JPH10199926A - ワイヤボンディング・キャピラリの段階的自動回転 - Google Patents

ワイヤボンディング・キャピラリの段階的自動回転

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JPH10199926A
JPH10199926A JP9351609A JP35160997A JPH10199926A JP H10199926 A JPH10199926 A JP H10199926A JP 9351609 A JP9351609 A JP 9351609A JP 35160997 A JP35160997 A JP 35160997A JP H10199926 A JPH10199926 A JP H10199926A
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capillary
bonding
rotation
wire
wire bonding
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JP9351609A
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K Kodouri Sureenibasan
ケイ．コドゥリ スレーニバサン
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Texas Instruments Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャピラリ面の位置合せが容易で、欠陥のあ
るワイヤボンディングを解消した、キャピラリに段階的
回転を与える回転装置を提供する。 【解決手段】 回転装置（１００）はワイヤボンディン
グ・キャピラリ（１０）の縦軸の回りにキャピラリ（１
０）の正確で段階的回転をもたらす。回転装置（１０
０）の第１の部分はキャピラリ（１０）に結合されてい
る。回転装置（１００）の第２部分はキャピラリから離
れているが、回転をもたらすのに第１の部分と嵌合可能
である。回転装置（１００）は段階的回転をもたらすの
に、クリックリング型式、カム型式、または任意の他の
型式であって良い。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に、ワイヤボン
ディング・プロセス及び電子集積回路チップ・パッケー
ジの製造の際にワイヤボンディング・プロセスに使用さ
れるキャピラリ（ｃａｐｉｌｌａｒｙ）に関し、特に、
ワイヤボンディング・キャピラリの段階的自動回転に関
する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路チップ・パッケージは一般に、
リードフレーム上に集積回路チップを固定すると共に、
これらの２つの構成要素を結合してパッケージを形成す
ることによって形成される。集積回路チップ及びリード
フレームは封止することができる。一般に、チップは、
ボンディングパッド間の所定の間隔に従ってチップの周
囲の回りに位置決めすることができる多数のボンディン
グパッドを備えている。リードフレームは一般に、その
周囲の回りに多数のリードを備えている。一型式のリー
ドフレームは、例えば、矩形の各辺が多数のリードを有
する略矩形形状を有している。リードはおのおのが比較
的細長い形状を有し得る。
【０００３】リードフレームはＸ方向及びＹ方向を有す
ると言うことができる。Ｘ方向は一方の対の対向辺に対
して垂直であり、またＹ方向は他方の対の対向辺に対し
て垂直である。一般に、各リードはリード軸を形成する
比較的細長い形状を有している。任意の所定のリードフ
レームに対するリード軸は、ＸまたはＹ方向に伸長し得
るか、あるいはＸまたはＹ方向から或る角度だけオフセ
ットしている。オフセットの角度はリード毎に変わり得
る。リードフレームの所定の辺の中央からコーナーに向
って移動すれば、リード軸は増加量だけ垂直から角度的
にオフセットし得る。また、ボンディング経路は、ボン
ディングパッドから対応するリードへの方向によって規
定される。ボンディングワイヤはこのボンディング経路
に沿って伸長し得る。任意の所定のセットの対応するボ
ンディングパッド及びリードに対して、ボンディング経
路はＸまたはＹ方向に伸長し得るか、あるいはＸまたは
Ｙ方向の何れかから成る角度だけオフセットし得る。
【０００４】集積回路チップをリードフレームの各リー
ドに電気的に結合するために、ワイヤボンディング技術
がしばしば使用される。ワイヤボンディング・マシーン
は、該マシーンに固定されたボンディングワイヤのスプ
ールを有することができる。ボンディングワイヤは、ワ
イヤボンディング・マシーンのホーンに取り付けられた
キャピラリに通すことができる。このホーンは、キャピ
ラリを垂直方向及び水平方向の双方に移動させるように
操作することができる。一般に、ワイヤボンディング・
マシーンは、キャピラリの先端の出口から突き出ている
ボンディングワイヤの端部を加熱するかまたはこの端部
にスパークを加える装置を備えている。溶けたワイヤは
ボールの形状を形成することができ、このボールはホー
ンを操作してキャピラリを移動することによって目的の
ボンディングパッド上に置かれる。
【０００５】このボンディングパッド・ボンドを生成し
た後、十分な量のボンディングワイヤをリリースして、
リードフレームの目標のリードの内側端部に近い場所に
キャピラリを移動させる。キャピラリを操作して、ボン
ディングワイヤを目標のリードの内側端部に接続し、こ
のボンディングワイヤを切断し、この結果、キャピラリ
はここで、新しい目標のボンディングパッド及び目標の
リードの間に新しいワイヤボンドを自由に形成すること
ができるようになる。任意の型式の適切なボンドは、ボ
ールボンド、ステッチボンド及びウエッジボンドを含め
て、ボンディングパッドまたはリードの何れかにても形
成することができる。ボールボンドは、例えば、ボンデ
ィングパッドにて使用することができる。ステッチボン
ドは、例えば、リードにて使用し得る。ボンディングプ
ロセスを補足するために、パッケージは加熱し得る。ま
た、超音波エネルギーを加えることができる。
【０００６】ワイヤボンディング技術における諸問題
は、所定のパッケージでのリード数を増加させると共
に、集積回路チップを増々小型化するという欲求から部
分的には生じる。このことは、チップ上に位置するボン
ディングパッドをより小さくすると共に、より近接して
配置することを要求し得る。同様なことはリードフレー
ム上の各リードに対して言うことができる。
【０００７】ワイヤボンディング・キャピラリの先端の
出口はしばしばキャピラリ面と称される。以前のキャピ
ラリは円形面を有していた。円形面を備えたキャピラリ
を有することの欠点は、ボンド間の間隔が制限されると
いうことである。ボンドが特定のボンディングパッドに
て行われた後、例えば、隣接するボンディングパッドが
近過ぎれば、キャピラリ面は、隣接するボンディングパ
ッド上でボンドを形成するプロセスの際に第１のボンデ
ィングパッドに形成されたボールボンドに当たってしま
う。この欠点を解消する一方法は、非円形面を有するワ
イヤボンディング・キャピラリを使用することである。
この種のアプローチは、例えば、全ての目的のために参
照によってここに組み込まれる、テスト他（Ｔｅｓｔ
ｅｔ ａｌ．）による米国特許第５，５４４，８０４号
に示されている。テスト他の特許は、非円形面を有する
ボウ・ティー・アイ（ＢｏｗＴＩ：商標名）・キャピラ
リを示している。このボウ・ティー・アイ（商標名）・
キャピラリの面は、一対の対向する凹面と結合する一対
の対向する凸面を備えた形状を有することができる。こ
のボウ・ティー・アイ（商標名）・キャピラリは一般
に、凹面の中間点を横切ってボウ・ティー・アイ（商標
名）の中心を通って伸長する縦軸を有するものとして説
明することができる。ボウ・ティー・アイ（商標名）・
キャピラリは、円形のキャピラリ面を有するものに比し
て、例えばボールボンドを相互により近接にする。凹面
が隣接するボンドに当たるのを回避することから、この
ことを達成することができる。ボウ・ティー・アイ（商
標名）・キャピラリはまた、ステッチ・ボンドを含めて
他の型式のボンドを形成することもできる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】非円形面を有するキャ
ピラリの使用から生じる必要性は、リードフレームのＸ
またはＹ方向の何れかに沿って、若しくは目標のリード
の縦軸に沿って、または必要に応じて所定のボンディン
グ経路に沿ってキャピラリ面の縦軸を正確に位置合せす
ることである。非円形キャピラリの正確な位置合せは特
に、代表的キャピラリ面が比較的小さい寸法（例えば、
０．１０〜０．２０ｍｍ（４〜８ｍｉｌ））のために困
難である。特に、集積回路チップ・パッケージの寸法を
減少させるということから、キャピラリの不適当な位置
合せは、製造プロセスの際の欠陥のあるワイヤボンドに
結びつき得る。このことは、ボンディングパッド、リー
ドフレームまたはこれら双方に渡るキャピラリ面の不適
切な位置決めを含めた多くの要因に起因する。欠陥のあ
るワイヤボンディングはまた、不適切な位置合せによっ
て後続のボンドの形成の際にキャピラリが既存のボンド
に当たるか及び／又はこれを損傷させるときに生じ得
る。既知のキャピラリ及びワイヤボンディングに関する
他の問題、短長及び欠点も存在する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ワイヤ
ボンディングに使用されるキャピラリに関連する必要性
に取り組むことである。
【００１０】本発明の別の目的は、ワイヤボンディング
技術に関連する必要性に取り組むことである。
【００１１】本発明の別の目的は、ワイヤボンディング
装置にキャピラリを設置する際に容易に位置合せできる
ワイヤボンディング・マシーン用のキャピラリを提供す
ることである。
【００１２】本発明の別の目的は、ワイヤボンディング
・プロセスの際に容易に位置合せ及び再位置合せするこ
とができるワイヤボンディング用のキャピラリを提供す
ることである。
【００１３】本発明の別の目的は、キャピラリを使用す
る際に位置合せを容易に確立及び／又はチェックするこ
とができるキャピラリを提供することである。
【００１４】本発明のまた別の目的は、ワイヤボンディ
ング・キャピラリの自動化された段階的回転を提供する
ことである。
【００１５】本発明の前記及び他の目的を達成するため
に、ワイヤボンディング・キャピラリに段階的回転を与
える回転装置が提供される。第１の実施例において、前
記装置は、前記キャピラリに結合されるようになってい
る第１の部分と、前記第１の部分と嵌合可能であって、
前記キャピラリに段階的回転を与える第２の部分と、を
備えている。
【００１６】一態様によれば、前記第１の部分は第１の
回転要素であり、前記第２の部分は第２の回転要素であ
る。前記第１及び第２の回転要素は、クリック・リング
を形成することができる。前記第１及び第２の回転要素
はカムローラ装置を形成し得る。
【００１７】別の態様によれば、ワイヤボンディング・
キャピラリは、管状本体部分と、該管状本体部分に結合
された第１の回転要素と、を備えている。前記第１の回
転要素は第２の回転要素と嵌合可能であって、前記キャ
ピラリに段階的回転を与える。
【００１８】別の実施例によれば、ワイヤボンディング
・マシーンは、ホーンと、該ホーンに回転可能に取り付
けられたキャピラリと、を備えている。回転装置は少な
くとも部分的に前記キャピラリに結合されると共に、前
記キャピラリに段階的回転を与えるようになっている。
【００１９】別の実施例によれば、ワイヤボンディング
の方法が提供される。キャピラリ面は第１の方向に沿っ
て位置合せされる。キャピラリは第１のワイヤボンドを
形成するのに使用される。前記キャピラリ面は、第２の
方向に沿って再位置合せされる。前記キャピラリは第２
のワイヤボンドを形成するのに使用される。段階的方法
で前記キャピラリを回転することによって、再位置合せ
を達成することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】ワイヤボンディング・マシーンは
一般に周知である。代表的なワイヤボンディング・マシ
ーンは、金等の任意の適切なボンディング材料から成り
得るボンディングワイヤのスプールを備えている。ボン
ディングワイヤは一般にキャピラリとして周知のガイド
に通される。このキャピラリはまたボンディング・ツー
ルとして機能する。キャピラリは、ホーンとして知られ
るワイヤボンディング・マシーンのアームに取り付ける
ことができる。本発明は特に、キャピラリをホーンに回
転可能に取り付けると共に、縦軸の回りにキャピラリが
段階的に回転できるようにする装置を提供することを意
図している。最初の位置合せに従って（例えば、ホーン
にキャピラリを取り付けて直ちに）キャピラリを正確に
位置合せすれば、キャピラリの段階的移動によって、キ
ャピラリが正確な角度量だけ回転することが保証され
る。
【００２１】ワイヤボンディング装置は、ホーンを有す
るワイヤボンディング・マシーンを備え得る。キャピラ
リはホーンの中に取り付けられて、ソースから集積回路
チップ・パッケージ上の種々のボンディング点にボンデ
ィングワイヤを案内する。キャピラリは、該キャピラリ
から離隔した１つ以上の検出器によって受信されるべき
１つ以上の信号をもたらす１つ以上のインジケータを有
することができる。これらの信号はキャピラリの回転位
置合せを指示する。従って、信号はまたキャピラリ面の
軸の方向を指示する。各信号は、所定の所望する位置合
せと比較した、キャピラリ面の角度オフセットを指示す
る相対的信号強度を有し得る。
【００２２】動作の際、キャピラリは、キャピラリ面の
軸が第１の方向に伸長する第１の回転位置合せまで回転
することができる。検出器によって受信された第１の信
号は、いつ第１の回転位置合せが達成されたかを指示す
る。第１のボンドは、キャピラリを第１のボンド点に案
内することにより、該第１のボンド点（例えば、集積回
路チップ上のボンディングパッド）にて形成することが
できる。
【００２３】キャピラリは、該キャピラリを第２の回転
位置合せまで回転することによって再位置合せすること
ができ、この結果、キャピラリ面の軸は第１の方向とは
異なる第２の方向に伸長するようになっている。次い
で、キャピラリを第２のボンド点まで案内することによ
って、第２のボンドを前記第２のボンド点（例えば、リ
ードフレーム上のリード）にて形成することができる。
【００２４】次いで、キャピラリを回転させて、第１の
方向または（例えば、集積回路チップ上の第２のボンデ
ィングパッドでの）後続のボンドに対する第３の方向ま
で戻すことができる。キャピラリの回転は、各インジケ
ータ及び検出器を協動して動作させると共に、回転位置
合せ及び再位置合せを指示する各信号を生成することに
よって達成される。キャピラリを正確に回転する能力
は、非円形面を有するキャピラリに対して特に有益であ
る。非円形面の軸は、ボンドが形成されるときのボンデ
ィングの方向にて理想的に位置合せされる。例えば、キ
ャピラリ面の軸をリード軸に沿って位置合せすることが
望ましい。更にまた、ワイヤボンドが集積回路チップ・
パッケージの回りに形成されるにつれて、ボンディング
の方向が変化し得る。本発明はボンディング方向を変化
させるようになっている。キャピラリ位置合せシステム
全体に関する更なる態様は、テキサス・インスツルーメ
ンツ社（Ｔｅｘａｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ Ｉｎｃ
ｏｒｐｏｒａｔｅｄ）に譲渡される米国特許出願第
号（代理人事件整理番号ＴＩ−２４
９７０）に開示されている。この出願は１９９６年１２
月１９日付で出願され、全ての目的のために参照によっ
てここに組み込まれる。
【００２５】本発明は、キャピラリの段階的回転をもた
らす。このことは各インジケータ及び検出器の使用を補
うかまたは置換し得るものである。図１により詳細に示
すように、キャピラリ１０は、先端部分３０と一体化し
ているシャフト部分２０を備えた管状本体を有してい
る。このキャピラリは、縦軸ＡＡの一般的方向に沿って
その内部を通して伸びている縦穴を有している。キャピ
ラリ１０のこの縦穴は、入口端部４０及び出口端部５０
を有している。ボンディングワイヤは入口端部４０に挿
入し、キャピラリ１０の内部を通ってキャピラリ１０の
出口端部５０から引き出すことができる。
【００２６】シャフト部分２０は、図２により明瞭に示
すように、形状が円筒状で円形の断面を有することが好
ましい。しかしながら、ボンディングワイヤをキャピラ
リ１０の内部を通し得る限りにおいて、他の形状を使用
することができる。例えば、キャピラリは矩形状または
楕円形の断面を有することができる。キャピラリ１０の
シャフト部分２０は、内径Ｄi の縦穴と断面外径Ｄo を
有する外表面によって構成されることが好ましい。内径
Ｄi はキャピラリ１０の縦穴の全長を通して一定である
ことが好ましい。しかしながら、キャピラリ１０が一定
の肉厚を有すれば、Ｄi はＤo の変化に応じて変わるこ
ととなる。
【００２７】先端部分３０には、該先端部分３０とシャ
フト部分２０の境界である第１の点からキャピラリ１０
の出口端部に位置する第２の点３２にかけて下方でかつ
内側にテーパーが付けられていることが好ましい。第１
の点３１での先端部分３０の外径はシャフト部分２０の
外径Ｄo に等しいことが好ましい。第２の点３２での先
端部分３０の外径は第１の点３１での外径を下回る所定
の値であることが好ましい。
【００２８】キャピラリ１０は任意の適切な材料で形成
することができる。しかしながら、キャピラリ１０は高
張力材料で形成されることが好ましい。例えば、キャピ
ラリ１０は高張力セラミック材料で形成することができ
る。
【００２９】ワイヤボンディング・マシーンのホーンを
図３及び図４に図示する。ホーン６０は、キャピラリ１
０を図示のように取り付けるためのキャピラリ取付け用
レセプタクル６１を有する。ホーン６０はまた、キャピ
ラリ１０をキャピラリ取付け用レセプタクル６１に選択
的にロックするためのロック機構６２を備えることが好
ましい。キャピラリ１０は、ロック機構６２が非ロック
位置にあるとき、取付け用レセプタクル６１内のその縦
軸の回りを自由に回転可能であることが好ましい。
【００３０】一旦キャピラリ１０が正確な所定の初期位
置合せに従って位置合せされる（例えば、この結果、キ
ャピラリ面の軸がＸ方向ボンディングのために位置合せ
される）と、キャピラリ１０を正確な角度量だけ縦軸Ａ
Ａの回りに回転させることが必要となり得る。このこと
は、例えば、Ｙ軸に沿ってあるいはＸ軸またはＹ軸から
オフセットした或る他の方向に沿ってキャピラリ面の軸
を位置合せすることが必要である。例えば、目標のリー
ドは、Ｘ軸から反時計方向に１５度オフセットして向け
ることができる。キャピラリ１０の面を最初軸に沿って
位置合せすれば、キャピラリ１０は角度的にオフセット
した目標のリード上に最適なボンディングを保証するの
に、反時計方向に１５度（即ち、時計方向に３４５度）
正確に回転させる必要がある。
【００３１】本発明によれば、離散的インクリメンタル
ステップでのキャピラリの被制御式段階的回転を可能に
する装置がもたらされる。この装置の第１の部分はキャ
ピラリに結合されている。また、この装置の第２の部分
はこの第１の部分と嵌合可能であって、キャピラリに段
階的回転を与える。
【００３２】本発明の第１の実施例によれば、キャピラ
リ１０の正確な段階的回転を可能にする装置１００は、
図５ないし図７に図示されている。図５に示すように、
この装置１００は、第１の回転要素１１０及び第２の回
転要素１２０を備えている。第１及び第２の回転要素１
１０及び１２０は相互に協動して、キャピラリ１０に段
階的回転を与えるのが好ましい。
【００３３】第１及び第２の回転要素１１０及び１２０
は共同でクリックリングつめ車駆動機構を形成すること
が好ましい。他のクリックリング構成も本発明に組み込
むことができることを留意すべきである。また、クリッ
クリング以外の段階的多安定性スイッチを本発明に組み
込むことができることにも留意すべきである。
【００３４】第１の実施例によれば、第１の回転要素１
１０は第１のリング１１１を備え、第２の回転要素１２
０は第２のリング１２２を備えている。第１のリング１
１１には少なくとも１つの突起１１３が形成されてい
る。第１のリング１１１は、その外周表面上に形成され
ると共に、第１のリング１１１の外表面から外方に放射
状に突出している複数の突起１１３を有することが好ま
しい。各突起１１３は、２つの縦面１１５及び１１６そ
れに２つの傾斜付き横面１１７及び１１８を有する歯を
備えることが好ましい。第１及び第２の傾斜付き横面１
１７及び１１８は縦面の対向端部と結合している。こう
して、第１及び第２の傾斜付き横面１１７及び１１８
は、縦要素及び横要素の双方を有している。傾斜付き横
面１１７及び１１８は相互に対向して傾斜していること
が好ましい。傾斜付き横面は、第１の縦面１１５から第
２の縦面１１６に伸長するにつれて、相互に離隔して傾
斜していることがより好ましい。
【００３５】図６及び図７に示すように、第１の回転要
素１１０はキャピラリ１０の外表面に機械的に結合して
いる。これらの２つの要素は、ホーンの音響減衰に対す
る如何なる干渉をも最小化すべく考慮を払って接着ボン
ディング等の任意の適切なボンディング技術を使用して
共に結合し得る。使用される任意のボンディング技術
は、ワイヤボンディング・プロセスの際にキャピラリ１
０が動作することとなる環境条件に耐えることが好まし
い。代わりに、第１の回転要素１１０は、キャピラリ１
０の一部分として一体的に形成し得る。以下においてよ
り詳細に説明するように、装置１００は、該装置１００
が解放位置にあるとき、キャピラリ１０がその縦軸に沿
った修正位置にあってワイヤボンディング機能を実行す
るようにして、キャピラリ１０の縦軸に沿って位置決め
されなければならない。
【００３６】第２のリング１２２は第１のリング１１１
と相互に嵌合し合うことが好ましい。第２のリング１２
２は少なくとも１つのノッチを備えて、第１のリングの
少なくとも１つの突起１１３と協動する。少なくとも１
つのノッチは、第２のリング１２２の内側表面に形成さ
れたキャビティ１２１の部分によって形成されることが
好ましい。突起１１３は第１のリング１１１からキャビ
ティ１２１へと外へ放射状に突出している。第２のリン
グ１２２は複数の第１のノッチ１２３及び複数の第２の
ノッチ１２４を備えることが好ましい。第１のノッチ１
２３は第２のノッチ１２４とは縦方向に離隔している。
ノッチ１２３及び１２４は第２のリング１２２の内側表
面に形成されることが好ましい。第２のリング１２２の
内径は、第１のリング１１１の外径に比して僅かに大き
くなっている。このことによって、第２のリング１２２
は図６及び図７に示すように第１のリング１１１の外面
とフィットするようになる。また、第１及び第２のリン
グは相互に縦方向に移動可能でなければならない。
【００３７】各ノッチ１２３は第１のエッジ１３１及び
第２のエッジ１３２を有することが好ましい。第２のエ
ッジ１３２は傾斜が付けられると共に、横方向に伸長し
ている。こうして、第２のエッジ１３２は縦方向要素及
び横方向要素の双方を有している。第１及び第２のエッ
ジ１３１及び１３２は一方の端部で交わって、それぞれ
のノッチ１２３の範囲を形成する。他方の端部では、第
１及び第２のエッジ１３１及び１３２はノッチ・オープ
ニングを形成する。第２のエッジ１３２の縦方向要素は
第１のエッジ１３１の長さと等しいことが好ましい。ま
た、第２のエッジ１３２の縦要素は、突起１１３の第１
の傾斜付きエッジ１１７の縦要素と等しいことが好まし
い。更に、第２のエッジ１３２の横要素は長さも方向
も、突起１１３の第１の傾斜付きエッジ１１７の横要素
と等しいことが好ましい。こうして、突起１１３の第１
の先端は第１のノッチ１２３にうまくフィットする。
【００３８】各第２のノッチ１２４は第１のエッジ１４
１及び第２のエッジ１４２を有することが好ましい。第
２のエッジ１４２は傾斜が付けられると共に、横方向に
伸長している。こうして、第２のエッジ１４２は縦要素
及び横要素の双方を有している。第１及び第２のエッジ
１４１及び１４２は一方の端部で交わって、それぞれの
ノッチ１２４の範囲を形成する。他方の端部では、第１
及び第２のエッジ１４１及び１４２がノッチ・オープニ
ングを形成する。第２のエッジ１４２の縦要素は第１の
エッジ１４１の長さと等しいことが好ましい。また、第
２のエッジ１４２の縦要素は、突起１１３の第２の傾斜
付きエッジ１１８の縦要素と等しいことが好ましい。更
に、第２のエッジ１４２の横要素は長さも方向も、突起
１１３の第２の傾斜付きエッジ１１８の横要素と等しい
ことが好ましい。こうして、突起１１３の第２の先端は
第２のノッチ１２４にうまくフィットする。
【００３９】第１のノッチ１２３はキャピラリ１０の縦
軸の回りに所定の間隔を置いて形成されることが好まし
い。このことによってキャピラリ１０の正確な段階的回
転が許容されることとなる。例えば、第１のノッチ１２
３は、５度、１０度、４５度または９０度毎に位置決め
することができる。間隔が比較的小さいとき、キャピラ
リ１０の回転に対して有効なより多くの回転位置が設け
られる。これとは対照的に、間隔が比較的大きいとき、
キャピラリ１０の回転に対して有効な回転位置はより少
なくなる。間隔は任意の角度量であって良い。また、各
間隔は同一にできるか、または１つの間隔は別の間隔に
対して異なる角度量であることができる。リードフレー
ム及びリードのボンディングプロセス、所望の分解能／
精度及び向きが第１のノッチ１２３間の角度間隔を決定
することとなる。
【００４０】第２のノッチ１２４は第１のノッチ１２３
から角度的にオフセットしていることが好ましい。さも
なくば、各第２のノッチ１２４はそれぞれの角度的に隣
接した第１のノッチ１２３に対処する寸法を有する必要
がある。第１及び第２のノッチ１２３及び１２４の間の
相対的オフセットによって、以下において更に説明する
ように、クリック機能の際に部分的な角度回転がもたら
される。このことによって、以下に述べる解放機能の前
に、突起１１３の第１の先端がオープニングを過ぎて移
動される。各突起１１３の第２の縦面１１６の長さは、
キャビティ１２１内で突起１１３を回転移動させるのに
十分小さいことが好ましい。
【００４１】前述した第１及び第２の回転要素が、本発
明によって使用され得るクリックリング型式の装置の例
に過ぎないことを留意すべきである。段階的間隔を置い
て移動止めをもたらす他の装置も本発明に組み込むこと
ができる。また、第１の回転要素及び第２の回転要素を
設けるか、または仮に設ければ、第１の回転要素をキャ
ピラリに結合させると共に、第２の回転要素をホーンに
結合させるということは全ての場合に必ずしも必要では
ない。特定の要素及びそれらの向きは選択された段階的
回転装置によって決まることとなる。
【００４２】図５ないし図７に設けられた例に戻ると、
第１のバイアス機構１５１を設けて、キャピラリ１０を
第１の縦方向にバイアスする。第１のバイアス機構１５
１は、第１及び第２の回転要素１１０及び１２０を取り
囲むスプリングを備えることが好ましい。このスプリン
グ１５１の一方の端部はホーン６０の表面と当接してい
る。スプリング１５１の他方の端部はクリックパッド１
６０と当接する。このクリックパッド１６０は第１のリ
ング１１１と一体化されると共に、第１及び第２のリン
グ１１１及び１２２の半径方向の制限を超えて伸長する
ことが好ましい。スプリング１５１はクリックパッド１
６０を解放位置に向けてバイアスしようとする。こうし
て、スプリング１５１は突起１１３を第１の溝１２３に
バイアスする。第１のバイアス機構１５１は連続したバ
イアスをもたらすことが好ましい。即ち、第１のバイア
ス機構１５１は第１の縦方向に沿ってキャピラリ１０を
駆る。
【００４３】第２のバイアス機構１５２は、キャピラリ
を第２の縦方向（前記第１の縦方向とは逆）にバイアス
するために設けられている。こうして、第２のバイアス
機構１５２は、第１のバイアス機構１５１の連続的バイ
アスに抗して突起１１３を第２の溝１２４に駆る。この
第２のバイアス機構は周期的バイアスをもたらすことが
好ましい。即ち、第２のバイアス機構は、この第２のバ
イアス機構が起動されたときに、キャピラリを第２の縦
方向に駆るだけである。このことは所定のまたは選択さ
れた時間間隔であるいはランダムに生じ得る。しかしな
がら、第２のバイアス機構１５２の起動は、キャピラリ
１０の回転が所望されるときに生じるだけでなければな
らない。
【００４４】カンチレバー１５２はホーン６０に結合す
ることができる。代わりに、カンチレバー１５２はワイ
ヤボンディング・マシーン（図示せず）の別の部分また
はワイヤボンディング・マシーンから分離したベースに
結合することができる。また、第２のバイアス機構はカ
ンチレバーである必要はない。所望のバイアス力をもた
らすことができる任意の装置を使用することができる。
【００４５】回転装置１００の動作をここで説明する。
例えば、第１のノッチ１２３は５度間隔を置いて離隔し
ていると仮定することができる。キャピラリ１０は最
初、所定の軸、例えばワイヤボンディング・マシーンの
ボンディング・プラットホームのＸ軸に関して位置合せ
される。第１のボンドは、例えば第１のボンディングパ
ッドにて形成される。次いで、キャピラリを回転させ
て、キャピラリ面の軸が第１のボンディングパッドに対
応するリード用のリード軸と位置合せされるようにする
必要がある。リード軸が例えば５度だけＸ軸からオフセ
ットしていると仮定すれば、キャピラリは（例えば、５
度の回転の間）１つのクリック・ステップだけ回転され
ることになる。次いで、ボンドをリード上に形成する。
次いで、キャピラリは第２のボンディングパッドのため
にＸ軸まで回転して戻り得る。このことは、キャピラリ
を別の３５５度回転するのに十分に多数のクリックによ
っても達成することができる。引き続く再位置合せ及び
ボンディングは、全てのワイヤボンドが形成されるまで
継続する。
【００４６】最初、キャピラリ１０は解放位置にあっ
て、第２のバイアス機構１５２は起動されないようにな
っている。こうして、第１のバイアス機構１５１は、図
７に示すように、突起１１３を自由に第１のノッチ１２
３に駆ることができる。キャピラリ１０を所望の位置ま
で回転させるために、第２のバイアス機構１５２は図６
に示すように起動される。カンチレバー１５２はスプリ
ング１５１の力に抗してクリックパッド１６０を押圧す
る。これによって、突起１１３が第２の縦方向に移動す
る。各第２の傾斜付きエッジ１１８に沿った点は、第２
のノッチ１２４の第２のエッジ１４２のそれぞれのオー
プニング端部と嵌合する。エッジ１１８及び第２のノッ
チ１２４の第２のエッジ１４２の各相対的な傾斜のため
に、回転が突起１１３に、従ってキャピラリ１０に与え
られる。突起１１３は、ノッチ１２４の縦方向の範囲に
達するまで第２の縦方向に強制的に移動され続ける。こ
の時点で、クリック機能は完全であり、キャピラリ１０
は５度間隔の部分を回転されたに過ぎない。しかしなが
ら、この部分的回転機能は、各突起１１３をそれぞれの
ノッチ１２４を通過させて十分に回転させるために重要
である。このことは、以下の解放機能の際に、突起１１
３がクリック機能の初めに出たノッチ１２３に隣接する
ノッチ１２３に突起１１３が駆られることを保証する。
部分的回転がもたらされなかったならば、突起１１３は
同じ最初のノッチ１２３に戻るだけである。
【００４７】以下の解放ステップ（図７）の際、第２の
バイアス機構１５２は停止状態にされる。スプリング１
５１は第１の縦方向にキャピラリ１０を自由に駆ること
ができる。第１の傾斜付きエッジ１１７は第１のノッチ
１２３の第２のエッジ１３２のオープニング端部と嵌合
する。エッジ１１７及びノッチ１２３の第２のエッジ１
３２の相対的傾斜は、クリックステップの際にもたらさ
れた部分的回転と同じ方向に更なる回転を与える。回転
は、スプリング１５１が突起１１３を完全に第１のノッ
チ１２３にバイアスするまで継続する。この時点で、キ
ャピラリ１０は正確に５度回転する。
【００４８】クリック及び解放ステップを付加的な１７
回繰り返して９０度回転を完了する。次いで、ホーン６
０及び／又はボンディング・プラットホームを操作し
て、Ｙ方向ボンディングをもたらす。前述した構成及び
手順を修正して、キャピラリ１０の縦軸の回りに時計方
向または反時計方向の何れかにでも任意量の所望の段階
的回転をもたらすことができることを了知すべきであ
る。また、回転の完全な所定の間隔は、クリック・ステ
ップの際にもたらされる第１の量の回転と、解放ステッ
プの際にもたらされる第２の量の回転の和から成ること
が理解されよう。こうして、キャピラリの前後の縦方向
の移動はキャピラリの段階的回転に変換されると共に、
縦方向の力は回転力に変換される。
【００４９】本発明の第２の実施例を図８ないし図１１
に図示する。回転装置２００は第１の回転要素及び第２
の回転要素を備えている。第１の回転要素はカム２１１
で、かつ第２の回転要素はローラ２２２であることが好
ましい。カム２１１及びローラ２２２は協動して、キャ
ピラリ１０の正確な段階的回転をもたらす。
【００５０】カム２１１は接着ボンディング等の任意の
適切な結合技術によってキャピラリ１０に結合してい
る。代わりに、カム２１１はキャピラリ１０の一体化部
分として形成することができる。カム２１１はキャピラ
リ１０の中央部分を取り囲むようにこれに結合している
ことが好ましい。図９において良く判かるように、カム
２１１は、複数の溝２１３の間に散在している複数の突
起２１２を有している。突起２１２及び溝２１３はロー
ラ２２２に対して円滑な遷移をもたらすように、円滑に
結合すると共に、丸味が付けられていることが好まし
い。ローラ２２２は回転可能にシャフト２２３に取り付
けられていることが好ましい。シャフト２２３はホーン
６０に結合すると共に、ホーン６０の縦軸に沿って前後
に移動可能であるに過ぎないことが好ましい。スプリン
グ２３０等のバイアス機構は、カム２１１に抗してロー
ラ２２２をバイアスさせるのに設けられている。
【００５１】不安定な位置においては、図８及び図９に
示すように、突起２１２上の最も外側の点がホーン６０
の縦軸に沿って在り、従ってローラ２２２上のそれぞれ
の点と接触するようにカム２１１が配向している。この
状況では、スプリング２３０は圧縮されている。この位
置は不安定である。スプリング２３０のバイアス力のた
めに、カム２１１は時計方向または反時計方向の何れか
に回転しようとする。カム２１１は、キャピラリ１０の
所望の回転位置合せに応じた特定の回転方向に、自動的
にまたはオペレータによって回転されることが好まし
い。
【００５２】安定した位置では、図１０及び図１１に示
すように、ローラ２２２は溝２１３にバイアスされる。
この状況で、何らの回転力もカム２１１に加わらなけれ
ば、カム２１１は単独で回転しようとはしない。更に、
スプリング２３０のバイアス力、及びシャフト２２３は
ホーン６０の縦軸に沿って移動可能であるに過ぎないこ
とのために、ローラ２２２はカム２１１の回転に抵抗し
ようとする。こうして、或る量の力が、カム２１１を回
転させローラ２２２をキャピラリ１０から離隔するよう
に移動させるのに要求される。個々の部品は、ローラ２
２２の抵抗に抗してカム２１１を回転させるのに特定の
所定の力が必要であるように設計することができる。
【００５３】溝２１３はカム２１１の回転軸の回りに所
定の間隔を置いて設けられることが好ましい。例えば、
溝２１３は５度毎に設けることができる。この間隔は、
回転装置２００を使用する応用によって必要な回転分解
能の量によって決まることとなる。少なくとも１つの溝
が最初のボンディング軸に沿って位置合せされると共
に、他の溝がワイヤボンディング・プロセスにかけられ
ているリードフレームの他のボンディング軸に沿って位
置合せされるのが好ましい。
【００５４】動作において、溝２１３の５度間隔を仮定
すれば、キャピラリ１０は正確な最初の位置合せに従っ
て位置合せされる。この時点でローラ２２２は溝２１３
に完全にバイアスされる。例えば９０度の回転が要求さ
れれば、ローラ２２２が１８サイクルにおいてキャピラ
リ１０から離れたり近づいたりして移動するようにカム
２１１が回転される。次いで、ローラ２２２はキャピラ
リ１０の９０度回転位置合せに正確に対応する溝２１３
に完全にバイアスされることとなる。
【００５５】他の型式のカム構成を使用できることに留
意すべきである。例えば、ローラ２２２の移動によって
カム２１１の回転が引き起こされるようにカム及びロー
ラを構成することができる。また、カム２１１及びロー
ラ２２２の場所を切り換えることができる。こうして、
キャピラリ１０に対して回転の多安定位置をもたらす限
りにおいて任意の型式のカム装置を受け入れることがで
きる。
【００５６】本発明の第３の実施例によれば、図１２に
図示するように、本発明の回転装置（例えば、装置１０
０または装置２００）をワイヤボンディング・マシーン
に組み込むことができる。マシーン３００は取付けプラ
ットホーム３１１を有する本体３１０を備えている。取
付けプラットホーム３１１はワイヤボンディング用のリ
ードフレーム３１２受け入れるようになっている。マシ
ーン３００にはホーン３６０が取付けられている。ホー
ン３６０はその取付けレセプタクル３６１に取り付けら
れたキャピラリ１０を有している。キャピラリ１０は、
ロック機構３６２が停止状態になっている限りレセプタ
クル３６１で回転可能である。ホーン３６０を操作し
て、リードフレーム３１２にワイヤボンディングするこ
とができる。マシーン３００にはまたボンディングワイ
ヤのソース（例えば、スプール）３２０が取り付けられ
ている。ボンディングワイヤをキャピラリ１０に通して
使用して、リードフレーム上のワイヤボンドを完了する
ことができる。
【００５７】回転装置はキャピラリ１０に対して少なく
とも部分的に結合している。回転装置３３０の第１の部
分はキャピラリ１０に結合されると共に、回転装置３３
０の第２の部分はキャピラリ１０とは離れているが第１
の部分とは嵌合可能である。回転装置３３０の第２の部
分はホーン３６０に対して結合可能か、または嵌合可能
である。
【００５８】回転装置３３０の第１の部分は第２の部分
と嵌合可能であって、キャピラリに段階的回転を与え
る。第１及び第２の部分の相互に向っての縦方向移動に
よって、第１の部分が第２の部分に関して回転する。
【００５９】本発明の特徴によれば、キャピラリ１０は
その本体に組み込まれた１つ以上の第１のインジケータ
を有して、１つ以上の検出器に１つ以上の信号をもたら
すことができる。インジケータは、能動的、受動的、機
械的、電気的、光学的、磁気的、及びその他の型式を含
めて任意の型式のものであって良い。また、１つ以上の
第２のインジケータを設けて、キャピラリ１０上の１つ
以上の第１のインジケータと協動することができる。例
えば、図１２に示す構成において、第１のインジケータ
（例えば、インジケータ３８０）は、例えば反射マーク
を備えることができる。これらのマークは光学的に検出
することができる。少なくとも１つのマークはキャピラ
リ１０の面の軸に合わせることが好ましい。検出器（例
えば、変換器３９０）はインジケータを検出して対応す
る検出信号を生成することができる。変換器３９０がイ
ンジケータを検出したとき、キャピラリ１０の面の軸が
（Ｘ軸またはＹ軸に沿った、あるいは正確な量だけオフ
セットした）ボンディングの所望の方向と正確に合うよ
うにインジケータ及び変換器を位置決めすることが好ま
しい。変換器３９０からの電気信号をディスプレイ（図
示せず）に送って、キャピラリ１０が適切に位置合せさ
れたことを指示することができる。
【００６０】こうして、インジケータは、キャピラリ１
０の回転位置を決定するのに検出し使用することができ
る各信号をもたらす。代わりに、インジケータは検出器
によって受信される信号をもたらすことができる。信号
は相対的信号強度を有し得る。例えば、第１のインジケ
ータ及び検出器が相互に最も近接しているときに信号強
度はより強くなることができる。これらの２つの要素が
キャピラリ１０の回転によって離されるとき、信号は弱
くなり得る。検出された信号の強度はキャピラリ１０の
所定の回転位置合せからの角度的なオフセット量を指示
することとなろう。
【００６１】インジケータ３８０及び検出器３９０は、
ホーン３６０及び／又はボンディング・プラットホーム
あるいはリードフレームに関するキャピラリ１０及び回
転装置１００の正確な最初の位置合せを確立するのに使
用することが好ましい。最初の位置合せ後、及びワイヤ
ボンディング・プロセスの際、正確な回転は前述したよ
うに、段階的回転装置（例えば、装置１００または２０
０）によってもたらされることが好ましい。インジケー
タ３８０及び検出器３９０をワイヤボンディングの際に
使用して、キャピラリ１０の適切な所望の回転位置合せ
を確認することができる。
【００６２】本発明の別の特徴によれば、回転及び位置
合せは、図１２に示すコンピュータ３５０等のコンピュ
ータによって完全に制御することができる。図示の例に
おいて、回転装置３３０はクリック・リングである。し
かしながら、本発明による任意の回転装置を使用するこ
とができる。クリック・リングの例では、コンピュータ
３５０がキャピラリの所望の回転位置を決定する。これ
は、リードフレームの所定の構成に基づいて確立するこ
とができる。
【００６３】コンピュータは、カンチレバーを付勢する
電源３７０を起動するメッセージを送出して、カンチレ
バーを回転装置３３０のクリック・パッドに嵌合させる
ことが好ましい。計数装置（図示せず）を設けて、クリ
ック・リングのクリック及び解放サイクルの数を計数す
ることができる。正確な回転は、所望の方向に沿ってキ
ャピラリ面の軸を合わせるのに必要とされる回転位置合
せに対応する多数のサイクルを実行したときに達成され
る。この方向はボンディング点毎に変わり得る。従っ
て、コンピュータは位置合せ及び再位置合せを制御する
こととなろう。
【００６４】随意に、キャピラリ１０が所望する回転位
置に達したことを指示する検出器にインジケータが信号
を提供するとき、検出器はコンピュータに入力をもたら
す。コンピュータは回転装置に停止状態メッセージを送
出してから、ワイヤボンディング・マシーンはボンディ
ングを始めることができる。
【００６５】この特徴の態様によれば、他の検出装置を
設けて、各それぞれのリードの向きを直接検出する。こ
のことは、例えば既知の走査技術によって達成すること
ができる。この情報はコンピュータに送信され、コンピ
ュータは回転装置に対応する起動メッセージを送出する
ことができる。コンピュータ記憶装置に記憶されたリー
ドフレームの所定の向きとは対照的に、回転装置は特定
のリードの向きに基づいて正確な位置までキャピラリを
回転させる。
【００６６】以上、本発明を諸例としてのみ意図された
好ましい実施例に関連して説明した。特許請求の範囲に
よって規定されるこの発明の範囲及び精神にもとること
なく、これらの実施例に対して種々の変更を行い得るこ
とが当業者によって認められよう。
【００６７】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。
【００６８】（１）ワイヤボンディング・キャピラリを
回転させる装置において、前記キャピラリに結合される
ようになっている第１の部分と、前記第１の部分と嵌合
可能であって、前記キャピラリに段階的回転を与える第
２の部分と、を具備したことを特徴とする前記装置。
【００６９】（２）第１項記載の装置において、前記第
１の部分は第１の回転要素を備え、前記第２の部分は前
記第１の回転要素と協動して、前記キャピラリに段階的
回転を与える第２の回転要素を備えたことを特徴とする
前記装置。
【００７０】（３）第２項記載の装置において、前記キ
ャピラリはワイヤボンディング・マシーンのホーンに取
り付けられ、前記第２の回転要素は前記ホーンに結合さ
れていることを特徴とする前記装置。
【００７１】（４）第２項記載の装置において、前記第
１及び第２の回転要素はクリックリング式つめ車駆動を
形成することを特徴とする前記装置。
【００７２】（５）第２項記載の装置において、前記第
１及び第２の回転要素の一方は少なくとも１つの突起を
有する第１のリングを備え、前記第１及び第２の回転要
素の他方は前記少なくとも１つの突起を受ける少なくと
も１つの溝を有する第２のリングを備えたことを特徴と
する前記装置。
【００７３】（６）第２項記載の装置において、前記キ
ャピラリの縦軸に沿った第１の方向に前記キャピラリを
バイアスする第１のバイアス機構を更に具備したことを
特徴とする前記装置。
【００７４】（７）第６項記載の装置において、前記第
１のバイアス機構が前記キャピラリをバイアスすると
き、前記第１の回転要素は前記第２の回転要素に関して
第１の量だけ回転することを特徴とする前記装置。
【００７５】（８）第７項記載の装置において、前記キ
ャピラリの前記縦軸に沿った第２の方向に前記キャピラ
リをバイアスする第２のバイアス機構を更に具備し、前
記第１のバイアス機構が前記キャピラリをバイアスした
後に前記第２のバイアス機構が前記キャピラリをバイア
スするとき、前記第１の回転要素は前記第２の回転要素
に関して第２の量だけ回転することを特徴とする前記装
置。
【００７６】（９）第８項記載の装置において、前記第
１及び第２の回転量は前記キャピラリの前記縦軸の回り
の同一の回転方向にあることと、前記第１及び第２の量
は合計が回転の所定の間隔になること、とを特徴とする
前記装置。
【００７７】（１０）第６項記載の装置において、前記
第１のバイアス機構は前記キャピラリを連続的にバイア
スすることを特徴とする前記装置。
【００７８】（１１）第６項記載の装置において、前記
第１のバイアス機構は前記キャピラリを周期的にバイア
スすることを特徴とする前記装置。
【００７９】（１２）第２項記載の装置において、前記
第１の回転要素はカムを備えていることを特徴とする前
記装置。
【００８０】（１３）第１２項記載の装置において、前
記第２の回転要素はローラを備えていることを特徴とす
る前記装置。
【００８１】（１４）第１３項記載の装置において、前
記カムに対して前記ローラをバイアスするバイアス機構
を更に具備したことを特徴とする前記装置。
【００８２】（１５）第１２項記載の装置において、前
記カムが複数の溝の間に散在する複数の突起を備えたこ
とを特徴とする前記装置。
【００８３】（１６）ワイヤボンディング・キャピラリ
において、管状の本体部分と、前記管状本体に結合され
た第１の回転要素であって、第２の回転要素と嵌合可能
で前記キャピラリに段階的回転を与えてなる前記第１の
回転要素と、を具備したことを特徴とする前記キャピラ
リ。
【００８４】（１７）第１６項記載のワイヤボンディン
グ・キャピラリにおいて、前記キャピラリがシャフト部
分を有し、前記第１の回転要素が前記シャフト部分に結
合されていることを特徴とする前記キャピラリ。
【００８５】（１８）第１７項記載のワイヤボンディン
グ・キャピラリにおいて、前記第１の回転要素が前記シ
ャフト部分を取り囲み、前記第１の回転要素の回転軸が
前記キャピラリの縦軸と同軸であることを特徴とする前
記キャピラリ。
【００８６】（１９）ホーンと、前記ホーンに回転可能
に取り付けられたキャピラリと、前記キャピラリに少な
くとも部分的に結合され、前記キャピラリに段階的回転
を与えるようになっている回転装置と、を具備したこと
を特徴とするワイヤボンディング・マシーン。
【００８７】（２０）第１９項記載のワイヤボンディン
グ・マシーンにおいて、前記回転装置が、前記キャピラ
リに結合された第１の回転要素と、前記第１の回転要素
と嵌合可能であって、前記キャピラリに段階的回転を与
える第２の回転要素と、を備えたことを特徴とする前記
マシーン。
【００８８】（２１）第１９項記載のワイヤボンディン
グ・マシーンにおいて、前記キャピラリに結合された少
なくとも１つのインジケータと、前記少なくとも１つの
インジケータと協動して、前記キャピラリの回転位置を
決定する少なくとも１つの検出器と、を更に具備したこ
とを特徴とする前記マシーン。
【００８９】（２２）第２１項記載のワイヤボンディン
グ・マシーンにおいて、前記マシーンは、少なくとも１
つのインジケータ及び少なくとも１つの検出器の一方に
よって生成された信号に応答して前記回転装置を起動す
るコンピュータを更に具備したことを特徴とする前記マ
シーン。
【００９０】（２３）第１９項記載のワイヤボンディン
グ・マシーンにおいて、前記マシーンは、前記リードフ
レームの向きに応じて前記回転装置を起動するコンピュ
ータを更に具備したことを特徴とする前記マシーン。
【００９１】（２４）第１９項記載のワイヤボンディン
グ・マシーンにおいて、前記マシーンはリードフレーム
をワイヤボンディングするのに使用され、前記マシーン
は、前記リードフレームの向きに対応する記憶された情
報に応答して前記回転装置を起動するコンピュータを更
に具備したことを特徴とする前記マシーン。
【００９２】（２５）集積回路チップ・パッケージをワ
イヤボンディングする方法において、第１の方向に沿っ
てキャピラリの面の軸を位置合せする段階と、前記キャ
ピラリを使用して、前記集積回路チップ・パッケージ上
の第１のボンド点に第１のワイヤボンドを形成する段階
と、第２の方向に沿って前記キャピラリの面の前記軸を
再位置合せする段階と、前記キャピラリを使用して、前
記集積回路チップ・パッケージ上の第２のボンド点に第
２のワイヤボンドを形成する段階と、を具備したことを
特徴とする前記方法。
【００９３】（２６）第２５項記載の方法において、前
記位置合せ及び再位置合せ段階の少なくとも一方が、離
散的インクリメンタルステップでの前記キャピラリの段
階的回転によって達成されることを特徴とする前記方
法。
【００９４】（２７）回転装置１００はワイヤボンディ
ング・キャピラリ１０の縦軸の回りにキャピラリの正確
で段階的な回転をもたらす。このことによって、キャピ
ラリ１０が異なる角度位置合せまで回転して、異なる方
向にワイヤボンディングを行うことができる。回転装置
１００は段階的回転をもたらすのに、クリックリング型
式の装置、カム型式の装置または任意の他の装置であっ
て良い。回転装置１００の少なくとも一部がキャピラリ
１０に結合されている。回転装置の別の部分はキャピラ
リから離れているが、回転をもたらすのに第１の部分と
嵌合可能である。信号を検出器にもたらすのにインジケ
ータをキャピラリ上に位置決めすることができる。これ
らの信号を使用して、キャピラリを最初に位置合せする
と共に、ワイヤボンディングの際にキャピラリを再位置
合せすることができる。コンピュータを使用して、イン
ジケータ及び検出器の自動化制御、及び回転装置の自動
化回転をもたらすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ワイヤボンディング・キャピラリの正面図であ
る。
【図２】図１の線２−２についてのワイヤボンディング
・キャピラリの断面図である。
【図３】ワイヤボンディング・マシーンのホーンの略図
である。
【図４】図３の矢印４−４の方向から見たホーンの平面
図である。
【図５】本発明の第１の実施例による回転装置の正面図
である。
【図６】図５の回転装置の第１の位置を示す略図であ
る。
【図７】図５及び図６の回転装置の第２の位置を示す略
図である。
【図８】本発明の第２の実施例による、第１の位置にあ
る回転装置の略図である。
【図９】図８の矢印９−９の方向から見た回転装置の平
面図である。
【図１０】図８及び図９の回転装置の第２の位置を示す
略図である。
【図１１】図１０の矢印１１−１１の方向から見た回転
装置の平面図である。
【図１２】本発明の第３の実施例による回転装置及びワ
イヤボンディング・マシーンを示す略図である。
【符号の説明】
１０ キャピラリ ２０ シャフト部分 ３０ 先端部分 ６０ ホーン １００ 回転装置 １１０ 第１の回転要素 １１１ 第１のリング １１３ 突起 １１５，１１６ 縦面 １１７，１１８ 傾斜付き横面 １２０ 第２の回転要素 １２１ キャビティ １２２ 第２のリング １２３，１２４ ノッチ １３１，１３２，１４１，１４２ エッジ １５１ スプリング １５２ カンチレバー ２００ 回転装置 ２１１ カム ２１２ 突起 ２１３ 溝 ２２２ ローラ ２２３ シャフト ２３０ スプリング ３００ ワイヤボンディング・マシーン ３１２ リードフレーム ３２０ ソース（スプール） ３３０ 回転装置 ３５０ コンピュータ ３６０ ホーン ３７０ 電源 ３８０ インジケータ ３９０ 変換器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤボンディング・キャピラリを回転
    させる装置において、 前記キャピラリに結合されるようになっている第１の部
    分と、 前記第１の部分と嵌合可能であって、前記キャピラリに
    段階的回転を与える第２の部分と、を具備したことを特
    徴とする前記装置。
  2. 【請求項２】 集積回路チップ・パッケージをワイヤボ
    ンディングする方法において、 第１の方向に沿ってキャピラリの面の軸を位置合せする
    段階と、 前記キャピラリを使用して、前記集積回路チップ・パッ
    ケージ上の第１のボンド点に第１のワイヤボンドを形成
    する段階と、 第２の方向に沿って前記キャピラリの面の前記軸を再位
    置合せする段階と、 前記キャピラリを使用して、前記集積回路チップ・パッ
    ケージ上の第２のボンド点に第２のワイヤボンドを形成
    する段階と、を具備したことを特徴とする前記方法。
JP9351609A 1996-12-19 1997-12-19 ワイヤボンディング・キャピラリの段階的自動回転 Pending JPH10199926A (ja)

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US3348396P 1996-12-19 1996-12-19
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