JP3152140B2 - 共焦点用光スキャナ - Google Patents

共焦点用光スキャナ

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Yokogawa Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ニポウディスクを用い
た共焦点用光スキャナにおいて、偏光ビームスプリッタ
と1/4波長板とアナライザを一体化したユニット、あ
るいはダイクロイックミラーと励起フィルタとバリアフ
ィルタを一体化したユニットを、ニポウディスクとモー
タから成るユニットから着脱可能にする構造に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来より共焦点顕微鏡に使用される共焦
点用光スキャナとしてニポウディスクを用いた共焦点用
光スキャナがよく知られている。図3はこの種の反射型
の共焦点用光スキヤナの一例を示す要部構成図である。
図において、点線で囲んだ部分10が共焦点用光スキャ
ナとして一体化されたユニットである。11は複数の微
小開口(通常ピンホール)12が配列されたニポウディ
スクであり、モータ13により回転するようになってい
る。ニポウディスク11のピンホールアレイの上には偏
光ビームスプリッタ14が固定配置されている。上方か
らの入射光(直線偏光)は偏光ビームスプリッタ(PB
S)14を透過してピンホール12を抜け、1/4波長
板15を通って円偏光となり、対物レンズ21を通過し
て試料22に照射される。
【0003】試料面で反射した光は対物レンズ21、1
/4波長板15(ここで円偏光から直線偏光に変わ
る)、ピンホール12の順に通過し、偏光ビームスプリ
ッタ14で反射して方向転換し、アナライザ16に入
る。アナライサ16では目的の偏波面の光だけが検出さ
れ、検出された光はリレーレンズ17により結像しカメ
ラ30で(または図示しない接眼レンズを介して)試料
表面の画像をとらえることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の共焦点用光スキャナでは、アナライザ16と1/
4波長板15が光スキャナユニット10に着脱不可能に
取付けられていたため、反射用と蛍光用の共焦点用光ス
キャナでは別々のものが必要であるという問題があっ
た。
【0005】本発明の目的は、このような点に鑑み、偏
光ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体
化し、ニポウディスクとそれを回転させるモータを備え
たユニットから着脱可能にすると共に、ダイクロイック
ミラーと励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍
光用のユニットと交換可能にし、反射用の共焦点用光ス
キャナから蛍光用の共焦点用光スキャナへの切替えが可
能な共焦点用光スキャナを実現することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、微小開口がアレイ状に配置された
ニポウディスクとこのニポウディスクを回転させる機構
を固定配置した共焦点用光スキャナにおいて、偏光ビー
ムスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体化した
反射用の交換ユニットまたはダイクロイックミラーと励
起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光用の交換
ユニットを前記ニポウディスクに近接した同一箇所に光
路を変えることなく着脱自在に取り付け、反射用または
蛍光用の光スキャナに両用できるように構成したことを
特徴とする。
【0007】
【作用】共焦点用光スキャナにおいて反射用と蛍光用と
で共通な部分、すなわち固定配置された少なくともニポ
ウディスクとモータから成る部分(ユニット)に、偏光
ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体化
した反射用の交換ユニットまたはダイクロイックミラー
と励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光用の
交換ユニットが着脱自在に取り付けられる構成とする。
これにより、交換ユニットを交換するだけで、共焦点用
光スキャナを反射用にも蛍光用にも簡単に切替え使用す
ることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係る共焦点用光スキャナの一
実施例を示す構成図である。なお、図3と同等部分には
同一符号を付し、その部分の説明は省略する。図1は反
射用の共焦点用光スキャナの例である。偏光ビームスプ
リッタ14と1/4波長板15とアナライザ16とが一
体結合しユニット化されており、ニポウディスク11と
モータ13が固定配置されたユニット10のニポウディ
スク11に近接した位置(箇所)に着脱可能に取り付け
られている。
【0009】入射光であるレーザは偏光ビームスプリッ
タ14とニポウディスク11のピンホールを通過し、モ
ータ13による回転により試料22をスキャンする。試
料22からの戻り光は入射と同じ光路を通り、偏光ビー
ムスプリッタ14で反射し、リレーレンズ17で結像
し、カメラ30あるいは接眼レンズ(図示せず)を介し
てその像を観察することができる。
【0010】このとき、偏光ビームスプリッタ14と1
/4波長板15とアナライザ16から成る交換ユニット
を取り外し、その箇所に図2に示す励起フィルタ41と
ダイクロイックミラー42とバリアフィルタ43を一体
結合した蛍光用の交換ユニットを差し替えることができ
る。
【0011】図2に示す蛍光用の共焦点用光スキャナで
は、励起フィルタ41とダイクロイックミラー42とバ
リアフィルタ43が一体結合しユニット化されており、
図1の場合と同様な箇所に、ニポウディスク11とモー
タ13のユニット10に着脱可能に取り付けられてい
る。なお、交換ユニットの交換により光路が変わること
はない。
【0012】交換ユニットの着脱機構としては周知の機
構を用いることができるが、出来れば、抜き差しや、リ
レーレンズの光軸と直角方向へのスライド移動などで容
易に着脱できる機構とするのが望ましい。
【0013】なお、本発明はその本質から逸脱せずに多
くの変更、変形をなし得ることは明らかである。例え
ば、入射光の利用効率を上げるために、ニポウディスク
11のピンホールと同じパターンで配列された複数のマ
イクロレンズを有する集光ディスクを用いる構成として
もよい。この集光ディスクは、ニポウディスク11との
間にビームスプリッタ14あるいはダイクロイックミラ
ー42を挟むように、またマイクロレンズにより入射光
がピンホール上に合焦するように、所定の間隔をもって
ニポウディスク11に平行に取付けられ、ニポウディス
クと一体的に回転できるようにしておく。
【0014】また、ニポウディスクに形成された微小開
口は、ピンホールのような円形の孔に限らず楕円あるい
は多角形の孔でもよい。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、偏
光ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一体
化した反射用の交換ユニットと、ダイクロイックミラー
と励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光用の
交換ユニットを、ニポウディスクとモータを含む光スキ
ャナユニットから着脱自在にしたため、1つの共焦点用
光スキャナユニットを交換ユニットの交換のみで、光路
を変更することなく反射用共焦点用光スキャナあるいは
蛍光用共焦点用光スキャナのいずれにも容易に切替え使
用できるようになり、実用に供してその効果は大であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る反射用の共焦点用光スキャナの一
実施例を示す構成図
【図2】蛍光用の共焦点用光スキャナとした場合の一実
施例を示す構成図
【図3】従来の反射型の共焦点用光スキャナの一例を示
す要部構成図である。
【符号の説明】
10 ユニット 11 ニポウディスク 12 ピンホール 13 モータ 14 偏光ビームスプリッタ 15 1/4波長板 16 アナライザ 17 リレーレンズ 21 対物レンズ 22 試料 30 カメラ 41 励起フィルタ 42 ダイクロイックミラー 43 バリアフィルタ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 19/00 - 21/00 G02B 21/04 - 21/36 G02B 5/30

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】微小開口がアレイ状に配置されたニポウデ
    ィスクとこのニポウディスクを回転させる機構を固定配
    した共焦点用光スキャナにおいて、 偏光ビームスプリッタと1/4波長板とアナライザを一
    体化した反射用の交換ユニットまたはダイクロイックミ
    ラーと励起フィルタとバリアフィルタを一体化した蛍光
    用の交換ユニットを前記ニポウディスクに近接した同一
    箇所に光路を変えることなく着脱自在に取り付け、反射
    用または蛍光用の光スキャナに両用できるように構成し
    たことを特徴とする共焦点用光スキャナ。
  2. 【請求項2】前記ニポウディスクの微小開口の配置と同
    じパターンでマイクロレンズが配置され、前記ニポウデ
    ィスクに平行に取付けられた集光ディスクを含むことを
    特徴とする請求項1記載の共焦点用光スキャナ。
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