JPH06194607A - デバイス整合方法 - Google Patents
デバイス整合方法Info
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- JPH06194607A JPH06194607A JP5256270A JP25627093A JPH06194607A JP H06194607 A JPH06194607 A JP H06194607A JP 5256270 A JP5256270 A JP 5256270A JP 25627093 A JP25627093 A JP 25627093A JP H06194607 A JPH06194607 A JP H06194607A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/005—Motorised alignment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4221—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements involving a visual detection of the position of the elements, e.g. by using a microscope or a camera
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度で自動的に高速に光デバイスを整合さ
せる。 【構成】 レーザと光ファイバは、最初にレーザをｘｙ
ｚテーブル上に設置することによって整合される。レー
ザビームが機械映像カメラに投影される。このカメラ
は、レーザビームの像を表す信号を発生してコンピュー
タに送る。コンピュータはその信号を解析し、像の中心
を計算し、その結果から、レーザの位置の、整合位置か
らのｘおよびｙ方向のずれを決定する。次に、光ファイ
バが機械映像カメラに投影される。光ファイバ端部の像
を表すカメラからの信号がコンピュータに送られ、コン
ピュータはその像の中心を計算し、整合位置からのずれ
を決定する。最後に、レーザが光ファイバ端部とほぼ整
合するようにｘｙｚテーブルが移動され、指定位置から
のレーザおよび光ファイバ端部のずれを補償するため
に、コンピュータからの信号を使用して、ｘｙｚテーブ
ルの位置の微調整を行う。
せる。 【構成】 レーザと光ファイバは、最初にレーザをｘｙ
ｚテーブル上に設置することによって整合される。レー
ザビームが機械映像カメラに投影される。このカメラ
は、レーザビームの像を表す信号を発生してコンピュー
タに送る。コンピュータはその信号を解析し、像の中心
を計算し、その結果から、レーザの位置の、整合位置か
らのｘおよびｙ方向のずれを決定する。次に、光ファイ
バが機械映像カメラに投影される。光ファイバ端部の像
を表すカメラからの信号がコンピュータに送られ、コン
ピュータはその像の中心を計算し、整合位置からのずれ
を決定する。最後に、レーザが光ファイバ端部とほぼ整
合するようにｘｙｚテーブルが移動され、指定位置から
のレーザおよび光ファイバ端部のずれを補償するため
に、コンピュータからの信号を使用して、ｘｙｚテーブ
ルの位置の微調整を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、デバイスを整合させる
方法および装置に関し、特に、高精度で光デバイスを整
合させる方法に関する。
方法および装置に関し、特に、高精度で光デバイスを整
合させる方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信システムの出現とともに、このよ
うなシステムの素子を組み立てる方法に関する開発も進
んでいる。このような素子の組立に伴う問題点の１つ
は、レンズ、光ファイバ、レーザ、鏡および光検出器の
ような光学要素の正確な組立の必要性である。光デバイ
スおよびパッケージを効率的に、必要最小限の作業員の
技術で、しかも非常に高度な正確さで組み立てる工業的
方法を開発することが重要である。
うなシステムの素子を組み立てる方法に関する開発も進
んでいる。このような素子の組立に伴う問題点の１つ
は、レンズ、光ファイバ、レーザ、鏡および光検出器の
ような光学要素の正確な組立の必要性である。光デバイ
スおよびパッケージを効率的に、必要最小限の作業員の
技術で、しかも非常に高度な正確さで組み立てる工業的
方法を開発することが重要である。
【０００３】例えば、レーザモジュールを製造する際に
は、光ファイバの端部に向かうレーザ出力の部分を最大
化するために、半導体レーザに光ファイバを正確に整合
させて接着することが必要である。最大の光結合を得る
ために、光ファイバの中心がレーザの中心に１ミクロン
未満の誤差で整合されることが一般的に要求される。こ
の整合を実現する最も一般的な方法は「能動整合」とし
て知られるプロセスである。このプロセスでは、光がレ
ーザから放出され、ファイバを通過する光が最大値に到
達するまでレーザ付近で光ファイバの端部の位置が調整
される。
は、光ファイバの端部に向かうレーザ出力の部分を最大
化するために、半導体レーザに光ファイバを正確に整合
させて接着することが必要である。最大の光結合を得る
ために、光ファイバの中心がレーザの中心に１ミクロン
未満の誤差で整合されることが一般的に要求される。こ
の整合を実現する最も一般的な方法は「能動整合」とし
て知られるプロセスである。このプロセスでは、光がレ
ーザから放出され、ファイバを通過する光が最大値に到
達するまでレーザ付近で光ファイバの端部の位置が調整
される。
【０００４】能動整合を使用したレーザモジュールの自
動組立では、光ファイバの一端がレーザ出力ビームに当
たる小領域を走査し、ファイバの出力端にある光検出器
が、最大光透過が起こる位置を検出するような装置を考
案することが通常必要となる。その位置が決定される
と、光ファイバは永久的にレーザに接着され、パッケー
ジに封入される。
動組立では、光ファイバの一端がレーザ出力ビームに当
たる小領域を走査し、ファイバの出力端にある光検出器
が、最大光透過が起こる位置を検出するような装置を考
案することが通常必要となる。その位置が決定される
と、光ファイバは永久的にレーザに接着され、パッケー
ジに封入される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】光ファイバのような光
デバイスの機械的走査は本質的に時間がかかるものであ
り、大量生産による素子の需要が増大すると、このよう
な時間の消費はますます不利となる。もちろん、能動整
合を達成するために手動でファイバ方向を調整するとい
う代替案は、時間がかかるとともに作業員の技術が要求
されるため、さらに非実用的である。従って、光素子や
フォトニクス素子を整合し、組み立て、大量生産するさ
らに効率的な方法の要求は継続して存在している。
デバイスの機械的走査は本質的に時間がかかるものであ
り、大量生産による素子の需要が増大すると、このよう
な時間の消費はますます不利となる。もちろん、能動整
合を達成するために手動でファイバ方向を調整するとい
う代替案は、時間がかかるとともに作業員の技術が要求
されるため、さらに非実用的である。従って、光素子や
フォトニクス素子を整合し、組み立て、大量生産するさ
らに効率的な方法の要求は継続して存在している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の実施例によれ
ば、第１のデバイスと第２のデバイス（例えばレーザと
光ファイバ）は、最初にレーザをｘｙｚテーブル上に設
置することによって整合される（このテーブルは、電気
信号に応答して、相互に直交するｘ、ｙおよびｚ方向に
正確に移動することが可能なものである）。レーザビー
ムが機械映像カメラに投影される。このカメラは、レー
ザビームの像を表す信号を発生してコンピュータに送
る。コンピュータはその信号を解析し、像の中心を計算
し、この計算から、レーザの位置の、所望の整合位置か
らのｘおよびｙ方向のずれを決定する。次に、光ファイ
バが機械映像カメラに投影される。光ファイバ端部の像
を表すカメラからの信号がコンピュータに送られ、コン
ピュータは、その像の中心を計算し、その所望の位置か
らのずれを決定する。最後に、レーザが光ファイバ端部
とほぼ整合するようにｘｙｚテーブルが移動され、指定
位置からのレーザのずれおよび指定位置からの光ファイ
バ端部のずれを補償するために、コンピュータからの信
号を使用して、ｘｙｚテーブルの位置の微調整を行う。
レーザと光ファイバ端部が精密に整合された後、接着さ
れて永久的に整合され、後でパッケージングされる。
ば、第１のデバイスと第２のデバイス（例えばレーザと
光ファイバ）は、最初にレーザをｘｙｚテーブル上に設
置することによって整合される（このテーブルは、電気
信号に応答して、相互に直交するｘ、ｙおよびｚ方向に
正確に移動することが可能なものである）。レーザビー
ムが機械映像カメラに投影される。このカメラは、レー
ザビームの像を表す信号を発生してコンピュータに送
る。コンピュータはその信号を解析し、像の中心を計算
し、この計算から、レーザの位置の、所望の整合位置か
らのｘおよびｙ方向のずれを決定する。次に、光ファイ
バが機械映像カメラに投影される。光ファイバ端部の像
を表すカメラからの信号がコンピュータに送られ、コン
ピュータは、その像の中心を計算し、その所望の位置か
らのずれを決定する。最後に、レーザが光ファイバ端部
とほぼ整合するようにｘｙｚテーブルが移動され、指定
位置からのレーザのずれおよび指定位置からの光ファイ
バ端部のずれを補償するために、コンピュータからの信
号を使用して、ｘｙｚテーブルの位置の微調整を行う。
レーザと光ファイバ端部が精密に整合された後、接着さ
れて永久的に整合され、後でパッケージングされる。
【０００７】投影された位置と整合される位置の間で非
常に高速にレーザを移動するために、市販の機器が使用
可能である。所定の整合からのずれの非常に高速な決定
が可能であり、レーザの位置が光ファイバと正確に整合
するように調整するために信号が発生される。このプロ
セスは作業員の技術をほとんど必要とせず、大量生産に
必要なだけ反復して高速に実行可能である。
常に高速にレーザを移動するために、市販の機器が使用
可能である。所定の整合からのずれの非常に高速な決定
が可能であり、レーザの位置が光ファイバと正確に整合
するように調整するために信号が発生される。このプロ
セスは作業員の技術をほとんど必要とせず、大量生産に
必要なだけ反復して高速に実行可能である。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の実施例の概略図である。本
実施例は、半導体レーザ１１と光ファイバ１２を整合し
接着する装置からなる。レーザは、ｘｙｚテーブル１３
上に載置される。このテーブルは、直交するｘｙｚ方向
に、大増分で、または、０．０１ミクロンという小さい
増分ステップで、レーザを移動することができる。この
テーブルは、コンピュータ１６からの信号によって制御
されたモータ１５によって駆動される。ｘｙｚテーブル
は、例えば、アノラド（Ａｎｏｒａｄ）社（所在地：ア
メリカ合衆国、ニューヨーク、ホーポージ（Ｈａｕｐｐ
ａｕｇｅ））から市販されている種類のものである。ま
た、ｘｙｚテーブルには機械映像カメラ１７が載置され
る。
実施例は、半導体レーザ１１と光ファイバ１２を整合し
接着する装置からなる。レーザは、ｘｙｚテーブル１３
上に載置される。このテーブルは、直交するｘｙｚ方向
に、大増分で、または、０．０１ミクロンという小さい
増分ステップで、レーザを移動することができる。この
テーブルは、コンピュータ１６からの信号によって制御
されたモータ１５によって駆動される。ｘｙｚテーブル
は、例えば、アノラド（Ａｎｏｒａｄ）社（所在地：ア
メリカ合衆国、ニューヨーク、ホーポージ（Ｈａｕｐｐ
ａｕｇｅ））から市販されている種類のものである。ま
た、ｘｙｚテーブルには機械映像カメラ１７が載置され
る。
【０００９】光ファイバ１２は、相互に接着するために
必要なため、レーザとほぼ軸方向に整合され、静止台１
８上に設置される。また、もう１つの静止台上に、機械
映像カメラ１９も設置される。機械映像カメラ１７およ
び１９は、通常のテレビカメラが好ましいが、その機能
は、視覚的表示用のビデオ信号ではなく、機械可読のビ
デオ信号を発生することである。従って、画像を表す機
械可読信号を発生することができる任意のデバイス（例
えば光検出器のアレイ）が機械映像カメラとして使用可
能である。
必要なため、レーザとほぼ軸方向に整合され、静止台１
８上に設置される。また、もう１つの静止台上に、機械
映像カメラ１９も設置される。機械映像カメラ１７およ
び１９は、通常のテレビカメラが好ましいが、その機能
は、視覚的表示用のビデオ信号ではなく、機械可読のビ
デオ信号を発生することである。従って、画像を表す機
械可読信号を発生することができる任意のデバイス（例
えば光検出器のアレイ）が機械映像カメラとして使用可
能である。
【００１０】機械映像カメラ１７および１９の出力はコ
ンピュータ１６に接続される。整合された光検出器とフ
ァイバは、カメラ１７から距離Ｄだけ、および、カメラ
１９から距離Ｄだけ分離される。また、レーザ１１をバ
イアスする電子プローブ２１が、同様にレーザ１１から
距離Ｄだけ分離される。
ンピュータ１６に接続される。整合された光検出器とフ
ァイバは、カメラ１７から距離Ｄだけ、および、カメラ
１９から距離Ｄだけ分離される。また、レーザ１１をバ
イアスする電子プローブ２１が、同様にレーザ１１から
距離Ｄだけ分離される。
【００１１】図１では、レーザ１１が光ファイバの中心
軸と整合しているが、このような整合は最初は近似的に
しかできない。そして、この整合を１ミクロンより小さ
い精度で正確に調整するのが本実施例の目的である。特
に、レーザから放出された光のうち、ファイバの中心軸
に沿って存在するファイバのコアに当たって伝送される
部分を最大化するように要素を整合することが目的であ
る。この作用を実行する第１のステップで、ｘｙｚテー
ブル１３をｘ方向に距離Ｄだけ図２の位置まで移動す
る。この位置で、プローブ２１はレーザ１１に接触し、
レーザ１１は、適切にエネルギーを加えられると、機械
映像カメラ１９の方向に光を放出する。図２の位置で、
レーザ１１は機械映像カメラ１９とほぼ整合しており、
その結果、放出されるレーザビームはカメラ１９の視野
に容易に入る。カメラ１９は、レーザ光を投影するため
のレンズと、画像を表すビデオ信号を発生するためにそ
の画像を走査する電子ビームを含む。
軸と整合しているが、このような整合は最初は近似的に
しかできない。そして、この整合を１ミクロンより小さ
い精度で正確に調整するのが本実施例の目的である。特
に、レーザから放出された光のうち、ファイバの中心軸
に沿って存在するファイバのコアに当たって伝送される
部分を最大化するように要素を整合することが目的であ
る。この作用を実行する第１のステップで、ｘｙｚテー
ブル１３をｘ方向に距離Ｄだけ図２の位置まで移動す
る。この位置で、プローブ２１はレーザ１１に接触し、
レーザ１１は、適切にエネルギーを加えられると、機械
映像カメラ１９の方向に光を放出する。図２の位置で、
レーザ１１は機械映像カメラ１９とほぼ整合しており、
その結果、放出されるレーザビームはカメラ１９の視野
に容易に入る。カメラ１９は、レーザ光を投影するため
のレンズと、画像を表すビデオ信号を発生するためにそ
の画像を走査する電子ビームを含む。
【００１２】ビデオ信号は、コンピュータ１６に送られ
る。コンピュータ１６は、画像の幾何学的中心を探索す
るようにプログラムされている。コンピュータを含む機
械画像システムは周知であり、適当な信号を生成するこ
とが可能なものとして、コグネクス（Ｃｏｇｎｅｘ）社
（所在地：アメリカ合衆国、マサチューセッツ、ニーダ
ム）から入手可能なシステムがある。図３を参照する
と、コンピュータは、レーザビームの中心を決定した
後、その位置（例えば位置２２）を、完全整合を表す位
置２３と比較する。図から分かるように、図示された座
標では、位置２２は、位置２３に対しておよそｘ＝−１
およびｙ＝＋３にある。位置２２と２３の位置の差は、
レーザビームの正確な整合からの不整合（ずれ）を表
す。
る。コンピュータ１６は、画像の幾何学的中心を探索す
るようにプログラムされている。コンピュータを含む機
械画像システムは周知であり、適当な信号を生成するこ
とが可能なものとして、コグネクス（Ｃｏｇｎｅｘ）社
（所在地：アメリカ合衆国、マサチューセッツ、ニーダ
ム）から入手可能なシステムがある。図３を参照する
と、コンピュータは、レーザビームの中心を決定した
後、その位置（例えば位置２２）を、完全整合を表す位
置２３と比較する。図から分かるように、図示された座
標では、位置２２は、位置２３に対しておよそｘ＝−１
およびｙ＝＋３にある。位置２２と２３の位置の差は、
レーザビームの正確な整合からの不整合（ずれ）を表
す。
【００１３】同様にして、機械映像カメラ１７は、光フ
ァイバ１２の端部の像を表す信号を発生し、その信号
は、ファイバ１２の端部の幾何学的中心を決定するため
にコンピュータに送られる。図２に示す位置では、カメ
ラ１７は光ファイバ１２とほぼ整合しているため、光フ
ァイバの端部は、ファイバ中心軸を横切る断面では、カ
メラ１７の視野に入ることに注意する。図３を参照する
と、計算された光ファイバ１２の端部の中心（通常ファ
イバコアの中心と一致する）は、例えば位置２４にある
と決定される。位置２４は、完全整合を表す位置２３に
対してｘ＝＋１、ｙ＝＋２にある。ｘｙｚテーブル１３
は、機械的移動が非常に正確であるため、正確に図１の
位置に復帰することが可能である。
ァイバ１２の端部の像を表す信号を発生し、その信号
は、ファイバ１２の端部の幾何学的中心を決定するため
にコンピュータに送られる。図２に示す位置では、カメ
ラ１７は光ファイバ１２とほぼ整合しているため、光フ
ァイバの端部は、ファイバ中心軸を横切る断面では、カ
メラ１７の視野に入ることに注意する。図３を参照する
と、計算された光ファイバ１２の端部の中心（通常ファ
イバコアの中心と一致する）は、例えば位置２４にある
と決定される。位置２４は、完全整合を表す位置２３に
対してｘ＝＋１、ｙ＝＋２にある。ｘｙｚテーブル１３
は、機械的移動が非常に正確であるため、正確に図１の
位置に復帰することが可能である。
【００１４】コンピュータは、図３の点２２および２４
の整合における差を表す補正信号を発生する。すなわ
ち、図示の例では、コンピュータは、レーザ１１の位置
２２をｘ方向に距離ｘ＝＋２およびｙ方向に距離ｙ＝−
１だけ移動する補正信号を発生する。これによって、端
点２２および２４は一致し、レーザ１１は光ファイバ１
２とほぼ厳密に整合する。この機能は次のように述べる
ことができる。レーザの初期不整合がＡx，Ａyであり、
ファイバの初期不整合がＢx，Ｂyである場合、コンピュ
ータは、レーザをファイバと整合させるために、（Ａx
−Ｂx），（Ａy−Ｂy）に等しい補正信号を発生する。
当業者であれば、この簡単な機能を実行するようにコン
ピュータをプログラミングすることができる。
の整合における差を表す補正信号を発生する。すなわ
ち、図示の例では、コンピュータは、レーザ１１の位置
２２をｘ方向に距離ｘ＝＋２およびｙ方向に距離ｙ＝−
１だけ移動する補正信号を発生する。これによって、端
点２２および２４は一致し、レーザ１１は光ファイバ１
２とほぼ厳密に整合する。この機能は次のように述べる
ことができる。レーザの初期不整合がＡx，Ａyであり、
ファイバの初期不整合がＢx，Ｂyである場合、コンピュ
ータは、レーザをファイバと整合させるために、（Ａx
−Ｂx），（Ａy−Ｂy）に等しい補正信号を発生する。
当業者であれば、この簡単な機能を実行するようにコン
ピュータをプログラミングすることができる。
【００１５】整合後、コンピュータは、レーザを光ファ
イバ１２に十分近づけてそれらが接着可能になるよう
に、ｚ方向にｘｙｚテーブルを移動する。これを図４に
示す。載置要素２６が、レーザ１１および光ファイバ１
２の両方に接着されている。接着は、エポキシ、はん
だ、またはその他の周知の方法によって可能であり、手
動で、または、周知技術のロボット装置の使用によって
自動的に実行することができる。
イバ１２に十分近づけてそれらが接着可能になるよう
に、ｚ方向にｘｙｚテーブルを移動する。これを図４に
示す。載置要素２６が、レーザ１１および光ファイバ１
２の両方に接着されている。接着は、エポキシ、はん
だ、またはその他の周知の方法によって可能であり、手
動で、または、周知技術のロボット装置の使用によって
自動的に実行することができる。
【００１６】
【発明の効果】これまで説明した整合方式の利点は、光
ファイバをレーザと整合させる能動整合方法よりも高い
生産速度で自動的に運用可能であることである。このこ
とは、レーザ組立体の大量生産においては重要である。
その場合、多くのそのような同一の組立体が、複雑な光
通信システムに要求される。レーザをファイバに整合さ
せる好ましい方法を説明したが、レンズ、鏡、光検出器
などのその他のデバイスも、同じ方法によって整合およ
び組立が可能であり、上記の方法の多くの変形が可能で
ある。上記の実施例では、レーザビームは機械映像カメ
ラに投影されたが、これは、レーザデバイスを機械映像
カメラに投影することと等価であり、本方法によって、
レーザデバイスが、ビームとともに、光ファイバと整合
される。実際には、放出光の中心と光ファイバの中心の
整合が確実であるため、発光中のレーザを整合させるこ
とが好ましい。図示のように、ｘｙｚテーブルの１回の
移動で２つのカメラが両方とも整合するので、整合され
るファイバおよびレーザから距離Ｄにそれぞれ位置する
２つのカメラを備えることが有利であるが、このような
構成は不可欠ではない。本発明は、レーザアレイまたは
光検出器アレイをファイバ束またはレンズアレイと整合
させるために使用することができる。
ファイバをレーザと整合させる能動整合方法よりも高い
生産速度で自動的に運用可能であることである。このこ
とは、レーザ組立体の大量生産においては重要である。
その場合、多くのそのような同一の組立体が、複雑な光
通信システムに要求される。レーザをファイバに整合さ
せる好ましい方法を説明したが、レンズ、鏡、光検出器
などのその他のデバイスも、同じ方法によって整合およ
び組立が可能であり、上記の方法の多くの変形が可能で
ある。上記の実施例では、レーザビームは機械映像カメ
ラに投影されたが、これは、レーザデバイスを機械映像
カメラに投影することと等価であり、本方法によって、
レーザデバイスが、ビームとともに、光ファイバと整合
される。実際には、放出光の中心と光ファイバの中心の
整合が確実であるため、発光中のレーザを整合させるこ
とが好ましい。図示のように、ｘｙｚテーブルの１回の
移動で２つのカメラが両方とも整合するので、整合され
るファイバおよびレーザから距離Ｄにそれぞれ位置する
２つのカメラを備えることが有利であるが、このような
構成は不可欠ではない。本発明は、レーザアレイまたは
光検出器アレイをファイバ束またはレンズアレイと整合
させるために使用することができる。
【図１】本発明の実施例によって、レーザを光ファイバ
に整合させる装置の概略図である。
に整合させる装置の概略図である。
【図２】図１の装置の他の動作段階の図である。
【図３】整合ずれのグラフ表示図である。
【図４】図１および２のレーザと光ファイバが接着され
る方法を示す概略図である。
る方法を示す概略図である。
１１ 半導体レーザ １２ 光ファイバ １３ ｘｙｚテーブル １５ モータ １６ コンピュータ １７ 機械映像カメラ １８ 静止台 １９ 機械映像カメラ ２１ 電子プローブ ２６ 載置要素
Claims (9)
- 【請求項１】 第１のデバイス（１１）を移動可能ｘｙ
ｚテーブル（１３）上に設置するステップと、 第１デバイスを機械映像カメラ（１９）に投影するステ
ップと、 第１デバイスの像を表す信号を機械映像カメラからコン
ピュータ（１６）へ送るステップと、 コンピュータを使用して、第１デバイスの像の中心を計
算し、その結果から、第１デバイスの位置の直交するｘ
およびｙ方向の第１所定位置からのずれを決定するステ
ップと、 第２のデバイス（１２）を機械映像カメラ（１７）に投
影するステップと、 第２デバイスの像を表す信号を機械映像カメラ（１７）
から前記コンピュータへ送るステップと、 コンピュータ（１６）を使用して、第２デバイスの像の
中心を計算し、その結果から、第２デバイスの位置の直
交するｘおよびｙ方向の第２所定位置からのずれを決定
するステップと、 第１デバイスが第２デバイスと整合するように移動可能
テーブルを移動するステップと、 コンピュータからの信号を使用して、第１所定位置から
の第１デバイスの前記ずれおよび第２所定位置からの第
２デバイスの前記ずれを補償するために微調整をするス
テップとからなることを特徴とする、第１デバイスを第
２デバイスと整合させる方法。 - 【請求項２】 第１デバイス（１１）が第１の機械映像
カメラ（１９）に投影され、 第２デバイス（１２）が、第１機械映像カメラとは異な
る第２の機械映像カメラ（１７）に投影されることを特
徴とする請求項１の方法。 - 【請求項３】 第１および第２機械映像カメラがテレビ
カメラであることを特徴とする請求項２の方法。 - 【請求項４】 第２機械映像カメラを第１デバイスに沿
って移動可能テーブル上に載置し、 第１デバイスを第１機械映像カメラに投影する前に、第
１デバイスが第１機械映像カメラとほぼ整合するように
移動可能テーブルを移動し、 第２デバイスを第２機械映像カメラに投影する前に、第
２デバイスが第２機械映像カメラとほぼ整合するように
移動可能テーブルを移動することを特徴とする請求項２
の方法。 - 【請求項５】 移動可能テーブルの単一の移動によっ
て、第１デバイスが第１機械映像カメラとほぼ整合し、
同時に、第２デバイスが第２機械映像カメラとほぼ整合
するように、第１および第２機械映像カメラが適切に載
置されることを特徴とする請求項４の方法。 - 【請求項６】 第１デバイスは発光デバイスであり、 第１デバイスを投影するステップは、第１デバイスから
放出された光を第１機械映像カメラに投影するステップ
からなり、 第２デバイスは光ファイバであることを特徴とする請求
項５の方法。 - 【請求項７】 第１デバイスが第２デバイスとほぼ整合
するとき、第１および第２デバイスの第１機械映像カメ
ラからのｘ方向の距離がＤであり、第１および第２デバ
イスの第２機械映像カメラからの逆のｘ方向の距離がＤ
であり、それによって、第１デバイスを第１機械映像カ
メラの視野に入れるために第１デバイスをｘ方向に距離
Ｄだけ移動することが、第２デバイスを第２機械映像カ
メラの視野に入れることにもなることを特徴とする請求
項５の方法。 - 【請求項８】 計算をするステップおよびその結果を使
用してずれを決定するステップが、 コンピュータを使用して第１および第２デバイスのそれ
ぞれの中心を計算するステップと、 計算した中心を、第１および第２デバイスの整合を表す
所定位置と比較するステップと、 第１および第２デバイスの中心の位置のずれを表す電気
的補正信号を発生するステップと、 その電気的補正信号を使用してモータを調節し、第１デ
バイスの中心と第２デバイスの中心が整合するようにｘ
ｙｚテーブルを移動するステップとからなることを特徴
とする請求項１の方法。 - 【請求項９】 モータはｘｙｚテーブルの一部を構成
し、 第１および第２機械映像カメラはテレビカメラであり、 第１および第２デバイスは光デバイスであることを特徴
とする請求項８の方法。
Applications Claiming Priority (2)
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ID=25487976
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