JPH10197751A - 導波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置 - Google Patents
導波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置Info
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- JPH10197751A JPH10197751A JP372497A JP372497A JPH10197751A JP H10197751 A JPH10197751 A JP H10197751A JP 372497 A JP372497 A JP 372497A JP 372497 A JP372497 A JP 372497A JP H10197751 A JPH10197751 A JP H10197751A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】導波路と光ファイバの光軸調整を短時間で且つ
全自動で行う、導波路と光ファイバの光軸調整方法及び
光軸調整装置を提供する。 【解決手段】観察カメラを用いて粗い位置決めを行い、
次に接触センサを用いて高精度に位置決めする範囲を最
小に設定する。
全自動で行う、導波路と光ファイバの光軸調整方法及び
光軸調整装置を提供する。 【解決手段】観察カメラを用いて粗い位置決めを行い、
次に接触センサを用いて高精度に位置決めする範囲を最
小に設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は導波路と光ファイバ
の光軸を調整する方法及び光軸を調整する装置に関する
ものである。
の光軸を調整する方法及び光軸を調整する装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】導波路型光部品はシリコンあるいは石英
基板上に様々な光回路を形成したもので、比較的量産が
容易であるため低コスト化が見込まれ、将来の光通信用
光部品として有望視されている。
基板上に様々な光回路を形成したもので、比較的量産が
容易であるため低コスト化が見込まれ、将来の光通信用
光部品として有望視されている。
【０００３】導波路型光部品を製品化する際に、導波路
の光学特性が適用する光通信システムの性能に大きく影
響するため、導波路の光学特性の評価は必須である。
の光学特性が適用する光通信システムの性能に大きく影
響するため、導波路の光学特性の評価は必須である。
【０００４】この光学特性の評価を行う時には、導波路
へ信号光を入力したり、導波路から出力する信号光を受
光器等に入力するため光ファイバと導波路の接続を行う
必要がある。また、導波路を光通信用の部品として使用
する場合にも、信号光の伝送媒体が光ファイバであるた
め、光ファイバとの接続は避けられない。
へ信号光を入力したり、導波路から出力する信号光を受
光器等に入力するため光ファイバと導波路の接続を行う
必要がある。また、導波路を光通信用の部品として使用
する場合にも、信号光の伝送媒体が光ファイバであるた
め、光ファイバとの接続は避けられない。
【０００５】このように導波路を通信システムに適用す
るためには特性評価あるいは伝送路への組み込みのため
光ファイバとの接続が不可欠であり、この接続損失は低
いことが要求される。接続損失が大きいと伝搬する信号
光が減衰するため、特性評価においては正しく特性が評
価できなくなる。そして、通信システムの適用において
は接続損失が大きいと、光源の出力を上げたり、光増幅
器を使用する必要が生じ、コストや長期信頼性の面で問
題となる。従って、低損失で導波路と光ファイバを接続
することが肝要であり、そのため特に光軸調整作業が重
要になって来る。
るためには特性評価あるいは伝送路への組み込みのため
光ファイバとの接続が不可欠であり、この接続損失は低
いことが要求される。接続損失が大きいと伝搬する信号
光が減衰するため、特性評価においては正しく特性が評
価できなくなる。そして、通信システムの適用において
は接続損失が大きいと、光源の出力を上げたり、光増幅
器を使用する必要が生じ、コストや長期信頼性の面で問
題となる。従って、低損失で導波路と光ファイバを接続
することが肝要であり、そのため特に光軸調整作業が重
要になって来る。
【０００６】現在、最も一般的に使用されている光軸調
整装置を図３に示す。図３（ａ）は上面図、（ｂ）は断
面図である。
整装置を図３に示す。図３（ａ）は上面図、（ｂ）は断
面図である。
【０００７】導波路１、入力側光ファイバ３、及び出力
側光ファイバ５を微動ステージ９に設置し、入力側光フ
ァイバ３に光源２０から信号光を入力し、導波路１を伝
搬した信号光を出力側光ファイバ５で受光し、信号光出
力を受光器２１でモニタする。信号光出力が最大となる
ように微動ステージ９により導波路１もしくは入力側光
ファイバ３及び出力側光ファイバ５を位置決めするとい
う方法である。
側光ファイバ５を微動ステージ９に設置し、入力側光フ
ァイバ３に光源２０から信号光を入力し、導波路１を伝
搬した信号光を出力側光ファイバ５で受光し、信号光出
力を受光器２１でモニタする。信号光出力が最大となる
ように微動ステージ９により導波路１もしくは入力側光
ファイバ３及び出力側光ファイバ５を位置決めするとい
う方法である。
【０００８】この方法は、実際に伝搬する信号光の出力
をモニタしながら光軸調整を行っているため、導波路１
と入力側光ファイバ３及び出力側光ファイバ５との接続
は低損失で行うことができる。
をモニタしながら光軸調整を行っているため、導波路１
と入力側光ファイバ３及び出力側光ファイバ５との接続
は低損失で行うことができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、受光器２１でモニタされる信号光出力が最大になる
ように導波路１あるいは光ファイバ３または５を位置決
める必要があるが、この方法には２つの段階がある。
は、受光器２１でモニタされる信号光出力が最大になる
ように導波路１あるいは光ファイバ３または５を位置決
める必要があるが、この方法には２つの段階がある。
【００１０】まず最初の段階は、導波路１と光ファイバ
３及び５の粗い位置決めである。これは、僅かでも受光
器２１で信号光出力がモニタされていないと、微動ステ
ージ９を動かしようがないことに起因する。つまり導波
路１と光ファイバ３及び５のコアが重なり合うように位
置決めされていないと信号光出力は得られず、そのため
予め導波路１と光ファイバ３及び５の位置決めをある程
度正確に行って置く必要がある。導波路１と光ファイバ
３及び５内で信号光が伝搬する領域は直径約数μｍと小
さいため、予め行う位置決めもミクロンオーダで行う必
要がある。
３及び５の粗い位置決めである。これは、僅かでも受光
器２１で信号光出力がモニタされていないと、微動ステ
ージ９を動かしようがないことに起因する。つまり導波
路１と光ファイバ３及び５のコアが重なり合うように位
置決めされていないと信号光出力は得られず、そのため
予め導波路１と光ファイバ３及び５の位置決めをある程
度正確に行って置く必要がある。導波路１と光ファイバ
３及び５内で信号光が伝搬する領域は直径約数μｍと小
さいため、予め行う位置決めもミクロンオーダで行う必
要がある。
【００１１】次の段階は、高精度な位置決めである。僅
かでも受光器２１で信号光出力がモニタされたなら、そ
の信号光出力が最大となるように導波路１あるいは光フ
ァイバ３または５を細かく移動し、受光器２１でモニタ
される信号光出力が最大となる位置を見つける。この動
作を以下、ピークサーチと称する。
かでも受光器２１で信号光出力がモニタされたなら、そ
の信号光出力が最大となるように導波路１あるいは光フ
ァイバ３または５を細かく移動し、受光器２１でモニタ
される信号光出力が最大となる位置を見つける。この動
作を以下、ピークサーチと称する。
【００１２】このピークサーチは、導波路１と光ファイ
バ３及び５のコアの中心が重なり合うようにサブミクロ
ンのオーダでの調整が必要となり、位置決め精度を確保
するため、動作速度は遅くせざるを得ない。従って広い
範囲でのピークサーチを行うと調整に多くの時間を費や
すことになる。短時間でピークサーチを完了させるに
は、ピークサーチの範囲をできるだけ小さくすることが
望ましい。
バ３及び５のコアの中心が重なり合うようにサブミクロ
ンのオーダでの調整が必要となり、位置決め精度を確保
するため、動作速度は遅くせざるを得ない。従って広い
範囲でのピークサーチを行うと調整に多くの時間を費や
すことになる。短時間でピークサーチを完了させるに
は、ピークサーチの範囲をできるだけ小さくすることが
望ましい。
【００１３】上記の調整を実際には次のように行ってい
る。
る。
【００１４】まず、導波路１と光ファイバ３及び５の接
続部をカメラで撮影する。その画像から人間が微動台を
操作して移動させ、上記の最初の段階の位置決め、つま
り粗い位置決めを行う。その後、狭い範囲でのピークサ
ーチを実行している。
続部をカメラで撮影する。その画像から人間が微動台を
操作して移動させ、上記の最初の段階の位置決め、つま
り粗い位置決めを行う。その後、狭い範囲でのピークサ
ーチを実行している。
【００１５】以上に説明する方法の問題点は、第一段階
の粗い光軸調整に人間が介入しており自動化されていな
いことにある。この第一段階の粗い光軸調整の作業は熟
練度に左右され作業時間は一定ではない。そして第二段
階のピークサーチでも、その範囲が定まっていないため
作業する人間の熟練度によって作業時間が大きく異なる
という問題がある。
の粗い光軸調整に人間が介入しており自動化されていな
いことにある。この第一段階の粗い光軸調整の作業は熟
練度に左右され作業時間は一定ではない。そして第二段
階のピークサーチでも、その範囲が定まっていないため
作業する人間の熟練度によって作業時間が大きく異なる
という問題がある。
【００１６】従って本発明は、前記した従来技術の問題
点を解決すべく創案されたものであり、完全に自動化さ
れ短時間で光軸調整が完了する導波路と光ファイバの光
軸調整方法及び光軸調整装置を提供することにある。
点を解決すべく創案されたものであり、完全に自動化さ
れ短時間で光軸調整が完了する導波路と光ファイバの光
軸調整方法及び光軸調整装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を実
現するために、導波路と光ファイバを突き合わせた時の
画像から該導波路及び該光ファイバの位置を決める工程
と、前記光ファイバの保持体に設置した接触センサによ
り高精度に位置決めする範囲を決める工程と、前記導波
路と前記光ファイバを伝搬する信号光出力を最大にする
ように前記光ファイバあるいは前記導波路を位置決めす
る工程を有して成ることを特徴とする導波路と光ファイ
バの光軸調整方法を提供する。
現するために、導波路と光ファイバを突き合わせた時の
画像から該導波路及び該光ファイバの位置を決める工程
と、前記光ファイバの保持体に設置した接触センサによ
り高精度に位置決めする範囲を決める工程と、前記導波
路と前記光ファイバを伝搬する信号光出力を最大にする
ように前記光ファイバあるいは前記導波路を位置決めす
る工程を有して成ることを特徴とする導波路と光ファイ
バの光軸調整方法を提供する。
【００１８】本発明は上記の目的を実現するために、導
波路及び光ファイバ保持体と、前記導波路と前記光ファ
イバを突き合わせた時の画像を得るための観察カメラ
と、前記光ファイバ保持体に取り付けられた接触センサ
と、前記導波路あるいは前記光ファイバ保持体を移動す
る微動ステージから成ることを特徴とする導波路と光フ
ァイバの光軸調整装置を提供する。
波路及び光ファイバ保持体と、前記導波路と前記光ファ
イバを突き合わせた時の画像を得るための観察カメラ
と、前記光ファイバ保持体に取り付けられた接触センサ
と、前記導波路あるいは前記光ファイバ保持体を移動す
る微動ステージから成ることを特徴とする導波路と光フ
ァイバの光軸調整装置を提供する。
【００１９】本発明は上記の目的を実現するために、導
波路と光ファイバを突き合わせた時の画像信号と、前記
導波路及び前記光ファイバを伝搬する信号光出力をモニ
タする受光器の電気信号と、前記光ファイバ保持体に取
り付けられた接触センサの電気信号とを用いて位置決め
する微動ステージであることを特徴とする導波路と光フ
ァイバの光軸調整装置を提供する。
波路と光ファイバを突き合わせた時の画像信号と、前記
導波路及び前記光ファイバを伝搬する信号光出力をモニ
タする受光器の電気信号と、前記光ファイバ保持体に取
り付けられた接触センサの電気信号とを用いて位置決め
する微動ステージであることを特徴とする導波路と光フ
ァイバの光軸調整装置を提供する。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の導波路と光ファイ
バの光軸調整装置の一実施例を示す斜視図である。
バの光軸調整装置の一実施例を示す斜視図である。
【００２１】導波路１は導波路保持体２へ、入力側光フ
ァイバ３は入力側光ファイバ保持体４へ、出力側光ファ
イバ５は出力側光ファイバ保持体６へそれぞれ取り付け
られる。入力側光ファイバ保持体４には入力側接触セン
サ７が、出力側光ファイバ保持体６には出力側接触セン
サ８がそれぞれ取り付けられている。導波路保持体２、
入力側光ファイバ保持体４、出力側光ファイバ保持体６
は全て微動ステージ９に取り付けられ、導波路１、入力
側光ファイバ３、出力側光ファイバ５はそれぞれ水平方
向、垂直方向に移動可能であり、更にあおり調整、回転
調整が可能になっている。
ァイバ３は入力側光ファイバ保持体４へ、出力側光ファ
イバ５は出力側光ファイバ保持体６へそれぞれ取り付け
られる。入力側光ファイバ保持体４には入力側接触セン
サ７が、出力側光ファイバ保持体６には出力側接触セン
サ８がそれぞれ取り付けられている。導波路保持体２、
入力側光ファイバ保持体４、出力側光ファイバ保持体６
は全て微動ステージ９に取り付けられ、導波路１、入力
側光ファイバ３、出力側光ファイバ５はそれぞれ水平方
向、垂直方向に移動可能であり、更にあおり調整、回転
調整が可能になっている。
【００２２】入力側光ファイバ３と導波路１の突き合わ
せ部分には上方に入力側上部観察カメラ１０、側方には
入力側側部観察カメラ１１が設けられている。同様に、
出力側光ファイバ５と導波路１の突き合わせ部分には上
方に出力側上部観察カメラ１２、側方には出力側側部観
察カメラ１３が設けられている。
せ部分には上方に入力側上部観察カメラ１０、側方には
入力側側部観察カメラ１１が設けられている。同様に、
出力側光ファイバ５と導波路１の突き合わせ部分には上
方に出力側上部観察カメラ１２、側方には出力側側部観
察カメラ１３が設けられている。
【００２３】入力側光ファイバ３には、図示してはいな
いが光源からの信号光を入力する。出力側光ファイバ５
には図示してはいないが受光器が接続されていて、前記
光源からの信号光出力をモニタする。
いが光源からの信号光を入力する。出力側光ファイバ５
には図示してはいないが受光器が接続されていて、前記
光源からの信号光出力をモニタする。
【００２４】微動ステージ９は、観察カメラ１０、１
１、１２、１３によって捕らえた画像信号及び出力側光
ファイバ５に接続されている受光器からの電気信号に応
じて動作するように構成されている。
１、１２、１３によって捕らえた画像信号及び出力側光
ファイバ５に接続されている受光器からの電気信号に応
じて動作するように構成されている。
【００２５】次に本装置を用いて行う光軸調整方法につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２６】図２は入力側光ファイバ３と導波路１の突
き合わせ部分に設けられた入力側上部観察カメラ１０及
び入力側側部観察カメラ１１の画像信号によって光軸調
整を行う方法を説明したものである。
き合わせ部分に設けられた入力側上部観察カメラ１０及
び入力側側部観察カメラ１１の画像信号によって光軸調
整を行う方法を説明したものである。
【００２７】図２（ａ）と図２（ｂ）はそれぞれ、入力
側上部観察カメラ１０と入力側側部観察カメラ１１で捕
らえた画像を、上部モニタ画面１４及び側部モニタ画面
１５に映し出した様子を示す。ただし導波路１は導波路
のコア１６が設定した中心ライン１９に重なるように位
置決めされた後の画像を示す。この時点では、図２
（ａ）及び（ｂ）より分かるように入力側光ファイバ３
の位置は正しい位置に決められていない。
側上部観察カメラ１０と入力側側部観察カメラ１１で捕
らえた画像を、上部モニタ画面１４及び側部モニタ画面
１５に映し出した様子を示す。ただし導波路１は導波路
のコア１６が設定した中心ライン１９に重なるように位
置決めされた後の画像を示す。この時点では、図２
（ａ）及び（ｂ）より分かるように入力側光ファイバ３
の位置は正しい位置に決められていない。
【００２８】次に、この入力側上部観察カメラ１０及び
入力部側部観察カメラ１１で捕らえた画像を用いなが
ら、入力側光ファイバ３前進、すなわち導波路１側へ進
ませる。上部モニタ画面１４及び側部モニタ画面１５に
設定した前進リミットライン１８に前記入力側光ファイ
バ３が到達した時に前進を一旦停止する。その後、入力
側光ファイバ３を光ファイバ位置決めライン１７に位置
決めする。そのようにして位置決めを行った後の、導波
路１と入力側光ファイバ３は図２（ｃ）及び（ｄ）に示
すように正しい位置に設定される。この様にして、光軸
調整の第一の段階、すなわち粗い位置決めが短時間に自
動的に完了する。
入力部側部観察カメラ１１で捕らえた画像を用いなが
ら、入力側光ファイバ３前進、すなわち導波路１側へ進
ませる。上部モニタ画面１４及び側部モニタ画面１５に
設定した前進リミットライン１８に前記入力側光ファイ
バ３が到達した時に前進を一旦停止する。その後、入力
側光ファイバ３を光ファイバ位置決めライン１７に位置
決めする。そのようにして位置決めを行った後の、導波
路１と入力側光ファイバ３は図２（ｃ）及び（ｄ）に示
すように正しい位置に設定される。この様にして、光軸
調整の第一の段階、すなわち粗い位置決めが短時間に自
動的に完了する。
【００２９】出力側光ファイバ５と導波路１についても
同様に行うことができる。
同様に行うことができる。
【００３０】次の段階は高精度な位置決め、すなわちピ
ークサーチを行い正確に位置を決める段階である。ピー
クサーチは入力側光ファイバ３に光源を、出力側光ファ
イバ５には受光器を接続して、受光器でモニタされる光
信号出力が最大となるよう微動ステージ９を動かす。こ
の動作は受光器と微動ステージが電気的に接続してあ
り、全て自動で行われる。
ークサーチを行い正確に位置を決める段階である。ピー
クサーチは入力側光ファイバ３に光源を、出力側光ファ
イバ５には受光器を接続して、受光器でモニタされる光
信号出力が最大となるよう微動ステージ９を動かす。こ
の動作は受光器と微動ステージが電気的に接続してあ
り、全て自動で行われる。
【００３１】従来技術と異なる点は、このピークサーチ
の範囲が自動的に最適な範囲に設定されることにある。
その範囲の決め方を以下に説明する。
の範囲が自動的に最適な範囲に設定されることにある。
その範囲の決め方を以下に説明する。
【００３２】入力側光ファイバ保持体４及び出力側光フ
ァイバ保持体６に取り付けられた接触センサ７、８によ
り、導波路１と光ファイバ３、５の間隔を調整する。す
なわち、光ファイバ３、５を導波路１に向かって進ませ
ると導波路１の端面に接触する。その位置からある距離
を設定して光ファイバ３、５を導波路１から離すことに
より、導波路１と光ファイバ３、５の間隔を極めて小さ
く設定することができる。これらの動作は全て自動で行
われる。このようにピークサーチの範囲を最小に設定す
ることで光軸調整の第二の段階、すなわちピークサーチ
も短時間で自動的に行うことができる。
ァイバ保持体６に取り付けられた接触センサ７、８によ
り、導波路１と光ファイバ３、５の間隔を調整する。す
なわち、光ファイバ３、５を導波路１に向かって進ませ
ると導波路１の端面に接触する。その位置からある距離
を設定して光ファイバ３、５を導波路１から離すことに
より、導波路１と光ファイバ３、５の間隔を極めて小さ
く設定することができる。これらの動作は全て自動で行
われる。このようにピークサーチの範囲を最小に設定す
ることで光軸調整の第二の段階、すなわちピークサーチ
も短時間で自動的に行うことができる。
【００３３】本実施例では、導波路と単芯の光ファイバ
の光軸調整について述べた。その他、光ファイバが多芯
装着された光ファイバアレイや光コネクタにおいても同
様に本発明を適用することができる。また、導波路と光
ファイバを接続して成る導波路型光モジュールの製造に
おいて、光軸調整を自動化するのに本発明を適用するこ
とができる。更に、本発明の接触センサの検知する信号
を用いて、例えば光ファイバを導波路に圧着して接着剤
を塗布する工程等では、導波路への光ファイバ圧着力を
制御するのに適用することができる。更に同工程におい
て、光ファイバの圧着力が大きすぎたり、小さすぎたり
すると接着剤が硬化する時に軸ずれを生じるが、この光
ファイバの圧着力を制御することにも適用することがで
きる。
の光軸調整について述べた。その他、光ファイバが多芯
装着された光ファイバアレイや光コネクタにおいても同
様に本発明を適用することができる。また、導波路と光
ファイバを接続して成る導波路型光モジュールの製造に
おいて、光軸調整を自動化するのに本発明を適用するこ
とができる。更に、本発明の接触センサの検知する信号
を用いて、例えば光ファイバを導波路に圧着して接着剤
を塗布する工程等では、導波路への光ファイバ圧着力を
制御するのに適用することができる。更に同工程におい
て、光ファイバの圧着力が大きすぎたり、小さすぎたり
すると接着剤が硬化する時に軸ずれを生じるが、この光
ファイバの圧着力を制御することにも適用することがで
きる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、導波路と光ファイバの
光軸調整を全自動で且つ短時間で行うことができる、導
波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置を提
供することができる。
光軸調整を全自動で且つ短時間で行うことができる、導
波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置を提
供することができる。
【図１】本発明の一実施例に係わり、導波路と光ファイ
バの光軸調整装置の斜視図でる。
バの光軸調整装置の斜視図でる。
【図２】本発明の一実施例に係わり、導波路と光ファイ
バの光軸調整方法の説明図である。
バの光軸調整方法の説明図である。
【図３】従来の導波路と光ファイバの光軸調整装置を示
すものであって、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図であ
る。
すものであって、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図であ
る。
１ 導波路 ２ 導波路保持体 ３ 入力側光ファイバ ４ 入力側光ファイバ保持体 ５ 出力側光ファイバ ６ 出力側光ファイバ保持体 ７ 入力側接触センサ ８ 出力側接触センサ ９ 微動ステージ １０ 入力側上部観察カメラ １１ 入力側側部観察カメラ １２ 出力側上部観察カメラ １３ 出力側側部観察カメラ １４ 上部モニタ画面 １５ 側部モニタ画面 １６ 導波路コア １７ 光ファイバ位置決めライン １８ 前進リミットライン １９ 中心ライン ２０ 光源 ２１ 受光器
Claims (3)
- 【請求項１】導波路と光ファイバを突き合わせた時の画
像から該導波路及び該光ファイバの位置を決める工程
と、前記光ファイバの保持体に設置した接触センサによ
り高精度に位置決めする範囲を決める工程と、前記導波
路と前記光ファイバを伝搬する信号光出力を最大にする
ように前記光ファイバあるいは前記導波路を位置決めす
る工程を有して成ることを特徴とする導波路と光ファイ
バの光軸調整方法。 - 【請求項２】導波路及び光ファイバ保持体と、前記導波
路と前記光ファイバを突き合わせた時の画像を得るため
の観察カメラと、前記光ファイバ保持体に取り付けられ
た接触センサと、前記導波路あるいは前記光ファイバ保
持体を移動する微動ステージから成ることを特徴とする
導波路と光ファイバの光軸調整装置。 - 【請求項３】導波路と光ファイバを突き合わせた時の画
像信号と、前記導波路及び前記光ファイバを伝搬する信
号光出力をモニタする受光器の電気信号と、前記光ファ
イバ保持体に取り付けられた接触センサの電気信号とを
用いて位置決めする微動ステージであることを特徴とす
る請求項２記載の導波路と光ファイバの光軸調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP372497A JPH10197751A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | 導波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP372497A JPH10197751A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | 導波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197751A true JPH10197751A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11565246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP372497A Pending JPH10197751A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | 導波路と光ファイバの光軸調整方法及び光軸調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10197751A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100337993B1 (ko) * | 1998-09-18 | 2002-10-25 | 삼성전자 주식회사 | 평면광도파로소자및광섬유블록의정렬장치및그제어방법 |
| KR100341287B1 (ko) * | 1998-08-24 | 2002-10-31 | 삼성전자 주식회사 | 정렬마크를가지는광섬유블록및평면광도파로소자와,이광섬유블록과평면광도파로소자의정렬장치및방법 |
| WO2002052324A3 (en) * | 2000-12-26 | 2003-01-09 | Emcore Corp | Process for coupling optical elements to optoelectronic devices |
-
1997
- 1997-01-13 JP JP372497A patent/JPH10197751A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100341287B1 (ko) * | 1998-08-24 | 2002-10-31 | 삼성전자 주식회사 | 정렬마크를가지는광섬유블록및평면광도파로소자와,이광섬유블록과평면광도파로소자의정렬장치및방법 |
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