KR19980064245A - 와이어 본딩 캐필러리의 단계적 자동 회전 - Google Patents

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KR19980064245A
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rotating
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스리니바산케이.코두리
Original Assignee
윌리엄비.켐플러
텍사스인스트루먼츠인코포레이티드
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Abstract

회전 장치(100)는 와이어 본딩 캐필러리(10)의 종축에 대해 이 캐필러리의 정밀한 단계적 회전을 제공한다. 이는 캐필러리(10)가 다양한 방향으로 와이어 본딩을 수행할 수 있도록 다양한 각 배치로 회전될 수 있게 한다. 회전 장치(100)는 단계적 회전을 제공하기 위한 클릭 링 형태의 장치, 캠 형태의 장치, 또는 다른 임의의 장치일 수 있다. 회전 장치(100)의 적어도 일부는 캐필러리(10)에 결합된다. 회전 장치의 다른 부분은 캐필러리와 분리되지만, 회전할 수 있도록 캐필러리에 결합된 일부와 결합될 수 있다. 검출기에 신호를 제공하기 위해 지시계가 캐필러리 상에 위치될 수도 있다. 신호는 캐필러리를 초기 정렬하고 와이어 본딩 중에 재정렬하는 데에 사용될 수 있다. 지시계 및 검출기의 자동화된 제어와 회전 장치의 자동화된 회전을 제공하기 위해 컴퓨터가 사용될 수도 있다.

Description

와이어 본딩 캐필러리의 단계적 자동 회전
본 발명은 전자 집적 회로 칩 패키지의 제조 중의 와이어 본딩 공정과 이 공정에 사용되는 캐필러리에 관한 것으로, 특히 와이어 본딩 캐필러리의 단계적 자동 회전에 관한 것이다.
집적 회로 칩 패키지는 패키지를 형성하기 위해 리이드 프레임(lead frame) 상에 집적 회로 칩을 장착하고 이들 2개의 구성 요소를 결합함으로써 통상 형성된다. 집적 회로 칩과 리이드 프레임은 캡슐화(encapsulate)될 수도 있다. 일반적으로, 상기 칩은 다수의 본드 패드들 사이의 소정의 간격에 따라 칩의 페리미터(perimeter) 주위로 위치될 수도 있는 다수의 본드 패드를 구비한다. 리이드 프레임은 페리미터 주위에 다수의 리이드를 통상 구비한다. 예컨대, 일 형태의 리이드 프레임은 각 측면이 다수의 리이드를 갖도록 통상 직사각형 형태를 갖는다. 이 리이드는 상대적으로 폭이 좁은 긴 형태를 각각 가질 수도 있다.
리이드 프레임은 X 방향 및 Y 방향을 가질 수도 있다. X 방향은 한 쌍의 대향 측면에 수직하고 Y 방향은 다른 쌍의 대향 측면에 수직하다. 전형적으로, 각각의 리이드는 리이드 축을 형성하는 상대적으로 좁고 긴 형상을 가진다. 임의의 리이드 프레임의 리이드 축은 X 또는 Y 방향 중 어느 하나로 연장하거나, 또는 X 또는 Y 방향 중 어느 하나로부터 어떤 각도로 오프셋(offset)될 수도 있다. 오프셋 각도는 리이드에 따라 변할 수도 있다. 리이드 축은 리이드 프레임의 소정의 측면의 중앙으로부터 코너 리이드 쪽으로 이동하므로, 리이드 축은 증가시킨 양만큼 수직으로부터 각방향으로 오프셋될 수도 있다. 또한, 한 본드 패드로부터 대응 리이드로의 방향에 의해 본딩 통로가 형성된다. 본딩 와이어는 본딩 통로를 따라 연장할 수도 있다. 소정의 세트의 대응 본드 패드 및 리이드에 있어서, 본딩 통로는 X 또는 Y 방향으로 연장하거나, 또는 X 또는 Y 방향 중 어느 하나로부터 어떤 각도로 오프셋될 수도 있다.
집적 회로 칩을 리이드 프레임의 리이드에 전기적으로 결합시키기 위해, 종종 와이어 본딩 기술을 사용한다. 와이어 본딩 기계는 이 기계 상에 장착된 본딩 와이어 스풀(spool)을 가질 수도 있다. 와이어 본딩 기계의 혼에 장착된 캐필러리를 통해 본딩 와이어가 관통될 수도 있다. 캐필러리를 수직 및 수평 양쪽으로 움직이게 하도록 혼을 조작할 수도 있다. 전형적으로 와이어 본딩 기계는 캐필러리의 출구 단부로부터 돌출하는 본딩 와이어의 단부를 가열하거나 또는 그 단부에 스파크(spark)를 인가하는 장치를 포함한다. 용융된 와이어는 혼이 캐필러리를 움직이도록 조작함으로써 타겟 본드 패드 상에 위치되는 볼(ball) 형상을 형성시킬 수도 있다.
이와 같이 본딩된 패드 본드가 제조된 후에, 충분한 양의 본딩 와이어를 풀어 캐필러리가 리이드 프레임의 타겟 리이드의 내부 단부에 근접한 위치로 이동되는 것을 허용한다. 본딩 와이어를 타겟 리이드의 내부 단부에 접속시키고 본딩 와이어를 절단시키도록 캐필러리를 조작하여서, 캐필러리의 출구 단부로부터 돌출하는 본딩 와이어는 새로운 타겟 본드와 타겟 리이드 사이에 새로운 와이어 본드를 자유로이 형성시킨다. 볼 본드, 스팃치 본드(stitch bond) 및 웨지 본드(wedge bond)를 포함하는 임의의 적절한 본드 형태가 본드 패드 또는 리이드 중 어느 하나에 제조될 수도 있다. 예컨대, 볼 본드가 본드 패드에서 사용될 수도 있다. 예컨대, 스팃치 본드가 리이드에 사용될 수도 있다. 본딩 공정을 보완하기 위해 패키지를 가열할 수도 있다. 또한, 초음파 에너지가 인가될 수도 있다.
와이어 본딩 기술에서의 문제점은 부분적으로는 소정의 패키지 내의 리이드의 수를 증가시키고 집적 회로 칩 패키지를 보다 소형화하고자 함으로써 발생한다. 이는 칩 상에 위치된 본딩 패드가 보다 더 소형화되어 패드 간격이 보다 근접 배치될 것을 요할 수도 있다. 리이드 프레임 상의 리이드에 대해서도 마찬가지다.
와이어 본딩 캐필러리의 출구 단부는 종종 캐필러리 표면으로 불린다. 종래의 캐필러리는 원형 표면을 가졌다. 원형 표면을 가진 캐필러리의 단점은 본드 사이의 간격이 제한된다는 것이다. 특정한 본드 패드에 본드가 만들어진 후에, 예컨대 인접 본드 패드가 지나치게 근접해 있다면, 캐필러리 표면은 인접 본드 패드 상에 본드를 만드는 공정 중에 제1 본드를 만들었던 볼 본드를 타격할 수도 있다. 이러한 단점을 해결하기 위한 한 가지 방법은 비원형 표면을 갖는 와이어 본딩 캐필러리를 이용하는 것이다. 예컨대, 테스트 등에게 허여된 미국 특허 제5,544,804호에는 이러한 형태의 해결 방법이 개시되어 있으며, 참조로 본 명세서에서 설명하기로 한다. 테스트 등의 특허는 비원형 표면을 갖는 상표명 BowTI 캐필러리이다. 상표명 BowTI 캐필러리는 볼 본드가 예컨대 원형 캐필러리 표면의 경우보다 상호 조밀하게 근접하는 것을 허용한다. 이는 오목면이 인접 본드를 타격하는 것을 피하기 때문에 성취될 수 있다. 상표명 BowTI 캐필러리는 스팃치 본드를 포함하는 기타 형태의 본드도 만들 수 있다.
비원형 표면을 갖는 캐필러리의 사용으로 인해 리이드 프레임의 X 또는 Y방향을 따라, 타겟 리이드의 종축을 따라, 또는 필요한 경우에 소정의 본딩 통로를 따라 캐필러리 표면의 종축에 대한 정확한 정렬의 필요성이 발생한다. 비원형 캐필러리의 정확한 정렬은 전형적인 캐필러리 표면의 상당히 작은 크기(예컨대, 4 내지 8 mils)로 인해 아주 어려워진다. 특히 집적 회로 칩 패키지의 크기를 축소시킨다는 관점에서, 캐필러리의 부정확한 정렬은 제조 공정 중에 결함있는 와이어 본드를 초래할 수 있다. 이는 본드 패드, 리이드 또는 양쪽 모두에 대한 캐필러리 표면의 부정확한 위치 설정을 포함하는 많은 요인으로 인해 초래될 수 있다. 결함있는 와이어 본딩은 부정확한 정렬로 인해 캐필러리가 후속의 본드 형성 중에 이미 형성된 본드를 타격 및/또는 손상하는 경우에도 발생한다. 공지된 캐필러리 및 와이어 본딩 기술에 관한 다른 문제점, 결점 및 단점이 상존한다.
본 발명의 목적은 와이어 본딩에 사용되는 캐필러리에 관계된 필요성을 충족하기 위한 것이다.
본 발명의 추가 목적은 와이어 본딩 기술과 관계된 필요성을 충족하기 위한 것이다.
본 발명의 추가 목적은 와이어 본딩 기계에 캐필러리를 설치하는 중에 용이하게 정렬될 수도 있는 와이어 본딩 기계용 캐필러리를 제공하는 것이다.
본 발명의 추가 목적은 와이어 본딩 공정 중에 용이하게 정렬 및 재정렬될 수도 있는 와이어 본딩용 캐필러리를 제공하는 것이다.
본 발명의 추가 목적은 상기 캐필러리의 사용 중에 캐필러리의 정렬이 용이하게 달성 및 검사될 수도 있는 캐필러리를 제공하는 것이다.
본 발명의 추가 목적은 와이어 본딩 캐필러리의 자동화된 단계적 회전을 제공하는 것이다.
본 발명의 이들 목적 및 여타 목적을 달성하기 위해, 와이어 본딩 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하기 위한 회전 장치가 구비된다. 제1 실시예에서, 상기 장치는 캐필러리에 결합되도록 설계된 제1 부분과 상기 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하도록 제1 부분과 결합될 수 있는 제2 부분을 포함한다.
일 태양에 의하면, 제1 부분은 제1 회전 요소이고 제2 부분은 제2 회전 요소이다. 제1 및 제2 회전 요소는 클릭 링(click ring)을 형성할 수도 있다. 제1 및 제2 회전 요소는 캠-롤러(cam-roller) 장치를 형성할 수도 있다.
다른 태양에 의하면, 와이어 본딩 캐필러리는 관형 본체부와 이에 결합된 제1 회전 요소를 구비한다. 제1 회전 요소는 상기 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하도록 제2 회전 요소와 결합될 수 있다.
다른 실시예에 의하면, 와이어 본딩 기계는 혼과 이에 회전가능하게 장착된 캐필러리를 구비한다. 회전 장치는 적어도 부분적으로 캐필러리에 결합되고 상기 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하도록 설계된다.
다른 실시예에 의하면, 와이어 본딩 방법에 제공된다. 캐필러리 표면은 제1 방향을 따라 정렬된다. 이 캐필러리는 제1 와이어 본드를 제조하는 데에 사용된다. 캐필러리 표면은 제2 방향을 따라 재정렬된다. 이 캐필러리는 제2 와이어 본드를 제조하는 데에 사용된다. 상기 캐필러리를 단계적으로 회전시킴으로써 재정렬이 달성된다.
도1은 와이어 본딩 캐필러리의 입면도.
도2는 도1의 선 2-2를 따라 절개한 청구항 제1항에 개시된 와이어 본딩 캐필러리의 단면도.
도3은 와이어 본딩 기계의 혼(horn)을 도시한 도면.
도4는 도3의 선 4-4를 따라 절개한 도3의 혼의 단면도.
도5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 회전 장치를 도시한 도면.
도6은 도5의 회전 장치의 제1 위치를 도시한 도면.
도7은 도5 및 도6의 회전 장치의 제2 위치를 도시한 도면.
도8은 제1 위치에 있는 본 발명의 제2 실시예에 의한 회전 장치를 도시한 도면.
도9는 도8의 화살표 9-9 방향으로 본 도8의 회전 장치의 평면도.
도10은 도8 및 도9의 회전 장치의 제2 위치를 도시한 도면.
도11은 도10의 화살표 11-11 방향으로 본 도10의 회전 장치의 평면도.
도12는 본 발명의 제3 실시예에 의한 회전 장치 및 와이어 본딩 기계를 도시한 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 캐필러리
60, 360 : 혼
100, 200, 330 : 회전 장치
110, 120 : 회전 요소
와이어 본딩 기계는 통상 공지되어 있다. 전형적인 와이어 본딩 기계는 금과 같은 임의의 적절한 본딩 재료를 포함할 수도 있는 본딩 와이어의 스풀(spool)을 포함한다. 본딩 와이어는 통상 캐필러리로 공지된 안내부(guide)를 통해 공급된다. 이러한 캐필러리는 본딩 공구로서 또한 작용한다. 이 캐필러리는 혼으로 공지된 와이어 본딩 기계의 아암(arm) 상에 장착될 수도 있다. 많은 다른 것들 중에서, 본 발명은 혼 상에 캐필러리를 회전가능하게 장착하는 것과, 종축에 대해 상기 캐필러리의 단계적 회전을 가능하게 하는 장치를 제공하는 단계를 개발하고자 하는 것이다. 캐필러리가 초기 정렬에 따라(예컨대, 캐필러리가 혼 상에 설치되자마자) 정밀하게 장착된다면, 캐필러리의 단계적 이동은 정밀한 각도량에 의한 상기 캐필러리의 회전을 가능하게 한다.
와이어 본딩 시스템은 혼을 갖는 와이어 본딩 기계를 구비한다. 캐필러리는 혼 내로 장착되고 본딩 와이어를 공급원으로부터 집적 회로 칩 패키지 상의 다양한 본딩 지점으로 안내한다. 캐필러리는 이로부터 이격된 하나 또는 그 이상의 검출기에 의해 수신되는 하나 또는 그 이상의 신호를 제공하는 하나 또는 그 이상의 지시계를 캐필러리 상에 가질 수도 있다. 신호는 캐필러리의 회전 정렬을 지시한다. 따라서, 이 신호는 캐필러리 표면 축의 방향을 또한 지시한다. 각각의 신호는 소정의 정렬에 비교된 캐필러리의 각도 오프셋(offset)을 지시하는 상대적인 신호 강도를 가질 수도 있다.
작동 중에, 캐필러리는 회전하여 캐필러리 표면 축이 제1 방향으로 연장하는 제1 회전 정렬될 수도 있다. 검출기에 의해 수신된 수신된 제1 신호는 제1 회전 정렬이 달성되는 때를 지시한다. 제1 본드는 제1 본드 지점(예컨대, 집적 회로 칩 상의 본드 패드)에 제조될 수도 있다.
캐필러리 표면 축이 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장하도록 캐필러리를 제2 회전 정렬 위치로 회전시킴으로써 상기 캐필러리는 재정렬될 수도 있다. 제2 본드는 캐필러리를 제2 본드 지점으로 안내함으로써 제2 본드 지점(예컨대, 리이드 프레임 상의 리이드)에 제조될 수도 있다.
후속 본딩(예컨대, 집적 회로 칩 상의 제2 본드 패드)을 위한 제1 방향 또는 제3 방향으로 상기 캐필러리는 다시 회전될 수도 있다. 캐필러리의 회전은 지시계 및 검출기의 상호 작용과 회전 정렬 및 재정렬을 지시하는 신호의 생성에 의해 달성된다. 캐필러리를 정밀하게 회전시키는 성능은 비원형 표면을 갖는 캐필러리에 특히 효과적이다. 비원형 표면의 축은 본드가 제조될 때 본딩 방향으로 이상적으로 정렬된다. 예를 들면, 캐필러리 표면 축을 리이드 축을 따라 정렬시키는 것이 바람직하다. 더욱이, 와이어 본드가 집적 회로 칩 패키지 주위에 제조됨에 따라 본딩 방향이 변경될 수 있다. 본 발명은 본딩 방향을 변경시키도록 설계된다. 전체적인 캐필러리 정렬 시스템의 추가 태양은 본원 출원인인 텍사스 인스트루먼트사에 양도된 미국 특허 출원 제 호(대리인 관리 번호 제TI-24970)에 개시되어 있다. 상기 출원은 1996년 12월 19일자로 출원되었고, 참고의 목적으로만 본원에서 사용된다.
본 발명은 캐필러리의 단계적 회전을 제공한다. 이는 지시계 및 검출기의 용도를 보충하거나 또는 대체할 수도 있다. 도1에 아주 상세히 도시된 바와 같이, 캐필러리(10)는 팁 부분(30)과 일체형인 축 부분(20)으로 구성된 관형 본체를 갖는다. 이 캐필러리는 종축(AA)의 일반적인 방향을 따라 그 내부를 통해 연장하는 종방향 보어를 갖는다. 캐필러리(10)의 종방향 보어는 입구 단부(40)와 출구 단부(50)를 갖는다. 본딩 와이어는 입구 단부(40) 내로 삽입되어 캐필러리(10)의 내부를 통해 연장하고 캐필러리(10)로부터 출구 단부(50)를 통해 배출된다.
양호하게는, 축 부분(20)은 도2에 보다 명확하게 도시된 바와 같이 원통형이고 단면이 원형이다. 그러나, 본딩 와이어가 캐필러리(10)의 내부를 통해 통과할 수 있는 한에는 다른 형태가 사용될 수도 있다. 예를 들면, 상기 캐필러리는 단면이 직사각형 또는 타원형일 수도 있다. 양호하게는, 캐필러리(10)의 축 부분(20)은 단면 직경이 Do인 외부 표면과 직경이 Di인 종방향 보어에 의해 한정된다. 양호하게는, 내부 직경 Di는 캐필러리(10)의 보어의 전체 길이를 따라 일정하다. 그러나, 캐필러리(10)가 일정한 벽 두께를 가진다면, Di는 Do의 변화에 따라 변한다.
양호하게는, 팁 부분(30)은 팁 부분(30)이 축 부분(20)과 만나는 제1 지점(31)으로부터 캐필러리(10)의 출구 단부가 위치하는 제2 지점(32)으로 하향 및 내향으로 테이퍼진다. 양호하게는, 제1 지점(31)에서의 팁 부분(30)의 외부 직경은 축 부분(20)의 Do와 동일하다. 양호하게는, 제2 지점(32)에서의 팁 부분(30)의 외부 직경은 제1 지점(31)에서의 외부 직경보다 작은 소정의 값을 갖는다.
캐필러리(10)는 임의의 적절한 재료로 제조될 수 있다. 그러나, 캐필러리(10)가 고강도 재료로 제조되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 캐필러리(10)는 고강도 세라믹 재료로 제조될 수도 있다.
와이어 본딩 기계의 혼은 도3 및 도4에 도시되어 있다. 혼(60)은 도시된 바와 같이 캐필러리(10)를 장착하기 위한 캐필러리 장착구(mounting receptacle; 61)를 갖는다. 혼(60)은 양호하게는 캐필러리(10)를 캐필러리 장착구(61) 내로 선택적으로 로킹하기 위한 로킹 기구(62)를 갖는다. 양호하게는, 캐필러리(10)는 로킹 기구(62)가 로킹되지 않은 위치에 있을 때 장착구(61) 내에서 종축 주위로 자유로이 회전할 수 있다.
(예컨대, 캐필러리 표면의 축이 X 방향 본딩을 위해 정렬되도록) 캐필러리(10)가 소정의 정밀한 초기 정렬에 따라 정렬되면, 정밀한 각도량에 의해 종축(AA) 주위로 캐필러리(10)를 회전시키는 것이 필요하다. 예를 들면, 캐필러리 표면의 축을 Y축, 또는 X 또는 Y 방향으로부터 오프셋된 다른 방향을 따라 정렬하는 것이 필요하다. 예를 들면, 타겟 리이드는 X축으로부터 시계 방향으로 15도만큼 오프셋되도록 배치된다. 캐필러리(10)의 표면이 상기 축을 따라 초기 정렬된다면, 캐필러리(10)는 각방향으로 오프셋된 타겟 리이드 상의 최적 본딩을 보장하기 위해 시계 방향으로 15도(또는 반시계 방향으로 345도)만큼 정밀하게 회전되어야 한다.
본 발명에 의하면, 비연속적인 증분 정도로 캐필러리의 제어된 단계적 회전을 가능하게 하기 위한 장치가 제공된다. 본 장치의 제1 부분은 캐필러리에 결합된다. 본 장치의 제2 부분은 캐필러리의 단계적 회전을 인가하기 위해 제1 부분과 결합될 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 의하면, 캐필러리(10)의 정밀한 단계적 회전을 가능하게 하는 장치(100)가 도5 내지 도7에 도시된다. 도5에 도시된 바와 같이, 장치(100)는 제1 회전 요소(110)와 제2 회전 요소(120)를 구비한다. 양호하게는, 제1 및 제2 회전 요소(110, 120)는 캐필러리(10)에 단계적 회전을 인가하기 위해 상호 작용한다.
양호하게는, 제1 및 제2 회전 요소(110, 120)는 클릭 링 래치트 구동기를 조인트 식으로 형성한다. 다른 클릭 링 형상이 본 발명에 사용될 수도 있다는 것을 명심해야 한다. 클릭 링과 다른 단계적 다중 안정 스위치가 본 발명에 사용될 수도 있다는 것을 명심해야 한다.
제1 실시예에 의하면, 제1 회전 요소(110)는 제1 링(111)을 포함하고, 제2 회전 요소(120)는 제2 링(122)을 포함한다. 제1 링(111)은 그 상에 형성된 적어도 하나의 돌출부(113)를 구비한다. 양호하게는, 제1 링(111)은 외부 원주 표면 상에 형성되고 제1 링(111)의 외부 표면으로부터 반경 방향 외향으로 연장하는 다수의 돌출부(113)를 포함한다. 각 돌출부(113)는 양호하게는 2개의 종방향 측면(115, 116)과 2개의 경사진 횡방향 측면(117, 118)을 구비한다. 제1 및 제2 경사진 횡방향 측면(117, 118)은 종방향 측면의 대향 단부와 결합된다. 따라서, 제1 및 제2 경사진 횡방향 측면(117, 118)은 공히 종방향 요소와 횡방향 요소를 갖는다. 양호하게는, 경사진 횡방향 측면(117, 118)은 상호 대향하게 경사진다. 보다 양호하게는, 경사진 횡방향 측면은 제1 종방향 측면(115)으로부터 제2 종방향 측면(116)으로 연장함에 따라 상호 멀어지게 경사진다.
도6 및 도7에 도시된 바와 같이, 제1 회전 요소(110)는 캐필러리(10)의 외부 표면과 기계적으로 결합된다. 이들 2개의 요소는 혼의 음향학적인 감쇄와의 임의의 간섭을 최소화하도록 고려하여 접착 본딩과 같은 임의의 적절한 본딩 기술을 이용하여 상호 결합될 수도 있다. 양호하게는, 사용된 임의의 본딩 기술은 캐필러리(10)가 와이어 본딩 공정 중에 작동되는 환경 조건을 견딘다. 선택적으로는, 제1 회전 요소(110)는 캐필러리(10)의 일부로서 형성될 수도 있다. 이하에 상세히 기술되는 바와 같이, 장치(100)가 해제 위치에 있을 때 캐필러리(10)가 와이어 본딩 기능을 수행하기 위해 종축을 따라 정확한 위치되도록 본 장치(100)는 캐필러리(10)의 종축을 따라 위치되어야 한다.
제2 링(122)은 양호하게는 제1 링(111)과 상호 결합된다. 제2 링(122)은 제1 링(111)의 적어도 하나의 돌출부(113)와 상호 작용하도록 적어도 하나의 노치를 포함한다. 양호하게는, 적어도 하나의 노치는 제2 링(122)의 내부 표면에 형성된 공동(121)의 일부에 의해 한정된다. 돌출부(113)는 제1 링(111)으로부터 공동(121) 내로 반경 방향 외향으로 연장한다. 양호하게는, 제2 링(122)은 다수의 제1 노치(123)와 다수의 제2 노치(124)를 구비한다. 제1 노치(123)는 제2 노치(124)와 종방향으로 이격된다. 양호하게는, 노치(123, 124)는 제2 링(122)의 내부 표면에 형성된다. 제2 링(122)의 내부 직경은 제1 링(111)의 외부 직경보다 다소 크게 형성된다. 이는 도6 및 도7에 도시된 바와 같이 제1 링(111)의 외부에 끼워질 수 있게 된다. 또한, 제1 및 제2 링은 상호 간에 종방향으로 이동할 수 있어야 한다.
양호하게는, 각 노치(123)는 제1 모서리(131)와 제2 모서리(132)를 갖는다. 제1 모서리(131)는 종방향으로 연장한다. 제2 모서리(132)는 경사지고 횡방향으로 연장한다. 따라서, 제2 모서리(132)는 종방향 및 횡방향 요소를 공히 갖는다. 제1 및 제2 모서리(131, 132)는 각 노치(123)의 한계를 형성하도록 한 단부에서 만난다. 다른 단부에서는, 제1 및 제2 모서리(131, 132)는 노치 개구를 형성한다. 양호하게는, 제2 모서리(132)의 종방향 요소는 제1 모서리(131)의 길이와 동일하다. 또한, 제2 모서리(132)의 종방향 요소는 양호하게는 돌출부(113)의 제1 경사진 모서리(117)의 종방향 요소와 동일하다. 또한, 제2 모서리(132)의 횡방향 요소는 양호하게는 돌출부(113)의 제1 경사진 모서리(117)의 횡방향 요소와 길이 및 방향이 동일하다. 따라서, 돌출부(113)의 제1 팁은 제1 노치(123) 내로 원활하게 끼워진다.
양호하게는, 각각의 제2 노치(124)는 제1 모서리(141) 및 제2 모서리(142)를 갖는다. 제1 모서리(141)는 종방향으로 연장한다. 제2 모서리(142)는 횡방향으로 경사지고 연장된다. 따라서, 제2 모서리(142)는 공히 종방향 및 횡방향 요소를 갖는다. 제1 및 제2 모서리(141, 142)는 각각의 노치(124)의 한계를 형성하기 위해 한 단부에서 만난다. 다른 단부에서는, 제1 및 제2 모서리(141, 142)는 노치 개구를 형성한다. 양호하게는, 제2 모서리(142)의 종방향 요소는 제1 모서리(141)의 길이와 동일하다. 또한, 제2 모서리(142)의 종방향 요소는 양호하게는 돌출부(113)의 제2 경사진 모서리(118)의 종방향 요소와 동일하다. 또한, 제2 모서리(142)의 횡방향 요소는 양호하게는 돌출부(113)의 제2 경사진 모서리(118)의 횡방향 요소와 길이 및 방향이 동일하다. 따라서, 돌출부(113)의 제2 팁은 제2 노치(124) 내로 원활하게 끼워진다.
양호하게는, 제1 노치(123)는 캐필러리(10)의 종축 주위로 소정의 간격으로 형성된다. 이는 캐필러리(10)의 정밀한 단계적 회전을 가능하게 한다. 예를 들면, 제1 노치(123)는 매 5, 10, 45 및 90도에 위치될 수도 있다. 상기 간격이 상대적으로 작을 때, 캐필러리(10)의 회전에 사용될 수 있는 보다 많은 회전 위치가 있게 된다. 대조적으로, 상기 간격이 상대적으로 클 때 이용할 수 있는 회전 위치가 보다 작게 된다. 상기 간격은 임의의 각도량일 수도 있다. 또한, 각각의 간격은 동일할 수 있으며, 한 간격은 다른 간격과는 다른 각도량을 가질 수 있다. 리이드 프레임 및 리이드의 본딩 공정, 소정의 해상도/정밀도 및 배치는 제1 노치(123) 사이의 각도 간격을 결정한다.
양호하게는, 제2 노치(124)는 제1 노치(123)로부터 각방향으로 오프셋된다. 그렇지 않다면, 각각의 제2 노치(124)는 각각의 각방향으로 인접한 제1 노치(123)에 대응하는 치수를 가져야 한다. 제1 및 제2 노치(123, 124) 사이의 상대적인 오프셋은 이하에서 추가로 설명되는 바와 같은 클릭 기능 중에 부분적인 각방향 회전을 제공한다. 이는 돌출부(113)의 제1 팁이 후술하는 해제 기능 전에 개구를 지나 이동할 수 있게 한다. 양호하게는, 각 돌출부(113)의 제2 종방향 측면(116)의 길이는 충분히 작아서 공동(121) 내에서 돌출부(113)의 회전 이동을 가능하게 한다.
전술한 제1 및 제2 회전 요소가 본 발명에 의해 사용될 수도 있는 클릭 링 형태의 장치의 단순한 예라는 것을 명심해야 한다. 단계적인 간격이 완화되게 하는 다른 장치가 본 발명에 사용될 수도 있다. 또한, 모든 경우에 제1 및 제2 회전 요소가 제공되거나, 또는 제공된다면 제1 회전 요소가 캐필러리와 결합되고 제2 회전 요소가 혼과 결합되는 것이 필요한 것은 아니다. 특정 요소 및 그 배치는 선택된 단계적 회전 장치에 따른다.
도5 내지 도7의 예로 돌아가면, 제1 바이어스 기구(biasing mechanism; 151)는 캐필러리(10)를 제1 종방향으로 바이어스하도록 제공된다. 양호하게는, 제1 바이어스 기구(151)는 제1 및 제2 회전 요소(110, 120)를 둘러싸는 스프링을 포함한다. 스프링(151)의 한 단부는 표면 혼(60)과 맞닿는다. 스프링(151)의 다른 단부는 클릭 패드(160)와 맞닿는다. 클릭 패드(160)는 양호하게는 제1 링(111)과 일체형이고 제1 및 제2 링(111, 122)의 반경 방향 한계를 초과하여 연장한다. 스프링(151)은 클릭 패드(160)를 해제 위치로 바이어스시키고자 한다. 따라서, 스프링(151)은 돌출부(113)를 제1 홈(123)으로 바이어스시킨다. 양호하게는, 제1 바이어스 기구(151)는 연속적인 바이어스를 제공한다. 즉, 제1 바이어스 기구(151)는 캐필러리(10)를 제1 종방향으로 따라 연속적으로 압착한다.
제2 바이어스 기구(152)는 상기 캐필러리를 제2 종방향(제1 종방향과 반대 방향)으로 바이어스시키기 위해 제공된다. 따라서, 제2 바이어스 기구(152)는 제1 바이어스 기구(151)의 연속 바이어스에 대항하여 돌출부(113)를 제2 홈(124) 내로 압착한다. 양호하게는, 제2 바이어스 기구는 주기적인 바이어스를 제공한다. 즉, 제2 바이어스 기구가 작동될 때, 제2 바이어스 기구는 제2 종방향으로 캐필러리(10)를 단지 압착한다. 이는 소정의 시간 간격 또는 랜덤하게(randomly) 발생한다. 그러나, 제2 바이어스 기구(152)의 작동은 캐필러리(10)의 회전이 필요한 때에만 발생한다.
외팔보(152)는 혼(60)에 결합될 수도 있다. 선택적으로, 외팔보(152)는 (도시되지 않은) 와이어 본딩 기계의 다른 부분 또는 상기 와이어 본딩 기계와 분리된 기부(base)에 결합될 수도 있다. 또한, 제2 바이어스 기구는 외팔보일 필요는 없다. 소정의 바이어스 작용력을 제공할 수 있는 임의의 장치가 사용될 수도 있다.
회전 장치(100)의 작동을 이제 설명한다. 예를 들면, 제1 노치(123)가 5도 간격으로 이격된다고 가정할 수도 있다. 캐필러리(10)는 소정의 축, 예컨대 와이어 본딩 기계의 본딩 플랫폼(platform)의 X축에 대해 초기 정렬될 수 있다. 제1 본드는 예컨대 제1 본드 패드에 제조된다. 캐필러리 표면 축이 제1 본드 패드에 대응되는 리이드용 리이드 축과 정렬되도록 상기 캐필러리를 회전시키는 것이 필요하다. 예를 들면, 리이드 축이 5도만큼 X축으로부터 오프셋된다고 가정하면, 상기 캐필러리는 하나의 클릭 단계(예컨대, 5도 회전)만큼 회전된다. 리이드 상에 본드가 형성된다. 캐필러리는 제2 본드 패드에 대해 다시 X 방향으로 회전된다. 이는 캐필러리를 다른 355도만큼 회전시키기 위해 충분한 개수의 클릭에 의해 달성될 수 있다. 후속의 재정렬 및 본딩은 모든 와이어 본드가 제조될 때까지 계속된다.
초기에는, 제2 바이어스 기구가 작동되지 않도록 해제 위치에 있다. 따라서, 제1 바이어스 기구(151)는 도7에 도시된 바와 같이 돌출부(113)를 제1 노치(123) 내로 자유로이 압착한다. 캐필러리(10)를 소정의 위치로 회전시키기 위해, 제2 바이어스 기구(152)는 도6에 도시된 바와 같이 작동한다. 외팔보(152)는 스프링(151)의 작용력에 대항하여 클릭 패드(160)에 압착된다. 이는 돌출부(113)를 제2 종방향으로 이동시킨다. 각각의 제2 경사진 모서리(118)를 따른 지점은 제2 노치(124)의 제2 모서리(142)의 각각의 개구와 결합한다. 모서리(118)와 제2 노치(124)의 제2 모서리(142)의 상대적인 경사도로 인해, 돌출부(113)에, 따라서 캐필러리(10)에 회전이 인가된다. 돌출부(113)는 노치(124)의 종방향 한계에 도달할 때까지 제2 종방향으로 계속 압착된다. 이때, 클릭 기능은 종료하고, 캐필러리(10)는 일부의 5도 간격으로 단지 회전한다. 그러나, 각각의 노치(124)를 지나 각각의 돌출부(113)를 충분히 회전시키기 때문에 이러한 부분적인 회전 기능은 중요하다. 이는 후속의 해제 기능 중에 돌출부(113)가 클릭 기능의 개시 시에 가진되는 노치(123)에 인접한 노치(123) 내로 돌출부(113)가 압착되는 것을 보장한다. 부분적인 회전이 제공되지 않는다면, 돌출부(113)는 동일한 제1 노치(123)로 단순히 복귀한다.
후속의 해제 단계(도7) 중에, 제2 바이어스 기구(152)는 작동된다. 스프링(151)은 제1 종방향으로 캐필러리(10)를 자유로이 압착한다. 제1 경사진 모서리(117)는 제1 노치(123)의 제2 모서리(132)의 개구 단부와 결합한다. 모서리(117)와 노치(123)의 제2 모서리(132)의 상대적인 경사도는 클릭 단계 중에 제공된 부분적인 회전과 동일한 방향으로 추가 회전을 인가한다. 스프링(151)이 돌출부(113)를 제1 노치(123) 내로 완전히 바이어스할 때까지 회전은 계속된다. 이때, 캐필러리(10)는 정밀한 5도 각도로 회전된다.
클릭 및 해제 단계는 90도 회전을 완성하기 위해 추가의 17회를 반복한다. 혼(60) 및/또는 본딩 플랫폼은 Y 방향 본딩을 제공하기 위해 조작될 수도 있다. 전술한 형상 및 절차는 캐필러리(10)의 종축에 대한 시계 방향 또는 반시계 방향으로의 소정의 단계적 회전의 임의의 양을 제공하도록 변경될 수도 있다는 것을 알아야 한다. 또한, 완전한 소정 간격의 회전은 클릭 단계 중에 제공된 제1 회전량과 해제 단계 중에 제공된 제2 회전량의 전체로 구성된다는 것을 알 수 있다. 따라서, 캐필러리의 전후로의 종방향 이동은 캐필러리의 단계적 회전으로 바뀌고, 종방향 작용력은 회전력으로 바뀐다.
본 발명의 제2 실시예가 도8 내지 도11에 도시된다. 회전 장치(200)는 제1 회전 요소 및 제2 회전 요소를 갖는다. 제1 회전 요소는 양호하게는 캠(211)이고 제 회전 요소는 양호하게는 롤러(222)이다. 캠(211) 및 롤러(222)는 캐필러리(10)의 정밀한 단계적 회전을 제공하도록 상호 작용한다.
캠(211)은 접착 본딩과 같은 임의의 적절한 결합 기술에 의해 캐필러리(10)에 결합된다. 선택적으로, 캠(211)은 캐필러리(10)의 일체형 부분으로 형성될 수 있다. 양호하게는, 캠(211)은 캐필러리(10)의 중앙 부분에 결합되고 이를 둘러싼다. 도9에 가장 잘 도시된 바와 같이, 캠(211)은 다수의 홈(213) 사이에 산재된(interspersed) 다수의 돌출부(212)를 갖는다. 양호하게는, 돌출부(212) 및 홈(213)은 롤러(222)용으로 결합되고 이에 원활한 전달을 제공하기 위해 원형이다. 양호하게는, 롤러(222)는 축(223)에 회전가능하게 장착된다. 축(223)은 양호하게는 혼(60)에 결합되고, 혼(60)의 종축을 따라 단지 전후로 이동할 수 있다. 스프링(230)과 같은 바이어스 기구는 롤러(222)를 캠(211)에 대해 바이어스시키기 위해 제공된다.
도8 및 도9에 도시된 바와 같이 불안정한 위치에서, 캠(211)은 돌출부(212)의 최외부 지점이 혼(60)의 종축을 따라 위치하도록 배치되며, 따라서 롤러(222) 상의 각각의 지점과 접촉한다. 이러한 상황에서, 스프링(230)은 압축된다. 이러한 위치는 불안정하다. 스프링(230)의 바이어스 작용력으로 인해, 캠(211)은 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하고자 한다. 양호하게는, 캠(211)은 캐필러리(10)의 소정의 회전 정렬에 따른 특정 회전 방향으로 자동적으로 또는 작동자에 의해 회전된다.
도10 및 도11에 도시된 바와 같이 안정된 위치에서, 롤러(222)는 홈(213) 내로 바이어스된다. 이러한 상황에서, 회전력이 캠(211)에 인가되지 않는다면, 캠(211)은 자체적으로 회전하고자 않는다. 또한, 축(223)이 혼(60)의 종축을 따라 단지 이동할 수 있다는 사실과 스프링(230)의 바이어스 작용력으로 인해, 롤러(222)는 캠(211)의 회전을 저지하고자 한다. 따라서, 특정량의 작용력은 캠(211)을 회전시키는 데에 필요하며 롤러(222)를 캐필러리(10)로부터 멀어지게 이동시킨다. 소정의 특정 작용력이 롤러(222)의 저항력에 대항하여 캠(211)을 회전시키는 데에 필요하도록 개별 요소가 설계될 수 있다.
양호하게는, 홈(213)은 캠(211)의 회전축에 대해 소정의 간격으로 제공된다. 예를 들면, 홈(213)은 매 5도 간격으로 제공될 수도 있다. 상기 간격은 회전 장치(200)를 이용하는 적용예에 필요한 회전 분해능의 정도에 따른다. 양호하게는, 적어도 하나의 홈은 초기 본딩 축을 따라 정렬되고 다른 홈은 와이어 본딩 공정을 겪는 리이드 프레임의 다른 본딩 축을 따라 정렬된다.
작동 시에, 홈(213)의 5도 간격을 가정하면, 캐필러리(10)는 정밀한 초기 정렬에 따라 정렬된다. 롤러(222)는 이 지점에서 홈(213) 내로 완전히 바이어스된다. 예를 들면, 90도의 회전이 필요하다면, 캠(211)은 롤러(222)가 18회 사이클로 캐필러리(10)를 향해 이로부터 멀어지게 이동하도록 회전한다. 롤러(222)는 캐필러리(10)의 90도 회전 정렬과 정밀하게 대응되는 홈(213) 내로 완전히 바이어스된다.
다른 형태의 캠 배치가 사용될 수도 있다는 것을 알아야 한다. 예를 들면, 상기 캠 및 롤러는 롤러(222)의 이동이 캠(211)의 이동을 발생시키도록 형상화될 수도 있다. 또한, 캠(211) 및 롤러(222)의 위치는 바뀔 수도 있다. 따라서, 임의의 형태의 캠 장치는 캐필러리(10)에 다수의 안정된 회전 위치를 제공할 수 있는 한에는 채택될 수 있다.
도12에 도시된 바와 같이 본 발명의 제3 실시예에 의하면, 본 발명의 회전 장치[예컨대, 장치(100) 또는 장치(200)]는 와이어 본딩 기계 내에 사용될 수도 있다. 기계(300)는 장착 플랫폼(311)을 갖는 본체(310)를 구비한다. 장착 플랫폼(311)은 와이어 본딩용 리이드 프레임(312)을 수납하도록 설계된다. 기계(300)는 이에 부착된 혼(360)을 구비한다. 혼(360)은 장착구(361) 내에 장착된 캐필러리(10)를 갖는다. 캐필러리(10)는 로킹 기구(362)가 작동되지 않는 한에는 장착구(361)와 함께 회전할 수 있다. 혼(360)은 와이어 본딩된 리이드 프레임(312)으로 조작될 수 있다. 또한, 기계(300)는 이에 장착된 본딩 와이어(320)의 공급원(예컨대, 스풀)을 구비한다. 이 본딩 와이어는 캐필러리(10)를 통해 통과할 수 있고 리이드 프레임 상의 와이어 본드를 완성하는 데에 사용될 수도 있다.
회전 장치는 캐필러리(10)에 적어도 부분적으로 결합된다. 양호하게는, 회전 장치(330)의 제1 부분은 캐필러리(10)에 결합되고, 회전 장치(330)의 제2 부분은 캐필러리(10)로부터 분리되어 있으나 상기 제1 부분과 결합될 수 있다. 회전 장치(330)의 제2 부분은 혼(360)에 결합되거나 맞닿을 수도 있다.
회전 장치(330)의 제1 부분은 상기 캐필러리에 단계적 회전을 인가하도록 제2 부분과 결합될 수 있다. 양호하게는, 제1 및 제2 부분의 상호 간에 대한 종방향 이동은 제1 부분이 제2 부분에 대해 회전하게 한다.
본 발명의 특징에 의하면, 캐필러리(10)는 하나 또는 그 이상의 검출기에 하나 또는 그 이상의 신호를 제공하기 위해 본체 내에 사용된 하나 또는 그 이상의 제1 지시계를 구비할 수도 있다. 지시계는 능동적, 수동적, 기계적, 전기적, 광학적, 자기학적 및 다른 것을 포함하는 임의의 형태의 것을 가질 수도 있다. 또한, 하나 또는 그 이상의 제2 지시계는 캐필러리(10) 상의 하나 또는 그 이상의 지시계와 상호 작용하도록 제공될 수도 있다. 예를 들면, 도12에 도시된 바와 같은 배치에 있어서, 제1 지시계[예컨대, 지시계(380)]는 예컨대 반사 표시를 구비할 수 있다. 이 표시는 광학적으로 검출될 수 있다. 양호하게는, 적어도 하나의 표시는 캐필러리(10)의 표면 축과 정렬된다. 검출기[트랜스듀서(390)]는 지시계를 검출하여 대응되는 검출 신호를 발생시킨다. 양호하게는, 지시계 및 트랜스듀서는 트랜스듀서(390)가 지시계를 검출할 때 캐필러리(10)의 표면 축이 소정의 본딩 방향(예컨대, X 축 또는 Y 축, 또는 정밀한 양으로 오프셋된 축)을 따라 정밀하게 정렬된다. 트랜스듀서(390)로부터의 전기 신호는 캐필러리(10)가 정확하게 정렬된다는 것을 나타내기 위해 (도시되지 않은) 디스플레이(display)로 통과한다.
따라서, 상기 지시계는 캐필러리(10)의 회전 위치를 판단하도록 검출되어 사용될 수도 있는 신호를 제공한다. 선택적으로, 이 지시계는 검출기에 의해 수신된 신호를 제공할 수도 있다. 이 신호는 상대적인 신호 강도를 가질 수도 있다. 예를 들면, 이 신호는 제1 지시계 및 검출기가 상호 최대 근접한 때에 더 강할 수 있다. 이 신호는 상기 2개의 요소가 캐필러리(10)의 회전에 의해 분리되는 때에 약해질 수도 있다. 감지된 신호의 강도는 캐필러리(10)의 소정의 회전 정렬로부터 오프셋된 각도량을 나타낸다.
지시계(380) 및 검출기(390)는 양호하게는 혼(360) 및/또는 본딩 플랫폼 또는 리이드 프레임에 대한 캐필러리(10) 및 회전 장치(100)의 정밀한 초기 정렬을 달성하는 데에 사용된다. 초기 정렬 후 및 와이어 본딩 공정 중에, 양호하게는 전술한 바와 같은 단계적 회전 장치[예컨대, 장치(100 또는 200)]에 의해 정밀 회전이 제공된다. 지시계(380) 및 검출기(390)는 캐필러리(10)의 적절한 소정의 회전 정렬을 확인하기 위해 와이어 본딩 중에 사용될 수도 있다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 회전 및 정렬은 도12에 도시된 바와 같은 컴퓨터(350)에 의해 완전 제어될 수도 있다. 도시된 예에서, 회전 장치(330)는 클릭 링이다. 그러나, 본 발명에 의한 임의의 회전 장치가 사용될 수도 있다. 클릭 링의 예에서, 컴퓨터(350)는 상기 캐필러리의 소정의 회전 위치를 결정한다. 이는 리이드 프레임의 소정의 형상에 근거하여 달성될 수 있다.
양호하게는, 컴퓨터는 외팔보(cantilever)를 작동시키는 동력원(370)을 작동시키는 신호를 전송하고, 상기 외팔보를 회전 장치(330)의 클릭 패드와 결합하게 한다. (도시되지 않은) 계수 장치는 클릭 링의 클릭-해제 사이클의 수를 계수하도록 포함될 수도 있다. 소정의 방향을 따른 캐필러리 표면의 축을 정렬시키는 데에 필요한 회전 정렬에 대응하는 다수의 사이클이 수행된 때 정밀 회전이 달성된다. 상기 방향은 하나의 본딩 지점으로부터 다른 지점으로 변경될 수 있다. 따라서, 컴퓨터는 정렬 및 재정렬을 제어한다.
선택적으로, 캐필러리(10)가 소정의 회전 위치에 도달했다는 것을 나타내는 검출기에 지시계가 신호를 제공할 때 상기 검출기는 컴퓨터에 입력을 제공한다. 컴퓨터는 회전 장치에 비작동 신호를 전송하고 와이어 본딩 기계는 본딩을 진행한다.
이러한 특징의 일 태양에 의하면, 각각의 리이드의 배치를 직접 감지하기 위한 다른 감지 장치가 제공된다. 예를 들면, 공지된 스캐닝(scanning) 기술에 의해 달성될 수도 있다. 이러한 정보는 대응되는 작동 신호를 회전 장치에 전송할 수도 있는 컴퓨터에 전달된다. 회전 장치는 컴퓨터 메모리 내에 저장된 리이드 프레임의 소정의 배치와는 달리 특정 리이드의 배치에 근거하여 정확한 위치로 상기 캐필러리를 회전시킨다.
본 발명은 양호한 실시예와 관련하여 설명되었으나, 이는 단지 예로서만 제시된 것이다. 본 기술 분야의 당업자는 후속의 특허 청구의 범위에 청구된 본 발명의 요지 및 범위를 벗어나지 않고서도 이들 실시예에 대한 변경을 용이하게 할 수 있다는 것을 알 수 있다.
본 발명에 의하면, 와이어 본딩 기계에 캐필러리를 설치하는 중에 또는 와이어 본딩 공정 중에 와이어 본딩용 캐필러리를 용이하게 정렬 또는 재정렬할 수 있을 뿐만 아니라 사용 중에도 검사를 용이하게 할 수 있다. 또한, 와이어 본딩용 캐필러리의 자동화된 단계적 회전을 가능하게 된다.

Claims (26)

  1. 와이어 본딩 캐필러리를 회전시키기 위한 장치에 있어서,
    캐필러리에 결합되도록 설계된 제1 부분과, 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하기 위해 제1 부분과 결합될 수 있는 제2 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1 부분은 제1 회전 요소를 구비하고, 제2 부분은 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하기 위해 제1 회전 요소와 상호 작용하는 제2 회전 요소를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 캐필러리는 와이어 본딩 기계의 혼에 장착되고, 제2 회전 요소는 상기 혼에 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제2항에 있어서, 제1 및 제2 회전 요소는 클릭 링 래치트 구동기를 형성하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제2항에 있어서, 제1 및 제2 회전 요소 중의 하나는 적어도 하나의 돌출부를 갖는 제1 링을 구비하며, 제1 및 제2 회전 요소 중의 다른 하나는 적어도 하나의 돌출부를 수납하기 위한 적어도 하나의 홈을 갖는 제2 링을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제2항에 있어서, 캐필러리의 종축을 따라 제1 방향으로 캐필러리를 바이어스시키기 위한 제1 바이어스 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 제1 바이어스 기구가 캐필러리를 바이어스시킬 때 제1 회전 요소는 제2 회전 요소에 대해 제1의 양만큼 회전하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 캐필러리의 종축을 따라 제2 방향으로 캐필러리를 바이어스시키기 위한 제2 바이어스 기구를 더 구비하며, 제1 바이어스 기구가 캐필러리를 바이어스시킨 후에 제2 바이어스 기구가 캐필러리를 바이어스시킬 때 제1 회전 요소는 제2 회전 요소에 대해 제2의 양만큼 회전하는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제8항에 있어서, 제1 및 제2 회전량은 캐필러리의 종축에 대해 동일한 회전 방향이 되며, 제1 및 제2 회전량은 소정의 회전 간격의 합이 되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제6항에 있어서, 제1 바이어스 기구는 캐필러리를 연속적으로 바이어스시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제6항에 있어서, 제1 바이어스 기구는 캐필러리를 주기적으로 바이어스시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제2항에 있어서, 제1 회전 요소는 캠을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제12항에 있어서, 제1 회전 요소는 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제13항에 있어서, 롤러를 캠에 대항하여 바이어스시키기 위한 바이어스 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제12항에 있어서, 캠은 다수의 홈 사이에 산재된 다수의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 관형 본체부와,
    상기 관형 본체부에 결합된 제1 회전 요소-여기서, 상기 제1 회전 요소는 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하기 위해 제2 회전 요소와 결합할 수 있음-를,
    구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 캐필러리.
  17. 제16항에 있어서, 캐필러리는 축 부분을 가지며, 제1 회전 요소는 축 부분에 결합되는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 캐필러리.
  18. 제17항에 있어서, 제1 회전 요소는 축 부분을 둘러싸며, 제1 회전 요소의 회전 축은 캐필러리의 종축과 동축을 이루는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 캐필러리.
  19. 혼과,
    상기 혼 상에 회전가능하게 장착된 캐필러리와,
    상기 캐필러리에 적어도 부분적으로 결합되고 이에 단계적인 회전을 인가하도록 설계된 것을 회전 장치를,
    구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 기계.
  20. 제19항에 있어서, 상기 회전 장치는 캐필러리에 결합된 제1 회전 요소와, 상기 캐필러리에 단계적인 회전을 인가하기 위해 제1 회전 요소와 결합될 수 있는 제2 회전 요소를 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 기계.
  21. 제19항에 있어서, 캐필러리에 결합된 적어도 하나의 지시계와, 상기 캐필러리의 회전 위치를 결정하기 위해 적어도 하나의 지시계와 상호 작용하는 적어도 하나의 검출기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 기계.
  22. 제21항에 있어서, 적어도 하나의 지시계 및 적어도 하나의 검출기에 의해 발생된 신호에 따라 회전 장치를 작동시키는 컴퓨터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 기계.
  23. 제19항에 있어서, 리이드 프레임을 와이어 본딩하는 데에 사용되고, 상기 리이드 프레임의 배치에 따라 회전 장치를 작동시키는 컴퓨터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 기계.
  24. 제19항에 있어서, 리이드 프레임을 와이어 본딩하는 데에 사용되고, 상기 리이드 프레임의 배치에 해당되는 저장된 정보에 따라 회전 장치를 작동시키는 컴퓨터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 기계.
  25. 집적 회로 칩 패키지를 와이어 본딩하는 방법에 있어서,
    제1 방향을 따라 캐필러리의 표면 축을 정렬하는 단계와,
    상기 캐필러리를 사용하여 집적 회로 칩 패키지 상의 제1 본드 지점에 제1 와이어 본드를 형성하는 단계와,
    제2 방향을 따라 캐필러리 표면의 축을 재정렬하는 단계와,
    상기 캐필러리를 이용하여 집적 회로 칩 패키지 상의 제2 본드 지점에 제2 와이어 본드를 형성하는 단계를,
    포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 방법.
  26. 제25항에 있어서, 정렬 단계 및 재정렬 단계 중의 적어도 한 단계는 하나 또는 그 이상의 이산 증분 정도로 상기 캐필러리를 단계적으로 회전시킴으로써 달성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 방법.
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