JP3152140B2 - 共焦点用光スキャナ - Google Patents
共焦点用光スキャナInfo
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Description
た共焦点用光スキャナにおいて、偏光ビームスプリッタ
と1/4波長板とアナライザを一体化したユニット、あ
るいはダイクロイックミラーと励起フィルタとバリアフ
ィルタを一体化したユニットを、ニポウディスクとモー
タから成るユニットから着脱可能にする構造に関するも
のである。
点用光スキャナとしてニポウディスクを用いた共焦点用
光スキャナがよく知られている。図3はこの種の反射型
の共焦点用光スキヤナの一例を示す要部構成図である。
図において、点線で囲んだ部分10が共焦点用光スキャ
ナとして一体化されたユニットである。11は複数の微
小開口(通常ピンホール)12が配列されたニポウディ
スクであり、モータ13により回転するようになってい
る。ニポウディスク11のピンホールアレイの上には偏
光ビームスプリッタ14が固定配置されている。上方か
らの入射光(直線偏光)は偏光ビームスプリッタ(PB
S)14を透過してピンホール12を抜け、1/4波長
板15を通って円偏光となり、対物レンズ21を通過し
て試料22に照射される。
/4波長板15(ここで円偏光から直線偏光に変わ
る)、ピンホール12の順に通過し、偏光ビームスプリ
ッタ14で反射して方向転換し、アナライザ16に入
る。アナライサ16では目的の偏波面の光だけが検出さ
れ、検出された光はリレーレンズ17により結像しカメ
ラ30で(または図示しない接眼レンズを介して)試料
表面の画像をとらえることができる。
従来の共焦点用光スキャナでは、アナライザ16と1/
4波長板15が光スキャナユニット10に着脱不可能に
取付けられていたため、反射用と蛍光用の共焦点用光ス
キャナでは別々のものが必要であるという問題があっ
た。
光ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体
化し、ニポウディスクとそれを回転させるモータを備え
たユニットから着脱可能にすると共に、ダイクロイック
ミラーと励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍
光用のユニットと交換可能にし、反射用の共焦点用光ス
キャナから蛍光用の共焦点用光スキャナへの切替えが可
能な共焦点用光スキャナを実現することにある。
るために本発明では、微小開口がアレイ状に配置された
ニポウディスクとこのニポウディスクを回転させる機構
を固定配置した共焦点用光スキャナにおいて、偏光ビー
ムスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体化した
反射用の交換ユニットまたはダイクロイックミラーと励
起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光用の交換
ユニットを前記ニポウディスクに近接した同一箇所に光
路を変えることなく着脱自在に取り付け、反射用または
蛍光用の光スキャナに両用できるように構成したことを
特徴とする。
で共通な部分、すなわち固定配置された少なくともニポ
ウディスクとモータから成る部分(ユニット)に、偏光
ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体化
した反射用の交換ユニットまたはダイクロイックミラー
と励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光用の
交換ユニットが着脱自在に取り付けられる構成とする。
これにより、交換ユニットを交換するだけで、共焦点用
光スキャナを反射用にも蛍光用にも簡単に切替え使用す
ることができる。
説明する。図1は本発明に係る共焦点用光スキャナの一
実施例を示す構成図である。なお、図3と同等部分には
同一符号を付し、その部分の説明は省略する。図1は反
射用の共焦点用光スキャナの例である。偏光ビームスプ
リッタ14と1/4波長板15とアナライザ16とが一
体結合しユニット化されており、ニポウディスク11と
モータ13が固定配置されたユニット10のニポウディ
スク11に近接した位置(箇所)に着脱可能に取り付け
られている。
タ14とニポウディスク11のピンホールを通過し、モ
ータ13による回転により試料22をスキャンする。試
料22からの戻り光は入射と同じ光路を通り、偏光ビー
ムスプリッタ14で反射し、リレーレンズ17で結像
し、カメラ30あるいは接眼レンズ(図示せず)を介し
てその像を観察することができる。
/4波長板15とアナライザ16から成る交換ユニット
を取り外し、その箇所に図2に示す励起フィルタ41と
ダイクロイックミラー42とバリアフィルタ43を一体
結合した蛍光用の交換ユニットを差し替えることができ
る。
は、励起フィルタ41とダイクロイックミラー42とバ
リアフィルタ43が一体結合しユニット化されており、
図1の場合と同様な箇所に、ニポウディスク11とモー
タ13のユニット10に着脱可能に取り付けられてい
る。なお、交換ユニットの交換により光路が変わること
はない。
構を用いることができるが、出来れば、抜き差しや、リ
レーレンズの光軸と直角方向へのスライド移動などで容
易に着脱できる機構とするのが望ましい。
くの変更、変形をなし得ることは明らかである。例え
ば、入射光の利用効率を上げるために、ニポウディスク
11のピンホールと同じパターンで配列された複数のマ
イクロレンズを有する集光ディスクを用いる構成として
もよい。この集光ディスクは、ニポウディスク11との
間にビームスプリッタ14あるいはダイクロイックミラ
ー42を挟むように、またマイクロレンズにより入射光
がピンホール上に合焦するように、所定の間隔をもって
ニポウディスク11に平行に取付けられ、ニポウディス
クと一体的に回転できるようにしておく。
口は、ピンホールのような円形の孔に限らず楕円あるい
は多角形の孔でもよい。
光ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体
化した反射用の交換ユニットと、ダイクロイックミラー
と励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光用の
交換ユニットを、ニポウディスクとモータを含む光スキ
ャナユニットから着脱自在にしたため、1つの共焦点用
光スキャナユニットを交換ユニットの交換のみで、光路
を変更することなく反射用共焦点用光スキャナあるいは
蛍光用共焦点用光スキャナのいずれにも容易に切替え使
用できるようになり、実用に供してその効果は大であ
る。
実施例を示す構成図
施例を示す構成図
す要部構成図である。
Claims (2)
- 【請求項1】微小開口がアレイ状に配置されたニポウデ
ィスクとこのニポウディスクを回転させる機構を固定配
置した共焦点用光スキャナにおいて、 偏光ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一
体化した反射用の交換ユニットまたはダイクロイックミ
ラーと励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光
用の交換ユニットを前記ニポウディスクに近接した同一
箇所に光路を変えることなく着脱自在に取り付け、反射
用または蛍光用の光スキャナに両用できるように構成し
たことを特徴とする共焦点用光スキャナ。 - 【請求項2】前記ニポウディスクの微小開口の配置と同
じパターンでマイクロレンズが配置され、前記ニポウデ
ィスクに平行に取付けられた集光ディスクを含むことを
特徴とする請求項1記載の共焦点用光スキャナ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32906195A JP3152140B2 (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 共焦点用光スキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32906195A JP3152140B2 (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 共焦点用光スキャナ |
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JPH09166752A JPH09166752A (ja) | 1997-06-24 |
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Family
ID=18217181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32906195A Expired - Fee Related JP3152140B2 (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 共焦点用光スキャナ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1995
- 1995-12-18 JP JP32906195A patent/JP3152140B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH09166752A (ja) | 1997-06-24 |
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