JPH1019726A

JPH1019726A - 光学部材検査装置

Info

Publication number: JPH1019726A
Application number: JP17376996A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Kida; 敦木田; Masayuki Sugiura; 正之杉浦; Masato Hara; 正人原; Toshihiro Nakayama; 利宏中山
Original assignee: Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1996-07-03
Filing date: 1996-07-03
Publication date: 1998-01-23
Anticipated expiration: 2016-07-03
Also published as: JP3559392B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】表面欠陥を屈折力異常と一緒に明確に検出す
るとともに、両欠陥の種類を容易に判定する。【解決手段】本検査装置は、拡散板５の表面に、直線状
のナイフエッジ６ａを有する遮光板６を貼り付ける。ナ
イフエッジ６ａの位置は、検査対象光学部材Ａの焦点位
置と一致する。拡散板５から検査部材Ａに入射した青色
光は、部材Ａによって平行光にされカラーＣＣＤカメラ
７に入射する。リング照明装置２７からの赤色光は、照
明リング２４から出射され、検査部材Ａを照明する。光
学部材Ａの表面にキズやゴミがある場合は、その部分に
おいて赤色光が発散され、発散した赤色光の一部がカラ
ーＣＣＤカメラ７によって撮像される。ＣＰＵ１４は、
カラーＣＣＤカメラ７によって得られた各色に基づく画
像データ中の光学的欠陥を有する部位を数値化し、数値
化された数値に基づいて欠陥の種類を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、レンズ等の光学部
材の屈折率異常等の光学的欠陥を検出するための光学部
材検査装置に関し、特に、光学的欠陥の種類をも判定す
ることができる光学部材検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レンズ，プリズム等の光学部材は、入射
した光束が規則正しく屈折して、平行に進行したり、一
点又は線状に収束したり発散するように設計されてい
る。しかしながら、光学部材の成形異常により屈折力
（屈折率）が不規則に変化していたり、形成後の人的取
り扱いによって光学部材の表面上にゴミ，キズ等が生じ
ていると、入射した光束が乱れてしまうので、所望の性
能を得ることができなくなる。特に、樹脂を金型に注入
して成形する事によって作成されるレンズやプリズム等
の光学部材では、上述した表面上のゴミ，キズ等の他、
成形異常によってヒケ（樹脂が金型表面から離間して生
じる陥没），ジェッティング（光学部材内において樹脂
密度が部分的に変化している箇所），フローマーク（樹
脂の収縮に伴って光学部材表面に生じるＷ字状の皺）が
生じ易いので、このような欠陥を効率良く検出すること
が必要となっている。

【０００３】そのため、本発明者は、セットされた光学
部材の光学的欠陥を自動的に検出することができる光学
部材検査装置を、特願平７−２２９２４２号として出願
した。この光学部材検査装置は、光学部材の焦点位置に
おいて回転自在に配置されたナイフエッジと、ナイフエ
ッジの背後に配置されて照明光を発散するための拡散板
と、光学部材を透過した光を撮像するための撮像装置と
により、構成される。このような構成の光学部材検査装
置によると、光学部材表面又は内部における屈折力（屈
折率）異常箇所が、撮像された画像中において明暗濃度
の急激な変化部位として表れる。また、光学部材の表面
に生じたキズや微細なごみ等は、それ自体が撮像装置に
よって撮像されるので、同様に、明暗濃度の変化部位と
して表れる。そして、これらの明暗濃度の急激な変化部
位の形状又は面積が数値化されて、合否判断に用いられ
るのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た出願に係る発明においては、光学部材の表面の照明
は、ナイフエッジを照明する照明光によってなされる。
そして、この照明光は、その裏面側から略垂直に、検査
対象光学部材に入射している。従って、キズやゴミでの
乱反射によって輝点が生じたとしても、この輝点は、そ
の周囲を通る拡散板からの照明光の中に埋もれてしまう
ことになる。従って、光学部材表面のキズやゴミは、画
像中において、あまり急激な明暗濃度変化箇所としては
表れなかった。

【０００５】また、キズやゴミが、明暗濃度の変化箇所
として画像中に表れたとしても、上述したように、ナイ
フエッジを照明する照明光と検査対象光学部材を照明す
る照明光とは、同じ照明光である。従って、キズやゴミ
による明暗濃度変化箇所と屈折力（屈折率）異常による
明暗濃度変化箇所とは、画像中において同色によって表
される。そのため、これらの欠陥の種類を画像に基づい
て区別するのが困難であった。

【０００６】そこで、本発明の課題は、以上の問題に鑑
み、検査対象光学部材の表面欠陥を屈折力（屈折率）異
常と一緒に明確に検出することができるとともに、両欠
陥の種類をも容易に判定することができる光学部材検査
装置を、提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】各請求項記載の発明は、
上記課題を解決するためになされたものである。請求項
１記載の発明は、光学部材の光学的欠陥を検出する光学
部材検査装置であって、第１の光を出射する第１照明装
置と、この第１照明装置から出射された前記第１の光に
よって照明される拡散板と、前記光学部材を含む光学系
の焦点位置に配置されるとともに、前記拡散板によって
拡散された前記第１の光を部分的に透過させる遮光手段
と、前記第１の光とは異なった方向から、前記光学部材
の表面に対して、第２の光を照射する第２照明装置と、
前記光学系を透過した前記第１の光及び前記光学部材の
表面にて拡散された前記第２の光とを夫々撮像する撮像
手段と、この撮像手段によって前記第１の光を撮像して
得られた第１画像及び前記第２の光を撮像して得られた
第２画像に基づいて、前記光学部材の光学的欠陥の有無
及び光学的欠陥の種類を判定する判定手段とを備えたこ
とを特徴とする。

【０００８】光学部材とは、凸レンズ及び凹レンズ，プ
リズム，凹面鏡及び凸面鏡，並びに、平行平面板を含
む。また、ガラスからなる光学部材及び樹脂成形による
光学部材を含む。光学部材の光学的欠陥とは、屈折率や
屈折力の部分的異常や光学部材の表面の欠陥を言う。屈
折率や屈折力の異常としては、樹脂成形の光学部材にお
けるヒケやジェッティングやフローマーク，ガラスから
なる光学部材における面加工の不良，等が例示される。
また、光学部材の表面の欠陥としては、表面のキズや汚
れやゴミ，等が列挙される。

【０００９】拡散板は、背後から照明される透光部材で
あっても良いし、表面側から照明される反射部材であっ
ても良い。遮光手段は、拡散板の表面に直接印刷された
遮光パターンであっても良いし、板状の不透明部材を適
宜切り出して拡散板に貼り付けたものであっても良い
し、拡散板とは別個の透明部材表面上に遮光パターンを
印刷したものであっても良い。この遮光手段における光
を部分的に透過させる部分と遮光させる部分との境界線
は、直線状であっても良いし、曲線状であっても良い。
また、境界線は一本のみであっても良いし、縞状に複数
本あっても良い。さらに、境界線は、複数の方向を向い
ていても良い。この遮光手段は、境界線が複数の方向を
向いている場合には固定されていても良いが、境界線が
一本のみの場合又は境界線が全て同じ方向を向いている
場合にはこの境界線に接する回転軸を中心に回転するこ
とが望ましい。なお、遮光手段が回転する際、拡散板が
一体に回転しても良いし、拡散板が固定された状態で遮
光手段のみが回転しても良い。

【００１０】「光学部材を含む光学系」とは、凸レンズ
又は凹面鏡である光学部材そのもの，若しくは、凹レン
ズ，凸面鏡，平行平面板，又はプリズムである光学部材
を含む正レンズ群のことである。この光学系の全体とし
ての焦点位置が遮光手段の位置に一致するように、各部
材が配置される。

【００１１】第２照明手段は、第２の光学部材に対して
第２の光を表面側から照射しても良いし、裏面側から照
射しても良い。この第２照明手段は、１箇所からのみ第
２の光を照射しても良いし、面状に広がった拡散板を介
して第２の光を照射しても良い。第２照明手段によって
照射される第２の光の波長は、第１照明手段によって出
射される第１の光と異なっていても良いし、同じであっ
ても良い。後者の場合には、第１の光の出射タイミング
と第２の光の照射タイミングをずらすことによって、一
つの撮像手段によって第１画像及び第２画像を得ること
ができる。前者の場合、撮像手段がカラー撮像が可能な
構造を有していれば、第１の光の出射タイミングと第２
の光の照射タイミングを同時にしても、第１の画像と第
２の画像を得ることができる。この場合、撮像手段は、
撮像前に光を波長毎に分離して夫々別の撮像素子又は撮
像管によって撮像しても良い。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１の遮光部
材が、直線状の境界線によって夫々分けられた前記光を
部分的に透過させる部分と前記光を部分的に遮光する部
分とからなることで、特定したものである。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項２の遮光手
段を前記撮像手段の撮像光軸に直交する面内において前
記直線状の境界線に接する回転軸を中心に回転させる回
転手段を更に備えたことで、特定したものである。

【００１４】請求項４記載の発明は、請求項３の光学部
材を含む光学系の光軸が、前記遮光部材の回転軸と一致
していることで、特定したものである。請求項５記載の
発明は、請求項１の第１の光の波長と前記第２の光の波
長とが互いに異なることで、特定したものである。

【００１５】請求項６記載の発明は、請求項１の第２照
明装置が、前記第２の光を、前記撮像手段の撮像光軸に
対して斜めの方向から、前記光学部材の表面に対して照
射することで、特定したものである。

【００１６】請求項７記載の発明は、請求項６の第２照
明装置が、前記撮像手段の撮像光軸をその中心とした環
状の拡散板を介して前記第２の光を照射することで、特
定したものである。

【００１７】請求項８記載の発明は、請求項７の環状の
拡散板が、前記撮像手段の画角の外側に位置しているこ
とで、特定したものである。請求項９記載の発明は、請
求項５の撮像手段が、前記第１の光と前記第２の光とを
同時に撮像することで、特定したものである。

【００１８】請求項１０記載の発明は、請求項９の撮像
手段が、前記第１の光と前記第２の光とを夫々個別に撮
像する２種類のピクセルを包含する撮像素子を有してい
ることで、特定したものである。

【００１９】請求項１１記載の発明は、請求項１の判定
手段が、前記第１画像の前記光学部材の光学的欠陥を示
す部位を夫々数値化するとともに前記第２画像の前記光
学部材の光学的欠陥を示す部位を夫々数値化する数値化
手段と、この数値化手段によって数値化された数値が所
定の判定基準値を超えたか否かを比較する第１の比較手
段とを有し、この第１の比較手段によって前記数値が前
記所定の判定基準値を超えたと認定された場合に、前記
光学部材が光学的欠陥を有していると判定することで、
特定したものである。

【００２０】請求項１２記載の発明は、請求項１１の第
１の比較手段が、前記数値化手段によって数値化された
何れかの数値が前記所定の判定基準値を超えたか否かを
比較することで、特定したものである。

【００２１】請求項１３記載の発明は、請求項１の判定
手段が、個々の前記光学的欠陥を示す部位毎に、前記第
１画像に基づいて数値化された数値と前記第２画像に基
づいて数値化された数値とを比較する第２の比較手段を
更に有し、個々の前記光学的欠陥を示す部位毎に、前記
第１画像に基づいて数値化された数値が前記第２画像に
基づいて数値化された数値よりも所定量以上大きいと前
記第２の比較手段によって認定された場合には当該光学
的欠陥が屈折力異常に因るものであると判定し、前記第
１画像に基づいて数値化された数値が前記第２画像に基
づいて数値化された数値よりも前記所定量以上小さいと
前記第２の比較手段によって認定された場合には当該光
学的欠陥がキズに因るものであると判定し、前記第１画
像に基づいて数値化された数値と前記第２画像に基づい
て数値化された数値との差が前記所定量以内であると前
記第２の比較手段によって認定された場合には当該光学
的欠陥がゴミに因るものであると判定することで、特定
したものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。

【００２３】

【実施形態１】＜光学部材検査装置の全体構成＞図１は、本発明による
光学部材検査装置の実施の形態を示す概略構成図（斜視
図）であり、図２は、その光学系の更に詳しい構成及び
機械構成を示す光学構成図であり、図３は、その回路構
成の更に詳しい構成を示すブロック図である。

【００２４】各図に示すように、この光学部材検査装置
は、ナイフエッジユニット４，照明リング２４，リング
状拡散照明板２５，及びカラーＣＣＤカメラ７を、共通
の装置光軸ｌ上において光の進行方向に沿って順番に配
置して、構成されている。また、カラーＣＣＤカメラ７
は、ＣＰＵ１４に接続され、このＣＰＵ１４は、キーボ
ード３１，外部メモリ３０，モニタ装置１０，Ｘ／Ｙス
テージ制御回路１７，斜入射光照明駆動回路１９，ナイ
フエッジ回転制御回路１５，及びナイフエッジ照明駆動
回路１６に接続されている。このＸ／Ｙステージ制御回
路１７は、Ｘ／Ｙステージ１８のＸ方向用パルスモータ
２０及びＹ方向用パルスモータ２１に接続されている。
また、斜入射光照明駆動回路１９は、リング照明装置２
７の照明ランプ２８に接続されている。また、ナイフエ
ッジ回転制御回路１５は、ナイフエッジユニット４のモ
ータ１３に接続されている。また、ナイフエッジ照明駆
動回路１６は、ナイフエッジ照明装置２６の照明ランプ
１に接続されている。そして、検査対象光学部材（図１
及び図２においては、正レンズ）Ａは、Ｘ／Ｙステージ
１８によって保持されて、リング状拡散照明板２５とカ
ラーＣＣＤカメラ７との間の装置光軸ｌ上に配置されて
いる。

【００２５】この撮像手段としてのカラーＣＣＤカメラ
７は、全体として正レンズ系である撮像レンズ８と、こ
の撮像レンズ８によって集束される光による像をカラー
撮像するカラーＣＣＤエリアセンサからなる撮像素子９
とから、構成されている。この撮像素子９は、撮像レン
ズ８によって集束された光に含まれる赤，緑及び青の三
原色を夫々個別に撮像する３種類のピクセルを包含し、
赤色光を撮像するピクセルからの画像データ（第２画
像，Ｒ）及び青色光を撮像するピクセルからの画像デー
タ（第１画像，Ｂ）を、夫々ＣＰＵ１４に入力する。

【００２６】モニタ装置１０は、撮像素子９から入力さ
れた画像データに基づく画像を表示する画像モニタ装置
である。また、外部メモリ３０は、各検査対象光学部材
Ａの種類毎に作成されるデータを登録するための不揮発
メモリである。

【００２７】また、キーボード３１は、検査対象光学部
材Ａの種類を示す識別番号，レンズの手動芯出しの完了
通知，検査を終了するか否か，等の情報をＣＰＵ１４に
入力するための入力装置である。また、キーボード３１
には、装置全体への主電源投入を指示するための主電源
投入キー（図示略）も、設けられている。

【００２８】ＣＰＵ１４は、図４乃至図１０の処理を実
行することにより、画像処理部３２及び制御部３３の機
能を生じる。この画像処理部３２は、カラーＣＣＤカメ
ラ７から入力される画像に対して様々な画像処理を施す
部分であり、制御部３３は、この画像処理結果に基づい
て各部の制御を行う部分である。

【００２９】判定手段（数値化手段，第１の比較手段，
第２の比較手段）としての画像処理部３２には、カラー
ＣＣＤカメラ７が接続されているとともに、第１画像メ
モリ３４〜第４画像メモリ３７が内蔵されている。この
画像処理部３２は、具体的には、検査者によるナイフエ
ッジユニット４の装置光軸ｌ上での位置調整に際して、
カラーＣＣＤカメラ７から入力された各画像データ
（Ｂ）を、制御部３３に受け渡す。また、画像処理部３
２は、検査対象光学部材Ａに欠陥が生じているか否か及
びその欠陥の種類の判定を行う（判定手段に相当）。こ
の判定のために、画像処理部３２は、カラーＣＣＤカメ
ラ７から入力された画像データ（Ｒ），（Ｂ）から、検
査対象光学部材Ａの外縁α（図１３）よりも内側の領域
を、検査対象領域として抽出する。そして、この抽出し
た検査対象領域の画像データに対して所定の画像処理を
行い、検査対象光学部材Ａに生じている各光学的欠陥箇
所における欠陥の程度を数値化する（数値化手段に相
当）。そして、この数値を一定の判定基準値（許容値）
と比較し（第１の比較手段に相当）、この数値が判定基
準値内に収まっているか超えているかの判定を行う。さ
らに、この数値が判定基準値を越えている場合には、そ
の欠陥の部位に対応する第１画像に基づく数値と第２画
像に基づく数値とを比較し（第２の比較手段に相当）、
この欠陥が光学部材の屈折力（屈折率）異常に因るもの
であるか表面欠陥に因るものであるかを判定する。この
判定結果は、画像処理部３２より制御部３３へ通知され
る。

【００３０】制御部３３には、上述のキーボード３１，
外部メモリ３０及びモニタ装置１０が接続されている。
この制御部３３は、具体的には、画像処理部３２から画
像データを受け取った場合には、その画像データをモニ
タ装置１０に表示させる。また、この制御部３３は、画
像処理部３２による上述の判定処理に先立って、Ｘ／Ｙ
ステージ制御回路１７に対して、Ｘ／Ｙステージ１８に
よって検査対象光学部材Ａの光軸を装置光軸ｌに合致さ
せる様、指示を行う。即ち、検査対象光学部材Ａの芯出
処理を実行する。また、制御部３３は、画像処理部３２
が上述した判定処理を行うのに伴って、ナイフエッジ照
明駆動回路１６及び斜入射光照明駆動回路１９に対して
夫々照明ランプ１，２８の点灯を指示し、ナイフエッジ
回転制御回路１５に対してナイフエッジ６ａの回転指示
を行う。また、制御部３３は、画像処理部３２から通知
された判定結果に基づいて、モニタ装置１０に判定結果
を表示させる。

【００３１】ナイフエッジ照明駆動回路１６は、ＣＰＵ
１４の制御部３３からの指示に応じて、撮像素子９によ
って撮像される画像データの輝度値が所定値になるよう
に、適切な量の駆動電流を、ナイフエッジ照明装置２６
の照明ランプ１に供給する。

【００３２】第１照明装置としてのナイフエッジ照明装
置２６は、光学部材検査装置内に固設されており、ナイ
フエッジ照明駆動回路１６からの駆動電流によって青色
に発光する照明ランプ１と、この照明ランプ１から出射
された青色光（第１の光）を集光する集光レンズ２とか
ら、構成されている。この集光レンズ２によって集光さ
れた青色光は、このナイフエッジ照明装置２６とナイフ
エッジユニット４との間をフレキシブルに結ぶ光ファイ
バー束３の入射端面３ｂに、入射する。

【００３３】このナイフエッジユニット４は、全体とし
て装置光軸ｌ上をカラーＣＣＤカメラ７に向けて進退で
きるように、光学部材検査装置内に設けられている。こ
のナイフエッジユニット４の内部には、その中心を装置
光軸ｌと同軸にした円盤状の拡散板５が、装置光軸ｌに
直交する面内において装置光軸ｌを中心に回転自在に保
持されている。この拡散板５のカラーＣＣＤカメラ７側
の面には、遮光手段としての遮光板６が一体に貼り付け
られている。この遮光板６は、図１に示すように、不透
明部材からなる半円形の板であり、拡散板５の中心を通
る径方向の直線を弦（ナイフエッジ）６ａとするととも
に、拡散板５と同一半径の円弧を有している。上述した
ナイフエッジ照明装置２６からの光を伝送する光ファイ
バー束３の出射端３ａは、このナイフエッジユニット４
内において、装置光軸ｌに沿って拡散板５の背面（遮光
板６が貼り付けられている面とは反対側の面）に向けて
配置されている。このような構成を備えた結果、光ファ
イバー束３の出射端３ａから出射された青色光は、拡散
板５によって拡散され、遮光板６により部分的に遮光さ
れるとともに、遮光板６に覆われていない部分により部
分的に透過される。

【００３４】拡散板５の周縁部には、この拡散板５と同
軸の環状ギア１１が固着されている。この環状ギア１１
は、ピニオンギア１２と噛合しており、このピニオンギ
ア１２は、ナイフエッジユニット４内に固定されている
モータ１３の回転軸に取り付けられている。このモータ
１３は、制御部３３によって制御されるナイフエッジ回
転制御装置１５によって、回転駆動される。このように
してモータ１３が回転駆動されると、両ギア１２，１１
を介して拡散板５が装置光軸ｌに直交する面内で回転さ
れ、遮光板６のナイフエッジ（弦）６ａも装置光軸ｌを
中心に回転する。これら制御部３３，ナイフエッジ回転
制御回路１５，モータ１３，ギア１２，１１が回転手段
に相当する。

【００３５】斜入射光照明駆動回路１９は、ＣＰＵ１４
の制御部３３からの指示に応じて、撮像素子９によって
撮像される画像データの輝度値が所定値になるように、
適切な量の駆動電流を、リング照明装置２７の照明ラン
プ２８に供給する。

【００３６】第２照明装置を構成するリング照明装置２
７は、斜入射光照明駆動回路１９から供給される駆動電
流によって赤色に発光する照明ランプ２８と、この照明
ランプ２８から出射された赤色光（第２の光）を集光す
る集光レンズ２９とから、構成されている。この集光レ
ンズ２９によって集光された赤色光は、このリング照明
装置２７と照明リング２４との間をフレキシブルに結ぶ
光ファイバー束２３の入射端面２３ｂに、入射する。

【００３７】第２照明装置を構成するリング照明２４
は、装置光軸（撮像光軸）ｌを中心としてリング状に構
成されており、光ファイバー束２３の先端を、リング状
拡散照明板２５に向けた状態で装置光軸ｌの周囲に保持
している。

【００３８】第２照明装置を構成する環状の拡散板とし
てのリング状拡散照明板２５は、リング照明２４から出
射された光をランダムな方向に拡散させつつ透過する拡
散板であり、装置光軸（撮像光軸）ｌを中心としてリン
グ状に構成されている。従って、このリング状拡散照明
板２５は、検査対象光学部材Ａを、装置光軸（撮像光
軸）ｌに対して斜めの方向（第１の光とは異なった方
向）から照明することになる。なお、リング照明２４及
びリング状拡散照明板２５の内径は、何れも同径であ
り、カラーＣＣＤカメラ７の画角よりも大きく形成され
ている。従って、このリング状拡散照明板２５から出射
された光がカラーＣＣＤカメラ７によって直接撮像され
ることはない。

【００３９】Ｘ／Ｙステージ１８は、検査対象光学部材
Ａから径方向に向けて一体に延びているランナー３０を
掴むことにより、装置光軸ｌに直交する面内で移動可能
に検査対象光学部材Ａを保持する。即ち、このＸ／Ｙス
テージ１８は、装置内の固定部に対してＸ方向（図２の
左右方向）にスライドするＸステージ１８ａ，及び、こ
のＸステージ１８ａに対してＹ方向（図２の紙面に直交
する方向）にスライドするＹステージ１８ｂと、ランナ
ー３０を掴むためにＹステージ１８ｂ上に固設されてい
るホルダ部２２とから、構成されている。このＸステー
ジ１８ａには、このＸステージ１８ａをＸ方向にスライ
ド駆動するためのＸ方向用パルスモータ２０が取り付け
られており、Ｙステージ１８ｂには、このＹステージ１
８ｂをＹ方向にスライド駆動するためのＹ方向用パルス
モータ２１が取り付けられている。

【００４０】Ｘ／Ｙステージ制御回路１７は、ＣＰＵ１
４の制御部３３からの制御に応じて各パルスモータ２
０，２１に駆動パルスを供給してＸ／Ｙステージ１８を
駆動し、検査対象光学部材Ａの光軸が装置光軸ｌに合致
する様にこの検査対象光学部材Ａを移動させる装置であ
る。

【００４１】上述のナイフエッジユニット４は、検査対
象光学部材Ａが正レンズである場合には、そのナイフエ
ッジ６ａの装置光軸ｌ上の位置がＸ／Ｙステージ１８に
保持された検査対象光学部材Ａの焦点位置と一致するよ
うに、その装置光軸ｌ上の位置が調整される。

【００４２】一方、この検査対象光学部材Ａが負レンズ
である場合には、この検査対象光学部材Ａとリング状拡
散照明板２５との間に、この検査対象光学部材のパワー
（絶対値）よりも大きいパワー（絶対値）を有する補正
レンズ（正レンズ）が配置される。この検査対象光学部
材（負レンズ）Ａ及び補正レンズ（正レンズ）からなる
レンズ群は、全体として正のパワーを持つレンズ群であ
る。この場合、上述のナイフエッジユニット４は、その
ナイフエッジ６ａの装置光軸ｌ上の位置が検査対象光学
部材Ａと補正レンズの合成焦点位置と一致するように、
その装置光軸ｌ上の位置が調整される。＜屈折力（屈折率）欠陥表示の原理＞以上のように被検
査光学部材Ａ（及び補正レンズ）が配置されると、ナイ
フエッジユニット４から出射されて検査対象光学部材Ａ
を透過した青色光は、この検査対象光学部材Ａが良品で
ある限り、平行光となる。従って、カラーＣＣＤカメラ
７側から見ると、遮光板６のナイフエッジ６ａが無限遠
上に位置しているのと等価になる。

【００４３】ところで、仮に、検査対象光学部材Ａの焦
点位置（又は、検査対象光学部材Ａと補正レンズとから
なる光学系の合成焦点位置，以下同様とする）がナイフ
エッジ６ａの装置光軸ｌ上の位置よりもカラーＣＣＤカ
メラ７側にずれると、検査対象光学部材ＡとカラーＣＣ
Ｄカメラ７の撮像レンズ８との間の空間に、ナイフエッ
ジ６ａの倒立像（実像）が形成される。このナイフエッ
ジ６ａの倒立像（実像）は撮像レンズ８によってリレー
され、撮像レンズ８の撮像素子９側の空間に、ナイフエ
ッジ６ａの正立像（実像）が形成される。逆に、検査対
象光学部材Ａの焦点位置がナイフエッジ６ａの装置光軸
ｌ上の位置よりも光ファイバー束３側にずれると、遮光
板６の光ファイバー束３側の空間に、ナイフエッジ６ａ
の正立像（虚像）が形成される。このナイフエッジ６ａ
の正立像（虚像）は撮像レンズ８によってリレーされ、
撮像レンズ８の撮像素子９側の空間に、ナイフエッジ６
ａの倒立像（実像）が形成される。即ち、検査対象光学
部材Ａの焦点位置とは、この位置に存在する物体（ナイ
フエッジ６ａ）の像が、撮像レンズ８の撮像素子９側の
空間において正立像として結像されるか倒立像として結
像されるかの境界点であり、光学的に不安定な状態とな
る位置である。

【００４４】なお、検査対象光学部材Ａと撮像レンズ８
との間隔は、検査対象光学部材Ａの焦点位置がナイフエ
ッジ６ａの装置光軸ｌ上の位置よりもカラーＣＣＤカメ
ラ７側に僅かにずれただけであってもそれらの間（正確
には、両者の焦点位置同士の間）にナイフエッジ６ａの
倒立像（実像）が形成されるように、可能な限り長くと
ってある。また、撮像素子９は、撮像レンズ８によって
正立像が形成されても倒立像が形成されてもこれらの像
をある程度明瞭に撮像できるように、正立像の形成位置
（平均位置）と倒立像の形成位置（平均位置）との中間
点に配置される。この位置とは、撮像レンズ８に関して
検査対象光学部材Ａの表面と光学的に等価な位置であ
る。

【００４５】従って、撮像素子９上には、常に、検査対
象光学部材Ａの外縁の実像（倒立像）αが結像されると
ともに、この検査対象光学部材の外縁の実像αの周囲に
は、検査対象光学部材Ａを通さずに直接見えるナイフエ
ッジ６ａの実像（倒立像）がややぼけて結像される（図
１１（ａ）〜（ｅ）参照）。

【００４６】そして、この検査対象光学部材の外縁の実
像αの内側には、検査対象光学部材Ａの焦点位置（検査
対象光学部材Ｂと補正レンズＣとからなる光学系の合成
焦点位置）がナイフエッジ６ａの装置光軸ｌ上の位置よ
りもカラーＣＣＤカメラ７側にずれている場合には、ナ
イフエッジ６ａの実像（正立像）が、ややぼけて結像さ
れる（図１１（ｄ），（ｅ）参照）。このナイフエッジ
６ａの実像（正立像）は、焦点位置のずれ量が少なくな
る程ぼけ量が大きくなり（図１１（ｄ）参照）、ずれ量
が大きくなる程ぼけ量が少なくなって明確になる（図１
１（ｅ）参照）。

【００４７】これとは逆に、検査対象光学部材Ａの焦点
位置（検査対象光学部材Ｂと補正レンズＣとからなる光
学系の合成焦点位置）がナイフエッジ６ａの装置光軸ｌ
上の位置よりも光ファイバー束３側にずれている場合に
は、検査対象光学部材の外縁の実像αの内側には、ナイ
フエッジ６ａの実像（倒立像）が、ややぼけて結像され
る（図１１（ｂ），（ａ）参照）。ナイフエッジ６ａの
実像（倒立像）は、焦点位置のずれ量が少なくなる程ぼ
け量が大きくなり（図１１（ｂ）参照）、ずれ量が大き
くなる程ぼけ量が少なくなって明確になる（図１１
（ａ）参照）。

【００４８】また、検査対象光学部材Ａの焦点位置がナ
イフエッジ６ａの装置光軸ｌ上の位置と一致すると、検
査対象光学部材Ａの外縁の実像αの内側におけるぼけ量
が最大となり、全体に均一な明度で光線が照射されるよ
うになる（図１１（ｃ）参照）。

【００４９】モニタ装置１０及び画像処理部３２に入力
される画像データ中において、検査対象光学部材の外縁
αの内側部分は、検査対象光学部材Ａの焦点位置が拡散
板５の表面の位置と一致した時には、検査対象光学部材
Ａに光学的欠陥がない限り、ナイフエッジ６ａの黒色部
分（白色光が遮られている部分）と白色部分（白色光が
透過する部分）とが完全に混合して、均一濃度の灰色の
平面として表示される（球面レンズの場合）。なお、検
査対象光学部材Ａとして非球面レンズを検査する場合に
は、焦点位置が一点のみではなく緩やかに変化している
ので、輝度変化が非常に穏やかな画像となる。

【００５０】これに対して、検査対象光学部材Ａ内に屈
折率異常が生じている部分や表面の形状欠陥によって屈
折力異常が生じている部分がある場合には、その異常部
分のみ、正常な部分の焦点距離と異なる焦点距離を有す
ることと等価になっている。従って、図１２に示すよう
に、その異常部分にだけ、ナイフエッジの像γが現れ
る。この異常部分の屈折率（屈折力）異常の程度（焦点
距離のずれ量）は、ナイフエッジの像γの現れ方に反映
される。即ち、ナイフエッジの像の濃淡が明確に現れれ
ば現れるほど、屈折率（屈折力）異常の程度（焦点距離
のずれ量）が大きくなる。＜表面欠陥表示の原理＞一方、リング状拡散照明板２５
の全域からは、あらゆる方向に向けて赤色光が出射され
ている。従って、検査対象光学部材Ａの表面にゴミが付
着していたり、キズがついている場合には、これらゴミ
やキズは、リング状拡散照明板２５の全域からの赤色光
によって、斜方向から照明される。このように照明され
たゴミやキズは、照明光である赤色光を、再度拡散させ
る。このようにしてゴミ又はキズによって再度拡散され
た赤色光のうち、カラーＣＣＤカメラ７の撮像レンズ８
に入射した光は、この撮像レンズ８によって収束され
て、これらゴミ又はキズの赤色光による像を撮像素子９
上に結像する。なお、検査対象光学部材Ａの表面にゴミ
が付着している場合には、ナイフエッジユニット４から
の青色光もこのゴミによって拡散し、拡散した青色光が
撮像レンズ８によって収束されるので、撮像素子９上に
は青色光による像も結像される。

【００５１】このように、赤色光が撮像素子９によって
受光されるのは、主として検査対象光学部材Ａの表面に
ゴミが付着されていたりキズがついている場合である。
従って、カラーＣＣＤカメラ７によって撮像される赤色
の像は、検査対象光学部材Ａの表面欠陥の位置及び形状
並びに大きさを示している。＜自動芯出の原理＞制御部３３によって制御される自動
芯出の原理を、以下に説明する。図１３は、カラーＣＣ
Ｄカメラ７の撮像素子９によって撮像されるフィールド
を示す。この図１３に示されるように、撮像素子９によ
って撮像されるフィールドには、このフィールドの中心
位置を原点“０”として、Ｘ方向に伸びるＸ方向中心
軸，及びＹ方向に伸びるＹ方向中心軸が、夫々定義され
ている。また、Ｘ方向中心軸上には、原点“０”を中心
とした一定範囲を規定するための座標点ｘ₁及びｘ₂が、
定義されている。同様に、Ｙ方向中心軸上には、原点
“０”を中心とした一定範囲を規定するための座標点ｙ
₁及びｙ₂が、定義されている。これらの座標点ｘ₁，
ｘ₂，ｙ₁，及びｙ₂は、検査対象レンズＡの外縁像αの
内側に存する座標点である。

【００５２】ところで、検査対象レンズＡの光軸が装置
光軸ｌと一致している場合，即ち、検査対象レンズＡの
光軸及び焦点位置が遮光板６のナイフエッジ６ａの回転
中心と合致している場合には、そのナイフエッジ６ａが
ぼかされつつ拡大されるので、ナイフエッジ６ａの方向
に拘わらず、撮像素子９によって撮像された外縁α内の
輝度は一定である。図１６は、この状態にてナイフエッ
ジ２８ａをＸ方向に向けるとともに拡散板６を図２の手
前側に配置した時（０°）のＹ軸上の輝度分布，及び、
ナイフエッジ６ａをそこから１８０度回転させた時（１
８０°）のＹ軸上の輝度分布を、夫々プロットしたグラ
フである。

【００５３】ところが、検査対象レンズＡの光軸が装置
光軸ｌからズレた場合には、ナイフエッジ６ａが０°で
ある時と１８０°である時とでは、検査対象レンズＡの
焦点と遮光板６との相対位置関係が変化する。即ち、ナ
イフエッジ６ａが或る方向を向いている場合には検査対
象レンズＡの光軸が遮光板６上に位置するのに対してナ
イフエッジ６ａが１８０°回転すると検査対象レンズＡ
の光軸が拡散板５上に位置するように、なるのである。
従って、検査対象レンズＡの光軸が遮光板６上に位置し
ている時には、遮光板６自体が拡大されるので、撮像素
子９によって撮像された外縁α内の輝度が低くなる。一
方、検査対象レンズＡの光軸が拡散板５上に位置してい
る時には、拡散板５自体が拡大されるので、撮像素子９
によって撮像された外縁α内の輝度が高くなる。図１４
は、図１６の状態に比して、検査対象レンズＡの光軸が
Ｙ方向に−０．２ｍｍズレた場合における輝度分布を示
している。また、図１５は、図１６の状態に比して、検
査対象レンズＡの光軸がＹ方向に−０．１ｍｍズレた場
合における輝度分布を示している。また、図１７は、図
１６の状態に比して、検査対象レンズＡの光軸がＹ方向
に＋０．１ｍｍズレた場合における輝度分布を示してい
る。また、図１８は、図１６の状態に比して、検査対象
レンズＡの光軸がＹ方向に＋０．２ｍｍズレた場合にお
ける輝度分布を示している。

【００５４】画像処理部３２は、制御部３３からの指示
に応じ、ナイフエッジ６ａの方向を０°とした場合の画
像におけるｙ₁〜ｙ₂（ｘ₁〜ｘ₂）の範囲内の輝度の積分
値（輝度断面積）から、ナイフエッジ６ａの方向を１８
０°とした場合の画像におけるｙ₁〜ｙ₂（ｘ₁〜ｘ₂）の
範囲内の輝度の積分値（輝度断面積）を減算することに
より、「輝度差」を算出する。図１９は、図１４乃至図
１８の各図から算出された輝度差をプロットしたもので
ある。この図１９から明らかなように、検査対象レンズ
Ａの光軸の装置光軸ｌに対するズレ量が大きくなる程、
「輝度差」の絶対値が、大きくなる。また、ナイフエッ
ジ６ａの基準方向（０°の方向）を一定とした場合、ズ
レの向きによって輝度差の極性が逆転する。つまり、検
査対象レンズＡの光軸の装置光軸ｌに対するズレ量と
「輝度差」とは、正比例関係にあるのである。従って、
現時点における画像から「輝度差」を算出し、算出され
た「輝度差」に基づいて図１９のグラフを逆に辿れば、
現時点における検査対象レンズＡの装置光軸ｌに対する
ズレ量及びズレ方向を知ることができる。制御部３３
は、このようにして得られたＸ，Ｙ各方向におけるズレ
量を相殺する距離だけ光学部材Ａを移動させる様、Ｘ／
Ｙステージ制御回路１７に対して指示することによっ
て、検査対象光学部材Ａの芯出しを行うのである。な
お、制御部３３は、実際には、画像処理部３２から通知
された輝度差に基づいて、図２０に示すような輝度差と
移動量とを精密に対応させたナイフエッジ芯出テーブル
を作成して外部メモリ３０に格納しておくとともに、画
像処理部３２から輝度値の通知がある毎に、この輝度差
に基づいてこのナイフエッジ芯出テーブルを参照して移
動量を求める。なお、このナイフエッジ芯出テーブル
は、Ｙ方向用のナイフエッジ芯出テーブルとＸ方向用の
ナイフエッジ芯出テーブルとから構成されており、検査
対象光学部材Ａの種類毎に夫々作成・記憶されている。
そして、制御部３３は、Ｘ／Ｙステージ１８上に保持さ
れた検査対象光学部材Ａの種類に対応する識別番号がキ
ーボード３１を介して入力された場合には、その識別番
号に対応するナイフエッジ芯出テーブルを、外部メモリ
３０から読み出して使用する。＜制御処理＞次に、制御部３３及び画像処理部３２にお
いて実行される光学部材検査のための制御処理の内容
を、図４乃至図１０のフローチャートを用いて説明す
る。

【００５５】図４に示す制御処理のメインルーチンは、
当該光学部材検査装置に主電源を投入することにより、
スタートする。そして、スタート後最初のＳ００１にお
いて、制御部３３は、検査対象光学部材（被検査物）Ａ
をセットするための処理を実行する。即ち、制御部３３
は、ナイフエッジ照明駆動回路１６に対してナイフエッ
ジ照明装置２６の照明ランプ１を点灯させる指示を行う
とともに、モニタ装置１０上に検査対象光学部材Ａのセ
ットを促す旨の表示を行い、検査対象光学部材Ａのセッ
トが完了した旨，及び、検査対象光学部材Ａの整理番号
がキーボード４３を介して入力された場合には、処理を
Ｓ００２に進める。

【００５６】Ｓ００２では、ナイフエッジ芯出し処理を
実行する。図５及び図６は、このＳ００２にて実行され
るナイフエッジ芯出し処理サブルーチンを示すフローチ
ャートである。このサブルーチンに入って最初のＳ１０
１では、制御部３３は、ナイフエッジ回転制御回路１５
に対して原点復帰命令を発行する。この原点とは、ナイ
フエッジ６ａを図２の左右方向（Ｘ方向）に向けた状態
で遮光板６自体が図２の手前側に来るナイフエッジ６ａ
及び遮光板６の回転位置である。ナイフエッジ回転制御
回路１５は、この原点復帰命令を受けると、モータ１３
を駆動して、ナイフエッジ６ａの回転位置を原点に復帰
させる。

【００５７】次のＳ１０２では、制御部３３は、Ｓ１０
１での原点復帰命令に応じたナイフエッジ６ａの回転が
終了するのを待つ。次のＳ１０３では、画像処理部３２
は、この時点においてカラーＣＣＤカメラ７によって撮
像された青色光に基づく画像データを入力する。

【００５８】次のＳ１０４では、制御部３３は、ナイフ
エッジ回転制御回路１５に対して９０度回転命令を発行
する。ナイフエッジ回転制御回路１５は、この９０度回
転命令を受けると、モータ１３を駆動して、ナイフエッ
ジ６ａを時計方向に９０度回転させ始める。

【００５９】次のＳ１０５では、画像処理部３２は、Ｓ
１０３にて入力した画像データに基づいて、座標位置ｙ
₁と座標位置ｙ₂との間でＹ方向に並んだ全ての画素の輝
度値の総和（積分値）Ｙ_Aを求める。

【００６０】次のＳ１０６では、制御部３３は、Ｓ１０
４での９０度回転命令に応じたナイフエッジ６ａの回転
が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイフエ
ッジ１ａが図２の紙面に直交する方向（Ｙ方向）を向
き、遮光板６自体が図２の左側に位置するようになる。

【００６１】次のＳ１０７では、画像処理部３２は、こ
の時点においてカラーＣＣＤカメラ７によって撮像され
た青色光に基づく画像データを入力する。次のＳ１０８
では、制御部３３は、ナイフエッジ回転制御回路１５に
対して９０度回転命令を発行する。

【００６２】次のＳ１０９では、画像処理部３２は、Ｓ
１０７にて入力した画像データに基づいて、座標位置ｘ
₁と座標位置ｘ₂との間でＸ方向に並んだ全ての画素の輝
度値の総和（積分値）Ｘ_Aを求める。

【００６３】次のＳ１１０では、制御部３３は、Ｓ１０
８での９０度回転命令に応じたナイフエッジ６ａの回転
が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイフエ
ッジ６ａが図２の紙面の左右方向（Ｘ方向）を向き、遮
光板６自体が図２の奥側に位置するようになる。

【００６４】次のＳ１１１では、画像処理部３２は、こ
の時点においてカラーＣＣＤカメラ７によって撮像され
た青色光に基づく画像データを入力する。次のＳ１１２
では、制御部３３は、ナイフエッジ回転制御回路１５に
対して９０度回転命令を発行する。

【００６５】次のＳ１１３では、画像処理部３２は、Ｓ
１１１にて入力した画像データに基づいて、座標位置ｙ
₁と座標位置ｙ₂との間でＹ方向に並んだ全ての画素の輝
度値の総和（積分値）Ｙ_Bを求める。

【００６６】次のＳ１１４では、画像処理部３２は、Ｓ
１０５にて算出した輝度値総和Ｙ_AからＳ１１３にて算
出した輝度値総和Ｙ_Bを減算することによって「輝度
差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部３３に通
知する。

【００６７】Ｓ１１５では、制御部３３は、画像処理部
３２から通知された「輝度差」の絶対値に基づいて、Ｓ
００１にて入力された識別番号に対応するものとして外
部メモリ３０から読み出したＹ方向用のナイフエッジ芯
出テーブルを参照して、対応する移動量（パルス数）Δ
Ｙを求める。それとともに、その「輝度差」の極性を反
転した極性をこの移動量ΔＹに付す。このように求めた
値＋／−ΔＹは、Ｙ方向の光軸ズレを相殺するための移
動量（パルス数）及び移動方向を示す。なお、Ｓ１１３
乃至Ｓ１１５までの処理の実行中でも、ナイフエッジ回
転制御回路１５はモータ１３の駆動を継続する。

【００６８】次のＳ１１６では、制御部３３は、Ｓ１１
２の９０度回転命令に応じたナイフエッジ６ａの回転が
終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイフエッ
ジ６ａが図２の紙面に直交する方向（Ｙ方向）を向き、
遮光板６自体が図２の右側に位置するようになる。

【００６９】次のＳ１１７では、画像処理部３２は、こ
の時点においてカラーＣＣＤカメラ１７によって撮像さ
れた青色光に基づく画像データを入力する。次のＳ１１
８では、画像処理部３２は、Ｓ１１７にて入力した画像
データに基づいて、座標位置ｘ₁と座標位置ｘ₂との間で
Ｘ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和（積分値）Ｘ
_Bを求める。

【００７０】次のＳ１１９では、画像処理部３２は、Ｓ
１０９にて算出した輝度値総和Ｘ_AからＳ１１８にて算
出した輝度値総和Ｘ_Bを減算することによって「輝度
差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部３３に通
知する。

【００７１】次のＳ１２０では、制御部３３は、画像処
理部３２から通知された「輝度差」の絶対値に基づい
て、Ｓ００１にて入力された識別番号に対応するものと
して外部メモリ２０から読み出したＸ方向用のナイフエ
ッジ芯出テーブルを参照して、対応する移動量（パルス
数）ΔＸを求める。それとともに、その「輝度差」の極
性を反転した極性をこの移動量ΔＸに付す。このように
求めた値＋／−ΔＸは、Ｘ方向の光軸ズレを相殺するた
めの移動量（パルス数）及び移動方向を示す。

【００７２】次のＳ１２１では、制御部３３は、Ｘ／Ｙ
ステージ制御回路１７に対して、光学部材Ａ，ＢをＸ方
向にΔＸだけ移動させるとともにＹ方向にΔＹだけ移動
させるよう、命令する。この命令に応じてＸ／Ｙステー
ジ制御回路１７が作業テーブル１１を光軸ｌに直交する
面内で移動させると、検査対象レンズＡの芯出しがなさ
れるのである。このステップが完了すると、処理が図４
のメインルーチンに戻される。

【００７３】図４のメインルーチンでは、制御部３３
は、次のＳ００３において、画像入力処理を実行する。
図７は、このＳ００３にて実行される画像入力処理サブ
ルーチンを示すフローチャートである。このサブルーチ
ンに入って最初のＳ２０１では、制御部３３は、ナイフ
エッジ回転制御回路１５に対して原点復帰命令を発行す
る。ナイフエッジ回転制御回路１５は、この原点復帰命
令を受けると、モータ１３を駆動して、ナイフエッジ６
ａの回転位置を原点に復帰させる。

【００７４】次に、制御部３３は、処理をＳ２０２乃至
Ｓ２０５のループに進める。このループに入って最初の
Ｓ２０２では、制御部３３は、射入射光照明駆動回路１
９に対してリング照明装置２７の照明ランプ２８を点灯
させる指示を行い、画像処理部３２は、カラーＣＣＤカ
メラ７から入力した赤色光に基づく画像データ（Ｒ）に
含まれる各画素の輝度に対応する数値［０〜２５５］に
対して微分処理を施した後に、この微分の結果得られた
データマトリックスを画像データとして第１画像メモリ
３４に書き込む。このような微分の結果得られた画像デ
ータにおいては、検査対象光学部材Ａの表面のキズやゴ
ミがある部分の輪郭，及びナイフエッジ６ａの縁だけが
濃度の高い画像となる。なお、この際、処理が最初にこ
のループに入ってきた場合には、微分の結果得られたデ
ータマトリックスを、画像データとして第１画像メモリ
３４に上書きする。また、２回目以降にこのループが実
行される場合には、それまでに第１画像メモリ３４に書
き込まれているデータマトリックスを読み出して、この
読み出したデータマトリックスと微分の結果得られたデ
ータマトリックスとの対応する画素の値同士を加算した
上で、この加算結果を画像データとして第１画像メモリ
３４に上書きする。

【００７５】次のＳ２０３では、画像処理部３２は、カ
ラーＣＣＤカメラ７から入力した青色光に基づく画像デ
ータ（Ｂ）に含まれる各画素の輝度に対応する数値［０
〜２５５］に対して微分処理を施した後に、この微分の
結果得られたデータマトリックスを画像データとして第
２画像メモリ３５へ書き込む。このような微分の結果得
られた画像データにおいては、検査対象光学部材Ａの屈
折力（屈折力）異常がある部分の輪郭，及びナイフエッ
ジ６ａの縁だけが濃度の高い画像となる。なお、この
際、処理が最初にこのループに入ってきた場合には、微
分の結果得られたデータマトリックスを、画像データと
して第２画像メモリ３５に上書きする。また、２回目以
降にこのループが実行される場合には、それまでに第２
画像メモリ３５に書き込まれているデータマトリックス
を読み出して、この読み出したデータマトリックスと微
分の結果得られたデータマトリックスとの対応する画素
の値同士を加算した上で、この加算結果を画像データと
して第２画像メモリ３５に上書きする。

【００７６】次のＳ２０４では、制御部３３は、この図
７に入ってからのＳ２０２及びＳ２０３の実行回数が１
６回に達したかどうかをチェックする。そして、未だ１
６回に達していない場合には、Ｓ２０５において、ナイ
フエッジ回転制御回路１５に対してナイフエッジ６ａを
２２．５度回転させる命令をする。この回転後の画像デ
ータがカラーＣＣＤカメラ７によって撮像された場合に
は、処理がＳ２０２に戻されて、この新たな画像データ
に対するループ処理が実行される。

【００７７】このようにナイフエッジ６ａを若干量づつ
回転させて（Ｓ２０５）得られた画像データを累積する
（Ｓ２０２）ようにしたのは、次の理由による。即ち、
直線状のナイフエッジ６ａを光路に挿入すると、ナイフ
エッジ６ａの方向と平行な方向における屈折力（屈折
率）異常成分は最も良く画像データ中に表れるが、ナイ
フエッジ６ａの方向と直交する方向における屈折力（屈
折率）異常成分はあまり良く表れない。そのため、ナイ
フエッジ６ａ自体を装置光軸ｌに直交する面内で回転さ
せて、あらゆる方向における異常成分を全て検出して、
同一の画像上に合成しているのである。また、この結
果、次の効果も得られる。即ち、ナイフエッジ６ａを停
止させた場合の画像では、図１２に示すように、屈折力
（屈折率）異常部分の縁（図４中央の円弧部分）の他に
ナイフエッジ６ａの縁（図１２中央の左右に延びる白黒
の境界線）も、濃淡が急激に変化している箇所として映
し出される。このナイフエッジ６ａの縁は、本来検出が
求められている屈折力（屈折率）異常部分の縁自体では
ないので、検出されないことが望ましい。そこで、ナイ
フエッジ６ａを回転させると、屈折力（屈折率）異常部
分の縁の位置が不動であるのに対して、ナイフエッジ６
ａの縁は回転する。従って、画像合成処理をすると、屈
折力（屈折率）異常部分の縁が益々強調されるのに対し
て、ナイフエッジ６ａの縁は屈折力（屈折率）異常部分
の閉領域（縁によって囲まれている部分）内において面
状に平均化されるので、境界線としては認識されなくな
るのである。

【００７８】以上のようにループ処理を繰り返した結果
ナイフエッジ６ａが１回転すると（即ち、ナイフエッジ
６ａの２２．５度づつの回転を１６回繰り返すと）、制
御部３３はＳ２０４においてループ処理を終了し、処理
を図４のメインルーチンに戻す。

【００７９】図４のメインルーチンでは、画像処理部３
２は、次のＳ００４において、検査領域抽出処理を実行
する。図８は、このＳ００４にて実行される検査領域抽
出処理サブルーチンを示すフローチャートである。この
サブルーチンに入って最初のＳ３０１では、画像処理部
３２は、２値化処理を行う。この２値化処理とは、第２
画像メモリ３５内の画像データの各画素に対応する数値
情報が所定の閾値を超えていればその数値情報を２５５
（白）に置き換え、超えていなければ０（黒）に置き換
える処理である。この閾値は、検査対象レンズＡの外縁
αが途切れることなく白（２５５）の閉曲線として残し
得るような値に、設定されている。

【００８０】次のＳ３０２では、画像処理部３２は、閉
領域抽出処理を実行する。この閉領域抽出処理とは、閉
じた白線によって囲まれている領域のみを抽出する処理
である。具体的には、Ｓ３０１により２値化された画像
データを構成する黒い画素［０］のうち、白い画素［２
５５］によって取り囲まれているものを閉領域内の画素
とみなす。そして、この閉領域内のものと見なされた全
画素の数値を２５５とし、それ以外の全画素の数値を０
とする。

【００８１】次のＳ３０３では、画像処理部３２は、穴
埋め処理を実行する。この穴埋め処理とは、白い画素
［２５５］の中に残された黒い画素［０］を消去するた
めの処理である。具体的には、Ｓ３０２によって得られ
た画像データを構成する黒い画素［０］のうち、白い画
素［２５５］によって取り囲まれているものの数値を２
５５とする。

【００８２】次のＳ３０４では、画像処理部３２は、領
域選択処理を実行する。この領域選択処理とは、本来必
要とされる領域のみを有効とするとともに、ランナー３
０の一部等に基づいて抽出されたそれ以外の閉領域を削
除するための処理である。具体的には、画像処理部３２
は、Ｓ３０３によって得られた画像データに含まれる各
閉領域のうち、画面中央に位置する閉領域はそのままと
し、それ以外の全閉領域を構成する全画素の数値を０と
する。この領域選択処理の結果得られる画像データのこ
とを、以下「マスク画像」という。

【００８３】次のＳ３０５では、画像処理部３２は、Ｓ
３０４の結果得られたマスク画像を、第３画像メモリ３
６へ格納する。制御部３３は、このＳ３０５の実行後、
処理を図４のメインルーチンに戻す。

【００８４】図４のメインルーチンでは、制御部３３
は、次のＳ００５において、２値化・良否判定処理を実
行する（判定手段に相当）。図９は、このＳ００５にて
実行される２値化・良否判定処理サブルーチンを示すフ
ローチャートである。このサブルーチンに入って最初の
Ｓ４０１では、画像処理部３２は、第１画像メモリ３４
内の画像データを構成する各画素の数値を、引き目ノイ
ズが抽出されないレベルに設定された閾値と比較し、２
値化（２５５：白，又は、０：黒）する。即ち、画像デ
ータを構成する各画素の数値が閾値よりも大きければ
（明るければ）その数値を２５５に置き換え、画像デー
タを構成する各画素の数値が閾値よりも小さければ（暗
ければ）数値を０に置き換える。そして、画像処理部３
２は、このようにして２値化した画像データを、第４画
像メモリ３７へ書き込む。

【００８５】次のＳ４０２では、画像処理部３２は、第
３画像メモリ３６内に書き込まれているマスク画像を構
成する各画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）の
各ビットと第４画像メモリ３７内に書き込まれている各
画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）の各ビット
とをＡＮＤ演算して、第４画像メモリ３７に書き込まれ
た画像データのうちマスク画像の白い画素［２５５］の
領域に対応する部分のみを抽出する。そして、画像処理
部３２は、このようにして検査対象領域内のみの数値が
抽出された赤色光に基づく画像データを、第１画像メモ
リ３４へ上書きする。

【００８６】次のＳ４０３では、画像処理部３２は、第
２画像メモリ３５内の画像データを構成する各画素の数
値を、引き目ノイズが抽出されないレベルに設定された
閾値と比較し、２値化（２５５：白，又は、０：黒）す
る。この場合における２値化の手法は、Ｓ４０１におけ
るのと全く同じである。そして、画像処理部３２は、こ
のようにして２値化した画像データを、第４画像メモリ
３７へ上書きする。

【００８７】次のＳ４０４では、画像処理部３２は、第
３画像メモリ３６内に書き込まれているマスク画像を構
成する各画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）の
各ビットと第４画像メモリ３７内に書き込まれている各
画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）の各ビット
とをＡＮＤ演算して、第４画像メモリ３７に書き込まれ
た画像データのうちマスク画像の白い画素［２５５］の
領域に対応する部分のみを抽出する。そして、画像処理
部３２は、このようにして検査対象領域内のみの数値が
抽出された青色光に基づく画像データを、第２画像メモ
リ３５へ上書きする。

【００８８】次のＳ４０５では、画像処理部３２は、第
１画像メモリ３４内に書き込まれている画像データを構
成する各画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）の
各ビットと第２画像メモリ３５内に書き込まれている各
画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）の各ビット
とをＯＲ演算して、赤色光に基づく画像データと青色光
に基づく画像データとを合成する。そして、画像処理部
３２は、このようにして合成した画像データを第３画像
メモリ３６へ上書きする。

【００８９】次のＳ４０６では、画像処理装置３２は、
Ｓ４０５によって得られた画像データ中の各閉領域（白
い画素［２５５］からなる領域）毎に、その閉領域の面
積を算出する（数値化手段に相当）。即ち、その閉領域
内に含まれる白い［２５５の］画素の数を数えて、面積
量とする。

【００９０】次のＳ４０７では、画像処理部３２は、個
々の閉領域の面積を夫々所定の判定基準値と比較し、何
れの閉領域の面積もこの判定基準値の範囲（良品範囲）
内に収まっているか否かをチェックする（第１の比較手
段に相当）。そして、何れの閉領域の面積も上述の判定
基準値の範囲内に収まっている場合には、画像処理部３
２は、Ｓ４１０において、検査対象光学部材Ａが良品で
あると判定し、その判定結果を制御部３３へ通知する。
制御部３３は、その後で、処理を図４のメインルーチン
へ戻す。

【００９１】これに対して、上述の判定基準値よりも広
い面積を有する閉領域がある場合には、画像処理部３２
は、Ｓ４０８において、図２１に示すような不良種別判
別用分類テーブルを作成する。即ち、Ｓ４０５によって
得られた画像データ中の各閉領域（白い画素［２５５］
からなる領域）に対して、画像の中心に位置するものか
ら外側に位置するものへの順番で、夫々番号（不良抽出
物番号）を指定するとともに、各抽出番号毎に、その抽
出番号によって示される閉領域と同じ範囲内における第
１画像メモリ３４内の画像データ中の白い［２５５の］
画素の面積（数）及び第２画像メモリ３５内の画像デー
タ中の白い［２５５の］画素の面積（数）を夫々算出し
て、それらの算出結果を一つのテーブルとしてまとめあ
げる。そして、画像処理部３２は、次のＳ４０９におい
て、検査対象光学部材Ａが不良品であると判定し、その
判定結果及び不良種別判別用分類テーブルを制御部３３
へ通知する。制御部３３は、その後で、処理を図４のメ
インルーチンへ戻す図４のメインルーチンでは、制御部
３３は、次のＳ００６において、画像処理部３２から通
知された判定結果が「良品」であるか「不良品」である
かをチェックする（判定手段に相当）。そして、判定結
果が「良品」である場合には、制御部３３は、検査対象
光学部材が良品である事を、モニタ装置１０上に表示す
る。これに対して、判定結果が「不良品」である場合に
は、制御部３３は、次のＳ００７において、不良種別判
別処理を実行する（判定手段に相当）。

【００９２】図１０は、このＳ００７にて実行される不
良種別判別処理サブルーチンを示すフローチャートであ
る。このサブルーチンに入って最初のＳ５０１では、制
御部３３は、不良種別判別対象の不良抽出番号を“１”
と初期設定し、不良種別判別用分類テーブルから不良抽
出番号１に対応する第１画像メモリ３４側の面積及び第
２画像メモリ３５側の面積を読み出す。

【００９３】次のＳ５０２では、制御部３３は、第２画
像メモリ３５側の面積値が“０”であるかどうかを判定
する（判定１，第２の比較手段に相当）。そして、第２
画像メモリ３５側の面積値が“０”である場合（リング
照明装置２７からの赤色光のみからなる画像である場
合）には、制御部３３は、次のＳ５０３において、その
時点での不良抽出番号に対応する領域の不良種別を
「（検査対象光学部材表面の）微細なキズ」と判定し、
処理をＳ５１２へ進める。

【００９４】これに対して、第２画像メモリ３５側の面
積値が“０”でない場合には、制御部３３は、次のＳ５
０４において、第１画像メモリ３４側の面積値に比して
第２画像メモリ３５側の面積値が“５”以上小さいか否
かを判定する（判定２，第２の比較手段に相当）。そし
て、第１画像メモリ３４側の面積値に比して第２画像メ
モリ３５側の面積値が“５”以上小さい場合（リング照
明装置２７からの赤色光の中にナイフエッジ照明装置２
６からの青色光が僅かに混入してなる画像である場合）
には、制御部３３は、次のＳ５０５において、その時点
での不良抽出番号に対応する領域の不良種別を「（検査
対象光学部材表面の）キズ」と判定し、処理をＳ５１２
へ進める。

【００９５】これに対して、第１画像メモリ３４側の面
積値に比して第２画像メモリ３５側の面積値が“５”以
上小さいのではない場合には、制御部３３は、次のＳ５
０６において、第１画像メモリ３４側の面積値と第２画
像メモリ３５側の面積値との差が“５”未満であるか否
かを判定する（判定３，第２の比較手段に相当）。そし
て、第１画像メモリ３４側の面積値と第２画像メモリ３
５側の面積値との差が“５”未満である場合（リング照
明装置２７からの赤色光とナイフエッジ照明装置２６か
らの青色光とが略均等に混在してなる画像である場合）
には、制御部３３は、次のＳ５０７において、その時点
での不良抽出番号に対応する領域の不良種別を「（検査
対象光学部材表面の）ゴミ」と判定し、処理をＳ５１２
へ進める。

【００９６】これに対して、第１画像メモリ３４側の面
積値と第２画像メモリ３５側の面積値との差が“５”以
上である場合には、制御部３３は、次のＳ５０８におい
て、第１画像メモリ３４側の面積値が“１”以上であり
且つ第２画像メモリ３５側の面積値に比して“５”以上
小さいか否かを判定する（判定４，第２の比較手段に相
当）。そして、第１画像メモリ３４側の面積値が“１”
以上であり且つ第２画像メモリ３５側の面積値に比して
“５”以上小さい場合（ナイフエッジ照明装置２６から
の青色光の中にリング照明装置２７からの赤色光が僅か
に混入してなる画像である場合）には、制御部３３は、
次のＳ５０９において、その時点での不良抽出番号に対
応する領域の不良種別を「ヒケ」と判定し、処理をＳ５
１２へ進める。

【００９７】これに対して、第１画像メモリ３４側の面
積値が“０”である場合又は第１画像メモリ３４側の面
積値が第２画像メモリ３５側の面積値に比して“５”以
上小さいのではない場合には、制御部３３は、次のＳ５
１０において、第１画像メモリ３４側の面積値が“０”
であるか否かを判定する（判定５，第２の比較手段に相
当）。そして、第１画像メモリ３４側の面積値が“０”
である場合（ナイフエッジ照明装置２６からの青色光の
みからなる画像である場合）には、制御部３３は、次の
Ｓ５１１において、その時点での不良抽出番号に対応す
る領域の不良種別を「微細なヒケ」と判定し、処理をＳ
５１２へ進める。

【００９８】これに対して、第１画像メモリ３４側の面
積値が“０”でない場合には、制御部３３は、何らかの
エラーが生じたものとして、処理をそのままＳ５１２へ
進める。

【００９９】Ｓ５１２では、制御部３３は、不良種別判
別用分類テーブル中に未読み出しのデータが残っている
か否かをチェックする。そして、未読み出しのデータが
残っている場合には、制御部３３は、Ｓ５１３におい
て、次の不良抽出番号を不良種別判別対象として設定
し、不良種別判別用分類テーブルからその不良抽出番号
に対応する第１画像メモリ３４側の面積及び第２画像メ
モリ３５側の面積を読み出す。そして、制御部３３は、
読み出したデータに対して上述の判定処理を実行するた
めに処理を、Ｓ５０２へ戻す。

【０１００】これに対して、以上の判定処理を繰り返し
た結果、不良種別判別用分類テーブルから全てのデータ
を読み出した場合には、制御部３３は、処理をＳ５１２
からＳ５１４へ進め、各不良抽出番号の閉領域に対応さ
せて、それらについてのＳ５０３、Ｓ５０５，Ｓ５０
７，Ｓ５０９，又はＳ５１１での判定結果を、モニタ装
置１０上に表示させる。その後で、制御部３３は、処理
を図４のメインルーチンへ戻す。

【０１０１】図４のメインルーチンでは、制御部３３
は、処理をＳ００９へ進める。このＳ００９では、制御
部４２は、検査者に対して検査を終了させるか否かを問
う文字をモニタ装置１０上に表示する。これに応じて、
検査者が検査を終了させない旨をキーボード３１によっ
て入力してきた場合には、次の光学部材に対する検査を
実行すべく、処理をＳ００１に戻す。これに対して、検
査者が検査を終了させる旨をキーボード３１によって入
力してきた場合には、制御部３３は、この検査処理を終
了する。＜光学部材検査装置による検査手順＞本実施形態による
光学部材検査装置によって光学部材Ａを検査する時に
は、検査者は、良品の光学部材ＡをＸ／Ｙステージ１８
にセットして、手動で芯出しを行う。なお、光学部材Ａ
が負レンズである場合には、光学部材Ａとリング状拡散
照明板２５との間に、補正レンズを挿入する。

【０１０２】次に、検査者は、モニタ装置１０に映し出
される映像を見ながら、ナイフエッジユニット４を装置
光軸ｌ方向へ移動させる。そして、図１１（ａ）又は
（ｂ）のように、光学部材Ａの外縁αの内側において、
光学部材Ａの外縁αの外側に見えるナイフエッジβと同
じ方向にナイフエッジγが見える時には、ナイフエッジ
ユニット４が光学部材Ａに近過ぎる場合であるので、検
査者は、ナイフエッジユニット４を光学部材Ａから遠ざ
ける。逆に、図１１（ｄ）又は（ｅ）のように、光学部
材Ａの外縁αの内側において、光学部材Ａの外縁αの外
側に見えるナイフエッジβと逆の方向にナイフエッジγ
が見える時には、ナイフエッジユニット４が光学部材Ａ
から遠すぎる場合であるので、検査者は、ナイフエッジ
ユニット４を光学部材Ａに近付ける。このようなナイフ
エッジユニット４の進退調整を行った結果、図１１
（ｃ）のように、ナイフエッジγが光学部材Ａの外縁α
内の大部分において消えた時には、ナイフエッジユニッ
ト４が適正位置にある場合であるので、検査者は、調整
を停止する。このように、本実施形態では、ナイフエッ
ジユニット４が装置光軸ｌ方向に移動可能となっている
ので、焦点距離の違う複数種類の光学部材Ａを検査する
ことができる。

【０１０３】次に、検査者は、Ｘ／Ｙステージ１８にセ
ットされている良品の光学部材Ａを検査対象光学部材Ａ
へ交換して、キーボード３１によって検査対象光学部材
Ａをセットした旨を入力する（Ｓ００１）。

【０１０４】すると、制御部３３は、ナイフエッジ６ａ
の自動芯出しを実行する（Ｓ００２）。即ち、検査対象
光学部材Ａの光軸と装置光軸ｌ（ナイフエッジ６ａの回
転中心）とが合致する様に、Ｘ／Ｙステージ制御回路１
７を制御して、Ｘ／Ｙステージ１８を駆動する。

【０１０５】このようにして芯出しが完了すると、ナイ
フエッジ回転制御回路１５によってナイフエッジ６ａが
２２．５度づつ回転駆動されるとともに（Ｓ２０５）、
各回転位置において、ナイフエッジ照明装置２６から供
給されて検査対象光学部材Ａを透過した青色光及びリン
グ照明装置２７から供給されて検査対象光学部材Ａの表
面で拡散された赤色光が、夫々カラーＣＣＤカメラ７に
よって撮像される。画像処理部３２は、撮像した各色の
画像に対して、夫々別々に、画像の濃淡変化箇所の微分
処理による強調，一回転分にわたる加算（Ｓ２０２，Ｓ
２０３），及び検査領域の抽出（Ｓ００４）を実行す
る。その結果、検査対象光学部材Ａの屈折力（屈折率）
異常箇所が主として青色光い基づく画像データ上におい
て白く浮き上がった領域として示されるともに、検査対
象光学部材Ａの表面のキズ又はゴミが主として赤色光に
基づく画像データ上において白く浮き上がった領域とし
て示される。そして、各異常部分の面積が夫々数値化さ
れ、一定の判断基準値と比較され、この比較結果に応じ
て良品であるか不良品であるかの判定が客観的になされ
るのである。さらに、不良品であると判別された場合に
は、各異常部分毎に、その異常部分の各色の画像データ
中での面積が比較される。そして、各色毎の面積比に基
づいて、不良種別が判定されるのである。

【０１０６】なお、本実施の形態においては、良否判定
及び不良種別判別を行うために、不良箇所を示す閉領域
を、その面積に基づいて評価したが、そのフィレ径や周
囲長やコントラストに基づいて評価しても良いし、これ
ら評価基準を複合して用いても良い。

【０１０７】また、本実施形態においては、各閉領域に
対応する各色の面積値の差を直接用いて不良種別判別を
行ったが（Ｓ５０４，Ｓ５０６，Ｓ５０８）、より大き
く抽出された方の色の面積に対して他の色の面積が何％
の差を有しているかに基づいて不良種別判別を行っても
良い。

【０１０８】また、本実施の形態においては、Ｓ２０２
及びＳ２０３での格納時において各画像メモリ３４，３
５に既に画像データが書き込まれていた場合には、書き
込まれていた画像データと新たな微分によって得られた
画像データとの加算結果を上書きするようにしていた
が、両者の平均値を上書きするようにしても良いし、両
者に対するＭＡＸ演算結果を上書きするようにしても良
い。

【０１０９】

【発明の効果】以上のように構成された本発明の光学部
材検査装置によれば、検査対象光学部材の表面欠陥を屈
折力（屈折率）異常と一緒に明確に検出することができ
るとともに、両欠陥の種類をも容易に判定することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による光学部材検査装置
の概略図

【図２】図１の光学部材検査装置の光学構成及び機械
構成を示す構成図

【図３】図１の光学部材検査装置の回路構成を示すブ
ロック図

【図４】図３の画像処理部３２及び制御部３３におい
て実行される制御処理の内容を示すフローチャート

【図５】図４のＳ００２にて実行されるナイフエッジ
芯出し処理サブルーチンを示すフローチャート

【図６】図４のＳ００２にて実行されるナイフエッジ
芯出し処理サブルーチンを示すフローチャート

【図７】図４のＳ００３にて実行される画像入力処理
サブルーチンを示すフローチャート

【図８】図４のＳ００４にて実行される検査領域抽出
処理サブルーチンを示すフローチャート

【図９】図４のＳ００５にて実行される２値化・良否
判定処理サブルーチンを示すフローチャート

【図１０】図４のＳ００７にて実行される不良種別判
別処理サブルーチンを示すフローチャート

【図１１】図１におけるナイフエッジユニットの移動
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図

【図１２】ヒケを有する光学部材を検査した場合にお
けるモニタ装置上の画像を示す図

【図１３】画像データ上に定義された座標軸及び座標
位置の説明図

【図１４】Ｙ方向におけるズレ量が−０．２μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ

【図１５】Ｙ方向におけるズレ量が−０．１μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ

【図１６】Ｙ方向において芯出しされた状態における
画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示すグラフ

【図１７】Ｙ方向におけるズレ量が＋０．１μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ

【図１８】Ｙ方向におけるズレ量が＋０．２μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ

【図１９】図１４乃至図１８から算出された輝度差を
プロットしたグラフ

【図２０】ナイフエッジ芯出テーブルを示す表

【図２１】不良種別判別用分類テーブルを示す表

【符号の説明】

１照明ランプ２集光レンズ３光ファイバー束５拡散板６遮光板７カラーＣＣＤカメラ８撮像レンズ９撮像素子１４ＣＰＵ１６ナイフエッジ照明駆動回路１９斜入射光照明駆動回路２３光ファイバー束２４リング照明２５リング状拡散照明板２７リング照明ユニット２８照明ランプ２９集光レンズ３２画像処理部３３制御部Ａ検査対象光学部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中山利宏東京都板橋区前野町２丁目36番９号旭光学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学部材の光学的欠陥を検出する光学部材
検査装置であって、第１の光を出射する第１照明装置と、この第１照明装置から出射された前記第１の光によって
照明される拡散板と、前記光学部材を含む光学系の焦点位置に配置されるとと
もに、前記拡散板によって拡散された前記第１の光を部
分的に透過させる遮光手段と、前記第１の光とは異なった方向から、前記光学部材の表
面に対して、第２の光を照射する第２照明装置と、前記光学系を透過した前記第１の光及び前記光学部材の
表面にて拡散された前記第２の光とを夫々撮像する撮像
手段と、この撮像手段によって前記第１の光を撮像して得られた
第１画像及び前記第２の光を撮像して得られた第２画像
に基づいて、前記光学部材の光学的欠陥の有無及び光学
的欠陥の種類を判定する判定手段とを備えたことを特徴
とする光学部材検査装置。
【請求項２】前記遮光部材は、直線状の境界線によって
夫々分けられた前記光を部分的に透過させる部分と前記
光を部分的に遮光する部分とからなることを特徴とする
請求項１記載の光学部材検査装置。
【請求項３】前記遮光手段を前記撮像手段の撮像光軸に
直交する面内において前記直線状の境界線に接する回転
軸を中心に回転させる回転手段を更に備えることを特徴
とする請求項２記載の光学部材検査装置。
【請求項４】前記光学部材を含む光学系の光軸は、前記
遮光部材の回転軸と一致していることを特徴とする請求
項３記載の光学部材検査装置。
【請求項５】前記第１の光の波長と前記第２の光の波長
とは互いに異なることを特徴とする請求項１記載の光学
部材検査装置。
【請求項６】前記第２照明装置は、前記第２の光を、前
記撮像手段の撮像光軸に対して斜めの方向から、前記光
学部材の表面に対して照射することを特徴とする請求項
１記載の光学部材検査装置。
【請求項７】前記第２照明装置は、前記撮像手段の撮像
光軸をその中心とした環状の拡散板を介して前記第２の
光を照射することを特徴とする請求項６記載の光学部材
検査装置。
【請求項８】前記環状の拡散板は、前記撮像手段の画角
の外側に位置していることを特徴とする請求項７記載の
光学部材検査装置。
【請求項９】前記撮像手段は、前記第１の光と前記第２
の光とを同時に撮像することを特徴とする請求項５記載
の光学部材検査装置。
【請求項１０】前記撮像手段は、前記第１の光と前記第
２の光とを夫々個別に撮像する２種類のピクセルを包含
する撮像素子を有していることを特徴とする請求項９記
載の光学部材検査装置。
【請求項１１】前記判定手段は、前記第１画像の前記光学部材の光学的欠陥を示す部位を
夫々数値化するとともに前記第２画像の前記光学部材の
光学的欠陥を示す部位を夫々数値化する数値化手段と、この数値化手段によって数値化された数値が所定の判定
基準値を超えたか否かを比較する第１の比較手段とを有
し、この第１の比較手段によって前記数値が前記所定の判定
基準値を超えたと認定された場合に、前記光学部材が光
学的欠陥を有していると判定することを特徴とする請求
項１記載の光学部材検査装置。
【請求項１２】前記第１の比較手段は、前記数値化手段
によって数値化された何れかの数値が前記所定の判定基
準値を超えたか否かを比較することを特徴とする請求項
１１記載の光学部材検査装置。
【請求項１３】前記判定手段は、個々の前記光学的欠陥を示す部位毎に、前記第１画像に
基づいて数値化された数値と前記第２画像に基づいて数
値化された数値とを比較する第２の比較手段を更に有
し、個々の前記光学的欠陥を示す部位毎に、前記第１画像に
基づいて数値化された数値が前記第２画像に基づいて数
値化された数値よりも所定量以上大きいと前記第２の比
較手段によって認定された場合には当該光学的欠陥が屈
折力異常に因るものであると判定し、前記第１画像に基
づいて数値化された数値が前記第２画像に基づいて数値
化された数値よりも所定量以上小さいと前記第２の比較
手段よって認定された場合には当該光学的欠陥がキズに
因るものであると判定し、前記第１画像に基づいて数値
化された数値と前記第２画像に基づいて数値化された数
値との差が所定量以内であると前記第２の比較手段によ
って認定された場合には当該光学的欠陥がゴミに因るも
のであると判定することを特徴とする請求項１記載の光
学部材検査装置。