスプ
リッタ5表面で反射する。反射した光はハブ3の側面
(観察系の光軸と直交している)で1回反射し、いくぶ
ん減衰するものの、ビームスプリッタ5へ戻り、ビーム
スプリッタ5を透過してリレーレンズ6に入る。この反
射光は迷光として観察光に混入するため、観察光のS/
Nを悪くするという問題があった。
【0006】本発明の目的は、このような点に鑑み、ビ
ームスプリッタでの反射光が迷光として観察系に入らな
いようにして観察光のS/Nの低下を防止した共焦点用
光スキャナを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、複数の微小開口が設けられたニポ
ウディスクと、このニポウディスクのピンホールに励起
光を入射する集光ディスクがハブを介して連結され、前
記ニポウディスクと集光ディスクの間に励起光と戻り光
を分離するビームスプリッタが固定配置されると共に、
前記ニポウディスクと集光ディスクは一体となって回転
できるように構成された共焦点用光スキャナにおいて、
前記ビームスプリッタを挟んで、観察側と反対側に反射
するビームスプリッタの裏面反射光を観測側の光軸とは
異なる方向へ反射する反射面を有する反射手段を備えた
ことを特徴とする。
【0008】
【作用】反射手段の反射面を観測側の光軸に対して斜め
に傾ける。これにより、ビームスプリッタの裏面反射光
は、この傾斜した面で反射するものの、光観測側の光軸
とは異なる方向へ進む。そのため、観測光の迷光とはな
らず、ビームスプリッタの裏面反射光によるS/N低下
を未然に防止することが。
【0009】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係る共焦点用光スキャナの一
実施例を示す構成図である。なお、図4と同等部分には
同一符号を付し、その部分の説明は省略する。図1にお
いて、図4と異なるところは、ハブ3aの側面が観察側
の光軸に対して傾いている点である。これによりハブ3
aの側面で反射した光は観察系のリレーレンズ6には入
射しないようになる。なお、ハブ3aの側面は、反射光
が図1の右上方向に進むようにしてあるが、右下方向へ
進むような角度としても何ら差し支えない。
【0010】本発明は上記実施例に限らず各種の変更・
変形が可能である。例えば、図2に示すように、直接ハ
ブ3の側面を傾けるのではなく、ビームスプリッタ5と
ハブ3の間に反射面が傾斜した板7を設置するようにし
てもよい。板7は図示しない保持機構により固定保持さ
れている。なお、板7自体は平板とし、板全体を傾けて
設置し反射面が傾くようにしてもよい。
【0011】更にまた、図3の平面図に示すように、反
射光が観察系の光軸に対して左または右方向へ進むよう
に水平方向に傾けて板7aを取り付けてもよい。なお、
この場合、板7aを垂直方向に傾けてもよい。また、集
光ディスク2はマイクロレンズを付加したものであって
もよい。なお、集光ディスク2は光量の利用効率向上の
ための部材であることに鑑みれば、必ずしも必要ではな
い。集光ディスク2がなくとも共焦点用の光スキャナと
しては機能する。本発明はそのような構成においても有
効である。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ハ
ブ側面での入射レーザは観察系のリレーレンズに入射さ
れず、バックグラウンドノイズ(迷光)が減少し、容易
に観察光のS/Nを改善することができる。また、ハブ
側面を傾けるのではなく、ビームスプリッタとハブの間
に反射面の傾いた板を設置するか、あるいは板自体を傾
けて設置した場合も、同様にS/Nを改善することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る共焦点用光スキャナの一実施例を
示す要部構成図
【図2】本発明の他の実施例構成図
【図3】本発明の更に他の実施例構成図
【図4】従来の共焦点用スキャナの一例を示す要部構成
図である。
【符号の説明】
1 ニポウディスク 2 集光ディスク 3,3a ハブ 4 モータ 5 ビームスプリッタ 6 リレーレンズ 7,7a 板

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の微小開口が設けられたニポウディス
    クと、このニポウディスクのピンホールに励起光を入射
    する集光ディスクがハブを介して連結され、前記ニポウ
    ディスクと集光ディスクの間に励起光と戻り光を分離す
    るビームスプリッタが固定配置されると共に、前記ニポ
    ウディスクと集光ディスクは一体となって回転できるよ
    うに構成された共焦点用光スキャナにおいて、 前記ビームスプリッタを挟んで、観察側と反対側に反射
    するビームスプリッタの裏面反射光を観測側の光軸とは
    異なる方向へ反射する反射面を有する反射手段を備えた
    ことを特徴とする共焦点用光スキャナ。
  2. 【請求項2】前記反射手段は、前記ハブの側面部分であ
    ることを特徴とする請求項1記載の共焦点用光スキャ
    ナ。
  3. 【請求項3】前記反射手段は、前記ビームスプリッタと
    ハブの間に設置され、その反射面が傾斜している板を備
    えていることを特徴とする請求項1記載の共焦点用光ス
    キャナ。
  4. 【請求項4】前記板の反射面は垂直方向または水平方向
    のいずれかにおいて観測側の光軸に対して傾いているこ
    とを特徴とする請求項3記載の共焦点用光スキャナ。
  5. 【請求項5】前記板の反射面は垂直方向および水平方向
    の両方向において観測側の光軸に対して傾いていること
    を特徴とする請求項3記載の共焦点用光スキャナ。
  6. 【請求項6】前記集光ディスクは、前記ニポウディスク
    のピンホールと同じパターンで複数のマイクロレンズが
    配列され励起光を集束するように構成されたことを特徴
    とする請求項1または請求項2または請求項3または請
    求項4または請求項5記載の共焦点用光スキャナ。
JP17901396A 1996-07-09 1996-07-09 共焦点用光スキャナ Pending JPH1020205A (ja)

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Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1020205A true JPH1020205A (ja) 1998-01-23

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ID=16058599

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JP17901396A Pending JPH1020205A (ja) 1996-07-09 1996-07-09 共焦点用光スキャナ

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JP (1) JPH1020205A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6192451B1 (en) 1998-02-17 2001-02-20 International Business Machines Corporation Cache coherency protocol for a data processing system including a multi-level memory hierarchy

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US6192451B1 (en) 1998-02-17 2001-02-20 International Business Machines Corporation Cache coherency protocol for a data processing system including a multi-level memory hierarchy

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