JPH10189338A - Smd型コイル及びその製造方法 - Google Patents

Smd型コイル及びその製造方法

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JPH10189338A
JPH10189338A JP35642796A JP35642796A JPH10189338A JP H10189338 A JPH10189338 A JP H10189338A JP 35642796 A JP35642796 A JP 35642796A JP 35642796 A JP35642796 A JP 35642796A JP H10189338 A JPH10189338 A JP H10189338A
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holes
hole
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magnet
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Katsuhiko Noguchi
克彦 野口
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コイルのインダクタンスを大きく、巻数を多
くすること困難。 【解決手段】 2つの絶縁基板2a及び2bに形成した
リング状のマグネット収納凹溝9の内外周近傍の円周上
に、複数個のスルーホール3a、3bを形成し、スルー
ホール内面を含む絶縁基板の全表面に銅メッキ層を形成
後、エッチング処理により絶縁基板の対向する側面に電
極部4と、内外周のスルーホールを結ぶ放射状銅箔パタ
ーン5を形成する。前記2つの絶縁基板のマグネット収
納凹溝9を対向させ、その接合部11に接着剤12を塗
布した後、マグネット10を搭載し、2つの絶縁基板を
位置合わせして接着後、再メッキ処理によりスルーホー
ル及び電極部の接続部3d及び4cを導通させ、マグネ
ット10を囲み放射状銅箔パターン5とスルーホール3
a、3bによって閉ループ化させる。SMD型コイルを
集合絶縁基板で製造し、超薄型、小型化、コスト低減が
実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は携帯電話、PHS、
パソコン等の一般電子機器に使用されるSMD型コイル
及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の電子機器は、高性能化、多機能化
とともに小型化、軽量化を追求している。携帯電話、P
HS、パソコン等がその一例である。これらの電子機器
で使用されるインダクタは、SMDであることが必須と
なっている。
【0003】インダクタは、フェライト等のコアに巻線
された導線に電流を流すことにより発生する電磁気の作
用を利用したインピーダンス素子である。この原理のた
めに、他の受動部品に比べ構造が複雑になりSMD化が
比較的遅れている。
【0004】薄膜チップインダクタは、一般的な巻線を
用いたチップコイル導体と比較し、製造方法の違いから
小型化で高精度なコイル導体といえる。その技術が特開
平5−82349号公報に開示されている。その概要を
説明する。
【0005】図13は従来の渦巻状薄膜コイルの断面
図、図14はその平面図である。その製造工程の概要
は、ベースとなる低誘電率セラミックスウェハよりなる
絶縁基板21の表面に銅を主体とした複数の低抵抗スパ
イラル状の薄膜コイル導体22A、22B、22Cと、
その厚み方向に低誘電率耐熱樹脂コート膜よりなる絶縁
層23A、23Bを介し重ねて多層化して設け、少なく
とも薄膜コイル導体22A、22B、22Cの巻き始め
端部24と巻き終わり端部24でそれぞれの各薄膜コイ
ル導体22A、22B、22Cを電気的に接続するもの
である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た渦巻状薄膜コイルには次のような問題点がある。即
ち、平面型SMD型コイルでは、コイル巻数を多くする
ことが出来ず、コイルのインダクタンスを大きくとりた
い場合は困難である。
【0007】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
のであり、その目的は、コイルのインダクタンスを大き
くとることが可能となり、電子機器の小型化、軽量化、
低コスト化を実現し、超薄型で小型な平面型SMD型コ
イル及びその製造方法を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明におけるSMD型コイルは、PCB基板又は
セラミック体等よりなる略四角形状の絶縁基板、該絶縁
基板の略中央部に位置し、2つの同心円の円周上に複数
個のスルーホールを形成し、前記絶縁基板の前記スルー
ホール内面を含む全表面に銅メッキ層を形成し、エッチ
ング処理により前記絶縁基板の対向する側面に電極部
と、上下面に内外周のスルーホールを結ぶ放射状銅箔パ
ターンを前記スルーホールを介して上下パターンが連続
的に繋がるように形成することにより閉ループ化したこ
とを特徴とするものである。
【0009】また、PCB基板又はセラミック体等より
なる略四角形状の絶縁基板の裏面略中央部にリング状の
マグネット収納凹溝を有し、該マグネット収納凹溝の内
周及び外周近傍の円周上に複数個のスルーホールを形成
し、該スルーホール内面及び前記絶縁基板の全表面に銅
メッキ層を形成し、エッチング処理により前記絶縁基板
の対向する側面に電極部を形成すると共に、前記内外周
のスルーホールを結ぶ放射状銅箔パターンを形成した第
1又は第2の絶縁基板と、前記第1の絶縁基板と第2の
絶縁基板のマグネット収納凹溝を対向させ、該マグネッ
ト収納凹溝にマグネットを搭載、位置合わせして接着、
接合した後、再メッキ処理により、前記2つの絶縁基板
のスルーホール部及び電極部を導通させることにより、
前記マグネットを囲み前記放射状銅箔パターンと前記ス
ルーホールを介して上下パターンが連続的に繋り閉ルー
プ化したことを特徴とするものである。
【0010】また、前記第1又は第2の絶縁基板のう
ち、一方の絶縁基板はPCB基板又はセラミック体等よ
りなる絶縁体よりなり、他方の絶縁基板はポリイミドフ
ィルム等よりなる絶縁体であることを特徴とするもので
ある。
【0011】また、前記第1又は第2の絶縁基板は、共
にポリイミドフィルム等よりなる絶縁体であることを特
徴とするものである。
【0012】また、本発明におけるSMD型コイルの製
造方法は、PCB基板又はセラミック体等よりなる多数
個取りする集合絶縁基板の各列毎の略中心部に位置し、
所定間隔で2つの同心円の円周上に複数個のスルーホー
ルと、前記各列間に長穴状のスルーホールを施したスル
ーホール加工工程と、メッキ処理により前記スルーホー
ル及び長穴スルーホールの内面を含む集合絶縁基板の全
表面に銅メッキ層を形成するメッキ工程と、メッキレジ
ストをラミネートし、露光現像後パターンマスクを形成
し、パターンエッチングを行い前記集合絶縁基板の対向
する側面に電極部と、上下面に内外周のスルーホールを
結ぶ放射状銅箔パターンを前記スルーホールを介して上
下パターンが連続的に繋がるように閉ループ化するエッ
チング工程と、前記集合絶縁基板をSMD型コイル単体
に分割するダイシング工程とからなることを特徴とする
ものである。
【0013】また、PCB基板又はセラミック体等より
なる多数個取りする集合絶縁基板の各列毎の略中心部の
裏面に位置し、所定間隔で複数個のリング状のマグネッ
ト収納凹溝と、該各マグネット収納凹溝の内周及び外周
近傍の円周上に複数個のスルーホールと、前記各列間に
長穴のスルーホール加工を施した後、メッキ処理により
前記集合絶縁基板の前記スルーホール及び長穴のスルー
ホールの内面を含む全表面に銅メッキ層を形成し、メッ
キレジストをラミネートし、露光現像後パターンマスク
を形成し、パターンエッチングを行う第1又は第2の集
合絶縁基板加工工程と、前記第1又は第2の集合絶縁基
板のいずれか一方の各マグネット収納凹溝に、マグネッ
トを収納するマグネット装着工程と、前記第1及び第2
の集合絶縁基板のマグネット収納凹溝が対向するように
2つの集合絶縁基板を重ね、位置合わせし、両接着部を
接着、接合して一体化する接着工程と、再メッキ処理に
より前記一体化集合体の接合する各スルーホール部及び
電極部を導通させる再メッキ工程と、前記一体化集合体
を1つのマグネットを含むSMD型コイル単体に分割す
るダイシング工程とからなることを特徴とするものであ
る。
【0014】また、前記第1又は第2の集合絶縁基板の
うち、一方の集合絶縁基板はPCB基板又はセラミック
体等よりなる集合絶縁体よりなり、他方の集合絶縁基板
はポリイミドフィルム等よりなる集合絶縁体であること
を特徴とするものである。
【0015】また、前記第1又は第2の集合絶縁基板は
共にポリイミドフィルム等よりなる集合絶縁体であるこ
とを特徴とするものである。
【0016】
【発明の実施の形態】以下図面に基づいて本発明におけ
るSMD型コイル及びその製造方法について説明する。
図1〜図3は本発明の第1の実施の形態である一枚基板
の空芯のSMD型コイル及びその製造方法に係わり、図
1はSMD型コイル単体の斜視図、図2は図1のA−A
線断面図、図3は集合絶縁基板の斜視図である。
【0017】図1及び図2において、2はPCB基板又
はセラミック体よりなる略四角形状の上下面に銅箔張り
された絶縁基板で、該絶縁基板2の略中央部には、2つ
の同心円の円周上に複数の外周及び内周スルーホール3
a及び3bが、プレス又は切削ドリル等の加工手段によ
り形成されている。前記絶縁基板2の前記スルーホール
3a及び3bの内面を含む全表面に銅メッキ層を形成
し、エッチング処理により前記絶縁基板2の対向する側
面に電極部4と、上下面には前記スルーホール3a及び
3bを結ぶ放射状銅箔パターン5が形成される。前記上
下の放射状銅箔パターン5は前記スルーホール3a及び
3bを介して、コイル端末巻き始め部4aとコイル端末
巻き終り部4bとは一本の連続線として繋がり閉ループ
化してSMD型コイル1が構成される。
【0018】図3において、その製造方法を説明する。
前記PCB基板又はセラミック体よりなる多数個取りす
る集合絶縁基板6の各列の略中央部に位置し、所定間隔
で2つの同心円の円周上に複数のスルーホール3a及び
3bと、前記各列間に長穴状のスルーホール3cを切削
ドリル又はプレス等の加工手段により形成されるスルー
ホール加工工程を施す。
【0019】次に、メッキ工程において、前記スルーホ
ール3a、3b及び3cの壁面を含む集合絶縁基板6面
を洗浄した後、前記集合絶縁基板6全面に無電解メッキ
及び電解メッキにより銅メッキ層を形成する。該銅メッ
キ層は前記スルーホール3a、3b及び3c内まで施さ
れる。
【0020】更に、エッチング工程において、メッキレ
ジストをラミネートし、露光現像してパターンマスクを
形成した後、通常の基板エッチング液であるCuCl2
+H2 2 等を用いてパターンエッチングを行うことに
より、前記絶縁基板2の対向する側面の電極部4と、上
下面に内外周のスルーホール3a及び3bを結ぶ放射状
銅箔パターン5を、前記スルーホール3a及び3bを介
して上下パターンがコイル端末巻き始め部4aとコイル
端末巻き終り部4bとが一本の連続線として繋がるよう
に閉ループ化される。
【0021】前記集合絶縁基板6を分割するダイシング
工程で、SMD型コイル単体に分割するために、前記集
合絶縁基板6の四隅に設けた位置合わせ用ガイド穴6c
を図示しない治具にセットして直交するX方向7、Y方
向8に沿ってダイシング又はスライシングマシン等で1
チップに切断、分離することによりSMD型コイル1が
完成される。
【0022】なお、完成された前記SMD型コイル1の
上下面に露出した放射状銅箔パターン5を絶縁するため
にレジストコート等の処理により、レジスト膜を形成し
ても良い。
【0023】図4〜図10は本発明の第2の実施の形態
である2枚基板の有芯のSMD型コイル及びその製造方
法に係わり、図4はSMD型コイル単体の第1絶縁基板
の表面側の斜視図、図5は図4の裏面側の斜視図、図6
は第1絶縁基板及び第2絶縁基板が対向した状態の断面
図、図7はリング状の磁石の斜視図、図8はSMD型コ
イル単体の断面図である。図において、前述した第1の
実施の形態と同一部材は同一符号で示す。
【0024】図4及び図5に示すように、2aはPCB
基板又はセラミック体よりなる略四角形状の第1絶縁基
板で、9は該第1絶縁基板2aの裏面の略中央部に位置
するリング状のマグネット収納凹溝である。3a及び3
bは、前記マグネット収納凹溝9の外周及び内周近傍の
円周上にプレス又は切削ドリル等の加工手段により形成
した複数のスルーホールである。該スルーホール3a及
び3bの内面及び前記第1絶縁基板2aの表面に銅メッ
キ層を形成し、エッチング処理により前記第1絶縁基板
2aの対向する側面に電極部4を形成すると共に、前記
スルーホール3a及び3bを結ぶ放射状銅箔パターン5
を形成する。該放射状銅箔パターン5は前記スルーホー
ル3a及び3bを介して断面がU字形状に繋がってい
る。第2絶縁基板2bは前記第1絶縁基板2aと寸法及
び加工形状が略同一なものを使用する。
【0025】図6及び図7において、10はマグネット
で、切削又は成形したフェライト、サマリウムコバルト
等より成るリング状のマグネットで、前記第1絶縁基板
2aと第2絶縁基板2bのマグネット収納凹溝9が対向
するようにして、後述する接着剤を塗布した後、前記マ
グネットを前記マグネット収納凹溝9に装着する。
【0026】前記マグネット10のサイズは、最も効率
良くするには、閉ループの内側にギリギリの距離までマ
グネット10を近づけるのが良く、従って、閉ループギ
リギリの大きさのマグネットが最も適す。マグネット1
0の断面形状は、図7に示すように四角形状に限るもの
ではない。
【0027】図8において、前記第1絶縁基板2aと第
2絶縁基板2bの接合部11のいずれか一方に接着剤1
2を塗布するか、又はシート状の接着剤12を被着して
位置合わせし、接着又は熱圧着して接合した後、再メッ
キ処理により前記第1絶縁基板2a及び第2絶縁基板2
bの前記スルーホール3a、3bの接続部3d及び電極
部4の接続部4cにて導通させることにより、前記マグ
ネット10を囲み前記放射状銅箔パターン5と前記スル
ーホール3a及び3bを介して上下パターンがコイル端
末巻き始め部4aとコイル端末巻き終り部4bとは一本
の連続線として繋がるように閉ループ化したSMD型コ
イル1Aが構成される。
【0028】図9及び図10において、その製造方法を
説明する。先ず、図9に示すように、前記PCB基板又
はセラミック体よりなる多数個取りする第1集合絶縁基
板6aの各列毎の略中心部の裏面に位置し、所定間隔で
複数個のリング状のマグネット収納凹溝9を形成し、該
各マグネット収納凹溝9の内周及び外周近傍の円周上に
複数個のスルーホール3a及び3bと、前記各列間に長
穴のスルーホール3cを切削ドリル又はプレス等の加工
手段により形成されるスルーホール加工工程を施す。
【0029】次に、第1のメッキ工程において、前記ス
ルーホール3a、3b及び3cの壁面を含む第1集合絶
縁基板6a面を洗浄した後、無電解メッキ及び電解メッ
キにより銅メッキ層は、前記スルーホール3a、3b及
び長穴のスルーホール3cの内面を含む全表面に形成さ
れる。
【0030】エッチング工程において、メッキレジスト
をラミネートし、露光現像後パターンマスクを形成しパ
ターンエッチングを行うことにより、前記長穴のスルー
ホール3cは対向する側面に電極部4と、前記スルーホ
ール3a及び3bを結ぶ放射状の銅箔パターン5が形成
される。第1集合絶縁基板6aが完成される。
【0031】マグネット装着工程において、図8及び図
10に示すように、予め前記第1集合絶縁基板6aと第
2集合絶縁基板6bのいずれかの接合部11にエポシキ
系、シリコン系等の接着剤12をマスクを使って必要箇
所に印刷、塗布するか、又はシート状の接着剤12を被
着しておき、前記2つの集合絶縁基板6a、6bのいず
れか一方の前記マグネット収納凹溝9に前記マグネット
10を搭載する。
【0032】接着工程において、前記マグネットを装着
した、前記第1集合絶縁基板6aと第2集合絶縁基板6
bのマグネット収納凹溝9が対向するように2つの集合
絶縁基板6a、6bを重ね、前記スルーホール3a、3
bの接続部3d及び電極部4の接続部4cの位置合わせ
を行い、前記接合部11を接着又は熱圧着することによ
り、前記2つの集合絶縁基板6a、6bは一体的に接合
する。一体化集合体13ができる。
【0033】前記2つの集合絶縁基板6aと6bの位置
合わせは、予め、集合絶縁基板6aと6bに設けられた
基板2枚を重ねた時の位置合わせ用ガイド穴6cにより
図示しない治具を用いて確実に行う。
【0034】なお、前記マグネット10の装着工程と前
記集合絶縁基板6a又は6bへの接着剤12の塗布は、
上記順序と逆でも良いことは言うまでもない。
【0035】第2メッキ工程において、前記一体化集合
体13を再び銅メッキ処理を行い、前記一体化集合体1
3を前記スルーホール3a、3bの接続部3d及び電極
部4の接続部4cを確実に導通させる。従って、前記第
1集合絶縁基板6aと第2集合絶縁基板6bは前記リン
グ状のマグネット10を囲み、前記放射状銅箔パターン
5と前記スルーホール3a及び3bを介して、上下パタ
ーンがコイル端末巻き始め部4aとコイル端末巻き終り
部4bとは一本の連続線として連続的に繋がり閉ループ
化される。
【0036】前記一体化集合体13を分割するダイシン
グ工程で、1つのマグネット10を含むSMD型コイル
単体に分割するために、前記位置合わせ用ガイド穴6c
を使って、図示しない治具にセットして直交するX方向
7、Y方向8に沿ってダイシング又はスライシングマシ
ン等で1チップに切断、分離してSMD型コイル1Aが
完成される。
【0037】なお、前述と同様に、上下面に露出した放
射状銅箔パターン5を絶縁するために、一体化集合体1
3を切断前に、レジストコート等の処理により、レジス
ト膜を形成しても良い。
【0038】図11は本発明の第3の実施の形態であ
る。図11において、前記2枚基板の有芯SMD型コイ
ル1Bを更に薄型化するために、例えば、第1絶縁基板
2aはPCB基板又はセラミック体等よりなる絶縁体と
し、第2絶縁基板2cはポリイミドフィルム等よりなる
絶縁体として、同様な製造方法で2枚基板の有芯SMD
型コイル1Bを製造することができる。
【0039】図12は本発明の第4の実施の形態であ
る。図12において、前記2枚基板の有芯SMD型コイ
ル1Cを超薄型化するために、例えば、第1絶縁基板2
d及び第2絶縁基板2eを共にポリイミドフィルム等よ
りなる絶縁体として、同様な製造方法で2枚基板の有芯
SMD型コイル1Cを製造することができる。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
PCB基板又はセラミック体等よりなる絶縁基板の略中
央部に位置し、2つの同心円上に複数のスルーホールを
形成し、エッチング処理により、前記絶縁基板の対向す
る側面に電極部と、絶縁基板の上下面に前記スルーホー
ルを結ぶ放射状銅箔パターンを前記スルーホールを介し
て上下パターンがコイル端末巻き始め部とコイル端末巻
き終り部とは一本の連続線として連続的に繋がるように
形成して閉ループ化することにより、コイルのインダク
タンスを大きく取りたい場合や、巻数を多く必要とする
SMD型コイルを、薄型で小型に実現できる。更に、前
記絶縁基板の一方、又は両方をポリイミドフィルム等よ
りなる絶縁体にすることにより、超薄型化が可能であ
る。また、製造方法は、多数個取りする集合絶縁基板に
より行うため製造コストを低減することが可能である。
従って、電子機器の小型化、軽量化、低コスト化が期待
できる等多大な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係わるSMD型コ
イルの斜視図である。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】図1のSMD型コイルの製造方法を説明する集
合絶縁基板の斜視図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態に係わるSMD型コ
イルの第1絶縁基板の表面側の斜視図である。
【図5】図5(a)は図4の第1絶縁基板の裏面側の斜
視図、図5(b)は図5(a)のB−B線断面図であ
る。
【図6】図4の第1絶縁基板と第2絶縁基板が対向した
状態の断面図である。
【図7】マグネットの斜視図である。
【図8】完成SMD型コイルの断面図である。
【図9】SMD型コイルの製造方法を説明する第1集合
絶縁基板の斜視図である。
【図10】第1集合絶縁基板と第2集合絶縁基板を接
着、接合した一体化集合体の斜視図である。
【図11】本発明の第3の実施の形態に係わるSMD型
コイルの断面図である。
【図12】本発明の第4の実施の形態に係わるSMD型
コイルの断面図である。
【図13】従来のSMD型コイルの断面図である。
【図14】図13の平面図である。
【符号の説明】
1、1A、1B、1C SMD型コイル 2 絶縁基板 2a、2d 第1絶縁基板 2b、2c、2e 第2絶縁基板 3a、3b スルーホール 3c 長穴スルーホール 3d、4c 接続部 4 電極部 5 放射状銅箔パターン 6 集合絶縁基板 6a 第1集合絶縁基板 6b 第2集合絶縁基板 9 マグネット収納凹溝 10 マグネット 11 接合部 12 接着剤 13 一体化集合体

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 PCB基板又はセラミック体等よりなる
    略四角形状の絶縁基板、該絶縁基板の略中央部に位置
    し、2つの同心円の円周上に複数個のスルーホールを形
    成し、前記絶縁基板の前記スルーホール内面を含む全表
    面に銅メッキ層を形成し、エッチング処理により前記絶
    縁基板の対向する側面に電極部と、上下面に内外周のス
    ルーホールを結ぶ放射状銅箔パターンを前記スルーホー
    ルを介して上下パターンが連続的に繋がるように形成す
    ることにより閉ループ化したことを特徴とするSMD型
    コイル。
  2. 【請求項2】 PCB基板又はセラミック体等よりなる
    略四角形状の絶縁基板の裏面略中央部にリング状のマグ
    ネット収納凹溝を有し、該マグネット収納凹溝の内周及
    び外周近傍の円周上に複数個のスルーホールを形成し、
    該スルーホール内面及び前記絶縁基板の全表面に銅メッ
    キ層を形成し、エッチング処理により前記絶縁基板の対
    向する側面に電極部を形成すると共に、前記内外周のス
    ルーホールを結ぶ放射状銅箔パターンを形成した第1又
    は第2の絶縁基板と、前記第1の絶縁基板と第2の絶縁
    基板のマグネット収納凹溝を対向させ、該マグネット収
    納凹溝にマグネットを搭載、位置合わせして接着、接合
    した後、再メッキ処理により、前記2つの絶縁基板のス
    ルーホール部及び電極部を導通させることにより、前記
    マグネットを囲み前記放射状銅箔パターンと前記スルー
    ホールを介して上下パターンが連続的に繋り閉ループ化
    したことを特徴とするSMD型コイル。
  3. 【請求項3】 前記第1又は第2の絶縁基板のうち、一
    方の絶縁基板はPCB基板又はセラミック体等よりなる
    絶縁体よりなり、他方の絶縁基板はポリイミドフィルム
    等よりなる絶縁体であることを特徴とする請求項2記載
    のSMD型コイル。
  4. 【請求項4】 前記第1又は第2の絶縁基板は、共にポ
    リイミドフィルム等よりなる絶縁体であることを特徴と
    する請求項2記載のSMD型コイル。
  5. 【請求項5】 PCB基板又はセラミック体等よりなる
    多数個取りする集合絶縁基板の各列毎の略中心部に位置
    し、所定間隔で2つの同心円の円周上に複数個のスルー
    ホールと、前記各列間に長穴状のスルーホールを施した
    スルーホール加工工程と、メッキ処理により前記スルー
    ホール及び長穴スルーホールの内面を含む集合絶縁基板
    の全表面に銅メッキ層を形成するメッキ工程と、メッキ
    レジストをラミネートし、露光現像後パターンマスクを
    形成し、パターンエッチングを行い前記集合絶縁基板の
    対向する側面に電極部と、上下面に内外周のスルーホー
    ルを結ぶ放射状銅箔パターンを前記スルーホールを介し
    て上下パターンが連続的に繋がるように閉ループ化する
    エッチング工程と、前記集合絶縁基板をSMD型コイル
    単体に分割するダイシング工程とからなることを特徴と
    するSMD型コイルの製造方法。
  6. 【請求項6】PCB基板又はセラミック体等よりなる多
    数個取りする集合絶縁基板の各列毎の略中心部の裏面に
    位置し、所定間隔で複数個のリング状のマグネット収納
    凹溝と、該各マグネット収納凹溝の内周及び外周近傍の
    円周上に複数個のスルーホールと、前記各列間に長穴の
    スルーホール加工を施した後、メッキ処理により前記集
    合絶縁基板の前記スルーホール及び長穴のスルーホール
    の内面を含む全表面に銅メッキ層を形成し、メッキレジ
    ストをラミネートし、露光現像後パターンマスクを形成
    し、パターンエッチングを行う第1又は第2の集合絶縁
    基板加工工程と、前記第1又は第2の集合絶縁基板のい
    ずれか一方の各マグネット収納凹溝に、マグネットを収
    納するマグネット装着工程と、前記第1及び第2の集合
    絶縁基板のマグネット収納凹溝が対向するように2つの
    集合絶縁基板を重ね、位置合わせし、両接着部を接着、
    接合して一体化する接着工程と、再メッキ処理により前
    記一体化集合体の接合する各スルーホール部及び電極部
    を導通させる再メッキ工程と、前記一体化集合体を1つ
    のマグネットを含むSMD型コイル単体に分割するダイ
    シング工程とからなることを特徴とするSMD型コイル
    の製造方法。
  7. 【請求項7】 前記第1又は第2の集合絶縁基板のう
    ち、一方の集合絶縁基板はPCB基板又はセラミック体
    等よりなる集合絶縁体よりなり、他方の集合絶縁基板は
    ポリイミドフィルム等よりなる集合絶縁体であることを
    特徴とする請求項6記載のSMD型コイルの製造方法。
  8. 【請求項8】 前記第1又は第2の集合絶縁基板は共に
    ポリイミドフィルム等よりなる集合絶縁体であることを
    特徴とする請求項6記載のSMD型コイルの製造方法。
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