JPH10186262A - 光学偏向装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は光ビームを偏向させるための光学偏
向装置であって、光磁気ディスクや光ディスクに光学情
報を記録したり再生したりするための光学系の一構成要
素として用いられ得る光学偏向装置に関し、構造連成振
動及び推力連成振動の発生を可及的に排除し得るように
構成された光学偏向装置を提供する。 【解決手段】 光学偏向装置はベース本体に対して弾性
手段を介して可動部を軸支させると共に該可動部に光ビ
ームを偏向させるための光ビーム偏向手段を搭載して成
り、弾性手段は可動部の弾性主軸線の回りに等間隔に配
置された少なくとも３枚の板ばね要素から成る。可動部
の弾性主軸線を該可動部の慣性主軸線に実質的に一致さ
せることが好ましく、更に好ましくは、可動部の弾性主
軸線は該可動部の推力主軸線に実質的に一致させられ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光ビームを偏向させ
るための光学偏向装置に関し、例えば光磁気ディスクや
光ディスクに光学情報を記録したり再生したりするため
の光学系の一構成要素として用いられ得る光学偏向装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述したような光学偏向装置の代表的な
ものとしては、ガルバノミラー装置が知られており、こ
の種の光学偏向装置は例えば実公平７−２８５８５号公
報に記載されている。この公報に開示された光学偏向装
置はベース本体と、このベース本体に板ばね要素を介し
て保持された可動部とを包含する。可動部はベース本体
に設けられた永久磁石と協働するようになった電磁コイ
ルから成り、この電磁コイルには光ビーム偏向用光学要
素として例えばミラーが組み合わされ、板ばね要素はそ
の長手方向軸線が可動部の重心を実質的に通るように配
置される。

【０００３】電磁コイルはベース本体側の永久磁石によ
って得られる磁界内に配置され、このとき電磁コイルが
通電させられると、可動部はフレミングの左手の法則に
より板ばねの長手方向軸線の回りで回動力を受けるよう
になっており、その回動量は電磁コイルへの通電量に応
じたものとなる。かくして、上述したような光学偏向装
置にあっては、可動部の電磁コイルへの通電量を適宜制
御することにより、可動部の光ビーム偏向用光学要素に
入射した光ビームを所定の偏向範囲内で所望の方向に偏
向させることが可能となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】実公平７−２８５８５
号公報に開示された光学偏向装置にあっては、可動部が
単一の板ばね要素だけで支持されているので、該板ばね
はその平面に対して垂直な方向では低コンプライアンス
性を示す。従って、かかる従来の光学偏向装置が外部振
動等の外力を受けた際には、可動部には構造連成振動や
推力連成振動が生じ、このためミラーが正常な姿勢を維
持し得なくなって、ダイナミッククロストーク等の不都
合が発生するという問題があった。

【０００５】一方、特公平３−４９４０９号公報にも上
述したような光学偏向装置が開示されており、この光学
偏向装置では、可動部の回動軸線の両側に一対の帯状板
ばねを十字状に配置し、この十字状の板ばねを介して可
動部がベース本体に支持される。即ち、可動部の回動軸
線はその各側の一対の十字状板ばねの交差点によって規
定されるように支持される。ところが、帯状板ばねのベ
ース本体側への固定点及び可動部側への固定点が可動部
の回動軸線から外れた位置にあるために、可動部の回動
軸線の各側の一対の十字状板ばねの交差点の位置は外部
振動のような外力を受けた際には変動し易く、このため
かかる可動部は構造連成振動及び推力連成振動を受け易
いという問題がある。

【０００６】また、特公平３−４９４０９号公報に開示
された光学偏向装置にあっては、可動部、十字状板ばね
等の構成部品をベース本体に組み付ける際の各構成部品
の精度出しが構造的に難しいということも問題点として
指摘される。更に、かかる光学偏向装置では、十字状板
ばねの取付のために可動部の外周側にブロック状の取付
座が必要とされ、その付加的な質量増加のために慣性モ
ーメントが増大し、可動部即ちミラーの動き感度が低下
するという問題もある。

【０００７】従って、本発明の目的は上述したようなタ
イプの光学偏向装置であって、構造連成振動及び推力連
成振動の発生を可及的に排除し得るように構成された光
学偏向装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明による光学偏向装
置はベース本体に対して弾性手段を介して可動部を軸支
させると共に該可動部に光ビームを偏向させるための光
ビーム偏向手段を搭載して成るものであり、本発明によ
れば、そのような光学偏向装置において、弾性手段が可
動部の弾性主軸線の回りに等間隔に配置された少なくと
も３枚の板ばね要素から成ることがを特徴とされる。

【０００９】本発明による光学偏向装置において、好ま
しくは、可動部の弾性主軸線は該可動部の慣性主軸線に
実質的に一致させられる。また、更に好ましくは、可動
部の弾性主軸線は該可動部の推力主軸線にも実質的に一
致させられる。

【００１０】本発明による光学偏向装置にあっては、板
ばね要素のすべてが同一形態とされ得る。また、弾性ば
ね要素が少なくとも４枚以上の偶数枚の板ばね要素から
成る場合には、それら偶数枚の板ばね要素のうちの互い
に同一平面を成す直径方向に配置された２枚の板ばね要
素が同一形態とされてもよい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に、添付図面を参照して、本
発明による光学偏向装置の実施形態について説明する。

【００１２】図１を参照すると、本発明による光学偏向
装置の一実施形態が分解斜視図として図示され、この光
学装置は適当な金属材料例えばアルミニウムあるいはそ
の合金もしくは適当な硬質合成樹脂材料から形成された
ベース本体１０を具備し、このベース本体１０は基台部
１０Ａと、この基台部１０Ａから一体的に直立したフレ
ーム部１０Ｂとから成る。ベース本体１０は本光学偏向
装置が光学系の一構成要素として組み込まれる際に取付
部として機能する。フレーム部１０Ｂは円形開口部１０
Ｃを郭成するような環状形態とされる。また、本発明に
よる光学偏向装置は可動部１２を具備し、この可動部１
２は短円筒形の形態を呈する。可動部１２はフレーム部
１０Ｂの円形開口部１０Ｃ内に配置され、かつ後で詳し
く説明するような弾性手段を介してベース本体１０のフ
レーム部１０Ｂによって支持される。

【００１３】ベース本体１０の前方側には略矩形状カバ
ー部材１４が適宜装着され、このカバー部材１４の中央
には円形開口部１４Ａが形成される。一方、ベース本体
１０の後方側には永久磁石用ホルダ部材１６が適宜装着
され、この永久磁石用ホルダ部材１６は短円筒形の形態
を持つホルダ部１６Ａと、このホルダ部１６Ａから一体
的に直径方向に張り出た一対の取付板１６Ｂとから成
る。ホルダ部１６Ａ内には二対のセグメント形永久磁石
１８及び２０が収容され、各一対のセグメント形永久磁
石１８及び２０は異極同士が向かい合うように配置され
る。なお、図１では、一対のセグメント形永久磁石２０
の一方だけが見ることができる。

【００１４】一対の取付板１６Ｂは永久磁石用ホルダ部
材１６をベース本体１０のフレーム部１０Ｂに装着する
ために使用され、その装着時ホルダ部材１６Ａはフレー
ム部１０の円形開口部１０Ｃ内に収容されると共に二対
のセグメント形永久磁石１８及び２０の周囲を覆うよう
に配置される。なお、カバー部材１４及びホルダ部材１
６については好ましくはベース本体１０と同じ材料で形
成される。

【００１５】図２を参照すると、可動部１２が分解斜視
図として拡大されて図示され、この可動部１２は短円筒
形の形態を持つ光学偏向素子用ホルダ部材１２Ａと、こ
の光学偏向素子用ホルダ部材１２Ａ内に装着されたプリ
ズム１２Ｂとから成る。なお、本実施形態では、光学偏
向素子としてプリズム１２Ｂが使用されるが、その他の
光学偏向素子としては、例えば光反射用ミラーや光ビー
ム偏向用ホログラム等が挙げられる。

【００１６】図２に示すように、光学偏向素子用ホルダ
部材１２Ａは多角形の形態を持つ中央フランジ部１２Ａ
₁ と、この中央フランジ部１２Ａ₁ の両側から突出する
カラー部１２Ａ₂ 及び１２Ａ₃ を包含する。可動部１２
は更に光学ホルダ部材１２Ａのカラー部１２Ａ₂ 及び１
２Ａ₃ のそれぞれに装着された電磁コイル１２Ｃ及び１
２Ｄを具備し、これら電磁コイル１２Ｃ及び１２Ｄは後
述するように二対のセグメント形永久磁石１８及び２０
と協働して可動部１２を駆動させるための駆動機構とし
て機能する。なお、図２では、電磁コイル１２Ｃ及び１
２Ｄは環状リング形として図示されているが、各電磁コ
イル１２Ｃ、１２Ｄは導線をかかる環状リング形に巻回
することにより得られるものであり、それら電磁コイル
１２Ｃ、１２Ｄへの給電線の図示は省かれている。

【００１７】また、可動部１２は更に光学偏向素子用ホ
ルダ部材１２Ａの中央フランジ部１２Ａ₁ の直径方向の
両側に取り付けられた板ばね用カップリング１２Ｅを具
備する。なお、図２には片側の板ばね用カップリング１
２Ｅだけが図示されているが、同様な板ばね用カップリ
ングは中央フランジ部１２Ａ₁ の直径方向の反対側にも
設けられる。板ばね用カップリング１２Ｅは中央フラン
ジ部１２Ａ₁ に固定されるようになった固定カップリン
グ部１２Ｅ₁ と、この固定カップリング部１２Ｅ₁ に対
して着脱自在となった可動カップリング部１２Ｅ₂ とか
ら成る。

【００１８】各板ばね用カップリング１２Ｅには複合板
ばね体２２が連結され、この複合板ばね体２２は本実施
形態では４枚の板ばね要素２２Ａから構成される。図３
に詳しく示すように、本実施形態では、Ｈ字状板ばね素
材にそれを半分割するような態様でスリット２４が入れ
られ、これにより該Ｈ字状板ばね素材に一対の板ばね要
素２２Ａが形成される。このような２枚のＨ字状板ばね
素材をそれらのスリット２４に沿って組み合わせること
により、図２に示すような複合板ばね体２２が得られ、
このとき複合板ばね体２２にはかかるスリット２４の長
手方向中心軸線の回りに４枚の板ばね要素２２Ａが90度
の角度で等間隔に配置される。

【００１９】図２に示すように、板ばね用カップリング
１２Ｅの反対側には別の板ばね用カップリング２６が設
けられ、この板ばね用カップリング２６はベース本体１
０のフレーム部１０Ｂに固定されるようになった固定カ
ップリング部２６₁ と、この固定カップリング部２６₁
に対して着脱自在となった可動カップリング部２６₂と
から成る。板ばね用カップリング２６の構成は固定カッ
プリング部２６₁ が貫通孔を備えた取付ブロック片２８
と一体化されている点を除けば上述した板ばね用カップ
リング１２Ｅの構成と同じである。

【００２０】図４に更に詳しく図示するように、固定カ
ップリング部２６₁ は取付ブロック片２８から一体的に
突出する管状短軸部材２６Ａとして形成され、この管状
短軸部材２６Ａの自由端面からは４本の爪要素２６Ｂが
突出しる。４本の爪要素２６Ｂは管状短軸部材２６Ａの
円周方向に沿って90度の角度で等間隔に配置され、各爪
要素２６Ａの横断面は図示するようにセグメント形状と
なっている。管状短軸部材２６Ａの側方部には直径方向
に互いに向かい合った一対の平坦面２６Ｃが形成され
る。なお、図４にあっては、一対の平坦面２６Ｃの一方
だけを見ることができる。

【００２１】一方、可動カップリング部２６₂ も管状短
軸部材２６Ｄとして形成されるが、その直径は管状短軸
部材２６Ａよりも大きく、管状短軸部材２６Ａは管状短
軸部材２６Ｄ内に緩く嵌合し得るようになっている。管
状短軸部材２６Ａの場合と同様に、管状短軸部材２６Ｄ
の一方の自由端面からは４本の爪要素２６Ｅが突出し、
これら４本の爪要素２６Ｅは管状短軸部材２６Ｄの円周
方向に沿って90度の角度で等間隔に配置され、各爪要素
２６Ｅの横断面は図示するようにセグメント形状となっ
ている。図５から明らかなように、管状短軸部材２６Ｄ
の側方部には直径方向に互いに向かい合った二対の平坦
面２６Ｆ及び２６Ｇが形成される。なお、図４では、二
対の平坦面２６Ｆ及び２６Ｇのそれぞれの一方だけを見
ることができる。

【００２２】図５に示すように、管状短軸部材２６Ｄに
形成された二対の平坦面２６Ｆ及び２６Ｇにはそれぞれ
ねじ孔２６Ｈ及び２６Ｉが形成され、各一対のねじ孔２
６Ｈ、２６Ｉは管状短軸部材２６Ｄの長手方向中心軸線
に対して反対方向にずらされて偏心させられる。即ち、
図４及び図５に示す例では、図４で見ることのできる平
坦面２６Ｆに形成されたねじ孔２６Ｈは管状短軸部材２
６Ｄの４つの爪要素２６Ｅ側から見たとき反時計方向側
にずらされて位置させられ、また該平坦面２６Ｆに対し
て直径方向の反対側の平坦面２６Ｆ（図５）に形成され
たねじ孔２６Ｈも反時計方向にずらされて位置させられ
る。なお、図５から明らかなように、他方の一対の平坦
面２６Ｇに形成された一対のねじ孔２６Ｉについても上
述した一対のねじ孔２６Ｈと同じことが言える。

【００２３】従って、可動カップリング部２６₂ を固定
カップリング部２６₁ を装着させて双方の爪要素２６Ｂ
及び２６Ｅを図５に示すような態様で互いにそれぞれ係
合させた後に一対の止めねじ要素３０（図４）を例えば
一対のねじ孔２６Ｈにねじ込むと、該止めねじ要素３０
の先端が先ず固定カップリング部２６₁ の平坦面２６Ｃ
に当接し、更に止めねじ要素３０をねじ込むことによ
り、可動カップリング部２６₂ 及び固定カップリング部
２６₁ は共に互いに反対方向の回動力を受け、これによ
り爪要素２６Ｂ及び２６Ｅは互いにその係合面を互いに
押圧し合うように作用させられる。爪要素２６Ｂ及び２
６Ｅ間のそれぞれに複合板ばね体２２の各板ばね要素２
２Ａの該当端部を挟み込んだ状態で上述したような一対
の止めねじ要素３０のねじ込み操作を行うことにより、
複合板ばね体２２は板ばね用カップリング２６に固定連
結される。

【００２４】なお、上述したように、板ばね用カップリ
ング２６の構成自体は板ばね用カップリング１２Ｅと同
じであり、複合板ばね体２２は同様な態様で板ばね用カ
ップリング１２Ｅに対して固定連結される。

【００２５】図１には可動部１２が組み立てられた状態
で示され、このとき一対の板ばね用カップリング１２Ｅ
の各々には複合板ばね体２２の一端側が固定連結される
と共に該複合板ばね体２２の他端側には板ばね用カップ
リング２６が固定連結されている。各板ばね用カップリ
ング２６の固定カップリング部２６₂ の取付ブロック片
２８にはその貫通孔にボルト要素３２が挿通させられ、
各ボルト要素３２は更にベース本体１０のフレーム１０
Ｂの直径方向に形成されたねじ孔１０Ｄに螺着される。
図１から明らかなように、各ねじ孔１０Ｄはフレーム部
１０Ｂに形成された窪み部に配置され、各ボルト要素３
２による取付ブロック片２８の螺着時、その取付ブロッ
ク片２８はかかる窪み部に収容される。

【００２６】かくして、可動部１２は一対の複合板ばね
体２２を介してベース本体１０のフレーム部１０Ｂに支
持されることになり、このとき可動部１２は板ばね用カ
ップリング１２Ｅ及び２６の長手方向中心軸線即ち複合
板ばね２２の長手方向中心軸線の回りで最も動き易くな
る。詳述すると、図６に示すように、複合板ばね体２２
の中心を原点とする三次元座標系を設定し、このとき一
方の一対の板ばね要素２２ＡがＸ−Ｚ平面内に位置し、
他方の一対の板ばね要素２２ＡがＹ−Ｚ平面内に位置す
るとした場合、Ｘ軸回り（α）のコンプライアンスとＹ
軸回り（β）のコンプライアンスとは互いに実質的に同
じであり、しかもＺ軸回り（γ）のコンプライアンスと
比べると大巾に大きなものとなる。要するに、図示する
ような複合板ばね体２２の構成にあっては、低コンプラ
イアンス性はＺ軸回り（γ）だけに得られる。

【００２７】一方、可動部１２の電磁コイル１２Ｃ及び
１２Ｄが二対のセグメント形永久磁石１８及び２０によ
って得られる磁界内で通電されると、可動部１２はフレ
ミングの左手の法則によりＺ軸まわりでの回動力を受
け、その回動方向は電磁コイル１２Ｃ及び１２Ｄに対す
る通電方向に依存する。要するに、Ｚ軸が可動部１２の
回動軸線即ち弾性主軸線とされる。

【００２８】以上のような複合板ばね体２２の配置構成
によれば、可動部１２の弾性主軸線（Ｚ軸）回りだけに
低コンプライアンス性を与えることができるので、可動
部１２の駆動時に外部振動のような外力が光学偏向装置
に加えられたとしても、可動部１２は弾性主軸線（Ｚ
軸）回りだけで安定して回動することができる。

【００２９】好ましくは、可動部１２の重心がその弾性
主軸線（Ｚ軸）上に実質的に位置するように該可動部１
２の全体の質量バランスが配慮される。即ち、可動部１
２の弾性主軸線（Ｚ軸）を該可動部１２の慣性主軸線に
実質的に一致させることが好ましく、この場合には可動
部１２での構造連成振動の発生を効果的に排除すること
が可能である。

【００３０】また、好ましくは、電磁コイル１２Ｃ及び
１２Ｄの通電時に可動部１２が回動力を受ける際の回動
中心がその弾性主軸線（Ｚ軸）上に実質的に位置するよ
うに該可動部１２の全体の質量バランスが配慮される。
即ち、可動部１２の弾性主軸線（Ｚ軸）を該可動部１２
の推力主軸線に実質的に一致させることが好ましく、こ
の場合には可動部１２での推力連成振動の発生を効果的
に排除することが可能である。

【００３１】一層好ましくは、可動部１２の弾性主軸線
（Ｚ軸）、慣性主軸線及び推力主軸線の三者を実質的に
一致させることであり、この場合には可動部１２での構
造連成振動及び推力連成振動の双方の発生を効果的に排
除することが可能となる。

【００３２】図７を参照すると、板ばね用カップリング
（１２Ｅ、２６）の別の実施形態が示され、この板ばね
用カップリングは参照符号３４で全体的に示される。板
ばね用カップリング３４は固定カップリング部３４₁ 及
び可動カップリング部３４₂から成る。図７に示す例で
は、固定カップリング部３４₁ は取付ブロック片２８と
一体化された雄ねじ部３４Ａと、この雄ねじ部３４Ａの
端面から片持ち梁の態様で突出した４つの爪片３４Ｂと
から成り、これら爪片３４Ｂは十字形スリット持つチャ
ックを形成する。図７から明らかなように、各爪片３４
Ｂの先端側外周には約90度の範囲にわたってテーパ面が
形成される。なお、板ばね用カップリング３４が上述し
た板ばね用カップリング１２Ｅの代わりに用いられる場
合には、雄ねじ部３４Ａは可動部１２の光学偏向素子用
ホルダ部材１２Ａの中央フランジ部１２Ａ₁ に固定され
ることは言うまでもない。

【００３３】一方、板ばね用カップリング３４の可動カ
ップリング部３４₂ はスリーブ状部材３４Ｃとして構成
され、このスリーブ状部材３４Ｃの先端側はテーパ面３
４Ｄとして形成される。スリーブ状部材３４Ｃの内側面
には雄ねじ部３４Ａに螺着し得るようになった雌ねじ部
が形成され、該内側面の先端側もテーパ面３４Ｄに対応
したテーパ面とされる。スリーブ状部材３４Ｃのテーパ
面３４Ｄ側の端部開口の大きさは複合板ばね体２２が挿
通し得るようなものとされる。

【００３４】複合板ばね体２２の一方の端部側をスリー
ブ状部材３４Ｃの端部開口に挿通させて４つの爪片３４
Ｂによる十字形スリットに挿入させた後にスリーブ状部
材３４Ｃを雄ねじ部３４Ａにねじ込むと、該スリーブ状
部材３４Ｃの内側テーパ面が４つの爪片３４Ｂのテーパ
面に係合させられ、このとき４つの爪片３４Ｂは楔作用
を受けて十字形スリットを閉じるように偏倚させられ、
これにより複合板ばね体２２は板ばね用カップリング３
４に固定連結される。

【００３５】以上で説明した実施形態では、複合板ばね
体２２は図３を参照して説明したように一対の板ばね要
素２２Ａを持つ２枚のＨ字状板ばね素材をそれらのスリ
ット２４に沿って組み合わせることにより構成されてい
るが、かかる複合板ばね体２２については図８に示すよ
うな単一の板ばね要素２２Ａ′を４枚用いて図９に示す
ように配置することにより得ることも可能である。上述
したような板ばね用カップリング（１２Ｅ、２６、３
４）を使用すれば、４枚の板ばね要素２２Ａ′を該カッ
プリングの長手方向中心軸線（Ｚ軸）の回りに90度の角
度で等間隔に配置することは容易に行うことが可能であ
る。

【００３６】図８に示すような単一の板ばね要素２２
Ａ′を用いる利点は上述したような複合板ばね体を構成
する板ばね要素２２Ａ′の枚数を必要に応じて適宜変え
得るという点にある。例えば、上述したような板ばね用
カップリング（１２Ｅ、２６、３４）が６枚の板ばね要
素２２Ａ′を60度の角度で等間隔に連結するように構成
されていれば、図１０に示すような複合板ばね体即ち６
枚の板ばね要素２２Ａ′を60度の角度で等間隔に配列し
た複合板ばね体を容易に得ることができる。また、上述
したような板ばね用カップリング（１２Ｅ、２６、３
４）が８枚の板ばね要素２２Ａ′を45度の角度で等間隔
に連結するように構成されていれば、図１１に示すよう
な複合板ばね体即ち８枚の板ばね要素２２Ａ′を45度の
角度で等間隔に配列した複合板ばね体を容易に得ること
ができる。

【００３７】図９ないし図１１に示す実施形態では、複
合板ばね体を偶数枚の板ばね要素２２Ａ′を構成する例
が示されているが、しかしかかる複合板ばね体について
は３枚以上の奇数枚の板ばね要素２２Ａ′を等間隔に配
列することにより構成することも可能である。

【００３８】また、上述した実施形態では、複合板ばね
体を構成する板ばね要素はすべて同じ形態とされている
が、しかし複合板ばね体を４枚以上の偶数枚から構成す
る場合には、同一平面内に直径方向に配置される一対の
板ばね要素だけが同一形態であれば、その他の板ばね要
素とは必ずしも同一形態でなくてもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上の記載から明らかなように、本発明
による光学偏向装置にあっては、その可動部の回動軸線
回りだけに低コンプライアンス性を与えるような複合板
ばね体が用いられるので、該可動部をその回動軸線の回
りで安定して回動させることが可能であり、かくして信
頼度の高い光ビームの偏向作動が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による光学偏向装置の分解斜視図であ
る。

【図２】図１に示した光学偏向装置の一構成要素である
可動部の分解斜視図である。

【図３】図２に示した可動部を支持する複合板ばね体の
分解斜視図である。

【図４】図３に示した複合板ばね体連結するための板ば
ね用カップリングの分解斜視図である。

【図５】図４に示した板ばね用カップリングの端面図で
ある。

【図６】図３に示した複合板ばね体の組立斜視図であっ
て、その特性を説明するための説明図である。

【図７】図４に示した板ばね用カップリングとは異なっ
た別の実施形態を示す分解斜視図である。

【図８】複合板ばね体を構成する板ばね要素を示す斜視
図である。

【図９】図８に示した板ばね要素を４枚用いて複合板ば
ね体を構成した例を示す斜視図である。

【図１０】図８に示した板ばね要素を６枚用いて複合板
ばね体を構成した例を示す斜視図である。

【図１１】図８に示した板ばね要素を８枚用いて複合板
ばね体を構成した例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０ ベース本体 １０Ａ 基台部 １０Ｂ フレーム部 １０Ｃ 円形開口部 １２ 可動部 １２Ａ 光学偏向素子用ホルダ部材 １２Ａ₁ 中央フランジ部 １２Ａ₂ 、１２Ａ₃ カラー部 １２Ｃ、１２Ｄ 電磁コイル １８、２０ セグメント形永久磁石 １２Ｅ、２６、３４ 板ばね用カップリング

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベース本体に対して弾性手段を介して可
   動部を軸支させると共に該可動部に光ビームを偏向させ
   るための光ビーム偏向手段を搭載して成る光学偏向装置
   において、 前記弾性手段が前記可動部の弾性主軸線の回りに等間隔
   に配置された少なくとも３枚の板ばね要素から成ること
   を特徴とする光学偏向装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光学偏向装置におい
   て、前記可動部の弾性主軸線が該可動部の慣性主軸線に
   実質的に一致させられることを特徴とする光学偏向装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の光学偏向装置
   において、前記可動部の弾性主軸線が該可動部の推力主
   軸線に実質的に一致させられることを特徴とする光学偏
   向装置。
4. 【請求項４】 請求項１から３までのいずれか１項に記
   載の光学偏向装置において、前記板ばね要素のすべてが
   同一形態とされることを特徴とする光学偏向装置。
5. 【請求項５】 請求項１から３までのいずれか１項に記
   載の光学偏向装置において、前記弾性手段が少なくとも
   ４枚以上の偶数枚の板ばね要素から成り、これら偶数枚
   の板ばね要素のうちの互いに同一平面を成す直径方向に
   配置された２枚の板ばね要素が同一形態とされることを
   特徴とする光学偏向装置。