JPH10176291A - エッチング製品の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 処理液の使用量を低減させて製造コストの低
下を図る。 【解決手段】 スプレイ管１０のスプレイノズル１４か
ら被処理薄板へ供給される処理液の供給範囲を、帯状金
属薄板の板幅に応じて切り換える。帯状金属薄板に対し
てスプレイ管のスプレイノズルから処理液を供給し、帯
状金属薄板同士を接続する帯状ガイド材に対してはスプ
レイノズル１２から処理液を供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カラーブラウン
管用のシャドウマスク、トリニトロン（登録商標）管用
のアパーチャグリル、半導体装置用のリードフレームな
どのエッチング製品を、フォトエッチング法を用いて金
属薄板を加工することにより製造するエッチング製品の
製造方法、および、その方法を実施するのに使用される
エッチング製品の製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】エッチング製品、例えばシャドウマスク
は、一般に、長尺の金属薄板をその長手方向へ搬送させ
つつ、金属薄板の主面へ各種の処理液を順次供給する複
数の工程を経て、金属薄板にフォトエッチング加工を施
すことにより製造される。すなわち、金属薄板の主面に
アルカリ溶液や工業用水などの洗浄液を供給して金属薄
板に付着した油分、異物等を除去して整面脱脂処理する
整面脱脂工程、整面脱脂処理された金属薄板の両主面に
カゼインと重クロム酸塩とからなる水溶性のレジストを
塗布する塗布工程、塗布工程後、焼付工程を経て所定の
パターンが焼き付けられたレジスト膜に工業用水等の現
像液を供給して、紫外線が照射されていないレジスト膜
の未露光部分を除去し現像処理する現像工程、現像処理
されたレジスト膜に無水クロム酸からなる硬膜液を供給
して硬膜処理する硬膜工程、硬膜処理を終えた金属薄板
の主面に工業用水等の洗浄液を供給して硬膜液を除去す
る硬膜後洗浄工程、後述する面出し処理される前の金属
薄板に工業用水等の洗浄液を供給して金属薄板を洗浄す
る面出し前洗浄工程、洗浄された金属薄板に酸の稀薄溶
液からなる面出し液を供給して、上述の現像処理により
露出された金属薄板の主面に付着した酸化被膜やレジス
ト残膜を除去し面出し処理する面出し工程、面出し処理
された金属薄板の両主面または一方の主面に塩化第二鉄
からなるエッチング液を供給して、金属薄板の露出した
主面を両主面または一方の主面側からエッチングし、金
属薄板を貫通しない程度の複数の凹部を両主面または一
方の主面に形成して第１エッチング処理する第１エッチ
ング工程、第１エッチング処理された金属薄板の両主面
または一方の主面に形成された凹部の外周縁より中心側
に張り出したレジスト膜の庇部に高圧で工業用水等の洗
浄液を吹き付け、庇部をその根元から折って除去する庇
部除去工程、レジスト膜の庇部が除去された金属薄板に
工業用水等の洗浄液を供給して、金属薄板の主面に付着
したレジスト膜の庇部を金属薄板から除去する庇除去後
洗浄工程、第１エッチング工程によって金属薄板の一方
の主面に形成された複数の凹部に、紫外線が照射される
と硬化する性質を持つＵＶ硬化樹脂等の充填剤を充填す
るＵＶ硬化樹脂充填工程、ＵＶ硬化樹脂が充填されてい
ない金属薄板の他方の主面にエッチング液を供給して、
他方の主面に形成された複数の凹部または露出した主面
をエッチングし、金属薄板を貫通する複数の透孔を形成
して第２エッチング処理する第２エッチング工程、第２
エッチング処理を終えた金属薄板の主面に工業用水等の
洗浄液を供給して、金属薄板の主面に付着したエッチン
グ液を除去する第２エッチング後洗浄工程、洗浄された
金属薄板にアルカリ溶液等の剥膜液を供給して、金属薄
板に形成されたレジスト膜およびＵＶ硬化樹脂を金属薄
板の主面から剥離処理する剥膜工程、ならびに、剥離処
理された金属薄板の主面に工業用水等の洗浄液を供給し
て、金属薄板に付着する剥膜液と残存するレジスト膜お
よびＵＶ硬化樹脂とを除去する剥膜後洗浄工程などの各
工程を順次経ることにより、シャドウマスクは製造され
ている。

【０００３】また、種類の異なるシャドウマスクを連続
して製造する場合などには、互いに板幅の異なる２枚の
帯状金属薄板をその長手方向に接続させて、この接続さ
れた長尺の金属薄板を、その長手方向へ搬送させつつ、
複数の処理装置内を順次通過させて、金属薄板に上記し
た各種の処理を施すことが行われている。そして、複数
種のシャドウマスクを連続して上記した方法により製造
する場合、シャドウマスクの種類に応じて、それぞれの
処理工程での種々の処理条件の設定値、例えばエッチン
グ工程ではエッチング液を吐出するスプレイノズルの揺
動角度や揺動速度などを変更する必要がある。

【０００４】ところが、処理条件の設定値の変更には相
応の時間を必要とし、一方、その設定値の変更時にも長
尺の金属薄板の搬送は継続しなければならないので、処
理条件の設定値が変更されるべき処理工程を行う処理装
置内に金属薄板が搬入されその装置内を搬送されている
ときに、処理条件の設定値の変更を行うと、変更期間中
に処理装置内を通過した金属薄板の領域には所定の処理
が施されず、その領域からはシャドウマスク製品が得ら
れなくなる。このため、その金属薄板の領域は廃棄され
ることとなり、それがシャドウマスクの製造コストの増
大を招くことにつながる。

【０００５】そこで、例えば特開平６−１５０８１６号
公報に開示されているような、金属薄板の板幅より小さ
い幅を有する帯状のガイド材を用い、その帯状ガイド材
を介して２枚の帯状金属薄板をその長手方向に互いに接
続させる方法が採られている。そして、帯状ガイド材に
よって接続された２枚の帯状金属薄板からなる長尺体を
搬送手段により連続して搬送させながら、処理条件の設
定値を変更しようとする処理工程を行う処理装置内を先
の帯状金属薄板が通過し終わった後、その処理装置内を
ガイド材が通過している間に、後の帯状金属薄板を処理
する条件の設定値に変更し、その設定値の変更が完了し
た後に、その処理装置内へ後の帯状金属薄板が搬入され
るように対応していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、互い
に板幅の異なる２枚の帯状金属薄板が、その長手方向に
接続され連続して搬送されながら、各種の処理装置内で
所定の処理液の供給を受けて所定の処理が行われ、ま
た、２枚の帯状金属薄板が、帯状ガイド材を介してその
長手方向に接続され連続して搬送されながら、各種の処
理装置内で所定の処理液の供給を受けて所定の処理が行
われる場合において、従来は、それぞれの帯状金属薄板
や帯状ガイド材に対し、常に一定供給範囲で一定量の処
理液、例えば洗浄液、レジスト、現像液、硬膜液、面出
し液、エッチング液、剥膜液などの処理液が供給されて
いた。このため、板幅の狭い帯状金属薄板や帯状ガイド
材に対して供給される処理液の一部或いは相当部分が無
駄に消費され、処理液の使用量が必要以上に増えて、エ
ッチング製品の製造コストの増大を招く、といった問題
点がある。

【０００７】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、処理液の使用量を低減させて製造コ
ストの低下を図ることができるエッチング製品の製造方
法および製造装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
互いに板幅の異なる少なくとも２枚の帯状金属薄板がそ
の長手方向に接続された長尺の被処理薄板を、その長手
方向へ搬送させつつ、前記帯状金属薄板の主面へ処理液
を供給して、帯状金属薄板にフォトエッチング加工を施
しエッチング製品を得るエッチング製品の製造方法にお
いて、前記帯状金属薄板の主面に供給される処理液の、
被処理薄板の幅方向における供給範囲を、帯状金属薄板
の板幅に応じて変更することを特徴とする。

【０００９】請求項２に係る発明は、２枚の帯状金属薄
板が、これら帯状金属薄板のそれぞれの板幅より小さい
幅を有する帯状のガイド材を介してその長手方向に接続
された長尺の被処理薄板を、その長手方向へ搬送させつ
つ、少なくとも前記帯状金属薄板の主面へ処理液を供給
して、帯状金属薄板にフォトエッチング加工を施しエッ
チング製品を得るエッチング製品の製造方法において、
前記ガイド材に供給される処理液の、前記被処理薄板の
幅方向における供給範囲を、前記帯状金属薄板の主面に
供給される処理液の、被処理薄板の幅方向における供給
範囲より狭くし、または、ガイド材への処理液の供給を
停止させることを特徴とする。

【００１０】請求項３に係る発明は、互いに板幅の異な
る少なくとも２枚の帯状金属薄板がその長手方向に接続
された長尺の被処理薄板を、その長手方向へ搬送させつ
つ、被処理薄板の幅方向に沿って配設された処理液供給
手段から前記帯状金属薄板の主面へ処理液を供給して、
帯状金属薄板にフォトエッチング加工を施しエッチング
製品を得るエッチング製品の製造装置において、前記処
理液供給手段を、その長さ方向において複数の吐出区域
に分割し、かつ、その各吐出区域ごとに処理液供給路を
それぞれ流路接続して、それら処理液供給路に流路切換
え手段を介挿し、前記帯状金属薄板の板幅を検出する板
幅検出手段を設けるとともに、前記板幅検出手段による
検出結果に基づいて前記流路切換え手段を制御する制御
手段を設けて、前記帯状金属薄板の主面に供給される処
理液の、被処理薄板の幅方向における供給範囲が、帯状
金属薄板の板幅に応じて変更されるようにしたことを特
徴とする。

【００１１】請求項４に係る発明は、２枚の帯状金属薄
板が、これら帯状金属薄板のそれぞれの板幅より小さい
幅を有する帯状のガイド材を介してその長手方向に接続
された長尺の被処理薄板を、その長手方向へ搬送させつ
つ、被処理薄板の幅方向に沿って配設された処理液供給
手段から前記帯状金属薄板の主面へ処理液を供給して、
帯状金属薄板にフォトエッチング加工を施しエッチング
製品を得るエッチング製品の製造装置において、前記処
理液供給手段とは別に、前記ガイド材に処理液を供給す
るガイド材用処理液供給手段を設け、処理液供給手段お
よびガイド材用処理液供給手段に処理液供給路をそれぞ
れ流路接続して、それら処理液供給路に流路切換え手段
を介挿し、前記帯状金属薄板または前記ガイド材のいず
れであるかを検出する検出手段を設けるとともに、前記
検出手段による検出結果に基づいて前記流路切換え手段
を制御する制御手段を設けて、前記ガイド材に供給され
る処理液の、前記被処理薄板の幅方向における供給範囲
が、前記帯状金属薄板の主面に供給される処理液の、被
処理薄板の幅方向における供給範囲より狭くなるように
し、または、ガイド材への被処理液の供給が停止される
ようにしたことを特徴とする。

【００１２】請求項１に係る発明の製造方法によると、
互いに接続され連続して搬送される板幅の異なる少なく
とも２枚の帯状金属薄板に対し、それぞれの板幅に応じ
て、被処理薄板の幅方向における処理液の供給範囲が変
更され、板幅の狭い帯状金属薄板に対する処理液の供給
範囲が、板幅の大きい帯状金属薄板に対する処理液の供
給範囲より狭くされる。従って、板幅の狭い帯状金属薄
板に対し、その板面外へ供給されて無駄に消費される処
理液の量が少なくなる。

【００１３】請求項２に係る発明の製造方法によると、
２枚の帯状金属薄板を接続させて帯状金属薄板と共に搬
送されるガイド材に対しては、被処理薄板の幅方向にお
ける処理液の供給範囲が、帯状金属薄板に対する処理液
の供給範囲より狭くなるようにされる。従って、ガイド
材の面外へ供給されて無駄に消費される処理液の量が少
なくなる。また、処理液が洗浄液以外の、例えばエッチ
ング液などである場合には、ガイド材への処理液の供給
が停止されるので、処理液の無駄な消費を無くすことが
できる。

【００１４】請求項３に係る発明の製造装置を使用した
ときは、互いに接続され連続して搬送される板幅の異な
る２枚以上の帯状金属薄板の板幅が板幅検出手段によっ
て検出され、その板幅検出手段による検出結果に基づい
て制御手段により流路切換え手段が制御され、流路切換
え手段による処理液供給路の切換えにより、帯状金属薄
板の板幅に応じて、処理液が送給されるべき処理液供給
手段の吐出区域が選択される。そして、帯状金属薄板の
板幅に応じて、被処理薄板の幅方向における処理液の供
給範囲が変更され、板幅の狭い帯状金属薄板に対する処
理液の供給範囲が、板幅の大きい帯状金属薄板に対する
処理液の供給範囲より狭くされる。従って、板幅の狭い
帯状金属薄板に対し、その板面外へ供給されて無駄に消
費される処理液の量が少なくなる。

【００１５】請求項４に係る発明の製造装置を使用した
ときは、２枚の帯状金属薄板がガイド材を介して接続さ
れた長尺の被処理薄膜が搬送される過程で、検出手段に
より帯状金属薄板またはガイド材のいずれが搬送されて
いるかが検出され、その検出手段による検出結果に基づ
いて制御手段により流路切換え手段が制御され、流路切
換え手段により、処理液供給手段に流路接続された処理
液供給路とガイド材用処理液供給手段に流路接続された
処理液供給路とが切り換えられ、処理液供給手段へ処理
液を送給するかガイド材用処理液供給手段へ処理液を送
給するかが選択される。そして、ガイド材に対しては、
被処理薄板の幅方向における処理液の供給範囲が、帯状
金属薄板に対する処理液の供給範囲より狭くなるように
される。従って、ガイド材の面外へ供給されて無駄に消
費される処理液の量が少なくなる。また、処理液が洗浄
液以外の、例えばエッチング液などである場合には、ガ
イド材への処理液の供給が停止されるようにして、処理
液の無駄な消費が行われないようにされる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図面を参照しながら説明する。

【００１７】図１は、この発明の１実施形態を示し、エ
ッチング製品の製造装置を構成する１つの処理装置、例
えば洗浄処理装置に配設された洗浄水供給装置の流路系
統を示す概略構成図である。

【００１８】被処理薄板は、互いに異なる複数枚の帯状
金属薄板をその長手方向に接続した長尺体、或いは、２
枚の帯状金属薄板を、それぞれの板幅より小さい幅を有
する帯状のガイド材を介してその長手方向に接続した長
尺体である。この被処理薄板が、その長手方向へかつ水
平方向へ連続して搬送され、洗浄処理装置内を通過する
間に、洗浄水供給装置による洗浄水の供給を受けて、帯
状金属薄板の主面が洗浄処理される。

【００１９】洗浄水供給装置は、図１に示すように、被
処理薄板の搬送路の上方に配設されたスプレイ管１０お
よびスプレイノズル１２を有している。スプレイ管１０
は、被処理薄板の幅方向に沿って配設されており、管内
部が、その長さ方向において３つの吐出区域１０ａ、１
０ｂ、１０ｃに分割され、相互に流通しないように仕切
られている。スプレイ管１０の各吐出区域１０ａ、１０
ｂ、１０ｃには、それぞれ複数個のスプレイノズル１４
が形設されている。また、スプレイ管１０の中央部の吐
出区域１０ａには、第１の洗浄水供給管１６が流路接続
されており、スプレイ管１０の両脇部の吐出区域１０
ｂ、１０ｃには、共通の第２の洗浄水供給管１８が流路
接続されている。そして、第１および第２の各洗浄水供
給管１６、１８には、電磁開閉弁２０、２２がそれぞれ
介挿されている。

【００２０】また、スプレイノズル１２は、被処理薄板
の幅方向における中央部に対応した位置に配設されてい
る。そして、スプレイノズル１２には、第３の洗浄水供
給管２４が流路接続されており、第３の洗浄水供給管２
４に電磁開閉弁２６が介挿されている。上記した第１お
よび第２の各洗浄水供給管１６、１８ならびに第３の洗
浄水供給管２４は、共通の工業用水配管２８に流路接続
している。また、各洗浄水供給管１６、１８、２４に介
挿された電磁開閉弁２０、２２、２６は、図２に示すよ
うに、それぞれコントローラ３０に電気接続されてお
り、コントローラ３０から送られる制御信号によってそ
れぞれ開閉制御されるようになっている。

【００２１】被処理薄板の搬送方向におけるスプレイ管
１０およびスプレイノズル１２より手前側（搬送方向の
上流側）の適当な位置に、図３に平面図を示すように、
複数個、この例では３個のセンサ３２ａ、３２ｂ、３２
ｃが、被処理薄板の幅方向に並列して配設されている。
これら３個のセンサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃは、それぞ
れコントローラ３０に電気接続されており、これら３個
のセンサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃにより、搬送されてい
る被処理薄板が、板幅の広い帯状金属薄板３４である
か、板幅の狭い帯状金属薄板３６であるか、或いは帯状
ガイド材３８であるかが検出される。すなわち、３個の
センサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃが被処理薄板の存在を検
知して、各センサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃから検知信号
がコントローラ３０へ送られたときは、板幅の広い帯状
金属薄板３４の搬送中であり、２個のセンサ３２ａ、３
２ｂが被処理薄板の存在を検知して、両センサ３２ａ、
３２ｂから検知信号がコントローラ３０へ送られたとき
は、板幅の狭い帯状金属薄板３６の搬送中であり、１個
のセンサ３２ａだけが被処理薄板の存在を検知して、そ
のセンサ３２ａから検知信号がコントローラ３０へ送ら
れたときは、帯状ガイド材３８の搬送中であると判別さ
れ、また、いずれのセンサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃも被
処理薄板の存在を検知しないときは、被処理薄板が搬送
されていないと判別される。

【００２２】上記したように、被処理薄板の搬送方向に
おけるスプレイ管１０およびスプレイノズル１２より手
前側の位置でセンサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃにより、板
幅の広い帯状金属薄板３４、板幅の狭い帯状金属薄板３
６および帯状ガイド材３８のうちのいずれが搬送されて
いるかが検出され、その検出結果に基づいてコントロー
ラ３０から制御信号が電磁開閉弁２０、２２、２６へ送
られ、電磁開閉弁２０、２２、２６の開閉動作が制御さ
れる。この制御動作は、次のようにして行われる。

【００２３】まず、板幅の広い帯状金属薄板３４が搬送
されていることが検出されたときは、電磁開閉弁２０、
２２がそれぞれ開かれるとともに、電磁開閉弁２６が閉
じられる。そして、工業用水配管２８から第１および第
２の各洗浄水供給管１６、１８をそれぞれ通ってスプレ
イ管１０の３つの吐出区域１０ａ、１０ｂ、１０ｃの全
部へそれぞれ洗浄水が送給され、スプレイ管１０に設け
られた全部のスプレイノズル１４から洗浄水が吐出さ
れ、板幅の広い帯状金属薄板３４の幅方向全体にわたっ
て洗浄水が供給される。次に、板幅の狭い帯状金属薄板
３６が搬送されていることが検出されたときは、電磁開
閉弁２０だけが開かれるとともに、電磁開閉弁２２、２
６がそれぞれ閉じられる。そして、工業用水配管２８か
ら第１の洗浄水供給管１６を通ってスプレイ管１０の中
央部の吐出区域１０ａのみへ洗浄水が送給され、スプレ
イ管１０の中央部の吐出区域１０ａに設けられた複数個
のスプレイノズル１４から洗浄水が吐出され、板幅の狭
い帯状金属薄板３６の幅方向全体にわたって洗浄水が供
給される。この際、スプレイ管１０の両脇部の吐出区域
１０ｂ、１０ｃに設けられたスプレイノズル１４からは
洗浄水が吐出されないので、洗浄水が帯状金属薄板３６
の板面外へ吐出されて無駄に消費される、といったこと
が無くなる。

【００２４】一方、帯状ガイド材３８が搬送されている
ことが検出されたときは、電磁開閉弁２０、２２がそれ
ぞれ閉じられるとともに、電磁開閉弁２６が開かれる。
そして、工業用水配管２８から第３の洗浄水供給管２４
を通ってスプレイノズル１２へ洗浄水が送給され、スプ
レイノズル１２から洗浄水が吐出され、帯状ガイド材３
８に対して洗浄水が供給される。この際、スプレイ管１
０のスプレイノズル１４からは洗浄水が全く吐出されな
いので、洗浄水が帯状ガイド材３８の面外へ吐出されて
無駄に消費される、といったことが無くなる。

【００２５】なお、スプレイノズル１２から帯状ガイド
材３８に対して供給される洗浄水の吐出圧が、スプレイ
管１０のスプレイノズル１４から帯状金属薄板３４、３
６に対して供給される洗浄水の吐出圧より低くなるよう
に調整しておくようにしてもよい。このようにすると、
帯状ガイド材３８の洗浄時における水の飛散が少なくな
る。

【００２６】また、上記した実施形態は、被処理薄板へ
洗浄水を供給して帯状金属薄板や帯状ガイド材を洗浄処
理する工程についてのものであるが、それ以外の各種の
処理工程にも上記構成を適用可能であることは勿論であ
る。そして、例えばエッチング工程に適用する場合に
は、帯状ガイド材へのエッチング液の供給は不要である
から、スプレイ管１０だけを設けてスプレイノズル１２
を設けないようにすればよい。また、スプレイ管１０と
スプレイノズル１２とを設けた場合において、帯状ガイ
ド材への処理液の供給が不要であるときに、スプレイノ
ズル１２からの処理液の供給を停止させるようにしても
よい。

【００２７】

【発明の効果】請求項１に係る発明のエッチング製品の
製造方法によると、また、請求項３に係る発明の製造装
置を使用してエッチング製品を製造するときは、互いに
板幅の異なる少なくとも２枚の帯状金属薄板が接続され
た長尺の被処理薄板に所定の処理液を供給して所定の処
理を行う場合に、板幅の狭い帯状金属薄板に対し、その
板面外へ供給されて無駄に消費される処理液の量が少な
くなるので、処理液の使用量が低減して製造コストの低
下が図られる。

【００２８】請求項２に係る発明のエッチング製品の製
造方法によると、また、請求項４に係る発明の製造装置
を使用してエッチング製品を製造するときは、２枚の帯
状金属薄板が帯状のガイド材を介して接続された長尺の
被処理薄板に所定の処理液を供給して所定の処理を行う
場合に、ガイド材の面外へ供給されて無駄に消費される
処理液の量が少なくなり、また、ガイド材への処理液の
供給が不要であるときは処理液の無駄な消費を無くすこ
とができるので、処理液の使用量が低減して製造コスト
の低下が図られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の１実施形態を示し、エッチング製品
の製造装置を構成する１つの処理装置である洗浄処理装
置に配設された洗浄水供給装置の流路系統を示す概略構
成図である。

【図２】同じく、洗浄水供給装置の流路系統を制御系と
共に示す概略構成図である。

【図３】搬送されている被処理薄板が板幅の広い帯状金
属薄板、板幅の狭い帯状金属薄板および帯状ガイド材の
うちのいずれであるかを検出する方法の１例について説
明するための平面図である。

【符号の説明】

１０ スプレイ管 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ スプレイ管の吐出区域 １２ スプレイノズル １４ スプレイ管のスプレイノズル １６、１８、２４ 洗浄水供給管 ２０、２２、２６ 電磁開閉弁 ２８ 工業用水配管 ３０ コントローラ ３２ａ、３２ｂ、３２ｃ センサ ３４ 板幅の広い帯状金属薄板 ３６ 板幅の狭い帯状金属薄板 ３８ 帯状ガイド材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに板幅の異なる少なくとも２枚の帯
   状金属薄板がその長手方向に接続された長尺の被処理薄
   板を、その長手方向へ搬送させつつ、前記帯状金属薄板
   の主面へ処理液を供給して、帯状金属薄板にフォトエッ
   チング加工を施しエッチング製品を得る、エッチング製
   品の製造方法において、 前記帯状金属薄板の主面に供給される処理液の、被処理
   薄板の幅方向における供給範囲を、帯状金属薄板の板幅
   に応じて変更することを特徴とする、エッチング製品の
   製造方法。
2. 【請求項２】 ２枚の帯状金属薄板が、これら帯状金属
   薄板のそれぞれの板幅より小さい幅を有する帯状のガイ
   ド材を介してその長手方向に接続された長尺の被処理薄
   板を、その長手方向へ搬送させつつ、少なくとも前記帯
   状金属薄板の主面へ処理液を供給して、帯状金属薄板に
   フォトエッチング加工を施しエッチング製品を得る、エ
   ッチング製品の製造方法において、 前記ガイド材に供給される処理液の、前記被処理薄板の
   幅方向における供給範囲を、前記帯状金属薄板の主面に
   供給される処理液の、被処理薄板の幅方向における供給
   範囲より狭くし、または、ガイド材への処理液の供給を
   停止させることを特徴とする、エッチング製品の製造方
   法。
3. 【請求項３】 互いに板幅の異なる少なくとも２枚の帯
   状金属薄板がその長手方向に接続された長尺の被処理薄
   板を、その長手方向へ搬送させつつ、被処理薄板の幅方
   向に沿って配設された処理液供給手段から前記帯状金属
   薄板の主面へ処理液を供給して、帯状金属薄板にフォト
   エッチング加工を施しエッチング製品を得る、エッチン
   グ製品の製造装置において、 前記処理液供給手段を、その長さ方向において複数の吐
   出区域に分割し、かつ、その各吐出区域ごとに処理液供
   給路をそれぞれ流路接続して、それら処理液供給路に流
   路切換え手段を介挿し、 前記帯状金属薄板の板幅を検出する板幅検出手段を設け
   るとともに、 前記板幅検出手段による検出結果に基づいて前記流路切
   換え手段を制御する制御手段を設けて、 前記帯状金属薄板の主面に供給される処理液の、被処理
   薄板の幅方向における供給範囲が、帯状金属薄板の板幅
   に応じて変更されるようにしたことを特徴とする、エッ
   チング製品の製造装置。
4. 【請求項４】 ２枚の帯状金属薄板が、これら帯状金属
   薄板のそれぞれの板幅より小さい幅を有する帯状のガイ
   ド材を介してその長手方向に接続された長尺の被処理薄
   板を、その長手方向へ搬送させつつ、被処理薄板の幅方
   向に沿って配設された処理液供給手段から前記帯状金属
   薄板の主面へ処理液を供給して、帯状金属薄板にフォト
   エッチング加工を施しエッチング製品を得る、エッチン
   グ製品の製造装置において、 前記処理液供給手段とは別に、前記ガイド材に処理液を
   供給するガイド材用処理液供給手段を設け、処理液供給
   手段およびガイド材用処理液供給手段に処理液供給路を
   それぞれ流路接続して、それら処理液供給路に流路切換
   え手段を介挿し、 前記帯状金属薄板または前記ガイド材のいずれであるか
   を検出する検出手段を設けるとともに、 前記検出手段による検出結果に基づいて前記流路切換え
   手段を制御する制御手段を設けて、 前記ガイド材に供給される処理液の、前記被処理薄板の
   幅方向における供給範囲が、前記帯状金属薄板の主面に
   供給される処理液の、被処理薄板の幅方向における供給
   範囲より狭くなるようにし、または、ガイド材への被処
   理液の供給が停止されるようにしたことを特徴とする、
   エッチング製品の製造装置。